JP2018501490A - テストヘッド用コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
Description
少なくとも1つの内側層またはコアと第1の内側コーティング層との重ね合わせを含む少なくとも1つの多層構造と、
前記多層構造を完全に被覆し、前記コアを実現している材料よりも硬度が高い材料で作られ、前記コア及び前記第1の内側コーティング層を含むエッジ部分をも被覆する外側コーティング層とを含む、
電子デバイスをテストするための装置のテストヘッド用のコンタクトプローブにより解決される。
10×10μm〜50×50μmの断面を有するコア32、
0.5μm〜20μmの厚さを有する高導電率の第1の内側コーティング層33、
0.5μm〜20μmの厚さを有する第2の内側コーティング層36、および
0.01μm〜5μmの厚さを有する外側コーティング層35
コンタクトプローブの典型的な長さの範囲は2mm〜9mmである。
Claims (13)
- コンタクトチップとコンタクトヘッド(30A、30B)との間に長手方向に従って本質的に延在する本体と、
互いに平行である少なくとも1つの内側層またはコア(32)と第1の内側コーティング層(33)との重ね合わせを含む少なくとも1つの多層構造(31)と、
前記多層構造(31)を完全に被覆し、前記コア(32)を実現している材料よりも硬度が高い材料で作られ、前記コア(32)及び前記第1の内側コーティング層(33)を含む前記多層構造(31)のエッジ部分(34A、34B)をも被覆する外側コーティング層(35)とを含む、
電子デバイスをテストするための装置のテストヘッド用のコンタクトプローブ(30)。 - 前記第1の内側コーティング層(33)は、前記コア(32)の第1の側(32A)に配置された第1の部分(33A)と、その反対にある第2の側(32B)に配置された第2の部分(33B)とを含む、請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コア(32)は第1の導電性材料で作られ、前記第1の内側コーティング層(33)は前記第1の導電性材料よりも導電率および熱伝導率の値が高い第2の導電性材料で作られている、請求項1または請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コア(32)は非導電性材料で作られ、前記第1の内側コーティング層(33)は導電率および熱伝導率が高い第2の導電性材料で作られている、請求項1または請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記多層構造(31)は前記第1の内側コーティング層(33)を被覆する第2の内側コーティング層(36)をさらに含む、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コア(32)と前記第1の内側コーティング層(33)との間に配設され、前記コア(32)と前記第1の内側コーティング層(33)との接着を容易とする材料で作られている接着膜(37)を、前記多層構造(31)がさらに含む、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記多層構造(31)を完全に囲み、前記多層構造(31)と前記外側コーティング層(35)の間に挿入される保護層(38)をさらに含む、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記多層構造(31)は、前記コア(32)から始まる任意の数で一方が他方の上に交互に配置された、複数の第1の内側コーティング層(33i)および第2の内側コーティング層(36i)を含む、請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コア(32)と第1の内側コーティング層(33)との間、及び第2の内側コーティング層(36)とさらなる第1の内側コーティング層(33)との間に配置された、1つまたは複数の接着膜(37i)を、前記多層構造(31)がさらに含む、請求項7に記載のコンタクトプローブ。
- 前記第2の内側コーティング層(36)は前記第2の導電性材料で作られている、請求項5に記載のコンタクトプローブ。
- 前記外側コーティング層(35)は、ロジウム、白金、イリジウム及びそれらの合金、パラジウムコバルト合金、パラジウムニッケル合金、並びにニッケルリン合金、好ましくはロジウムから選択される第3の導電性材料で作られている、請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記保護層(38)は、ロジウム、金、白金、パラジウム及びそれらの合金、パラジウムコバルト合金、好ましくはパラジウムから選択される金属または金属合金で作られている、請求項7〜請求項11のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 請求項1〜請求項12のいずれか一項に従って作られた複数のコンタクトプローブ(30)を含む、電子デバイスをテストするための装置用のテストヘッド。
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