JP4907171B2 - プローブピン - Google Patents

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Description

この発明は、LCDパネルなどを電気的に検査する際に用いられるプローブピンに関するものである。
従来から、LCDパネルなどを検査する場合、LCDパネルの複数の接続端子に複数のプローブピンを介して電気的に接触させ、検査装置から各種のテスト信号などを与えてLCDパネルの検査を行っていた。
たとえば、図9は、従来のプローブピンの概要構成を示す断面図である。この従来のプローブピン100は、プランジャー101,102とコイルばね103とからなり、このプローブピン100は、絶縁プレート104に収納されている。プランジャー101,102は、切削加工によって円筒形状に形成されており、絶縁プレート104が形成する円筒形状の孔内に収められたコイルばね103の反力によって孔内部で摺動するようになっている(特許文献1参照)。
特許第2532331号明細書 特開2004−152495号公報
ところで、上述した従来のプローブピン100のプランジャー101,102は、鉄系材質を切削加工することによって製造され、プランジャー101,102の表面にAuやRhなどのめっきを施して接触抵抗値の低減を図っている。
しかしながら、被検査物とプランジャー101との繰り返しコンタクトによって、プランジャー101の先端が摩耗した際に、めっきが剥離し、鉄系材質で形成された部分が露出し、被検査物とプランジャー101との接触抵抗値が増大してしまい、プローブピンとしての機能を果たせなくなってしまう場合があるという問題点があった。
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被検査物との繰り返しコンタクトによってプローブピンの先端が摩耗した場合であってもプローブピンの高抵抗化を抑え、プローブピンの長寿命化を促進することができるプローブピンを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかるプローブピンは、被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状平板の中心層と該中心層の両面の少なくとも一面に略帯状平板で形成され該中心層を補強する補強層とを有した多層平板状のプランジャーを備えたことを特徴とする。
また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明において、コイルばねと嵌合する前記中心層のばね接合端部は、くさび状に形成され、かつ該ばね接合端部の基部の幅が先端部に比して狭いことを特徴とする。
また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明において、前記補強層の形状は、前記中心層の形状を面的に縮小した形状であることを特徴とする。
また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明において、前記中心層および前記補強層は、低抵抗部材であることを特徴とする。
この発明にかかるプローブピンは、被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状平板の中心層と該中心層の両面の少なくとも一面に略帯状平板で形成され該中心層を補強する補強層とを有した多層平板状のプランジャーを備えるようにしているので、エッチング加工や電鋳加工によって製造が可能となり、プランジャー全体を低抵抗材料によって形成することによって、被検査物との繰り返しコンタクトによってプローブピンの先端が摩耗した場合であってもプローブピンの高抵抗化を抑え、プローブピンの長寿命化を促進することができるという効果を奏する。
以下、この発明を実施するための最良の形態であるプローブピンについて図面を参照して説明する。
(実施の形態)
図1は、この発明の実施の形態であるプローブピンの概要構成を示す断面図である。このプローブピン10は、プランジャー1,2とコイルばね3とを有し、絶縁プレート4に収納される。絶縁プレート4は、プレート状の中間絶縁体5を有し、この中間絶縁体5は、被検査物の接触端子位置に対応した位置に円柱状の孔部8を有する。中間絶縁体5の上側および下側には、それぞれ上側絶縁体6および下側絶縁体7が層状に設けられ、孔部8と同軸であって孔部8の径に比して小さな径をもつ円形の上側開口部8aおよび下側開口部8bをそれぞれ有する。そして、孔部8と、上側開口部8aをもつ上側絶縁体6と、下側開口部8bをもつ下側絶縁体7とによって、プローブピン10を収納するホルダを形成する。
プランジャー1は、被検査物に接触する先端側がくさび状の多層平板によって形成され、先端側が外部に突き出るように上側開口部8aに挿入され、上側開口部8aの径に比して大きな幅をもつ抜け止め部によって抜け止めされる。一方、プランジャー2は、検査装置側の接続端子と接触するために先端側が針状に形成された円柱状をなし、この先端側が外部に突き出るように下側開口部8bに挿入され、下側開口部8bの径に比して大きな径をもつ抜け止め部によって抜け止めされる。また、孔部8には、孔部8の径に比して小さな径をもつコイルばね3が挿入され、このコイルばね3の反力によってプランジャー1,2を反力によって外部に押し付けられた状態で、各プランジャー1,2が孔部8内で摺動できるように組み立てられる。なお、プランジャー2は、切削加工などによって形成された鉄系部材に、AuやRhなどのめっきを施して接触抵抗値の低減を図っている。
図2は、プランジャー1の構成を示す斜視図であり、図3は、プランジャー1の正面図であり、図4は、プランジャー1の右側面図であり、図5は、プランジャー1の平面図である。図2〜図5において、プランジャー1は、先端側がくさび状に形成された略帯状の平板である中心層11の両面に、補強層12,13が形成される。補強層12,13は、中心層11の形状とほぼ同じ形状の平板であって、中心層11の形状を縮小した形状である。したがって、先端側部分では、概ね錐状となる。コイルばね3と嵌合する中心層11のばね接合端部は、くさび状に形成され、コイルばね3との嵌合が容易に行えるようになっている。また、接合端部側には、上側開口部8aの径に比して大きな幅をもつ抜け止め部14が形成される。
中心層11および補強層12,13は、Cuなどの低抵抗部材であり、エッチング加工あるいは電鋳加工によって製造される。逆に、中心層11および補強層12,13は、エッチング加工あるいは電鋳加工によって製造されるため、切削加工では困難であったCu,Au,Ag,Niなどの低抵抗の柔らかい材料によって形成することができる。したがって、繰り返しコンタクトが行われる先端部が摩耗した場合であっても、低抵抗部材が常に露出しているため、常に被検査物との接触抵抗値を増大させることなく、低接触抵抗状態を維持することができる。なお、中心層11と補強層12,13とを異なる材料で形成してもよいし、同一の材料で形成してもよい。また、補強層12,13を多層平板化してもよい。すなわち、プランジャー1全体の多層化を4層以上にしてもよい。もちろん、1つの補強層12,13を削除し、プランジャー1全体を2層としてもよい。
ここで、プランジャー1は多層平板であるため、その断面が十字形状となる。したがって、図6に示すように、プランジャー1の摺動時に、プランジャー1の先端側と上側開口部8aと接触が安定するため、先端部の位置精度や摺動の安定性をもたせることができる。なお、図7に示すように、単層の平板の場合、上側開口部8aとの接触が線的になり、図6に示すような面的に広がった接触に比して、不安定なものとなる。
また、プランジャー1とコイルばね3とを嵌合して接合させる場合、プランジャー1の接合端部側も多層平板であるため、プランジャー1とコイルばね3との接触面積が小さくなり、コイルばね3の接合端部への圧入を容易に行うことができる。この場合、接合端部の幅などが少し大きくてもコイルばね3との接合には問題ないため、接合端部の寸法管理が容易になる。
なお、図8に示すように、接合端部21aの先端部分をくさび状として、コイルばね3の接合時にコイルばね3を容易に広げやすくし、接合端部21aと抜け止め部14との間の部分の幅を、接合端部21aの幅に比して小さくすることによって、コイルばね3の抜けを確実に防止することができる。
この実施の形態では、プランジャー1を多層平板によって形成しているので、エッチング加工や電鋳加工を用いることができ、プランジャー1全体を低抵抗材料によって形成することができるので、繰り返しコンタクトを行うことによって先端部分に摩耗が生じても、接触抵抗の増大を抑えることができる。また、単層の平板に比して、断面が円形の孔との接触バランスに優れ、良好な先端位置精度と摺動性を確保することができる。さらに、コイルばねとの接触面積が小さいので、寸法管理も容易となる。また、接合端部の先端部分をくさび状にし、幅の狭い部分を設けることによって、プランジャー1とコイルばね3との嵌合を一層確実にすることができる。
この発明の実施の形態であるプローブピンの構成を示す断面図である。 図1に示したプランジャーの斜視図である。 図1に示したプランジャーの正面図である。 図1に示したプランジャーの右側面図である。 図1に示したプランジャーの平面図である。 多層平板構成のプランジャーの上側開口部への挿入状態を示す断面図である。 単層平板構成のプランジャーの上側開口部への挿入状態を示す断面図である。 プランジャーの変形例を示す図である。 従来のプローブピンの構成を示す断面図である。
符号の説明
1,2 プランジャー
3 コイルばね
4 絶縁プレート
5 中間絶縁体
6 上側絶縁体
7 下側絶縁体
8 孔部
8a 上側開口部
8b 下側開口部
10,20 プローブピン
11 中心層
12,13 補強層
14 抜け止め部
21a 接合端部

Claims (5)

  1. 絶縁体からなるホルダに収納されて被検査物に接触するプローブピンであって、
    前記被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状平板の中心層と該中心層の両面に略帯状平板で形成され該中心層を補強する補強層とを有し、前記ホルダへ収納される場合に該ホルダが有する開口部に挿入される多層平板状のプランジャーを備え、
    前記補強層の形状は、前記中心層の形状を面的に縮小した形状であることを特徴とするプローブピン。
  2. 前記プランジャーは、
    前記中心層と前記補強層とが積層される方向と直交する平面に対して面対称な形状をなすことを特徴とする請求項1に記載のプローブピン。
  3. 前記プランジャーは、
    長手方向と直交する断面の少なくとも一部が十字形状をなすことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブピン。
  4. 前記中心層は、くさび状に形成されてコイルばねと嵌合するばね接合端部を有し、
    前記ばね接合端部の基部の幅が該ばね接合端部の先端部の幅に比して狭いことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のプローブピン。
  5. 前記中心層および前記補強層は、Cu、Au、Ag、Niのいずれかであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のプローブピン。
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