KR20160030536A - 전기적 도전성 가이드 플레이트들 사이의, 신호 통과 경로들 및 이차 경로들을 갖는 다경로 전기적 프로브 및 프로브 어셈블리들 - Google Patents

전기적 도전성 가이드 플레이트들 사이의, 신호 통과 경로들 및 이차 경로들을 갖는 다경로 전기적 프로브 및 프로브 어셈블리들 Download PDF

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Abstract

다중 도전 경로 프로브는 제1 접촉 단부로부터 제2 접촉 단부까지의 전기적 도전성 신호 경로를 제공할 수 있다. 프로브는 또한 전기적 도전성 이차 경로 및 신호 경로와 이차 경로 사이의 전기적 절연된 갭을 포함할 수 있다. 갭은 비교적 작으므로 프로브에 낮은 루프 인덕턴스를 제공한다. 프로브 어셈블리는 실질적으로 평행한 전기적 도전성 가이드 플레이트들 내의 통로들 내에 배치된 복수의 그러한 프로브들을 포함할 수 있다. 프로브들 각각의 신호 경로는 양 가이드 플레이트들과 전기적으로 절연될 수 있지만, 각각의 프로브의 이차 경로는 가이드 플레이트들 중 하나 또는 양쪽에 전기적으로 연결될 수 있다. 일부 구성들에서, 프로브 어셈블리는 도전성 가이드 플레이트들의 통로들 내에 배치되고 가이드 플레이트들 중 하나 또는 양쪽에 전기적으로 연결된 하나 이상의 이차 프로브를 포함할 수 있다. 일부 구성들에서, 프로브 어셈블리는 그 모두가 실질적으로 평행한 가이드 플레이트들을 통하는 통로들 내에 배치된 실질적으로 동일한 형상 및/또는 구성인 프로브들을 포함할 수 있다. 프로브들 중 일부는 가이드 플레이트들과 전기적으로 절연되어 신호 경로들을 제공할 수 있고, 프로브들 중 다른 일부는 가이드 플레이트들과 전기적으로 연결되어 이차 경로들을 제공할 수 있다. 프로브 어셈블리들의 전술한 유형들 중 어떤 것은 프로브 카드 어셈블리, 로드 보드 등과 같은 검사 접촉기의 일부일 수 있다.

Description

전기적 도전성 가이드 플레이트들 사이의, 신호 통과 경로들 및 이차 경로들을 갖는 다경로 전기적 프로브 및 프로브 어셈블리들{MULTIPATH ELECTRICAL PROBE AND PROBE ASSEMBLIES WITH SIGNAL PATHS THROUGH AND SECONDARY PATHS BETWEEN ELECTRICALLY CONDUCTIVE GUIDE PLATES}
전자 디바이스 검사 대상(device under test; DUT)과 접촉하고 전자 디바이스 검사 대상에 검사 신호들을 제공하고 전자 디바이스 검사 대상으로부터의 결과 신호들을 감지하기 위한 검사 프로브의 인덕턴스(예를 들어, 루프 인덕턴스)는 DUT상에서 수행되는 검사들에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 인덕턴스는 검사 신호들이 DUT에 제공될 수 있는 주파수에 영향을 줄 수 있다. 본 발명의 일부 실시예들은 검사 프로브들의 루프 인덕턴스와 같은 인덕턴스를 감소시킬 수 있는 검사 프로브들에 대한 개선들을 제공한다.
일부 실시예들에서, 다경로 프로브는 전기적 도전성 제1 접촉 단부 및 전기적 도전성 제2 접촉 단부를 포함할 수 있다. 프로브는 또한 전기적 도전성 신호 경로 및 전기적 도전성 이차 경로를 포함할 수 있다. 신호 경로는 제1 접촉 단부와 제2 접촉 단부 사이에 있을 수 있고, 이차 경로는 신호 경로와 전기적으로 절연될 수 있다. 신호 경로와 이차 경로 사이에 50미크론 미만의 갭이 있을 수 있다.
일부 실시예들에서, 전기 장치는 각각이 통과 통로들을 포함할 수 있는 전기적 도전성 제1 및 제2 가이드 플레이트들을 포함할 수 있다. 프로브들은 제1 가이드 플레이트의 제1 측면에 배치된 프로브들의 제1 접촉 단부들이 있는 제1 가이드 플레이트를 통해 통로들 내에 부분적으로 배치될 수 있고, 프로브들은 또한 제2 가이드 플레이트의 제2 측면에 배치된 프로브들의 제2 접촉 패드들이 있는 제2 가이드 플레이트를 통해 통로들 내에 부분적으로 배치될 수 있다. 장치는 또한 전기적 도전성 신호 경로 및 전기적 도전성 이차 경로를 포함할 수 있다. 신호 경로는 그 제1 접촉 단부로부터 그 제2 접촉 단부까지 프로브들 중 하나를 통할 수 있고, 신호 경로는 제1 가이드 플레이트, 제2 가이드 플레이트, 및 이차 경로와 전기적으로 절연될 수 있다. 이차 경로는 제1 가이드 플레이트로부터 제2 가이드 플레이트까지 프로브들 중 하나를 통할 수 있다.
일부 실시예들에서, 전기적 도전성 프로브는 전기적 도전성 제1 접촉 단부 및 전기적 도전성 제2 접촉 단부를 포함할 수 있다. 전기적 도전성 구조물은 제1 접촉 단부와 제2 접촉 단부를 전기적으로 연결시킬 수 있다. 전기적 도전성 이차 접촉부는 제1 접촉 단부와 제2 접촉 단부 사이에 배치될 수 있고 도전성 구조물로부터 더 연장된다. 전기적 절연성 코팅은 이차 접촉부의 적어도 일부를 덮을 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 다경로 프로브의 예의 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 프로브의 전면도이고 도 1c는 그 프로브의 측면도이다.
도 2a는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 다경로 프로브의 다른 예의 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 프로브의 전면도이고 도 2c는 그 프로브의 후면도이다.
도 2d는 도 2a의 프로브의 측면도이고 도 2e는 그 프로브의 단면 상부도이다.
도 3a는 복수의 다경로 프로브가 본 발명의 일부 실시예들에 따라 배치된 통과 통로들이 있는 가이드 플레이트들을 포함하는 프로브 어셈블리의 예의 사시도이다.
도 3b 및 3c는 도 3a의 프로브 어셈블리의 측단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도 3a-도 3c의 프로브 어셈블리의 변형의 예를 포함하는 검사 접촉기의 예이다.
도 5는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 이차 프로브의 예의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 접촉기의 다른 예이다.
도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 접촉기의 또 다른 예이다.
도 8은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 절연된 프로브의 예의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 접촉기의 또 다른 예이다.
도 10은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 어셈블리의 예의 구성을 도시한 도 9의 프로브 어셈블리의 측단면도이다.
본 명세서는 본 발명의 예시적인 실시예들 및 응용들을 기술한다. 그러나, 본 발명은 이들 예시적인 실시예 및 응용에 또는 예시적인 실시예들 및 응용들이 동작하거나 여기에 기술된 방식에 제한되지 않는다. 또한, 도면들은 간소화된 또는 부분적인 모습들을 도시할 수 있고, 도면들 내의 요소들의 치수들은 과장될 수 있거나 그렇지 않으면 비례에 맞지 않을 수 있다. 또한, 용어들 "상에", "에 부착된", "에 연결된", "에 결합된", 또는 유사한 단어들이 여기에 사용될 때, 하나의 요소(예를 들어, 재료, 층, 기판 등)가 그 하나의 요소가 다른 요소 바로 위에 있고, 부착되고, 연결되고, 또는 결합되고 또는 하나의 요소와 다른 요소 사이에 하나 이상의 개입 요소가 있는지에 관계없이 다른 요소 위에 있고, 부착되고, 연결되고, 또는 결합될 수 있다. 또한, 방향들(예를 들어, 위로, 아래로, 꼭대기, 바닥, 측면, 상, 하, 아래, 위에, 상부, 하부, 수평, 수직, "x", "y", "z" 등)은 제공된다면, 단지 예를 들어 그리고 예시의 용이성과 설명을 위해 상대적이고 제공된 것이고 제한되는 것은 아니다. 또한, 요소들의 리스트(예를 들어, 요소들 a, b, c)가 참조되는 경우에, 이러한 참조는 그 자체로 리스트된 요소들 중 어느 하나, 리스트된 요소들 전부 미만의 어떤 조합들, 및/또는 리스트된 요소들의 모두의 어떤 조합을 포함하는 것으로 의도된다.
여기에 사용된 바와 같이, "실질적으로"는 의도된 목적을 위해 동작하기 위해 충분한 것을 의미한다. 그러므로 용어 "실질적으로"는 본 기술 분야의 통상의 기술자에 의해 기대된 그러나 전체적인 성능에 상당히 영향을 주지 않는 절대적인 또는 완전한 상태로부터의 사소하고 중요하지 않은 변화들, 치수, 측정값, 결과 등을 허용한다. 수치 값들 또는 파라미터들 또는 수치 값들로서 표현될 수 있는 특성들과 관려하여 설명될 때, "실질적으로"는 50퍼센트 내를 의미한다. 용어 "것들"은 하나보다 많은 것을 의미한다. 용어 "배치된"은 그것의 의미 "위치된" 내에 포함된다.
일부 실시예들에서, 다중 도전 경로 프로브(이후, "다경로 프로브")는 제1 접촉 단부로부터 제2 접촉 단부까지의 전기적 도전성 신호 경로를 제공할 수 있다. 프로브는 또한 전기적 도전성 이차 경로 및 신호 경로와 이차 경로 사이의 전기적 절연성 갭을 포함할 수 있다. 그러나, 절연 갭은 프로브에 대한 루프 인덕턴스가 최대 루프 인덕턴스보다 작아지는 최대 거리 이하일 수 있다. 프로브 어셈블리는 전기적 도전성 가이드 플레이트 내의 통로들 내에 배치된 복수의 그러한 다경로 프로브들을 포함할 수 있다. 프로브들 각각의 신호 경로는 양 가이드 플레이트들과 전기적으로 절연될 수 있지만, 각각의 프로브의 이차 경로는 가이드 플레이트들 중 하나 또는 양쪽에 전기적으로 연결될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로브 어셈블리는 도전성 가이드 플레이트들의 통로들 내에 배치되고 가이드 플레이트들 중 하나 또는 양쪽에 전기적으로 연결된 하나 이상의 이차 프로브를 포함할 수 있다. 이러한 이차 프로브들은 접지와 같은 이차 전압 전위에 연결되어 가이드 플레이트들 중 하나 또는 양쪽을 이차 전압 전위에 전기적으로 연결하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로브 어셈블리는 그 중 모두가 가이드 플레이트들을 통하는 통로들 내에 배치된 형상 및/또는 구성과 실질적으로 동일한 프로브들을 포함할 수 있다. 프로브들 중 일부는 가이드 플레이트들과 전기적으로 절연되어 신호 경로들을 제공할 수 있고, 프로브들 중 다른 일부는 가이드 플레이트들과 전기적으로 연결되어 이차 경로들을 제공할 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로브 어셈블리들의 전술한 유형들 중 어떤 것은 프로브 카드 어셈블리, 로드 보드 등과 같은 검사 접촉기의 일부일 수 있다.
도 1a-도 1c는 다경로 프로브(100)의 예를 도시한다. 도 1a는 프로브(100)의 사시도이고, 도 1b는 전면도이고, 도 1c는 측면도이다.
도 1a-도 1c의 다경로 프로브(100)는 접촉 단부들(102, 104) 및 접촉 단부들(102, 104) 사이의 전기적 도전성 경로(182)(도 1c 참조)를 포함할 수 있다. 프로브(100)는 또한 하나 이상의 전기적 도전성 이차 경로(184, 186)(도 1c에는 2개가 도시되지만 2개 보다 많이 있을 수 있다)를 포함할 수 있고, 그 각각은 전기적 절연 갭(132, 152)에 의해 신호 경로(182)와 전기적으로 절연될 수 있다. 이차 경로들(184, 186)은 또한 서로 전기적으로 절연될 수 있다.
도시된 바와 같이, 신호 경로(182)는 제1 접촉 단부(102)를 제2 접촉 단부(104)에 전기적으로 및 물리적으로 연결시킬 수 있는, 전기적 도전성 구조물(112)(이것은 신호 경로(102)의 일부이기 때문에 이후 "신호 구조물"이라고 함)을 포함할 수 있다. 접촉 단부들(102, 104)은 전기적 도전성일 수 있다. 제1 접촉 단부(102)는 제1 도전성 디바이스(도 1a-도 1c에 도시되지 않음)와 접촉하도록 크기가 정해지고 구성될 수 있고, 제2 접촉 단부(104)는 제2 도전성 디바이스(도 1a-도 1c에 도시되지 않음)와 접촉하도록 크기가 정해지고 구성될 수 있다. 제1 접촉 단부(102), 신호 구조물(112), 및 제2 접촉 단부(104)를 포함하는, 프로브(100), 및 보다 구체적으로 신호 경로(104)는 그러므로 제1 및 제2 전자 디바이스들(도시 생략)과 전기적으로 연결할 수 있다. 다중의 이러한 프로브들(100)이 검사 인터페이스 구조물(410)(제1 전자 디바이스의 예)을 전자 디바이스 검사 대상(DUT)(420)(제2 전자 디바이스의 예)에 연결시키는 예들이 도 4 및 도 5에 도시되고 아래에 논의된다.
또한 도시된 바와 같이, 이차 경로들(184) 중 제1 경로는 모두가 전기적 도전성인 제1 이차 접촉부(162), 제2 이차 접촉부(172), 및 이차 구조물(122)을 포함할 수 있다. 이차 구조물(122)은 제1 이차 접촉부(162)를 제2 이차 접촉부(172)에 전기적으로 및 물리적으로 연결시킬 수 있다. 보이는 바와 같이, 제1 이차 접촉부(162)는 도 3a-도 3c에 도시한 제1 가이드 플레이트(312)와 같은 제1 전기적 요소(도 1a-도 1c에 도시되지 않음)과 접촉하여 전기적 연결을 이루도록 구성될 수 있고, 제2 이차 점점(172)은 도 3a-도 3c의 제2 가이드 플레이트(322)와 같은 제2 전기적 요소(도 1a-도 1c에 도시되지 않음)와 접촉하여 전기적 연결을 이루도록 구성될 수 있다.
이차 경로(184)는 신호 경로(182)와 전기적으로 절연될 수 있다. 예를 들어, 전기적 절연 갭(132)은 이차 경로(184)를 신호 경로(182)로부터 분리시킬 수 있다. 도 1a-도 1c에 도시된 예에서, 갭(132)은 이차 구조물(122)과 신호 구조물(112) 사이에 직접적으로 있고, 갭(132)은 또한 신호 경로(182)의 접촉 단부들(102, 104)을 이차 접촉부들(162, 172)과 효과적으로 전기적으로 절연시킨다.
일부 실시예들에서, 갭(132)은 이차 구조물(122)을 신호 구조물(112)과 전기적으로 절연시키기 위해 충분히 클 수 있지만 신호 경로(182)가 신호원(도시 생략)으로부터의 신호를 위한 전달 경로로서 이용되고 이차 경로(184)가 신호원으로의 복귀 경로(예를 들어, 접지)인 응용들에서 비교적 작은 루프 인덕턴스를 유지하기 위해 충분히 작을 수 있다. 예를 들어, 신호 구조물(112)로부터 이차 구조물(122)까지의 갭(132)의 크기 g1(예를 들어, 아래에 논의되는 축 aC을 따름)은 50미크론 이하, 40미크론 이하, 30미크론 이하, 20미크론 이하, 10미크론 이하, 5미크론 이하 등일 수 있다. 주목되는 바와 같이, 이러한 비교적 작은 갭 값들은 일부 실시예들에서 비교적 낮은 루프 인덕턴스들(예를 들어, 0.4 나노 헨리(nano-Henrie; nH) 미만, 0.2nH 미만 등)을 유리하게 제공할 수 있다.
갭(132)의 크기 g1에 관계없이, 갭(132)은 다양한 방식들 중 어느 방식으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 갭(132)은 전체적으로 또는 부분적으로 빈(예를 들어, 주변 공기) 공간을 포함할 수 있다. (도 1a-도 1c에 도시된) 또 하나의 예로서, 갭(132)은 전기적 절연 재료(134)를 포함할 수 있다.
주목되는 바와 같이, 도 1a-도 1c에 도시된 예에서, 다경로 프로브(100)는 이차 도전성 경로(184)와 일반적으로 유사할 수 있는, 또 하나의 전기적 도전성 이차 경로(186)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 이차 경로(186)는 위에 논의된 바와 같이 제1 이차 접촉부(162), 이차 구조물(122), 및 제2 이차 접촉부(172)와 일반적으로 유사하거나 동일할 수 있는, 전기적 도전성 제1 이차 접촉부(164), 전기적 도전성 이차 구조물(142), 및 전기적 도전성 제2 이차 접촉부(174)를 포함할 수 있다. 위에 논의된 절연 갭(132)과 유사하거나 동일한 절연 갭(152)은 이차 구조물(142)을 신호 구조물(112)로부터 분리시키어 전기적으로 절연시킬 수 있다. 갭(152)이 위에 논의된 바와 같이 갭(132)이 g1 크기로 되는 것과 일반적으로 유사하거나 동일하게 크기 g2로 될 수 있고, 갭(152)은 갭(132)과 유사하거나 동일한 재료들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 갭(152)의 전부 또는 일부는 빈 공간(예를 들어, 주변 공기) 및/또는 절연 재료(154)를 포함할 수 있다.
도 1a-도 1c에 도시된 다경로 프로브(100)의 예에서, 접촉 단부들(102, 104)은 축 aA 상에 실질적으로 정렬되는 것으로 도시되고, 제1 이차 접촉부(162) 및 제2 이차 접촉부(172)는 축 aB 상에 정렬되는 것으로 도시된다. 축들 aA, aB는 서로 실질적으로 평행할 수 있고 또한 도 1a에 도시한 바와 같이 x,y,z 좌표계에서의 z축과 실질적으로 평행할 수 있다. 그러나, 전술한 것은 단지 예이고, 제2 접촉 단부(104)는 제1 접촉 단부(102)로부터 오프셋될 수 있고/있거나, 제2 이차 접촉부(164)는 제1 이차 접촉부(162)로부터 오프셋될 수 있다.
일부 실시예들에서, 신호 구조물(112)은 축들 aA, aB과 실질적으로 수직일 수 있는, 축 aC을 따라 이차 구조물(122)과 적층된 관계로 정렬될 수 있다. 또한 도시된 바와 같이, 일부 실시예들에서, 신호 구조물(112) 및 이차 구조물(122)은 연장될 수 있다. 예를 들어, 축 aA을 따르는 신호 구조물(112)의 길이는 그것의 최장 치수일 수 있으므로 축들 aA, aB, aC과 실질적으로 수직인 축 aD을 따르는 신호 구조물(112)의 치수보다 길 수 있다(예를 들어, 적어도 2, 3, 4, 5 또는 더 많은 배로). 유사하게, 축 aB을 따르는 이차 구조물(122)의 길이는 최장 치수일 수 있으므로 축 aD과 실질적으로 평행하고/하거나 축들 aA, aB, aC과 실질적으로 수직인 축 aE을 따르는 이차 구조물(122)의 치수보다 길 수 있다(예를 들어, 적어도 2, 3, 4, 5 또는 더 많은 배로).
도 1a에 도시한 바와 같이, 축들 aA, aB은 x, y, z 좌표계에서의 z축과 실질적으로 평행할 수 있고; 축 aC은 y축과 실질적으로 평행할 수 있고; 축들 aD, aE은 y축과 실질적으로 평행할 수 있다. 또한, 축들 aA 및 aB은 서로 실질적으로 평행할 수 있고 축들 aC, aD, aE과 실질적으로 평행할 수 있다. 또한, 축 aC은 서로 실질적으로 평행할 수 있는, 축들 aD, aE과 실질적으로 평행할 수 있다. 축들 aA, aB, aC, aD, aE 각각은 제1, 제2, 제3, 제4, 또는 제5 축의 예일 수 있다.
일부 실시예들에서, 이차 구조물(112)과 신호 구조물(122) 사이의 갭(132)의 크기 g1는 축 aC에 실질적으로 평행한 치수일 수 있다. 또한, 갭(132)의 크기 g1는 제1 접촉 단부(102)로부터 제2 접촉 단부(104)까지 실질적으로 동일할 수 있다. 대안적으로, 갭(132)의 크기는 제1 접촉 단부(102)로부터 제2 접촉 단부(104)까지 균일할 필요는 없지만 제1 접촉 단부(102)로부터 제2 접촉 단부(104)까지의 갭 크기 g1 이하일 수 있다.
접촉 단부들(102, 104) 사이의 프로브(100)의 보디(106)는 유연할(예를 들어, 가요성일) 수 있고 탄력적일 수 있다. 예를 들어, 제위치에 고정된 제1 접촉 단부(102)로, 신호 구조물(112) 및/또는 (절연 갭들(132, 152) 내에 어떤 절연 재료(134, 154)를 포함하는) 이차 구조물들(122, 132)은 도 4 및 도 6의 DUT(420)와 같은 전자 디바이스(도시 생략)와 접촉하게 되는 제2 접촉 단부(104)로부터 생기는 접촉력에 응답하여 위에 언급되고 도 1a에 도시된 x,y,z 좌표계의 z 방향 및/또는 x,y 평면에서 이동하도록 충분히 유연할 수 있다. 예를 들어, DUT(420)와 같은 전자 디바이스가 제2 접촉 단부(104)에 대해 압박될 때, 보디(106)는 제2 접촉 단부(104)에 대한 접촉력에 응답하여 z 방향 및/또는 x,y 평면에서 이동하기에 충분히 유연할 수 있다. 예를 들어, 보디(106)는 z 방향 또는 x,y 평면에서 적어도 200미크론 이동하도록 접촉 단부(104)에 대해 충분히 가요성일 수 있다. 또 하나의 예로서, 보디(106)는 z 방향 또는 x,y 평면에서 300미크론과 400미크론 사이에서 이동하도록 접촉 단부(104)에 대해 충분히 가요성일 수 있다. 전술한 2개의 예들의 어느 것에서나, 일부 실시예들에서, 접촉 단부들(102, 104) 사이의 보디(106)의 길이는 1.5밀리미터와 2밀리미터 사이의 적어도 1밀리미터 등일 수 있다. 전술한 수치 값들 및 범위들은 단지 예들이고, 본 발명의 일부 실시예들은 다른 범위들 내의 다른 값들을 가질 수 있다. 관계없이, 보디(106)(예를 들어, 신호 구조물(112) 및/또는 이차 구조물들(122, 142))는 또한 접촉력이 접촉 단부(104)로부터 제거될 때(예를 들어, 도 4 및 도 6의 DUT(420)와 같은 전자 디바이스가 접촉 단부(104)와의 접촉에서 벗어나 이동할 때) 보디(106)가 그것의 원래의 비로드된 위치로 실질적으로 복귀하도록 충분히 탄력적일 수 있다.
다른 이차 경로(108)의 요소들 - 도 1a-도 1c에 도시된 제1 이차 접촉부(164), 이차 구조물(142), 및 제2 이차 접촉부(174) - 은 정렬될 수 있고 위에 논의된 그들 요소들과 같이 제1 이차 접촉부(162), 이차 구조물(122), 및 제2 이차 접촉부(172)와 유사하거나 동일한 치수들 및 특성들을 가질 수 있다. 또한, 신호 구조물(112)과 이차 구조물(142) 사이의 갭(152)의 크기 g2는 위에 논의된 갭 크기 g1의 특성들 중 어느 것을 가질 수 있다.
제1 이차 접촉부들(162, 172) 및 제1 이차 구조물(122)은 동일한 재료로 일체로 형성될 수 있으므로 단일의 일체의 구조물을 구성할 수 있다. 대안적으로, 제1 이차 접촉부들(162, 172)과 이차 구조물(122)은 서로 결합된 분리 구조물들일 수 있다. 유사하게, 제2 이차 접촉부들(164, 174)과 제2 이차 구조물(142)은 동일한 재료로 일체로 형성될 수 있으므로 단일의 일체의 구조물을 구성할 수 있거나, 대안적으로 서로 결합된 분리 구조물들일 수 있다.
도 1a-도 1c에 도시된 프로브(100)의 구성은 단지 예이고, 많은 변형들이 가능하다. 예를 들어, 신호 구조물(112)과 이차 구조물(122)은 만곡될 수 있다(예를 들어, 도 2a-도 2e에 도시되고 아래에 논의되는 일반적으로 리프 구조물(214, 224)과 같음). 도 2a-도 2e에 도시한 프로브(200)는 리프 구조물들을 포함하는 구성들을 포함하는 다른 변형들의 예들을 도시한다.
도 2a-도 2e는 다경로 프로브(200)의 다른 예를 도시한다. 도 2a는 프로브(200)의 사시도, 도 2b는 그 전면도, 도 2c는 그 후면도, 도 2d는 그 측면도, 및 도 2e는 그 상부 단면도이다.
프로브(200)는 전기적 도전성 접촉 단부들(202, 204), 제1 접촉 단부(202)로부터 제2 접촉 단부(204)까지의 전기적 도전성 경로(282)(도 2d 참조), 및 전기적 절연 갭(232)에 의해 신호 경로(282)와 전기적으로 절연될 수 있는, 전기적 도전성 이차 경로(284)(도 2d에 하나가 도시되어 있지만 더 많이 있을 수 있다)를 포함할 수 있다. 도시한 바와 같이, 일부 실시예들에서, 신호 경로(284)는 접촉 단부들(202, 204) 및 접촉 단부들(202, 204)을 물리적으로 및 전기적으로 연결시키는 신호 구조물(212)을 포함할 수 있다. 또한 도시한 바와 같이, 이차 경로(284)는 전기적 도전성 이차 접촉부들(262, 272) 및 이차 점점들(262, 272)을 물리적으로 및 전기적으로 연결시키는 전기적 도전성 이차 구조물(222)을 포함할 수 있다.
접촉 단부들(202, 204)은 도 1a-도 1c의 접촉 단부들(102, 104)과 유사하거나 동일할 수 있다. 이차 접촉부들(262, 272)은 마찬가지로 도 1a-도 1c의 이차 접촉부들(162, 172)과 유사하거나 동일할 수 있다. 또한, 전기적 절연 갭(232)은 도 1a-도 1c와 관련하여 위에 논의된 것과 같은 갭(132)과 유사하거나 동일할 수 있다. 예를 들어, 갭(232)이 이차 접촉부들(162, 172)과 가까운 전기적 절연 재료(234)만으로 대부분 빈 공간(예를 들어, 주변 공기)을 포함하는 것으로 도 2a-도 2e에 도시되어 있지만, 갭(232)은 대신에 더 많은 절연 재료(234)를 포함할 수 있고, 일부 실시예들에서, 갭(132)이 도 1a-도 1c에 도시된 것과 같은 일반적으로 절연 재료(234)로 전체적으로 이루어질 수 있다. 또 하나의 예로서, 갭(232)은 빈 공간(예를 들어, 주변 공기)으로 전체적으로 이루어질 수 있다. 갭(232)의 크기 g는 위에 논의된 갭들(132, 152)의 특성들 중 어느 것 및 크기들 g1, g2 중 어느 것의 값들을 가질 수 있다.
접촉 단부들(202, 204)이 도 1a-도 1c의 접촉 단부들(102, 104)과 관련하여 위에 일반적으로 논의된 것과 같이 축 aA 상에 정렬된 것으로 도 2a에 도시되어 있지만, 제2 접촉 단부(204)는 대신에 제1 접촉 단부(202)로부터 오프셋될 수 있다. 유사하게, 이차 접촉부들(262, 272)은 축 aB 상에 정렬되는 것으로 도 2a에 도시되지만 대신에 서로 오프셋될 수 있다.
신호 구조물(212)은 인접한 리프 구조물들(214) 사이의 공간들(216)에 의해 분리된 복수의 도전성 리프 구조물들(214)을 포함할 수 있다. 3개의 리프 구조물들(214)이 도 2a-도 2e에 도시되지만 더 적거나 많이 있을 수 있다. 도시한 바와 같이, 각각의 리프 구조물(214)은 축 aA에 실질적으로 평행한 최장 치수로 일반적으로 연장될 수 있다. 또한 도시한 바와 같이, 신호 구조물(212)의 리프 구조물들(214) 및 공간들(216)은 위에 논의된 바와 같이, 축들 aA, aB, aC에 실질적으로 수직일 수 있는 축 aD을 따라 다른 것 옆에 하나가 배치될 수 있다. 일부 실시예들에서, 신호 구조물(212)은 축 aC을 따라 이차 구조물(222)과 적층된 관계로 정렬될 수 있다.
이차 구조물(222)은 인접한 리프 구조물들(224) 사이의 공간들(226)에 의해 분리된 복수의 전기적 도전성 리프 구조물들(224)을 유사하게 포함할 수 있다. 3개의 리프 구조물들(224)이 도 2a-도 2e에 도시되지만 더 적거나 많이 있을 수 있다. 리프 구조물들(214)과 유사하게, 각각의 리프 구조물(224)은 축들 aA, aB에 실질적으로 평행한 최장 치수로 연장될 수 있다. 또한 도시한 바와 같이, 리프 구조물들(224) 및 공간들(226)은 위에 논의된 바와 같이, 축 aD에 실질적으로 평행하고 축들 aA, aB, aC에 실질적으로 수직일 수 있는 축 aE을 따라 다른 것 옆에 하나가 배치될 수 있다.
도 2a-도 2e에 도시한 바와 같이, 신호 구조물(212)의 리프 구조물들(214)은 만곡될 수 있다. 예를 들어, 각각의 리프 구조물(214)은 리프 구조물(214)의 단부들을 통해 지나가고 축들 aA, aB에 실질적으로 평행한 축(도시 생략)으로부터 멀어지고 그 후 다시 이 축을 향해 만곡될 수 있다. 그러므로 신호 구조물(212) 자체는 만곡될 수 있다. 예를 들어, 신호 구조물(212)은 도 2a에 도시한 것과 같이 축 aA으로부터 멀어지고 그 후 다시 이 축을 향해 만곡될 수 있다. 대안적으로, 리프 구조물들(214) 및 그래서 또한 신호 구조물(212)은 신호 구조물(112)이 축 aA에 대해 직선이고 실질적으로 만곡되지 않은 것과 같이 도 1a-도 1c에 도시된 것과 같이 일반적으로 직선일 수 있다. 이차 구조물(222)의 리프 구조물들(224) - 및 그래서 이차 구조물(222) 자체 -는 또한 신호 구조물(212)의 리프 구조물들(214)과 일반적으로 동일하게 축 aB에 대해 만곡될 수 있다. 관계없이 신호 구조물(212), 이차 구조물(222), 및 임의의 절연 재료(154)가 신호 구조물(112) 및 이차 구조물(122)과 관련하여 위에 논의된 유연성 및 탄력성의 어느 것을 가질 수 있다.
도 2a-도 2e에 도시한 프로브(200)는 예이고, 많은 변형들이 가능하다. 예를 들어, 프로브(200)는 신호 구조물(212)이 도 1a-도 1c의 이차 접촉부들(164, 174) 및 이차 구조물(142)과 일반적으로 동일한 위치에 있으면 262, 264, 222와 유사하지만 대향 측면 상에 배치된 이차 접촉부들 및 이차 구조물의 다른 세트를 포함할 수 있다. 또 하나의 예로서, 동일한 수의 리프 구조물들이 도시되지만, 신호 구조물(212)은 이차 구조물(222)의 리프 구조물들(224)의 수보다 많거나 적은 수의 리프 구조물들(214)을 가질 수 있다.
이차 접촉부들(262, 272) 및 이차 구조물(222)은 동일한 재료로 일체로 형성될 수 있으므로 단일의 일체의 구조물을 구성한다. 대안적으로, 이차 점점들(262, 272) 및 이차 구조물(222)은 서로 결합된 분리 구조물들일 수 있다.
다경로 프로브들(100, 200)은 많은 다른 응용들 중 어느 것에서나 이용될 수 있다. 도 3a-도 6은 이러한 응용들의 예들을 도시한다. 프로브(100)가 도 3a-도 6의 각각에서 식별되지만, 프로브(200)가 도 3a-도 6의 프로브(100)에 대체될 수 있다.
도 3a-도 3c는 다경로 프로브들(100)을 포함하는 프로브 어셈블리(350)의 예를 도시한다. 도시한 바와 같이, 프로브 어셈블리(350)는 실질적으로 평행하지만 서로 이격될 수 있는 전기적 도전성 가이드 플레이트들(312, 322)을 포함할 수 있다. 제1 가이드 플레이트(312)는 제1 가이드 플레이트(312)의 제1 측면(314)(예를 들어, 외부 측면)으로부터 제2 측면(316)(예를 들어, 내부 측면)으로 연장되는 통과 통로들(318)을 포함할 수 있다. 제2 가이드 플레이트(322)는 제2 가이드 플레이트(322)의 제1 측면(324)(예를 들어, 내부 측면)으로부터 제2 측면(326)(예를 들어, 외부 측면)으로 연장되는 통과 통로들(328)을 유사하게 포함할 수 있다. 가이드 플레이트들(312, 322)은 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로(318)가 제2 가이드 플레이트(322) 내의 대응하는 통로(328)와 실질적으로 정렬하도록 서로 결합될 수 있다. 예를 들어, 가이드 플레이트들(312, 322)은 볼트, 나사, 클램프, 접착제 등에 의해 서로 결합될 수 있다.
도 3a-도 3c에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 플레이트(312)의 제1 측면(314)은 제2 측면(316)에 대향할 수 있고, 제2 가이드 플레이트(322)의 제1 측면(324)은 유사하게 제2 측면(326)에 대향할 수 있다. 또한, 가이드 플레이트들(312, 322)은 가이드 플레이트들(312, 322) 사이에 공간이 있고, 제1 가이드 플레이트(312)의 제2 측면(316)이 제2 가이드 플레이트(322)의 제1 측면(324)에 접할 수 있도록 서로 결합될 수 있다. 가이드 플레이트들(312, 322)의 측면들(314, 316, 324, 326)은 실질적으로 평탄한 표면들일 수 있다.
제1 접촉 단부(102)에 인접한 이차 접촉부들(162, 172)은 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로(318)에 배치될 수 있고, 제2 접촉 단부(104)에 인접한 이차 접촉부들(164, 174)은 제2 가이드 플레이트(322) 내의 대응하는 통로(328)에 배치될 수 있다. 도 3c에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로들(318)은 제1 접촉 단부(102)에 인접한 이차 접촉부들(162, 172)이 제1 가이드 플레이트(312)에 접촉하여 전기적으로 연결하도록 적어도 하나의 치수로 크기가 정해질 수 있다. 그러나, 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로들(318)은 통로(318)의 측벽들과 제1 접촉 단부(102)에 인접한 이차 접촉부들(162, 172) 사이에 공간을 제공하도록 다른 치수로 크기가 정해질 수 있다. 그러므로 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로(318)는 통로(318) 및 나아가 제1 가이드 플레이트(312)와의 전기적 접촉을 유지하면서 프로브(100)의 이차 접접들(162, 172)이 통로(318) 내에서 이동(예를 들어, 도 3a-도 3c에서 상하로)하게 하도록 하는 크기로 될 수 있다.
유사하게, 제2 가이드 플레이트(322) 내의 통로들(328)은 제2 접촉 단부(104)에 인접한 이차 접촉부들(164, 174)이 제2 가이드 플레이트(322)와 접촉하여 전기적으로 연결하도록(도 3c 참조) 적어도 하나의 치수로 크기가 정해질 수 있고, 제2 가이드 플레이트(322) 내의 통로들(328)은 통로(328)의 측벽들과 제2 접촉 단부(104)에 인접한 이차 접촉부들(164, 174) 사이에 공간을 제공하도록 다른 치수로 크기가 정해질 수 있다. 그러므로 제2 가이드 플레이트(322) 내의 통로들(328)은 또한 통로(328) 및 나아가 제2 가이드 플레이트(322)와의 전기적 접촉을 유지하면서 프로브(100)의 이차 접촉부들(164, 174)이 통로(328) 내에서 (예를 들어, 도 3a-도 3c에서 상하로) 이동하게 하도록 하는 크기로 될 수 있다.
이차 전압 전위(예를 들어, 접지)는 가이드 플레이트들(312, 322) 중 한쪽 또는 양쪽에 연결될 수 있다. 그러므로 각각의 다경로 프로브(100)는 그것의 제1 접촉 단부(102)로부터 그것의 제2 접촉 단부(104)까지의 신호 경로(182) 및 그것의 이차 접촉부(162), 이차 구조물(122), 및 이차 접촉부(172)를 통하여 제1 가이드 플레이트(312)로부터 제2 가이드 플레이트(322)까지의 이차 경로(184)를 제공할 수 있다. 도 3b에 또한 도시한 바와 같이, 각각의 프로브(100)는 또한 그것의 이차 접촉부(164), 이차 구조물(142), 및 이차 접촉부(174)를 통해 제1 가이드 플레이트(312)로부터 제2 가이드 플레이트(322)까지의 또 하나의 이차 경로(186)를 제공할 수 있다.
이차 경로(184)는 위에 논의된 바와 같이 갭 크기 g1 이하일 수 있는, 절연 갭(132)에 의해 신호 경로(182)와 물리적으로 분리되고 전기적으로 절연될 수 있다. 마찬가지로, 이차 경로(186)는 위에 또한 논의된 것과 같이 갭 크기 g2 이하일 수 있는, 절연 갭(152)에 의해 신호 경로(182)와 물리적으로 분리되고 전기적으로 절연될 수 있다.
도 4는 다경로 프로브들(100)이 도 3a-도 3c의 프로브 어셈블리(350)의 변형 내에 배치된 검사 접촉기(460)의 예(예를 들어, 프로브 카드 어셈블리, 로드 보드 등)를 도시한다. 도시한 바와 같이, 검사 접촉기(460)는 인터페이스 구조물(410) 및 프로브 어셈블리(450)를 포함할 수 있다.
인터페이스 구조물(410)은 전자 디바이스 검사 대상(DUT)(420) 및 배선 기판(414)의 검사를 제어하기 위한 검사 제어기(도시 생략)에 연결될 수 있는 인터페이스(412)를 포함할 수 있다. 인터페이스(412)는 검사 신호들, 제어 신호들, 전력, 접지 등을 위한 검사 제어기(도시 생략)로부터의 개별적인 연결들(도시 생략)을 포함할 수 있다. 배선 기판(414)은 인터페이스(412)로부터 전기적 단자들(416)(4개가 도시되지만 더 적거나 많이 있을 수 있음)까지의 전기적 연결들(도시 생략)을 포함할 수 있고, 다경로 프로브들(100) 및 프로브 어셈블리(450)의 이차 프로브들(400)은 단자들(416)을 DUT(420)의 입력, 출력, 제어, 전력, 및/또는 접지 단자들(422)에 연결시킬 수 있다. DUT(420)는 하나 이상의 반도체 다이 등과 같이 검사될 임의의 전자 디바이스일 수 있다.
프로브 어셈블리(450)는 이차 프로브들(400)이 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로(318)의 하나 이상의 쌍 및 제2 가이드 플레이트(322) 내의 대응하는 통로(328)에 배치될 수 있는 것을 제외하고 도 3a-도 3c의 프로브 어셈블리(350)와 동일할 수 있다. 도 4에서, 2개의 이러한 이차 프로브들(400)이 있지만, 하나만 또는 2개 보다 많이 있을 수 있다.
이차 프로브(400)는 배선 기판(414)의 단자(416)로부터 DUT(420)의 단자(422)까지의 전기적 연결을 제공하기도 하고 양쪽 가이드 플레이트들(312, 322)과 접촉하고 전기적으로 연결할 수 있다. 이차 프로브(400)는 전술한 것을 제공하는 어떤 물리적 구조물 및 형상을 가질 수 있다. 도 5는 이차 프로브(400)의 예를 도시한다.
도시한 바와 같이, 도 5의 이차 프로브(400)는 제1 접촉 단부(402), 제2 접촉 단부(404), 및 제1 접촉 단부(402)를 제2 접촉 단부(404)에 연결시키고 그들 사이에 배치된 보디(406)를 포함할 수 있다. 접촉 단부들(402, 404) 및 보디(406)는 전기적 도전성일 수 있고 도 1a-도 1c의 접촉 단부들(102, 104) 및 신호 구조물(112)과 같이 구성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 보디(406)는 대신에 도 2a-도 2e에서 신호 구조물(212)과 같이 구성될 수 있다. 예를 들어, 보디(406)는 신호 구조물(212)의 리프 구조물들(214)과 같은 이격된 리프 구조물들을 포함할 수 있다. 또 하나의 예로서, 보디(406)는 도 2a-도 2e의 신호 구조물(212)과 같이 만곡될 수 있다.
도 5에 또한 도시한 바와 같이, 이차 프로브(400)는 제1 접촉 단부(402)에 인접한 이차 접촉부들(462, 464) 및 제2 접촉 단부(404)에 인접한 이차 접촉부들(472, 474)을 포함할 수 있다. 제1 접촉 단부(402)에 인접한 이차 접촉부들(462, 464)은 일체로 형성될 수 있으므로 보디(406)과 단일의 일체의 구조물을 구성할 수 있다. 대안적으로, 이차 접촉부들(462, 464)은 보디(406)에 결합된 분리 구조물들일 수 있다. 유사하게, 제2 접촉 단부(404)에 인접한 이차 접촉부들(472, 474)은 보디(406)와 일체로 형성될 수 있거나 보디(406)에 결합된 분리 구조물들일 수 있다.
관계없이, 도 1a-도 1c의 이차 접촉부들(162, 164)과 같이, 이차 접촉부들(462, 464)은 통로(318) 내에서 (예를 들어, 도 4에서 상하로) 또한 미끄러질 수 있으면서 통로(318)의 측벽들을 접촉시키므로 제1 가이드 플레이트(312)에 전기적으로 연결하도록 제1 가이드 플레이트(312) 내의 통로(318)에 맞추어지도록 하는 크기로 될 수 있다. 유사하게, 제2 접촉 단부(404)에 인접한 이차 접촉부들(472, 474)은 제2 가이드 플레이트(328) 내의 통로들(328)에 맞추어지고 접촉하므로 전기적으로 연결하고 (예를 들어, 도 4의 상하로) 미끄러지도록 하는 크기로 될 수 있다. 보디(406)는 위에 논의된 바와 같이 프로브(100)의 보디(106)와 같이 일반적으로 유연(예를 들어, 가요성)할 수 있고 탄력적일 수 있다.
프로브 어셈블리(450)는 인터페이스 구조물(410)의 단자들(416) 중 어느 것들과 접촉하여 다경로 프로브들(100)의 제1 접촉 단부들(102) 및 단자들(416) 중 다른 것들과 접촉하여 이차 프로브들(400)의 제1 접촉 단부들(402)로 인터페이스 구조물(410)에 결합될 수 있다. 프로브 어셈블리(405)는 예를 들어, 볼트, 나사, 클램프, 접착제 등으로 인터페이스 구조물에 결합될 수 있다. 다경로 프로브들(100)의 제2 단부들(104) 및 이차 프로브들(400)의 제2 단부들(404)은 DUT의 단자들(422)에 대응하는 패턴으로 배치될 수 있다. 아는 바와 같이, 이차 프로브들(400)은 제1 접촉 단부들(402)이 인터페이스 구조물(402)을 통해 결국 복귀 전압 전위(예를 들어, 접지)에 연결되는 인터페이스 단자들(416)과 접촉하도록 프로브들의 패턴으로 배치될 수 있고, 제2 접촉 단부들(404)은 DUT(420)에서 복귀 전압 전위(예를 들어, 접지)에 연결되는 DUT 단자들(422)과 유사하게 접촉할 수 있다.
DUT(420)는 도 4에 도시된 바와 같이 일반적으로 DUT(420)의 단자들(422)을 다경로 프로브들(100) 및 이차 프로브들(400)의 대응하는 단부들(102, 403)에 접촉하게 압박함으로써 검사될 수 있다. 단자들(422)이 다경로 프로브들(100) 및 이차 프로브들(400)의 제2 단부들(102, 402)와 접촉하여 전기적 연결들을 형성하는 동안, 검사 제어기(도시 생략)로부터의 검사 신호들, 제어 신호들, 전력 등을 위한 전기적 경로들은 다경로 프로브들(100)의 제1 단부(102)와 접촉하여 단자들(416) 중 어떤 것들에 인터페이스(412) 및 배선 기판(414)을 통해 그리고 다음에 DUT 단자들(422) 중 어떤 것들에 다경로 프로브들(100)의 신호 경로들(182)을 통해 제공된다. 이차 프로브들(400), 제3 가이드 플레이트(322), 다경로 프로브들(100), 및 제1 가이드 플레이트(312)는 이차 프로브들(400)의 제2 단부들(404)에 접촉하여 DUT 단자들(422) 중 어떤 것들으로부터의 대응하는 복귀 경로들을 제공할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 이차 프로브들(400) 중 하나에 접촉하는 DUT 단자(422)로부터 이차 프로브(400)에 접촉하는 인터페이스 단자들(416) 중 하나까지의 그러한 복귀 경로들은 제2 플레이트 경로(486), 이차 경로(184, 186) 및 제1 플레이트 경로(484)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 플레이트 경로(486)는 이차 프로브(400)의 제2 접촉 단부(404), 이차 프로브(400)의 제2 이차 접촉부(472), 및 이차 프로브(400)의 제2 이차 접촉부(472)로부터 다경로 프로브(100)의 제2 이차 접촉부(172)까지의 제2 가이드 플레이트(322)를 포함할 수 있다. 도 1a-도 1c와 관련하여 위에 논의된 바와 같이, 이차 경로(184)는 다경로 프로브(100)의 이차 접촉부(172), 이차 구조물(122), 및 이차 접촉부(162)를 포함할 수 있고; 이차 경로(186)는 유사하게 다경로 프로브(100)의 이차 접촉부(174), 이차 구조물(142), 및 이차 접촉부(162)를 포함할 수 있다. 제1 플레이트 경로(484)는 다경로 프로브(100)의 제1 이차 접촉부(172)로부터 이차 프로브(400)의 제1 이차 접촉부(462)까지의 제1 가이드 플레이트(312), 이차 프로브(400)의 제1 이차 접촉부(462), 및 이차 프로브(400)의 제1 접촉 단부(402)를 포함할 수 있다. 신호 경로(182)와 이차 경로(184) 사이의 갭(132)의 크기 g1(도 1 참조)은 위에 논의된 바와 같이 최대 값 이하일 수 있다.
이것은 위에 또한 논의된 바와 같이 비교적 낮은 루프 인덕턴스를 가져다 줄 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예들에서, 위에 논의된 예의 범위들에서 치수들(예를 들어, 유연 능력, 보디(106)의 길이, 및/또는 갭(134)의 크기 g1)을 갖는 다경로 프로브들(100)에 대해, 프로브(100)의 루프 인덕턴스는 0.4nH 미만, 0.2nH 미만 등일 수 있다. 이것은 일부 실시예들에서, DUT의 검사가 무선 주파수(RF) 범위들 내의 주파수들에서 수행되게 할 수 있다.
도 6은 프로브 어셈블리(650)가 다중의 인접한 이차 프로브들(400)을 포함할 수 있는 것을 제외하고 도 4의 검사 접촉기(460)와 동일할 수 있는, 검사 접촉기(660)의 또 하나의 예를 도시한다. 도시한 바와 같이, 다중의 인접한 이차 프로브들(400)은 제1 가이드 플레이트(312) 내의 데이지 체인된 전기적 경로(684) 및 하나의 인접한 이차 프로브(400)로부터 다른 프로브까지의 제2 가이드 플레이트(322) 내의 또 하나의 데이지 체인된 전기적 경로(686)를 생성할 수 있다. 다른 경우에, 프로브 어셈블리(660)는 도 4의 프로브 어셈블리(460)와 동일할 수 있다.
위에 주목된 바와 같이, 이차 프로브들(400)은 이차 전압 전위(예를 들어, 접지된) 인터페이스 단자(416) 및/또는 이차 전압 전위(예를 들어, 접지된) DUT 단자들(416)에 연결될 수 있다. 그러므로 데이지 체인(daisy-chained) 경로들(584, 586)은 일부 실시예들에서 접지된 전기적 경로들일 수 있다.
도 7-도 10은 이차 전기적 경로들이 인터페이스 구조물(410)을 포함하는 검사 접촉기(760, 960)의 일부일 수 있는, 프로브 어셈블리(750, 950) 내에 제공되는 대안적 실시예들을 도시한다.
도 7의 프로브 어셈블리(750)는 절연된 프로브(700)가 도 6의 다경로 프로브(100)를 대체할 수 있는 것을 제외하고 도 6의 프로브 어셈블리(650)와 유사할 수 있다. 절연 프로브(700)는 배선 기판 단자(416)를 DUT 단자(422)에 전기적으로 연결시킬 수 있지만 제1 가이드 플레이트(312) 또는 제2 가이드 플레이트(322)에 접촉하지 않거나 그렇지 않으면 전기적으로 연결하지 않는다. 다경로 프로브(100)와 유사하게, 절연된 프로브(700)는 그러므로 도 1a-도 1c의 신호 경로(182)를 제공할 수 있지만 이차 경로(예를 들어, 도 1a-도 1c의 이차 경로들(184, 186)과 같음)를 제공하지 않는다. 그러나, 이차 프로브들(400)은 도 7에 도시되고 도 6과 관련하여 위에 일반적으로 논의된 것과 같이, 가이드 플레이트(312, 322) 내에 데이지 체인된 전기적 경로들(684, 686)을 제공할 수 있다.
절연된 프로브(700)는 프로브(700)가 전술한 것을 달성하게 하는 임의의 방식으로 형성 또는 구성될 수 있다. 도 8은 절연 프로브(700)의 예를 도시한다.
도시한 바와 같이, 도 8에 도시된 예에서, 절연 프로브(700)는 적어도 제1 접촉 단부(402)에 인접한 이차 접촉부들(462, 464) 및 제2 접촉 단부(404)에 인접한 이차 접촉부들(472, 474) 상에 전기적 절연 재료(802)가 있는 이차 프로브(400)일 수 있다. 이차 접촉부들(462, 464, 472, 474)은 전체적으로 도시한 바와 같이 절연 재료(802)로 코팅될 수 있거나 이차 접촉부들(462, 464, 472, 474)이 제1 가이드 플레이트(312)를 통해 통로(318) 또는 제2 가이드 플레이트(312)를 통해 통로(328)에 접촉하는 것으로 예상되는 경우에만 코팅될 수 있다. 이차 접촉부들(462, 464, 472, 474)은 이차 접촉부들(462, 464)이 제1 가이드 플레이트(312)와 통로(318)에서 전기적 연결을 형성하는 것을 방지하고 이차 접촉부들(472, 474)이 제2 가이드 플레이트(322)와 통로(328)에서 전기적 연결을 형성하는 것을 방지하기 위해 절연 재료(802)로 충분히 코팅될 수 있다. 이차 접촉부들(462, 464, 472, 474) 및/또는 보디(406)는 추가적인 절연 재료(802)로 코팅될 수 있다. 그러나, 제1 접촉 단부(402)는 대응하는 배선 기판 단자(416)와 접촉하여 전기적 연결을 형성하기 위해 절연 재료(802)가 충분히 없을 수 있고, 제2 접촉 단부(404)는 유사하게 DUT 단자(422)와 접촉하여 전기적 연결을 형성하기 위해 절연 재료(802)가 충분히 없을 수 있다.
도 7에 도시한 바와 같이 일반적으로, 프로브 어셈블리(760) 내의 프로브들(400, 700) 모두는 절연 프로브(700)가 절연 코팅(802)을 포함하지만 이차 프로브들(400)이 코팅(802)을 포함하지 않는 것을 제외하고 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 프로브들(400, 700) 모두의 (코팅(802)의 유무 이외의) 형상 및 구성은 실질적으로 동일할 수 있다.
도 9의 프로브 어셈블리(950)는 프로브들 모두가 실질적으로 동일할 수 있고, 모든 프로브들이 절연 코팅(예를 들어, 도 7 및 8의 802와 같음)이 없을 수 있다는 것을 제외하고 도 7의 프로브 어셈블리(750)와 유사할 수 있다. 예를 들어, 프로브들 각각은 실질적으로 동일한 형상, 구성 등을 가질 수 있다. 도 9에 도시한 예에서, 프로브들은 도 5의 이차 프로브들(400)일 수 있다.
도 10에 도시한 바와 같이, 프로브 어셈블리(950)는 실질적으로 평행한 복합 가이드 플레이트들(912, 922)을 포함할 수 있다. 제1 복합 가이드 플레이트(912)는 제1 측면(914) 및 대향하는 제2 측면(916)을 포함할 수 있고, 제2 복합 가이드 플레이트(922)는 또한 제1 측면(924) 및 대향하는 제2 측면(926)을 포함할 수 있다. 복합 가이드 플레이트들(912, 922)은 가이드 플레이트들(912, 922) 사이의 공간으로 서로 결합될 수 있다. 예를 들어, 가이드 플레이트들(912. 922)은 볼트, 나사, 클램프, 접착제 등에 의해 서로 결합될 수 있다.
복합 가이드 플레이트들(912. 922)은 복수의 층을 포함할 수 있다. 도 10에 도시된 예에서, 제1 가이드 플레이트(912)는 전기적 도전성 층(918) 및 전기적 절연 층(920)을 포함하고, 제2 가이드 플레이트(922)는 마찬가지로 도전성 층(928) 및 절연 층(930)을 포함할 수 있다.
복합 가이드 플레이트들(912, 922)을 통하는 통로들의 적어도 2개의 유형들이 제공될 수 있다. 복합 가이드 플레이트들(912, 922) 중 하나를 통하는 절연 통로(940)는 가이드 플레이트(912, 922)의 도전성 층(918, 928)과 절연 통로(940) 내의 프로브(400)를 전기적으로 절연시킬 수 있고, 연결 통로(942)는 연결 통로(942) 내의 프로브(400)를 도전성 층(918, 928)에 전기적으로 연결시킬 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 플레이트(912) 내의 절연 통로(940)는 도전성 층(918)을 통하는 넓은 도전성 홀(952) 및 절연 층(920)을 통하는 실질적으로 정렬된 꼭 맞는 절연 홀(954)을 포함할 수 있다. 넓은 도전성 홀(952)은 절연 통로(940) 내에 배치된 프로브(400)의 부분(예를 들어, 이차 접촉부들(462, 464)을 포함하는 제1 접촉 단부(402)에 인접하는 부분)보다 실질적으로 클 수 있고, 꼭 맞는 절연 홀(954)은 절연 통로(940) 내에 배치된 프로브(400)의 부분(예를 들어, 이차 접촉부들(462, 464)을 포함하는 제1 접촉 단부(402)에 인접하는 부분)과 실질적으로 동일한 크기일 수 있다. 예를 들어, 절연 통로(940) 내에 배치된 프로브(400)가 도전성 층(918)에 접촉하지 않고 전기적으로 연결하지 않지만 절연 통로(940) 내에 (예를 들어, 도 10의 상하로) 이동할 수 있도록 넓은 도전성 홀(952)의 폭은 충분히 클 수 있고 꼭 맞는 절연 홀(954)은 충분히 작을 수 있다.
유사하게, 제1 가이드 플레이트(912) 내의 연결 통로(942)는 도전성 층(918)을 통하는 꼭 맞는 도전성 홀(950) 및 절연 층(920)을 통하는 실질적으로 정렬된 넓은 절연 홀(956)을 포함할 수 있다. 넓은 절연 홀(956)은 연결 통로(942) 내에 배치된 프로브(400)의 부분(예를 들어, 이차 접촉부들(462, 464)을 포함하는 제1 접촉 단부(402)에 인접한 부분) 보다 실질적으로 클 수 있고, 꼭 맞는 도전성 홀(950)은 연결 통로(942) 내에 배치된 프로브(400)의 부분(예를 들어, 이차 접촉부들(462, 464)을 포함하는 제1 접촉 단부(402)에 인접한 부분)과 실질적으로 동일한 크기일 수 있다. 예를 들어, 절연 통로(942) 내에 배치된 프로브(400)가 도전성 층(918)에 접촉하지 않고 전기적으로 연결하지만 연결 통로(942) 내에 (예를 들어, 도 10의 상하로) 이동할 수 있도록 넓은 도전성 홀(956)의 폭은 충분히 클 수 있고 꼭 맞는 도전성 홀(950)은 충분히 작을 수 있다.
제1 가이드 플레이트(912) 내의 각각의 절연 통로(940)에 대해, 대응하는 프로브(400)를 제2 가이드 플레이트(922)의 도전성 층(928)과 절연시키는 제2 가이드 플레이트(922) 내에 대응하는 절연 통로(940)가 있을 수 있다. 마찬가지로, 제1 가이드 플레이트(912) 내의 각각의 연결 통로(942)에 대해, 대응하는 프로브(400)를 제2 가이드 플레이트(922)의 도전성 층(930)에 연결시키는 제2 가이드 플레이트(922) 내에 대응하는 연결 통로(942)가 있을 수 있다.
그러므로 도 9의 프로브 어셈블리(950) 내의 프로브들(400) 중 어느 것은 가이드 플레이트(912, 922)와 절연될 수 있으므로 프로브(400)를 제1 및 제2 가이드 플레이트들(912, 922) 내의 절연 통로들(940) 내에 배치함으로써 프로브(400)의 제1 단부(402)로부터 제2 단부(404)까지의 신호 경로(194)(도 1a-도 1c 참조)를 제공한다. 마찬가지로, 도 9의 프로브 어셈블리(950) 내의 프로브들(400) 중 어느 것은 가이드 플레이트들(912, 922)에 전기적으로 연결될 수 있으므로 프로브(400)를 제1 및 제2 가이드 플레이트들(912, 922) 내의 연결 통로들(942) 내에 배치함으로써 가이드 플레이트들(912, 922)을 포함하는 이차 경로(782)(도 7 참조)를 제공한다. 도 9에 도시된 예에서, 최좌측 프로브(400)는 신호 경로(182)를 제공하도록 구성되고 다른 3개의 프로브들(400)은 이차 경로들(782)(도 7 참조)을 제공하도록 구성된다. 전술한 것은 도 9에 도시한 것과 유사하고, 그리고 그와 같고, 도 7과 관련하여 도시되고 위에 논의된 유사한 전기적 경로들(184, 782, 684)을 제공한다.
본 발명의 특정한 실시예들 및 응용들이 본 명세서에 설명되었지만, 이들 실시예 및 응용은 단지 예시적이고, 많은 변형들이 가능하다.

Claims (37)

  1. 다경로(multipath) 프로브에 있어서,
    전기적 도전성 제1 접촉 단부;
    전기적 도전성 제2 접촉 단부;
    상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부 사이의 전기적 도전성 신호 경로;
    상기 신호 경로로부터 전기적으로 절연된 전기적 도전성 이차(secondary) 경로; 및
    상기 신호 경로와 상기 이차 경로 사이의 50미크론(microns) 미만의 갭
    을 포함하는 다경로 프로브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이차 경로는,
    상기 제1 접촉 단부에 인접하여 배치되지만 상기 제1 접촉 단부로부터 전기적으로 절연된 전기적 도전성 제1 이차 접촉부(contact); 및
    상기 제2 접촉 단부에 인접하여 배치되지만 상기 제2 접촉 단부로부터 전기적으로 절연된 전기적 도전성 제2 이차 접촉부를 포함하는 것인 다경로 프로브.
  3. 제2항에 있어서, 상기 프로브는,
    제1 전기적 도전성 가이드 플레이트를 통하는 통로 내에 - 상기 제1 이차 접촉부는 상기 제1 가이드 플레이트와 접촉함 - , 부분적으로 및
    제2 전기적 도전성 가이드 플레이트를 통하는 통로 내에 - 상기 제2 이차 접촉부는 상기 제2 가이드 플레이트와 접촉함 - , 부분적으로 배치되도록 크기가 정해지는 것인 다경로 프로브.
  4. 제1항에 있어서, 상기 갭은 상기 제1 접촉 단부로부터 상기 제2 접촉 단부까지 상기 신호 경로를 따르는 것인 다경로 프로브.
  5. 제1항에 있어서, 상기 절연 갭 내에 배치된 절연 재료를 더 포함하는 다경로 프로브.
  6. 제1항에 있어서, 상기 신호 경로는 상기 제1 접촉 단부를 상기 제2 접촉 단부와 연결하는 전기적 도전성 신호 구조물을 포함하는 것인 다경로 프로브.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부 사이에서, 상기 신호 구조물은 상기 제1 접촉 단부 및 상기 제2 접촉 단부를 통하는 축으로부터 멀어지고 그 후 다시 이 축을 향해 만곡되는 것인 다경로 프로브.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부 사이에 배치되는 유연하고(compliant) 탄력적인(resilient) 보디를 더 포함하고, 상기 보디는 상기 신호 구조물 및 상기 이차 경로를 포함하는 전기적 도전성 이차 구조물을 포함하고,
    상기 신호 구조물은 상기 이차 구조물로부터 전기적으로 절연되고,
    상기 갭은 상기 신호 구조물과 상기 이차 구조물 사이에 있는 것인 다경로 프로브.
  9. 제8항에 있어서, 상기 신호 구조물은,
    상기 제1 접촉 단부로부터 상기 제2 접촉 단부까지 연장되는 전기적 도전성 리프 구조물들, 및
    상기 신호 구조물의 인접한 쌍들의 상기 리프 구조물들 사이의 공간들을 포함하는 것인 다경로 프로브.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이차 구조물은,
    전기적 도전성 리프 구조물들, 및
    상기 이차 구조물의 인접한 쌍들의 상기 리프 구조물들 사이의 공간들을 포함하는 것인 다경로 프로브.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 신호 구조물의 상기 리프 구조물들 및 상기 공간들은 제1 축 상에 실질적으로 정렬되고;
    상기 이차 구조물의 상기 리프 구조물들 및 상기 공간들은 상기 제1 축과 실질적으로 평행한 제2 축 상에 실질적으로 정렬되고;
    상기 신호 구조물, 상기 절연 갭, 및 상기 이차 구조물은 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 실질적으로 수직인 제3 축 상에 실질적으로 정렬되는 것인 다경로 프로브.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1 접촉 단부 및 상기 제2 접촉 단부는 상기 제1 축, 상기 제2 축, 및 상기 제3 축에 실질적으로 수직인 제4 축 상에 실질적으로 정렬되는 것인 다경로 프로브.
  13. 전기 장치에 있어서,
    전기적 도전성 제1 가이드 플레이트 - 상기 전기적 도전성 제1 가이드 플레이트는 상기 제1 가이드 플레이트의 제1 측면으로부터 상기 제1 가이드 플레이트의 제2 측면까지의 통로들을 포함함 - ;
    전기적 도전성 제2 가이드 플레이트 - 상기 전기적 도전성 제2 가이드 플레이트는 상기 제2 가이드 플레이트의 제1 측면으로부터 상기 제2 가이드 플레이트의 제2 측면까지의 통로들을 포함함 - ;
    프로브들 - 상기 프로브들은 상기 프로브들의 제1 접촉 단부들이 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 제1 측면에 위치되도록 상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 내에 부분적으로 배치되며, 또한 상기 프로브들은 상기 프로브들의 제1 접촉 단부들이 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 제2 측면에 위치되도록 상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 내에 부분적으로 배치됨 - ;
    상기 제1 접촉 단부로부터 상기 제2 접촉 단부까지의 상기 프로브들 중 하나의 프로브를 통하는 전기적 도전성 신호 경로 - 상기 신호 경로는 상기 제1 가이드 플레이트 및 상기 제1 가이드 플레이트로부터 전기적으로 절연됨 - ; 및
    상기 제1 가이드 플레이트로부터 상기 제2 가이드 플레이트까지의 상기 프로브들 중 하나의 프로브를 통하는 전기적 도전성 이차 경로 - 상기 신호 경로는 상기 이차 경로로부터 절연됨 -;
    를 포함하는 전기 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 프로브들 중 상기 하나의 프로브는 상기 신호 경로 및 상기 이차 경로를 포함하는 다경로 프로브인 것인 전기 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 이차 경로는,
    상기 제1 가이드 플레이트와 접촉하는 제1 이차 접촉부,
    상기 제2 가이드 플레이트와 접촉하는 제2 이차 접촉부를 포함하는 것인 전기 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제1 이차 접촉부와 상기 제2 이차 접촉부 사이에서, 50미크론 미만의 갭이 상기 이차 경로를 상기 신호 경로로부터 분리시키는 것인 전기 장치.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 신호 경로는 상기 다경로 프로브의 상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부 사이의 전기적 도전성 신호 구조물을 포함하고,
    상기 이차 경로는 상기 다경로 프로브의 상기 제1 이차 접촉부와 상기 제2 이차 접촉부 사이의 전기적 도전성 이차 구조물을 포함하고,
    50미크론 미만의 전기적 절연 갭은 상기 이차 구조물을 상기 신호 구조물로부터 분리시키는 것인 전기 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 이차 접촉부 및 상기 제2 이차 접촉부는 상기 이차 구조물에 전기적으로 연결되고,
    상기 제1 이차 접촉부 및 상기 제2 이차 접촉부는 상기 신호 구조물로부터 전기적으로 절연되는 것인 전기 장치.
  19. 제14항에 있어서, 상기 프로브들 중 다른 하나의 프로브는 전기적 도전성 이차 프로브이고, 상기 이차 프로브는,
    상기 이차 프로브의 제1 접촉 단부가 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 제1 측면에 배치되도록 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 통로들 중 제 2 통로에 부분적으로 배치되고,
    또한, 상기 이차 프로브의 상기 제2 접촉 단부가 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 제2 측면에 배치되도록 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 통로들 중 제 2 통로에 부분적으로 배치되며,
    상기 이차 프로브는 상기 제1 가이드 플레이트 또는 상기 제2 가이드 플레이트와 전기적으로 접촉하는 것인 전기 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    전기적 도전성 단자들을 포함하는 인터페이스 구조물; 및
    상기 제1 가이드 플레이트, 상기 제2 가이드 플레이트, 상기 다경로 프로브, 및 상기 이차 프로브를 포함하는 프로브 어셈블리를 더 포함하고,
    상기 프로브 어셈블리는 상기 인터페이스 구조물에 결합되며 상기 다경로 프로브의 상기 제1 단부가 상기 단자들 중 하나의 단자와 전기적으로 접촉하고, 상기 이차 프로브의 상기 제1 단부가 상기 단자들 중 다른 하나의 단자와 전기적으로 접촉하는 것인 전기 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 인터페이스 구조물은,
    전자 디바이스의 검사를 제어하기 위한 검사 제어기에 연결가능한 전기적 인터페이스, 및
    상기 단자들이 그 위에 배치되는 배선 기판을 더 포함하고, 상기 배선 기판은 상기 단자들로부터 상기 전기적 인터페이스까지의 전기적 연결들을 포함하는 것인 전기 장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 프로브들 중 복수의 추가 프로브들은 추가 이차 프로브들이고, 각각의 상기 추가 이차 프로브는,
    상기 추가 프로브의 제1 접촉 단부가 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 제1 측면에 배치되도록 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 통로들 중 추가 통로에 부분적으로 배치되고,
    또한, 상기 추가 프로브의 제2 접촉 단부가 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 제2 측면에 배치되도록 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 통로들 중 추가 통로에 부분적으로 배치되고,
    상기 추가 이차 프로브는 상기 제1 가이드 플레이트 또는 상기 제2 가이드 플레이트와 전기적으로 접촉하는 것인 전기 장치.
  23. 제13항에 있어서,
    상기 신호 경로를 포함하는 상기 프로브들 중 상기 하나의 프로브는 상기 프로브들 중 제1 프로브이고 상기 제1 가이드 플레이트 및 상기 제2 가이드 플레이트로부터 전기적으로 절연되며,
    상기 이차 경로를 포함하는 상기 프로브들 중 상기 하나의 프로브는 상기 프로브들 중 제2 프로브이고 상기 제1 가이드 플레이트 및 상기 제2 가이드 플레이트에 전기적으로 연결되는 것인 전기 장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브는 상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 하나의 통로 내의, 또한 상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 대응하는 통로 내의 상기 프로브들 중 상기 제 1 프로브의 부분들에 걸쳐 전기적 절연 코팅을 포함하는 것인 전기 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브는 상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 다른 하나의 통로 내의, 또한 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브가 부분적으로 배치되는 상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 대응하는 다른 하나의 통로 내의 측벽들과 물리적으로 접촉함으로써 전기적으로 연결되는 것인 전기 장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브 및 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브는 실질적으로 동일한 형상 및 크기인 것인 전기 장치.
  27. 제23항에 있어서,
    상기 제1 가이드 플레이트는 전기적 도전성 층 및 전기적 절연 층을 포함하는 복합(composite) 가이드 플레이트이고,
    상기 제2 가이드 플레이트는 전기적 도전성 층 및 전기적 절연 층을 포함하는 복합 가이드 플레이트인 것인 전기 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 프로브들 중 상기 제1 프로브가 배치되는 상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 제1 통로는, 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브를 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 도전성 층으로부터 절연시키고,
    상기 프로브들 중 상기 제1 프로브가 배치되는 상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 대응하는 제1 프로브는, 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브를 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 도전성 층으로부터 절연시키는 것인 전기 장치.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 상기 제1 통로는 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브보다 넓은 상기 제1 플레이트의 상기 도전성 층을 통하는 홀, 및 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브와 실질적으로 동일한 폭인 상기 제1 플레이트의 상기 절연 층을 통하는 대응하는 홀을 포함하고,
    상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 상기 제1 통로는 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브보다 넓은 상기 제2 플레이트의 상기 도전성 층을 통하는 홀, 및 상기 프로브들 중 상기 제1 프로브와 실질적으로 동일한 폭인 상기 제2 플레이트의 상기 절연 층을 통하는 대응하는 홀을 포함하는 것인 전기 장치.
  30. 제28항에 있어서,
    상기 프로브들 중 상기 제2 프로브가 배치되는 상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 제2 통로는 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브를 상기 제1 가이드 플레이트의 상기 도전성 층에 전기적으로 연결시키고,
    상기 프로브들 중 상기 제2 프로브가 배치되는 상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 대응하는 제2 통로는 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브를 상기 제2 가이드 플레이트의 상기 도전성 층에 전기적으로 연결시키는 것인 전기 장치.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 제1 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 상기 제2 통로는 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브보다 넓은 상기 제1 플레이트의 상기 도전성 층을 통하는 홀, 및 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브와 실질적으로 동일한 폭인 상기 제1 플레이트의 상기 절연 층을 통하는 대응하는 홀을 포함하고,
    상기 제2 가이드 플레이트를 통하는 상기 통로들 중 상기 제2 프로브는 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브보다 넓은 상기 제2 플레이트의 상기 도전성 층을 통하는 홀, 및 상기 프로브들 중 상기 제2 프로브와 실질적으로 동일한 폭인 상기 제2 플레이트의 상기 절연 층을 통하는 대응하는 홀을 포함하는 것인 전기 장치.
  32. 전기적 도전성 프로브에 있어서,
    전기적 도전성 제1 접촉 단부;
    전기적 도전성 제2 접촉 단부;
    상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부를 전기적으로 연결시키는 전기적 도전성 구조물;
    상기 제1 접촉 단부와 상기 제2 접촉 단부 사이에 배치되고 상기 도전성 구조물로부터 더 연장되는 전기적 도전성 이차 접촉부; 및
    상기 이차 접촉부를 적어도 부분적으로 덮는 전기적 절연 코팅
    을 포함하는 전기적 도전성 프로브.
  33. 제32항에 있어서, 상기 이차 접촉부는 가이드 플레이트를 통하는 통로의 측벽들 내에 맞추어지고 그와 물리적으로 접촉하는 크기로 되는 것인 전기적 도전성 프로브.
  34. 제33항에 있어서, 상기 코팅은 상기 이차 접촉부 상에 배치되어 상기 통로의 상기 측벽들과 상기 이차 접촉부 사이에 있는 것인 전기적 도전성 프로브.
  35. 제34항에 있어서,
    상기 가이드 플레이트는 전기적 도전성이고,
    상기 코팅은 상기 이차 접촉부를 상기 가이드 플레이트로부터 절연시키기에 충분히 두껍고, 상기 이차 접촉부는 상기 통로 내부에 있으며 상기 통로의 상기 측벽들과 물리적으로 접촉하는 것인 전기적 도전성 프로브.
  36. 제32항에 있어서,
    상기 이차 접촉부는 제1 이차 접촉부이며 상기 제1 접촉 단부에 인접하여 배치되고;
    상기 프로브는,
    상기 제1 이차 접촉부와 상기 제2 접촉 단부 사이에 배치되고 상기 도전성 구조물로부터 더 연장되는 전기적 도전성 제2 이차 접촉부; 및
    상기 제2 이차 접촉부를 적어도 부분적으로 덮는 전기적 절연 코팅을 더 포함하는 것인 전기적 도전성 프로브.
  37. 제32항에 있어서, 상기 이차 접촉부는 상기 제1 접촉 단부 및 상기 제2 접촉 단부를 통하는 축으로부터 실질적으로 측방으로 연장되는 것인 전기적 도전성 프로브.
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