CN101548177B - 层叠膜的缺陷检查方法及其装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供层叠膜的缺陷检查方法及其装置。该方法包括:第1检查过程,检查被剥离了保护膜的膜主体的表面是否存在缺陷;分离膜除去过程,自检查后的层叠膜剥离分离膜;第2检查过程,一边沿着朝向纵向的膜行进路径引导被剥离除去了分离膜的膜主体、一边检查纵向姿态的膜主体是否存在缺陷,并存储检测数据;分离膜粘贴过程及保护膜粘贴过程,在检查完毕的膜主体的里面及表面上分别粘贴有分离膜及保护膜;膜回收过程,将粘贴有保护膜及分离膜的检查完毕的层叠膜卷成卷。
Description
技术领域
本发明涉及对液晶显示器的偏振片、玻璃基板等所采用的层叠膜的污损、损伤等缺陷进行检查的层叠膜的缺陷检查方法及其装置。
背景技术
在液晶显示器的制造工序中,可使用在带状的功能膜(相位差膜)上粘贴较薄的单张膜(偏振片)来制作层叠光学膜的工序(参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开2007-76106号公报
粘贴在带状功能膜上的单张膜(偏振片)形成为层叠膜,该层叠膜是在膜主体的里侧粘着面上粘贴分离膜、且在其表面上粘贴保护膜而形成的。将卷绕该纵长的层叠膜而成的材料卷供给到冲裁工序,将其冲裁成规定尺寸的单张膜。
在卷成卷的层叠膜的膜主体中,有时会在其表面或内部附着微细的垃圾、或者在其表面或内部残留有捻成压痕状的特殊形状缺陷(以下简称为“压痕(nick)”),该压痕状是夹入会使表面发生光学畸变的异物而形成的、或者在膜表面处理中产生不均匀。需要冲裁成不具有这些缺陷地获得单张膜。因此,利用反射式或透射式的光学部件检查层叠膜的污损、损伤等缺陷并识别缺陷的产生位置是重要的。
在这种情况下存在这样的问题,即,由于层叠膜分别在其表里粘贴有保护膜和分离膜,因此,会因保护膜、分离膜所具有的光学特性(双折射等)导致的透射阻碍、表面漫反射而发生遗漏缺陷、误认等,无法高精度地进行检测。
另外,在保护膜、分离膜中存在缺陷等的情况下,也存在误认该缺陷为膜主体的缺陷这样的问题。
发明内容
本发明即是鉴于上述情况而做成的,其主要目的在于提供可以高精度地对卷成卷的层叠膜中的缺陷进行检查的层叠膜的缺陷检查方法及其装置。
第1发明是一种层叠膜的缺陷检查方法,该层叠膜的缺陷检查方法用于对卷成卷的层叠膜的缺陷进行检查,其特征在于,包括:层叠膜抽出过程,自材料卷抽出在膜主体的表面上粘贴有保护膜、在其里侧粘着面上粘贴有分离膜的层叠膜;分离膜剥离过程,在沿着规定路径引导被抽出的上述层叠膜,并且直到自层叠膜剥离上述分离膜为止,至少在剥离时刻使分离膜剥离面朝下;检查过程,在使上述分离膜剥离面朝下地输送层叠膜的同时检查是否有缺陷,将该检查信息存储在存储部件中;分离膜粘贴过程,在使检查完毕的上述膜主体的分离膜的剥离面朝下的状态下,将分离膜粘贴在该剥离面上;层叠膜回收过程,将上述膜主体的里面上粘贴有分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
作用和效果
采用该方法,从自材料卷抽出的层叠膜的里侧粘着面剥离分离膜,使粘着面露出的状态下的膜主体的里面朝下地将其引导。在该过程中,利用光学部件适当地检查是否存在微细的异物附着、压痕等缺陷。将检测出的缺陷产生位置等检查信息存储在存储部件中。在此,膜主体朝下是指粘着面不朝上的状态。因而,也包括以垂直姿态输送膜主体。
在这种情况,万一在检查处理空间中落下灰尘,也可以抑 制灰尘附着在里面朝下的膜主体的粘着面上。
之后,在检查完毕的膜主体的里面上粘贴分离膜而复原为原本那样的层叠膜,该层叠膜被卷成卷进行回收而形成检查完毕的材料卷。
在此,只要缩短分离膜剥离面的露出时间,就可以避免灰尘附着在该剥离面上。但是,在膜中存在除灰尘之外的异物附着、或者压痕等,为了高精度地识别它们,需要经过不同的检查方式例如透射方式、反射方式等多种检查工序。因此,分离膜剥离面的露出时间必然变长。因而,该方法在如上所述那样需要多个检查工序的情况下有效地发挥作用。
另外,通过将在检查过程中获得的检查信息存储在存储介质、通信部件的主机等中,可以在之后的处理工序、冲切加工工序中将其用作回避缺陷产生部位的信息。
第2发明是根据第1发明的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,还包括:保护膜剥离过程,自层叠膜剥离上述保护膜;检查过程,在沿着规定的膜行进路径引导被剥离了保护膜的层叠膜的同时、检查膜主体的表面是否存在缺陷,并将该检查信息存储在存储部件中;保护膜粘贴过程,在检查完毕的上述膜主体的表面上粘贴保护膜;在层叠膜回收过程中将在上述膜主体的表面上粘贴有保护膜、在上述膜主体的里面上粘贴有分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
作用和效果
采用该方法,从自材料卷被抽出的层叠膜剥离保护膜而露出膜主体的表面。利用光学部件适当地检查该膜主体的露出的表面是否存在缺陷,将检测出的缺陷的产生位置等检查信息存储在存储部件中。
另外,通过将在该检查过程中获得的检查信息存储在存储介质、通信部件的主机等中,可以在之后的处理工序、冲切加工工序中将其用作回避缺陷产生部位的信息。
第3发明是根据第2发明的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,在自上述膜主体剥离保护膜来进行检查之后,自膜主体的里面剥离分离膜来进行检查,在检查完毕的上述膜主体的表面粘贴保护膜、在上述膜主体的里面上粘贴分离膜之后,将层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
作用和效果
采用该方法,可以缩短膜的粘着面的露出时间。因而,可以更有效地抑制灰尘附着到粘着面上。
第4发明是根据第2或第3发明的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,包括这样的做标记过程,在经过被剥离了上述保护膜的膜主体的检查过程之后,对膜主体的缺陷检测部位施加标记。
作用和效果
采用该方法,可以容易地识别膜主体中的缺陷产生部位,之后工序中的目测检查等变得容易。
第5发明是根据第2~第4中的任一个发明的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,包括这样的数据记录过程,在上述分离膜粘贴过程及保护膜粘贴过程中的至少任一过程之后,对检查完毕的层叠膜中的表面或里面的适当部位附加检测出的缺陷部位的位置数据。
作用和效果
采用该方法,会针对每一个检查处理完毕的材料卷记录检查数据,在之后的工序中适当地使用读出器读取每一个材料卷的检查数据,从而可以最佳地进行避免使用缺陷产生部位的处 理。
第6发明是根据第2~第5中的任一个发明的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,在洁净室内至少进行上述检查过程。
作用和效果
采用该方法,可以在洁净的状态下准确地检查被剥离了保护膜及分离膜而表里露出的状态下的膜主体。换言之,可以在除去保护膜等所具有的光学特性的状态下高精度地进行检查。
第7发明是根据第6发明的层叠膜的缺陷检查方法,特征在于,相对于以纵向姿态行进的上述膜主体,使膜表面侧为气流的上风侧而对洁净室进行换气。
作用和效果
采用该方法,万一换气气流存在灰尘,也不必担心接触到膜主体的里侧粘着面,可以避免检查中的污损于未然。
第8发明是一种层叠膜的缺陷检查装置,该层叠膜的缺陷检查装置用于对卷成卷的层叠膜的缺陷进行检查,其特征在于,包括:层叠膜供给部件,供给在膜主体的表面上粘贴有保护膜、在其里侧粘着面上粘贴有分离膜的层叠膜;分离膜剥离部件,一边沿着规定路径引导自上述层叠膜供给部件抽出的层叠膜、一边自层叠膜剥离上述分离膜;检查部件,至少在上述分离膜的剥离时刻使分离膜剥离面朝下,在保持该状态来进行输送的同时检查是否有缺陷;存储部件,存储上述检查结果的信息;分离膜供给部件,向膜主体的里面抽出分离膜;分离膜粘贴部件,在使检查完毕的上述膜主体的分离膜的剥离面朝下的状态下,将被自分离膜供给部件抽出的分离膜粘贴在该剥离面上;层叠膜回收部件,将在上述膜主体的里面上粘贴有分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷。
作用和效果
采用该结构,可以较佳地实施上述第1发明。
另外,在上述结构中优选包括:保护膜剥离部件,自层叠膜剥离上述保护膜;检查部件,一边沿着规定的膜行进路径引导被剥离了保护膜的层叠膜、一边检查膜主体的表面是否存在缺陷;存储部件,存储上述检查结果的信息;保护膜供给部件,向膜主体的表面抽出保护膜;保护膜粘贴部件,将自保护膜供给部件抽出的保护膜粘贴在检查完毕的上述膜主体的表面上。
采用该结构,可以在除去自膜主体剥离的保护膜和分离膜所具有的光学特性的状态下检测缺陷。因而,可以谋求提高缺陷的检测精度。
另外,采用上述结构,也可以包括以下结构。
例如,上述装置包括做标记部件或数据记录部件;上述做标记部件根据保护膜剥离后的检查结果,对膜主体的缺陷检查部位施加标记;在粘贴上述分离膜或者粘贴保护膜中的至少任一个之后,上述数据记录部件对检查完毕的层叠膜的表面或里面的适当部位附加被检测出的缺陷部位的位置数据。
采用该结构,可以容易地目测识别膜主体中的缺陷产生部位。另外,在之后的工序中,可以适当地使用读出器读取每一个材料卷的检查数据。因而,在之后的工序中,可以较佳地进行避免使用缺陷产生部位的处理。
如上所述那样采用本发明的层叠膜的缺陷检查方法及其装置,可以高精度地检查卷成卷的层叠膜中的缺陷,根据通过检查获得的信息,易于在后工序中使用未产生缺陷的部位。
附图说明
图1是缺陷检查装置的整体侧视图。
图2是表示缺陷检查装置的前端侧的一部分的侧视图。
图3是表示缺陷检查装置的中间部分的侧视图。
图4是表示缺陷检查装置的后端侧的一部分的侧视图。
图5是表示层叠膜的一部分的立体图。
图6是表示检查过程的流程图。
附图标记说明
15、洁净室;f、膜主体;F、层叠膜(检查前);F’、层叠膜(检查完毕);p、保护膜;p’、保护膜;s、分离膜;s’、分离膜。
具体实施方式
下面,参照附图说明本发明的一个实施例。
图1表示实施本发明方法的缺陷检查装置整体,图2~图4放大表示缺陷检查装置的各部分。在该缺陷检查装置中,从图1中的右侧依次以纵列配置有保护膜回收部1、第1检查部2、层叠膜供给部3、分离膜回收部4、第2检查部5、分离膜粘贴部6、分离膜供给部7、做标记部8、保护膜粘贴部9、数据记录处理部10、层叠膜回收部11、保护膜供给部12、保护膜边部回收部13及保护膜用分离膜回收部14,并且,除保护膜回收部1之外的各部分配置在强制换气的洁净室15的内部。
另外,第1检查部2相当于本发明的保护膜剥离后的检查部件,层叠膜供给部3相当于层叠膜供给部件,第2检查部5相当于分离膜剥离后的检查部件,分离膜粘贴部6相当于分离膜粘贴部件,分离膜供给部7相当于分离膜供给部件,做标记部8相当于做标记部件,保护膜粘贴部9相当于保护膜粘贴部件,数据记录处理部10相当于数据记录部件,层叠膜回收部11相当于层叠膜回收部件,保护膜供给部12相当于保护膜供给部件。
根据图6所示的流程图对使用上述缺陷检查装置进行的层叠膜检查过程进行说明。
层叠膜抽出过程
如图2所示,在层叠膜供给部3中配备有承受台21和输送机22。可利用输送机22将架在架台23上并输入的材料卷R移载到承受台21上的规定位置。从承受台21上的材料卷R抽出层叠膜F,将其经由规定的行进路径导入到第1检查部2中。如图5所示,层叠膜F为3膜结合的层叠构造:在由偏振片构成的膜主体f表面上粘贴有保护膜p,并在膜主体f的里侧粘贴面上粘贴有分离膜s。
保护膜除去过程
返回到图2,以保护膜p朝下的姿态将层叠膜F导入到第1检查部2的下部,借助配置在地板面附近的剥离辊24剥离除去保护膜p。将被剥离的保护膜p导入到保护膜回收部1而利用卷取装置25将其卷成卷进行回收。另外,将被卷成卷回收的保护膜p移载到输出输送机26而将其输出。
第1检查过程
利用CCD照相机28监视被剥离除去保护膜p而仅粘贴有分离膜s的2层构造的层叠膜F(1)。在该过程中,检查膜主体f中露出的表面的防反射涂覆等表面处理的状态、及是否附着有异物等,将该检查数据与膜主体f在行进方向上的位置数据一同存储。
另外,在第1检查部2中设有可供作业人员监视膜行进路径的作业空间M,可以根据需要进行目测检查。
分离膜除去过程
被除去保护膜p而结束在第1检查部2中的检查后的层叠膜F(1)越过层叠膜供给部3及分离膜回收部4的上方而被输送到 图3所示的第2检查部5中。在第2检查部5的上部配备有剥离辊29,自被导入的层叠膜F(1)剥离分离膜s,将剥离的分离膜s导入到图2所示的分离膜回收部4中而用卷取装置30将其卷成卷进行回收。另外,将被卷成卷回收的分离膜s移载到搬出输送机31而将其输出。
第2检查过程
在进行剥离的同时,剥离除去分离膜s而表里露出的膜主体f被沿着纵向路径c向下方引导。在该路径c中,透光式(或者反射式)的监视装置32对纵向姿态的膜主体f起作用,检查在膜主体f中产生的、捻成压痕状那样的特殊形状缺陷即压痕、异物附着等缺陷,该压痕状是夹入了使膜表面发生光学畸变的异物而形成的。例如,利用透光式的监视装置可检查异物、线头、压痕缺陷、辉点等缺陷,利用反射式的监视装置可检查粘着物异物的附着、因粘着层所含有的气泡而产生的凹凸等缺陷。将这些多种检查数据与膜主体f在行进方向上的位置数据一同存储。
分离膜粘贴过程
将结束在第2检查部5中的检查后的膜主体f立即导入到分离膜粘贴部6中。一边将供给来的新的分离膜s’夹持在左右一对的夹持辊N1和输送辊之间输送、一边将分离膜s’粘贴在膜主体f的里侧粘贴面上。该分离膜s’可使用从填装在分离膜供给部7中的分离膜材料卷SR抽出的材料。另外,将分离膜材料卷SR移载并输入到输入输送机33上。
即,从自膜主体f剥离分离膜s到粘贴新的分离膜s’为止,粘着面都不会朝上。
做标记过程
使在检查完毕的膜主体f上仅粘贴分离膜s’而成的2层构造的层叠膜F(2)通过分离膜供给部7的上部而向后方输送,导 入到做标记部8。将导入到做标记部8的层叠膜F(2)以垂直姿态向下方行进引导,利用做标记装置34对其进行标记付与处理。
做标记装置34例如可使用喷墨式或者绘图式的装置,根据存储的检查数据对分离膜s’的外表面付与表示缺陷部位的标记。此时,也可以根据缺陷种类分颜色地做标记。
保护膜粘贴过程
如图3所示,将做标记处理完毕的层叠膜F(2)导入到保护膜粘贴部9中,将自图4所示的保护膜供给部12供给来的新的保护膜p’粘贴在层叠膜F(2)的膜主体f的表面上。
在保护膜供给部12中,借助架台35架设有将带有分离膜的保护膜sp卷成卷的保护膜材料卷PR。利用纵切剪机36切断自保护膜材料卷PR被抽出的带有分离膜的保护膜sp的膜两端边(以下简称为“边部”),借助引导辊37翻转引导带有分离膜的保护膜sp的两端边部sp’,用保护膜边部回收部13的卷取装置38将其卷成卷进行回收。
如图4所示,使切掉两端边部sp’而被调整成规定宽度的带有分离膜的保护膜sp越过保护膜供给部12、层叠膜回收部11及数据记录处理部10而将其输送到图3所示的保护膜粘贴部9中,借助配备在保护膜粘贴部9上部的剥离辊39翻转剥离分离膜st。利用夹持辊N2将刚刚被剥离除去该分离膜st之后的保护膜p’粘贴在从下方供给来的层叠膜F(2)的膜主体f的表面上。另外,如图4所示,被切掉了两端边部sp’的带有分离膜的保护膜sp贯穿具有转印辊组的除尘装置46,将附着残留在带有分离膜的保护膜sp切断端的切断屑转印除去。
如图4所示,被剥离的分离膜st通过数据记录处理部10、层叠膜回收部11、保护膜供给部12、保护膜边部回收部13的上 方而被输送到保护膜用分离膜回收部14,被卷取装置40卷成卷回收。另外,将被卷成卷回收的分离膜st移载到输出输送机41而将其输出。
数据记录过程
将在表里新粘贴有保护膜p’和分离膜s’而成为原本的3层粘贴构造的、检查完毕的层叠膜F’导入到数据记录处理部10中。将通过上述检查检测出的缺陷的产生位置变换为坐标数据,使其二维编码化而用记录装置42将其记录在层叠膜F’上。记录装置42例如用于每隔膜行进方向上的规定间距(例如500mm),利用激光烧焊记录数据(二维编码)。在层叠膜F’沿宽度方向被一分为三来使用的情况下,在其宽度方向上的3处分别记录分割宽度内的检查数据。另外,由于随着激光烧焊处理而产生尘埃,因此,记录装置42具有除尘功能。
在图4中,将层叠膜F’的表面作为记录面,成为在位于表面侧的保护膜p’上烧焊记录有数据的形态。但根据需要,也可以通过以图4中假想线所示的路径d引导层叠膜F’而形成将层叠膜F’的里面作为记录面的形态。在这种情况下,会在位于里面侧的分离膜s’上烧焊记录数据。
层叠膜回收过程
将检查及数据记录处理完毕的层叠膜F’导入到层叠膜回收部11中,将其在固定于承受台43上的架台44上卷成卷状进行回收,将卷成卷的检查完毕的材料卷R’连同架台44移载到输送机45上而将其输出到装置外。该输送机45配备在层叠膜回收部11与保护膜供给部12之间,也可用于输入保护膜材料卷PR。
另外,如图1所示,收纳该装置的洁净室15构成为,自配备在顶棚部的适当部位的送风部送入室内洁净空气,并自配备在地板面附近的适当部位的排风部将其排出,从而对室内进行 换气。特别是在膜主体f表里均露出的第2检查部5中,通过将以纵向姿态行进的膜主体f的表面侧设定为换气气流的上风侧,即使异物随着气流流动,也可避免其绕到附着在膜主体f的里侧粘着面。
在各处理部的适当部位设有如第1检查部2那样供作业人员出入的作业空间,可以由人力进行膜填装操作和各种保养。
如上所述,通过自层叠膜F剥离具有光学特性的保护膜p及分离膜s,用透射式及反射式的各监视装置检查缺陷部位,可以高精度地检测因双折射的影响等而无法检测的异物附着、压痕等缺陷。
另外,在自具有粘着层的层叠膜F(1)的里面剥离分离膜来进行检查时,在剥离的同时以粘着面不朝上的状态、例如纵向姿态输送膜主体f,从而可抑制灰尘附着在膜主体f上。特别是通过自非粘着面送入洁净空气,可以更进一步抑制灰尘等异物附着。
并且,粘贴于膜主体f的粘着面上的新的分离膜s’直到到达粘贴部位为止、以其粘贴面朝下的方式被输送,因此,可抑制灰尘附着在该面上。即,可抑制灰尘卷入到膜主体f和分离膜s’的界面上。
本发明并不限定于上述实施例,也可以如下地进行变形实施。
(1)在上述实施例中,对各材料卷R’逐一实施了检查数据的记录处理,但也可以将检查数据存储于适当器件,将其传送到之后的处理装置中的控制装置,根据各材料卷R’的个体识别读取其相应的检查数据来使用。
(2)记录装置42并不限定于激光烧焊式的构造,可以利用各种印刷方式的构造。
(3)在上述实施例中,也可以是自层叠膜F不剥离保护膜p、而仅剥离分离膜s的构造。因而,在上述实施例装置的第1检查部2中,通过预先设定为将保护膜p卷绕于剥离辊24而不剥离,可以实现该构造。换言之,对于仅剥离分离膜s而进行检查的膜主体f,在作各种标记之后将其卷成卷状进行回收。
工业实用性
如上所述,本发明适合高精度地检查层叠膜。
Claims (12)
1.一种层叠膜的缺陷检查方法,该层叠膜的缺陷检查方法用于对卷成卷的层叠膜的缺陷进行检查,其特征在于,
包括:
层叠膜抽出过程,自材料卷抽出在膜主体的表面上粘贴有保护膜、在膜主体的里侧粘着面上粘贴有分离膜的层叠膜;
分离膜剥离过程,在沿着规定路径引导被抽出的上述层叠膜,并且直到自层叠膜剥离上述分离膜为止,至少在剥离时刻使膜主体的分离膜的剥离面朝下;
检查过程,在使上述膜主体的分离膜的剥离面朝下地输送层叠膜的同时检查是否有缺陷,将该检查信息存储在存储部件中;
分离膜粘贴过程,在使检查完毕的上述膜主体的分离膜的剥离面朝下的状态下,将分离膜粘贴在该剥离面上;
层叠膜回收过程,将在上述膜主体的里侧粘着面上粘贴分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
2.根据权利要求1所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
还包括:
保护膜剥离过程,自层叠膜剥离上述保护膜;
检查过程,在沿着规定的膜行进路径引导被剥离了保护膜的层叠膜的同时、检查膜主体的表面是否存在缺陷,并将该检查信息存储在存储部件中;
保护膜粘贴过程,在检查完毕的上述膜主体的表面上粘贴保护膜;
在层叠膜回收过程中将在上述膜主体的表面上粘贴有保护膜、在上述膜主体的里侧粘着面上粘贴有分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
3.根据权利要求2所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
在自上述膜主体剥离保护膜来进行检查之后,自膜主体的里侧粘着面剥离分离膜来进行检查;
在检查完毕的上述膜主体的表面上粘贴保护膜、在上述膜主体的里侧粘着面上粘贴分离膜之后,将层叠膜卷成卷而形成检查完毕的材料卷。
4.根据权利要求2或3所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
包括这样的做标记过程,在经过被剥离了上述保护膜的膜主体的检查过程之后,对膜主体的缺陷部位施加标记。
5.根据权利要求2或3所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
包括这样的数据记录过程,在上述分离膜粘贴过程及保护膜粘贴过程中的至少任一过程之后,对检查完毕的层叠膜中的表面或里面的适当部位附加检测出的缺陷部位的位置数据。
6.根据权利要求2所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
在洁净室内进行上述检查过程。
7.根据权利要求6所述的层叠膜的缺陷检查方法,其特征在于,
相对于以纵向姿态行进的上述膜主体,使膜表面侧为气流的上风侧而对洁净室进行换气。
8.一种层叠膜的缺陷检查装置,该层叠膜的缺陷检查装置用于对卷成卷的层叠膜的缺陷进行检查,其特征在于,
包括:
层叠膜供给部件,供给在膜主体的表面上粘贴有保护膜、在其里侧粘着面上粘贴有分离膜的层叠膜;
分离膜剥离部件,一边沿着规定路径引导自上述层叠膜供给部件被抽出的层叠膜、一边自层叠膜剥离上述分离膜;
检查部件,至少在上述分离膜的剥离时刻使膜主体的分离膜的剥离面朝下,保持该状态来进行输送的同时检查是否有缺陷;
存储部件,存储上述检查结果的信息;
分离膜供给部件,向膜主体的里侧粘着面抽出分离膜;
分离膜粘贴部件,在使检查完毕的上述膜主体的分离膜的剥离面朝下的状态下,将被自分离膜供给部件抽出的分离膜粘贴在该剥离面上;
层叠膜回收部件,将在上述膜主体的里侧粘着面粘贴有分离膜而形成的检查完毕的层叠膜卷成卷。
9.根据权利要求8所述的层叠膜的缺陷检查装置,其特征在于,
包括:
保护膜剥离部件,自层叠膜剥离上述保护膜;
另一检查部件,一边沿着规定的膜行进路径引导被剥离了保护膜的层叠膜、一边检查膜主体的表面是否存在缺陷;
存储部件,存储上述检查结果的信息;
保护膜供给部件,向膜主体的表面抽出保护膜;
保护膜粘贴部件,将自保护膜供给部件抽出的保护膜粘贴在检查完毕的上述膜主体的表面上。
10.根据权利要求9所述的层叠膜的缺陷检查装置,其特征在于,
包括做标记部件,该做标记部件根据上述保护膜剥离后的检查结果,对膜主体的缺陷部位施加标记。
11.根据权利要求9或10所述的层叠膜的缺陷检查装置,其特征在于,
还包括数据记录部件,在粘贴上述分离膜或者粘贴保护膜中的至少任一个之后,该数据记录部件对检查完毕的层叠膜的表面或里面的适当部位附加所检测出的缺陷部位的位置数据。
12.根据权利要求9所述的层叠膜的缺陷检查装置,其特征在于,
至少将分离膜剥离后的检查部件配备在洁净室中。
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