JP2021124499A - クラッドワイヤ及びクラッドワイヤの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】より大きい熱伝導率及び導電率を有し、同時に弾性率及び弾力性に関して試験針に好適な機械的特性を有する試験針およびその製造方法を提供する。
【解決手段】試験針又は摺動接点を製造するためのクラッドワイヤ１は、ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコア２と、銅若しくは銀若しくはアルミニウム、又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金から作製される内側クラッド部３であって、ワイヤコア２を少なくとも２つの反対の側で覆うか又はワイヤコア２を完全に包み囲む内側クラッド部３と、ワイヤコア２と内側クラッド部３との間に配置される、金又は金系合金から作製される接着促進層５と、内側クラッド部３の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金から作製される外側クラッド部４であって、内側クラッド部３を包み囲む外側クラッド部４とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、端子パッドの接触を試験するための試験針を製造するための、又はマルチワイヤスライダ（ｍｕｌｔｉ−ｗｉｒｅ ｓｌｉｄｅｒ）及びタフトブラシ等の摺動接点を製造するためのクラッドワイヤに関する。

本発明は、少なくとも１つのそのようなクラッドワイヤを有する試験針及び摺動接点に、並びにそのようなクラッドワイヤの製造方法にも関する。

クラッドワイヤ（クラッド線）は、異なる材料の特性を組み合わせるものであり、それゆえ異なる分野で有益に使用することができる。例えば、クラッドワイヤは、マイクロエレクトロニクスにおける端子の電気接触を試験するための試験針として、又は電気的な摺動接点を製造するためのスライディングワイヤとして使用することができる。

チップ製造の間、切り分けられていない状態で集積回路（ＩＣ）の動作性を試験するために、ウエハは、加工の直後に試験針と接触させられる。一連の試験針が、個々のチップの構造化の後に、機能性について半導体ウエハを試験する。この試験針は、ウエハの設計に適合されたプローブカードに固定される。試験プロセスでは、ウエハは試験針に押し付けられ、試験針とＩＣのパッドとの間で接触が確立され、アルミニウムパッドの場合には、パッシベーション層を介して確立される。次いで、接触、高電流密度での電気的特性値及び温度変化の際の電気的挙動等の種々のパラメータが試験される。

従って、試験針は、パワーエレクトロニクスの製造、電気接点の品質を試験するためのチップ及び他の電気回路の接触に使用される（例えば、米国特許出願公開第２０１４／０２６６２７８Ａ１号明細書及び米国特許出願公開第２０１０／０１９４４１５Ａ１号明細書を参照）。

良好な試験針の重要なパラメータは高導電率であり、その理由は、この場合では、高い電流が伝達される必要があるからであり、他に好適な弾性率（ｍ_Ｅ）及び高い耐力（Ｒｐ_０．２）であり、これらは良好な弾力性（弾性特性）を生み出すからである。高い熱伝導率は、熱エネルギーの良好な放散をもたらし、従って、電気抵抗の可能な限り小さい追加の熱増加しか引き起こさない。好適な硬度、弾性率及び耐力は、一方では、保守間隔を短く保つために、他方では、試験針の良好な弾力性を達成するために必要とされる。

タングステン、炭化タングステン、パラジウム−銅−銀合金及びタングステン−レニウムの材料から作製された試験針は、アルミニウムパッド上での試験に広く使用されている。これらは、特に硬く、アルミニウムパッドは、金パッドよりも堅牢であり、金パッドよりも硬い針での試験により良好に耐えることができる。

金パッド上への適用のために、Ｐｄ合金、例えば、Ｄｅｒｉｎｇｅｒ Ｎｅｙ製のＰａｌｉｎｅｙ（登録商標）Ｈ３ＣまたはＡｄｖａｎｃｅｄ Ｐｒｏｂｉｎｇ製のＮｅｗＴｅｃ（登録商標）が知られている。加えて、ＰｔＮｉ３０合金は、試験針のために市場に出ている。米国特許出願公開２０１０／０２３９４５３Ａ１号明細書及び欧州特許出願公開第２ ２４８ ９２０Ａ１号明細書は、試験針を製造するための低ドープイリジウム合金を開示している。

米国特許出願公開第２００６／０１９７５４２Ａ１号明細書は、試験針を製造するためのイリジウム系合金及び白金系合金を開示している。これらの合金は、金パッド上に配置された塗料層を通して良好な接触を確立することができるようにするために、３００ＨＶ〜５００ＨＶの高硬度を有する。

イリジウムは他の金属に比べて熱伝導率や導電率が低いという欠点がある。

これらの合金の欠点は、チップを研削しなければならないことであり、これは、より高価であり、しばしば手動で行われるプロセスである。

さらには、試験構造体は、マイクロシステム技術を用いて小規模に製造することができる。この場合、高い製造コストは不利である。

現在、いわゆるプローブ針（試験針）には、高い導電率と熱伝導率を有するが、硬度や引張強さも高い金属や合金が使用されている。基準として純銅の導電率（１００％ ＩＡＣＳ）が使用される。しかしながら、銅（Ｃｕ）及び銀（Ａｇ）は延性が高く、使用中に試験針が変形する可能性があるため、これらの目的には使用できない。試験針の典型的な材料は、１０％の金及び１０％の白金を含有し、例えば、Ｐａｌｉｎｅｙ（登録商標） ７及びＨｅｒａ ６４８の商品名で販売されている析出硬化パラジウム−銀合金である。しかしながら、ＰｔＮｉ合金（白金−ニッケル合金）またはロジウム（Ｒｈ）も、試験針を製造するための箔の材料として使用される。導電率、熱伝導率、引張強さ及び硬度の間で可能な限り良好な妥協点であるこのような金属または合金については、可能な最大導電率は５％〜３０％ ＩＡＣＳである。

プローブ用途のための典型的な材料には、ロジウム及びその合金が含まれる。しかしながら、純粋な形態のロジウムは、比較的高い弾性率（約３７０ＧＰａ）を有するので、限られた範囲でしか使用できない。この制約は、これらの材料から作製された試験針が、弾性率または結果として生じる必要な機械的力及び応力を補償するために、最も薄い直径及び極めて長くされた試験針でのみ使用可能であるという効果を有する。しかしながら、より長い針は、試験針の電気抵抗が著しく増加するという結果を有し、これは不利である。同時に、ロジウム及びその合金は、いずれの場合にも、通常、わずか約３０％ ＩＡＣＳの低い導電率しか有さない。さらには、熱放散は、細くて長い試験針によって損なわれる。

しかしながら、試験針に加えて、高い導電率及び熱伝導率を有し、同時に高い硬度及び引張強さのような良好な機械的性質を有する材料の他の用途、例えば特に摺動接点用のワイヤのような他の用途もまた利益をもたらす。摺動接点の場合には、一方では、表面によって低い接触抵抗が生じ、他方では、材料があまりにも速く摩耗せず、すなわち擦り減らず、または、腐食しないことが重要である。

高い導電率に加えて、パワーエレクトロニクスにおける試験針（プローブ針）またはスライディングワイヤ（摺動ワイヤ）のような用途には、高い機械的強度及び硬度も要求される。この場合、耐温度性や耐熱性も重要である。

国際公開第２０１６／００９２９３Ａ１号パンフレットは、試験針であって、先端が試験針の前面に配置され、この先端が機械的に硬い第１の材料からなり、試験針の残部が高い導電率を有する第２の材料からなる試験針を提案している。同様の試験針は、米国特許出願公開第２０１３／００９９８１３Ａ１号明細書、欧州特許出願公開第２ ０６０ ９２１Ａ１号明細書及び米国特許出願公開第２０１２／０２８６８１６Ａ１号明細書からも知られている。米国特許出願公開第２０１９／０１０１５６９Ａ１号明細書は、このような先端を有し、この先端がクラッドワイヤのワイヤコア（ワイヤ芯）にのみ固定されているクラッドワイヤを提案している。このクラッドワイヤは、単一の被覆を有するワイヤコアを有することを意図している。これの欠点は、試験針がその長さにわたってもはや均一な物性を有していないこと、並びに、引張強さに加えて導電率及び熱伝導率が２つの材料の間の結合に非常に大きく依存することである。加えて、ある領域における低い導電率は、別の領域における高い導電率によって容易に補償することができない。これは、電気抵抗器の直列接続の場合のように、電流は両方の領域を通過しなければならないためである。

試験針またはスライディングワイヤを製造するための複合ワイヤとして、周囲全体が被覆されたワイヤを使用することができ、これは、例えば、連続圧延プロセスによって、またはガルバニックコーティングの助けを借りて、いわゆるクラッドワイヤまたはダブルワイヤとして製造することができる。例えば、これらは、以前に公開されていない独国特許出願公開第１０ ２０１９ １３０ ５２２．５号明細書に記載されているように、スリップリング（集電環）送信機の摺動接点またはマイクロスイッチのスイッチ接点における接点用途に使用することができるように、貴金属合金（例えば、Ｈｅｒａ２３８）で被覆された、例えば内部にＣｕＢｅ_２などのＣｕ合金を含む基礎金属を有することができる。

米国特許出願公開第２０１４／０２６６２７８Ａ１号明細書 米国特許出願公開第２０１０／０１９４４１５Ａ１号明細書 米国特許出願公開２０１０／０２３９４５３Ａ１号明細書 欧州特許出願公開第２ ２４８ ９２０Ａ１号明細書 米国特許出願公開第２００６／０１９７５４２Ａ１号明細書 国際公開第２０１６／００９２９３Ａ１号パンフレット 米国特許出願公開第２０１３／００９９８１３Ａ１号明細書 欧州特許出願公開第２ ０６０ ９２１Ａ１号明細書 米国特許出願公開第２０１２／０２８６８１６Ａ１号明細書 米国特許出願公開第２０１９／０１０１５６９Ａ１号明細書 独国特許出願公開第１０ ２０１９ １３０ ５２２．５号明細書

それゆえ、本発明の目的は、先行技術の短所を克服することである。特に、より大きい熱伝導率及び導電率を有し、同時に弾性率及び弾力性に関して試験針に好適な機械的特性を有する試験針の製造に用いることができる材料及びそのような材料の製造方法が見出されるべきである。

さらには、上記材料は、可能な限り長い耐用年数及びパッドに対する損傷がほとんどないか又はまったくないことを保証するために、十分に高い硬度を有する必要がある。同時に、その材料は、試験針が接触中に塑性的に変形しないように、そしてそのような試験針を備えるプローブカードの製造中に可能な限り大きい耐久力を保つために、十分な弾性を有する必要がある。

本発明のさらなる目的は、上述の特性を満たす試験針を提供することである。さらには、本発明は、そのような材料から作製される複数のワイヤを含む摺動接点を開発するというさらなる課題に対処する。

本発明の目的は、試験針又は摺動接点を製造するためのクラッドワイヤであって、
１． ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコアと、
２． アルミニウム若しくは銅若しくは銀又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金から作製される内側クラッド部であって、この内側クラッド部は、上記ワイヤコアを少なくとも２つの反対の側で覆うか又は上記ワイヤコアを完全に包み囲む内側クラッド部と、
３． 上記ワイヤコアと上記内側クラッド部との間に配置される、金又は金系合金の接着促進層と、
４． 上記内側クラッド部の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金から作製される外側クラッド部であって、この外側クラッド部は上記内側クラッド部を包み囲む外側クラッド部と
を含むクラッドワイヤによって成し遂げられる。

ベース合金は、少なくとも５０原子％の割合の記載された元素を含有する合金を意味すると理解される。

クラッド部は、さらに内側に存在するクラッドワイヤの一部を取り囲む層又はコーティングを意味すると理解される。

上記内側クラッド部が上記ワイヤコアを完全に包み囲むこと、及び／又は上記外側クラッド部が上記内側クラッド部を完全に包み囲むことを提供することができる。

上記外側クラッド部は、好ましくは、上記クラッドワイヤの外部表面を形成する。

ワイヤコアは、クラッドワイヤの最内の、軸方向に延在する部分を意味すると理解される。

使用されるロジウム系合金は、好ましくは、０．０１重量％〜３０重量％のジルコニウム及び１重量％以下の他の元素（不純物）を有するロジウム合金又はロジウム合金Ｈｅｒａ５２７０である。特に好ましくは、欧州特許第２ ６６２ ４６５ Ｂ１号明細書に記載される合金又は０．２重量％のジルコニウムを有し残りが製造に関連する不純物を含むロジウムであるＲｈＺｒ０．２合金が使用される。

上記接着促進層のための金系合金は、少なくとも９０原子％金を含有することが好ましい。

上記銅系合金は、好ましくは、少なくとも５０原子％の銅及び一般の不純物を有する銅−銀合金若しくは銅−金合金若しくは銅−アルミニウム合金、又は少なくとも５０原子％の銅及び金属である銀、金、アルミニウムのうちの少なくとも２種及び一般の不純物を含有する銅系合金である。

上記銀系合金は、好ましくは、少なくとも５０原子％銀及び一般の不純物を有する銀−銅合金若しくは銀−金合金若しくは銀−アルミニウム合金、又は少なくとも５０原子％銀及び金属である銅、金、アルミニウムのうちの少なくとも２種及び一般の不純物を含有する銀系合金である。

本発明によれば、好ましくは、上記クラッドワイヤが多層複合材ワイヤであるということが提供されうる。

特に好ましくは、上記ワイヤコア（一般の不純物を除く）は、０．１重量％〜３０重量％のジルコニウムを有する（非常に特に好ましくは０．２重量％のジルコニウムを有する）ロジウム系合金からなり、上記接着促進層は金（一般の不純物を除く）からなり、上記内側クラッド部は銅、銀又はアルミニウム（一般の不純物を除く。銅が非常に特に好ましい）からなり、上記外側クラッド部は、パラジウム−ニッケル合金、ロジウム、ロジウム−ジルコニウム合金、銅−スズ−亜鉛合金又は金系合金（一般の不純物を除く）からなり、好ましくはこの金系合金（一般の不純物を除く）は金−コバルト合金、金−鉄合金又は金−ニッケル合金である。

本発明に係るクラッドワイヤの場合、上記ワイヤコアの体積が、内側クラッド部の体積と少なくとも同程度に大きい、好ましくは上記ワイヤコアの体積が、内側クラッド部の体積と同程度に大きいか、又は内側クラッド部の体積の２０倍以下であるということが提供されうる。

本発明に係るクラッドワイヤの場合、上記ワイヤコア及び内側クラッド部が、接着促進層の少なくとも２倍の厚さ又は層厚さ、特に接着促進層の少なくとも３倍の厚さ又は層厚さを有するということも提供されうる。

これらの２つの手段によって、当該クラッドワイヤの必須の機械的特性及び電気特性が、上記ワイヤコア及び内側クラッド部並びにそれらの体積比によって主に規定されるということが成し遂げられる。

さらには、拡散保護層が内側クラッド部と外側クラッド部との間に拡散障壁として配置され、この拡散保護層は、好ましくはニッケル若しくは金又はニッケル系合金若しくは金系合金からなるということが提供されうる。

結果として、特に、内側クラッド部の電気特性は、外側クラッド部からの原子又はイオンの内向きの拡散によっては損なわれないということが成し遂げられる。特に、内側クラッド部の導電率は、結果として低下しないことになる。特に、これは、当該クラッドワイヤが使用されるときの、内側クラッド部の内部への異物原子の内向きの拡散による経時的な導電率の劣化を防止する。

この場合、上記内側クラッド部が拡散保護層の少なくとも２倍の層厚さを有する、好ましくは内側クラッド部が拡散保護層の少なくとも３倍の層厚さを有するということが提供されうる。

これは、上記拡散保護層が、内側クラッド部と比較して、当該クラッドワイヤ自体の機械的特性及び電気特性に大きすぎる影響を及ぼさないことを確実にすることを意図している。

本発明の好ましい開発によれば、上記外側クラッド部が、ロジウム、ロジウム系合金、銅−スズ−亜鉛合金、パラジウム−ニッケル合金又は金系合金からなり、この金系合金が、好ましくは金−コバルト合金、金−鉄合金又は金−ニッケル合金であるということが提供されうる。

これらの材料及び合金は硬く、従って、摩耗保護層として特に十分に使用することができる。上記外側クラッド部がパラジウム−ニッケル合金からなるということが好ましい。

室温の当該クラッドワイヤが、少なくとも１５０ＧＰａ、好ましくは少なくとも２００ＧＰａ、特に好ましくは２１５ＧＰａの弾性率（弾性係数又は略してｍ_Ｅ）を有すること、及び／又は
室温の当該クラッドワイヤが、少なくとも１８００ＭＰａ、好ましくは少なくとも２０００ＭＰａ、特に好ましくは２１５０ＭＰａの０．２％オフセット耐力（オフセット降伏強度）Ｒｐ_０．２（弾性限界）を有すること、及び／又は
室温の当該クラッドワイヤが、少なくとも４０％ ＩＡＣＳ、好ましくは少なくとも５０％ ＩＡＣＳ、特に好ましくは５７％ ＩＡＣＳの導電率を有すること
も提供されうる。

これらの機械的特性及び電気特性、特にこれらの組み合わせは、当該クラッドワイヤが特に良好な弾力性及び高導電率を有し、そのため上記クラッドワイヤが試験針又は摺動接点として使用することができるということを確実にする。

弾性率ｍ_Ｅ、０．２％オフセット耐力Ｒｐ_０．２及び引張強さＲ_ｍは、Ｚｗｉｃｋ Ｚ２５０引張試験機によって測定される。引張試験は、５５μｍのワイヤ直径を有するクラッドワイヤに対して実施されたものであり、それに関する。弾性率ｍ_Ｅ及び耐力Ｒｐ_０．２に関する試験速度は１ｍｍ／分であり、他方、引張強さＲ_ｍについての試験速度は１０ｍｍ／分であった。

導電率は、Ｂｕｒｓｔｅｒ Ｒｅｓｉｓｔｏｍａｔ ２３１６を用いて、規定の長さについて試験片にわたる電圧降下の４極測定によって測定された。この測定は、０．０６ｍ〜０．０７ｍのワイヤ長さ、５２μｍの直径を有するクラッドワイヤ及び１０ｍＡの測定電流を使用して実施される。

さらには、当該クラッドワイヤが、２００μｍ以下の直径又は厚さを有し、好ましくは１０μｍ〜１００μｍの直径又は厚さを有し、非常に特に好ましくは２０μｍ〜７０μｍの直径又は厚さを有するということが提供されうる。

これらの直径を有するクラッドワイヤ又はこれらの厚さを有する平坦なクラッドワイヤは、試験針として及びスライディングワイヤとして特に良好に使用可能である。

さらには、
上記ワイヤコアが、９μｍ〜１００μｍ、好ましくは２０μｍ〜７０μｍの直径又は厚さを有し、非常に特に好ましくは３０μｍ〜６０μｍの直径又は厚さを有すること、及び／又は
上記内側クラッド部が、１μｍ〜２０μｍ、好ましくは５μｍ〜１５μｍの層厚さを有すること、及び／又は
上記外側クラッド部が、０．５μｍ〜５μｍ、好ましくは１μｍ〜３μｍの層厚さを有すること、及び／又は
上記接着促進層が、１００ｎｍ〜１０００ｎｍ、好ましくは３００ｎｍ〜６００ｎｍの層厚さを有すること
が提供されうる。

これらの材料厚さがあれば、上記ワイヤコア及び上記それぞれの層が当該クラッドワイヤの機械的特性及び電気特性に対して所望の寄与をもたらすということが成し遂げられる。

上記接着促進層、内側クラッド部、外側クラッド部及び任意に拡散保護層がガルバニックコーティングであるということも提供されうる。

これは、費用効率が高い被覆を可能にする。加えて、このようにして、完全な被覆が起こることを確実にすることが可能である。

内側クラッド部がアルミニウム又はアルミニウム系合金からなる場合、その内側クラッド部は、好ましくは、物理気相成長（ＰＶＤ）等の物理的真空蒸着法によってワイヤコアに施すことができる。

好ましい実施形態によれば、上記ワイヤコアは加工硬化されているということが提供されうる。

加工硬化された材料は、機械的二次成形によってさらなる変形に対して硬くされた材料を意味すると理解される。転位密度は塑性変形の結果として増加する（１０^１２ｍ^−２まで）ので、複数の転位がそれらの動きを相互に互いを妨害する確率は上昇する。それゆえ、さらなる変形のためにはより大きい応力が必要であり、これは、耐力及び強度の上昇として認識できるようになる。この挙動は、加工硬化と呼ばれる。低い予変形により、例えば圧延又は延伸によりワイヤコアの強度を高めるために、本発明によればこの効果が利用される。

当該クラッドワイヤの機械的特性、特に弾力性は、これにより向上する。

さらには、ワイヤコアが矩形断面を有するということが提供されうる。好ましくは、当該クラッドワイヤは、ワイヤコアの帯板（条片、ストリップ）から製造される、特に好ましくは、当該クラッドワイヤは、上記内側クラッド部及び上記接着促進層で被覆された上記ワイヤコアの帯板から製造されるということが提供されうる。

従って、当該クラッドワイヤは、矩形断面を有するクラッドワイヤであることも可能である。その場合、当該クラッドワイヤは、フラットワイヤと呼ぶこともできる。

あるいは、上記ワイヤコアは、丸い、特に円形の断面を有する通常のワイヤであってもよい。その場合、当該クラッドワイヤも丸い、特に円形の断面を有する。特に８０μｍ未満の小さい直径については、直径に関して２０％以下の理想的な円形の対称性からのずれが生じてもよい。

ワイヤとは対照的に、帯板状ワイヤコアは矩形断面を有するが、角が丸いということは可能である。当該クラッドワイヤの帯板状ワイヤコアの幅は、好ましくは厚さの少なくとも２倍である。この場合も、帯板状クラッドワイヤ内の２０％以下のずれは可能である。

本発明によって対処される課題は、クラッドワイヤの製造方法であって、以下の順番の
Ａ）ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコアを準備する工程と、
Ｂ）上記ワイヤコアを、金又は金系合金から作製される接着促進層で被覆する工程と、
Ｃ）上記接着促進層で被覆された上記ワイヤコアを、銅若しくは銀若しくはアルミニウム又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金の内側クラッド部で被覆する工程と、
Ｄ）上記接着促進層及び上記内側クラッド部で被覆された上記ワイヤコアを、上記内側クラッド部の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金から作製される外側クラッド部で被覆する工程と
を特徴とする方法によっても解決される。

この方法によって製造されるクラッドワイヤは、本発明に係るクラッドワイヤと同じ利点を有する。

この場合、好ましくは、本発明に係るクラッドワイヤが当該方法によって製造されるということが提供されうる。

本発明に係る方法では、ワイヤコアが帯板状であり、工程Ｃ１）：
Ｃ１）被覆された上記帯板状ワイヤコアを、帯板の長手方向軸に対して垂直に複数の被覆されたワイヤコアへと切断する工程であって、これらのワイヤコアは、２つの反対の側で上記接着促進層及び上記内側クラッド部によって被覆されている工程
が工程Ｃ）と工程Ｄ）との間に行われ、
工程Ｄ）において、被覆されたワイヤコアの各々が上記外側クラッド部によって被覆されるということも提供されうる。

結果として、本発明に係るクラッドワイヤは、中間製品としての帯板状ワイヤコアから構築することができる。

本発明に係る方法では、工程Ｃ２）：
Ｃ２）上記接着促進層及び上記内側クラッド部で被覆された上記ワイヤコアを、拡散保護層で、好ましくはニッケル若しくは金又はニッケル系合金若しくは金系合金から作製される拡散保護層で被覆する工程
が工程Ｃ）と工程Ｄ）との間に行われ、工程Ｄ）において、接着促進層、内側クラッド部及び拡散保護層で被覆されたワイヤコアが上記外側クラッド部によって被覆されるということも提供されうる。

結果として、特に、内側クラッド部の電気特性は、外側クラッド部からの原子又はイオンの内向きの拡散によっては損なわれないということが成し遂げられる。特に、内側クラッド部の導電率は、結果として低下しないことになる。

さらには、工程Ｂ）、工程Ｃ）及び工程Ｄ）並びに任意に工程Ｃ２）に係る被覆は、ガルバニックな方法（電解的、流電的な方法）を使用して施され、かつ／又は物理的真空蒸着法を使用して、特に物理気相成長（ＰＶＤ）を使用して施されるということが提供されうる。

これは、費用効率が高い被覆を可能にする。加えて、このようにして、完全な被覆が起こることを確実にすることが可能である。アルミニウム又はアルミニウム系合金を用いた被覆は、好ましくは、物理気相成長（ＰＶＤ）を使用して実施される。すべての他の被覆は、好ましくは、ガルバニックな方法を使用して実施される。

本発明によれば、ワイヤコアは、工程Ａ）の前に加工硬化され、好ましくは機械的二次成形により加工硬化され、特に好ましくは圧延及び延伸により加工硬化される。

本発明によって対処される課題は、少なくとも１つの本発明に係るクラッドワイヤを含むか、又は本発明に係る方法によって製造されたものであるクラッドワイヤを含む試験針であって、好ましくはこの試験針は、当該クラッドワイヤの円筒軸に垂直に又は当該クラッドワイヤの長手方向軸に垂直に曲がっている試験針によっても解決される。

本発明によって対処される課題は、互いに離間した複数のそのような試験針を含む試験針アレイによってさらに解決される。

本発明によって対処される課題は、複数の本発明に係るクラッドワイヤを含むか、又は本発明に係る方法によって製造されたものであるクラッドワイヤを含む摺動接点であって、好ましくは、当該クラッドワイヤはワイヤ束を形成する摺動接点によってさらに解決される。

本発明は、ロジウム又はロジウム系合金から作製される内側のワイヤコアと、銅又は銀から作製される高導電性の内側クラッド部と、硬い外側クラッド部とを含むクラッドワイヤを用いると、銅、銀又はそれらをベースとする合金の高導電率を有すると同時にワイヤコア及び外側クラッド部を通して好ましい機械的弾力性をもたらすクラッドワイヤを提供することが可能であるという驚くべき知見に基づく。結果として当該クラッドワイヤは、試験針として、及び摺動接点を製造するための両方で良好に使用可能である。

上記接着促進層は、当該クラッドワイヤの弾性変形の場合に、ワイヤコアへの内側クラッド部のより安定な接合のために使用される。これは、荷重によって曲がる変化の結果としてワイヤコアの材料から内側クラッド部の材料が局所的に剥離することを防止することにより、向上した耐用年数につながる。

任意に存在する拡散保護層は、内側クラッド部の導電率を損なわないために使用される。異なる材料から作製される複数の拡散障壁が拡散保護層として使用されてもよい。これも向上した耐用年数をもたらす。というのも、導電率の低下を生じると思われる内側クラッド部の材料の望ましくない合金化が防止されるからである。

ワイヤコアの材料は、ＲｈＺｒ０．２又は３０原子％以下のジルコニウムを有するジルコニウムを含有する別のロジウム系合金が使用されるとき、特に耐張力性があり（純ロジウムの場合の１５００ＭＰａと比べて３０００ＭＰａ）、ジルコニウムの結果として特に微細に延伸することができる。この高引張強さは、比較的厚い銅層又は銀層が内側クラッド部として加えられる（積層される）ことを可能にし、これは導電率の顕著な上昇をもたらす。さらには、純ロジウムはおよそ１００μｍ〜８０μｍで脆くなり破断する。これは、純ロジウムから作製された現在の市販の直径約５０μｍの針がこの目的のために使用できない理由である。

約６０％ ＩＡＣＳ又はさらにそれ以上という導電率は、本発明を用いて可能である。さらには、得られた多層構造体の全体弾性率は顕著に低下し、これは弾力性の顕著な向上をもたらし、弾力性の向上は商Ｒｐ_０．２／ｍ_Ｅの増大で表される。

本発明は、一方で当該クラッドワイヤ、特に多層複合材ワイヤの全体弾性率ｍ_Ｅを劇的に下げると同時に高耐力Ｒｐ_０．２を有し、他方で導電率を大きく上昇させる材料を提供する。この目的のために、ロジウム及びＨｅｒａ５２７０等のロジウム合金から作製されるワイヤコアが使用され、このワイヤコアは、種々の機能層でガルバニックな手法で被覆される。

軟らかい銅又は軟らかい銀を使用することができるために、従って当該クラッドワイヤのためにその高導電率を使用することができるために、より硬い外囲層を上記外側クラッド部の形態で内側クラッド部の周りに配置することが重要である。

本発明の例示的な実施形態が、１２個の図に基づいて以降で説明されるが、しかしながら、それらは本発明を限定しない。

図１は、本発明に係るクラッドワイヤの模式的斜視断面図を示す。 図２は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による本発明に係るクラッドワイヤの断面の画像を示す。 図３は、ＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面のさらなる画像を示す。 図４は、ＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面のさらなる画像を示す。 図５は、ＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面のさらなる画像を示す。 図６は、本発明に係るクラッドワイヤの力−伸びのグラフを示す。 図７は、高拡大倍率でのＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面の画像を示す。 図８は、高拡大倍率でのＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面のさらなる画像を示す。 図９は、高拡大倍率での、かつ硬度測定に由来する凹みを伴うＳＥＭによる本発明に係るクラッドワイヤの断面の画像を示す。 図１０は、被覆された帯板から本発明に係る帯板状クラッドワイヤを製造するための中間製品の模式的斜視断面図を示す。 図１１は、図１０に係る中間製品から製造された本発明に係る帯板状クラッドワイヤの模式的斜視断面図を示す。 図１２は、本発明に係る方法の順序をフロー図の形態で示す。

図１は、円筒形の対称構造を有する本発明に係るクラッドワイヤ１の模式的斜視断面図を示す。クラッドワイヤ１は、ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコア２と、銅若しくは銀若しくはアルミニウム、又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金から作製される内側クラッド部（内側クラッディング材料）３、金属又は金属合金から作製される外側クラッド部（外側クラッディング材料）４と、金又は金系合金から作製される接着促進層５とからなる。任意に、金属拡散保護層６が設けられてもよい。

ワイヤコア２は、クラッドワイヤ１の最内部に延在する。内側クラッド部３はワイヤコア２を包み囲む。外側クラッド部４は内側クラッド部３を包み囲み、内側クラッド部３の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金、例えば、ロジウム、ロジウム系合金、銅−スズ−亜鉛合金、パラジウム−ニッケル合金又は金系合金等からなり、この金系合金は、好ましくは金−コバルト合金、金−鉄合金又は金−ニッケル合金である。接着促進層５は、ワイヤコア２と内側クラッド部３との間に配置される。拡散保護層６は、内側クラッド部３と外側クラッド部４との間に配置されることが可能であり、外側クラッド部４から内側クラッド部３への原子及びイオンの移行を防止又は妨害し、そのため、原子及びイオンが内側クラッド部３の導電率を損ねることはない。

ワイヤコア２は約４０μｍの直径を有してよく、内側クラッド部３は約１０μｍの層厚さを有してよく、外側クラッド部４は約２μｍの層厚さを有してよい。接着促進層５及び拡散保護層６は１μｍよりも薄くてよい。

クラッドワイヤ１を製造するために、ワイヤコア２は、融液から、凝固させ、次いでその後ワイヤコア２をワイヤとして延伸することにより最初に得ることができる。ワイヤコア２は、ワイヤコア２の機械的特性を向上させるために、加工硬化されることが好ましい。次いで、ワイヤコア２の表面は、以降の被覆プロセスの前にきれいにされてもよい。しかしながら、ワイヤコア２は、別の方法を使用して製造され、さらなる加工に提供されてもよい。

続いて、接着促進層５をワイヤコア２にガルバニックに加える（ガルバニ作用により積層する）ことができる。次いで内側クラッド部３を、接着促進層５で被覆されたワイヤコア２にガルバニックに加えることができる。次いでこの構造は、拡散保護層６でガルバニックに被覆されることができる。最後に、外側クラッド部４を、拡散保護層６に、又は直接内側クラッド部３にガルバニックに加えることができる。

このように製造されたクラッドワイヤ１は、任意に熱処理で後処理されてもよい。後の加工を簡単にするために、クラッドワイヤ１を長い継ぎ目のないワイヤ（少なくとも１０ｍ）として巻き枠（スプール）（図示せず）に巻くことが可能である。クラッドワイヤ１から短い断片を切り出すこともでき、次いで、これらの断片は、摺動接点としてのワイヤ束を提供するために、束としてまとめられる。あるいは、試験針アレイを形成するために、クラッドワイヤ１の複数のワイヤ断片が、アレイとして互いに離間した様式で配置されることも可能である。

図２〜図５及び図７〜図９は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって撮影した本発明に係るクラッドワイヤ１１の断面の画像を示す。コントラストは、図２〜図５では後方散乱電子によって生じ、図７〜図９では二次電子によって生じている。

クラッドワイヤ１１は、一般の不純物を含めて２０重量％のジルコニウム及び８０重量％のロジウムを含むロジウム−ジルコニウム合金から作製されるワイヤコア１２を有する。この合金はＲｈＺｒ０．２とも呼ばれる。このロジウム−ジルコニウム合金は、反復的な成形によって加工硬化される。ロジウム中のジルコニウムに起因して、ワイヤコア１２は、特に微細に延伸することができる。高引張強さのため、比較的厚い銅層をワイヤコア１２に施すことが可能になる。８０μｍ〜１００μｍ又はこれ以下の直径では、純ロジウムは脆くなり、破断する可能性がある。

それゆえ、内側クラッド部１３は銅からなり、外側クラッド部１４はパラジウム−ニッケル合金からなる。銅から作製される内側クラッド部１３は、当該クラッドワイヤの導電率を上昇させ、同時にクラッドワイヤ１１の弾力性を向上させる。外側クラッド部１４は、内側クラッド部１３の銅を機械的負荷及び摩耗効果から保護するために使用される。この目的のために、外側クラッド部１４は内側クラッド部１３よりも硬い。金の接着促進層１５は、ワイヤコア１２への内側クラッド部１３の機械的接続を向上させるために、ワイヤコア１２と内側クラッド部１３との間に配置される。従って、接着促進層１５は、クラッドワイヤ１１の耐用年数を向上させる。このように、ワイヤコア１２のロジウム−ジルコニウム合金からの銅の剥離は、接着促進層１５によって防止することができる。拡散保護層１６はパラジウムが内側クラッド部１３の銅へと拡散することを防ぐが、この拡散保護層１６は、内側クラッド部１３と外側クラッド部１４との間に設けられることが可能である。これにより、クラッドワイヤ１１の耐用年数が延び、クラッドワイヤ１１の導電率は経時的により一定のまま留まる。拡散保護層１６も、複数の異なる拡散障壁からなってもよい。

ワイヤコア１２は４４μｍ〜４７μｍの直径を有する。内側クラッド部１３は２．５μｍ〜１０μｍの層厚さを有する。外側クラッド部１４は１．４μｍ〜２μｍの層厚さを有する。接着促進層１５は４２０ｎｍ〜４７０ｎｍの層厚さを有する。内側クラッド部１３としてのこの比較的厚い銅層は、クラッドワイヤ１１の導電率の大きい上昇をもたらす。

図６は、そのようなクラッドワイヤ１１の力−伸びのグラフを示す。クラッドワイヤ１１は約１７００Ｎ／ｍｍ^２の力に耐える。クラッドワイヤ１１は５５μｍの直径を有していた。３０Ｎ／ｍｍ^２の付勢力を使用した。中間領域（フロー領域）における速度は０．０００２５ｓ^−１である。

弾性率ｍ_Ｅ、０．２％オフセット耐力Ｒｐ_０．２及び引張強さＲ_ｍは、Ｚｗｉｃｋ Ｚ２５０引張試験機によって測定される。引張試験は、５５μｍのワイヤ直径を有するクラッドワイヤに対して実施されたものであり、それに関する。弾性率ｍ_Ｅ及び耐力Ｒｐ_０．２に関する試験速度は１ｍｍ／分であり、他方、引張強さＲ_ｍについての試験速度は１０ｍｍ／分であった。

導電率は、Ｂｕｒｓｔｅｒ Ｒｅｓｉｓｔｏｍａｔ ２３１６を用いて、規定の長さについて試験片にわたる電圧降下の４極測定によって測定された。この測定は、０．０６ｍ〜０．０７ｍのワイヤ長さ、５２μｍの直径を有するクラッドワイヤ及び１０ｍＡの測定電流を使用して実施される。

本発明に係るクラッドワイヤ１１についての以下の機械的特性が実験から得られる：ｍ_Ｅ２１５．０ｋＮ／ｍｍ^２、Ｒ_ｅＬ２２４０ＭＰａ、Ｒｐ_０．２２１７１．８Ｎ／ｍｍ^２、Ｒ_ｍ２３６８．３Ｎ／ｍｍ^２、Ｆ_ｍ５．６Ｎ、Ａ １００ｍｍ ０．５３％。当該クラッドワイヤについては、商Ｒｐ_０．２／ｍ_Ｅについて２１７１．８ＭＰａ／２１５ＧＰａとなり、これは０．０１０１の比に対応する。比較として、純ロジウムについての商Ｒｐ_０．２／ｍ_Ｅは２３００ＭＰａ／３７０ＧＰａであり、これはわずか０．００６２の比に対応する。

商Ｒｐ_０．２／ｍ_Ｅが大きいほど、弾性領域における弾力性はより良好である。

さらなる実験により、クラッドワイヤ１１の弾力性（商Ｒｐ_０．２／ｍ_Ｅによって数量化できる）は劇的に向上することができる（ロジウムのワイヤと比べて６８％向上）ということが示された。さらには、導電率（ＥＣ）は、ロジウムから作製されるワイヤと比較して７９％上昇することができた。

導電率（ＥＣ）は、規定の長さのロジウムワイヤ又はクラッドワイヤの試験体にわたる電圧降下を測定するための４極測定によって測定される。測定のためにＢＵＲＳＴＥＲ（登録商標）Ｒｅｓｉｓｔｏｍａｔ ２３１６を使用した。測定は室温（２２℃）で実施される。

図２〜図５及び図７〜図９に係るクラッドワイヤの７０ｍｍの長さ、５２μｍの直径及び０．００２１ｍｍ^２の断面積に対して１．００ｏｈｍの抵抗値が得られた。これより、０．０３０ｏｈｍ ｍｍ^２／ｍの比電気抵抗Ｒ_ｓｐｅｃ及び３２．９０ｍ／（ｏｈｍ ｍｍ^２）の導電率又は５６．７％ ＩＡＣＳが得られる。図２〜図５及び図７〜図９に係るクラッドワイヤの５０ｍｍの長さ、５２μｍの直径及び０．００２１ｍｍ^２の断面積に対して０．７０ｏｈｍｓの抵抗値が得られた。これより、０．０３０ｏｈｍ ｍｍ^２／ｍの比電気抵抗Ｒ_ｓｐｅｃ及び３３．７３ｍ／（ｏｈｍ ｍｍ^２）の導電率又は５８．２％ ＩＡＣＳが得られる。１００％ ＩＡＣＳは５８ｍ／（ｏｈｍ ｍｍ^２）に対応する。

図１に示されるクラッドワイヤ１の代替として、帯板状ワイヤコア２２も、図１１に示されるようなクラッドワイヤ２１を製造するために使用することができる。

図１０は、本発明に係る帯板状クラッドワイヤ２１を製造するための中間製品２０の模式的斜視断面図を示す。図１０及び図１１は、図１０に示される中間製品２０を経由する帯板状クラッドワイヤ２１の製造を示す。図１１は、本発明に係るクラッドワイヤ２１の模式的斜視断面図を示す。クラッドワイヤ２１は、ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコア２２と、銅若しくは銀若しくはアルミニウム、又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金から作製される内側クラッド部２３と、金属又は金属合金から作製される外側クラッド部２４と、金又は金系合金から作製される接着促進層２５とからなる。任意に、金属拡散保護層２６が、内側クラッド部２３と外側クラッド部２４との間に設けられてもよい。

帯板状ワイヤコア２２は、図１０に示されるように、最初は矩形断面を有する。この帯板状ワイヤコア２２は、接着促進層２５及び内側クラッド部２３で被覆される。その後、こうして被覆されたワイヤコア２２、すなわち中間製品２０、は、帯板状ワイヤコア２２の長手方向（図１０中の画面の中への）に垂直に、多くの断片へと切断される。断面のうちの１つが図１０で点線によって断面２８として示されている。被覆されたワイヤコア２２の切断された断片は、２つの反対の側で接着促進層２５及び内側クラッド部２３で被覆される。これらの断片は、次いで、拡散保護層２６で、次いで外側クラッド部２４でガルバニックに被覆されるか、又は外側クラッド部２４のみで被覆される。結果として、クラッドワイヤ２１が図１１に示されるように得られる。

ワイヤコア２２はクラッドワイヤ２１の最内部に延在する。内側クラッド部２３は、２つの反対の側でワイヤコア２２を被覆する。外側クラッド部２４は、内側クラッド部２３及びワイヤコア２２を包み囲み、内側クラッド部２３の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金、例えば、ロジウム、ロジウム系合金、銅−スズ−亜鉛合金、パラジウム−ニッケル合金又は金系合金等からなり、この金系合金は、好ましくは金−コバルト合金、金−鉄合金又は金−ニッケル合金である。接着促進層２５は、ワイヤコア２２と内側クラッド部２３との間に配置される。拡散保護層２６は、外側クラッド部２４と内側クラッド部２３との間、また外側クラッド部２４とワイヤコア２２との間にも配置されてよく、内側クラッド部２３の導電率を損ねないように外側クラッド部２４から内側クラッド部２３への原子及びイオンの移行を防止又は妨害してもよい。

ワイヤコア２２は約１００μｍの幅及び約３０μｍの厚さを有してよく、内側クラッド部２３は約１０μｍの層厚さを有してよく、外側クラッド部２４は約２μｍの層厚さを有してよい。接着促進層２５及び拡散保護層２６は１μｍよりも薄くてよい。

クラッドワイヤ２１を製造するために、帯板状ワイヤコア２２は、融液から、凝固させ、次いでその後ワイヤコア２２を帯板として延伸することにより最初に得ることができる。ワイヤコア２２は、ワイヤコア２２の機械的特性を向上させるために、加工硬化されることが好ましい。次いで、ワイヤコア２２の表面は、以降の被覆プロセスの前にきれいにされてもよい。しかしながら、ワイヤコア２２は、別の方法によって製造され、さらなる加工に提供されてもよい。

続いて、接着促進層２５を帯板状ワイヤコア２２にガルバニックに加えることができる。その後、中間製品２０を得るために、内側クラッド部２３を接着促進層２５で被覆されたワイヤコア２２にガルバニックに加えることができる。中間製品２０を切断した後、切断した断片は、拡散保護層２６でガルバニックに被覆されることができる。最後に、外側クラッド部２４を拡散保護層２６にガルバニックに、又は直接内側クラッド部２３又はワイヤコア２２に加えることができる。

このようにして製造された帯板状クラッドワイヤ２１は、任意に熱処理で後処理されてもよい。試験針アレイを形成するために、クラッドワイヤ２１から、クラッドワイヤ２１の複数の帯板状ワイヤ断片は、アレイとして互いに離間した様式で配置されることも可能である。

本発明に係る方法の順序が、図１０、図１１及び図１と共に図１２によって以下に示される。

第１の作業工程１００では、ワイヤコア２、２２を融液から延伸によって製造することができる。ＲｈＺｒ０．２合金が、このワイヤコアのための材料として使用することができる。製造されるクラッドワイヤの機械的特性、特に弾力性を向上させるために、ワイヤコア２、２２を加工硬化することが可能である。ワイヤコア２、２２の表面は、さらなる加工の前にきれいにすることができる。

第２の作業工程１０１では、ワイヤコア２、２２は、接着促進層５、２５としての薄い金層でガルバニックに被覆することができる。

第３の作業工程１０２では、銅層又は銀層又はアルミニウム層を、接着促進層５、２５で被覆されたワイヤコア２、２２に、内側クラッド部３、２３としてガルバニックに加えることができる。

任意の第４の作業工程１０３では、中間製品２０、すなわち被覆された帯板状ワイヤコア２２、を、図１０で点線によって断面２８として示されているように、帯板状ワイヤコアの長手方向軸に垂直に複数の断片へと切断することができる。

任意の第５の作業工程１０４では、ニッケルの拡散保護層６、２６を、内側クラッド部３、２３に、及び任意にワイヤコア２２の開いた表面にも加えることができる。

第６の作業工程１０５では、外側クラッド部４、２４としてのロジウム、ロジウム系合金、金系合金、金−コバルト合金、金−鉄合金、金−ニッケル合金、銅−スズ−亜鉛合金又はパラジウム−ニッケル合金の層を、内側クラッド部３、２３に、及び任意にワイヤコア２２の開いた表面にも、又は拡散保護層６、２６にもガルバニックに加えることができる。

続いて、このようにして製造したクラッドワイヤ１、２１の熱処理を、第７の作業工程１０６において任意に実施することができる。

上記の説明並びに請求項、図面及び例示的な実施形態に開示される本発明の特徴は、本発明をその種々の実施形態で実現するために、個々にも、及び任意の組み合わせででも本質的なものでありうる。

１、１１、２１ クラッドワイヤ
２、１２、２２ ワイヤコア
３、１３、２３ 内側クラッド部
４、１４、２４ 外側クラッド部
５、１５、２５ 接着促進層
６、１６、２６ 拡散保護層
２０ 中間製品
２８ 断面
１００ 第１作業工程
１０１ 第２作業工程
１０２ 第３作業工程
１０３ 第４作業工程
１０４ 第５作業工程
１０５ 第６作業工程
１０６ 第７作業工程

Claims (17)

1. 試験針又は摺動接点を製造するためのクラッドワイヤ（１、１１、２１）であって、
   ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコア（２、１２、２２）と、
   銅若しくは銀若しくはアルミニウム、又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金から作製される内側クラッド部（３、１３、２３）であって、前記内側クラッド部（３、１３、２３）は、前記ワイヤコア（２、１２、２２）を少なくとも２つの反対の側で覆うか又は前記ワイヤコア（２、１２、２２）を完全に包み囲む内側クラッド部（３、１３、２３）と、
   前記ワイヤコア（２、１２、２２）と前記内側クラッド部（３、１３、２３）との間に配置される金又は金系合金から作製される接着促進層（５、１５、２５）と、
   前記内側クラッド部（３、１３、２３）の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金から作製される外側クラッド部（４、１４、２４）であって、前記外側クラッド部（４、１４、２４）は前記内側クラッド部（３、１３、２３）を包み囲む外側クラッド部（４、１４、２４）と
   を有するクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
2. 前記ワイヤコア（２、１２、２２）の体積が、前記内側クラッド部（３、１３、２３）の体積と少なくとも同程度に大きく、好ましくは前記ワイヤコア（２、１２、２２）の体積が、前記内側クラッド部（３、１３、２３）の体積のちょうど２０倍であるか若しくは前記内側クラッド部（３、１３、２３）の体積の２０倍以下であること、並びに／又は
   前記ワイヤコア（２、１２、２２）及び前記内側クラッド部（３、１３、２３）が、前記接着促進層（５、１５２５）の少なくとも２倍の厚さ若しくは層厚さ、特に前記接着促進層（５、１５、２５）の少なくとも３倍の厚さ若しく層厚さを有すること
   を特徴とする請求項１に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
3. 拡散保護層（６、１６、２６）が、前記内側クラッド部（３、１３、２３）と前記外側クラッド部（４、１４、２４）との間に拡散障壁として配置され、前記拡散保護層（６、１６、２６）が、好ましくはニッケル若しくは金又はニッケル系合金若しくは金系合金からなる
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
4. 前記内側クラッド部（３、１３、２３）が前記拡散保護層（６、１６、２６）の少なくとも２倍の層厚さを有し、好ましくは前記内側クラッド部（３、１３、２３）が前記拡散保護層（６、１６、２６）の少なくとも３倍の層厚さを有することを特徴とする請求項３に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
5. 前記外側クラッド部（４、１４、２４）が、ロジウム、ロジウム系合金、銅−スズ−亜鉛合金、パラジウム−ニッケル合金又は金系合金からなり、前記金系合金が、好ましくは金−コバルト合金、金−鉄合金又は金−ニッケル合金であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
6. 室温の前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）が、少なくとも１５０ＧＰａ、好ましくは少なくとも２００ＧＰａ、特に好ましくは２１５ＧＰａの弾性率ｍ_Ｅを有すること、及び／又は
   室温の前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）が、少なくとも１８００ＭＰａ、好ましくは少なくとも２０００ＭＰａ、特に好ましくは２１５０ＭＰａの０．２％オフセット耐力Ｒｐ_０．２（弾性限界）を有すること、及び／又は
   室温の前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）が、少なくとも４０％ ＩＡＣＳ、好ましくは少なくとも５０％ ＩＡＣＳ、特に好ましくは５７％ ＩＡＣＳの導電率を有すること
   を特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
7. 前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）が、２００μｍ以下の直径又は厚さ、好ましくは１０μｍ〜１００μｍの直径又は厚さを有し、非常に特に好ましくは２０μｍ〜７０μｍの直径又は厚さを有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
8. 前記ワイヤコア（２、１２、２２）が、９μｍ〜１００μｍ、好ましくは２０μｍ〜７０μｍの直径又は厚さを有し、非常に特に好ましくは３０μｍ〜６０μｍの直径又は厚さを有すること、及び／又は
   前記内側クラッド部（３、１３、２３）が、１μｍ〜２０μｍ、好ましくは５μｍ〜１５μｍの層厚さを有すること、及び／又は
   前記外側クラッド部（４、１４、２４）が、０．５μｍ〜５μｍ、好ましくは１μｍ〜３μｍの層厚さを有すること、及び／又は
   前記接着促進層（５、１５、２５）が、１００ｎｍ〜１０００ｎｍ、好ましくは３００ｎｍ〜６００ｎｍの層厚さを有すること
   を特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
9. 前記接着促進層（５、１５、２５）、前記内側クラッド部（３、１３、２３）、前記外側クラッド部（４、１４、２４）並びに任意に前記拡散保護層がガルバニックコーティングであることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
10. 前記ワイヤコア（２、１２、２２）が加工硬化されていること、及び／又は
    前記ワイヤコア（２２）が帯板、特に被覆された帯板であること
    を特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）。
11. クラッドワイヤ（１、１１、２１）、特に請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）の製造方法であって、以下の順番の
    Ａ）ロジウム又はロジウム系合金から作製されるワイヤコア（２、１２、２２）を準備する工程と、
    Ｂ）前記ワイヤコア（２、１２、２２）を、金又は金系合金から作製される接着促進層（５、１５、２５）で被覆する工程と、
    Ｃ）前記接着促進層（５、１５、２５）で被覆された前記ワイヤコア（２、１２、２２）を、銅若しくは銀若しくはアルミニウム又は銅系合金若しくは銀系合金若しくはアルミニウム系合金の内側クラッド部（３、１３、２３）で被覆する工程と、
    Ｄ）前記接着促進層（５、１５、２５）及び前記内側クラッド部（３、１３、２３）で被覆された前記ワイヤコア（２、１２、２２）を、前記内側クラッド部（３、１３、２３）の材料よりも大きい硬度を有する金属又は金属合金から作製される外側クラッド部（４、１４、２４）で被覆する工程と
    を特徴とする方法。
12. 前記ワイヤコア（２２）が帯板状の形状を有し、工程Ｃ１）：
    Ｃ１）被覆された前記帯板状ワイヤコア（２２）を、前記帯板状ワイヤコア（２２）の長手方向軸に対して垂直に複数の被覆されたワイヤコア（２２）へと切断する工程であって、前記ワイヤコア（２２）が、２つの反対の側で前記接着促進層（２５）及び前記内側クラッド部（２３）によって被覆されている工程
    が工程Ｃ）と工程Ｄ）との間に行われ、
    工程Ｄ）において、前記被覆されたワイヤコア（２２）の各々が前記外側クラッド部（２４）によって被覆される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
13. 工程Ｃ２）：
    Ｃ２）前記接着促進層（５、１５、２５）及び前記内側クラッド部（３、１３、２３）で被覆された前記ワイヤコア（２、１２、２２）を、拡散保護層で、好ましくはニッケル若しくは金又はニッケル系合金若しくは金系合金から作製される拡散保護層で被覆する工程
    が工程Ｃ）と工程Ｄ）との間に実施され、工程Ｄ）において、前記接着促進層（５、１５、２５）、前記内側クラッド部（３、１３、２３）及び前記拡散保護層で被覆された前記ワイヤコア（２、１２、２２）が前記外側クラッド部（４、１４、２４）によって被覆される
    ことを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の方法。
14. 工程Ｂ）、工程Ｃ）及び工程Ｄ）並びに任意に工程Ｃ２）に係る被覆が、ガルバニックな方法を使用して施され、かつ／又は物理的方法を使用して、特に物理気相成長（ＰＶＤ）を使用して施されることを特徴とする請求項１１から請求項１３のいずれか１項に記載の方法。
15. 少なくとも１つの請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）を含むか、又は請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の方法によって製造されたものであるクラッドワイヤ（１、１１、２１）を含む試験針であって、好ましくは、前記試験針は、前記クラッドワイヤ（１、１１）の円筒軸に垂直に又は前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）の長手方向軸に垂直に曲がっている試験針。
16. 互いに離間した複数の請求項１５に記載の試験針を有する試験針アレイ。
17. 複数の請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のクラッドワイヤ（１、１１、２１）を含むか、又は請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の方法によって製造されたものであるクラッドワイヤ（１、１１、２１）を含む摺動接点であって、好ましくは、前記クラッドワイヤ（１、１１、２１）はワイヤ束を形成する摺動接点。

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