KR20060044321A - 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법 및 전기검사 장치와, 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체 - Google Patents

전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법 및 전기검사 장치와, 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체 Download PDF

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KR20060044321A
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히로시 하세가와
요시히로 사에키
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미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤
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Abstract

필름 캐리어를 절곡(folding)하는 것에 의해 절연 불량이 생길 가능성이 있는 것 같은, 배선 사이에 돌출한 돌기 간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴까지, 방전 파괴에 의한 외관 불량을 일으키지 않으면서 판별이 가능한 전자 부품 장착용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사 방법 및 전기 검사 장치 및 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체를 제공한다. 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하고 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출되고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 전류의 유무를 검출한다. 이어서, 이 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 대하여, 인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하고, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써, 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 전류의 유무를 검출한다. 제2 전압(V2)에 의한 방전 파괴가 방지되어 외관 불량을 일으키지 않게 된다.
프린트 배선판, 누설 전류, 배선, 돌기, 전기 검사

Description

전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법 및 전기 검사 장치와, 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체{ELECTRICAL INSPECTION METHOD AND APPARATUS FOR PRINTED WIRING BOARD FOR THE ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM}
도 1은 필름 캐리어 테이프의 단선 및 단락을 검사하는 전기 검사 장치의 구성을 나타내는 도면.
도 2는 필름 캐리어 테이프의 예(TAB 테이프)를 나타낸 상면도.
도 3은 배선으로부터 돌출한 돌기를 나타낸 상면도.
도 4는 배선으로부터 돌출한 돌기를 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 전기 검사 장치의 작동을 제어하는 컴퓨터의 구성을 설명하기 위한 도면.
도 6은 도 5에 도시한 컴퓨터가 행하는 제어 루틴을 나타낸 흐름도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따라 전기 검사 장치의 작동을 제어하는 컴퓨터의 구성을 설명하기 위한 도면.
도 8은 도 7에 도시한 컴퓨터가 행하는 제어 루틴을 나타낸 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 검사 스테이지 2 : 헤드 3 : 도전성 고무판
4 : 프로브 카드 5 : 프로브 핀 8 : 전류계
8a : 제1 전류계 8b : 제2 전류계 9 : 전압 인가부
11 : 필름 캐리어 테이프 11a : 피스(piece) llb : 피스
12 : 배선 패턴 12a : 배선 l3 : 절연 필름
l4 : 이너 리드 15 : 아우터 리드 16 : 디바이스 홀
17 : 스프로켓 홀 18 : 숄더 레지스트층 2l : 돌기
30 : 컴퓨터 3l : CPU 32 : RAM
33 : I/O 34 : 버스 35 : 하드 디스크
36 : CD-ROM 드라이버 37 : 키보드 38 : 마우스
39 : 디스플레이
본 발명은 전자 부품 프린트 배선판에 있어서 배선 패턴의 절연 불량에 대하여 전기적으로 검사를 행하는 전기 검사 방법에 관한 것이다. 본 발명은 특히 FPC 및 필름 캐리어 테이프[TAB(tape automated bonding) 테이프, COF(chip on film) 테이프, BGA(ball grid array) 테이프, CSP(chip size package) 테이프, ASIC(application specific integrated circuit) 테이프, 2-메탈(양면 배선) 테이프, 다층 배선용 테이프 등) 등의 플렉시블 프린트 배선판과, 유리 에폭시 기판 등을 사용한 리지드 프린트 배선판과 같은 전자 부품 프린트 배선판의 검사에 특히 적합하다. 그리고, 본 명세서에 있어서 "전자 부품 장착용 프린트 배선판"은 전자 부품을 장착하기 전의 프린트 배선판 뿐만이 아니라, 전자 부품을 장착한 후의 프린트 배선판도 포함된다.
IC(집적회로), LSI(대규모 집적회로) 등의 전자 부품을, 휴대 전화기, 퍼스널 컴퓨터, 텔레비전 세트 등의 평판 패널 디스플레이를 가지는 장치 또는 프린터 등에 조립하기 위하여, 플렉시블 필름 캐리어 테이프(예컨대, FPC 및 TAB 테이프) 및 리지드 PWB(printed wiring board)를 사용하는 장착 방식이 채용되고 있다.
이러한 전자 부품 장착용 프린트 배선판에서는 배선판에 전자 부품을 장착하는 전후에 그 품질에 대하여 검사를 행하고 있다. 구체적으로는, 배선 패턴의 전기적인 단선, 단락, 결여, 돌기 등의 결함, 비정상적인 도금, 테이프 형상의 변형, 숄더 레지스트의 결함 등의 각종의 결함에 대해 품질 검사를 하고 있다.
예를 들어, TAB 테이프 등의 전자 부품 장착용 필름 캐리어 테이프의 경우, 배선 패턴의 전기적인 단선, 단락(절연)을 검사하는 장치로는, 도 1과 같은 전기 검사 장치가 이용되고 있다(일본공개특허 H06-174774호 공보 참조). 도 2는 전기 검사 장치로 검사를 행하는 필름 캐리어 테이프의 일례(TAB 테이프)를 나타낸다. 도시된 필름 캐리어 테이프(11)는 배선 패턴(12), 절연 필름(13), 이너 리드(14),아우터 리드(15), 디바이스 홀(16), 및 테이프 반송용의 스프로켓 홀(17)을 포함한다. 배선 패턴(12)은 폴리이미드 등의 절연 필름 상에 형성된 피스(11a, 11b)가 필름 캐리어 테이프의 길이 방향으로 정렬된 구조로 되어 있다. 배선 패턴(l2)은 이너 리드(14) 및 아우터 리드(l5) 이외의 영역이 숄더 레지스트층(l8)으로 피복되 어 있다.
도 1의 전기 검사 장치에서는, 필름 캐리어 테이프를 릴로부터 감기 시작해서 검사 장치에 세트한 후, 오퍼레이터가 측정 개시의 지시를 입력하면, 프로그램에 따라 하나의 피스씩 자동적으로 검사를 하게 되어 있다. 검사 대상이 되는 피스는 검사 스테이지(1)에 배치되고, X, Y 및 Z 방향으로 이동 가능한 헤드(2)의 단부에 장착된 도전성 고무판(3)을 입력측 및 출력 측의 이너 리드(14)에 접촉시킨다.
한편, 프로브 카드(4)에 유지된 프로브 핀(5)을 이동시켜, 입력측 및 출력 측의 아우터 리드(15)의 각 하나씩에 각각의 핀을 접촉시킨다. 아우터 리드(l5)의 단부에 테스트 패드가 있는 경우에는, 패드 상에 프로브 핀(5)을 접촉시킨다.
이 상태로 도통을 검사함으로써, 모든 배선의 단선 검사를 한번에 행하고, 이어서 단락 검사를 행한다. 이 단락(절연) 검사에서는, 헤드(2)를 이동시켜 도전성 고무판(3)을 이너 리드(14)로부터 분리시키고 프로브 핀(5)을 아우터 리드(l5)에 접촉시킨 상태로, 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하고, 이 때 흐르는 전류를 측정한다. 이때의 인가 전압은, 예를 들면 20볼트(V)이며, 검출 하한이 1 ㎂인 전류계를 사용하여 측정을 행한다.
배선 패턴의 절연 불량은, 주로 도전성 금속(예컨대, 구리)의 에칭 부족에 의해, 인접하는 배선으로부터 폭 방향으로 돌출한 돌기를 통해 또는 배선 사이에 존재하는 미소한 이물질에 의해 생긴다. 도 3과 도 4는 이러한 배선으로부터 돌출 한 돌기를 나타내는 상면도와 단면도이다. 도시된 바와 같이, 인접하는 배선(12a)의 각각으로부터 돌기(2l)가 돌출되고, 이들 선단이 폭 W의 간극을 통하여 서로 마주보고 있다. 최근에는 배선 피치가, 예를 들면 30㎛(간격 l5㎛)로 협소화가 진행되어, 이와 같은 돌기 또는 이물질에 의한 절연 불량이 일어나기 쉬워지고 있다. 그리고, 이후의 설명에서는 "돌기"(protrusion)라는 용어에는 도 3 및 4에서 도면 부호 21로 나타낸 바와 같은 배선의 돌기 뿐만이 아니고, 절연 저항을 저하시키는(절연 불량을 일으키는) 배선 사이에 존재하는 이물질도 포함하는 것으로 한다. 이 이물질에는, 예를 들면 반송용 릴로부터 발생하는 금속 분말, 인체로부터 생기는 이물질, 숄더 레지스트의 조각 등이 있다.
전술한 전기 검사 장치에서는, 예를 들면 20V의 전압을 배선 사이에 인가하여 1㎂를 초과하는 누설 전류를 측정함으로써, 이 돌기(21)에 의한 절연 불량을 검출하고 있다. 이로써, 간격 W가 0.2㎛~ 0.3㎛인 돌기(21)에 기인하는 절연 불량의 유무를 판별할 수 있다.
그러나, 간격 W가 0.5㎛를 초과하는 돌기(21) 사이의 전류를 검출하는 것은 불가능하다. 즉, 간격 W가 0.2㎛~0.3㎛인 경우에는, 이 간극을 저항값으로 환산하면 수십 ㏁이므로, 검출 하한이 1㎂인 전류계를 사용하여 20V 정도의 전압을 인가하면 돌기(21)에 의한 누설 전류를 측정할 수 있지만, 간격 W가 0.5㎛인 경우에는, 이 저항값이 1GΩ에 가까운 값이 되어, 돌기(21)에 의한 누설 전류를 측정할 수 없게 된다. 따라서, 0.5㎛를 초과하는 간격의 돌기를 가지는 배선 패턴은 단락(절연) 검사에서는 결함이 없는 것으로 판정된다.
필름 캐리어를 액정 디스플레이의 드라이버 IC를 장착하는 용도에 사용하는 경우, 폴리이미드 필름 등을 기재(基材)로 하는 가교성의 필름 캐리어를 절곡(folding)하여 장착할 필요가 있지만, 이와 같이 배선 패턴에 간격 W가 0.5㎛ 정도인 돌기를 가지는 필름 캐리어를 사용하면, 이것을 절곡함에 따라 돌기에 기인한 단락이 일어나는 경우가 있다.
그러므로, 단락(절연) 검사에서는 이와 같은 선단(先端) 사이의 간격 W가 비교적 넓은 돌기에 의한 누설 전류를 검출 가능하도록 할 필요가 있지만, 그 방법으로서 인가 전압을 상승시키는 것이 고려된다. 검출 하한이 0.1㎂인 전류계를 사용하면, 인가 전압을, 예컨대 200V 정도로 함으로써 간격 W가 0.5㎛ 정도인 돌기에 의한 누설 전류를 검출할 수 있다.
그러나, 200V의 전압을 인가하면, 배선 패턴에 간격 W가 0.5㎛ 이하인, 예를 들면 간격이 0.2㎛~0.3㎛인 돌기가 있는 경우, 돌기 사이에서 방전이 일어나 돌기가 태워지게 된다. 이 결과, 이들 돌기 사이는 의사적(pseudo)으로 절연된 것으로 되므로, 단락(절연) 검사에 의해서는 결함이 없는 것으로 판별되고 만다. 그런데, 이와 같이 방전이 일어나면, 숄더 레지스트층(18)의 일부가 태워져 버려서 핀홀(pin-hole)이 형성되기도 한다. 방전은 순간적으로 일어나기 때문에, 전기 검사 장치에서는 이러한 돌기를 검출하지 못하고, 방전 파괴에 의해 숄더 레지스트층에 핀홀이 형성된 피스(piece) 등은 육안 관찰에 의한 외관 검사로 구분하지 않으면 안 되지만, 이러한 미세한 핀홀 등을 육안으로 판별하는 것은 매우 어렵다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래 기술에 있어서의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 예를 들면 필름 캐리어를 절곡하는 것에 의해 단락이 생길 가능성이 있는, 배선 사이에 돌출한 돌기간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴까지, 방전 파괴에 의한 외관 불량을 일으키지 않으면서 신속한 판별이 가능한 전자 부품 장착용 필름 캐리어 테이프의 전기 검사 방법 및 전기 검사 장치와, 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 따른 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법은, 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하여, 이들 배선 사이에서 생기는 누설 전류를 측정함으로써 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법으로서,
인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하는 단계와;
누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법은, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 단계와;
인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하여 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 단계를 포함한다.
이러한 전기 검사 방법에 있어서, 제2 전압(V2)은, 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기를 가지는 배선 사이에 인가되는 경우, 돌기 사이에서 방전 파괴가 발생하여 의사 절연하는 전기력을 갖는다.
본 발명에 따른 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법은, 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하여, 이들 배선 사이에서 생기는 누설 전류를 측정함으로써 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법으로서,
인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하고 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제l 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하는 단계와;
상기 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 제l 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써, 누설 전류의 유무를 검출하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법은, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여 제1 전류 측정 수단에 의해 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 단계와;
인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하여 제2 전류 측정 수단에 의해 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 단계를 포함한다.
상기 전기 검사 방법은, 입력측 및 출력측의 이너 리드에 도전성 탄성 부재를 접촉시키는 동시에, 입력측 및 출력측의 아우터 리드에 프로브 핀을 접촉시켜, 이 프로브 핀으로부터 전압을 인가하여 배선에 흐르는 전류를 측정함으로써, 배선 패턴의 단선의 유무를 판별하는 단계와;
도전성 탄성 부재와 이너 리드의 접촉을 해제하고, 프로브 핀으로부터 전압을 인가하여 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써, 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 단계를 포함한다.
전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치로서,
전기 검사가 행해지는 피스를 배치하는 스테이지와;
스테이지 상에 배치한 피스의 각 아우터 리드에 접촉시키는 프로브 핀과;
프로브 핀을 통하여 피스의 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;
프로브 핀을 통하여 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하는 전류 측정 수단과;
전압 인가 수단에 의해 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단에 의해 측정시키는 동시에, 이 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 대하여, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류가 전류 측정 수단에 의해 측정되도록 제어하는 제어 수단을 구비한다.
이러한 전기 검사 장치에 있어서,
전압 인가 수단은 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하며;
전류 측정 수단은 배선 사이의 전류를 측정하여, 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하고;
전압 인가 수단은 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴의 인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하며;
전류 측정 수단은 배선 사이의 전류를 측정하여, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출한다.
전기 검사 장치에 있어서, 전압 인가 수단은, 제2 전압(V2)이 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기를 가지는 배선 사이에 인가되는 경우, 돌기 사 이에서 방전 파괴가 발생하여 의사 절연하는 전기력을 갖는 제2 전압(V2)을 인가한다.
전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치로서,
전기 검사가 행해지는 피스를 배치하는 스테이지와;
스테이지 상에 배치한 피스의 각 아우터 리드에 접촉시키는 프로브 핀과;
프로브 핀을 통하여 피스의 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;
프로브 핀을 통하여 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하는 제1 전류 측정 수단과;
프로브 핀을 통하여 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하며, 제1 전류 측정 수단이 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단과;
전압 인가 수단에 의해 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정시키는 동시에, 이 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제2 전류 측정 수단에 의해 측정하도록 제어하는 제어 수단을 구비한다.
전기 검사 장치에 있어서,
전압 인가 수단은 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하며;
제1 전류 측정 수단은 배선 사이의 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하고;
전압 인가 수단은 누설 전류가 없는 배선 패턴의 인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하며;
제2 전류 측정 수단은 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하여, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출한다.
본 발명에 따른 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체는
전자 부품 장착용 프린트 배선판의 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)을 인가하는 단계와;
이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계와;
상기 전류 측정 수단에 의한 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하는 단계와;
이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단으로 측정하는 단계를 포함하는 처리를 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록되어 있다.
본 발명에 따른 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체는,
전자 부품 장착용 프린트 배선판의 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)을 인가하는 단계와;
이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계와;
제l 전류 측정 수단에 의한 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가하는 단계와;
이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계를 포함하는 처리를 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록되어 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예에서는, 도 1에 나타낸 장치와 동일한 기기 구성으로, 소프트웨어를 변경한 장치를 사용하고 있다. 전술한 바와 같이, 필름 캐리어 테이프로부터 감기 시작하여 검사 장치에 세트한 후, 오퍼레이터의 지시 입력에 의해 자동으로 운전이 개시된다. 검사 대상이 되는 피스(piece)가 검사 스테이지(1)에 배치되고, 도전성 고무판(3)이 입력측 및 출력측의 이너 리드(l4)에 접촉된다. 프로브 핀(5)이 입력측 및 출력측의 아우터 리드(15)의 각 하나씩에 접촉된 상태로 단선 검사를 행하고, 이어서 단락(절연) 검사를 한다.
단락(절연) 검사에서는, 헤드(2)를 이동하여 도전성 고무판(3)을 이너 리드(14)로부터 분리시켜 접촉을 해제하고, 프로브 핀(5)은 아우터 리드(l5)에 접촉시킨 상태로, 소정의 인접하는 배선(12a) 사이에 전압을 인가하여, 그때 흐르는 전류를 측정한다. 전류계는 검출 하한이 0.0000l㎂~1㎂, 바람직하게는 0.0001㎂~0.5㎂, 보다 바람직하게는 0.001㎂~0.1㎂의 범위에 있는 것을 사용한다. 본 실시예에서는 검출 범위를 전환 가능한 전류계를 사용하여 검출 하한이 0.1㎂로 설정하여 사용하였다.
먼저, 예를 들어 20V의 전압을 인가하여 전류를 측정한다. 여기서, 1㎂를 초과하는 전류가 흘렀을 경우에는 불량이라고 판정하고 있다. 여기서 검출되는 단락은, 도 3 및 도 4에 있어서의 돌기간의 간격 W가 0.2㎛~0.3㎛ 정도 또는 그 이하에 속하는 돌기(21)에 의한 것이다.
상기의 검사에서 정상이라고 판별된 피스는, 이어서 200V의 전압을 인가한 상태로 전류가 측정된다. 여기서는 0.2㎂를 초과하는 전류가 흘렀을 경우에 불량이라고 판정하고 있다. 여기서 검출되는 단락은 도 3 및 도 4에 있어서의 돌기간의 간격 W가 0.5㎛ 정도를 상회하는 돌기(2l)에 의한 것이다.
단락(절연) 검사가 종료한 후, 프로브 핀(5)이 아우터 리드(l5)로부터 분리된다. 이어서 필름 캐리어가 1 피치만큼 반송되어, 다음의 피스가 검사 스테이지에 위치하게 되고, 상기의 순서가 반복된다.
이와 같이, 본 실시예에서는 최초 20V로 검사를 행하여 돌기 간격 W가 0.2㎛~03㎛ 정도 또는 그 이하인 배선 돌기에 의한 절연 불량의 유무를 검출한 후, 200V 로 검사를 행하여 돌기 간격 W가 0.5㎛를 상회하는 배선 돌기에 의한 절연 불량의 유무를 검출하고 있다. 200V를 인가하면 방전 파괴에 의해 돌기 사이가 의사 절연하는 동시에, 핀홀 등에 의한 외관 불량을 일으키는 것 같은, 돌기 간격 W가 0.2㎛~0.3㎛ 정도인 돌기를 가지는 배선 패턴이 낮은 전압하에서의 측정으로 미리 판별된다. 즉, 높은 전압하에서 검사되는 피스는 돌기가 있어도 그 간격이 0.5㎛를 넘는다. 따라서, 0.5㎛ 정도까지의 돌기 간격을 가지는 필름 캐리어 테이프를, 외관 불량을 일으키지 않으면서 판별할 수 있다. 인가 전압 및 돌기 간격 W와 단락의 판별 및 외관 불량 발생의 관계를 표 1에 나타낸다.
인가 전압 간격 W(0.2~0.3㎛) 간격 W(0.5㎛)
20V AA CC1
200V CC2 AA
AA : 절연 불량 검사 가능
CC1 : 절연 불량 검사 불가능
CC2 : 방전 파괴에 의해 외관 불량 발생
이상 설명한 것처럼, 본 실시예의 전기 검사 방법에 의하면, 예를 들면 필름 캐리어를 절곡함으로써 단락이 생길 가능성이 있는 것 같은, 배선 사이에 돌출한 돌기간의 거리가 비교적 길지만, 사람의 육안 관찰에 의한 외관 검사에서는 판별 곤란한 배선 패턴의 결함까지 방전 파괴에 의한 외관 불량을 일으키지 않으면서 판별할 수 있다. 또, 종래의 방법과 비교하여 검사 시간을 크게 늘리지 않으면서 검사할 수 있다.
본 실시예에 있어서 실행되는 제어 루틴에 대하여, 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5는 본 실시예에서 이용되는 전기 검사 장치의 작동을 제어하는 제어 수단(컴퓨터)의 구성을 나타낸 것이다. 컴퓨터(30)는 CPU(31), RAM(32), I/O(입출력 장치)(33)를 구비하고, 이들은 버스(34)로 접속되어 있다. I/O(33)에는 전류계(8), 전압 인가부(9), 하드디스크(35), CD-ROM 드라이버(36), 키보드(37), 마우스(38), 디스플레이(39) 등이 접속되어 있다.
본 실시예에 있어서의 전기 검사의 제어를 컴퓨터(30)에서 실행시키기 위한 프로그램은, 예컨대 CD-ROM에 기억된 제어 프로그램을 RAM(32)으로 판독하여 실행해도 되고, 미리 하드디스크(35)에 설치하여, 판독하고 실행해도 된다. 도 6은 제어 루틴의 흐름도이며, 먼저 컴퓨터(30)는 도 1의 검사 스테이지(1)에 배치된 검사를 행하는 피스에 대하여, 그 배선 패턴에서의 인접하는 배선 사이에 전압 인가부(9)에서 20V를 인가하도록 한다(단계 101).
그리고, 이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류계(8)에 의해 측정한다(단계 102).
이 전류계(8)에 의한 측정의 결과, 미리 설정한 임계치(1㎂)를 초과하는 누설 전류가 검출되었을 경우에는, 이 피스는 절연 불량이라고 판별한다. 이어서, 필름 캐리어 테이프를 반송하여 다음 피스를 검사 스테이지(1)에 배치한 후, 상기의 처리를 반복한다(단계 105).
누설 전류가 검출되지 않는 경우에는, 이 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에, 전압 인가부(9)로부터 200V가 인가되도록 한다(단계 103).
그리고, 이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류계(8)에 의해 측정하도록 한다(단계 104).
이 전류계(8)에 의한 측정의 결과, 미리 설정한 임계치(0.2㎂)를 초과하는 누설 전류가 검출되었을 경우, 이 배선 패턴을 절연 불량이라고 판별한다. 한편, 전류치가 0.2㎂ 이하였을 경우에는 불량이 없는 것으로 판별하여, 필름 캐리어 테이프를 반송하고, 다음의 피스를 검사 스테이지(1)에 배치한 후, 상기의 처리를 반복한다(단계 105).
다음에, 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 전술한 실시예에서는 검출 하한이 0.1㎂인 전류계를 사용하고 있지만, 본 실시예에서는 검출 하한이 1㎂인 제1 전류계와 검출 하한이 0.01㎂인 제2 전류계를 별개로 구비한 장치를 사용하고 있다. 전술한 바와 같이 단선 검사를 행한 후, 도 1의 헤드(2)를 이동하여 도전성 고무판(3)을 이너 리드(l4)로부터 분리시켜 접촉을 해제하고, 프로브 핀(5)은 아우터 리드(15)에 접촉시킨 상태로 단락(절연) 검사를 행한다.
먼저, 소정의 인접하는 배선(12a) 사이에 20V의 전압을 인가하고, 그때 흐르는 전류를 검출 하한이 1㎂인 제1 전류계로 측정한다. 여기서는 1㎂를 초과하는 전류가 흘렀을 경우에는, 불량이라고 판정하고 있다. 여기서 검출되는 단락은 도 3 및 도 4에 있어서의 돌기 간의 간격 W가 0.2㎛~0.3㎛ 정도 또는 그 이하에 속하는 돌기(21)에 의한 것이다.
상기의 검사에서 정상이라고 판별된 피스는, 20V의 전압 인가시에 배선 사이에 흐르는 전류를 검출 하한이 0.01㎂인 제2 전류계로 측정한다. 여기서는 0.02㎂를 초과하는 전류가 흘렀을 경우에는 불량이라고 판정하고 있다. 여기서 검출되는 단락은 도 3 및 도 4에 있어서의 돌기 간의 간격 W가 0.5㎂ 정도를 상회하는 돌기(2l)에 의한 것이다.
단락(절연) 검사가 종료한 후, 프로브 핀(5)이 아우터 리드(15)로부터 분리되고, 필름 캐리어가 1 피치만큼 반송되어 다음의 피스가 검사 스테이지에 위치하고, 상기의 순서가 반복된다.
검출 하한이 0.01㎂인 제2 전류계는 종래부터 이러한 장치에 사용되어, 예를 들면 검출 하한이 1㎂와 같은 비교적 검출 하한이 높은 것과 비교하여 미소의 전류를 측정할 수 있지만, 그와 같은 미소 전류를 노이즈와 구별하여 안정적으로 측정할 필요가 있으므로, 절연체와 도전성 금속 배선 등으로 이루어지는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 배선과 배선 사이 등의 저항이 높은 대상을 측정하는 경우에는 측정에 많은 시간을 필요로 하였다. 그러므로 본 실시예에서는 검출 하한이 1㎂인 제1 전류계로 최초의 측정을 행하고, 이어서 검출 하한이 0.01㎂인 제2 전류계로 측정을 행함으로써, 돌기 간격 W가 0.2㎛~0.3㎛ 정도 또는 그 이하에 근접한 배선 돌기에 의한 절연 불량의 유무를 제1 전류계에서 신속히 측정한 후, 돌기 간격 W가 0.5㎛를 상회하는 배선 돌기에 의한 절연 불량의 유무를 제2 전류계에서 검출하고 있으므로, 0.5㎛ 정도까지의 돌기 간격을 가지는 필름 캐리어 테이프를, 종래의 방법과 비교하여 같은 검사 시간에 신속히 판별할 수 있다.
본 실시예에 있어서 실행되는 제어 루틴에 대하여, 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. 도 7은 본 실시예에서 이용되는 전기 검사 장치의 작동을 제어하는 제어 수단(컴퓨터)의 구성을 나타낸 것이다. 컴퓨터(30)는 CPU(3l), RAM(32), 입출력 장치(I/O)(33)를 구비하고, 이들이 버스(34)로 접속되어 있다. I/O(33)에는 검출 하한이 1㎂인 제1 전류계(8a), 검출 하한이 0.01㎂인 제2 전류계(8b), 전압 인가부(9), 하드 디스크(35), CD-ROM 드라이버(36), 키보드(37), 마우스(38), 디스플레이(39) 등이 접속되고, 전기 검사의 제어를 컴퓨터(30)에 실행시키기 위한 프로그램은, 예를 들면 하드디스크(35)로부터 RAM(32)으로 판독하여 실행된다.
도 8은 제어 루틴의 흐름도이며, 먼저 컴퓨터(30)는 도 l의 검사 스테이지(1)에 배치된 검사를 행하는 피스에 대하여, 그 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 전압 인가부(9)에 의해 20V가 인가된다(단계 201).
그리고, 이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를, 제1 전류계(8a)에 의해 측정한다(단계 202).
제1 전류계(8a)에 의한 측정의 결과, 미리 설정한 임계치 1㎂를 초과하는 누설 전류가 검출되었을 경우, 이 피스는 절연 불량이라고 판별한다. 이어서, 필름 캐리어 테이프를 반송하여 다음의 피스를 검사 스테이지(1)에 배치한 후, 상기의 처리를 반복한다(단계 205).
누설 전류가 검출되지 않은 경우에는, 이 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에, 전압 인가부(9)에 의해 20V가 인가된다(단계 203).
그리고, 이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 제2 전류계(8b)에 의해 측정한다(단계 204).
제2 전류계(8b)에 의한 측정의 결과, 미리 설정한 임계치(0.02㎂를 초과하는 누설 전류가 검출되었을 경우, 이 배선 패턴은 절연 불량이라고 판별한다. 한편, 전류치가 0.02㎂ 이하였을 경우에는 불량이 없는 것으로 판별되어 필름 캐리어 테이프를 반송하고, 다음 피스를 검사 스테이지(1)에 배치한 후, 상기의 처리를 반복한다(단계 205).
이상, 본 발명을 필름 캐리어 테이프의 실시예에 따라서 설명했지만, 본 발명은 이 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 각종의 변형, 수정 및 변경이 가능하다. 예를 들면, 사용하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 절연 수지, 배선 패턴의 재질, 형상, 형성 방법, 배선 간격 등에 의해 인가 전압 등의 측정 조건은 적절한 것으로 설정하면 된다. 즉, 먼저, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써, 예를 들면 이들 배선으로부터 돌출하고, 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 근접한 돌기 등에 따른 누설 전류의 유무를 검출한다. 이어서, 이 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 대하여, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)보다 큰 전압로서, 예를 들면 선단 사이의 거리가 상기의 소정 범위 내에 근접한 돌기를 가지는 배선 사이에 인가했을 때 방전 파괴하여 의사 절연하도록 하는 전기력을 갖는 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에서의 전류를 측정함으로써, 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기 등에 따른 전류의 유무를 검출한다. 이에 따라, 돌기 간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴까지, 방전 파괴에 의한 외관 불량을 발생시키지 않으면서 절연 불량을 판별할 수 있다.
또, 먼저, 인접하는 배선 사이에 제l 전압(V1)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써, 예를 들면 이들 배선으로부터 돌출하고, 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기 등에 따른 누설 전류의 유무를 검출한다. 이어서, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 대하여, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)과 동등하거나 이보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정 가능한 전류보다 미소한 전류를 측정 가능한 제2 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써, 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기 등에 따른 누설 전류의 유무를 검출한다. 이에 따라, 돌기 간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴까지 방전 파괴에 의한 외관 불량을 일으키지 않으면서 신속하게 절연 불량을 판별할 수 있다.
[실험예 1]
전술한 실시예의 전기 검사 장치를 사용하여, 배선 피치가 30㎛인 배선 패턴을 가지는 액정 패널용 필름 캐리어 테이프의 배선의 단선 및 단락의 전기 검사를 10,000개의 피스에 대하여 행하였다. 그리고, 제l 전류계의 검출 하한은 1㎂, 제2 전류계의 검출 하한은 0.1㎂이다.
배선 돌기 간의 간격이 약 0.5㎛ 이하인 것은 불량인 것으로 판정하도록 하고, 불량 판정 기준을 1회째의 인가 전압 20V에 의한 측정에서 l㎂ 이상, 2번째의 인가 전압 200V에 의한 측정에서 0.2㎂ 이상으로 하였다. 이 전기 검사를 행한 후, 정상이라고 판정된 각 피스에 대하여, 통상의 2배의 시간 동안 외관 검사를 행하였으나, 200V의 전압 인가에 의한 배선 돌기의 방전 현상에 의한 것으로 고려되는 결함 있는 외관은 관찰되지 않았다.
이들 피스를, 테스트 패드를 포함하는 범위에서 필름 캐리어 테이프로부터 금형에 의해 천공하였다. 이 하나의 피스의 필름 캐리어를 슬릿부에서 절공하여, 단락(절연) 검사만을 할 수 있는 전용의 전기 검사 장치를 사용하여 단락(절연) 검사를 행하였으나, 근접한 배선 돌기에 의한 것으로 고려되는 불량은 검출되지 않았다.
[비교예 1]
전류 검출 하한이 1㎂이며, 절연 불량 검출 전압이 20V인 절연 불량 검출 프로그램을 내장한 전기 검사 장치를 사용하여, 배선 피치가 30㎛인 배선 패턴을 가지는 액정 패널용 필름 캐리어 테이프의 배선의 단선 및 단락(절연)의 전기 검사를, 10,000개의 피스에 대하여 행하였다.
배선 돌기 간의 간격이 약 0.2㎛~0.3㎛ 이하인 것은 불량인 것으로 판정하도록, 불량 판정 기준을 20V에 의한 측정에서 1㎂ 이상으로 하였다. 이 전기 검사를 행한 후, 정상적이라고 판정된 각 피스에 대하여, 통상의 2배의 시간 동안 외관 검사를 행하였으나, 배선 돌기의 방전 현상에 기인하는 것으로 고려되는 결함 있는 외관은 관찰되지 않았다.
이들 피스를, 테스트 패드를 포함하는 범위에서 필름 캐리어 테이프로부터 금형에 의해 천공하였다. 이 하나의 피스의 필름 캐리어를 슬릿부에서 절곡하여, 단락(절연) 검사만을 할 수 있는 전용의 전기 검사 장치를 사용하여 단락(절연) 검사를 행하여, 3개의 피스에 단락이 검출되었다.
[비교예 2]
전류 검출 하한이 0.1㎂이며, 절연 불량 검출 전압이 200V인 절연 불량 검출 프로그램을 내장한 전기 검사 장치를 사용하여, 배선 피치가 30㎛인 배선 패턴을 가지는 액정 패널용 필름 캐리어 테이프의 배선의 단선 및 단락(절연)의 전기 검사를, 10,000개의 피스에 대하여 행하였다.
배선 돌기 간의 간격이 약 0.5㎛ 이하인 것은 불량인 것으로 판정하도록, 불량 판정 기준을 200V에 의한 측정에서 0.2㎂ 이상으로 하였다. 이 전기 검사를 행한 후, 정상적이라고 판정된 각 피스에 대하여, 통상의 2배의 시간 동안 외관 검사를 행하여, 배선 돌기 간의 간격이 0.2㎛~0.3㎛라고 고려되는 배선 돌기 사이에서, 고전압 인가에 의한 방전으로 숄더 레지스트층의 일부가 태워져 형성되었다고 고려되는 핀홀이 2개의 피스에서 관찰되었다.
본 발명의 전기 검사 방법 및 전기 장치와, 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체에 기록된 프로그램에 의하면, 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여 누설 전류의 유무를 검출하고, 이어서 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하여 누설 전류의 유무를 검출하는 것으로 함으로써, 예를 들면 필름 캐리어를 절곡하는 것에 의해 절연 불량이 생길 가능성이 있는 것 같은, 배선 사이에 돌출한 돌기간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴까지, 방전 파괴에 의한 외관 불량을 일으키지 않으면 서 판별할 수 있다.
또, 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하고, 이어서 제1 전류 측정 수단에 의해 측정 가능한 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하도록 함으로써, 예를 들면 배선 사이에 돌출한 돌기 간의 거리가 비교적 긴 배선 패턴 등에 의한 절연 불량까지 검출하기 위한, 프린트 배선판의 사용 전압 내에서의 높은 절연 저항 측정을 행하는 전기 검사를 종래의 1 단계에서의 측정과 거의 동일한 시간에, 신속히 행할 수 있게 된다.

Claims (13)

  1. 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하여, 이들 배선 사이에서 생기는 누설 전류를 측정함으로써 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법으로서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하고;
    상기 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 상기 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하는
    것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하고;
    인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하여 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 전압(V2)은, 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위 내에 속하는 돌기를 가지는 배선 사이에 인가되는 경우, 상기 돌기 사이에서 방전 파괴가 발생하여 의사 절연하는 전기력을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  4. 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하여 이들 배선 사이에서의 누설 전류를 측정함으로써 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 검사 방법으로서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하고 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제l 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써 누설 전류의 유무를 검출하고;
    상기 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 상기 제l 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가하여, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단에 의해 측정함으로써, 누설 전류의 유무를 검출하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하여 제1 전류 측정 수단에 의해 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하고;
    인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하여 제2 전류 측정 수단에 의해 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    입력측 및 출력측의 이너 리드에 도전성 탄성 부재를 접촉시키는 동시에, 입력측 및 출력측의 아우터 리드에 프로브 핀을 접촉시켜, 이 프로브 핀으로부터 전압을 인가하여 배선에 흐르는 전류를 측정함으로써, 배선 패턴의 단선의 유무를 판별하고;
    도전성 탄성 부재와 이너 리드의 접촉을 해제하고, 프로브 핀으로부터 전압을 인가하여 배선 사이에 흐르는 전류를 측정함으로써, 배선 패턴의 절연 불량의 유무를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 방법.
  7. 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치로서,
    전기 검사가 행해지는 피스를 배치하는 스테이지와;
    상기 스테이지 상에 배치한 피스의 각 아우터 리드에 접촉시키는 프로브 핀과;
    상기 프로브 핀을 통하여 상기 피스의 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 프로브 핀을 통하여 상기 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하는 전류 측정 수단과;
    전압 인가 수단에 의해 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단에 의해 측정시키는 동시에, 이 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 대하여, 인접하는 배선 사이에 상기 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류가 상기 전류 측정 수단에 의해 측정되도록 제어하는 제어 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 배선 사이의 전류를 측정하여, 상기 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사 이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 전류 측정 수단과;
    상기 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴의 인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 배선 사이의 전류를 측정하여, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 전류 측정 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 전압 인가 수단은, 상기 제2 전압(V2)이 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위 내에 속하는 돌기를 가지는 배선 사이에 인가되는 경우, 상기 돌기 사이에서 방전 파괴가 발생하여 의사 절연하는 전기력을 갖는 상기 제2 전압(V2)을 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치.
  10. 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치로서,
    전기 검사가 행해지는 피스를 배치하는 스테이지와;
    상기 스테이지 상에 배치한 피스의 각 아우터 리드에 접촉시키는 프로브 핀 과;
    상기 프로브 핀을 통하여 상기 피스의 인접하는 배선 사이에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 프로브 핀을 통하여 상기 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하는 제1 전류 측정 수단과;
    상기 프로브 핀을 통하여 상기 피스의 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하며, 상기 제1 전류 측정 수단이 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단과;
    상기 전압 인가 수단에 의해 인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정시키는 동시에, 이 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 상기 제1 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가시켜, 이들 배선 사이에 흐르는 전류를 제2 전류 측정 수단에 의해 측정하도록 제어하는 제어 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    인접하는 배선 사이에 제1 전압(V1)을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 배선 사이의 전류를 측정함으로써, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선 단 사이의 거리가 소정 범위 내에 속하는 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 제1 전류 측정 수단과;
    상기 누설 전류가 없는 배선 패턴의 인접하는 배선 사이에 제2 전압(V2)을 인가하는 전압 인가 수단과;
    상기 배선 사이에 흐르는 전류를 측정하여, 이들 배선으로부터 돌출하고 그 선단 사이의 거리가 상기 소정 범위보다 긴 돌기에 기인하는 누설 전류의 유무를 검출하는 제2 전류 측정 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 전기 검사 장치.
  12. 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)을 인가하는 단계와;
    이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계와;
    상기 전류 측정 수단에 의한 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 상기 전압 인가 수단에 의해 상기 제1 전압(V1)보다 큰 제2 전압(V2)을 인가하는 단계와;
    이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 전류 측정 수단으로 측정하는 단계
    를 포함하는 처리를 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
  13. 전자 부품 장착용 프린트 배선판의 배선 패턴에서 인접하는 배선 사이에 전압 인가 수단에 의해 제1 전압(V1)을 인가하는 단계와;
    이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 제1 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계와;
    상기 제l 전류 측정 수단에 의한 측정의 결과, 누설 전류가 검출되지 않은 배선 패턴에 인접하는 배선 사이에 상기 전압 인가 수단에 의해 상기 제1 전압(V1)과 같거나 큰 제2 전압(V2)을 인가하는 단계와;
    이들 인접하는 배선 사이에 흐르는 전류를 상기 제1 전류 측정 수단에 의해 측정할 수 있는 전류보다 미소한 전류를 측정할 수 있는 제2 전류 측정 수단에 의해 측정하는 단계
    를 포함하는 처리를 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
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