KR20090117645A - 전기 시험 샘플 접촉용 전기 접촉 요소 및 접촉 장치 - Google Patents

전기 시험 샘플 접촉용 전기 접촉 요소 및 접촉 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기 접촉을 위한 두 단부 영역(2, 3) 및 이 단부 영역(2, 3) 사이에 위치하는 긴 중간 영역(4)을 포함하는, 전기 시험 샘플을 물리적으로 접촉하기 위한 긴 전기 접촉 요소(1)에 관련된다. 중간 영역(4)은 본질적으로 직사각형 단면을 갖고 그 길이 방향을 따라 박판으로 구성된다. 본 발명은 또한 대응하는 접촉 장치(22)에 관련된다.
Figure P1020090040005
전기 접촉 요소, 접촉 장치

Description

전기 시험 샘플 접촉용 전기 접촉 요소 및 접촉 장치{Electrical Contact Element for Contacting an Electrical Test Sample and Contacting Apparatus}
본 발명은 전기 접촉을 위한 두 단부 영역 및 이 단부 영역 사이에 위치하는 긴 중간 영역을 포함하는, 전기 시험 샘플을 물리적으로 접촉하는 긴 전기 접촉 요소에 관련된다.
이러한 형태의 접촉 요소는 스프링 접촉 프로브 또는 버클링 빔(buckling beam)의 형태로 알려져 있다. 이들은 접촉 요소 홀더에 의해 지지되고 전기 시험 샘플을 하나의 단부 영역 및 다른 단부 영역과 접촉시켜 전기 시험 장치와 접촉시키는 역할을 함으로써, 시험 전류 경로가 전기 시험 샘플에 생성되고 시험 장치가 무결점 전기 기능에 대해 시험 샘플을 시험할 수 있다. 스프링 접촉 프로브 또는 버클링 빔으로 구성된 공지의 접촉 요소는 원형 단면을 갖고 시험 샘플의 접촉 표면에 두었을 때 접촉력을 생성한다. 스프링 접촉 프로브의 경우, 접촉력은 나선형 스프링에 의해 작용되는 플런저(plunger)로 결정된다. 버클링 빔의 경우, 접촉력은 프로브 재료의 고유 탄성에서 생긴다. 버클링 빔은 접촉 절차에 의해 측면으로 아크 형태로 구부려지고 접촉 절차 이후 출발 위치로 되돌아간다. 시험 샘플의 조밀 화 및 전기 접촉 분리 감소로 인해, 점점 상술한 공지의 접촉 요소에 문제가 발생한다. 이는 작은 접촉 수단 분리가 통상적인 기술로는 달성될 수 없거나, 접촉 요소가 의도하지 않게 단락을 접촉 및 생성하게 함을 의미한다. 또한, 스프링 접촉 프로브 또는 버클링 빔의 단면은 공간적인 이유로 필연적으로 감소됨으로써 접촉력 감소와 함께 통전 용량이 감소된다. 작은 단면은 시험 전류가 특정 수치가 되도록 요구될 경우라도 연소를 초래할 수 있다. 가이드 구멍의 벽과 버클링 빔의 기계적 접촉은 그 바로 부근에서 열을 배출하기 때문에, 연소는 예를 들어 버클링 빔이 안내되는 가이드 구멍으로부터 일정한 거리에서 주로 일어나며, 가이드 영역으로부터 떨어진 곳에서는 일어나지 않는다.
따라서, 본 발명의 목적은 작지만 충분한 접촉력을 갖고, 큰 단면, 즉 큰 통전 용량을 제공하며, 특히 매우 작은 접촉 거리에서도 이용 가능한 상술한 형태의 전기 접촉 요소를 제공하는 것이다.
이 목적은 본 발명에 따라 중간 영역이 본질적으로 직사각형 단면을 갖고 그 길이 방향을 따라 박막으로 구성됨으로써 달성된다. 이러한 구성은 박막의 수에 의해 결정되는 큰 단면을 제공함으로써, 큰 시험 전류가 과열 없이 전달될 수 있다. 박막으로 인해, 양호한 탄성이 사용된 전기 전도 재료로 달성되기 때문에, 박막 구조는 충분히 작지만 양호한 접촉에 충분한 접촉력을 보장한다. 본 발명에 따라 긴 접촉 요소로, "수직 접촉"이 달성되며, 이는 접촉 요소가 접촉 평면에 대략 수직으로 배향되고 접촉시에 측부로 휘어질 수 있음을 의미한다. 직사각형 단면은 높은 통전 용량과 함께 접촉 요소 배열을 위한 매우 조밀한 패턴을 허용하고, 박판 중간 영역은 용이한 휨을 가능하게 하며, 그럼에도 불구하고 충분한 접촉력을 제공한다. 본 발명에 따른 접촉 요소의 형태는 접촉 수단과 시험 샘플, 특히 웨이퍼의 접촉을 40 ㎛ 이하로 분리 가능하게 한다. 중간 영역의 직사각형 단면은 외부 단면 윤곽이 이러한 형태를 가짐을 의미하며, 내부적으로 위치한 박판의 구조가 고려되지 않았음을 의미한다. 본원에서 직사각형 단면이 언급된 경우, 접촉 요소의 어느 부분에 이 단면이 해당하는 지와 상관없이, 정사각형 단면이 항상 포함된다.
본 발명의 일 태양에서, 박판 중간 영역은 중간 영역의 길이 방향으로 연장되는 적어도 2개의 박판을 포함한다. 바람직하게는, 긴 접촉 요소의 길이 방향으로 연장되는 2개 이상의 박판이 제공된다. 특히, 박판은 직선 또는 곡선 경로를 갖는 것과 상관없이 본질적으로 서로 평행하게 연장된다.
바람직하게는, 인접하는 박판은 그들 사이에 적어도 하나의 길이방향 슬롯을 가지며, 이는 박판이 적어도 하나의 길이방향 슬롯에 의해 서로 분리되거나 떨어져 있음을 의미한다. 시험 샘플의 접촉 중에, 접촉 요소의 휨이 일어날 경우, 인접하는 박판은 길이방향 슬롯에 의해 형성된 간격 감소로 인해 적어도 부분적으로 서로 접촉할 수 있어서, 더 이상 간격은 없지만, 이들 사이에 여전히 분리가 있다.
본 발명의 다른 태양에 따르면, 접촉 요소는 단편형 접촉 몸체를 갖는다. 따라서, 두 단부 영역 및 박판을 포함하는 중간 영역은 단편으로 구성된다.
선택적으로, 접촉 요소가 적어도 하나의 접촉부의 영역에서 접촉 인서트를 구비하는 다편형 접촉 몸체를 갖는 것도 가능하다. 접촉 인서트는 전기 접촉을 위해 제공되고 예를 들어 특히 양호한 전기 전도 물성을 갖는 재료로 만들어질 수 있으며, 접촉 몸체 영역의 나머지에 다른 재료가 사용된다.
특히, 접촉 요소는 길이 L, 폭 B 및 두께 D를 갖는다. 접촉 요소의 길이 L은 그 폭 B보다 큰 것이 바람직하다. 바람직하게는 접촉 요소의 폭 B는 그 두께 D보다 클 수 있다. 바람직하게는, 접촉 요소는 본질적으로 스트립 형상, 특히 접촉 스트립으로 구성된다.
본 발명의 또 다른 태양에 따르면, 박판은 각각 길이 l, 폭 b 및 깊이 t를 갖는다. 바람직하게는 박판의 길이 l은 그 폭 b보다 크다. 특히, 박판의 폭 b는 그 깊이 t보다 클 수 있다.
상술한 바와 같이, 중간 영역의 단면은 본질적으로 직사각형이다. 특히, 전체 접촉 요소가 본질적으로 직사각형 단면을 가져서, 두 단부 영역 또한 직사각형 단면으로 구성될 수 있지만, 하나의 단부 영역, 중간 영역 및 다른 단부 영역의 직사각형 단면은 동일한 크기 또는 동일한 형태를 가질 필요는 없다.
특히 바람직하게는, 적어도 하나의 박판의 단면은 본질적으로 직사각형으로 구성된다. 바람직하게는 모든 박판이 직사각형 단면을 갖는다.
접촉 요소의 두께 D는 적어도 하나의 박판의 폭 b, 바람직하게는 모든 박판의 폭 b에 대응해서, 박판 또는 박판들의 폭 b는 접촉 요소의 두께 D에 의해 결정되도록 설계될 수 있다.
접촉 요소는 바람직하게는 탄성 재료로 구성된다. 이는 접촉 중에 휨이 특히 잘 이루어지도록 한다. 접촉 요소가 접촉 후, 즉 비장착 상태에서 원래의 형태로 되돌아가는 것이 항상 보장된다.
본 발명의 일 태양에 따르면, 바람직하게는 느슨한 비접촉 상태 및/또는 팽팽한 접촉 형태에서, 박판은 적어도 하나의 아크를 포함하는 아치 형태를 갖는다. 그 결과, 박판이 비장착 상태에서 아치 형태를 갖고, 접촉할 때 더 강하게 아치를 이루도록, 접촉 요소는 "미리 휘어질" 수 있다. 선택적으로, 미리 휘어짐이 없지만, 박판이 장착시 휘어지고 그 후에만 아치 형태를 이룰 수 있다.
특히 바람직하게는, 아치 형태의 적어도 하나의 아크는 접촉 요소의 길이 L 및 폭 B에 의해 정의되는 평면에 놓인다. 이럴 경우 모든 박판이 비슷하게, 즉 동일한 방향으로 휘어지는 이점이 있다. 이는 인접하는 접촉 요소에도 적용되어서, 인접하는 접촉 요소의 상호 접촉 및 이에 따른 전기 단락이 방지된다. 상기 정의에 따르면, 각 박판은 최소 치수, 즉 깊이 t로 휘어지며, 이는 전체 중간 영역이 접촉 요소의 두께 D보다 크게 구성되는 폭 B로 휘어짐을 의미한다.
본 발명의 다른 태양에 따르면, 박판의 단면적 및/또는 단면 형태는 그 길이 방향에 걸쳐 변한다. 또한, 선택적으로, 각 박판의 단면적 및/또는 단면 형태는 서로 다른 것도 가능하다.
본 발명의 또 다른 태양에 따르면, 하나의 단부 영역, 특히 시험 샘플쪽 단부 영역은 접촉 요소의 폭 B에 대하여 중심에서 벗어난 제1접촉부를 갖는다. 특히, 단부 영역의 전체 또는 그 대부분이 접촉 요소의 폭 B에 대하여 중심에서 벗어나게 놓일 수 있다. 이러한 중심에서 벗어난 위치는 정해진 방향으로 휨을 일으켜서, 이에 따라 휨 방향이 미리 결정된다.
다른 실시 태양에 따르면, 다른 단부 영역은 중심에 위치하는 제2접촉부를 가질 수 있다. 특히, 이는 시험 샘플과 멀리 마주하는 단부 영역을 포함한다.
제1 및/또는 제2접촉부는 양쪽에서 가늘어지는 접촉 팁을 갖는 것이 유리하다. 이는 특히 접촉 중에 선형 접촉 또는 본질적으로 직사각형 접촉 표면을 제공한다.
본 발명의 다른 태양에 따르면, 접촉 요소는 2개의 길이방향 측면을 갖고 이 중 하나는 엘보우 형태를 가져서 하나의 단부 영역의 측부 치우침을 발생시킨다. 이는 특히 상술한 제1접촉부의 중심에서 벗어낫 위치를 초래한다.
하나의 길이방향 측면의 엘보우 형태는 특히 지지 단차를 형성한다. 이는 접촉 요소 홀더에서 접촉 요소를 지지하여 그로부터 미끄러져 나갈 수 없도록 한다.
접촉 요소는 바람직하게는 전기 절연 코팅 및/또는 접촉 코팅을 구비하는 일 부분을 포함한다. 접촉 코팅은 예를 들어 융해에 의해 접촉 요소와 결합하는 재료로 만들어질 수 있다.
적어도 하나의 단부 영역은 아치 형태의 아크 반대편으로 향하는 만곡부 및/또는 경사부를 갖는 것이 유리하다. 이에 의해, 접촉 요소가 시험 샘플에 위치할 때, 접촉 과정에서 접촉 요소의 길이방향으로의 탄성 휨 중에, 상기 단부 영역은 접촉 부위에 대하여 스크래칭 운동으로 나타나는 경사 운동을 수행해서, 접촉 표면이 더러워지고/또는 산화물 층을 갖더라도, 특히 양호한 전기 접촉이 달성될 수 있다.
적어도 하나의 단부 영역, 특히 중심에서 벗어난 단부 영역은 본질적으로 직사각형 단면을 갖는 것이 유리하다. 이 단면은 바람직하게는 역시 직사각형 단면을 갖는 가이드 홀/가이드 구멍과 협력한다. 이는 이하에서 더욱 상세하게 설명될 것이다.
본 발명은 또한 상술한 바와 같은 적어도 하나의 접촉 요소, 및 서로 일정한 간격을 두고 배치되는 접촉 요소용 적어도 2개의 가이드를 포함하되, 이 중 하나는 접촉 요소가 관통하는 적어도 하나의 가이드 구멍을 갖는 접촉 요소 홀더를 포함하는 전기 접촉 장치에 관련된다. 두 가이드는 특히 가이드 플레이트로 구성될 수 있 는데, 접촉 요소는 두 단부 영역 모두에서 가이드에 의해 지지되며, 모두 또는 적어도 하나의 단부 영역은 대응하는 가이드 구멍을 관통한다.
상술한 바와 같이, 바람직하게는 적어도 하나의 가이드 구멍은 본질적으로 직사각형 단면을 갖는다. 직사각형 단부 영역은 직사각형 가이드 구멍에서 매우 작게만 움직이게 놓이도록 설계됨으로써, 가이드 구멍에 접촉 요소를 삽입하는 것이 가능하고, 또한 접촉할 때 및 접촉을 해제할 때 움직임이 가능하다.
직사각형 단면을 갖는 가이드 구멍은 바람직하게는 4개의 가이드 구멍 벽을 가지며, 이 중 제1가이드 구멍 벽은 제2가이드 구멍 벽 반대편에 놓인다.
특히, 느슨한 비접촉 상태에서, 접촉 요소의 길이방향 측면 중 하나는 제1가이드 구멍 벽의 제1부분과 맞닿고 접촉 요소의 다른 길이방향 측면은 제2가이드 구멍 벽의 제2부분과 맞닿도록 접촉 요소가 가이드 구멍에 지지되며, 두 부분은 축방향으로 서로 떨어져 있다. "축방향으로"란 말은 접촉 요소의 길이 방향과 관련된 것으로 이해되어야 한다. 시험 샘플이 접촉 요소와 접촉할 때, 접촉 요소는 팽팽해지고 그에 따라 접촉 상태가 만들어지며, 가이드 구멍에 안내되어, 느슨한 상태에서 제1가이드 구멍 벽의 제1부분과 이미 맞닿아 있는 길이방향 측면은 이제 제1가이드 구멍 벽의 제3부분과 맞닿고 제2가이드 구멍 벽의 제2부분과 이미 맞닿아 있는 접촉 요소의 길이방향 측면은 이제 제2가이드 구멍 벽의 제4부분과 맞닿는다. 이로부터, 접촉 중에 접촉 요소의 경사 운동이 가이드 구멍의 영역에서 일어나고, 그 결과 상술한 스크래칭 운동이 일어나서, 접촉부가 시험 샘플의 접촉 표면을 따라 스크래치하고 이에 따라 매우 낮은 저항의 전기 연결 경로를 생성한다. 느슨한 비접촉 상태에서 접촉요소는 상술한 가이드 구멍 벽과의 맞닿음으로 인해 정해진 위치를 취하고 팽팽한 접촉 상태에서 정해진 단부 위치가 다시 취해져서, 일어나는 경사 운동이 재현 가능하게 제한된다. 접촉 과정과 관련하여, 이 경사 운동은 전기 접촉을 제공하는 역할을 하는 접촉부가 접촉 가장자리에 대하여 기울어지는 "가장자리 변화"를 수반해서, 특히 양호한 접촉 결과가 얻어진다. 수반되는 구성요소의 매우 작은 치수로 인해 그리고 시험 샘플에서의 극히 작은 접촉 분리로 인해, 스크래칭 운동은 단지 미시적으로는 작지만, 이는 양호한 전기 결과를 위해서는 매우 충분한 것이다.
본 발명은 실시 태양을 참조하여 더욱 상세하게 기술될 것이다.
본 발명은 작지만 충분한 접촉력을 갖고, 큰 단면, 즉 큰 통전 용량을 제공하며, 특히 매우 작은 접촉 거리에서도 이용 가능한 전기 접촉 요소를 제공한다.
도 1은 전기 시험 샘플과 접촉하게 하는 긴 전기 접촉 요소(1)를 도시한 것이다. 접촉 요소(1)는 두 단부 영역(2 및 3) 및 이들 사이에 놓이는 긴 중간 영역(4)을 갖는다. 두 단부 영역(2 및 3) 또한 길게 구성된다. 따라서, 전체적인 접촉 요소는 양쪽 화살표(5)로 표시되는 길이 범위를 갖는다.
접촉 요소(1)는 단편으로 구성된다. 접촉 요소는 단편 접촉 몸체(6)를 포함한다. 접촉 요소(1)는 두 긴 측면(7, 8), 정면(9) 및 정면 반대편에 있는 후면(10)을 갖는다. 접촉 요소는 길이 L, 폭 B 및 두께 D를 갖는다(도 2). 긴 형태로 인해, 접촉 요소(1)는 본질적으로 접촉 스트립(11)으로 구성된다. 특히, 이러한 구성으로 인해, 길이 L은 폭 B보다 크고 폭 B는 두께 D보다 크다.
도면에 도시된 바와 같이, 중간 영역(4)은 박판으로 구성되는데, 이는 길이 방향으로(양쪽 화살표(5)) 연장되는 박판(12)을 가짐을 의미한다. 박판(12)은 (이하 상세하게 검토되겠지만, 이들은 아치 형태를 가짐에도 불구하고) 바람직하게는 서로 평행하다. 인접하는 박판(12)은 길이방향 슬롯(13)에 의해 서로 각각 분리된다. 바람직하게는 박판(12)은 길이 l(도 1), 폭 b 및 깊이 t를 갖도록 설계된다. 길이 l은 폭 b보다 크다. 폭 b는 깊이 t보다 크다(도 2). 도 2에서 명백하듯이, 박판(12)의 폭 b는 접촉 요소의 두께 D와 동일한다. 다른 태양에서(미도시), 박판(12)들 또는 박판(12) 중 하나의 폭 b는 접촉 요소(1)의 두께 D보다 크거나 작다. 박판(12)의 폭 b는 10 ㎛ 내지 100 ㎛의 범위, 특히 30 ㎛일 수 있고, 깊이 t는 10 ㎛ 내지 50 ㎛의 범위, 특히 20 ㎛일 수 있다. 도시된 실시 태양에서, 접촉 요소(1)는 4개의 박판(12)을 포함하며, 이들 사이에 3개의 길이방향 슬롯(13)이 배열된다. 물론, 다른 수의 박판(12)을 제공하는 것도 가능하다. 박판의 최저 수는 2개이다.
접촉 요소(1)의 길이방향 측면(7)은 엘보우 형태를 가져서, 단부 영역(2)의 측부 치우침을 초래한다. 엘보우는 도 1에서 부호 14로 표시된다. 엘보우(14)로 인해, 단부 영역(2)은 중심에서 벗어나 연장되며, 이는 단부 영역(2)이 정면(9)의 길이 중심에 대하여 측부적으로 치우쳐 있음을 의미한다. 단부 영역(2)은 제1접촉부(16)를 포함하고 단부 영역(3)은 제2접촉부(17)를 포함한다.
제1 및 제2접촉부(16, 17)는 각각 접촉 팁(18, 19)로 구성된다. 접촉 팁(18, 19)의 길이방향 날은 접촉 요소(1)의 두께 D 방향으로 연장된다. 엘보우(14)로 인해, 단부 영역(2)은 중심에서 크게 벗어나며, 제2접촉부(17)는 접촉 요소(1)의 폭 B에 대하여 중심에 놓인다.
전체 접촉 요소(1)는 직사각형 단면을 갖는다. 이는 (전체 윤곽으로 봐서) 각 박판(12) 뿐만 아니라 단부 영역(2), 단부 영역(3) 및 중간 영역(4)에 모두 적용된다. 선택적으로는, 원형 형태와 같은 다른 단면 형태도 가능하다.
도 1에서 명백하듯이, 접촉 요소(1)는 도시된 비장착 상태에서 직선으로 연장되지 않고, 오히려 아크(20)를 갖고 따라서 아치 형태(21)를 갖는다. 따라서, 각 박판(12)은 아크로 연장된다. 단부 영역(2)은 도 1에서 아크(20) 반대편으로 향하는 α 각도로 표시된 경사부를 가짐을 볼 수 있다. 이는 중간 영역(4)으로의 단부 영역(2)의 연결이 기재된 바와 같이 중심에서 벗어나 있음에도 불구하고, 제1접촉부(16)가 폭 B에 거의 중심으로 놓임을 의미한다.
접촉 요소(1)는 탄성, 전기 전도성 재료로 구성된다.
도 3에서 명백하듯이, 접촉 요소(1)는 장착 상태에서 더욱 심하게 휘어져서, 비장착 상태(도 3의 좌측)의 이전 굴곡이 장착 상태(도 3의 우측), 즉 전기 시험 샘플과 접촉한 상태(미도시)에서 증가한다. 각 박판(12)은 접촉 요소(1)의 정면(9) 및/또는 후면(10)에 평행하게 놓이는 평면에서 휘어진다.
도 4는 적어도 하나의 접촉 요소(1) 및 접촉 요소 홀더(23)를 포함하는 접촉 장치(22)를 도시한다. 도 4에서, 동일한 조립체가 접촉 요소(1)를 접촉 요소 홀 더(23)에 삽입하는 과정을 도시하기 위해 연속적으로 3번 도시된다. 접촉 요소 홀더(23)는 가이드 플레이트(25)의 형태로 가이드(24)를 포함함이 명백하다. 가이드(24)는 직사각형 단면을 갖는 가이드 구멍(26)을 포함하며, 이 직사각형 단면은 본질적으로 접촉 요소(1)의 단부 영역(2)의 직사각형 단면에 맞도록 형성됨으로써, 단부 영역(2)이 가이드 구멍(26)에 위치할 때 작은 정도의 움직임만이 존재한다. 도 4에는 도시되지 않았지만, 특히 다른 단부 영역(3)도 가이드(24)에서 안내될 수 있다.
도 4의 각 도면은 접촉 요소 홀더(23)로의 접촉 요소(1)의 삽입을 도시하며, 접촉 요소는 그 단부 영역(3)에서 지지된다(미도시). 단부 영역(2)의 정면 팁 영역이 처음으로 가이드 구멍(26)에 약간 삽입됨으로써 삽입이 일어난다. 단부 영역(2)은 경사부(α 각도)를 가지므로, 단부 영역(2)의 길이방향 측면(7 및 8)은 가이드 구멍(26)의 제1 및 제2 가이드 구멍 벽(28 및 29)과 평행하게 연장되도록, 화살표(27)로 표시된 (도 4의 가운데 도면), 느슨한 형태에서 접촉 요소(1)를 더욱 휘게 할 필요가 있다. 단부 영역(2)은 가이드 구멍(26)으로 충분히 멀리 밀어 넣어져서 도 4의 우측 도면에 도시된 것처럼 접촉부(16)가 가이드(24) 아래쪽으로 양호하게 연장된다. 이후 아크가 감소하도록(화살표 (30)) 접촉 요소(1)는 약간 느슨해져서, 약간의 예압이 가이드 구멍(26)에 가해진다. 이러한 방식으로 장착되는 접촉 요소(1)는 도 4의 우측 도면에 도시된 것처럼, 길이방향 측면(8)은 제1가이드 구멍 벽(28)의 일 부분(31)과 맞닿고 접촉 요소(1)의 다른 길이방향 측면(7)은 제2가이드 구멍 벽(29)의 일 부분(32)과 맞닿도록 가이드 구멍(26)에 놓이며, 두 부분(31, 32)은 서로 축방향 간격 a를 갖는다.
접촉하는 경우, 접촉부(16)가 전기 시험 샘플(미도시)과의 접촉을 위해 압착될 경우(압착력(33)), 박판(12)은 휘어지거나 더욱 강하게 휘어져서, 단부 영역(2)은 가이드 구멍(26)에서 기울어짐으로써, 느슨한 상태에서(도 4의 우측 도면) 제1가이드 구멍 벽(28)의 일 부분(31)과 이미 맞닿아 있는 길이방향 측면(8)은 이제 제1가이드 구멍 벽(28)의 다른 부분(34)과 맞닿고 제2가이드 구멍 벽(29)과 일 부분(32)에서 이미 맞닿아 있는 길이방향 측면(7)은 이제 제2가이드 구멍 벽(29)의 다른 부분(35)과 맞닿도록 팽팽한 접촉 상태에서 접촉 요소(1)의 단부 영역(2)이 가이드 구멍(26)에 지지된다. 두 부분(34 및 35) 또한 서로 축방향 간격 a를 갖는다. 가장자리의 변화가 효과적으로 일어난다. 이러한 가장자리의 변화로 인해, 제1접촉부(16)는 화살표(36)의 방향으로 변위해서, 전기 시험 샘플의 접촉 위치(미도시)에서 스크래칭 운동이 일어난다. 이는 접촉 시에 오물이 제거되고 산화 가능한 부분이 제거될 수 있게 함으로써, 매우 양호한 전기 접촉이 달성된다.
본 발명에 따르면, 접촉 요소(1)는 다수의 배열된 스트립의 직사각형 단면 박판(12)을 포함한다. 박판(12)은 접촉 요소(1)의 휨 운동 합력이 각 박판(12)의 것과 대응하도록 서로 연결된다. 접촉 중에 휨을 용이하게 하기 위해, 접촉 요소는 약간 미리 휘어지게 구성된다. 동반되는 비중심력이 가해짐에 따라, 특히 접촉 요소의 폭 B에 대하여 단부 영역(2)의 중심에 대한 치우침 및 상술한 약간의 이전 휨으로 인해, 접촉 요소(1)의 현저한 휨 거동이 미리 결정된다. 접촉 요소(1)는 단부 영역(2)에서 좁기 때문에, 지지 단차(15)로 인해 지지 효과가 가이드(24)에서 생성 된다. 만곡부(아크(20))의 반대편에 있는 단부 영역(2)의 경사부는 다음의 효과를 초래한다: 가장자리의 정해진 접촉(도 4와 관련)은 위치 정확성을 야기한다; 가이드(24)에서 약간의 클램핑을 야기하여 그 결과 위쪽으로(뒷쪽으로) 틀어짐을 방지한다; 휨(접촉) 중에, 가장자리 변화가 일어나고 팁(접촉부(16))은 문지름(scrub)을 수행한다; 조립시에, 접촉 요소(1)는 약간 휘어지고 이에 의해 단부 영역(2)은 가이드 구멍(26)과 평행하게 스스로 배향되고 이는 장착을 용이하게 한다.
박판(12)은 큰 단면을 허용하여 낮은 전기 저항을 보장한다. 동시에, 낮은 접촉력을 가진 평탄한 설계가 제공된다. 시험 샘플에서 매우 밀접하게 배열된 접촉이 예를 들어 적어도 40 ㎛ 피치로 수행되는 것이 가능하다. 전체 길이 L은 예를 들어 3.5 mm일 수 있다. 접촉력을 약 27 mN이다. 전기 저항은 약 0.3 Ohm이다.
도 1은 접촉 요소의 평면도를 도시한 것이고,
도 2는 시험 샘플에 배치될 수 있는 도 1의 접촉 요소의 단부 영역을 도시한 것이며,
도 3은 느슨한 비접촉 상태 및 팽팽한 접촉 상태에 있는 도 1의 접촉 요소를 도시한 것이고,
도 4는 접촉 요소를 접촉 장치에 삽입하는 과정을 3단계로 도시한 것이다.

Claims (34)

  1. 전기 시험 샘플을 물리적으로 접촉하기 위한 긴 전기 접촉 요소로서, 전기 접촉을 위한 두 단부 영역 및 이 단부 영역 사이에 위치하는 긴 중간 영역을 포함하며, 중간 영역(4)이 본질적으로 직사각형 단면을 갖고 그 길이 방향을 따라 박판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 긴 전기 접촉 요소.
  2. 제1항에 있어서, 박판 중간 영역(4)이 중간 영역의 길이 방향으로 연장되는 적어도 2개의 박판(12)을 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 인접하는 박판(12)이 적어도 하나의 길이방향 슬롯(13)에 의해 서로 분리되거나 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 단편형 접촉 몸체(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 적어도 하나의 접촉부(16, 17)의 영역에서 접촉 인서트를 갖는 다편형 접촉 몸체(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 길이 L, 폭 B, 두께 D를 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소(1)의 길이 L이 그 폭 B보다 큰 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소(1)의 폭 B가 그 두께 D보다 큰 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 본질적으로 접촉 스트립(11)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)이 각각 길이 l, 폭 b, 깊이 t를 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)의 길이 l이 그 폭 b보다 큰 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)의 폭 b가 그 깊이 t보다 큰 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소의 단면이 본질적으로 직사각형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 박판(12)의 단면이 본질적으로 직사각형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소의 두께 D가 적어도 하나의 박판(12)의 폭 b를 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 탄성 재료로 만들어진 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)이 느슨한 비접촉 상태 및/또는 팽팽한 접촉 상태에서 적어도 하나의 아크(20)를 포함하는 아치 형태(21)를 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  18. 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 아치 형태(21)의 적어도 하나의 아크(20)가 접촉 요소(1)의 길이 L 및 접촉 요소(1)의 폭 B에 의해 정의되는 평면에 놓이는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  19. 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 하나의 박판(12)의 단면적 및/또는 단면 형태가 그 길이 방향에 걸쳐 다른 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  20. 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)의 단면적 및/또는 단면 형태가 서로 다른 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  21. 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 하나의, 특히 시험 샘플쪽 단부 영역(2)이 접촉 요소(1)의 폭 B에 대하여 중심에서 벗어나게 놓인 제1접촉부(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  22. 제1항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 다른 단부 영역(3)이 접촉 요소(1)의 폭 B에 대하여 중심에 놓인 제2접촉부(17)를 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  23. 제1항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 및/또는 제2접촉부(16, 17)가 양쪽에서 가늘어지는 접촉 팁(18, 19)을 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  24. 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서, 접촉 요소가 2개의 길이방향 측 면(7, 8)을 포함하고 이 중 하나가 엘보우 형태를 가져서 하나의 단부 영역(2)의 측부 치우침이 형성되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  25. 제1항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 하나의 길이방향 측면의 엘보우 형태로 인해, 지지 단차(15)가 형성되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  26. 제1항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 부위에 전기 절연 코팅 및/또는 접촉 코팅이 제공되는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  27. 제1항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 단부 영역(2, 3)이 아치 형태(21)의 아크(20)의 반대편으로 향하는 만곡부 또는 경사부를 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  28. 제1항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 단부 영역(2, 3), 특히 중심에서 벗어나게 놓인 단부 영역(2)이 본질적으로 직사각형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  29. 제1항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서, 박판(12)이 다른 길이 L 및/또는 다른 아치 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 요소.
  30. 제1항 내지 제29항 중 하나 이상의 항에 따른 적어도 하나의 접촉 요소(1)를 포함하고 접촉 요소(1)에 대해 서로 떨어져 배치되는 적어도 2개의 가이드(24)를 갖는 접촉 요소 홀더(23)를 포함하며, 가이드(24) 중 적어도 하나가 접촉 요소(1)가 관통하는 적어도 하나의 가이드 구멍(26)을 포함하는 전기 접촉 장치.
  31. 제30항에 있어서, 적어도 하나의 가이드 구멍(26)이 본질적으로 직사각형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 접촉 장치.
  32. 제30항 또는 제31항에 있어서, 직사각형 단면을 갖는 가이드 구멍(26)이 4개의 가이드 구멍 벽을 포함하고 이 중 제1가이드 구멍 벽(28)이 제2가이드 구멍 벽(29)의 반대편에 놓이는 것을 특징으로 하는 접촉 장치.
  33. 제30항 내지 제32항 중 어느 한 항에 있어서, 느슨한 비접촉 상태에서, 접촉 요소(1)의 길이방향 측면(8, 7) 중 하나가 제1가이드 구멍 벽(28)의 일 부분과 맞닿고 접촉 요소(1)의 길이방향 측면(7, 8) 중 다른 하나가 제2가이드 구멍 벽(29)의 일 부분과 맞닿도록 접촉 요소(1)가 가이드 구멍(26)에 지지되며, 두 부분이 축방향으로 서로 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 접촉 장치.
  34. 제30항 내지 제33항 중 어느 한 항에 있어서, 팽팽한 접촉 상태에서, 느슨한 상태에서 제1가이드 구멍 벽(28)의 일 부분과 이미 맞닿아 있는 길이방향 측면(8, 7)이 이제 제1가이드 구멍 벽(28)의 다른 부분과 맞닿고 제2가이드 구멍 벽(29)의 일 부분과 이미 맞닿아 있는 접촉 요소(1)의 길이방향 측면(7, 8)이 이제 제2가이드 구멍 벽(29)의 다른 부분과 맞닿도록 접촉 요소(1)가 가이드 구멍(26)에 지지되는 것을 특징으로 하는 접촉 장치.
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