JP2007132681A - プローブおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機械的強度に優れた第1の金属材料からなる金属部材および該金属部材よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い第2の金属材料からなる金属部材の相互に対向する面を接合して両金属部材を一体化し、この接合により一体化された金属部材を所望の厚さの金属板に圧延した後、圧延された金属板から少なくとも第2の金属材料部分がプローブ先端部に位置するように、プローブが形作られる。
【選択図】図3
Description
このような電気的接続装置には、一般的に、被検査体の電気回路の電極パッドに当接される多数のプローブが設けられている。このプローブの先端が被検査体の前記電極パッドに押圧されることにより、前記被検査体とテスタとが接続され、所定の電気的検査が行われる(特許文献1参照)。
また、プローブ用タングステン線の先端に導電性に優れた金属球体を接合するためにパルス放電を用いることが提案されている(特許文献3参照)。
さらに、接合されかつ圧延された前記金属板からニードル状のプローブを形作ることにより、ニードルタイプのプローブおよびその製造に本発明を適用することができる。
16a、16b プローブの先端部分
18 被検査体
30、130 第1の金属部材(第1の金属板部材)
30a、130a 第1の金属層(第1の金属板部分)
32、132 第2の金属部材(第2の金属板部材)
34、134 金属板
Claims (12)
- 機械的強度に優れた第1の金属材料からなる金属部材および該金属部材よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い第2の金属材料からなる金属部材の相互に対向する面を接合して両金属部材を一体化する工程と、
接合により一体化された前記金属部材を所望の厚さの金属板に圧延する工程と、
少なくとも前記第2の金属材料部分がプローブの先端部の端面に位置するように、圧延された前記金属板からプローブを形作る工程とを含む、プローブの製造方法。 - 前記両金属部材の接合による一体化の工程は、圧接により行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記金属板からプローブを形作る工程は、型抜き加工、レーザ光を用いたレーザ加工、高圧水を用いたウォータジェット加工、ワイヤー放電加工およびワイヤソー加工のいずれか一つを用いて行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の金属材料からなる前記金属部材は第1の金属板部材であり、前記第2の金属材料からなる前記金属部材は第2の金属板部材であり、当該両金属板部材はそれらの厚さ方向へ相互に重ね合わせて接合された後、所望の厚さに圧延されて前記金属板が形成され、該金属板はその厚さ方向への積層構造を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の金属材料からなる前記金属部材は第1の金属板部材であり、前記第2の金属材料からなる前記金属部材は第2の金属板部材であり、当該両金属板部材はそれらの厚さ方向へ互いに重なり合うことなく、相互に対向する側面を突き合わせて接合された後、所望の厚さに圧延されて前記金属板が形成され、該金属板はその厚さ方向への単層構造を有する、請求項1に記載の方法。
- 機械的強度に優れた金属材料からなる第1の金属層および該第1の金属層よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い金属材料からなる第2の金属層を積層した積層構造を有するプローブであって、該プローブの電気的接続点となる一端から他端に連続して前記第2の金属層が伸長しかつ該第2の金属層部分の一部が前記両端で露出することを特徴とするプローブ。
- 前記第1の金属層は対をなして設けられ、該一対の第1の金属層間に前記第2の金属層を挟むサンドイッチ構造を有する、請求項6のプローブ。
- 前記第2の金属層は対をなして設けられ、該一対の第2の金属層間に前記第1の金属層を挟むサンドイッチ構造を有する、請求項6のプローブ。
- 前記第1の金属層は、前記第2の金属層を構成する金属材料よりもばね性および耐摩耗性に優れた金属材料からなり、前記第2の金属層は前記第1の金属層を構成する前記金属材料よりも電気特性に優れた金属材料からなる、請求項6に記載のプローブ。
- 前記第1の金属層はベリリウム合金からなり、前記第2の金属層は貴金属またはその合金からなる、請求項6に記載のプローブ。
- 前記第2の金属層は金合金またはパラジウム合金からなる、請求項6に記載のプローブ。
- 前記第1の金属層はBeNiまたはBeCuからなり、前記第2の金属層はAuNi、PdNiまたはPdCoのいずれか一つからなる、請求項6に記載のプローブ。
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