JP2007303969A - プローブおよびプローブ組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】プローブの取り換えが可能でありかつ狭配列ピッチに適したプローブ組立体を提供する。
【解決手段】プローブ組立体は、支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含む。隣接するプローブの前記取付け部における互いに対向する面には、相互にずれた領域で該プローブの各対向面を部分的に覆う絶縁膜が形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体および該プローブ組立体に用いるのに好適なプローブに関する。

液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の１つとして、板状の導電板からなる各接触子の一方の面にセラミック製の絶縁体を配置し、これらの導電板および絶縁体が交互に位置するようにそれらを重ね合わせた状態で、各接触子の両端を除く領域でそれらを樹脂材料で一体化したものがある（特許文献１）。

また、同様なプローブ組立体に、帯状の取付け部（中央領域）並びに該取付け部の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先部を備えるブレードタイプの複数のプローブ（接触子）を一体化することなく、支持バーを介してそれぞれ支持体に支持したものがある（特許文献２）。

特許文献１に記載のプローブ組立体によれば、接触子となる各導電板はセラミック製の絶縁体により、電気的に相互に遮断され、樹脂材料によって一体化されていることから、各接触子間の電気的絶縁性が確保された狭ピッチのプローブ組立体が提供される。しかしながら、各プローブ（接触子）が樹脂材料によって一体化されていることから、個々のプローブ（接触子）を取り替えることはできない。

他方、特許文献２に記載のプローブ組立体によれば、ブレードタイプの各プローブは樹脂材料で一体化されておらず、該プローブを貫通する支持バーで支持されていることから、破損したプローブを支持バーから取り外し、正常なプローブと交換することができる。これら板状の各プローブは、隣接するプローブ間の電気的接触を防止するために、隣接するプローブ間に絶縁膜が介在するように、該プローブの両側面を電気絶縁性樹脂からなる絶縁膜で被覆することが試みられている。

しかしながら、特許文献２に記載のプローブ組立体では、各プローブに設けられる絶縁膜の厚さは、プローブの片面で、ほぼ１０μｍの厚さに達することから、例えば１５μｍの厚さ寸法を有するプローブを３０μｍの配列ピッチに対応するように配列するとき、プローブの両面を覆う絶縁膜の厚さがプローブの狭配列ピッチへの対応の妨げになることがある。

そのため、各プローブの両面を絶縁膜で覆うことなく、隣合う各プローブの整列する一方の片面を保護膜で覆うことが考えられる。しかしながら、片面のほぼ全域を保護膜で覆うと、他方の面との間に、前記保護膜による大きな表面応力差が生じることから、各プローブに厚さ方向への反り返りが生じてしまう。この反り返りが大きくなると、各プローブの針先位置に誤差が生じ、正確な測定が困難になるおそれがある。

特開平６−１７４７５０号公報 特開平１０−１３２８５３号公報

そこで、本発明の目的は、狭配列ピッチに好適なプローブ組立体のためのプローブおよびプローブの取り換えが可能でありかつ狭配列ピッチに適したプローブ組立体を提供することにある。

本発明に係るプローブは、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部を備え、プローブの一方の面には、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記プローブの他方の面には、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする。

本発明に係るプローブの一方の面は、その全面にわたって絶縁膜で覆われることはなく、部分的に覆われ、その他の領域が前記絶縁膜から露出ている。また、他方の面は、同様に、その全面にわたって絶縁膜で覆われることはなく、部分的に覆われ、その他の領域が前記絶縁膜から露出ている。しかも、前記他方の面の絶縁膜は、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆うように形成されている。

そのため、本発明に係る前記プローブの両面のいずれか一方の面のみが、その全面にわたって絶縁膜で覆われることがない。したがって、前記絶縁膜によって前記プローブに反り返りが生じるほどに強い表面応力が前記プローブのいずれか一方の面に作用することはなく、この絶縁膜による前記プローブの反り返りを防止してプローブの電気的短絡を防止することが可能になる。

しかも、前記したように、前記他方の面の絶縁膜は、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆うように形成されていることから、前記一方の面および他方の面を有する複数のプローブのうち、一のプローブの前記一方の面と他のプローブの前記他の面とを対向させるように近接して配置することにより、両プローブの対向面に形成された各絶縁膜を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができる。その結果、両プローブ間に実質的に単一の前記絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを重ね合わせることができるので、両プローブ間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。

前記プローブの一方の面の一半を覆って絶縁膜を形成し、またその他方の面の他半を覆って絶縁膜を形成することができる。これにより、前記プローブの取付け部の一方の面に該面の一半を覆う絶縁膜領域を構成し、その一方の面の他半に対応する前記他方の面に該面の他半を覆う絶縁膜領域を構成することができる。

前記絶縁膜により、前記一方の面の一半および前記一方の面の他半に対応する前記他方の面の他半のそれぞれに、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔を置きかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の絶縁膜領域を構成することができる。

また前記絶縁膜により、前記一方の面に、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に前記一方の面の前記絶縁膜領域間に対応する領域で前記取付け部の幅寸法に沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成することができる。

また、前記したように両面に絶縁膜を形成することに代えて、前記一方の面を絶縁膜により部分的に覆い、他方の面の全面を露出面とすることができる。この場合、前記一方の面はその全面にわたって絶縁膜で覆われていないことから、その全面を絶縁膜で覆った場合のような反り返りが生じることはない。

この場合、前記絶縁膜により、前記一方の面に、該取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成することができる。

また、帯状の絶縁膜領域を形成することに代えて、前記一方の面上で点状に分散された絶縁膜領域を構成することができる。

本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの少なくとも前記取付け部における互いに対向する面部分には、相互にずれた領域で該プローブの各対向面部分を部分的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする。

本発明に係る前記プローブ組立体によれば、隣接する両プローブの対向面に形成された各絶縁膜を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができるので、両プローブ間に実質的に単一の前記絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを重ね合わせることができる。したがって、両プローブ間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。

また、前記プローブは樹脂で全体的に一体化されておらず、個々の前記プローブが支持バーで取り外し可能に支持されていることから、例えば欠損したプローブを正常なそれに容易に取り替えることができる。

このプローブ組立体においても、隣接するプローブの対向する一方の面を絶縁膜で部分的に覆い、また他方の面の全面を露出面とすることができる。

前記支持体の縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置される一対のスリットバーを配置し、該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先部をその針先がスリットバーから突出するように受け入れる複数のスリット溝を形成することができる。このスリットバーの配置により、隣接するプローブの針先部分の直接的な短絡を確実に防止することができる。したがって、この場合、プローブの両面における針先部分での絶縁膜の形成を不要とすることができる。

本発明によれば、前記したように、プローブに反り返りが生じるほどに強い表面応力が絶縁膜によってプローブに作用することが無いので、この絶縁膜による前記プローブの反り返りを確実に防ぐことができる。また、この絶縁膜の領域が隣接するプローブ間での電気的短絡を確実に防止する。さらに隣接するプローブの互いに対向する面に重複して絶縁膜領域が形成されることがない。したがって、隣接するプローブ間に実質的に単一の絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを取り替え可能に重ね合わせることができるので、狭ピッチでのプローブの配置が可能となる。

図１には、本発明に係る多数のプローブ組立体１０を組み込んだ検査装置１２の平面図が示されている。図１は、矩形の液晶表示パネル１４の通電試験に用いられる検査装置１２の例を示す。

検査装置１２は、液晶表示パネル１４の外形に相似のこれよりも小さな矩形開口１６ａが設けられた検査台１６を有する。液晶表示パネル１４は、検査台１６の矩形開口１６ａを通して背面よりバックライト光の照射を受けるように、矩形開口１６ａを覆って検査台１６上に配置される。検査台１６上には、その矩形開口１６ａの一方の長辺および一方の短辺のそれぞれに沿って伸びるプローブベース１８（１８ａ、１８ｂ）が配置されており、各プローブベース１８上には、液晶表示パネル１４の表面の縁部に整列して配置された多数の電極パッド（図示せず）に電気的に接続可能のプローブ組立体１０が支持機構２０を介してそれぞれ支持されている。

各支持機構２０は、図２に示すように、それぞれのプローブ組立体１０に設けられた後述する多数のプローブ２２の針先を液晶表示パネル１４へ向けて突出させるように、対応するそれぞれのプローブ組立体１０を取り外し可能に支持する。これにより、各プローブ組立体１０のプローブ２２は、その針先を液晶表示パネル１４の縁部に配列されたそれぞれに対応する前記電極パッドに接触するように、各支持機構２０を介して液晶表示パネル１４へ向けて下降可能に保持される。この支持機構２０と同様な支持機構の構成は、例えば特開２００４−１９１０６４号公報に記載されている。

各支持機構２０により支持されるプローブ組立体１０は、図２および図３に示されているように、支持機構２０により着脱可能に取り付けられるプローブブロック２４と、該プローブブロックの下方に配置される多数の前記プローブ２２とを備える。また、プローブ組立体１０は、図３に示すように、プローブ２２をプローブブロック２４に支持するための一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）と、支持体たる前記プローブブロック２４の下面２４ａに設けられる一対のスリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）とを備える。

プローブブロック２４は、絶縁膜で被覆された金属材料で構成されている。また、一対のスリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）はセラミックのような絶縁材料で構成されている。支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）も、従来におけると同様に、棒状のセラミックのような絶縁材料で構成されている。

プローブブロックすなわち支持体２４の下面２４ａは、全体に矩形形状を有し、その前縁である一辺３０ａが液晶表示パネル１４上で該液晶表示パネル１４の縁部に沿って配置されている。一方のスリットバー２８ａは、支持体２４の下面２４ａの前縁３０ａに沿って配置されており、該スリットバーの上面で支持体２４の下面２４ａに固定されている。また他方のスリットバー２８ｂは、前記一方のスリットバー２８ａから間隔を置くように、支持体２４の下面２４ａの後縁３０ｂに沿って配置され、その上面で支持体２４の下面２４ａに固定されている。

各スリットバー２８ａ、２８ｂのそれぞれの下面には、プローブ２２の個数に一致した数のスリット溝３２ａ、３２ｂが、各スリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向に相互に間隔を置いて、形成されている。各スリット溝３２ａ、３２ｂは、対応するスリットバー２８ａ、２８ｂをその幅方向へ横切って伸び、下方にそれぞれ開放する。一対のスリットバー２８ａ、２８ｂの対応するスリット溝３２ａ、３２ｂは、対応するプローブ２２を受け入れるべく相互に整列して配置されている。

支持体２４の下面２４ａの下方に配置される各プローブ２２は、図３に示されているように、その長手方向へ一様な幅寸法Wを有し中央領域として作用する帯状の取付け部３４と、該取付け部の先端および後端からそれぞれさらに先方および後方へ伸長する帯状の一対の針先部３６（３６ａ、３６ｂ）とを備える板状の導電部材からなる。

各プローブ２２の取付け部３４には、一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）のための一対のガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）が形成されている。一対のガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）は、取付け部３４の長手方向へ相互に間隔をおいて配置され、それぞれが取付け部３４を貫通すべく該取付け部の両端部に形成されている。

各一方の針先部３６ａは、取付け部３４の長手方向の一端における下縁部から前方へ伸長し、また各他方の針先部３６ｂは、取付け部３４の他端における上縁部から後方へ伸長する。各針先部３６（３６ａ、３６ｂ）は、取付け部３４の幅寸法Wよりも小さな幅寸法を有する。

プローブ２２は、それらの一方の針先部３６ａが一方のスリットバー２８ａの対応するスリット溝３２ａに受け入れられ、またそれらの他方の針先部３６ｂが他方のスリットバー２８ｂの対応するスリット溝３２ｂに受け入れられるように、支持体２４の下面２４ａから間隔をおいて該下面の下方に配置される。これらのプローブ２２は、各取付け部３４の幅寸法Ｗの方向が上下方向となるように、相互に間隔をおいて並列的に揃えられており、また各取付け部３４の各ガイド穴３８ａ、３８ｂが整列する。整列した各ガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）には、対応する各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）が貫通する。各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）は、その両端で、支持体２４の両側に固定される一対のサイドカバー４０（図２参照）に支持されている。これにより、各プローブ２２は、スリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）と平行に配置された各支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）を介して、支持体２４の下側に所定の姿勢で保持されている。

プローブ２２の前記他方の針先部３６ｂは、該針先部の後端に形成された後方の針先４２ｂをスリットバー２８ｂから支持体２４の後方へ突出させる。この後方の針先４２ｂは、支持機構２０に支持された支持ブロック４４の下面に固定された回路板４６の対応する接続パッドに接続されることから、各プローブ２２は、回路板４６を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先４２ｂは、図示の例では、回路板４６への誤接触を防止するためのガイドフィルム４８の穴４８ａを経て前記接続パッドに接続されている。

プローブ２２の前記一方の針先部３６ａは、該針先部の先端に形成された前方の針先４２ａをスリットバー２８ａの前方からその下方へ突出させる。また、図示の例では、スリットバー２８ａのスリット溝３２ａの後縁部には、平坦な段差面５０ａを規定する段部５０が形成されている。また、段部５０は、スリット溝３２ａの頂面よりも上方に位置する段差面５０ａを規定する。

また、プローブ２２の取付け部３４と一方の針先部３６ａとの間には、前記段差面５０ａに対向する平坦な段差面５２ａを規定する段部５２が形成されている。この両面５０ａ、５２ａの当接状態では、スリット溝３２ａの前記頂面に針先部３６ａが当接することはなく、段差面５０ａを除く領域と、針先部３６ａとの間には間隔が保持された状態で、該針先部の針先４２ａがスリットバー２８ａの前縁より斜め下方へ突出して保持されている。

したがって、プローブ組立体１０の各プローブ２２の前記一方の針先部３６ａが液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧されると、各プローブ２２の針先４２ａに作用する押圧力の少なくとも一部は、その針先部３６ａの段差面５２ａに対向するスリットバー２８ａの段部５０の段差面５０ａで反力が担われることから、該段差面が剛的支点として作用する。また、各針先部３６ａは、スリット溝３２ａの前記頂部における段差面５０ａを除く領域に当接する迄、針先部３６ａにおける弾性変形が許される。

これにより、各プローブ２２は、この弾性変形量に応じたオーバドライブ力でもって、液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。この剛的支点５０ａおよび段部５２を不要とすることができる。しかしながら、一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）に作用するオーバドライブ力の軽減を図り、この支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）の撓み変形に伴う針先４２ａのずれを防止するる上で、前記したような剛的支点を設けることが望ましい。

本発明に係るプローブ組立体１０が組み込まれた検査装置１２では、各プローブ組立体１０に設けられた各プローブ２２の針先４２ａが液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。このとき、各プローブ２２は、弾性を伴う撓み変形を生じ、この撓み変形に応じたオーバドライブ力で対応する前記電極パッドに接続されることから、該各電極パッドはプローブ組立体１０を経て前記テスタ本体に確実接続される。

このとき、相互に隣接するプローブ２２間での電気的短絡を防止するために、図４および図５に示すように、板状の各プローブ２２の両面２２ａ、２２ｂ（図５参照）には、該プローブの長手方向で見てその一半に位置する領域５４ａと、プローブ２２の長手方向でみて前記一半と反対側に位置する他半に位置する領域５４ｂとに絶縁膜５６、５８で覆われた絶縁膜領域が形成されている。なお、図４および図５および以下に示す各図面には、図面の簡素化のために図３では省略されていた容量低減用穴６０ａ、６０ｂが示されている。容量低減用穴６０ａ、６０ｂは、隣接するプローブ２２間での静電容量の低減を図ることにより、パルス状信号の漏れによる隣接するプローブ２２間でのクロストークを低減する。

図４および図５を参照するに、各プローブ２２の一方の面２２ａは、図示の例では、前方の針先４２ａを除き、該針先が形成される一方の針先部３６ａを含むプローブ２２の長手方向に沿って見た一半（５４ａ）が絶縁膜５６により覆われている。この一方の面２２ａの他半（５４ｂ）は、絶縁膜５６に覆われることはなく、したがって、後方の針先４２ｂが形成された他方の針先部３６ｂを含む他半（５４ｂ）が露出する。

また、プローブ２２の他方の面２２ｂは、後方の針先４２ｂを除き、該針先が形成される他方の針先部３６ｂを含むプローブ２２の長手方向に沿って見た他半（５４ｂ）が絶縁膜５８により覆われている。この他方の面２２ｂの一半（５４ａ）は、絶縁膜５８に覆われることはなく、したがって、前方の針先４２ａが形成された前記一方の針先部３６ａを含む一半（５４ａ）が露出する。

複数のプローブ２２は、図５に示すように、それぞれの一方の面２２ａを他のプローブ２２の他方の面２２ｂに対向させて配置され、前記したとおり、ガイド穴３８（３８ａ、３８ｂ）を貫通する一対の支持バー２６（２６ａ、２６ｂ）を介して、支持体２４に支持される。このとき、隣接する各プローブ２２の一方の面２２ａの絶縁膜５６で覆われた絶縁膜領域が、隣接する各プローブ２２の他方の面２２ｂの絶縁膜５８からの露出領域に対向する。また、隣接する各プローブ２２の一方の面２２ａの絶縁膜５６からの露出領域が、隣接する各プローブ２２の他方の面２２ｂの絶縁膜５８で覆われた絶縁膜領域に対向する。

したがって、隣接するプローブ２２は、面２２ａおよび面２２ｂを互いに対向させて配置されるとき、それぞれの対向面２２ａ、２２ｂの互いにずれた領域５４ａ、５４ｂに絶縁膜５６、５８が位置することになる。

これにより、前記プローブ組立体１０によれば、隣接する両プローブ２２の対向面２２ａ、２２ｂに形成された各絶縁膜５６、５８を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができるので、両プローブ２２間に実質的に単一の前記絶縁膜５６または５８の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ２２を重ね合わせることができる。したがって、両プローブ２２間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。

この狭ピッチ化について、図５および図６の実施例では、プローブ２２が例えば２０μｍの厚さ寸法を有し、絶縁膜５６、５８がそれぞれ１０μｍの厚さ寸法を有するとき、図５に示す配置ピッチＰを約３０μｍとすることができる。

また、プローブ２２は、そのいずれか一方の面２２ａまたは２２ｂのみがその全面にわたって絶縁膜５６または５８で覆われていないことから、該絶縁膜による表面応力差による大きな反り返り力がプローブ２２に生じることはない。さらに、プローブ２２は樹脂で全体的に一体化されておらず、個々のプローブ２２が支持バー２６ａ、２６ｂで取り外し可能に支持されていることから、例えば欠損したプローブ２２を正常なそれに容易に取り替えることができる。

図６および図７に示すように、各スリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）の隔壁３２ｃおよび３２ｄ（図３参照）に対応する部分５６ａ、５８ａを絶縁膜５６または５８から露出させることができる。図８には、他方のスリットバー２８ｂと、プローブ２２の他方の面２２ｂの他半５４ｂに形成された絶縁膜５８から露出する部分５８ａとの関係が拡大して示されている。隣接するプローブ２２の針先部３６ｂ間には、スリットバー２８ｂの隔壁部３２ｄが介在することから、該隔壁部に対応する領域５８ａの短絡が隔壁部３２ｄにより防止されることから、この領域５８ａの絶縁膜を不要とすることができる。スリットバー２８ａの隔壁３２ｃに対応する部分５６ａ（図６参照）についても、同様に絶縁膜を不要とすることができる。

また、一対のスリットバー２８（２８ａ、２８ｂ）が配置される場合、針先部３６（３６ａ、３６ｂ）の各絶縁膜５６、５８を不要とすることができる。しかしながら、プローブ２２間のより確実な絶縁性を確保する上で、一方の面２２ａの一半５４ａおよび他方の面２２ｂの他半５４ｂを針先部３６（３６ａ、３６ｂ）を含めて、前記したように、各絶縁膜５６、５８で覆うことが望ましい。

図９および図１０に示す例では、プローブ２２の一方の面２２ａの一半５４ａには、絶縁膜５６からなる帯状の複数の絶縁膜領域が形成されている。また、他方の面２２ｂの他半５４ｂには、絶縁膜５８からなる帯状の複数の絶縁膜領域が形成されている。帯状の各絶縁膜領域（５６、５８）は、取付け部３４の長手方向へ相互に間隔を置いて形成され、それぞれが取付け部３４の幅方向Wに伸長する。

各絶縁膜５６、５８を帯状に形成することにより、絶縁膜５６、５８によってプローブ２２に導入される表面応力の影響をより低減することができる。また、絶縁膜５６、５８の材料の使用量を低減することができる。

プローブ２２の一方の面２２ａの一半５４ａおよび他方の面２２ｂの他半５４ｂに絶縁膜５６、５８を集合的に形成することに代えて、図１１および図１２に示すように、一方の面２２ａおよび他方の面２２ｂに帯状の絶縁膜５６、５８を取付け部３４の長手方向へ均等に分散させることができる。

図１１および図１２に示す例では、各プローブ２２の一方の面２２ａには、プローブ２２の長手方向すなわち取付け部３４の長手方向へ相互に間隔をおいて複数の帯状の絶縁膜５６がプローブ２２の一半５４ａから他半５４ｂにわたって形成されている。また、プローブ２２の他方の面２２ｂには、同様に、複数の帯状の絶縁膜５８がプローブ２２の一半５４ａから他半５４ｂにわたって形成されている。

一方の面２２ａに形成された絶縁膜５６は、他方の面２２ｂに形成された絶縁膜５８間の領域に形成されており、他方の面２２ｂに形成された絶縁膜５８は、一方の面２２ａに形成された絶縁膜５８間の領域に形成されている。これにより、絶縁膜５６は、一方の面２２ａに、取付け部３４の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、他方の面２２ｂに、一方の面２２ａの前記絶縁膜領域間に対応する領域で取付け部３４の幅方向Wに沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成する。

したがって、図１１に示すように、隣接する両プローブ２２の対向面２２ａ、２２ｂに形成された各絶縁膜５６、５８を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができる。

図１３および図１４に示すように、プローブ２２の両面２２ａ、２２ｂのいずれか一方の面に帯状の絶縁膜を形成し、他方の面に絶縁体を形成することなくその全面を露出面とすることができる。図示の例では、一方の面２２ａに絶縁膜が形成されておらず、その全面が露出する。これに対し、他方の面２２ｂには、前記した例におけると同様な帯状の絶縁膜５８が取付け部３４の長手方向に間隔をおいて形成されている。

プローブ２２の両面２２ａ、２２ｂのいずれか一方の面に絶縁膜を形成することなく、その他方の面を全面にわたって絶縁膜で覆うと、プローブの片面に該片面を覆う絶縁膜によって強い表面応力が作用し、表面応力差によってプローブに大きな反りを生じる。しかしながら、図１３および１４に示すように、他方の面２２ｂに形成される絶縁膜５８を帯状とすることにより、この絶縁膜５８で他方の面２２ｂの全面を覆うことがないので、該面に絶縁膜５８からの露出面を確保することができ、プローブ２２に大きな反り返りが生じることを防止できる。

したがって、このような絶縁膜５８によっても、プローブ２２に反り返りを生じさせることなく、隣接する両プローブ２２間に実質的に単一の絶縁膜５８の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ２２を重ね合わせることができるので、両プローブ２２間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。

また、プローブ２２の両面２２ａ、２２ｂのいずれか一方の面に絶縁膜を形成することなく、その他方の面に絶縁膜を形成するについて、図１５に示すように、その一方の面（２２ｂ）に、絶縁膜５８を点状に分散させることができる。このような点状に分散された絶縁膜５８によっても、プローブ２２に反り返りを生じさせることなく、隣接する両プローブ２２間に実質的に単一の絶縁膜５８の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ２２を重ね合わせることができる。したがって、両プローブ２２間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

本発明に係るプローブ組立体を組み込んだ電気的接続装置の一例を示す液晶表示パネルの検査装置の一部を示す平面図である。 図１に示した検査装置に組み込まれた多数のプローブ組立体の一つを示す正面図である。 図２に示されたIII-III線に沿って得られたプローブ組立体の部分的な断面図である。 図３に概略的に示したプローブを詳細に示す正面図である。 図４に示したプローブを積層状態で示す平面図である。 本発明の他の例を示す図４と同様な図面である。 図６に示したプローブについての図５と同様な図面である。 図６に示したプローブの一部とスリットバーとの関係を示す部分的な断面図である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。 図９に示したプローブについての図５と同様な図面である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。 図１１に示したプローブについての図５と同様な図面である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。 図１３に示したプローブについての図５と同様な図面である。 本発明のさらに他の例を示す図４と同様な図面である。

符号の説明

１０ プローブ組立体
２２ プローブ
２２ａ、２２ｂ プローブの面
２４ 支持体
２６（２６ａ、２６ｂ） 支持バー
２８（２８ａ、２８ｂ） スリットバー
３４ 取付け部
３６（３６ａ、３６ｂ） 針先部
５４ａ プローブの一半
５４ｂ プローブの他半
５６、５８ 絶縁膜

Claims (10)

1. 帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部を備えるプローブであって、該プローブの一方の面には、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記プローブの他方の面には、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を選択的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする、プローブ。
2. 前記絶縁膜は、前記一方の面に、該面の一半を覆う絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に、前記一方の面の他半に対応する他半を覆う絶縁膜領域を構成する、請求項１に記載のプローブ。
3. 前記絶縁膜は、前記一方の面の一半と、前記一方の面の他半に対応する前記他方の面の他半とのそれぞれに、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の絶縁膜領域を構成する、請求項２に記載のプローブ。
4. 前記絶縁膜は、前記一方の面に、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に、前記一方の面の前記絶縁膜領域間に対応する領域で前記取付け部の幅寸法に沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成する、請求項１に記載のプローブ。
5. 帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部とを備えるプローブであって、該プローブの一方の面は該面を部分的に覆う絶縁膜により覆われており、他方の面はその全面が露出面であることを特徴とする、プローブ。
6. 前記絶縁膜は、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成する、請求項５に記載のプローブ。
7. 前記絶縁膜は点状に分散された絶縁膜領域を構成する、請求項１または５に記載のプローブ。
8. 支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの互いに対向する面のうち、少なくとも前記取付け部の互いに対向する面部分には、相互にずれた領域で該各対向面部分を部分的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とするプローブ組立体。
9. 支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの互いに対向する面のうち、一方の面は、該面を部分的に覆う絶縁膜により、覆われており、他方の面はその全面が露出面であることを特徴とする、プローブ組立体。
10. さらに、前記支持体の縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置される一対のスリットバーであって該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先部をその針先がスリットバーから突出するように受け入れる複数のスリット溝を有するスリットバーを含む、請求項８または９に記載のプローブ組立体。

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