WO2007074764A1 - プローブピン - Google Patents

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WO2007074764A1
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plunger
layer
flat plate
shape
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Toshio Kazama
Koji Ishikawa
Hiroyasu Sotoma
Original Assignee
Nhk Spring Co., Ltd.
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    • G01R1/06738Geometry aspects related to tip portion

Definitions

  • the present invention relates to a probe pin used for electrical inspection of an LCD panel or the like.
  • the LCD panel when inspecting an LCD panel or the like, the LCD panel is electrically contacted with a plurality of connection terminals of the LCD panel via a plurality of probe pins, and various test signals are given from the inspection apparatus to the LCD panel. I did an inspection!
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a conventional probe pin.
  • This conventional probe pin 100 is powered by plungers 101, 102 and a coin spring 103, and this probe pin 100 is housed in an insulating plate 104.
  • the plungers 101 and 102 are formed into a cylindrical shape by cutting, and slide inside the hole by the reaction force of the coil spring 103 housed in the cylindrical hole formed by the insulating plate 104. (For example, see Patent Documents 1 and 2).
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 2532331
  • Patent Document 2 JP 2004-152495 A
  • the plungers 101 and 102 of the conventional probe pin 100 described above are manufactured by cutting a ferrous material, and the surfaces of the plungers 101 and 102 are plated with Au, Rh, or the like. Reduce contact resistance.
  • the present invention has been made in view of the above, and repeatedly contacts with an object to be inspected. It is an object of the present invention to provide a probe pin that can suppress the high resistance of the probe pin even when the tip of the probe pin is worn, and can promote the long life of the probe pin.
  • a probe pin according to the present invention includes a central layer of a substantially strip-shaped flat plate having a wedge-shaped tip on the side in contact with an object to be inspected. And a multilayer flat plate-like plunger having a reinforcing layer for reinforcing the central layer formed on at least one surface of both sides of the core layer.
  • the spring joint end portion of the center layer that fits with the coil spring is formed in a wedge shape, and the spring joint end portion The width of the base is narrower than that of the tip.
  • the shape of the reinforcing layer is a shape obtained by planarly reducing the shape of the central layer.
  • the center layer and the reinforcing layer are low resistance members.
  • the probe pin according to the present invention is formed of a substantially strip-shaped flat plate on at least one surface of a central layer of a substantially strip-shaped flat plate having a wedge-shaped tip on the side in contact with an object to be inspected. Since a multilayer flat plate-like plunger having a reinforcing layer that reinforces the central layer is provided, it becomes possible to manufacture by an etching cage and an electric cage, and the entire plunger is made of a low resistance material. By forming, even if the tip of the probe pin is worn due to repeated contact with the object to be inspected, it is possible to suppress the high resistance of the probe pin and promote the extension of the life of the probe pin. Has an effect.
  • FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a probe pin according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of the plunger shown in FIG.
  • FIG. 3 is a front view of the plunger shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a right side view of the plunger shown in FIG.
  • FIG. 5 is a plan view of the plunger shown in FIG. 1.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where the plunger having a multilayer flat plate configuration is inserted into the upper opening.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state where the plunger having a single-layer flat plate configuration is inserted into the upper opening.
  • FIG. 8 is a view showing a modification of the plunger.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional probe pin.
  • FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a probe pin according to an embodiment of the present invention.
  • the probe pin 10 has plungers 1 and 2 and a coil spring 3 and is housed in an insulating plate 4.
  • the insulating plate 4 has a plate-like intermediate insulator 5, and the intermediate insulator 5 has a cylindrical hole 8 at a position corresponding to the position of the contact terminal of the object to be inspected.
  • the upper insulator 6 and the lower insulator 7 are provided in layers on the upper and lower sides of the intermediate insulator 5, respectively, and are coaxial with the hole 8 and have a diameter smaller than the diameter of the hole 8.
  • Each has a circular upper opening 8a and a lower opening 8b.
  • a holder for housing the probe pin 10 is formed by the hole 8, the upper insulator 6 having the upper opening 8a, and the lower insulator 7 having the lower opening 8b.
  • Plunger 1 is formed of a wedge-shaped multilayer flat plate on the tip side that comes into contact with the object to be inspected, and is inserted into upper opening 8a so that the tip side protrudes to the outside, compared to the diameter of upper opening 8a. It is retained by a retaining portion having a large width.
  • the plunger 2 has a cylindrical shape in which the tip side is formed in a needle shape so as to come into contact with the connection terminal on the inspection device side, and is inserted into the lower opening 8b so that the tip side protrudes to the outside. It is retained by a retaining portion having a diameter larger than that of the side opening 8b.
  • a coil spring 3 having a diameter smaller than that of the hole 8 is inserted into the hole 8, and the plungers 1 and 2 are pressed to the outside by the reaction force of the coil spring 3.
  • the plungers 1 and 2 are assembled so that they can slide in the holes 8.
  • Plunger 2 is plated with Au or Rh on an iron-based member formed by cutting or other means to reduce contact resistance.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the plunger 1
  • FIG. 3 is a front view of the plunger 1
  • FIG. 4 is a right side view of the plunger 1
  • FIG. FIG. 3 is a plan view of the plunger 1. 2 to 5
  • the plunger 1 has reinforcing layers 12 and 13 formed on both surfaces of a central layer 11 which is a substantially strip-like flat plate having a wedge-shaped tip side.
  • the reinforcing layers 12 and 13 are flat plates having substantially the same shape as that of the central layer 11 and are formed by reducing the shape of the central layer 11. Therefore, the tip side portion is generally conical.
  • the spring joint end portion of the center layer 11 to be fitted with the coil spring 3 is formed in a wedge shape so that the coil spring 3 can be easily fitted.
  • the center layer 11 and the reinforcing layers 12 and 13 are low resistance members such as Cu, and are manufactured by etching force or electric caulking.
  • the central layer 11 and the reinforcing layers 12 and 13 are manufactured by an etcher cable or an electric cable, so that they are difficult to cut by using a soft material having low resistance such as Cu, Au, Ag, and Ni. It can be formed by material. Therefore, even when the tip that is repeatedly contacted is worn, the low resistance member is always exposed, so the low contact resistance without constantly increasing the contact resistance value with the object to be inspected. The state can be maintained.
  • the center layer 11 and the reinforcing layers 12 and 13 may be formed of different materials or may be formed of the same material. Further, the reinforcing layers 12 and 13 may be multilayer flat plates. That is, the plunger 1 as a whole may have four or more layers. Of course, one reinforcing layer 12, 13 may be deleted, and the entire plunger 1 may have two layers.
  • the plunger 1 is a multilayer flat plate, the cross section thereof has a cross shape. Therefore, as shown in Fig. 6, when the plunger 1 slides, the contact between the distal end side of the plunger 1 and the upper opening 8a is stabilized, so the positional accuracy of the distal end portion is stable. It can be given. As shown in Fig. 7, in the case of a single-layer flat plate, the contact with the upper opening 8a is linear, and is unstable compared to the spread contact as shown in Fig. 6. It becomes.
  • the joining end portion side of the plunger 1 is also a multilayer flat plate, so the contact area between the plunger 1 and the coil spring 3 is small. As a result, it is possible to easily press-fit the coil spring 3 into the joint end. In this case, even if the width of the joint end is a little larger, there is no problem in joining with the coil spring 3, so that the dimension control of the joint end becomes easy.
  • the tip end portion of the joining end portion 21a is wedge-shaped so that the coil spring 3 can be easily spread when joining the coil spring 3, and the joining end portion 21a and the retaining portion 14
  • the width of the intermediate portion is smaller than the width of the joining end portion 21a, it is possible to reliably prevent the coil spring 3 from being pulled out.
  • the plunger 1 is formed of a multilayer flat plate, an etching cache can be used, and the entire plunger 1 is formed of a low resistance material. Therefore, repeated contact can suppress the increase in contact resistance even if the tip portion is worn. Also, the cross section is circular compared to a single-layer flat plate. Excellent contact balance with the shape hole, ensuring good tip position accuracy and slidability. Furthermore, since the contact area with the coil spring is small, dimensional management becomes easy. Further, the fitting of the plunger 1 and the coil spring 3 can be further ensured by making the tip portion of the joint end portion a wedge shape and providing a narrow portion.
  • the probe pin according to the present invention is useful when electrically inspecting an LCD panel or the like.

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Abstract

 被検査物との繰り返しコンタクトによってプローブピンの先端が摩耗した場合であってもプローブピンの高抵抗化を抑え、プローブピンの長寿命化を促進する。この目的のために、被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状の平板の中心層11と、中心層11の両面の少なくとも一面に略帯状の平板で形成され中心層11を補強する補強層12とを有した多層平板状のプランジャー1と、プランジャー2と、コイルばね3とを備える。

Description

明 細 書
プローブピン 技術分野
[0001] この発明は、 LCDパネルなどを電気的に検査する際に用いられるプローブピンに 関するものである。
背景技術
[0002] 従来から、 LCDパネルなどを検査する場合、 LCDパネルの複数の接続端子に複 数のプローブピンを介して電気的に接触させ、検査装置から各種のテスト信号などを 与えて LCDパネルの検査を行って!/、た。
[0003] たとえば、図 9は、従来のプローブピンの概要構成を示す断面図である。この従来 のプローブピン 100は、プランジャー 101, 102とコィノレばね 103と力らなり、このプロ ーブピン 100は、絶縁プレート 104に収納されている。プランジャー 101, 102は、切 削加工によって円筒形状に形成されており、絶縁プレート 104が形成する円筒形状 の孔内に収められたコイルばね 103の反力によって孔内部で摺動するようになって いる(例えば、特許文献 1および 2参照)。
[0004] 特許文献 1 :特許第 2532331号公報
特許文献 2 :特開 2004— 152495号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] ところで、上述した従来のプローブピン 100のプランジャー 101, 102は、鉄系材質 を切削加工することによって製造され、プランジャー 101, 102の表面に Auや Rhな どのめつきを施して接触抵抗値の低減を図って 、る。
[0006] しかしながら、被検査物とプランジャー 101との繰り返しコンタクトによって、プランジ ヤー 101の先端が摩耗した際に、めっきが剥離し、鉄系材質で形成された部分が露 出し、被検査物とプランジャー 101との接触抵抗値が増大してしまい、プローブピンと しての機能を果たせなくなってしまう場合があるという問題点があった。
[0007] この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被検査物との繰り返しコンタクト によってプローブピンの先端が摩耗した場合であってもプローブピンの高抵抗ィ匕を 抑え、プローブピンの長寿命化を促進することができるプローブピンを提供することを 目的とする。
課題を解決するための手段
[0008] 上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかるプローブピンは 、被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状平板の中心層と該中 心層の両面の少なくとも一面に略帯状平板で形成され該中心層を補強する補強層と を有した多層平板状のプランジャーを備えたことを特徴とする。
[0009] また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明にお 、て、コイルばねと嵌合 する前記中心層のばね接合端部は、くさび状に形成され、かつ該ばね接合端部の 基部の幅が先端部に比して狭いことを特徴とする。
[0010] また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明において、前記補強層の形状 は、前記中心層の形状を面的に縮小した形状であることを特徴とする。
[0011] また、この発明にかかるプローブピンは、上記の発明において、前記中心層および 前記補強層は、低抵抗部材であることを特徴とする。
発明の効果
[0012] この発明にかかるプローブピンは、被検査物に接触する側の先端がくさび状に形 成された略帯状平板の中心層と該中心層の両面の少なくとも一面に略帯状平板で 形成され該中心層を補強する補強層とを有した多層平板状のプランジャーを備える ようにしているので、エッチングカ卩ェゃ電铸カ卩ェによって製造が可能となり、プランジ ヤー全体を低抵抗材料によって形成することによって、被検査物との繰り返しコンタク トによってプローブピンの先端が摩耗した場合であってもプローブピンの高抵抗ィ匕を 抑え、プローブピンの長寿命化を促進することができると 、う効果を奏する。
図面の簡単な説明
[0013] [図 1]図 1は、この発明の実施の形態であるプローブピンの構成を示す断面図である
[図 2]図 2は、図 1に示したプランジャーの斜視図である。
[図 3]図 3は、図 1に示したプランジャーの正面図である。 [図 4]図 4は、図 1に示したプランジャーの右側面図である。
[図 5]図 5は、図 1に示したプランジャーの平面図である。
[図 6]図 6は、多層平板構成のプランジャーの上側開口部への挿入状態を示す断面 図である。
[図 7]図 7は、単層平板構成のプランジャーの上側開口部への挿入状態を示す断面 図である。
[図 8]図 8は、プランジャーの変形例を示す図である。
[図 9]図 9は、従来のプローブピンの構成を示す断面図である。
符号の説明
[0014] 1, 2 プランジャー
3 コイルばね
4 絶縁プレート
5 中間絶縁体
6 上側絶縁体
7 下側絶縁体
8 孔部
8a 上側開口部
8b 下側開口部
10 プローブピン
11 中心層
12, 13 補強層
14 抜け止め部
21a 接合端部
発明を実施するための最良の形態
[0015] 以下、この発明を実施するための最良の形態であるプローブピンについて図面を 参照して説明する。
[0016] (実施の形態)
図 1は、この発明の実施の形態であるプローブピンの概要構成を示す断面図である 。このプローブピン 10は、プランジャー 1, 2とコイルばね 3とを有し、絶縁プレート 4に 収納される。絶縁プレート 4は、プレート状の中間絶縁体 5を有し、この中間絶縁体 5 は、被検査物の接触端子位置に対応した位置に円柱状の孔部 8を有する。中間絶 縁体 5の上側および下側には、それぞれ上側絶縁体 6および下側絶縁体 7が層状に 設けられ、孔部 8と同軸であって孔部 8の径に比して小さな径をもつ円形の上側開口 部 8aおよび下側開口部 8bをそれぞれ有する。そして、孔部 8と、上側開口部 8aをも つ上側絶縁体 6と、下側開口部 8bをもつ下側絶縁体 7とによって、プローブピン 10を 収納するホルダを形成する。
[0017] プランジャー 1は、被検査物に接触する先端側がくさび状の多層平板によって形成 され、先端側が外部に突き出るように上側開口部 8aに挿入され、上側開口部 8aの径 に比して大きな幅をもつ抜け止め部によって抜け止めされる。一方、プランジャー 2は 、検査装置側の接続端子と接触するために先端側が針状に形成された円柱状をな し、この先端側が外部に突き出るように下側開口部 8bに挿入され、下側開口部 8bの 径に比して大きな径をもつ抜け止め部によって抜け止めされる。また、孔部 8には、孔 部 8の径に比して小さな径をもつコイルばね 3が挿入され、このコイルばね 3の反力に よってプランジャー 1, 2が外部に押し付けられた状態で、各プランジャー 1, 2が孔部 8内で摺動できるように組み立てられる。なお、プランジャー 2は、切削加工などによ つて形成された鉄系部材に、 Auや Rhなどのめっきを施して接触抵抗値の低減を図 つている。
[0018] 図 2は、プランジャー 1の構成を示す斜視図であり、図 3は、プランジャー 1の正面図 であり、図 4は、プランジャー 1の右側面図であり、図 5は、プランジャー 1の平面図で ある。図 2〜図 5において、プランジャー 1は、先端側がくさび状に形成された略帯状 の平板である中心層 11の両面に、補強層 12, 13が形成される。補強層 12, 13は、 中心層 11の形状とほぼ同じ形状の平板であって、中心層 11の形状を縮小した形状 である。したがって、先端側部分では、概ね錐状となる。コイルばね 3と嵌合する中心 層 11のばね接合端部は、くさび状に形成され、コイルばね 3との嵌合が容易に行え るようになっている。また、接合端部側には、上側開口部 8aの径に比して大きな幅を もつ抜け止め部 14が形成される。 [0019] 中心層 11および補強層 12, 13は、 Cuなどの低抵抗部材であり、エッチング力卩ェぁ るいは電铸カ卩ェによって製造される。逆に、中心層 11および補強層 12, 13は、エツ チンダカ卩ェあるいは電铸カ卩ェによって製造されるため、切削加工では困難であった Cu, Au, Ag, Niなどの低抵抗の柔らかい材料によって形成することができる。した がって、繰り返しコンタクトが行われる先端部が摩耗した場合であっても、低抵抗部材 が常に露出しているため、常に被検査物との接触抵抗値を増大させることなぐ低接 触抵抗状態を維持することができる。なお、中心層 11と補強層 12, 13とを異なる材 料で形成してもよいし、同一の材料で形成してもよい。また、補強層 12, 13を多層平 板ィ匕してもよい。すなわち、プランジャー 1全体の多層化を 4層以上にしてもよい。も ちろん、 1つの補強層 12, 13を削除し、プランジャー 1全体を 2層としてもよい。
[0020] ここで、プランジャー 1は多層平板であるため、その断面が十字形状となる。したが つて、図 6に示すように、プランジャー 1の摺動時に、プランジャー 1の先端側と上側 開口部 8aとの接触が安定するため、先端部の位置精度ゃ摺動の安定性をもたせる ことができる。なお、図 7に示すように、単層の平板の場合、上側開口部 8aとの接触 が線的になり、図 6に示すような面的に広がった接触に比して、不安定なものとなる。
[0021] また、プランジャー 1とコイルばね 3とを嵌合して接合させる場合、プランジャー 1の 接合端部側も多層平板であるため、プランジャー 1とコイルばね 3との接触面積が小 さくなり、コイルばね 3の接合端部への圧入を容易に行うことができる。この場合、接 合端部の幅などが少し大きくてもコイルばね 3との接合には問題な 、ため、接合端部 の寸法管理が容易になる。
[0022] なお、図 8に示すように、接合端部 21aの先端部分をくさび状として、コイルばね 3の 接合時にコイルばね 3を容易に広げやすくし、接合端部 21aと抜け止め部 14との間 の部分の幅を、接合端部 21aの幅に比して小さくすることによって、コイルばね 3の抜 けを確実に防止することができる。
[0023] この実施の形態では、プランジャー 1を多層平板によって形成しているので、エッチ ングカ卩ェゃ電铸カ卩ェを用いることができ、プランジャー 1全体を低抵抗材料によって 形成することができるので、繰り返しコンタクトを行うことによって先端部分に摩耗が生 じても、接触抵抗の増大を抑えることができる。また、単層の平板に比して、断面が円 形の孔との接触バランスに優れ、良好な先端位置精度と摺動性を確保することがで きる。さらに、コイルばねとの接触面積が小さいので、寸法管理も容易となる。また、 接合端部の先端部分をくさび状にし、幅の狭い部分を設けることによって、プランジャ 一 1とコイルばね 3との嵌合を一層確実にすることができる。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明にかかるプローブピンは、 LCDパネルなどを電気的に検査す る際に有用である。

Claims

請求の範囲
[1] 被検査物に接触する側の先端がくさび状に形成された略帯状平板の中心層と該中 心層の両面の少なくとも一面に略帯状平板で形成され該中心層を補強する補強層と を有した多層平板状のプランジャーを備えたことを特徴とするプローブピン。
[2] コイルばねと嵌合する前記中心層のばね接合端部は、くさび状に形成され、かつ 該ばね接合端部の基部の幅が先端部に比して狭 、ことを特徴とする請求項 1に記載 のプローブピン。
[3] 前記補強層の形状は、前記中心層の形状を面的に縮小した形状であることを特徴 とする請求項 1に記載のプローブピン。
[4] 前記中心層および前記補強層は、低抵抗部材であることを特徴とする請求項 1〜3 のいずれか一つに記載のプローブピン。
PCT/JP2006/325754 2005-12-28 2006-12-25 プローブピン WO2007074764A1 (ja)

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