JP2018501490A5

JP2018501490A5 -

Info

Publication number: JP2018501490A5
Application number: JP2017535369A
Authority: JP
Filing date: 2015-12-14
Publication date: 2020-06-25
Anticipated expiration: 2035-12-14

Claims

コンタクトチップとコンタクトヘッド（３０Ａ、３０Ｂ）との間に長手方向に従って本質的に延在する本体と、
少なくとも１つの内側層またはコア（３２）と第１の内側コーティング層（３３）との重ね合わせを含む少なくとも１つの多層構造（３１）と、
前記多層構造（３１）を完全に被覆し、前記コア（３２）を実現している材料よりも硬度が高い材料で作られ、前記コア（３２）及び前記第１の内側コーティング層（３３）を含むエッジ部分（３４Ａ、３４Ｂ）をも被覆する外側コーティング層（３５）とを含む、
電子デバイスをテストするための装置のテストヘッド用のコンタクトプローブ（３０）。
前記第１の内側コーティング層（３３）は、前記コア（３２）の第１の側（３２Ａ）に配置された第１の部分（３３Ａ）と、その反対にある第２の側（３２Ｂ）に配置された第２の部分（３３Ｂ）とを含む、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
前記コア（３２）は第１の導電性材料で作られ、前記第１の内側コーティング層（３３）は前記第１の導電性材料よりも導電率および熱伝導率の値が高い第２の導電性材料で作られている、請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブ。
前記コア（３２）は非導電性材料で作られ、前記第１の内側コーティング層（３３）は導電率および熱伝導率が高い第２の導電性材料で作られている、請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブ。
前記多層構造（３１）は前記第１の内側コーティング層（３３）を被覆する第２の内側コーティング層（３６）をさらに含む、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
前記コア（３２）と前記第１の内側コーティング層（３３）との間に配設され、前記コア（３２）と前記第１の内側コーティング層（３３）との接着を容易とする材料で作られている接着膜（３７）を、前記多層構造（３１）がさらに含む、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
前記多層構造（３１）を完全に囲み、前記多層構造（３１）と前記外側コーティング層（３５）の間に挿入される保護層（３８）をさらに含む、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
前記多層構造（３１）は、前記コア（３２）から始まる任意の数で一方が他方の上に交互に配置された、複数の第１の内側コーティング層（３３ｉ）および第２の内側コーティング層（３６ｉ）を含む、請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
前記コア（３２）と第１の内側コーティング層（３３）との間、及び第２の内側コーティング層（３６）とさらなる第１の内側コーティング層（３３）との間に配置された、１つまたは複数の接着膜（３７ｉ）を、前記多層構造（３１）がさらに含む、請求項７に記載のコンタクトプローブ。
前記第２の内側コーティング層（３６）は前記第２の導電性材料で作られている、請求項５に記載のコンタクトプローブ。
前記外側コーティング層（３５）は、ロジウム、白金、イリジウム及びそれらの合金、パラジウムコバルト合金、パラジウムニッケル合金、並びにニッケルリン合金、好ましくはロジウムから選択される第３の導電性材料で作られている、請求項１〜請求項１０のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
前記保護層（３８）は、ロジウム、金、白金、パラジウム及びそれらの合金、パラジウムコバルト合金、好ましくはパラジウムから選択される金属または金属合金で作られている、請求項７〜請求項１１のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
請求項１〜請求項１２のいずれか一項に従って作られた複数のコンタクトプローブ（３０）を含む、電子デバイスをテストするための装置用のテストヘッド。