JPH11352148A - プローブ及びプローブ組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩
を可能な限り小さくすることにある。 【解決手段】 プローブは、帯状の中央領域と、該中央
領域の一端に続く第１の針先領域と、前記中央領域の他
端に続く第２の針先領域と、前記中央領域に形成されて
前記中央領域をその長手方向へ伸びる１以上の切欠部で
あって前記幅方向における少なくとも一方又は他方に開
放する切欠部とを備える。プローブ組立体は、そのよう
な複数のプローブを、隣り合うプローブの前記切欠部が
対向しないように、ブロックに配置している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル、
集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及
びプローブ組立体に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のプローブ組立体として、金属細
線からなるプローブを用いたニードルタイプのもの、帯
状のプローブを用いたブレードタイプのもの、スプリン
グピンをプローブとして用いたスプリングピンタイプの
もの等が提案され、販売されている。これらのうち、ブ
レードタイプのプローブを用いた組立体は、プローブ自
体の製作及びプローブ組立体への組み立てが容易で廉価
になる等、多くの利点を有する。

【０００３】しかし、従来のプローブ組立体、特にプレ
ードタイプのプローブを用いたものは、隣り合うプロー
ブの対向面積が大きいから、隣り合うプローブ間におけ
る電気信号の漏洩の影響を大きく受け、従って試験用信
号として高周波信号を用いるいわゆる高周波試験に適さ
ない。

【０００４】

【解決しようとする課題】それゆえに、隣り合うプロー
ブ間における電気信号の漏洩を可能な限り小さくするこ
とは、特に高周波試験において重要である。

【０００５】

【解決手段、作用、効果】本発明のプローブは、帯状の
中央領域と、該中央領域の一端に続く第１の針先領域
と、前記中央領域の他端に続く第２の針先領域と、前記
中央領域に形成されて前記中央領域をその長手方向へ伸
びる１以上の切欠部であって前記幅方向における少なく
とも一方又は他方に開放する切欠部とを備える。

【０００６】各プローブは、第１及び第２の針先領域の
端部を針先として用いられる。少なくとも、幅方向の一
方に開放する切欠部を有する複数のプローブと、幅方向
の他方に開放する切欠部を有する複数のプローブとがプ
ローブ組立体に用いられる。プローブは、隣り合うプロ
ーブの切欠部が中央領域の幅方向に互いにずれるよう
に、ブロックに配置することができる。

【０００７】このため、本発明のプローブによれば、ブ
レードタイプのプローブであるにもかかわらず、隣り合
うプローブの長穴又は切欠部を対向させた場合に比べ、
隣り合うプローブの対向する部分の面積が両プローブの
長穴及び切欠部の面積の和に対応するだけ小さくなり、
その結果隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が
小さくなる。

【０００８】プローブは、さらに、前記中央領域の幅方
向における前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方向へ
伸びる１以上の長穴を備えることができる。このように
すれば、隣り合うプローブの切欠部及び長穴の両者が中
央領域の幅方向に互いにずれるように、複数のプローブ
をブロックに配置することができる。これにより、隣り
合うプローブの対向する部分の面積が両プローブの長穴
の面積に対応するだけさらに小さくなるから、隣り合う
プローブ間における電気信号の漏洩がさらに小さくな
る。

【０００９】プローブは２つの前記切欠部を備え、一方
の切欠部を前記幅方向における一方に開放させ、他方の
切欠部を前記幅方向における他方に開放させることがで
きる。この場合、例えば、幅方向における一方に開放す
る切欠部及び幅方向における他方に開放する切欠部を有
するプローブを、切欠部が幅方向における一方に開放す
るプローブと、切欠部が幅方向における他方に開放する
プローブとの間となるように配置することができる。こ
れにより、各プローブの幅寸法を切欠部の部位において
より小さくすることができるから、隣り合うプローブの
対向する部分の面積がより小さくなり、隣り合うプロー
ブ間における電気信号の漏洩がさらに小さくなる。

【００１０】前記第１及び第２の針先領域は、前記中央
領域の幅方向外側に及び互いに反対側に突出した針先を
有することができる。プローブは、さらに、前記中央領
域の長手方向に間隔をおいた箇所のそれぞれに形成され
たガイド穴を有することができる。

【００１１】本発明のプローブ組立体は、ブロックと、
複数のプローブとを含む。各プローブは、帯状の中央領
域並びに該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに
前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域と、前記
中央領域に形成されて前記中央領域をその長手方向へ伸
びる１以上の切欠部であって前記幅方向における少なく
とも一方又は他方に開放する切欠部とを備える。

【００１２】これらのプローブは、前記中央領域の幅方
向が上下方向とした状態に前記ブロックの下側に並列的
に配置されており、また、隣り合うプローブの前記切欠
部を前記中央領域の幅方向に変位させている。

【００１３】本発明のプローブ組立体によれば、隣り合
うプローブの切欠部が中央領域の幅方向に互いにずれて
いるから、ブレードタイプのプローブを用いているにも
かかわらず、隣り合うプローブの切欠部を対向させた場
合に比べ、隣り合うプローブの対向する部分の面積が両
プローブの切欠部の面積の和に対応するだけ小さくな
り、その結果隣り合うプローブ間における電気信号の漏
洩が小さくなる。

【００１４】各プローブにさらに前記中央領域の幅方向
における前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方向へ伸
びる１以上の長穴を形成し、隣り合うプローブの前記長
穴を前記中央領域の幅方向に変位させることができる。
これにより、隣り合うプローブの対向する部分の面積が
両プローブの長穴の面積の和に対応する分だけさらに小
さくなるから、隣り合うプローブ間における電気信号の
漏洩がさらに小さくなる。

【００１５】前記幅方向の一方に開放する前記切欠部及
び前記幅方向の他方に開放する前記切欠部を有するプロ
ーブを、前記切欠部が前記幅方向の一方に開放するプロ
ーブと、前記切欠部が前記幅方向の他方に開放するプロ
ーブとの間に配置することができる。これにより、各プ
ローブの幅寸法を切欠部の部分においてより小さくする
ことができるから、隣り合うプローブの対向する部分の
面積がより小さくなり、隣り合うプローブ間における電
気信号の漏洩がさらに小さくなる。

【００１６】プローブ組立体は、さらに、前記プローブ
の中央領域を貫通して伸びる１以上のガイドバーであっ
て前記ブロックに支持されたガイドバーを含むことがで
きる。これにより、例えば、多数のプローブを液晶表示
パネルのような平板状被検査体の電極の配置パターンに
応じたパターンとなるようにブロックに配置し、ガイド
バーをプローブのガイド穴に通し、その後ガイドバーを
ブロックに支持させることにより、組み立てることがで
きるから、組立が容易になる。

【００１７】プローブ組立体は、さらに、前記ブロック
の先端側及び後端側にそれぞれ配置されて前記プローブ
の配列方向へ伸びる第１及び第２のスリットバーであっ
て前記プローブの先端側及び後端側の部位をそれぞれ受
け入れるべく長手方向に間隔をおいた複数のスリットを
それぞれ有する第１及び第２のスリットバーを含むこと
ができる。これにより、プローブがスリットバーにより
ガイドバーの長手方向（すなわち、プローブの入れる方
向）における所定の位置に維持されるから、組立作業が
より容易になり、より廉価になる。また、組立後におい
ても、ガイドバーの長手方向へのプローブの変位がプロ
ーブの両端部においてスリットバーにより阻止されるか
ら、ガイドバーの長手方向における両針先領域の位置が
安定し、各プローブの針先が所定の電極に確実に接触す
る。

【００１８】前記ガイドバーの長手方向の端部を受け入
れる板状の一対のサイドカバーであって前記ブロックの
側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバ
ーを含むことができる。これにより、サイドバーを介し
てガイドバーをブロックに支持させることができる。

【００１９】さらに、プローブの中央領域の長手方向に
間隔をおいた部位、好ましくは先端部及び後端部を貫通
して伸びる一対のガイドバーを設けることができる。こ
れにより、ブロックに対する各プローブの姿勢が安定す
る。

【００２０】さらに、ガイドバーの長手方向へ伸びる状
態にブロックの後端に組み付けられた長い板状のガイド
部材であって第２の針先領域の針先が貫通する複数の穴
を有するガイド部材を含むことができる。これにより、
第２の針先領域の針先がガイド部材によりガイドバーの
長手方向における所定の位置に維持されるから、第２の
針先領域の針先の位置がより安定する。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、プロー
ブ組立体１０は、ブロック１２と、ブロック１２の下側
に交互に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４
ａ，１４ｂと、プローブ１４ａ，１４ｂを貫通する細長
い一対のガイドバー１６と、プローブ１４ａ，１４ｂの
一部を受け入れる一対のスリットバー１８と、プローブ
１４ａ，１４ｂの後端側に針先の位置を安定化させる長
尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６をブロック１２
に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。

【００２２】なお、本発明においては、ブロック１２の
厚さ方向（図１において上下の方向）を上下方向とい
い、プローブ１４ａ，１４ｂの伸長方向すなわち長手方
向（図１において左下から右上の方向及びその逆の方
向）を前後方向といい、ガイドバー１６の長手方向（図
１において左上から右下及びその逆の方向）を左右方向
という。

【００２３】ブロック１２は、ねじ穴２４及び一対のガ
イド穴２６を上面の側に有すると共に、一対のガイド穴
２８を各側面の側に有する。ブロック１２の下面は、図
４に示すように、複数の段部により階段状に形成されて
いる。ブロック１２は、電気を通さないいわゆる非導電
性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂から製作する
ことができる。

【００２４】プローブ１４ａ，１４ｂのそれぞれは、図
４〜図７に示すように、帯状の中央領域３０と、該中央
領域の先端（前端）及び後端からそれぞれさらに前方及
び後方へ伸びる一対の針先領域３２及び３４とを備え
る。

【００２５】中央領域３０は、ガイドバー１６が貫通す
るガイド穴３６を各端部に有すると共に、中央領域３０
の長手方向に間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３
８をガイド穴３６の間の部位に有する。各長穴３８は、
中央領域３０の長手方向へ伸びていると共に、中央領域
３０の長手方向に間隔をおいている。

【００２６】図示の例では、各ガイド穴３６は、円形で
あるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とす
ることができる。また、ガイド穴３６を、中央領域３０
の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよい
し、中央領域３０の長手方向へ伸びる長穴としてもよ
く、この場合長穴３８に続く長い穴としてもよい。

【００２７】図６（Ａ）及び（Ｂ）にそれぞれ示すよう
に、プローブ１４ａ及び１４ｂは、さらにそれぞれ、中
央領域３０の幅方向における長穴３８の隣をその長手方
向へ伸びる細長い切欠部４０ａ及び４０ｂを有する。切
欠部４０ａ及び４０ｂは、それぞれ、中央領域３０の幅
方向における一方及び他方に開放していると共に、中央
領域３０を厚さ方向へ貫通している。

【００２８】針先領域３２及び３４は、それぞれ、中央
領域３０の幅方向における一方の縁部の側及び他方の縁
部の側から前方及び後方へ伸びており、また中央領域３
０の最大幅寸法より小さい最大幅寸法を有する。針先領
域３２及び３４の針先３２ａ及び３４ａは、それぞれ、
針先領域３２及び３４の先端部及び後端部から下方及び
上方へ突出している。プローブ１４ａ，１４ｂをその厚
さ方向から見たとき、針先３２ａは半円形の形状を有す
るが、針先３４ａは三角形の形状を有する。

【００２９】プローブ１４ａ，１４ｂは、導電性の薄い
金属板にエッチング加工をしてプローブを作成し、次い
でポリイミド材のような電気絶縁性材料によるコーティ
ングをプローブ１４ａ，１４ｂの針先となる部分を除い
て形成することにより、製作することができる。

【００３０】プローブ１４ａ，１４ｂは、中央領域３０
の幅方向が上下方向となり、プローブ１４ａ及び１４ｂ
がそれらの配列方向に交互となる状態に、ブロック１２
の下側に並列的に配置されている。このため、隣り合う
プローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及び切欠部４０ａ，
４０ｂは中央領域３０の幅方向にずれている（図４、図
６（Ｃ）及び図７参照）。しかし、隣り合うプローブ１
４ａ，１４ｂのガイド穴３６は、一致している。

【００３１】各ガイドバー１６は、図示の例では、円形
の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料によ
り形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４
ａ，１４ｂのガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイ
ドカバー２２を貫通することにより、両サイドカバー２
２によりブロック１２に組み付けられる。

【００３２】各スリットバー１８には、複数のスリット
４２が長手方向に所定のピッチで形成されている。各ス
リット４２は、プローブ１４ａ，１４ｂの厚さ寸法とほ
ぼ同じ幅寸法を有しており、またスリットバー１８の幅
方向全体にわたって伸びている。スリットバー１８はセ
ラミックのような非導電性材料から製作することができ
る。また、各スリット４２は、スリットバー１８をブロ
ック１２に装着する前又は装着した後に、形成すること
ができる。

【００３３】一方のスリットバー１８は、これがプロー
ブ１４ａ，１４ｂの配列方向へ伸びてスリット４２が下
方に向く状態にブロック１２の前端下面に接着される。
他方のスリットバー１８は、これがプローブ１４ａ，１
４ｂの配列方向へ伸びてスリット４２が下方に向く状態
にブロック１２の後端下面に接着される。しかし、各ス
リットバー１８をブロック１２に１以上のねじ部材によ
り又は嵌合により取り付けてもよい。

【００３４】各プローブは、針先３２ａが一方のスリッ
トバー１８から前方及び下方へ突出するように、針先領
域３２を一方のスリットバー１８のスリット４２に受け
入れられており、また針先３４ａが他方のスリットバー
１８から後方及び上方へ突出するように、中央領域３０
と針先領域３４との境界近傍を他方のスリットバー１８
のスリット４２に受け入れられている。

【００３５】ガイド部材２０は、Ｌ字型の断面形状を有
しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおい
た複数の貫通穴４４（図５参照）をＬ字の一方の辺部分
に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導
電性のフィルムから製作することができ、また穴４４は
例えばレーザ加工により形成することができる。

【００３６】ガイド部材２０は、各針先３４ａが穴４４
を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ
１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材４６によ
りブロック１２の後端面下部に取り外し可能に取り付け
られている。しかし、ガイド部材２０をブロック１２
に、嵌合又は接着により取り付けてもよい。

【００３７】各サイドカバー２２は、ブロック１２の側
面と対応した形状の板部材から形成されており、また一
対のガイドピン４８と複数のねじ部材５０とによりブロ
ック１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。

【００３８】各ガイドピン４８は、ブロック１２に形成
されたガイド穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部
をサイドカバー２２に形成されたガイド穴に嵌合され
る。しかし、ガイドピン４８をサイドカバー２２に固定
してもよい。サイドカバー２２は、両ガイドバー１６の
端部を受け入れる貫通穴を有する。

【００３９】図においては、隣り合うプローブ１４ａ，
１４ｂが大きく間隔をおいているように示しているが、
実際にはプローブ１４ａ，１４ｂの配列ピッチは小さ
い。プローブ１４ａ，１４ｂの厚さ寸法及び配列ピッ
チ、ならびに、スリット４２の配置ピッチ及び幅寸法
は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法に
より異なる。

【００４０】たとえば、被検査体の電極の配置ピッチ及
び幅寸法がそれぞれ５５μｍ及び４０μｍである場合、
プローブ１４ａ，１４ｂ及びスリット４２の配置ピッチ
を５５μｍ、スリット４２の幅寸法を３５μｍ、プロー
ブ１４用の薄い金属板素材の厚さ寸法を３０μｍとする
ことができる。

【００４１】プローブ組立体１０は、先ず、両スリット
バー１８とガイド部材２０とを上記した状態にブロック
１２に取り付けた状態で、プローブ１４ａ，１４ｂの両
端部をスリットバー１８のスリット４２に挿し込むと共
に針先３４ａをガイド部材２０の穴４０に通し、次いで
ガイドバー１６をプローブ１４ａ，１４ｂのガイド穴３
６に挿し通し、次いでガイドピン４８をサイドカバー２
２とブロック１２とに挿し通すと共にガイドバー１６の
端部をサイドカバー２２に挿し通し、その後サイドカバ
ー２２をねじ部材５０でブロック１２に取り付けること
により、組み立てることができる。

【００４２】これにより、プローブ１４ａ，１４ｂ及び
ガイドバー１６は、サイドカバー２２を介してブロック
１２に支持されており、また、プローブ１４ａ，１４ｂ
は、中央領域３０の幅方向が上下方向となり、プローブ
１４ａ及び１４がそれらの配列方向に交互となる状態
に、ブロック１２の下側に並列的に配置されている。

【００４３】プローブ組立体１０において、隣り合うプ
ローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及び切欠部４０ａ，４
０ｂは中央領域３０の幅方向にずれている。換言すれ
ば、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの中央領域３０の
うち、長穴３８及び切欠部４０ａ又は４０ｂが形成され
た部分の残存部分（導電性の残存部分）は対向すること
なく、幅方向へずれている。それゆえに、これらの残存
部分は、隣のプローブの長穴３８及び切欠部４０ａ又は
４０ｂと対向する。

【００４４】上記のように組み立てた状態において、プ
ローブ１４ａ，１４ｂは液晶表示パネルのような平板状
被検査体７０（図４参照）の電極の配置パターンに応じ
たパターンにブロック１２の下側に並列的に配置され、
針先３２ａはスリットバー１８から前方及び下方へ突出
し、針先３４ａはスリットバー１８から後方及び上方へ
突出してガイド部材２０から上方へ突出しており、針先
領域３２のスリット４２の底面との間に空間が形成され
ている。

【００４５】検査用ヘッド５２に組み付けるとき、プロ
ーブ組立体１０は、図４及び図５に示すように、針先３
４ａがＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープ５４に設
けられた駆動用集積回路５６の電極に接触し、かつ、針
先３４ａが駆動用集積回路５６の電極にわずかに過剰に
押圧された状態に、検査用ヘッド５２の取付体５８に組
み付けられる。

【００４６】これにより、プローブ１４ａ，１４ｂは針
先領域３４の幅寸法が中央領域３０のそれより小さいか
ら弧状に反り、各針先３４ａは電極に確実に接触する。
駆動用集積回路５６は、可撓性の配線基板６０に形成さ
れた配線に接続されている。

【００４７】図５に示すように、ガイド部材２０の貫通
穴４４に対応する微小な複数のガイド穴６４を有するガ
イドフィルム６２を駆動用集積回路５６の電極の下面に
貼着することが好ましい。これにより、針先３４ａが駆
動用集積回路５６の電極に押圧されたときに針先３４ａ
が電極に対して滑ることに起因する針先３４ａと電極と
の接触位置ずれがガイド穴６４により防止される。

【００４８】プローブ組立体１０を取付体５８に組み付
けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴
２６に差し込まれるガイドピンにより取付体５８に対す
る位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部
材により取付体５８に取り外し可能に組み付けられる。

【００４９】プローブ組立体１０を取付体５８に組み付
けるとき、上下方向における針先３４ａの位置に多少の
ずれがあると、そのようなずれは、プローブ１４ａ，１
４ｂがガイドバー１６に対し、針先領域３４側のガイド
バー１６とガイド穴３６との間のわずかな間隙内で変位
することにより吸収される。

【００５０】完成した検査用ヘッド５２は、針先３２ａ
が被検査体７０（図５参照）の電極に対向するように図
示しない試験装置に組み付けられる。

【００５１】検査時、プローブ組立体１０は、針先３２
ａを被検査体７０の電極にわずかに過剰に押圧される。
このとき、上下方向における針先３２ａ相互間の位置に
多少のずれがあると、そのようなずれは、プローブ１４
ａ，１４ｂがガイドバー１６に対し、針先領域３２側の
ガイドバー１６とガイド穴３６との間のわずかな間隙内
で変位することにより吸収される。

【００５２】針先３２ａを被検査体７０の電極にわずか
に過剰に押圧されると、針先領域３２の上方に空間を有
することとあいまって、針先領域３２が図５に示すよう
に弧状に反るから、針先３２ａが被検査体の電極に対し
てわずかに滑る。そのような擦り作用により、針先３２
ａは、電極表面の酸化膜を掻き取るか、又は電極内にわ
ずかに食い込む。このため、各プローブと電極とは電気
的に確実に接触する。プローブの反り量及び滑り量を図
５にそれぞれＬ1 及びＬ2 で示す。

【００５３】針先領域３２が図５に示すように弧状に反
ったとき、針先３２ａが半円形の形状を有すると、被検
査体の電極への針先３２ａ当接部位が変位するから、電
極に対する針先３２ａの滑り量Ｌ2 が小さくなり、電極
の削り屑が少なくなる。しかし、針先３２ａを、三角
形、平坦面等、他の形状に形成してもよい。

【００５４】検査時、プローブ１４ａ，１４ｂは、被検
査体７０への通電用として用いられるか、被検査体７０
からの電気信号の取出し用として用いられる。いずれの
場合も、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及
び切欠部４０ａ，４０ｂは中央領域３０の幅方向にずれ
ているから、隣り合うプローブの長穴及び切欠部を対向
させた場合に比べ、プローブがブレードタイプであるに
もかかわらず、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの対向
する部分の面積が両プローブの長穴３８及び切欠部４０
ａ又は４０ｂの面積の和に対応するだけ小さくなる。

【００５５】上記の結果、プローブ１４ａ及び１４ｂ並
びにこれらを用いたプローブ組立体１０は、隣り合うプ
ローブの長穴及び切欠部を対向させた場合に比べ、隣り
合うプローブ間の静電容量又は浮遊容量が小さく、隣り
合うプローブ間における電気信号の漏洩が小さい。しか
し、長穴３８を各プローブに設けなくてもよい。

【００５６】プローブの交換は、プローブ組立体１０を
取付体５８から外し、サイドカバー２２をブロック１２
から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプローブ
を取り去り、その代わりに新たなプローブをブロック１
２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組立体
１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を取付体５８
に取り付ければよい。このため、プローブの交換が容易
になる。

【００５７】プローブ組立体１０によれば、プローブ組
立体１０及びその部品の製作が従来のプローブ組立体に
比べて著しく容易であるから、プローブ組立体１０が廉
価になり、また針先３２ａが被検査体の電極に確実に接
触し、さらにプローブの交換が従来のプローブ組立体に
比べ著しく容易になる。

【００５８】プローブ組立体１０の組立時、プローブが
スリットバー１８によりガイドバー１６の長手方向にお
ける所定の位置に維持されるから、組立作業が容易にな
り、廉価になる。また、組立後においても、ガイドバー
１６の長手方向へのプローブの変位がプローブの両端部
においてスリットバー１８により阻止されるから、ガイ
ドバー１６の長手方向における針先領域３２，３４の位
置が安定し、各プローブの針先３２ａ，３４ａが所定の
電極に確実に接触する。しかし、スリットバー１８を設
けなくてもよい。

【００５９】上記実施例のように、プローブの中央領域
３０の長手方向に間隔をおいた部位、好ましくは先端部
及び後端部を貫通して伸びる一対のガイドバー１６を設
けるならば、ブロック１２に対する各プローブ１２の姿
勢が安定する。しかし、１つのガイドバー１６を用いて
もよい。

【００６０】針先領域３４の針先が貫通する複数の穴４
４を有するガイド部材２０を備えるならば、針先３４ａ
がガイド部材２０によりガイドバー１６の長手方向にお
ける所定の位置に維持されるから、針先３４ａの位置が
より安定する。しかし、ガイド部材２０を備えなくても
よい。

【００６１】図８及び図９を参照するに、プローブ７２
ａは中央領域３０の幅方向の一方に開放する切欠部７４
ａを有しており、プローブ７２ｂは中央領域３０の幅方
向の一方及び他方にそれぞれ開放する２つの切欠部７４
ｂ及び７４ｂを有しており、プローブ７２ｃは中央領域
３０の幅方向の他方に開放する切欠部７４ｃを有してい
る。

【００６２】切欠部７４ａ，７４ｂ及び７４ｃは、中央
領域３０を厚さ方向へ貫通していると共に、中央領域３
０の長手方向へ連続して伸びている。切欠部７４ａ及び
７４ｃの深さ寸法は、切欠部７４ｂのそれより大きい。

【００６３】プローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、図８
（Ｄ）及び図９に示すように、同じプローブがそれらの
配列方向へ連続しないように、例えばプローブ７２ｂが
プローブ７２ａ，７２ｃの間となるように、プローブの
配列方向に交互にかつ並列的にブロックに配置される。

【００６４】プローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃも、プロ
ーブ組立体に組み立てられた状態において、同じプロー
ブがそれらの配列方向へ連続しないから、隣り合うプロ
ーブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃの切欠部７４ａ，７４ｂ，
７４ｃは中央領域３０の幅方向にずれている。換言すれ
ば、隣り合うプローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃの中央領
域３０のうち、切欠部７４ａ，７４ｂ又は７４ｃが形成
された部分の残存部分（導電性の残存部分）は対向する
ことなく、幅方向へずれている。それゆえに、前記残存
部分は、隣のプローブの切欠部７４ａ，７４ｂ又は７４
ｃと対向する。

【００６５】上記の結果、プローブ７２ａ，７２ｂ及び
７２ｃ並びにこれらを用いたプローブ組立体は、プロー
ブがブレードタイプであるにもかかわらず、隣り合うプ
ローブの切欠部を対向させた場合に比べ、隣り合うプロ
ーブ間の静電容量又は浮遊容量が小さく、隣り合うプロ
ーブ間における電気信号の漏洩が小さい。

【００６６】本発明は、液晶表示パネルの検査に用いる
プローブ及びプローブ組立体のみならず、集積回路のよ
うな他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプ
ローブ組立体にも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブ組立体の一実施例を示す
斜視図である。

【図２】図１に示すプローブ組立体の平面図である。

【図３】図２の左側面図である。

【図４】図１に示すプローブ組立体を検査用ヘッドの取
付体に取り付けた状態の一実施例を示す図である。

【図５】図４におけるプローブの端部近傍を拡大して示
す図である。

【図６】図６は図１に示すプローブ組立体で用いるプロ
ーブの一実施例を示す図であって、（Ａ）及び（Ｂ）は
それぞれ第１及び第２のプローブを示す図、（Ｃ）はそ
れらのプローブの配置例を示す図である。

【図７】図６における７−７線に沿って得た断面図であ
る。

【図８】プローブの他の実施例を示す図であって、
（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ第１，第２及び第
３のプローブを示す図、（Ｄ）はそれらのプローブの配
置例を示す図である。

【図９】図８における９−９線に沿って得た断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ プローブ組立体 １２ ブロック １４ａ，１４ｂ プローブ １６ ガイドバー １８ スリットバー ２０ ガイド部材 ２２ サイドカバー ２８ ガイド穴 ３０ 中央領域 ３２，３４ 針先領域 ３６ ガイド穴 ３８ 長穴 ４０ａ，４０ｂ 切欠部 ４２ スリット ７２ａ，７２ｂ，７２ｃ プローブ ７４ａ，７４ｂ，７４ｃ 切欠部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状の中央領域と、該中央領域の一端に
   続く第１の針先領域と、前記中央領域の他端に続く第２
   の針先領域と、前記中央領域に形成されて前記中央領域
   をその長手方向へ伸びる１以上の切欠部であって前記幅
   方向における少なくとも一方又は他方に開放する切欠部
   とを備える、プローブ。
2. 【請求項２】 さらに、前記中央領域の幅方向における
   前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方向へ伸びる１以
   上の長穴を備える、請求項１に記載のプローブ。
3. 【請求項３】 ２つの前記切欠部を備え、一方の切欠部
   は前記幅方向における一方に開放し、他方の切欠部は前
   記幅方向における他方に開放する、請求項１に記載のプ
   ローブ。
4. 【請求項４】 ブロックと、帯状の中央領域並びに該中
   央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方
   へ伸びる第１及び第２の針先領域を備える複数のプロー
   ブであって前記中央領域の幅方向が上下方向となる状態
   に前記ブロックの下側に並列的に配置された複数のプロ
   ーブとを含み、各プローブは、さらに、前記中央領域に
   形成されて前記中央領域をその長手方向へ伸びる１以上
   の切欠部であって前記幅方向における少なくとも一方又
   は他方に開放する切欠部を備え、隣り合うプローブの前
   記切欠部は前記中央領域の幅方向に変位している、プロ
   ーブ組立体。
5. 【請求項５】 各プローブは、さらに、前記中央領域の
   幅方向における前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方
   向へ伸びる１以上の長穴を備え、隣り合うプローブの前
   記長穴は前記中央領域の幅方向に変位している、請求項
   ４に記載のプローブ組立体。
6. 【請求項６】 前記幅方向における一方に開放する前記
   切欠部及び前記幅方向における他方に開放する前記切欠
   部を有するプローブが、前記切欠部が前記幅方向におけ
   る一方に開放するプローブと、前記切欠部が前記幅方向
   における他方に開放するプローブとの間に配置されてい
   る、請求項４に記載のプローブ。