TWI394968B - 用於接觸電性測試樣品的電性端子元件和接觸設備 - Google Patents

Description

用於接觸電性測試樣品的電性端子元件和接觸設備

本發明有關用於實體地接觸一電性測試樣品之修長形電性端子元件，包括用於電接觸之二端部區域及一坐落於該等端部區域間之修長形中介區域。

此型式之端子元件係已知為彈簧接觸探針或挫屈樑之形式。它們被一端子元件夾具所固持，且具有接觸該電性測試樣品與一端部區域及與該另一端部區域之作用，以與電性測試設備造成接觸，以致對該電性測試樣品建立測試電流路徑，且該測試設備可為無錯電性功能測試該測試樣品。被組構成為彈簧接觸探針或挫屈樑之習知端子元件具有圓形之橫截面，且當被放置在該測試樣品的接觸表面上時產生接觸力。於一彈簧接觸探針之案例中，其接觸力被一藉由螺旋狀彈簧所撞擊之柱塞所決定。於一挫屈樑之案例中，該接觸力源自該探測材料之本質彈性。該挫屈樑係藉由該接觸程序橫側地偏向成一弧形之形狀，且隨著該接觸程序之後返回至該開始位置。由於測試樣品變得更小巧及該相關減少之電性端子分離，越來越多問題源自該等前述之習知端子元件。這意指該等小端子機構分離不能以傳統技術達成，或它們導致端子元件非故意地接觸及造成短路。再者，為空間之理由必定被減少的彈簧接觸探針或挫屈樑之橫截面隨同減少之接觸力導致一減少之電流運送量。如果該測試電流被需要為在一特別之位準，該較小之橫截面能導致燃燒。此燃燒大多數發生在由導引孔口隔開一段距離處，該等挫屈樑譬如被引導在該等導引孔口中，既然該挫屈樑與該等導引孔口之壁面的機械式接觸在其鄰接附近中導致熱量之傳導離開，其不會進一步發生由該導引件區域離開。

因此，本發明之一目的係提供該前述型式之電性端子元件，其給與一較小、但適當之接觸力，並提供一大橫截面、亦即一大電流運送量，且係特別亦可極小之接觸距離與一起使用。

此目標係根據本發明達成，其中該中介區域具有一本質上長方形之橫截面，且沿著其縱向範圍被組構成層片狀的。此結構提供一藉由層片之數目所決定的大橫截面，以致甚至大測試電流能被傳送，而不會過熱。該層片狀結構亦確保一充分小之接觸力，但足夠用於良好接觸，因為由於該層片結構，以所使用之導電材料達成良好彈性。以根據本發明之修長形端子元件，“直立接觸”被達成，其意指提供一大約垂直地導向於該接觸平面之端子元件，該端子元件在接觸時能夠橫側地挫屈。隨同高電流運送量，該長方形之橫截面允許用於一端子元件配置的很小巧之圖案，而該層片狀中介區域能夠輕易挫屈，雖然如此，其提供一足夠之接觸力。根據本發明的端子元件之形式能夠使測試樣品、特別是晶圓與一接觸機構之接觸具有40微米及更少之離距。該中介區域之長方形橫截面意指該外部橫截面輪廓具有此形式，其意指內部定位層片之結構不被考慮。在此應用中論及一長方形橫截面之處，不管此橫截面屬於該端子元件之哪一部份，總是包括一正方形之橫截面。

於本發明之一具體實施例中，其被提供該層片狀中介區域包括在該中介區域的縱向中延伸之至少二層片。較佳地是，提供超過二層片，其延伸於該修長形端子元件之縱向中。特別地是，該層片本質上彼此平行地延伸，不管它們是否具有一平直或一彎曲之路線。

較佳地是，鄰接之層片具有至少一於它們間之縱向凹槽，這意指它們係藉由該至少一縱向凹槽彼此分開。於接觸一測試樣品期間，如果該端子元件發生彎曲、亦即挫屈，其可以想到的是由於藉由該縱向凹槽所形成的距離中之減少，該等鄰接之層片能至少局部地彼此接觸，以致在此於該等鄰接層片之間不再有任何距離，但仍然有一分離。

本發明之另一具體實施例提供具有一單件式端子本體之端子元件。據此，該二端部區域及包括該等層片之中介區域被組構成單件。

另一選擇係，該端子元件具有一多件式端子本體係亦可能的，而在至少一接觸區之區域中具有一接觸插件。該接觸插件提供用於電性接觸，且可譬如由具有特別良好導電性質之材料所製成，而一不同材料被用於該端子本體區域之其餘部份。

特別地是，其係提供該端子元件具有一長度L、一寬度B及一厚度D。該配置較佳地是被製成為該端子元件之長度L係大於其寬度B。其可為較佳地是提供該端子元件之寬度B係大於其厚度D。較佳地是，該端子元件係因此本質上被製成為條形，尤其如一端子條片。

本發明之另一具體實施例提供該等層片之每一個具有一長度1、一寬度b及一深度t。一層片之長度1較佳地係大於其寬度b。特別地是，其亦可提供一層片之寬度b係大於其深度t。

在上面論及者係該中介區域之橫截面本質上為長方形。特別地是，其能被提供該整個端子元件具有一本質上長方形之橫截面，以致該二端部區域係亦被製成具有長方形之橫截面，雖然其係不需要使一端部區域、該中介區域、及該另一端部區域之長方形橫截面具有相等尺寸或具有相同之形式。

特別較佳地是，其係提供該等層片之至少一個的橫截面被組構成本質上長方形的。所有該等層片較佳地是具有一長方形之橫截剖面。

該配置能被設計，以致該端子元件之厚度D對應於該等層片之至少一個的寬度b，且較佳地是對應於所有該等層片之寬度b，以致藉由該端子元件之厚度D決定該層片或各層片之寬度b。

該端子元件較佳地是包括一彈性材料。這能夠於接觸期間特別很好地達成該彎曲(挫屈)。其係亦總是確保該端子元件在接觸之後返回至其原來之形式，亦即於其卸載之狀態中。

根據本發明的一具體實施例，較佳地是於其鬆弛、未接觸條件中及/或於其張緊、接觸形式中提供該等層片具有一包括至少一弧形之拱狀形式。因此，該端子元件可被“預先彎曲”，以致該等層片於該卸載狀態中具有一拱狀形式，其當造成接觸時變得更強烈地拱狀。另一選擇係，其亦可提供不存在預先彎曲，但該等層片在裝載時彎曲及僅只接著採取一拱狀形式。

特別較佳地是，其係提供該拱狀形式之至少一弧形位在一藉由該端子元件之長度L及寬度B所界定的平面中。這具有所有該等層片彎曲或被同樣地彎曲、亦即於同一方向中彎曲之優點。

這亦應用於鄰接之端子元件，以致鄰接端子元件之相互接觸及必然之電短路被防止。根據上面之界定，該等個別之層片係繞著其最小之尺寸、亦即其深度t彎曲，這意指該整個中介區域係繞著其寬度B彎曲，該寬度被組構成大於該端子元件之厚度D。

根據本發明之另一具體實施例，其可為提供一層片之橫截面面積及/或橫截面形式遍及其縱向範圍變化。此外，或另一選擇係，該等個別層片之橫截面面積及/或橫截面形式彼此不同係亦可能的。

根據本發明之另一具體實施例，其係特別在該測試樣品側面上提供一端部區域，該端部區域具有相對於該端子元件之寬度B偏離中心的第一接觸區。特別地是，一端部區域之整個、或其一大大部份能相對於該端子元件之寬度B位在偏離中心。此偏離中心位置開始在一界定之方向中挫屈，以致該挫屈方向藉此被預先決定。

該另一端部區域可-根據另一示範具體實施例-具有一被中心地放置之第二接觸區。這特別涉及面向遠離該測試樣品之端部區域。

如果該第一及/或第二接觸區具有一接觸尖端或其每一個具有一接觸尖端係有利的，該接觸尖端由雙側邊逐漸變細。這特別於接觸期間導致一線性接觸或一本質上長方形之接觸表面。

根據本發明之進一步發展，其係提供該端子元件具有二縱向側面，該二縱向側面之一具有一肘曲形式，以產生一端部區域之橫側偏置。這特別地是導致該第一接觸區之上述偏離中心位置。

一縱向側面之肘曲形式特別導致一定位的步階部分。這具有將該端子元件固持於一端子元件夾具之作用，以致其不能由該處滑出。

該端子元件較佳地是包括一設有電絕緣塗層及/或接觸塗層之區段。該接觸塗層物能譬如藉由熔化在其上被帶入與該端子元件材料嚙合。

其亦為有利的是如果該等端部區域之至少一個具有一曲率及/或一傾斜，其被與該拱狀形式之弧形相反地導引。藉由此方法，當該端子元件被放置在該測試樣品上時，在該接觸之過程中，於該端子元件的縱向範圍中之彈性彎曲期間，該端部區域相對於該接觸位置施行一傾斜動作，顯現為一抓刮動作，以致可達成一特別良好之電性接觸，縱使該接觸表面係弄髒及/或具有氧化物層。

其亦有利的是如果至少一端部區域、特別是該偏離中心端部區域具有一本質上長方形之橫截面。此橫截面較佳地是與亦具有一長方形橫截面之導引孔洞/導引孔口配合。這將在下面被較大詳細地考慮。

本發明亦有關一電性接觸設備，其包括如上面所述之至少一端子元件及一端子元件夾具，該夾具包括被配置成彼此隔開而用於該端子元件之至少二導件，該等導件之至少一個具有至少一被該端子元件所貫穿之導引孔口。特別地是，該二導引件能被組構成導引板，其中該端子元件被該等導引件所固持在其兩端部區域，其中兩端部區域、或至少一端部區域貫穿一對應之導引孔口。

如上述，其較佳地係提供該等導引孔口之至少一個具有一本質上長方形之橫截面。設計該配置，使得該長方形之端部區域以僅只很小之游隙位在該長方形之導引孔口中，致使其係可能的是將該端子元件插入該導引孔口，且當打破該接觸時，該移動係亦可能的。

具有一長方形之橫截面的導引孔口較佳地是具有四個導引孔口壁面，其第一導引孔口壁面位於與第二導引孔口壁面相向。

特別地是，其係提供於該鬆弛、未接觸狀態中，該端子元件被固持在該導引孔口中，使得該端子元件的縱向側面之一側面位於抵靠著該第一導引孔口壁面的第一位址，且該端子元件的另一縱向側面位於抵靠著該第二導引孔口壁面的第二位址，其中該二位址係軸向地彼此隔開。該“軸向地”一詞應被了解為有關該端子元件之縱向範圍。當一測試樣品係與該端子元件接觸時，該端子元件被張緊，且因此被帶入該接觸狀態中，及被引導在該導引孔口中，使得於該鬆弛狀態中先前安置抵靠著該第一導引孔口壁面之第一位址的縱向側面現在位於抵靠著該第一導引孔口壁面之第三位址，且先前安置抵靠著該第二導引孔口壁面之第二位址的端子元件之縱向側面現在位於抵靠著該第二導引孔口壁面之第四位址。由此，其充分清楚的是於接觸期間，該端子元件之傾斜動作發生在該導引孔口之區域中，因此發生該前述之抓刮動作，以致該接觸區沿著該測試樣品之接觸表面抓刮，且藉此建立一很低阻抗之電連接路徑。於該鬆弛、未接觸狀態中，由於該前述之位於抵靠著該導引孔口壁面，該端子元件採用一界定位置，且於該張緊、接觸狀態中，一界定之端部位置再次被採用，以致所發生之傾斜動作係可再現地被限制。相對於該接觸製程，此傾斜動作涉及一“邊緣改變”，其中具有提供該電性接觸之作用的接觸區繞著該接觸邊緣傾斜，這特別導致良好之接觸結果。其值得注意的是由於所涉及之零組件的極小尺寸與由於該測試樣品中之非常小的接觸分離，該抓刮動作係僅只精微細小的，雖然這是完全足夠用於一良好之電性結果。

圖1顯示一修長形電性端子元件1，其具有與電性測試樣品造成接觸之作用。該端子元件1具有二端部區域2及3及一位在其間之修長形中介區域4。該二端部區域2及3亦被組構成修長形的。因此，整個該端子元件具有一以雙箭頭5所指示之縱向範圍。

該端子元件1被組構成單一元件。其包括單件式端子本體6。該端子元件1具有二縱向側面7、8、正面9、及一與該正面相反之後側面10。其具有一長度L、一寬度B、及一厚度D(圖2)。由於其修長形之形式，該端子元件1本質上被組構成一端子條片11。此情況特別地是源自該長度L被組構成大於該寬度B，且該寬度B係大於該厚度D。

如在該等圖面中所示，該中介區域4被組構成層片狀，這意指其具有在該縱向(雙箭頭5)中延伸之層片12。該等層片12較佳地是互相平行地延伸(儘管事實上它們具有一拱狀形式，其將在下面被較大詳細地考慮)。鄰接之層片12的每一個係藉由一縱向凹槽13彼此分開。該配置較佳地是被設計成使得該等層片12具有長度1(圖1)、寬度b及深度t。該長度1係大於該寬度b。該寬度b係大於該深度t(圖2)。其由圖2亦清楚的是該等層片12之寬度b係與該端子元件之厚度D相同。於其他具體實施例(未示出)中，其可被提供該等層片12或該等層片12之一的寬度b係比該端子元件1之厚度D較大或較小。該等層片12之寬度b可為於10微米至100微米之範圍中，且更特別地是30微米，及該深度t可為於10微米至50微米之範圍中，且更特別地是20微米。於所示之示範具體實施例中，該端子元件1包括四個層片12，在該四個層片之間配置三個縱向凹槽13。其自然地係亦可能提供不同數目之層片12。層片之最小數目係二個。

該端子元件1之縱向側面7具有一肘曲形式，其導致該端部區域2之橫側偏置。該肘曲在圖1中參考符號14被辨識。由於該肘曲14，該端部區域2偏離中心地延伸，這意指該端部區域2相對該正面9之長度的中心位於橫側地偏置。該偏置導致一定位步階部分15之形成。該端部區域2包括第一接觸區16，且該端部區域3包括第二接觸區17。

該第一及第二接觸區16、17之每一個包括接觸尖端18、19。該等接觸尖端18、19之縱向背脊在該端子元件1之厚度D的方向中延伸。由於該肘曲14，該端部區域2位於大部份偏離中心，且該第二接觸區17相對於該端子元件1之寬度B位於中心。

該整個端子元件1具有一長方形之橫截面。這適用於該端部區域2、該端部區域3、及該中介區域4(視為一整體輪廓)、以及適用於該等個別層片12。另一選擇係，其他橫截面之形式、諸如圓形之形式係亦可能的。

其由圖1清楚的是於所示該卸載狀態中，該端子元件1在此不會平直地延伸，但反之其具有一弧形20，且因此擁有一拱狀形式21。該等個別之層片12因此在一弧形中延伸。其亦可辨別的是該端部區域2具有一藉由圖1上所繪出之角度α所指示的傾斜，其被導向至與該弧形20相反。這意指該第一接觸區16大約位於該寬度B之中心，雖然該端部區域2至該中介區域4之連接如所陳述地偏離中心。

該端子元件1包括一彈性、導電材料。

其由圖3清楚的是該端子元件1在負載之下更激烈地彎曲，以致該卸載狀態中之事先彎曲(在圖3中之左側)係在負載之下增加(在圖3中之右側)、亦即在接觸一電性測試樣品(未示出)時。該等個別之層片12係在一平面中彎曲，該平面位在平行於該端子元件1之正面9及/或後側面10。

圖4說明一接觸設備22，其包括至少一端子元件1與一端子元件夾具23。於圖4中，相同之組件被連續地顯示三次，以便說明將該端子元件1插入該端子元件夾具23之過程。其清楚的是該端子元件夾具23包括一呈導引板25之形式的導引件24。該導引件24包括一導引孔口26，其具有一長方形之橫截面，其中此長方形橫截面本質上被設計成順應該端子元件1的端部區域2之長方形橫截面，以致當該端部區域2係坐落在該導引孔口26中時，僅只一小程度之游隙存在。雖然這在圖4中未說明，其能 被特別提供該另一端部區域3亦被引導在一導引件24中。

圖4之個別圖解說明一端子元件1之插入該端子元件夾具23，其中該端子元件被固持在其端部區域3(未示出)。發生該插入操作，其中該端部區域2之前面尖部區域最初被稍許插入該導引孔口26。既然該端部區域2具有一傾斜(角度α)，其係需要相對於該鬆弛形式進一步彎曲該端子元件1，如藉由該箭頭27所指示(圖4中之中心說明)，以致該端部區域2之縱向側面7及8延伸平行於該導引孔口26之第一及第二導引孔口壁面28及29。該端部區域2現在被足夠遠地推入該導引孔口26，使得該接觸區16根據圖4中之右側圖解以一良好方式往下延伸出該導引件24。該端子元件1接著稍許放鬆，以致該弧形減少(箭頭30)，使得一輕微預先張緊作用係施加在該導引孔口26上。根據圖4中之右側圖解，一以此方式安裝之端子元件1因此位在該導引孔口26中，使得該縱向側面8位於抵靠著該第一導引孔口壁面28的一位址31，且該端子元件1之另一縱向側面7位於抵靠著該第二導引孔口壁面29的一位址32，其中該二位址31、32彼此具有一軸向間距a。

用於接觸，如果該接觸區16被下壓(壓力33)，用於實體地接觸抵靠著一電性測試樣品(未示出)，該等層片12彎曲或更強烈地彎曲，由於該端部區域2在該導引孔口26中傾斜之結果，使得於該張緊、接觸狀態中，該 端子元件1之端部區域2被固持在該導引孔口26中，使得於該鬆弛狀態中，先前地安置抵靠著該第一導引孔口壁面28的位址31之縱向側面8(圖4中之右側圖解)，現在位於抵靠著該第一導引孔口壁面28之另一位址34，且先前安置抵靠著該第二導引孔口壁面29之位址32的縱向側面7現在亦位於抵靠著該第二導引孔口壁面29之另一位址35。該二位址34及35彼此亦具有一軸向間距a。邊緣之變化有效地發生。其變得明顯的是由於邊緣之此變化，由於一抓刮動作發生在該電性測試樣品(未示出)的接觸位置上之結果，該第一接觸區16係在該箭頭36之方向中位移。這具有該結果，即該污垢能在接觸時被掃除，且可能之氧化位址被移除，以致一非常良好之電性接觸被達成。

根據本發明，提供一端子元件1，其包括長方形橫截面之複數配置條片、即該等層片12。該等層片12係以此一使得該端子元件1之結果的挫屈動作對應於該等個別層片12之挫屈動作的方式彼此連接。為了有助於接觸期間之挫屈，該端子元件被組構成稍微預先彎曲。經過一對應非中心之力量施加，特別是由於該端部區域2相對該中心關於該端子元件之寬度B的偏置及該前述之輕微事先彎曲，預先決定該端子元件1之受監視的挫屈行為。既然該端子元件1在該端部區域2中變窄，由於該定位的步階部分15而在該導引件24中產生一定位效果。該端部區域2與該曲率(弧形20)相反的傾斜係對於以下之效果負責： 界定該等邊緣之接觸(根據圖4)，導致位置準確性；輕微夾緊於該導引件24中，且因此牢固至免於向上(往後)地掉出；於挫屈(接觸)期間，發生一邊緣變化，且該尖端(接觸區16)施行一“擦磨”；在組裝時，該端子元件1係稍微地挫屈，且藉此將該端部區域2本身導向平行於該導引孔口26-這有利於餵入。

該等層片12允許一大橫截面，且如此確保一低的電阻抗。同時，提供一具有低接觸力之平坦設計。其係可能用於施行很接近地配置端子在一測試樣品上之接觸，譬如，至少40微米間距。該全長L可為譬如3.5毫米。該接觸力係大約27mN。該電阻抗係大約0.3歐姆。

1．．．端子元件

2．．．端部區域

3．．．端部區域

4．．．中介區域

5．．．雙箭頭

6．．．端子本體

7．．．縱向側面

8．．．縱向側面

9．．．正面

10．．．後側面

11．．．端子條片

12．．．層片

13．．．縱向凹槽

14．．．肘曲

15．．．定位步階部分

16．．．接觸區

17．．．接觸區

18．．．接觸尖端

19．．．接觸尖端

20．．．弧形

21．．．拱狀形式

22．．．接觸設備

23．．．端子元件夾具

24．．．導引件

25．．．導引板

26．．．導引孔口

27．．．箭頭

28．．．導引孔口壁面

29．．．導引孔口壁面

30．．．箭頭

31．．．位址

32．．．位址

33．．．壓力

34．．．位址

35．．．位址

36．．．箭頭

現在將參考一示範具體實施例較大詳細地敘述本發明。於該等圖面中：圖1顯示一端子元件之平面圖，圖2顯示圖1之端子元件的端部區域，其能被配置至一測試樣品，圖3顯示圖1之端子元件在該鬆弛、未接觸狀態及於該張緊、接觸狀態中，及圖4顯示一端子元件在三步驟中插入一接觸設備之過程。

1．．．端子元件

2．．．端部區域

3．．．端部區域

4．．．中介區域

5．．．雙箭頭

6．．．端子本體

7．．．縱向側面

8．．．縱向側面

9．．．正面

10．．．後側面

11．．．端子條片

12．．．層片

13．．．縱向凹槽

14．．．肘曲

15．．．定位步階部分

16．．．接觸區

17．．．接觸區

18．．．接觸尖端

19．．．接觸尖端

20．．．弧形

21．．．拱狀形式

Claims (33)

1. 一種用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，該元件包含兩個電性接觸端部區域和位於該等端部區域之間的一修長中介區域，該中介區域具有至少實質長方形的剖面，且被建構成沿著該中介區域之縱向範圍的層片狀，其中，該層片狀的中介區域包括在該中介區域之縱向範圍內延伸的至少兩個層片，該等層片之相鄰者被至少一縱向凹槽彼此分離，該等層片被建構用於彎曲，如果該端子元件的接觸區被壓抵著測試下的該電性組件的話。
2. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件是一單件式端子本體。
3. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件由多個部件製成，且包括在該等端部區域之至少一者的接觸區內的端子插件。
4. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件具有長度L、寬度B及厚度D。
5. 如申請專利範圍第4項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該長度L大於該寬度 B。
6. 如申請專利範圍第4項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該寬度B大於該厚度D。
7. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件至少實質上被組構成為一端子條片。
8. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等層片之每一個具有長度l、寬度b、及深度t。
9. 如申請專利範圍第8項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該長度1大於該寬度b。
10. 如申請專利範圍第8項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該寬度b大於該深度t。
11. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件之橫截面至少實質上是長方形。
12. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等層片之至少一個的橫截面至少實質上是長方形。
13. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件之厚度 D包括該等層片之至少一個的寬度b。
14. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件係由彈性材料所製成。
15. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件於鬆弛、未接觸狀態及於張緊、接觸狀態之至少一種狀態中，該等層片具有包括至少一弧形之拱狀形式。
16. 如申請專利範圍第15項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等層片在各別長度和拱狀形式之至少一者不同。
17. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該拱狀形式之至少一弧形位在一藉由該端子元件之長度L及該端子元件的寬度B所界定之平面中。
18. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等層片的至少一者於橫截面面積及橫截面形式至少其一在沿著縱向範圍不同。
19. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等層片在各別橫截面面積及各別橫截面形式至少一者不同。
20. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等端部區域的至 少一者包括第一接觸區，該第一接觸區相對於該端子元件的寬度B係位在偏離中心。
21. 如申請專利範圍第20項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等端部區域的另一者包括第二接觸區，該第二接觸區相對於該端子元件的寬度B係位於中心。
22. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等端部區域的至少一者包括接觸區，該接觸區具有端子尖端，該端子尖端由二側邊逐漸變細。
23. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件包括二縱向側面，該二縱向側面之一具有一肘曲形式，藉此形成該等端部區域其中之一的橫側偏置。
24. 如申請專利範圍第23項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該一縱向側面之肘曲形式形成一定位步階部分。
25. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該端子元件的至少一區段係設有電絕緣塗層及接觸塗層之至少一者。
26. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等端部區域之至少一個具有一曲率或一傾斜，該曲率或傾斜係導向相反於該拱狀形式之弧形。
27. 如申請專利範圍第1項用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，其中該等端部區域之至少一個具有至少實質上長方形之橫截面。
28. 一種電接觸設備，包含如申請專利範圍第1項之至少一端子元件及另外包含一端子元件夾具，該夾具包括被配置成彼此隔開而用於該端子元件之至少二導引件，該等導引件之至少一個包括至少一導引孔口，設計該導引孔口的尺寸使其被該端子元件貫穿。
29. 如申請專利範圍第28項之電接觸設備，其中該至少一導引孔口(26)具有至少實質上長方形之橫截面。
30. 如申請專利範圍第28項之電接觸設備，其中具有一長方形橫截面之導引孔口包括四個導引孔口壁面，該四個導引孔口壁面之第一導引孔口壁面位於與第二導引孔口壁面相向。
31. 如申請專利範圍第30項之電接觸設備，其中於鬆弛、未接觸狀態中，該端子元件被固持在該導引孔口中，使得該端子元件的一縱向側面位於抵靠著該第一導引孔口壁面的第一位址，且該端子元件的該等縱向側面之另一縱向側面位於抵靠著該第二導引孔口壁面的第一位址，其中該第一和第二導引孔口壁面的個別第一位址係軸向地彼此隔開。
32. 如申請專利範圍第31項之電接觸設備，其中於張緊、接觸狀態中，該端子元件被固持在該導引孔口中，使得該一縱向側面從該第一導引孔口壁面之第一位址偏移而 位於抵靠著該第一導引孔口壁面的第二位址，且該端子元件的另一縱向側面從該第二導引孔口壁面之第一位址偏移而位於抵靠著該第二導引孔口壁面的第二位址。
33. 一種用於實體地接觸測試下之電性組件的修長形電性端子元件，該元件包含兩個電性接觸端部區域和位於該等端部區域之間的一修長中介區域，該中介區域具有至少實質長方形的剖面，且被建構成沿著該中介區域之縱向範圍的層片狀，其中，該層片狀的中介區域包括在該中介區域之縱向範圍內延伸的至少兩個層片，該等層片之相鄰者被至少一縱向凹槽彼此分離，該等層片具有拱狀形式，其包括於該接觸元件鬆弛、未接觸狀態及於張緊、接觸狀態之至少一種狀態中的至少一弧形。