KR20060103839A - 기판반송장치 및 기판반송방법 - Google Patents

기판반송장치 및 기판반송방법 Download PDF

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Abstract

기판반송장치는, 제1기판반송로봇, 제2기판반송로봇 및 기판수수기구를 포함한다. 제1기판반송로봇은, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 이들 상부핸드 및 하부핸드에 각각 기판을 지지해서 반송할 수 있다. 제2기판반송로봇은, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 이들 상부핸드 및 하부핸드에 각각 기판을 지지해서 반송할 수 있다. 기판수수기구는, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 또한, 이들 상부핸드 및 하부핸드를, 이들이 이반하도록 상하이동시키는 핸드개(開)동작과, 이들이 서로 접근하도록 상하이동시키는 핸드폐(閉)동작을 행하게 하는 핸드구동기구를 구비하고, 상기 제1기판반송로봇 및 제2기판반송로봇에 의한 액세스를 받고, 이들과의 사이에서 기판의 주고받기를 행한다.
기판, 반송, 로봇, 핸드, 이동

Description

기판반송장치 및 기판반송방법{SUBSTRATE TRANSPORT AND SUBSTRATE TRANSPORT METHOD}
도 1은 이 발명의 일실시형태에 따른 기판처리장치의 레이아웃(layout)을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
도 2는 상기 기판처리장치에 구비된 셔틀반송기구(shuttle transport mechanism)의 평면도이다.
도 3은 도 2의 화살표 A방향에서 본 정면도이다.
도 4는 도 2의 화살표 B방향에서 본 측면도이다.
도 5는 상기의 기판처리장치의 제어에 관한 구성을 나타내는 블록도이다.
도 6(a), 6(b) 및 6(c)는 인덱서로봇(indexer robot)과 셔틀반송기구 사이에 있어서의 기판주고받기 동작을 설명하기 위한 도해도이다.
도 7(a), 7(b) 및 7(c)는 셔틀반송기구와 주반송로봇 사이에서의 기판주고받기 동작을 설명하기 위한 도해도이다.
도 8은 다른 실시형태에 따른 기판처리장치의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
이 발명은, 기판반송장치 및 기판반송방법에 관한 것이다. 반송의 대상이 되는 기판에는, 예를 들면, 반도체웨이퍼, 액정표시장치용 유리기판, 플라즈마디스플레이용 유리기판, 광디스크용 기판, 자기디스크용 기판, 광자기디스크용 기판, 포토마스크용(photomask)용 기판등이 포함된다.
반도체장치의 제조공정에 있어서 사용되는 단일 기판처리형의 기판처리장치는, 인덱서부(indexer section)와 처리부를 포함하고 있다. 처리부는, 기판에 대하여 처리를 실시하기 위한 처리유닛과, 이 처리유닛에 대하여 기판의 반입/반출을 행하는 주반송로봇을 구비하고 있다 (예를 들어, 미국 특허공개공보 제US2002/0150459A1 참조). 인덱서부는, 기판을 복수개 적층상태로 수용가능한 캐리어를 지지하는 캐리어지지부와, 이 캐리어(carrier)지지부에 지지된 캐리어와 주반송로봇의 사이에서 기판을 반송하는 인덱서로봇을 구비하고 있다.
미처리된 기판은, 인덱서로봇에 의해 캐리어로부터 꺼내져서 주반송로봇에 이송되어서, 이 주반송로봇에 의해 처리유닛에 반입된다. 처리유닛에 의해 처리된 후의 기판은, 주반송로봇에 의해 처리유닛으로부터 반출되어서 인덱서로봇에 이송되어서, 이 인덱서로봇에 의해 캐리어 내에 수용된다.
주반송로봇 및 인덱서로봇은, 예를 들면, 각각, 상하에 배치된 진퇴가능한 상부핸드(upper hand) 및 하부핸드(lower hand)를 구비한 더블 암(arm)형의 것이며, 상부핸드에 의해 처리된 기판을 지지하는 동시에, 하부핸드에 의해 미처리된 기판을 지지하도록 동작한다. 다시 말해, 주반송로봇은, 처리유닛으로부터 상부핸 드에 의해 처리된 기판을 반출한 직후에, 하부핸드에 의해 미처리된 기판을 해당 처리유닛에 반입한다. 또한, 주반송로봇은, 상부핸드에 지지된 처리된 기판을 인덱서로봇의 상부핸드에 보내는 동시에, 하부핸드에 의해 인덱서로봇의 하부핸드로부터 미처리된 기판을 받는다. 인덱서로봇은, 처리된 기판을 상부핸드에 지지해서 캐리어까지 반송해서 수용하는 동시에, 하부핸드에 의해 미처리된 기판을 캐리어로부터 반출한다.
주반송로봇와 인덱서로봇 사이에서 기판은 다음과 같이 이송된다.
1. 인덱서로봇이 기판 수수(受授)위치에 대향하는 위치까지 이동한다.
2. 인덱서로봇이 미처리 기판을 지지한 하부핸드를 기판 수수위치까지 진출시킨다.
3. 주반송로봇이 기판 수수위치에 대향하는 위치까지 이동한다.
4. 주반송로봇이 하부핸드를 기판 수수위치까지 진출시켜, 더욱 하부핸드를 미소 높이만 상승시켜서 인덱서로봇의 하부핸드로부터 미처리 기판을 집은 다음, 하부핸드를 후퇴시킨다.
5. 인덱서로봇이 하부핸드를 후퇴시킨다.
6. 인덱서로봇이 상부핸드를 기판 수수위치까지 진출시킨다.
7. 주반송로봇이 처리된 기판을 지지한 상부핸드를 기판 수수위치까지 진출시키고, 더욱 상부핸드를 미소 높이만큼 하강시켜서 인덱서로봇의 상부핸드에 처리된 기판을 수수하고, 그 후, 상부핸드를 후퇴시킨다.
8. 인덱서로봇이 상부핸드를 후퇴시킨다.
전술과 같은 구성에서는, 주반송로봇은, 인덱서로봇과의 사이에서 기판을 받아넘기기 위해, 상부핸드 및 하부핸드의 왕복 및 기판의 주고받기를 위한 승강 시간을 필요로 한다. 또한, 인덱서로봇은, 상부핸드 및 하부핸드의 왕복을 위한 시간을 필요로 한다.
그 때문에, 주반송로봇 및 인덱서로봇이, 양자간에 기판을 주고받기 위해 구속되는 시간이 길어지고, 이것이 기판반송 속도를 개선하고 기판반송 시간을 단축하는 데 있어서 장해로 되었다.
이 발명의 목적은, 두 개의 기판반송로봇 사이에서의 기판의 수수에 필요로 하는 시간을 단축함으로써, 기판의 반송에 요하는 시간을 단축할 수 있는 기판반송장치 및 기판반송방법을 제공하는 것이다.
이 발명의 기판반송장치는, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 갖추고, 이들 상부핸드 및 하부핸드로 각각 기판을 지지하여 반송할 수 있는 제1기판반송로봇과, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 이들의 상부핸드 및 하부핸드로 각각 기판을 지지해서 반송할 수 있는 제2기판반송로봇과, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 또한, 이들 상부핸드 및 하부핸드를, 이들이 서로 이반(離反)하도록 상하이동시키는 핸드개(開)동작과, 이들이 서로 접근하도록 상하이동시키는 핸드폐(閉)동작을 행하게 하는 핸드구동기구를 구비하고, 상기 제1기판반송로봇 및 제2기판반송로봇에 의한 액세스(access)를 받아서, 이들과의 사이 에서 기판의 수수를 행하는 기판수수기구를 포함한다.
이 구성에 따르면, 제1 및 제2기판반송로봇 사이에서 기판의 수수는, 기판수수기구를 통해서 행하여진다. 제1 및 제2기판반송로봇은, 모두, 적어도 상하 한 쌍의 핸드(hand)를 구비한 복수 핸드형의 것이다. 또한, 기판수수기구에도, 상하 한 쌍의 핸드가 구비되어 있다.
기판수수기구는, 핸드구동기구에 의해, 상부핸드 및 하부핸드의 간격을 넓히는 핸드개(開)동작과, 이들의 간격을 좁히는 핸드폐(閉)동작을 행할 수 있다.
따라서, 예를 들면, 기판수수기구의 상하의 핸드를 간격을 좁힌 폐(閉)상태로 해서 이들을 제1기판반송로봇의 상부핸드와 하부핸드의 사이에 배치한 상태로, 핸드개(開)동작을 행하는 것에 의해, 기판수수기구의 상부핸드에 의해 제1기판반송로봇의 상부핸드로부터 기판을 떠내 집을 수 있고, 동시에, 기판수수기구의 하부핸드에 의해 제1기판반송로봇의 하부핸드 위로 기판을 둘 수 있다.
또한, 예를 들면, 기판수수기구의 상하의 핸드 간격을 넓힌 개(開)상태로 해서 이들의 사이에 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 배치한 상태에서, 핸드폐(閉)동작을 행함으로써, 기판수수기구의 상부핸드상의 기판을 제2기판반송로봇의 상부핸드 위로 둘 수 있고, 동시에, 제2기판반송로봇의 하부핸드상의 기판을 기판수수기구의 하부핸드로 떠내 집을 수 있다.
이렇게 하여, 기판수수기구의 핸드개(開)동작 또는 핸드폐(閉)동작에 의해, 기판수수기구와 제1 또는 제2기판반송로봇과의 사이에서 기판을 교환할 수 있다. 그 때문에, 기판을 수수하기 위하여 제1 및 제2의 기판반송로봇이 구속되는 시간 은, 각각의 상하의 핸드를 동시에 액세스 위치에 진출시켜, 기판수수기구에 의한 핸드개(開)동작 또는 핸드폐(閉)동작을 기다려, 액세스 위치부터 퇴피(退避)시키는 데도 요하는 시간이 된다. 이것에 의해, 종래기술에 비교하여, 기판수수에 필요로 하는 시간이 현저하게 단축되고 그 결과, 기판반송 시간을 단축할 수 있다. 게다가, 제1 및 제2기판반송로봇은, 기판수수기구와의 사이에서 기판을 주고받는 동작을 행하는 것에 지나지 않으므로, 서로의 동작 타이밍을 맞출 필요가 없다. 이것에 의해, 기판반송 효율을 향상할 수 있기 때문에, 기판반송 시간을 한층 더 단축할 수 있다.
한편, 상기 제1기판반송로봇은 기판을 수용한 캐리어로부터 미처리된 기판을 받아 내어 기판수수기구에 수수함과 동시에, 기판수수기구로부터 처리된 기판을 받아서 캐리어에 수용하는 인덱서로봇이어도 좋다.
또한, 상기 제2기판반송로봇은, 기판수수기구로부터 미처리된 기판을 받아서 처리유닛에 반입하는 동시에, 이 처리유닛으로부터 처리된 기판을 반출해서 기판수수기구에 주고받는 주반송로봇이어도 좋다.
상기 제1 및 제2 기판반송로봇은, 기판수수기구에 대한 액세스위치에 대하여 상하의 핸드를 진퇴시키는 진퇴구동기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이 진퇴구동기구는, 상부핸드 및 하부핸드를 독립해서 진퇴시킬 수 있는 것이 바람직하다.
이 발명의 일실시형태에 따른 기판반송장치는, 상기 제1기판반송로봇이, 상부핸드에 기판을 지지하지 않고, 하부핸드에 기판을 지지하고 있어, 상기 기판수수 기구가, 상부핸드에 기판을 지지하고, 하부핸드에 기판을 지지하지 않고 있을 경우에, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 개(開)상태로서, 이들의 사이에 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시켜, 이 상태에서, 상기 기판수수기구에 핸드폐(閉)동작을 행하게 하고, 상기 제1기판반송로봇의 하부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 하부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 상부핸드의 기판을 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드로 옮기는 반송제어수단을 더 포함한다.
이 구성에 의해, 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 제1기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시켜, 기판수수기구에 핸드폐(閉)동작을 행하게 하는 것에 의해, 기판수수기구와 제1기판반송로봇과의 사이에서 순간적으로 기판을 교환할 수 있다. 물론, 기판의 주고받기시, 상기 제1기판반송로봇은, 상하의 핸드를 상하이동시킬 필요가 없다.
상기 기판반송장치는, 상기 제2기판반송로봇이, 상부핸드에 기판을 지지하고, 하부핸드에 기판을 지지하고 있지 않고, 상기 기판수수기구가, 상부핸드에 기판을 지지하지 않고, 하부핸드에 기판을 지지하고 있을 경우에, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 폐(閉)상태로 해서, 이들을 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 진입시켜, 이 상태에서, 상기 기판수수기구에 핸드개(開)동작을 행하게 하여, 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 상부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 하부핸드의 기판을 상기 제2기판반송로봇의 하부핸드로 옮기는 반송제어수단을 더 포함하는 것이 바람직 하다.
이 구성에 의해, 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드가 진입한 상태로 하고 기판수수기구에 핸드개(開)동작을 행하게 하는 것에 의해, 기판수수기구와 제2기판반송로봇과의 사이에서 순간적으로 기판을 교환할 수 있다. 물론, 기판의 주고받기시, 상기 제2기판반송로봇은, 상하의 핸드를 상하이동시킬 필요가 없다.
상기 기판반송장치는, 상기 기판수수기구를, 상기 제1기판반송로봇에 의한 액세스를 받는 제1액세스 위치와, 상기 제2기판반송로봇에 의한 액세스를 받는 제2액세스 위치와의 사이에서 이동시키는 이동기구를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 기판수수기구는, 제1 및 제2액세스 위치 사이에서 기판을 반송하는 보조반송기구로서의 역할을 할 수 있다. 이것에 의해, 제1 및 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드가 제1 및 제2액세스 위치에 각각 액세스하기 위한 행정 길이가 짧아진다. 이것에 의해, 제1 및 제2기판반송로봇이 기판의 주고받기 위해 구속되는 시간을 한층 짧게 할 수 있고, 기판반송 시간의 단축화에 기여할 수 있다.
상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드는, 수평방향으로 벗어난 위치에 배치되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 수평방향으로 어긋나게 놓는 것에 의해, 이들의 상하간의 간격을 좁게 할 수 있다. 이것에 의해, 제1 또는 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드 사이의 미소한 틈 내에 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시키는 것이 가능하게 된다.
또한, 상부핸드 및 하부핸드를 수평방향으로 조금 옮겨서 배치하는 것에 의해, 예를 들면, 핸드상의 기판의 유무를 광 빔 등을 이용해서 검출하는 기판검출기구를 마련할 경우에, 기판의 검출을 확실히 행할 수 있는 이점도 있다.
상기 제1, 제2기판반송로봇이, 상부핸드 및 하부핸드를 독립해서 진퇴시키는 진퇴구동기구를 구비하고 있을 경우에는, 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드는, 제1, 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 진퇴 방향에 따라 수평방향으로 벗어나서 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 기판수수기구에 있어서의 상부핸드 및 하부핸드의 위치에 맞춰서 제1, 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 진출 행정을 제어함으로써, 기판수수기구와 제1, 제2기판지지 로봇과의 사이에서의 기판의 주고받기가 가능하게 된다.
이 발명의 기판반송방법은, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 제1기판반송로봇의 상기 상부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 하부핸드에 기판을 지지하는 단계와, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 기판수수기구의 상기 하부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 상부핸드에 기판을 지지하는 단계과, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시키는 단계와, 이 상태에서, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 간격을 상하로 좁히고, 상기 제1기판반송로봇의 하부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 하부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 상부핸드의 기판을 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드로 옮기는 제1기판수수 단계와, 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 제2기판반송로봇의 상기 하부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 상부핸드에 기판을 지지하는 단계와, 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 상기 제1기판수수 단계를 거친 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시키는 단계와, 이 상태에서, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 간격을 상하로 열고, 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 상부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 하부핸드의 기판을 상기 제2기판반송로봇의 하부핸드로 옮기는 제2기판수수 단계를 포함한다. 이 기판반송방법의 발명에 대해서도, 기판반송장치의 발명과 같은 변형을 행할 수 있다.
본 발명에 있어서의 상기한, 또는 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도면을 참조해서 다음에 서술하는 실시형태의 설명에 의해 밝혀질 것이다.
도 1은 이 발명의 일실시형태에 따른 기판처리장치의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다. 이 기판처리장치는, 인덱서부(1)와, 이 인덱서부(1)에 결합된 처리부(2)를 구비하고 있다. 인덱서부(1)는, 복수장의 기판(W) (예를 들면 반도체웨이퍼)을 적층상태로 지지할 수 있는 캐리어(3)을 소정방향에 따라 정렬상태로 지지할 수 있는 캐리어지지부(4)와, 이 캐리어지지부(4)에 따라 형성된 반송로(5) 안을 주행할 수 있는 제1기판반송로봇으로서의 인덱서로봇(6)을 구비하고 있다. 이 인덱서로봇(6)은, 한 쌍의 암(7, 8)을 독립해서 구동할 수 있는 더블 암형의 로봇이며, 암(7, 8)의 선단부에는, 상하로 위치를 어긋나게 하여 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)가 각각 결합되어 있다. 인덱서로봇(6)은, 암(7, 8)을 구동함으로써, 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 독립해서 진퇴시키는 진퇴구동기구(10)를 구 비하고 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 인덱서로봇(6)은, 암(7, 8)을 연직축선(鉛直軸線) 둘레로 회전시키는 암회전구동기구와, 암(7, 8)을 오르내리게 하는 승강구동기구와, 인덱서로봇(6)을 반송로(5) 안에서 왕복이동시키기 위한 왕복이동기구를 구비하고 있다.
한편, 처리부(2)는, 중앙에 배치된 제2기판반송로봇으로서의 주반송로봇(11)과, 이 주반송로봇(11)을 둘러싸서 배치된 4개의 처리유닛(12)과, 인덱서로봇(6)과 주반송로봇(11) 사이의 기판(W)의 수수를 중개하는 기판수수기구로서의 셔틀반송기구(15)를 구비하고 있다. 주반송로봇(11)은, 상하에 겹쳐서 배치된 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)와, 이들 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 독립해서 수평방향으로 진퇴시키기 위한 진퇴구동기구(14)를 구비하고 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 주반송로봇(11)은, 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 연직축선 둘레로 회전시키는 회전구동기구와, 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 오르내리게 하기 위한 승강구동기구를 구비하고 있다. 주반송로봇(11)은, 그 기초부가 처리부(2)에 대하여 고정되어 있어, 이 처리부(2) 안에서 직선주행할 수는 없다. 한편, 상술의 인덱서로봇(6), 주반송로봇(11), 및 셔틀반송기구(15)가, 본 발명의 기판반송장치에 상당한다.
셔틀반송기구(15)는, 인덱서부(1)의 반송로(5)의 거의 중간부로부터, 이 반송로(5)과 직교하는 방향으로 뻗는 반송로(16)에 따라, 인덱서로봇액세스위치(17)와, 주반송로봇액세스위치(18)와의 사이에서 왕복 이동할 수 있다. 이 셔틀반송기구(15)는, 상하 방향으로 벗어나게 배치된 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)를 구비 하고 있고, 이들 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)를 독립해서 상하이동시킬 수 있는 구성이 되어 있다.
도 2는, 셔틀반송기구(15)의 평면도이며, 도 3은, 도 2의 화살표 A방향에서 본 정면도이며, 도 4는 도 2의 화살표 B방향에서 본 측면도이다.
셔틀반송기구(15)는, 반송로(16)에 따라 배치된 한 쌍의 레일(21)과, 이 레일(21)위를 왕복 이동하는 본체부(22)와, 이 본체부(22)를 레일(21)에 따라 왕복 이동시키기 위한 직동기구(直動機構)(23)를 구비하고 있다. 본체부(22)는, 수평으로 배치된 좌판부(座板部)(24)와, 이 좌판부(24)의 저면에 고정되고, 레일(21)위를 슬라이딩이동하는 슬라이딩블록(25)과, 좌판부(24)로부터 세워진 4개의 지주(26)와, 이 지주(26)의 상단에 수평으로 고정된 지지판(27)과, 이 지지판(27)의 하면에, 반송로(16)가 뻗은 방향에 따라 위치를 어긋나게 고정된 한 쌍의 지지보(28A, 28B)와, 이 지지보(28A, 28B)에 각각 달 수 있었던 상부핸드구동기구(30A) 및 하부핸드구동기구(30B)를 구비하고 있다.
상부핸드구동기구(30A) 및 하부핸드구동기구(30B)은, 각각, 지지보(28A, 28B)의 아래 쪽에 있어서 상하이동하는 거의 사각형의 승강판(31A, 31B)과, 이 승강판(31A, 31B)의 네 구석에 결합부재(32)에 의해 장착되어 세워진 4개의 가이드축(33A, 33B)과, 지지보(28A, 28B)의 하면에 장착된 거의 사각형의 부착판(34A, 34B)과, 이 부착판(34A, 34B)의 네 구석에 마련되어져, 4개의 가이드축(33A, 33B)의 상하이동을 각각 안내하는 가이드(35A, 35B)와, 승강판(31A, 31B)을 상하이동시키기 위한 볼나사기구(36A, 36B)를 구비하고 있다. 볼나사기구(36A, 36B)는, 나사축(39) 을 구비하고, 이 나사축(39)은, 부착판(34A, 34B)에 고정된 축받이(37)에 의해 자유롭게 회전하도록 지지되어 있는 동시에, 승강판(31A, 31B)에 고정된 볼너트(38)에 나사결합하고 있다. 나사축(39)의 상단에는, 풀리(40)가 고정되어 있어, 이 풀리(40)에 감아 걸린 벨트(43)에는, 모터(41A, 41B)로부터의 회전력이 주어지게 되어 있다. 이 모터(41A, 41B)는, 부착판(34A, 34B)의 하면에 장착되어 있고, 그 출력축은, 지지보(28A, 28B)에 형성된 관통구멍(42) 안에 수용되어 있다. 이 관통구멍(42)은, 평면도로 볼 때 긴 구멍 형상을 갖고 있고, 나사축(39) 상단의 풀리(40) 및 벨트(43)도 이 관통구멍(42) 안에 수용되어 있다. 관통구멍(42)의 위쪽은 지지판(27)에 의해 덮어져 있다.
각 볼나사기구(36A, 36B)를 끼워서 대향하는 두 쌍의 가이드축(33A, 33B) 상단에는, 핸드(19A, 19B)를 구성하는 기판지지부(45A, 46A; 45B, 46B)가 각각 거의 수평으로 고정되어 있다. 기판지지부(45A, 46A; 45B, 46B)는, 반송로(16)의 양측 가장자리의 윗쪽에 대응하는 위치에 있어서, 서로 대향하고 있고, 각각의 내부측의 상면에는, 기판(W)의 주연부를 아래 쪽에서 지지하는 각 한 쌍의 지지걸고리(support claws)(47A, 48A; 47B, 48B)가 고정되어 있다. 상부핸드(19A)에는 4개의 지지걸고리(47A, 48A)에 의해, 하부핸드(19B)에서는 4개의 지지걸고리(47B, 48B)에 의해, 각각, 기판(W)이 거의 수평으로 지지되어 있다.
상부핸드(19A)의 기판지지부(45A, 46A)와, 하부핸드(19B)의 기판지지부(45B, 46B)는, 반송로(16)의 장변방향에 따라 어긋나게 배치되어 있어, 이들은, 모터(41A, 41B)를 구동함으로써, 각각 독립해서 오르내리게 할 수 있게 되어 있다.
상부핸드(19A)는, 이 실시형태에서는, 인덱서부(1) 부근에 배치된 기판지지부(45A, 46A)에 의해 구성되어 있고, 하부핸드(19B)는, 주반송로봇(11) 측에 배치된 기판지지부(45B, 46B)에 의해 구성되어 있다. 상부핸드(19A)의 기판지지부(45A)의 상면 및 기판지지부(46A)의 하면에는, 발광소자 및 수광소자의 쌍으로 이루어지는 투과형기판센서(50A)가 마련되어 있고, 동일하게, 하부핸드(19B)의 기판지지부(45B)의 하면 및 기판지지부(46B)의 상면에는 발광소자 및 수동소자의 쌍으로 이루어지는 투과형기판센서(50B)가 설치되어 있다. 투과형기판센서(50A)는, 상부핸드(19A)가 기판(W)을 지지하고 있는가 아닌가를 검출하기 위한 것으로서, 발광소자 및 수동소자 사이의 광로(光路)인 검출라인(51A)은, 하부핸드(19B)가 기판(W)을 지지한 상태에 있어서, 그 기판(W)보다도 인덱서부(1) 측으로 벗어난 위치에 설정되어 있다. 동일하게, 투과형기판센서(50B)는, 하부핸드(19B)가 기판(W)을 지지하고 있는가 아닌가를 검출하기 위한 것으로서, 발광소자 및 수동소자간의 광로인 검출라인(51B)은, 상부핸드(19A)가 기판(W)을 지지했을 때에, 그 기판(W)보다도 주반송로봇(11)측으로 벗어난 위치가 되도록 설정되어 있다. 투과형기판센서(50A, 50B)는, 높이를 어긋나게 배치된 발광소자 및 수동소자의 쌍으로 구성되어 있으므로, 검출라인(51A, 51B)은 수평면에 대하여 경사져 있다. 이것에 의해, 기판(W)을 확실하게 검출할 수 있다.
상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 각 일방의 기판지지부(45A, 45B)의 상면에는, 기판(W)을 협지(挾持)하기 위한 실린더(53A, 53B)가 구비되어 있다. 이들은, 로드(54A, 54B)를 다른 쪽 기판지지부(46A, 46B)를 향해서 진퇴시킬 수 있게 배치 되어 있고, 로드(54A, 54B)를 기판(W)의 단부면에 꽉 누르는 것에 의해, 기판지지부(46A, 46B)와의 사이에서 기판(W)을 확실하게 지지할 수 있게 되어 있다.
본체부(22)의 좌판부(24)에는, 직동기구(23)의 구동부(55)가, 결합부재(56)를 통하여 결합되어 있다. 직동기구(23)는, 예를 들면, 케이스내에 볼나사기구 및 이것에 구동력을 주는 모터를 내장한, 소위 전동(電動) 실린더로 이루어지고, 구동부(55)는, 레일(21)과 평행한 방향으로 움직이게 되어 있다. 이것에 의해, 직동기구(23)를 한 쪽으로 밀어붙임으로써, 본체부(22)를, 그 윗쪽에 지지된 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)와 함께 레일(21)에 따라, 반송로(16)안을 왕복 이동시킬 수 있다. 직동기구(23)로서는, 이외에도, 로드리스실린더(loadless cylinder) 등을 적용할 수도 있다.
셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)는, 각각 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)와의 사이에서 기판(W)의 주고받기를 행한다. 또한, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)는, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)과의 사이에서 각각 기판(W)의 주고받기를 행한다. 이 기판(W)을 주고받기 할 때, 따라서, 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)는, 인덱서로봇액세스위치(17)에 위치하고 있을 때의 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)에 대응한 위치까지 진출한다. 동일하게, 셔틀반송기구(15)와 주반송로봇(11)의 사이에서 기판(W)의 주고받기를 행할 때는, 주반송로봇액세스위치(18)에 위치하고 있을 때의 셔틀반송기구(15)의 상하의 핸드(19A, 19B)에 대응하는 위치까지 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)가 각각 진출 하게 된다.
도 5는, 상기의 기판처리장치의 제어에 관한 구성을 나타내는 블록도이다.이 기판처리장치는, 제어장치(60)를 구비하고 있어, 이 제어장치(60)에 의해, 인덱서로봇(6)의 진퇴구동기구(10), 주반송로봇(11)의 진퇴구동기구(14), 직동기구(23), 상부핸드구동기구(30A) 및 하부핸드구동기구(30B)의 모터(41A, 41B),및 실린더(53A, 53B)를 제어한다.
도 6(a), 6(b) 및 6(c)는 인덱서로봇(6)과 셔틀반송기구(15) 사이에 있어서의 기판주고받기 동작을 설명하기 위한 도해도이다. 인덱서로봇(6)은, 캐리어지지부(4)에 지지된 캐리어(3)로부터 한 장의 미처리 기판을 하부핸드(9B)에 의해 꺼내, 반송로(5)를 이동하여, 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 인덱서로봇액세스위치(17)에 대향시킨다. 한편, 셔틀반송기구(15)는, 주반송로봇(11)으로부터 건네받은 처리된 기판(W)을 상부핸드(9A)에 지지되게 한 상태로 인덱서로봇액세스위치(17)로 이동한다. 이 때, 제어장치(60)에 의한 모터(41A, 41B)의 제어에 의해, 상부핸드(19A)는 상승 위치에 배치되어 있어서, 하부핸드(19B)는 하강 위치에 배치되어 있다. 다시 말해, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)는, 이들 사이의 상하 간격이 열린 핸드개(開)상태로 되어 있다. 이 상태가 도 6(a)에 나타나 있다.
이 상태에서, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B) 사이에 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)가 진입되어서, 도 6(b)의 상태가 된다. 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B) 사이에 진입시키는 동작은, 셔틀반송기구(15)가 먼저 인덱서로봇액세스위치 (17)로 이동하고 있어서, 그 후에 인덱서로봇(6)이 인덱서로봇액세스위치(17)로 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 동시에 진출시키는 동작에 의해 행하여져도 좋다. 또한, 인덱서로봇(6)이, 셔틀반송기구(15)가 인덱서로봇액세스위치(17)에 이르기 전에, 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 인덱서로봇액세스위치(17)에 진출시키고 있어, 그 후에 셔틀반송기구(15)가 인덱서로봇액세스위치(17)에 도착하는 것에 의해, 결과적으로, 그 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B) 사이에 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)가 진입하게 되어도 좋다.
도 6(b)의 상태로부터, 제어장치(60)는, 모터(41A，41B)를 제어하여, 상부핸드(19A)를 하강시키고, 하부핸드(19B)를 상승시키는 것에 의해, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격을 좁히는 핸드폐(閉)동작을 행하게 한다. 이것에 의해, 도 6(c)에 나타낸 상태가 된다. 다시 말해, 인덱서로봇(6)의 하부핸드(9B)에 지지되어 있었던 미처리된 기판(W)은 셔틀반송기구(15)의 하부핸드(19B)에 의해 건져 올려지고, 동시에, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A)에 지지되어 있었던 처리된 기판(W)은 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A)에 놓인다. 이렇게 해서, 미처리된 기판(W) 및 처리된 기판(W)이, 셔틀반송기구(15)와 인덱서로봇(6)과의 사이에서 단숨에 교환되게 된다.
셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)를 구성하는 기판지지부(45A, 46A ; 45B, 46B)는, 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 받아 들일 수 있는 충분한 간격을 두고 대향배치되어 있어, 핸드(19A, 19B)의 상하이동시에, 이들이 인덱서로봇(6)의 핸드(9A, 9B)와 간섭할 일은 없다.
기판(W)을 교환한 후에, 제어장치(60)는, 인덱서로봇(6)의 진퇴구동기구(10)를 제어하는 것에 의해, 그 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 동시에 후퇴시킨다. 이 다음, 인덱서로봇(6)은, 셔틀반송기구(15)로부터 받은 처리된 기판(W)을 어느 쪽인가의 캐리어(3)에 수용하고, 다른 미처리된 기판(W)을 어느 쪽인가의 캐리어(3)로부터 반출하게 된다. 한편, 셔틀반송기구(15)는, 제어장치(60)에 의해 직동기구(23)가 제어되는 것에 의해, 반송로(16)에 따라, 주반송로봇액세스위치(18)까지 이동한다. 이 때, 상부핸드(19A), 하부핸드(19B)는, 양자간의 상하 방향의 간격을 좁힐 수 있었던 폐(閉)상태(도 6(c)참조)이라고 하고 있다.
도 7(a), 7(b) 및 7(c)는 셔틀반송기구(15)와 주반송로봇(11) 사이에서의 기판(W)의 주고받기 동작을 설명하기 위한 도해도이다. 셔틀반송기구(15)는, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격을 좁힌 핸드폐(閉)상태로 주반송로봇액세스위치(18)까지 이동한다. 이 때, 하부핸드(19B)에는 미처리된 기판(W)이 지지되고 있어, 상부핸드(19A)에는 어느 쪽의 기판도 지지되지 않고 있다(도 7(a) 참조).
한편, 주반송로봇(11)은, 처리유닛(12)로부터 처리된 기판(W)을 상부핸드(13A)에 의해 반출하고, 주반송로봇액세스위치(18)에 액세스한다. 이 때, 제어장치(60)는, 주반송로봇(11)의 진퇴구동기구(14)를 제어하는 것에 의해, 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 주반송로봇액세스위치(18)에 동시에 진출시킨다. 이것에 의해, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B) 사이에 핸드폐(閉)상태의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)가 삽입되어 들어가, 도 7(b)의 상태에 이른다. 만약, 셔틀반송기구(15)가 주반송로봇액세스위치(18)에 도착하기 전에, 주반송로봇(11)이 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 주반송로봇액세스위치(18)에 진출시키고 있을 경우에는, 이들 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B) 사이에, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)가 진입해 가게 된다. 반대로, 셔틀반송기구(15)가 먼저 주반송로봇액세스위치(18)에 도착해서 대기하고 있을 경우는, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)이 주반송로봇액세스위치(18)에 동시에 진출하는 것에 의해, 이들의 사이에 핸드폐(閉)상태의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)가 상하로부터 끼워져 있는 상태에 이른다.
그 다음에, 제어장치(60)는, 셔틀반송기구의 모터(41A, 41B)를 제어하는 것에 의해, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격을 넓히는 핸드개(開)동작을 행하게 한다. 이것에 의해, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A)에 지지된 처리된 기판(W)은, 셔틀반송기구(15) 상부핸드(19A)에 의해 건져 올려진다. 이것과 동시에, 셔틀반송기구(15)의 하부핸드(19B)에 지지되어 있었던 미처리된 기판(W)은, 주반송로봇(11)의 하부핸드(13B) 위로 두어지게 된다. 이렇게 해서, 미처리된 기판(W) 및 처리된 기판(W)을 단숨에 주반송로봇(11)과 셔틀반송기구(15)와의 사이에서 교환할 수 있다(도 7(c)참조).
셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)를 구성하는 기판지지부(45A, 46A ; l45B, 46B)는, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 받아들일 수 있는 충분한 간격을 두어서 대향배치되어 있어, 핸드(19A, 19B)의 상하이동시에, 이들이 주반송로봇(11)의 핸드(13A, 13B)와 간섭할 일은 없다.
그 후, 셔틀반송기구(15)는, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격을 넓힌 핸드개(開)상태로, 인덱서로봇액세스위치(17)로 이동한다. 한편, 주반송로봇(11)은, 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)를 동시에 후퇴시켜, 어느 쪽인가의 처리유닛(12)에 대하여, 하부핸드(13B)에 지지된 미처리된 기판(W)을 반입한다. 물론, 그 처리유닛(12) 안에 처리된 기판(W)이 있으면, 미처리된 기판(W)의 반입에 앞서서, 상부핸드(13A)에 의해 처리된 기판(W)을 꺼내게 된다.
한편, 제어장치(60)는, 직동기구(23)를 제어해서 셔틀반송기구(15)를 반송로(16)위에서 주행시킬 때, 실린더(53A, 53B)를, 그 로드(54A, 54B)가 신장되도록 제어한다. 이것에 의해, 셔틀반송기구(15)는, 기판(W)을 확실하게 지지한 상태로, 인덱서로봇액세스위치(17)와 주반송로봇액세스위치(18) 사이에서 이동할 수 있다.
이상과 같이 이 실시형태에 따르면, 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)와, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B) 사이에서, 미처리된 기판(W) 및 처리된 기판(W)을 단숨에(한 동작으로) 교환할 수 있다. 또한, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)와 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B) 사이에서, 미처리된 기판(W)과 처리된 기판(W)을 단숨에(한 동작으로) 교환할 수 있다. 게다가, 이들의 기판교환 동작시, 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)는 상하이동할 필요가 없고, 또한, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)는 상하이동할 필요가 없다. 이것에 의해, 인덱서로봇(6)은, 단지 인덱서로봇액세스위치(17)에 대하여 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)를 동시에 진퇴시키면 좋고, 주반송로봇(11)은, 상부핸드(13A) 및 하부핸드 (13B)를 주반송로봇액세스위치(18)에 대하여 동시에 진퇴시키면 좋다. 이렇게 해서, 인덱서로봇(6)과 셔틀반송기구(15)의 사이에서의 기판(W)의 주고받기는 지극히 단시간에 완료하고, 또한, 셔틀반송기구(15)와 주반송로봇(11)과의 사이에서의 기판(W)의 주고받기도 단시간에 완료한다.
이렇게, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11)이 셔틀반송기구(15)와의 사이에서 기판(W)의 주고받기때문에 구속되는 시간은 지극히 짧기 때문에, 기판처리의 전체에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 더욱이, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11) 사이의 기판(W)의 주고받기를 셔틀반송기구(15)를 매개로 하는 것에 의해, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11)은 서로의 동작에 구속되는 일 없이 각각의 기판반송 동작을 행할 수 있다. 이것에 의해, 더욱 효율적인 기판(W)의 반송이 가능하게 되므로, 기판반송 시간을 한층 단축하는 것이 가능하게 된다.
그리고, 또한, 셔틀반송기구(15)에 의해, 인덱서로봇액세스위치(17)와 주반송로봇액세스위치(18)와의 사이에서 기판(W)의 보조적인 반송을 행할 수 있기 때문에, 인덱서로봇으로부터 인덱서로봇액세스위치(17)까지 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)의 행정길이가 짧고, 또한, 주반송로봇(11)으로부터 주반송로봇액세스위치(18)까지 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)의 행정길이가 짧아진다. 이것에 의해도, 인덱서로봇 및 주반송로봇(11)이 기판(W)의 주고받기 때문에 구속되는 시간을 단축할 수 있기 때문에, 기판(W)의 반송에 필요로 하는 시간을 단축해서, 기판처리의 생산성을 향상할 수 있다.
더욱이, 상기의 실시형태에서, 셔틀반송기구(15)는, 상부핸드(19A) 및 하부 핸드(19B)를, 인덱서로봇액세스위치 및 주반송로봇액세스위치(18)를 잇는 직선에 따르는 방향(반송로(16)의 방향)에 따라, 어긋나게 배치되어 있다. 이것에 의해, 예를 들면, 지지걸고리(47A, 48A ; 47B, 48B)의 간섭을 보이거나 하는 일 없이 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격 (정확하게는 각 핸드에 의한 기판지지 높이의 간격)을 지극히 미소거리로 억제할 수 있다. 그 결과, 핸드폐(閉)상태에 있어서, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B) 사이에 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)를 진입시킬 수 있다. 그것과 함께, 전술한 바와 같이, 투과형기판센서(50A, 50B)의 검출라인(51A, 51B)을, 다른 쪽의 핸드에 지지된 기판(W)에 의한 간섭을 받지 않는 위치에 설정할 수 있다. 이것에 의해, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)에 있어서의 기판(W)의 유무를 확실하게 검출할 수 있다.
또한, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 수평방향의 위치의 어긋남은, 반송로(16)에 따라 있고, 그러므로, 인덱서로봇(6)의 핸드(9A, 9B)의 진퇴 방향에 평행하고, 또한, 주반송로봇(11)의 핸드(13A, 13B)의 진퇴 방향에 평행하다. 그 때문에, 단지, 인덱서로봇(6)의 상부핸드(9A) 및 하부핸드(9B)의 진출 거리를 다르게 해서, 또한, 주반송로봇(11)의 상부핸드(13A) 및 하부핸드(13B)의 진출 거리를 다르게 하는 것만으로, 이들과 셔틀반송기구(15)의 상하의 핸드(19A, 19B)와의 기판주고받기가 가능하게 된다.
도 8은, 다른 실시형태에 따른 기판처리장치의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다. 이 도 8에 있어서, 전술의 도 1에 나타낸 각부와 동등한 부위 에는, 도 1의 경우와 동일한 참조 부호를 붙여서 나타낸다. 이 기판처리장치에는, 처리부(2)에는 한 쌍의 처리유닛(12)이 마련되어 있고, 이들의 처리유닛(12)과 인덱서부(1) 사이에 주반송로봇(11)이 배치되어 있다. 그리고, 처리부(2) 안에 있어서, 인덱서부(1)의 반송로(5)의 일단부 부근의 위치에는, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11)의 양쪽에 의한 액세스가 가능한 위치에 기판수수기구(70)가 배치되어 있다. 이 기판수수기구(70)는, 직선이동을 위한 구성이 마련되어 있지 않은 것과, 상하의 핸드를 수평방향으로 어긋나지 않게 하는 것을 제외하고, 전술의 셔틀반송기구(15)와 같은 구성을 갖고 있다. 이 구성에 있어서도, 전술의 제일실시형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 한편, 본 실시형태에 있어서는, 인덱서로봇(6), 주반송로봇(11), 및 기판수수기구(70)가, 본 발명의 기판반송장치에 상당한다.
또한, 이 실시형태의 구성의 경우, 인덱서로봇(6)과 주반송로봇(11)의 사이에서 기판(W)을 직접 주고받는 것도 가능하다. 거기에서, 이러한 직접 기판주고받기를 행할 것인가, 기판수수기구(70)를 통해 간접 기판수수를 행할 것인가를 선택할 수 있게 해도 좋다. 예를 들면, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11)의 동작상황에 따라서, 직접 기판수수와 간접 기판수수와의 반송 시간을 계산하여, 반송 시간이 보다 짧아지는 어느 쪽인가의 주고받기 방법을 선택해서 실행하도록, 인덱서로봇(6) 및 주반송로봇(11) 및 기판수수기구(70)를 제어하는 것도 좋다.
이상, 이 발명의 두 개의 실시형태에 대해서 설명했지만, 이 발명은 다른 형태로 실시할 수도 있다. 예를 들면, 전술의 실시형태에서는, 셔틀반송기구(15)의 상부핸드(19A 및 19B)는, 수평방향으로 어긋나게 배치되어 있지만, 상부핸드(19A) 및 하부핸드(19B)의 상하 방향의 간격을 그다지 좁힐 필요가 없으면, 이러한 수평방향의 위치 차이는 필요하지 않다.
또한, 상하의 핸드(19A, 19B)에 있어서의 기판(W)의 검출은, 투과형기판센서(50A, 50B)에 의해 행하는 대신에, 실린더(53A, 53B)의 로드(54A, 54B)의 작동 상태를 검출함으로써 행할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 대해서 상세히 설명하였지만, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 명확하게 하기 위해서 쓸 수 있었던 구체적 예에 지나지 않고, 본 발명은 이들의 구체적 예에 한정해서 해석되어서는 안되고, 본 발명의 정신 및 범위는 첨부된 청구의 범위에 의해서만 한정된다.
이 출원은, 2005년3월28일에 일본국특허청에 제출된 특허출원2005-092505호에 대응하고 있어, 이 출원의 개시는 여기에서 인용에 의해 통합된다.
본 발명에 따른 기판반송장치 및 기판반송방법에 의하면, 기판주고받기에 필요로 하는 시간이 현저하게 단축되는 결과 기판반송 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다. 또한, 제1 및 제2기판반송로봇은, 기판수수기구와의 사이에서 기판을 주고받는 동작을 행하는 것에 지나지 않으므로, 서로의 동작 타이밍을 맞출 필요가 없다. 이것에 의해, 기판반송 효율을 향상할 수 있기 때문에, 기판반송 시간을 한층 더 단축할 수 있다.

Claims (6)

  1. 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 이들의 상부핸드 및 하부핸드로 각각 기판을 지지해서 반송할 수 있는 제1기판반송로봇과,
    상하에 배치되어 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 이들의 상부핸드 및 하부핸드로 각각 기판을 지지해서 반송할 수 있는 제2기판반송로봇과,
    상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비하고, 또한, 이들의 상부핸드 및 하부핸드를, 이들이 서로 이반(離反)하도록 상하이동시키는 핸드개(開)동작과, 이들이 서로 접근하도록 상하이동시키는 핸드폐(閉)동작을 행하게 하는 핸드구동기구를 구비하며, 상기 제1기판반송로봇 및 제2기판반송로봇에 의한 액세스(access)를 받고, 이들과의 사이에서 기판의 수수(受授)를 행하는 기판수수기구를 포함하는 것을 특징으로 하는기판반송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1기판반송로봇이 상부핸드에 기판을 지지하지 않고 하부핸드에 기판을 지지하고 있으며, 상기 기판수수기구가 상부핸드에 기판을 지지하고 하부핸드에 기판을 지지하지 않고 있을 경우에, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 개(開)상태로서, 이들의 사이에 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시켜, 이 상태에서, 상기 기판수수기구에 핸드폐(閉)동작을 행하게 하고, 상기 제1기판반송로봇의 하부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 하부핸드로 옮기고, 동 시에, 상기 기판수수기구의 상부핸드의 기판을 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드로 옮기는 반송제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2기판반송로봇이 상부핸드에 기판을 지지하고 하부핸드에 기판을 지지하고 있지 않으며, 상기 기판수수기구가 상부핸드에 기판을 지지하지 않고 하부핸드에 기판을 지지하고 있을 경우에, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 폐(閉)상태로서, 이들을 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 진입시켜, 이 상태에서, 상기 기판수수기구에 핸드개(開)동작을 행하게 하고, 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 상부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 하부핸드의 기판을 상기 제2기판반송로봇의 하부핸드로 옮기는 반송제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판수수기구를, 상기 제1기판반송로봇에 의한 액세스를 받는 제1액세스 위치와, 상기 제2기판반송로봇에 의한 액세스를 받는 제2액세스 위치와의 사이에서 이동시키는 이동기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드는, 수평방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  6. 상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 제1기판반송로봇의 상기 상부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 하부핸드에 기판을 지지하는 단계와,
    상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 기판수수기구의 상기 하부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 상부핸드에 기판을 지지하는 단계와,
    상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시키는 단계와,
    이 상태에서, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 간격을 상하로 좁히고, 상기 제1기판반송로봇의 하부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 하부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 상부핸드의 기판을 상기 제1기판반송로봇의 상부핸드로 옮기는 제1기판수수 단계와,
    상하에 배치된 상부핸드 및 하부핸드를 구비한 제2기판반송로봇의 상기 하부핸드에 기판을 지지하지 않고, 상기 상부핸드에 기판을 지지하는 단계와,
    상기 제2기판반송로봇의 상부핸드 및 하부핸드의 사이에 상기 제1기판수수 단계를 거친 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드를 진입시키는 단계와,
    이 상태에서, 상기 기판수수기구의 상부핸드 및 하부핸드의 간격을 상하로 열고, 상기 제2기판반송로봇의 상부핸드의 기판을 상기 기판수수기구의 상부핸드로 옮기고, 동시에, 상기 기판수수기구의 하부핸드의 기판을 상기 제2기판반송로봇의 하부핸드로 옮기는 제2기판수수 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송방 법.
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