KR20040060805A

KR20040060805A - 박판지지용기

Info

Publication number: KR20040060805A
Application number: KR1020030097610A
Authority: KR
Inventors: 오바야시타다히로
Original assignee: 미라이얼 가부시키가이샤
Priority date: 2002-12-27
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2004-07-06
Also published as: EP2256783A1; US20040124118A1; EP1434256B1; EP2256783B1; TWI239932B; EP1434256A3; US20060272974A1; US20060272973A1; US20060272966A1; TW200415087A; US20060272972A1; US7497333B2; US7383955B2; US7357257B2; US7520388B2; KR100989781B1; US20060272975A1; JP2004214269A; US7410061B2; EP1434256A2

Abstract

반도체 웨이퍼(S)를 수납하는 용기본체(2)와 용기본체(2)를 덮는 덮개(4)와 반도체 웨이퍼(S)를 양측으로부터 지지하는 홈판(3)을 구비하여 이루어지는 박판지지용기(1)이다. 홈판(3)의 상부를 지지하는 상부 감합부(55)와 그 하부를 지지하는 하부 감합부(56)를 구비한다. 상부 감합부(55)의 상부 감합편(57)이 홈판(3)측에 당접하여 회동을 억제하면서 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 당접면(57A)과 지지면(57B)을 구비한다. 상부 감합편(58)은 평탄면상의 피당접면(58A)과 피지지면(58B)을 구비한다. 하부 감합부(56)는 반도체 웨이퍼(S)의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 위치결정수단(65)과 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 위치결정수단(66)과 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 위치결정수단(67)을 구비한다.

Description

박판지지용기{THIN PLATE SUPPORTING CONTAINER}

본 발명은 반도체 웨이퍼, 기억디스크, 액정유리기판 등의 박판을 수납, 보관, 수송하는 박판지지용기에 관한 것이다.

박판지지용기는 일반적으로, 용기본체와 이 용기본체의 상부 개구를 덮는 덮개로 구성된다. 용기본체 내에는, 대향하는 측벽에 각각 홈(groove)을 덮는 판이 설치되며, 각 홈판의 사이에, 반도체 웨이퍼 등의 박판이 복수매 지지된다.

홈판은 용기본체에 착탈 가능하게 지지된다. 구체적으로는, 홈판측에 지지구멍부가, 용기본체측에 지지용 돌기가 각각 설치되며, 이들에 의해 홈판이 용기본체에 착탈 가능하게 지지된다.

국제공개특허 제99/39994호에는 홈판(박판 지지부)측에 지지구멍부가, 이 지지구멍부에 대응하는 용기본체측에 지지용 돌기가 각각 설치된 용기가 기재되어 있다. 이들은 3개소에 설치된다.

그런데 상기 지지구멍부 및 지지용 돌기는 3개소에 설치되기 때문에, 홈판이휘어지지는 않는다. 그러나 홈판의 양측의 2곳에만 설치된 상태도 생각할 수 있는데, 이 경우, 지지구멍부 및 지지용 돌기가 원형으로, 서로 감합한 상태로 회동할 수 있기 때문에, 홈판이 휘어질 가능성이 있다.

또한 홈판은 상부의 지지구멍부 및 지지용 돌기로 위치가 결정되기 때문에, 홈판의 안쪽부의 위치에 다소 엇갈림이 발생하는 경우가 있다. 이 경우, 박판지지용기를 세운 상태에서는 반도체 웨이퍼는 홈판의 안쪽부로 지지되기 때문에, 홈판의 안쪽부의 위치에 엇갈림이 있으면 박판지지용기 내에 있어서 반도체 웨이퍼를 지지하는 위치가 어긋나 버리게 된다.

홈판을 구성하는 복수매의 판편은 반도체 웨이퍼의 출입구 근방까지 반도체 웨이퍼의 주연(周緣)을 따라 만곡하여 형성되는 것이 있다. 이 경우, 판편의 출입구측이 반도체 웨이퍼측으로 크게 튀어나오게 되기 때문에, 반도체 웨이퍼의 출납 시에 접촉할 가능성이 높게 된다. 이를 해소하기 위해서는 판편 중 출입구측을 용기본체측으로 넓힐 필요가 있지만, 이 경우, 반도체 웨이퍼의 지지위치가 안측과 중간 위치로 되며, 출입구 근방에서의 지지가 없어져, 불안정하게 된다.

박판지지용기 내에 수납된 반도체 웨이퍼와 박판지지용기의 저판부와의 사이에는 충분한 극간이 설치된다. 이것은 박판지지용기의 낙하 등에 의한 평소와 다른 충격에 대해서도, 반도체 웨이퍼가 저판부에 접촉하지 않게 하기 위해서이다. 그러나 이 경우, 박판지지용기의 높이가 있기 때문에, 박판지지용기를 상자에 곤포(梱包)하면, 상자의 저판부와 박판지지용기의 저부와의 극간이 적게 된다. 이 때문에, 상자의 저판부와 박판지지용기의 저부와의 사이에 넣는 완충재의 양이 적게 되어버린다. 이 경우, 통상적인 반송 상태에 있어서는 문제되지 않지만, 높은 곳으로부터 떨어뜨리는 등에 의한 평소와 다른 충격이 가해졌을 때에는 다소 문제가 되기 때문에, 완충재의 양은 많을수록 바람직하다.

또한, 박판지지용기에는 톱플랜지(top flange)나 핸들이 착탈 가능하게 장착되지만, 박판지지용기를 낙하시키는 등의 통상적으로 있을 수 없는 이상한 충격에 의해 톱플랜지나 핸들이 뽑히는 방향으로 강한 외력이 가해지면, 계지걸이 등이 빗나가 톱플랜지 등이 뽑혀나가 버리는 일이 있다.

덮개를 용기본체에 고정하기 위한 레칫(latch) 기구는 일반적으로 알려져 있지만, 레칫 기구를 해제하여 덮개를 떼어낼 때, 레칫 기구가 용기본체에 걸려 버리는 일이 있다.

덮개의 이면에는 박판 누름부재가 설치된다. 이 박판 누름부재에는 감합홈이 설치되며, 이 감합홈에 반도체 웨이퍼를 1매씩 감합하여 지지한다. 이 감합홈은 V자형으로 형성되는데, V자형의 감합홈의 각도는 통상 둔각이며, 반도체 웨이퍼의 주연부를 가볍게 누르고 있을 뿐이다. 이 경우, 통상의 사용 형태에 있어서는 문제가 없지만, 박판지지용기를 떨어뜨리는 등의 이상한 충격에 대해서는 반도체 웨이퍼가 회전하거나 어긋나는 일이 있어, 지지력이 충분하다고 할 수 없다.

박판 누름부재는 각 반도체 웨이퍼를 일정 간격을 비워 1매씩 지지하는 누름띠를 병렬로 다수 배치 및 설치하여 구성되며, 누름띠에 설치된 감합홈에 반도체 웨이퍼의 주연이 감합하여 지지된다. 이 경우, 반도체 웨이퍼가 누름띠의 감합홈으로부터 떨어져 나가면 누름띠의 사이의 극간에 들어가 끼어버리는 일이 있다.

횡으로 둔 상태의 상기 용기본체의 저부에는 박판지지용기의 위치를 결정하는 위치결정수단이 설치되는데, 이 위치결정수단은 3개의 감합홈이 거의 등간격으로 3곳에 설치된다. 이들의 감합홈에 받침대측의 위치결정돌기가 감합하는 것으로, 정확한 위치가 결정된다. 그런데 이 감합홈은 박판지지용기와 동일한 재료로 구성되기 때문에, 위치결정돌기가 각 감합홈에 감합한 상태로, 그다지 부드럽게 미끄러지지 않는 경우가 있다. 이 경우, 위치결정돌기가 각 감합홈의 도중에 걸려 버리는 일이 있어, 정확한 위치결정을 할 수 없게 된다.

본 발명은 이상의 문제점을 거울삼아 개선한 것으로, 박판을 정확하고 확실히 안정하여 지지할 수 있으며, 덮개 및 톱엔드 등의 착탈을 확실하고 용이하게 할 수 있음과 동시에, 자신의 위치결정을 정확하게 실시할 수 있는 박판지지용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 단면 상태로 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 저면측으로부터 나타내는 사시도이다.

도 4는 본체 위치결정수단의 지지대를 나타내는 사시도이다.

도 5는 본체 위치결정수단의 지지대에 V자 홈판을 단 상태를 나타내는 사시도이다.

도 6은 위치결정수단의 V자 홈판편을 나타내는 사시도이다.

도 7은 본체 위치결정수단의 V자 홈판편을 저면측으로부터 나타내는 사시도이다.

도 8은 본체 위치결정수단의 지지대에 V자 홈판편을 장착한 상태를 나타내는 단면 사시도이다.

도 9는 본 발명의 실시형태에 따른 톱플랜지를 나타내는 사시도이다.

도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 톱플랜지를 저면측으로부터 나타내는 사시도이다.

도 11은 본 발명의 실시형태에 따른 용기본체를 나타내는 부분 사시도이다.

도 12는 본 발명의 실시형태에 따른 착탈 기구의 톱플랜지측을 나타내는 사시도이다.

도 13은 용기본체으로의 톱플랜지의 설치상태를 나타내는 단면 사시도이다.

도 14는 용기본체으로의 톱플랜지의 설치상태를 나타내는 사시도이다.

간이 착탈기구를 나타내는 측면도이다.

도 15는 용기본체으로의 톱플랜지의 설치상태를 나타내는 주요부 사시도이다.

도 16은 용기본체에 홈판이 장착된 상태를 나타내는 주요부 단면도이다.

도 17은 홈판을 나타내는 사시도이다.

도 18은 홈판을 나타내는 평면도이다.

도 19는 홈판을 평면방향으로부터 가리키는 확대도이다.

도 20은 용기본체의 상부 감합부를 나타내는 사시도이다.

도 21은 용기본체의 하부 감합부를 나타내는 사시도이다.

도 22는 용기본체의 상부 감합부를 나타내는 확대 평면도이다.

도 23은 용기본체의 하부 감합부를 나타내는 확대 사시도이다.

도 24는 박판 압력부재를 나타내는 사시도이다.

도 25는 박판 압력부재를 나타내는 평면도이다.

도 26은 박판 압력부재의 감합홈을 나타내는 단면도이다.

도 27은 레칫(latch) 기구를 나타내는 사시도이다.

도 28은 레칫 기구의 스토퍼를 나타내는 사시도이다.

도 29는 가스켓(gasket)을 나타내는 주요부 단면도이다.

도 30은 가스켓의 기단 지지부를 나타내는 주요부 단면도이다.

※도면부의 설명※

1:박판지지용기 2:용기본체

3:홈판 4:덮개

5:톱플랜지 6:운반용 핸들

11:본체 위치결정수단 12:착탈기구

13:감합홈 15:V자 홈판편

16:지지대 17:틀

18:경사판 19:계지용 걸이

21:경사지지판 22:단부지지판

23:계지용 돌기 25:플랜지부

26:본체부 27:접동지지수단

28:계지수단 29:안내 레일

30:지지부 31:접동부

33:계지용돌기 34:계지용 걸이

36:당접부 37:지지봉부

38:당접부 39:지지봉부

44:족부 45:덮판부

50:판편 51:지지판부

52:박판지지용 돌기 54:손잡이(54)

55:상부 감합부 56:하부 감합부

57:상부 감합편 58:상부 피감합편

61:철조

상기 과제를 해결하기 위해서 제1의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 갖추게 되는 박판지지용기에 있어서, 상기 홈판의 상부를 상기 용기본체측에 지지하는 상부 감합부와 그 하부를 상기 용기본체측에 지지하는 하부 감합부를 구비하며, 상기 상부 감합부는 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 적어도 양단부에 설치된 상부 감합편과, 상기 홈판 중 상기 상부 감합편에 대향하는 위치에 설치된 상부 피감합편으로 이루어지며, 상기 상부 감합편이 상기 홈판측에 당접하여 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 당접면과, 상기 당접면을 홈판측에 당접시킨 상태로 지지하는 지지면을 구비하며, 상기 상부피감합편이 상기 상부 감합편의 당접면에 당접하여 상기 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 피당접면과, 상기 상부 감합편의 지지면에 당접하여 상기 피당접면을 상대측의 상기 당접면에 당접시킨 상태로 지지하는 피지지면을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상부 감합편의 지지면이 상부 피감합편의 피지지면에 당접하여 지지된 상태로, 상부 감합편의 평탄면상의 당접면이 상부 피감합편의 평탄 면상의 피당접면과 당접하는 것으로, 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정한다. 따라서, 홈판이 휘어지는 등의 변형이 억제되며 박판을 정확한 위치로 지지할 수 있다.

제2의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 홈판의 상부를 상기 용기본체측에 지지하는 상부 감합부와 그 하부를 상기 용기본체측에 지지하는 하부 감합부를 구비하며, 상기 하부 감합부가 상기 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 위치결정수단과, 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 위치결정수단과, 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 위치결정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상하방향 위치결정수단으로 홈판의 상하방향의 위치를 결정한다. 좌우방향 위치결정수단으로 좌우방향의 위치를 결정한다. 그리고 전후방향 위치결정수단으로 전후방향의 위치를 결정한다. 따라서 상부 감합부와 더불어 홈판의 위치를 정확하게 결정하여 고정할 수 있다.

제3의 발명에 따른 박판지지용기는 제2의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 상하방향 위치결정수단이 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되며, 상기 홈판의 하부에 감합함과 동시에 그 하단부에 당접하여 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상하방향 지지편이 홈판의 하부에 감합하여 그 하단부에 당접하는 것으로, 홈판의 상하방향의 위치를 정확하게 결정한다.

제4의 발명에 따른 박판지지용기는 제2 또는 제3의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 좌우방향 위치결정수단이 상기 홈판의 하부에 설치된 노치(notch)와, 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되며, 상기 홈판 하부의 노치에 감합하여 홈판의 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 좌우방향 지지편이 노치에 감합하는 것으로, 홈판의 좌우방향의 위치를 정확하게 결정한다.

제5의 발명에 따른 박판지지용기는 제2 내지 제4의 발명의 어느 한 부분에 기재된 박판지지용기에 있어서, 상기 전후방향 위치결정수단이 상기 홈판의 하부에그 이면측으로 연장하여 설치되며, 상기 용기본체의 측벽면의 하부에 당접하여 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 전후방향 지지편이 용기본체의 측벽면의 하부에 당접하는 것으로, 홈판의 전후방향의 위치를 정확하게 결정한다.

제6의 발명에 따른 박판지지용기는 제2 내지 제 5의 발명의 어느 한 부분에 기재된 박판지지용기에 있어서, 상기 홈판의 하부에, 상기 용기본체측에 계지(係止)하여 홈판이 상방향으로 빠지는 것을 억제하는 스토퍼(stopper)를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 홈판의 위치가 결정되어 용기본체에 장착된 상태로, 스토퍼에 의해 빠져나가지 않게 지지된다.

제7의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 홈판은 상기 복수매의 박판을 1매씩 지지하는 판편을 복수매 나열하여 구성되며, 상기 판편은 상기 용기본체의 안측으로부터 상기 박판의 출입구측까지 연장하여 설치되며, 그 안측으로부터 중간위치까지를 상기 박판의 주연을 따라 만곡시킴과 동시에, 중간 위치로부터 출입구측까지를 상기 용기본체측에 따라 형성하며, 상기 판편의 안측 및 출입구측에 상기 박판을 지지하는 박판 지지용 돌기가 설치됨과 동시에, 출입구측의 박판 지지용 돌기가 상기 판편의 내측연과상기 박판의 주연의 교점 부근에 설치된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 판편의 안측과 판편의 내측연과 박판의 주연의 교점 부근에 설치된 박판 지지용 돌기가 박판을 지지하기 때문에, 박판을 안정하여 지지할 수 있다.

제8의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 덮개와 상기 용기본체와의 사이에 가스켓(gasket)이 설치되며, 상기 가스켓은 상기 덮개측 또는 용기본체측에 감합되어 전체를 지지하는 기단 지지부와, 상기 기단 지지부로부터 연장하여 형성된 당접부로 이루어지며, 상기 당접부가 상기 기단 지지부로부터 주위에 플랜지상으로 넓혀 형성됨과 동시에, 그 중간부는 상방향으로 호형상을 갖고 외주연부를 하방향으로 접어 형성되며, 상기 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 당접된 상태로 상기 중간부가 덮개측 또는 본체측에 내리누르는 것으로, 상기 당접부가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 밀착되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 당접부의 중간부는 상방향으로 호형상을 갖고, 외주연부를 하방향으로 접어 형성했으므로, 중간부가 덮개측 또는 본체측에 압압되는 것으로, 당접부가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 밀착된다. 따라서, 가스켓이 휘어져 있는 경우에서도 그 외주연부를 용기본체측 또는 덮개측으로 확실히 밀착시킬 수 있다.

제9의 발명에 따른 박판지지용기는 제8의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 가스켓의 기단 지지부의 상측면의 내측에 설치되며, 상방향으로 연장하여 덮개측 또는 용기본체측에 당접하는 실링편과 상기 실링편의 외측에 설치되어 실링편의 탄성변형(彈性變形)을 흡수하는 환상홈(annular groove)을 설치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 실링편이 덮개측 또는 용기본체측에 당접하며, 이 실링편의 당접에 의한 탄성변형을 환상홈이 흡수한다.

제10의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 용기본체의 저판부를 상기 용기본체 내에 수납된 박판의 하단과 3mm 정도의 극간으로 설정한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 용기본체의 저판부와 용기본체 내에 수납된 박판의 하단과의 극간을 3mm 정도로 설정했으므로, 용기본체를 소형화할 수 있다.

제11의 발명에 따른 박판지지용기는, 제10의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 용기본체의 저판부와 그 내부에 수납된 박판의 하단과의 극간을 줄인 분만큼 상기 용기본체의 높이를 줄인 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 상기 용기본체의 저판부와 그 내부에 수납된 박판의 하단과의 극간을 줄인 분만큼 상기 용기본체의 높이를 줄였으므로, 박판지지용기를 소형화할 수 있다. 따라서, 곤포(梱包)했을 때, 박판지지용기의 저부와 곤포상자와의사이의 완충재를 두껍게 할 수 있어서, 낙하 등의 충격에 대한 충격흡수 능력이 큰 폭으로 향상된다.

제12의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 갖추게 되는 박판지지용기에 있어서, 반송기계용의 톱플랜지 또는 작업자가 잡기위한 핸들의 한쪽 또는 양쪽을 상기 용기본체에 착탈 가능하게 지지하는 착탈 기구를 구비하며, 상기 착탈기구가 상기 용기본체와 상기 톱플랜지 또는 핸들의 2개의 부재를 서로 접동 가능하게 지지하는 접동지지수단과, 상기 접동지지수단으로 접동 가능하게 지지된 2개의 부재를 서로 어긋나지 않게 계지하는 계지수단을 구비하며, 상기 접동지지수단이 한쪽의 부재에 설치된 지지부와, 다른 한쪽의 부재에 설치되어 상기 지지부에 앞측으로부터 안쪽부까지 삽입되는 접동부로 이루어지며, 상기 계지수단이 한쪽 또는 다른 한쪽의 부재에 설치된 계지용 돌기와, 다른 한쪽 또는 한쪽의 부재에 설치된 계지용걸이로 이루어지며, 상기 계지용걸이가 상기 계지용 돌기에 당접하는 당접부와, 상기 당접부를 지지하는 지지봉부로 되며, 상기 지지봉부가 상대 부재의 의 방향으로 그리고 상기 접동지지수단의 앞측으로 향하여 연장시켜 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 지지봉부를 상대 부재 방향으로 그리고 동시에 접동지지 수단의 앞측으로 향하여 연장시켜 형성했으므로, 톱플랜지 등이 빠지는 방향으로 강한 힘이 가해졌을 경우, 지지봉부가 지탱하여 톱플랜지 등의 누락을 억제한다.따라서, 톱플랜지 등에 강한 충격이 가해져도, 떨어져 나가지 않게 된다.

제13의 발명에 따른 박판지지용기는 제12의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 계지용 걸이의 당접부가 상기 지지봉부의 기단부에서 상대 부재측에 설치된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 계지용 걸이의 당접부를 지지봉부의 기단부에서 상대 부재측에 설치했으므로, 당접부는 계지용 돌기에 깊게 파고들어 갈 방향으로 압압되게 된다. 따라서 충격 등에 의한 강한 힘이 가해져도, 당접부가 계지용 돌기로부터 떨어져 나가는 일이 없게 된다.

제14의 발명에 따른 박판지지용기는 제12 또는 제13의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 접동지지수단의 지지부 및 접동부가 병렬로 2개씩 설치되며, 앞측에서의 이들의 간격을 좁게, 안측을 넓게 설정한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 앞측을 좁고, 안측을 넓게 설정했으므로, 접동부를 지지부로 용이하게 감합시킬 수 있다.

제15의 발명에 따른 박판지지용기는 제12 내지 제14의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 접동지지수단에 지지된 2개의 부재의 상호 접동을 안내하여 접동방향과 직교할 방향의 위치를 결정하는 안내 레일을 설치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 안내 레일에 안내되며, 접동지지수단에 지지된 2개의 부재를 용이하게 착탈시킬 수 있다.

제16의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 덮개에 상기 덮개를 용기본체에 고정하는 레칫 기구가 설치되며, 상기 레칫 기구는 상기 용기본체측에 계지하여 상기 덮개를 상기 용기본체에 고정하는 제1완부와, 상기 덮개에 회동 가능하게 지지됨과 동시에 상기 제1완부를 회동 가능하게 지지하는 제2완부로 이루어지며, 상기 제1완부는 그 기단부에 설치되어 상기 용기본체측에 당접하는 계지용 걸이와, 선단부에 설치되어 상기 제1및 제2완부가 한도까지 회동한 상태로 상기 덮개의 횡방향에 위치하는 파지부(把持部)로 이루어지며, 상기 제2완부는 상기 제1완부를 한도까지 회동시킨 상태로 그 기단부의 계지용 걸이가 용기본체에 접촉하지 않는 위치까지 회동하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 덮개를 용기본체에 장착할 때는 제1완부의 파지부를 손으로 잡고 덮개를 들어올리며 용기본체의 상측으로부터 덮는다. 이 때, 파지부는 제1및 제2완부가 한도까지 회동한 상태로 덮개의 횡방향에 위치하여, 용이하게 들어 올려 용기본체에 덮을 수 있다. 또한, 파지부를 손으로 잡은 채로, 하방향으로 압압한다. 따라서, 제1완부의 기단부의 계지용 걸이가 용기본체측에 당접해, 덮개를 용기본체에 고정한다. 덮개를 용기본체로부터 떼어낼 때는, 제1완부의 파지부를 손으로 잡고 양측으로 연다. 따라서, 제1완부의 기단부의 계지용 걸이가 용기본체측으로부터 벗어나 덮개의 고정이 풀린다. 이 상태에서 파지부를 잡고 덮개를 들어 올린다. 이 때, 제2완부는 제1완부를 한도까지 회동시킨 상태로 그 기단부의 계지용 걸이가 용기본체에 접촉하지 않는 위치까지 회동하기 때문에, 덮개를 용이하게 떼어낼 수 있다. 따라서, 덮개의 착탈을 용이하게 실시할 수 있다.

제17의 발명에 따른 박판지지용기는 제16의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 제1완부가 상기 제2완부에 대해서 90° 열리며, 상기 제2완부가 상기 용기본체에 대해서 35° 열리는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 파지부는 덮개의 횡방향의 잡기 쉬운 위치로 지지되며, 계지용 걸이는 용기본체에 접촉하지 않는 위치까지 열린다.

제18의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며, 상기 박판 누름부재에 상기 박판을 1매씩 감합하여 지지하는 감합홈이 설치되며, 상기 감합홈이 박판의 주연을 끼워 넣도록 예각으로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 박판 누름부재에 박판을 1매씩 감합하여 지지하는 감합홈이 설치되며, 감합홈은 박판의 주연을 끼워 넣도록 예각으로 형성되었으므로, 박판지지용기에 강한 충격이 가해졌을 경우에도 예각의 감합홈이 박판의 주연을 끼워 넣어, 박판의 회전을 억제하여 확실히 지지할 수 있다.

제19의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며, 상기 박판 누름부재가 병렬로 다수 배치 및 설치된 상기 박판의 주연부에 당접하여 각 박판을 일정 간격을 비워 1매씩 지지하는 누름띠를 구비하며, 상기 누름띠가 상기 박판의 주연을 따라 파형(波形)으로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 누름띠를 박판의 주연을 따라 파형으로 형성했으므로, 박판이 어긋나도 누름띠의 사이로 비집고 들어가는 일이 없게 된다.

제20의 발명에 따른 박판지지용기는 내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서, 횡으로 둔 상태의 상기 용기본체의 저부에 전체의 위치를 결정하는 본체 위치결정수단이 설치되며, 상기 본체 위치결정수단이 상기 용기본체의 저부의 3곳에 3방향을 향하여 설치되는 V자 홈을 구성하는 V자 홈판편과 상기 V자 홈판편을 지지하는 지지대를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 본체 위치결정수단의 지지대에 별도부로서 V자 홈판편을 달았으므로, 상대측의 돌기의 재질에 맞춘 재질의 V자 홈판편을 용이하게 장착할 수 있다.

제21의 발명에 따른 박판지지용기는 제20의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 V자 홈판편이 표면의 마찰 저항이 작은 재료로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 표면의 마찰 저항이 작은 재료로 이루어진 V자 홈판편에 상대측의 돌기가 감합했을 경우, V자 홈판편과 돌기가 서로 부드럽게 미끄러져, 정확한 위치로 이동한다. 따라서 정확한 위치가 결정된다.

제22의 발명에 따른 박판지지용기는 제20 또는 제21의 발명에 따른 박판지지용기에 있어서, 상기 V자 홈판편이 상기 지지대에 착탈 가능하게 장착된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, V자 홈판편을 지지대에 착탈 가능하게 장착했으므로, 상대측의 돌기의 재질 등에 따라 용이하게 바꿀 수 있다.

[발명의 실시형태]

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 본 발명의 박판지지용기는 반도체 웨이퍼, 기억 디스크, 액정 유리 기판 등의 박판을 수납, 보관, 수송 및 제조 공정에서 사용하는 용기로 이용하기에 매우 적합한 용기이다. 본 실시형태에서는 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판지지용기를 예로 설명한다.

본 실시형태에 따른 박판지지용기(1)는 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 내부에 반도체 웨이퍼(S, 도 16 참조)를 복수매 수납하는 용기본체(2)와 이 용기본체(2) 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어, 내부에 수납된 반도체 웨이퍼(S)를 양측으로부터 지지하는 2개의 홈판(3)과, 용기본체(2)의 개구(2F)를 덮는 덮개(4)와, 반송 장치(도시하지 않음)의 완부에서 파지되는 톱플랜지(5)와,작업자가 손으로 박판지지용기(1)를 운반할 때 잡는 운반용 핸들(6)로 구성된다.

용기본체(2)는 전체가 거의 입방체상으로 형성된다. 이 용기본체(2)는 종으로 둔 상태(저판부(2E)를 아래로 한 상태)로, 주위의 벽이 되는 4개의 측벽부(2A, 2B, 2C, 2D)와 저판부(2E)로 구성되며, 그 상부에 개구(2F)가 설치된다. 각 측벽부(2A, 2B, 2C, 2D)에는 보강용 리브(9) 등이 설치된다. 이 용기본체(2)는 반도체 웨이퍼(S)의 제조 라인 등에 있어서 웨이퍼 반송용 로보트(도시하지 않음)에 대향하여 고정시켜질 때는 재치대(載置臺)의 위에 정확하게 위치가 결정되어 횡으로 둔(도 2의 상태) 상태로 된다. 이 횡으로 둔 상태에서 저부가 되는 측벽부 (2A)의 외측에는 박판지지용기(1)의 본체 위치결정수단(11)이 설치된다. 횡으로 둔 상태에서 천정부가 되는 측벽부(2B)의 외측에는 톱플랜지(5)가 착탈 기구(12)에 의해 착탈이 가능한 상태로 장착된다. 횡으로 둔 상태에서 옆벽부가 되는 측벽부(2C, 2D)의 외측에는 운반용 핸들(6)이 착탈기구(12)에 의해 착탈 가능한 상태로 장착된다.

본체 위치결정수단(11)은 도 3에 나타낸 바와 같이, V자홈 형상의 3개의 감합홈(13)에 의해 구성된다. 각 감합홈(13)은 용기본체(2)의 종방향에 정합(整合)하는 제1감합홈(13A)과, 용기본체(2)의 종방향에 대해 같은 각도(거의 60도) 만큼만 경사시킨 제2 및 제3감합홈(13B, 13C)으로 구성된다. 이들 3개의 감합홈(13)은 규격에 맞춰 정밀한 크기로 설정된다. 이 본체 위치결정수단(11)의 각 감합홈(13A, 13B, 13C)이 반도체 제조공정 내의 재치대의 감합 돌기(도시하지 않음)에 감합하는 것에 의해, 박판지지용기(1)가 정확한 위치에 재치되며, 웨이퍼 반송용 로보트로 반도체 웨이퍼(S)가 출납되게 된다.

각 감합홈(13)은 도 3∼8에 나타낸 바와 같이, V자 홈판편(15)과 지지대(16)로 구성된다.

V자 홈판편(15)은 감합홈(13)을 구성하기 위한 부재이다. V자 홈판편(15)은 틀(17)과 경사판(18)과 계지용 걸이(19)로 구성된다.

틀(17)은 경사판(18) 및 계지용 걸이(19)를 지지하기 위한 부재이다. 틀(17)은 후술할 지지대(16)의 감합용 노치(21C)에 감합하게 직사각형상으로 형성된다. 틀(17)의 직사각형의 긴 변 방향의 양측에는 후술할 지지대(16)의 단부 지지판(22)에 감합하여 감합용 노치(21C)로의 감합과 더불어, 전체를 안정하여 지지하기 위한 지지판감합용 노치(17A)가 설치된다. 경사판(18)은 감합홈(13)의 경사면을 구성하기 위한 부재이다. 이 경사판(18)은 틀(17)에 2개 설치된다. 경사판(18)의 기단부가 틀(17)에 고정된 상태로, 내측 하방향으로 향하여 연장시켜 구성된다. 경사판(18)은 지지대(16)에 장착된 상태로, 그 상측표면(도 6의 상측 면)이 소정의 크기로 되도록, 지지대(16)와의 관계에서 판압이 정확하게 설정된다. V자 홈판편(15)은 표면의 마찰 저항이 작은 재료로 구성되며, 반도체 제조 공정 내의 재치대의 감합 돌기가 감합했을 때에 부드럽게 미끄러져 박판지지용기(1)의 정확한 위치 결정이 가능하게 된다. 이 재료로서는, PBT 등이 이용된다.

계지용 걸이(19)는 V자 홈판편(15)을 지지대(16)에 고정하기 위한 부재이다. 계지용 걸이(19)는 경사판(18)의 중앙부로부터 내측 하방향으로 향하여 연장시켜 구성된다. 계지용 걸이(19)의 선단부는 수직방향으로 접어 구성되며, 그 선단의 걸이부(19A)는 후술할 지지대(16)의 계지용 돌기(23)에 계지하게 된다. 따라서, V자홈판편(15)은 지지대(16)에 착탈 가능하게 장착된다. 더욱이 반도체 제조 공정 내의 재치대의 감합 돌기의 재질에 맞춘 재질(미끄러지기 쉬운 재질)의 V자 홈판편(15)이 선택적으로 장착된다. 따라서, 상대측의 감합 돌기와 V자 홈판편(15)이 서로 부드럽게 미끄러져, 정확한 위치 결정이 가능하게 된다.

지지대(16)는 V자 홈판편(15)을 지지하기 위한 부재이다. 이 지지대(16)는 경사 지지판(21)과 단부 지지판(22)과 계지용 돌기(23)로 구성된다.

경사 지지판(21)은 V자 홈판편(15)의 경사판(18)의 위치를 정확하게 결정해 지지하기 위한 부재이다. 평면コ자형의 판편을 4개 나열하여 구성되며, 그 내측의 V자 홈을 따라 형성한 경사면(21A)은 V자 홈판편(15)의 경사판(18)에 직접적으로 접촉하여 지지하는 면이 된다. 이 경사면(21A)에 지지된 V자 홈판편(15)의 경사판(18)의 상측표면이 소정의 크기가 되게 경사면(21A)의 크기가 정확하게 설정된다. 이 경우, 반도체 제조 공정 내의 재치대의 감합 돌기는 주로 각 경사판(18)의 선단 부분에서 접촉하기 때문에, 평면コ자형의 경사면(21A)의 내측부분(21B)이 보다 정확한 크기로 마무리된다. 경사 지지판(21)의 상단부에는 감합용 노치(21C)가 설치된다. 이 감합용 노치(21C)는 V자 홈판편(15)의 틀(17)이 감합하기 위한 노치이다. 8개의 감합용 노치(21C)에 의해, V자 홈판편(15)이 지지되게 된다.

단부 지지판(22)은 경사 지지판(21)의 감합용 노치(21C)에 감합된 V자 홈판편(15)의 긴 변 방향의 양측을 지지하기 위한 부재이다. 이 단부 지지판(22)은 세워진 판 모양으로 형성되어, 경사 지지판(21)의 양단부에 각각 설치된다. 이 단부 지지판(22)의 상단부가 V자 홈판편(15)의 틀(17)의 지지판 감합용 노치(17A)에 감합하는 것으로, V자 홈판편(15)의 긴 변 방향의 엇갈림을 억제하여, V자 홈판편(15)을 안정하여 지지하게 된다.

계지용 돌기(23)는 V자 홈판편(15)을 지지하기 위한 부재이다. 계지용 돌기(23)는 각 경사 지지판(21)의 사이의 중앙부에 설치된다. 계지용 돌기(23)는 그 상단부가 확대되며, V자 홈판편(15)의 계지용 걸이(19)의 걸이부(19A)가 계지되게 된다.

톱플랜지(5)는 도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(25)와 본체부 (26)로 구성된다. 플랜지부(25)는 반송 장치의 완부(도시하지 않음)로 파지되기 위한 부재이다. 공장 내 등에 있어서, 톱플랜지(5)가 반송 장치의 완부(腕部)에서 잡히고, 박판지지용기(1)가 반송된다. 본체부(26)는 플랜지부(25)를 지지하여 용기본체(2)에 장착하기 위한 부재이다. 본체부(26)의 이면에는 후술할 착탈 기구(12)의 한쪽 부재가 설치된다.

용기본체(2)의 측벽부(2B)의 중앙부에는 톱플랜지(5)를 착탈 가능하게 달기 위한 착탈 기구(12)의 다른 한쪽 부재가 설치된다. 착탈 기구(12)는 도 1, 도 11∼15에 나타낸 바와 같이 구성된다. 구체적으로는, 접동지지수단(27)과 계지수단(28)과 안내 레일(29)로 구성된다.

접동지지수단(27)은 용기본체(2)와 톱플랜지(5)를 서로 접동 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 접동지지수단(27)은 용기본체(2)측에 설치된 지지부(30)와 톱플랜지(5)측에 설치되어 지지부(30)에 앞측으로부터 안쪽부(도 11중의 우측에서 좌측의 단부)까지 삽입되는 접동부(31)로 구성된다. 지지부(30)는 용기본체(2)의 측벽부(2B)의 외측 표면에, 병렬로 2개 설치된 레일부재에 의해 구성된다. 이 레일 부재에는 외측방향(2개의 레일부재가 서로 등지는 방향)으로 개방한 홈이 설치된다. 접동부(31)는 톱플랜지(5)의 본체부(26) 중 상기 지지부(30)에 대응하는 위치에 각각 설치된 레일부재에 의해 구성된다. 이 레일부재에는 내측 방향으로 개방한 홈이 설치된다. 이들 지지부(30) 및 접동부(31)는 앞측(도 11 중의 우측)에서의 이들의 간격을 좁게, 안측을 넓게 하며, ハ자 모양으로 설정된다. 따라서, 접동부(31)가 지지부(30)에 용이하게 감합할 수 있게 된다.

계지 수단(28)은 접동지지수단(27)으로 접동 가능하게 지지된 용기본체(2)와 톱플랜지(5)를 서로 어긋나지 않게 계지하기 위한 부재이다. 계지 수단(28)은 용기본체(2)측에 설치된 계지용 돌기(33)와 톱플랜지(5)측에 설치된 계지용 걸이(34)로 구성된다. 계지용 돌기(33)는 측벽부(2B)에 2개 설치된다. 각 계지용 돌기(33)는 2개의 지지부(30)의 각 양단부 사이의 중앙에 각각 설치된다. 각 계지용 돌기(33)는 안측(도 11중의 좌측)에 향한 면이 수직 당접면이 되어, 계지용 걸이(34)를 앞측(도 11중의 우측)으로 어긋나지 않게 지지한다.

계지용 걸이(34)는 계지용 돌기(33)에 계지하여 톱플랜지(5)가 빠져나가지 않게 하기 위한 부재이다. 계지용 걸이(34)는 톱플랜지(5)의 본체부(26)에 2개 설치된다. 구체적으로는 안측 계지용 걸이(34A)와 앞측 계지용 걸이(34B)가 설치된다. 안측 계지용 걸이(34A)는 안측의 계지용 돌기(33)에 당접하는 당접부(36)와 이 당접부(36)를 지지하는 지지봉부(37)로 구성된다. 당접부(36)는 앞측으로 향한 면이 수직 당접면이 되어 계지용 돌기(33)에 당접하며, 톱플랜지(5)를 앞측으로 어긋나지 않도록 지지한다. 지지봉부(37)는 용기본체(2)측으로 그리고 안측으로 향하여 연장시켜 형성된다.

앞측 계지용 걸이(34B)는 앞측의 계지용 돌기(33)에 당접하는 당접부(38)와 이 당접부(38)를 지지하는 지지봉부(39)로 구성된다. 당접부(38)는 앞측으로 향한 면이 수직 당접면이 되어 계지용 돌기(33)에 당접하며, 계지용 걸이(34B)를 앞측으로 어긋나지 않게 지지한다. 지지봉부(39)는 용기본체(2)측에 그리고 앞측으로 향하여 연장시켜 형성된다. 이 지지봉부(39)에 의해 당접부(38)가 지지봉부(39)의 기단부에서 용기본체(2)측에 설치된다. 따라서 톱플랜지(5)에 대해 빠져나가는 방향으로 힘이 가해졌을 경우에 당접부(38)가 계지용 돌기(33)에 깊게 파고든 방향으로 압압되게 된다. 따라서 충격 등에 의해 강한 힘이 가해져도, 당접부(38)가 계지용 돌기(33)로부터 빗나가는 것을 확실히 방지한다. 따라서 지지봉부(39)가 지탱하여 톱플랜지(5)의 누락을 억제한다.

안내레일(29)은 접동지지수단(27)으로 용기본체(2)에 지지된 톱플랜지(5)의 접동을 안내하며, 접동방향과 직교할 방향의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 이 안내레일(29)은 감합 레일부(29A)와 피감합레일(29B)로 구성된다. 감합 레일부(29A)는 1개의 레일부재로 구성되며 용기본체(2)의 측벽부(2B) 중 2개의 지지부(30)의 내측에 2개 설치된다. 피감합 레일(29B)은 감합 레일부(29A)를 양측으로부터 끼우는 2개의 레일 부재로 구성되며, 감합 레일부(29A)에 대향하는 톱플랜지(5)측에 설치된다. 감합 레일부(29A) 및 피감합 레일(29B)은 평행하게 설치된다. 따라서 감합 레일부(29A)가 피감합 레일(29B)에 감합하며, 톱플랜지(5)의 앞측으로부터 안측으로의 접동, 안측으로부터 앞측으로의 접동을 지지하며, 톱플랜지(5)를 용기본체(2)에 대해 용이하게 착탈시킬 수 있게 된다.

핸들(6)은 도 2, 3에 나타낸 바와 같이, 2개의 파지봉부(41, 42)를 구비하여 구성된다. 각 파지봉부(41, 42)는 서로 다른 각도로 설정된다. 따라서 박판지지용기(1)를 종으로 하여 들거나 횡으로 하여 들거나 할 때, 2개의 파지봉부(41, 42)를 선택하여 잡는다. 각 파지봉부(41, 42)의 각도는 박판지지용기(1)를 종으로 하여 들 경우에의 최적 각도와 횡으로 하여 들 경우의 최적 각도로 설정된다. 구체적인 각도는 박판지지용기(1)의 크기, 무게 등의 여러 조건에 따라 적당하게 설정한다. 이 핸들(6)은 상기 착탈 기구(12)와 같은 구조의 착탈 기구에 의해 측벽부(2C, 2D)에 착탈 가능하게 장착된다.

저판부(2E)는 도 3, 16에 나타낸 바와 같이, 족부(44)와 덮판부(45)로 구성된다. 족부(44)는 용기본체(2)를 지지하기 위한 부재이다. 이 족부(44)는 저판부(2E)의 대향하는 2개의 변의 전체 폭에 걸쳐 형성된 철조(凸條)에 의해 구성된다. 덮개판부(45)는 용기본체(2) 내에 수납된 반도체 웨이퍼(S)의 하측부를 덮기 위한 부재이다. 이 덮판부(45)는 각 족부(44)의 사이에 하방향으로 만곡하여 설치된다. 덮판부(45)는 용기본체(2) 내에 수납된 반도체 웨이퍼(S)의 하단과의 극간t가 3mm 정도 되게 설정된다. 이것은 후술할 홈판(3)의 부착 정밀도 및 지지강성(地支剛性)이 향상됐기 때문에, 박판지지용기(1)의 낙하 등에 의한 강한 충격에 대해서도, 반도체 웨이퍼(S)를 충분한 강도로 지지하여 하방향으로의 엇갈림을 줄일 수 있게 되기 때문이다. 또한 저판부(2E)와 반도체 웨이퍼(S)의 하단과의 극간을 줄인분만큼, 용기본체(2)의 높이가 줄어 들어 소형화된다. 따라서 박판지지용기(1)를 곤포할 때, 박판지지용기(1)의 저부와 곤포 상자와의 사이의 극간이 커져 완충재를 두껍게 할 수 있어 낙하 등의 충격에 대한 충격 흡수 능력을 큰 폭으로 향상시킬 수 있게 된다.

용기본체(2)의 상단부에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개(4)가 감합하기 위한 덮개수용단부(47)가 설치된다. 이 덮개수용단부(47)는 용기본체(2)의 상단부를 덮개(4)의 크기까지 넓혀 형성된다. 따라서 덮개(4)는 덮개수용단부(47)의 수직판부(47A)의 안쪽에 감합하며, 수평판부(47B)에 당접하는 것으로, 덮개수용단부(47)에 장착되게 된다. 또한 수평판부(47B)에는 덮개(4)의 하측면에 장착되는 가스켓(80, 도 29 참조)이 당접하여 박판지지용기(1)의 내부를 밀봉하게 된다. 덮개수용단부(47)의 수직판부(47A)의 내측에는 반도체 제조 공정 내에서 이용되는 전용의 덮개(도시하지 않음)를 용기본체(2)측에 고정하기 위한 감합구멍(48)이 설치된다. 이 감합구멍(48)은 덮개수용단부(47)의 네 모서리에 설치된다. 또한 감합구멍(48)의 위치 및 형상은 반도체 제조 공정 내에서 이용되는 전용 덮개에 따라 적당하게 설정된다.

홈판(3)은 도 1, 도 16∼23에 나타낸 바와 같이, 용기본체(2) 내의 대향하는 측벽부(2C, 2D)에 각각 설치되어 내부에 수납된 반도체 웨이퍼(S)를 양측으로부터 지지하기 위한 부재이다. 홈판(3)은 용기본체(2) 내의 내측에 착탈 가능하게 장착된다. 홈판(3)은 주로 병렬로 일정 간격 비워 다수매 배치 및 설치되며, 각 반도체 웨이퍼(S)를 1매씩 사이에 두어 지지하는 판편(50)과 각 판편(50)이 병렬로 일정간격 비워 배치 및 설치된 상태로 이들을 일체적으로 지지하는 지지판부(51)로 구성된다.

판편(50)은 용기본체(2)의 안측으로부터 반도체 웨이퍼(S)의 출입구(개구 2F)측까지 연장하여 설치된다. 이 판편(50)은 그 안측으로부터 중간 위치까지를 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 따라 만곡시킴과 동시에, 중간 위치로부터 출입구측까지가 용기본체(2)측에 따라 형성된다. 판편(50) 중 그 안측 및 출입구측에는 반도체 웨이퍼(S)를 지지하는 박판 지지용 돌기(52)가 설치된다. 출입구측의 박판 지지용 돌기(52)는 판편(50)의 내측연과 반도체 웨이퍼(S)의 주연의 교점 부근에 설치된다. 이것은 박판 지지용 돌기(52)를 최대한 출입구측에 설치하여, 반도체 웨이퍼(S)를 안정하여 지지하기 위해서이다.

안측의 판편(50)의 사이에는 V자형 홈(53)이 설치된다. 이 V자형 홈(53)은 용기본체(2)를 종으로 둘 때, 반도체 웨이퍼(S)를 V자형 홈(53)의 홈저부로 움푹 들어가게 하여 중앙부로 지지하게 된다.

홈판(3)의 상부에는 손잡이(54)가 2개 설치된다. 이 손잡이(54)는 홈판(3)을 들어 올릴 때 잡는 부분이다. 손가락으로 2개의 손잡이(54)를 잡아 들어올린다.

상기 지지판부(51)는 각 판편(50)의 가장 안측(도 17 중의 좌측 하)과 중간과 입구측(도 17중의 우상부)의 3곳의 위치에 설치되며, 각 판편(50)을 일체적으로 지지한다.

홈판(3)은 상부 감합부(55)와 하부 감합부(56)로 용기본체(2) 내의 대향하는 각 측벽부(2C, 2D)에 착탈 가능하게 고정된다.

상부 감합부(55)는 홈판(3)의 상부를 용기본체(2)에 지지하기 위한 부재이다. 이 상부 감합부(55)는 상부 감합편(57)과 상부 피감합편(58)으로 구성된다. 상부 감합편(57)은 용기본체(2) 내의 대향하는 각 측벽부(2C, 2D)에 각각 설치된다. 각 측벽부(2C, 2D)의 상하방향의 중간 위치에 단부(59)가 설치되며, 이 단부(59)에 4개의 상부 감합편(57)이 설치된다. 이 상부 감합편(57)은 적어도 양단부에 2개 설치하면 충분하며, 홈판(3)의 크기 등에 따라 3개 또는 5개 이상 설치하는 경우도 있다. 상부 감합편(57)은 평면형상을 コ자형으로 형성한다. 이 コ자형의 상부 감합편(57)에는 당접면(57A)과 지지면(57B)이 설치된다. 당접면(57A)은 홈판(3)측에 당접하여 홈판(3)의 회동을 억제하면서 홈판(3)의 전후방향(도 20의 왼쪽 안측으로부터 오른쪽 앞측의 방향)의 위치를 결정하기 위한 부위로, 평탄면상으로 형성된다. 당접면(57A)이 기준이 되어 홈판(3)의 전후방향의 위치가 결정되기 때문에, 당접면(57A)은 정확한 위치 및 크기로 형성된다. 지지면(57B)은 당접면(57A)을 홈판(3)측에 당접시킨 상태로, 그 접촉상태를 지지하기 위한 부위이다.

상부 피감합편(58)은 상부 감합편(57)과 감합하여 홈판(3)의 전후방향의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 상부 피감합편(58)은 홈판(3) 중 상부 감합편(57)에 대향하는 위치에 설치된다. 구체적으로는 피당접면(58A)과 피지지면(58B)으로 구성된다. 피당접면(58A)은 상부 감합편(57)의 당접면(57A)에 당접하여 홈판(3)의 회동을 억제하면서 홈판(3)의 전후방향의 위치를 결정하기 위한 부위이다. 이 피당접면(58A)은 평탄면상으로 형성되며, 상부 감합편(57)과의 사이에서의 회동을 억제하게 된다. 피당접면(58A)은 홈판 (3) 중 감합편(57)의 당접면(57A)에 대응하는 위치에 설치된 철조(61)의 선단에 형성된다. 이 철조(61)의 당접면(58A)은 상부 감합편(57)의 당접면(57A)에 당접하며, 홈판(3)의 전후방향의 위치를 결정하게 된다. 여기에서는 2개의 철조(61)가 1개의 상부 감합편(57)의 당접면(57A)에 당접하게 된다. 철조(61)의 형상으로 한 것은 성형(成形) 시의 작업을 손쉽게 하며, 크기의 정밀도를 향상시키기 위해서이다.

피지지면(58B)은 상부 감합편(57)의 지지면(57B)에 당접하는 것으로, 피당접면(58A)을 상부 감합편(57)의 당접면(57A)에 당접시킨 상태로 지지하기 위한 부재이다. 피지지면(58B)은 복수의 지지판편(62)으로 홈판(3)측에 지지된 띠모양의 판재(63)의 이면에 형성된다. 판재(63)의 전부분이 피지지면(58B)으로 되며, 어느 한 위치에서라도 지지면(57B)과 당접하여 홈판(3)을 지지할 수 있게 된다.

이와 같이, 지지면(57A, 57B)으로 지지된 상태로, 당접면(57A, 58A)이 서로 당접하는 것으로, 홈판(3)의 지지부의 회동에 의한 홈판(3)의 휘어짐 등의 변형이 억제되며, 홈판(3)의 전후방향의 정확한 위치를 결정할 수 있게 된다. 또한 상부 감합부(55)에서는 홈판(3)의 전후방향의 위치만을 결정한다. 다른 방향으로의 위치결정은 하부 감합부(56)에 의한다.

하부 감합부(56)는 홈판(3)의 하부를 용기본체(2)측에 지지하기 위한 부재이다. 하부 감합부(56)는 홈판(3)의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 위치결정수단(65)과 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 위치결정수단(66)과 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 위치결정수단(67)으로 구성된다. 이들 수단이 함께 작용하여 홈판(3)의 하부를 상하좌우 전후방향으로 정확하게 위치하게 하며, 상부 감합부(55)와도 함께 작용하여 홈판(3)이 용기본체(2)에 정확하게 위치하게 고정한다.

상하방향 위치결정수단(65)은 상하방향 지지편(68)과 하부판부(69)로 구성된다.

상하방향 지지편(68)은 용기본체(2) 내의 대향하는 각 측벽면(2C, 2D)의 하부에 설치되며, 홈판(3)의 하부에 감합함과 동시에 그 하단부에 당접해 홈판(3)의 상하방향의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 상하방향 지지편(68)은 홈판(3)에 감합하는 감합용 노치(68A)를 구비하여 구성된다. 감합용 노치(68A)는 그 상하방향의 크기가 정확하게 설정되며, 홈판(3)의 상하방향 위치를 정확하게 결정하게 된다.

하부판부(69)는 상하방향 지지편(68)의 감합용 노치(68A)에 감합하는 것으로, 홈판(3)의 상하방향의 위치를 정확하게 결정하기 위한 부재이다. 하부판부(69)는 홈판(3)의 하부에 하방향으로 연장하여 설치된 판재에 의해 구성된다. 하부판부(69)의 하단면은 감합용 노치(68A)에 감합하여 직접적으로 접촉하는 부분이기 때문에, 그 상하방향의 크기가 정확하게 설정된다.

좌우방향 위치결정수단(66)은 노치(71)와 좌우방향 지지편(72)으로 구성된다.

노치(71)는 홈판(3)의 하부판부(69)에 하방향으로 개구(開口)한 노치로서 설치된다.

좌우방향 지지편(72)은 용기본체(2) 내의 대향하는 각 측벽면(2C, 2D)의 하부의 상하방향 지지편(68)의 사이에 설치되며, 홈판(3)의 하부의 노치(71)에 감합해 홈판(3)의 좌우방향의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 좌우방향 지지편(72)은노치(71)에 감합하는 쐐기모양으로 형성된다. 이 좌우방향 지지편(72)이 노치(71)에 감합하는 것으로, 홈판(3)의 좌우방향의 위치를 정확하게 결정한다.

전후방향 위치결정수단(67)은 전후방향 지지판편(73)에 의해 구성된다. 이 전후방향 지지판편(73)은 띠모양의 판재에 의해 구성된다. 이 띠모양의 판재로부터 이루어진 전후방향 지지판편(73)은 홈판(3)의 하부에 그 이면측으로 수평하게 연장하여 설치되며, 용기본체(2)의 각 측벽면(2C, 2D)의 하부에 당접하여 홈판(3)의 전후방향의 위치를 결정하게 된다.

홈판(3)의 하부에는 스토퍼(75)가 설치된다. 이 스토퍼(75)는 홈판(3)이 상방향으로 빠지는 것을 억제하기 위한 부재이다. 스토퍼(75)는 계지편(76)과 계지용 돌기(77)로 구성된다. 계지편(76)은 홈판(3)의 하단부에서 하방향으로 연장한 띠모양의 탄성판편(76A)과 이 탄성판편(76A)의 계지용 돌기(77)측에 설치된 계지용 걸이(76B)로 구성된다. 계지용 돌기(77)는 계지편(76)의 계지용 걸이(76B)에 계지하기 위한 부재이다. 각 측벽면(2C, 2D)의 상하방향 지지편(68)의 사이에 설치되는 계지편(76)의 계지용 걸이(76B)가 계지용 돌기(77)에 감합하는 것으로, 홈판(3)이 상방향으로 빠지지 않게 된다.

덮개(4)는 도 2 및 도 27∼30에 나타낸 바와 같이 구성된다. 이 덮개(4)는 상방향으로 개구한 접시 모양으로 형성된다.

덮개(4)와 용기본체(2)와의 사이에 가스켓(80)이 설치된다. 이 가스켓(80)은 기단 지지부(81)와 당접부(82)로 구성된다.

기단 지지부(81)는 덮개(4)측의 감합홈(4A)에 감합되어 전체를 지지하기 위한 부분으로, 단면형상이 거의 사다리꼴로 형성된다. 기단 지지부(81)의 상측면의 내측에는 실링편(83)과 환상홈(84)이 설치된다. 실링편(83)은 윗쪽으로 연장하고, 덮개(4)측에 당접하여 밀봉한다. 환상홈(84)은 실링편(83)의 외측에 설치되며, 실링편(83)의 탄성변형을 흡수한다.

당접부(82)는 기단 지지부(81)으로부터 주위에 플랜지 형상으로 넓혀져 형성된다. 당접부(82)의 단면형상은 그 중간부는 상방향으로(덮개(4)측) 호형상을 갖고, 외주연부를 하방향으로(용기본체(2)측) 접어 형성한다. 이 당접부(82) 중 상방향으로 호형상을 갖는 부분(82A)이 덮개(4)에 의한 압압부(押壓部)로 되며, 외주연부는 용기본체(2)측으로의 접촉부로 된다. 따라서, 외주연부가 용기본체(2)측에 당접된 상태로 중간의 압압부(押壓部)가 덮개(4)에 압압되며, 당접부(82)가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체측에 밀착되게 된다.

덮개(4) 중 용기본체(2)의 각 측벽면(2C, 2D)에 면하는 변에는 레칫 기구(86)가 설치된다. 이 레칫 기구(86)는 덮개(4)를 용기본체(2)에 고정하기 위한 기구이다. 레칫 기구(86)는 제1완부(87)와 제2완부(88)로 구성된다. 제1완부(87)는 용기본체(2)측의 받이부(도시하지 않음)에 직접 계지하여 덮개(4)를 용기본체(2)에 고정하기 위한 부재이다. 제2완부(88)는 덮개(4)에 회동 가능하게 지지됨과 동시에 제1완부(87)를 회동 가능하게 지지하기 위한 부재이다.

제1완부(87)는 계지용 걸이(90)와 파지부(91)를 구비한다. 계지용 걸이(90)는 기단부에 설치되어 용기본체(2)측의 받이부에 당접하며, 덮개(4)를 용기본체 (2)측에 고정한다. 파지부(91)는 덮개(4)를 들어올리기 위한 부재이다. 이파지부(91)는 제1완부(87)의 선단부에 손으로 잡기 쉬운 형상으로 형성되어 설치된다. 제1 및 제2완부(88)는 그들이 한도까지 회동한 상태로, 파지부(91)가 덮개(4)의 횡방향의 잡기 쉬운 위치로 보관 유지되게 설정된다. 또한 제1 및 제2완부(88)는 한도까지 회동한 상태로, 제1완부(87)의 기단부의 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)에 접촉하지 않게 설정된다. 구체적으로는, 제1완부(87)가 제2완부 (88)에 대해 90˚ 열리며, 제2완부(88)가 용기본체(2)에 대해 35˚ 열리게 설정된다. 제1완부(87)는 L자형의 제2완부(88)에 기단부가 축지된 상태로, 선단측이 당접하여 90˚로 지지된다. 제2완부(88)는 스토퍼(92)로 35˚로 지지된다.

덮개(4)의 이면에는 박판 누름부재(94)가 설치된다. 이 박판 누름부재(94)는 덮개(4)가 용기본체(2)에 장착되었을 때, 용기본체(2) 내에 수납된 반도체 웨이퍼(S)의 상부를 눌러 지지하기 위한 부재이다.

박판 누름부재(94)는 도 24∼26에 나타낸 바와 같이, 거의 직사각형으로 형성된다. 이 박판 누름부재(94)의 긴 변 방향의 양단부와 중앙부가 덮개(4)의 이면에 고정되며, 그 사이가 누름부(95)로 된다. 누름부(95)는 반도체 웨이퍼(S)를 그 상부로부터 탄성적으로 눌러 지지하기 위한 부재로 병렬로 다수 배설된 누름띠(96)에 의해 구성된다. 누름띠(96)는 탄성을 갖는 부재로 하방향으로 만곡시켜 형성된다. 또한 누름띠(96)는 그 평면형상(도 25의 상태의 형상)을 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 따라 파형으로 만곡시켜 형성하며, 반도체 웨이퍼(S)가 누름띠(96)의 극간에 들어가지 않게 된다.

누름띠(96)의 측면형상은 하측을 향한 산모양으로 형성된다. 이 산모양의 부분 중 2개의 정점 위치에는 반도체 웨이퍼(S)를 1매씩 감합시켜 일정 간격을 비워 지지하는 감합홈(97)이 설치된다. 감합홈(97)은 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 사이에 끼워넣도록 예각으로 형성된다.

［동작］

이상과 같이 구성된 박판지지용기(1)는 다음과 같이 사용된다.

용기본체(2) 내에 반도체 웨이퍼(S)가 다수매 삽입되어 덮개(4)가 장착된 상태로, 반도체 제조 공장 등에 반송된다. 반도체 제조 공장 등에 반입된 박판지지용기(1)는 덮개(4)가 떼어지며, 반도체 제조 공장 등에서의 전용의 덮개로 바꿔 끼워져, 제조 공정에 반입된다.

이 때, 용기본체(2) 내에 장착된 홈판(3)은 그 상부가 상부 감합부 (55)에 의해 지지된다. 상부 감합편(57)에 홈판(3)의 상부 피감합편(58)을 감합시킨다. 따라서 상부 감합편(57)의 지지면(57B)과 상부 피감합편(58)의 피지지면(58B)이 당접한 상태로, 당접면(57A)에 피당접면(58A)이 당접하는 것으로, 홈판(3)의 상부가 용기본체(2)측에 확실히 지지된다. 따라서 홈판(3)은 지지부분에서 회동하는 것이 없어져 확실히 지지됨과 동시에, 홈판(3)의 전후방향의 위치가 결정된다. 따라서 홈판(3)의 휘어짐 등의 변형이 억제되며, 홈판(3)은 정확한 위치에서 지지된다.

홈판(3)의 하부는 하부 감합부(56)에 의해 지지된다.

우선, 상하방향 위치결정수단(65)으로 홈판(3)의 상하방향의 위치를 결정한다. 상하방향 위치결정수단(65)의 하부판부(69)의 하단면이 상하방향 지지편 (68)의 감합용 노치(68A)에 감합해, 홈판(3)의 상하방향을 위치를 정확하게 결정한다.

이 때, 좌우방향 위치결정수단(66)의 홈판(3)측의 노치(71)가 용기본체(2)측의 좌우방향 지지편(72)에 감합해, 홈판(3)의 좌우방향의 위치를 결정한다.

또한, 전후방향 위치결정수단(67)의 전후방향 지지편(73)이 용기본체(2)의 측벽면(2C, 2D)의 하부에 당접해, 홈판(3)의 전후방향의 위치를 결정한다.

이 때, 스토퍼(75)의 계지편(76)이 계지용 돌기(77)에 감합해, 홈판(3)이 상방향으로 빠져나가지 않게 지지한다.

따라서 상부 감합부(55) 및 하부 감합부(56)로 홈판(3)의 위치를 정확하게 결정해, 용이하게 고정할 수 있다. 홈판(3)을 떼어낼 때는 계지편(76)을 앞으로 당기고 홈판(3)을 윗쪽으로 비켜 놓는다. 따라서 홈판(3)을 용이하게 떼어낼 수 있다.

또한, 홈판(3)의 판편(50)을 그 안측으로부터 중간 위치까지를 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 따라 만곡시킴과 동시에, 중간 위치에서 출입구측까지를 용기본체(2)측에 따라 형성했으므로, 반도체 웨이퍼(S)를 용기본체(2)에 대해 부드럽게 출납시킬 수 있음과 동시에, 반도체 웨이퍼(S)의 판편(50)에의 접촉을 방지할 수 있다.

판편(50)의 안측 및 출입구 측에 반도체 웨이퍼(S)를 지지하는 박판 지지용 돌기(52)를 설치하며, 출입구측의 박판 지지용 돌기(52)를 판편(50)의 내측연과 반도체 웨이퍼(S)의 주연의 교점 부근에 설치했으므로, 용기본체(2) 내에 삽입된 반도체 웨이퍼(S)를 안정하여 지지할 수 있다.

덮개(4)의 가스켓(80)은 덮개(4)가 용기본체(2)에 장착된 상태로,당접부(82)의 상방향으로 호형상을 갖는 부분(82A)이 덮개(4)로 밀리며, 당접부(82)가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체(2)측에 밀착한다. 따라서 가스켓(80)이 휘며, 그 상태에서는 용기본체(2)측과의 사이에 극간이 생기는 경우에서도, 그 외주연부를 용기본체(2)측으로 확실히 밀착시킬 수 있다. 따라서 가스켓(80)과 용기본체(2)와의 사이를 밀봉한다.

또한, 기단 지지부(81)에 있어서는, 실링편(83)이 덮개(4)측에 당접함과 동시에, 이 실링(83)의 당접에 의한 탄성변형을 환상홈(84)에서 흡수해, 가스켓(80)과 덮개(4)와의 사이를 밀봉한다. 또한 당접부(82)의 상방향으로 호형상을 갖는 부분(82A)도 덮개(4)에 밀착해, 가스켓(80)과 덮개(4)와의 사이를 밀봉한다.

용기본체(2)의 덮판부(45)와 용기본체(2) 내에 수납된 반도체 웨이퍼(S)의 하단과의 극간을 3mm 정도로 설정했으므로, 용기본체(2)가 소형화된다. 이 용기본체(2)가 소형화되면 박판지지용기(1)자체가 소형화된다. 따라서 곤포하였을 때, 박판지지용기(1)의 저부와 곤포상자와의 사이의 극간이 커지게 된다. 이 때문에 간격이 넓은 극간의 완충재를 두껍게 할 수가 있어 낙하 등의 충격에 대한 충격 흡수 능력을 큰 폭으로 향상시킬 수 있다.

톱플랜지(5) 및 운반용 핸들(6)을 지지하는 착탈 기구(12)에서는 톱플랜지(5) 등을 장착할 때, 감합 레일부(29A)에 피감합 레일(29B)을 감합시키고, 지지부(30)에 접동부(31)을 감합시키며, 톱플랜지(5) 등을 안측에 살짝 밀어넣는다. 따라서 안측 계지용 걸이(34A)의 당접부(36)가 계지용 돌기(33)에 계지함과 동시에, 앞측 계지용 걸이(34B)의 당접부(38)가 계지용 돌기(33)에 계지한다. 따라서톱플랜지(5) 등을 용이하게 장착할 수 있다.

떼어낼 때는 앞측 계지용 걸이(34B)의 지지봉부(39)를 손가락으로 들어올려 당접부(38)을 계지용 돌기(33)에서 떼어 내고, 톱플랜지(5) 등을 앞측으로 비켜놓는다. 따라서 톱플랜지(5) 등을 용이하게 떼어낼 수 있다.

이 때, 지지부(30) 및 접동부(31)를 그 앞측은 좁고, 안측은 넓게 설정했으므로, 이들 접동부(31)를 지지부(30)에 용이하게 감합시킬 수 있다.

또한, 톱플랜지(5) 등의 이동을 감합 레일부(29A)와 피감합 레일(29B)로 지지했으므로, 톱플랜지(5)를 부드럽게 이동시킬 수가 있고, 용이하게 착탈시킬 수 있다.

톱플랜지(5) 등이 장착된 상태로, 박판지지용기(1)가 낙하하는 등의 이상한 충격에 의해, 톱플랜지(5) 등이 빠지는 방향으로 강한 힘이 가해졌을 경우는 앞측 계지용 걸이(34B)측의 지지봉부(39)가 지탱하여 톱플랜지(5) 등의 빠짐을 억제한다. 이 때, 앞측 계지용 걸이(34B)의 당접부(38)를 지지봉부(39)의 기단부에서 상대 부재측인 용기본체(2)측에 구비했으므로, 당접부(38)는 계지용 돌기(33)에 깊게 파고들 방향으로 압압되어 빗나가지 않는다. 따라서 충격 등에 의한 강한 힘이 톱플랜지(5) 등에 가해져도 당접부(38)가 계지용 돌기(33)로부터 빠지는 일 없이, 지지봉부(39)가 지탱하여, 톱플랜지(5) 등을 확실히 지지하고, 누락하는 것을 방지한다.

레칫 기구(86)에 있어서는, 덮개(4)를 용기본체(2)에 장착할 때는 제1완부(87)의 파지부(91)를 손으로 잡고 덮개(4)를 들어 올리고, 용기본체(2)의상측에서부터 씌운다. 이 때, 제1완부(87)를 제2완부(88)에 대해서 90°로, 제2완부(88)를 용기본체(2)에 대해서 35°로 설정했으므로, 파지부(91)는 제1및 제2완부(88)가 한도까지 회동한 상태로 덮개(4)의 횡방향에 위치해, 최적의 상태로 덮개(4)를 용이하게 들어 올릴 수 있는 위치로 된다. 이 파지부(91)를 잡고 덮개(4)를 용기본체(2)에 씌운다. 그 다음으로, 파지부(91)를 손으로 잡은 채, 하방향으로 눌러 내린다. 따라서, 제1완부(87)의 기단부의 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)측에 당접하며, 덮개(4)가 용기본체(2)에 고정된다.

덮개를 용기본체로부터 떼어낼 때는, 제1완부(87)의 파지부(91)를 손으로 잡고 양측으로 연다. 이에 의해 제1완부(87)의 기단부의 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)측으로부터 벗어나 덮개(4)의 고정이 풀린다. 그 상태로, 파지부(91)를 잡고 덮개(4)를 들어 올린다. 이 때, 제2완부(88)가 제1완부(87)를 한도까지 회동시킨 상태로 그 기단부의 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)에 접촉하지 않는 위치까지 회동하기 때문에, 덮개(4)를 들어 올려도 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)에 접촉하지 않으며, 덮개(4)를 용이하게 떼어낼 수 있다.

이와 같이, 파지부(91)가 덮개(4)의 횡방향의 잡기 쉬운 위치로 지지되며, 계지용 걸이(90)가 용기본체(2)에 접촉하지 않는 위치까지 열리기 때문에 덮개(4)의 착탈을 용이하게 실행할 수 있다.

박판 누름부재(94)의 감합홈(97)에 감합하는 반도체 웨이퍼(S)는 예각으로 형성된 감합홈(97)에 끼워넣어져 지지된다. 감합홈(97)을 예각으로 형성하면 반도체 웨이퍼(S)의 외주연부가 감합홈(97)에 깊숙이 넣어지는 것으로, 반도체웨이퍼(S)가 감합홈(97)에 끼워 넣어지고, 확실히 지지된다. 따라서 박판지지용기(1)에 강한 충격이 가해졌을 경우에도 감합홈(97)이 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 끼워넣어 회전이나 어긋남을 억제해 확실히 지지할 수 있다.

또한, 누름띠(96)를 반도체 웨이퍼(S)의 주연을 따라 파형으로 형성했으므로, 반도체 웨이퍼(S)가 감합홈(97)로부터 빗나가도, 각 누름띠(96)의 사이에 들어가는 일이 없게 된다.

본체 위치결정수단(11)에 있어서는, V자 홈판편(15)을 지지대(16)에 착탈 가능하게 장착했으므로, 용기본체(2)의 재질과 관계없이 반도체 제조공정 내부의 재치대의 감합 돌기에 대해 미끄러지기 쉬운 재료로 V자 홈판편(15)을 형성한다. 이 미끄러지기 쉬운 재료의 V자 홈판편(15)에 의해, 본체 위치결정수단(11)의 감합홈(13)을 반도체 제조공정 내의 재치대의 감합 돌기에 감합시키면, 서로 부드럽게 미끄러져, 박판지지용기(1)의 위치를 정확하게 결정시킬 수 있다.

V자 홈판편(15)은 지지대(16)에 착탈 가능하게 장착할 수 있기 때문에, 상대측의 돌기의 재질 등에 따라 용이하게 바꿀 수 있다.

［변형예］

(1) 상기 실시형태에서는 가스켓(80)을 덮개(4)측에 설치했지만, 용기본체(2)측에 설치해도 무방하다. 이 경우에서도 상기 실시형태 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.

(2)　상기 실시형태에서는 상부 감합부(55)의 상부 감합편(57)을 4개 구비했지만, 적게나마 양단부에 2개 설치하는 것만으로도 무방하다. 크기나 요구되는 강도 등에 따라 적당히 설정한다. 이 경우에서도 상기 실시형태 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.

(3)　상기 실시형태에서는 접동지지수단(27)을 2개 설치했지만, 3개 이상이어도 무방하다. 또한 안내 레일(29)을 2개 설치했지만, 1개 또는 3개 이상이어도 무방하다. 이 경우에서도, 상기 실시형태 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.

(4)　상기 실시형태에서는 본체 위치결정수단(11)의 지지대(16)를 감합홈(13)의 일부를 구성하도록 형성했지만, 감합홈(13)의 전부를 구성하도록 형성해도 무방하다.

이상 상술한 것처럼 본 발명의 박판지지용기에 따르면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

(1)　상부 감합편이 상기 홈판측에 당접해 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 당접면과, 상기 당접면을 홈판측에 당접시킨 상태로 지지하는 지지면을 구비하며, 상기 상부 피감합편은 상기 상부 감합편의 당접면에 당접해 상기 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 피당접면과, 상기 상부 감합편의 지지면에 당접해 상기 피당접면을 상대측의 상기 당접면에 당접시킨 상태로 지지하는 피지지면을 구비하여 구성되었으므로, 홈판을 회동하는 일 없이 확실히 지지할 수가 있음과 동시에, 홈판의 전후방향의 위치를 정확하게 결정할 수 있다. 따라서 홈판의 휘어짐 등의 변형이 억제되어 홈판을 정확한 위치에서 지지할 수 있다.

(2)　홈판의 상부를 상기 용기본체측에 지지하는 상부 감합부와, 그 하부를 상기 용기본체측에 지지하는 하부 감합부를 갖추며, 상기 하부 감합부는 상기 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 위치결정수단과, 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 위치결정수단과, 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 위치결정수단을 구비하였으므로, 홈판의 하부의 위치를 정확하게 결정해 지지할 수 있다.

(3)　상하방향 위치결정수단은 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되고, 상기 홈판의 하부에 감합함과 동시에 그 하단부에 당접해 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 지지편을 구비하여 구성되었으므로, 홈판의 하부를 상하방향에 정확하게 위치를 결정해 지지할 수 있다.

(4)　좌우방향 위치결정수단은 상기 홈판의 하부에 설치된 노치와, 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되어 상기 홈판의 하부의 노치에 감합해 홈판의 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 지지편을 구비하여 구성되었으므로, 홈판의 하부를 그 전후방향에 정확하게 위치를 결정 해 지지할 수 있다.

(5)　전후방향 위치결정수단은 상기 홈판의 하부에 그 이면측으로 연장하여 설치되며, 상기 용기본체의 측벽면의 하부에 당접해 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향지지편을 구비하여 구성되었으므로, 홈판의 하부를 그 전후방향에 정확하게 위치를 결정해 지지할 수 있다.

(6)　홈판의 하부에 상기 용기본체측에 계지해 홈판이 상방향으로 빠지는 것을 억제하는 스토퍼를 갖추었으므로, 홈판을 지지해 윗쪽으로 빠지는 것을 억제할 수 있다.

(7)　홈판은 상기 복수매의 박판을 1매씩 지지하는 판편을 복수매 나열하여 구성되며, 상기 판편은 상기 용기본체의 안측으로부터 상기 박판의 출입구측까지 연장하여 설치되며, 그 안측으로부터 중간 위치까지를 상기 박판의 주연을 따라 만곡시킴과 동시에, 중간 위치로부터 출입구측까지를 상기 용기본체측에 따라 형성하며, 상기 판편의 안측 및 출입구측에 상기 박판을 지지하는 박판 지지용 돌기가 설치됨과 동시에, 출입구측의 박판 지지용 돌기가 상기 판편의 안쪽주연과 상기 박판의 주연의 교점 부근에 설치되었으므로, 안측 및 출입구측의 박판 지지용 돌기에 의해 박판을 안정하게 지지할 수 있다.

(8)　덮개와 상기 용기본체와의 사이에 가스켓이 설치되며, 상기 가스켓은 상기 덮개측 또는 용기본체측에 감합되어 전체를 지지하는 기단 지지부와 상기 기단 지지부로부터 연장하여 형성된 당접부로 이루어지며, 상기 당접부가 상기기단 지지부로부터 주위에 플랜지상으로 넓혀 형성됨과 동시에, 그 중간부는 상방향으로 호형상을 갖고, 외주연부를 하부로 접어 형성하며, 상기 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 당접된 상태로 상기 중간부가 덮개측 또는 본체측에 압압되는 것으로, 상기 당접부가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 밀착되므로, 덮개와 용기본체와의 사이에 기밀성을 향상시킬 수 있다.

(9)　상기 가스켓의 기단 지지부의 상측면의 내측에 설치되며, 윗쪽으로 연장하여 덮개측 또는 용기본체측에 당접하는 실링편과 상기 실링편의 외측에 설치되어 실링편의 탄성변형을 흡수하는 환상홈을 구비했으므로, 가스켓과 덮개와의 사이에 기밀성을 향상시킬 수 있다.

(10)　상기 용기본체의 저판부는 상기 용기본체 내에 수납된 박판의 하단과 3mm 정도의 극간으로 설정되었으므로, 용기본체의 높이를 줄일 수 있다.

(11)　상기 용기본체의 저판부와 그 내부에 수납된 박판의 하단과의 극간을 줄인 분만큼 상기 용기본체의 높이를 줄였으므로, 박판지지용기를 소형화할 수 있으며, 곤포 시에 채우는 완충재를 두껍게 할 수 있어 충격에 대한 완충 능력을 큰 폭으로 향상시킬 수 있다.

(12)　착탈 기구의 계지 수단은 한쪽 또는 한쪽의 부재에 설치된 계지용 돌기와, 다른 한쪽 또는 한쪽의 부재에 설치된 계지용 걸이로 이루어지며 , 상기 계지용 걸이는 상기 계지용 돌기에 당접하는 당접부와 상기 당접부를 지지하는 지지봉부로 이루어지며, 상기 지지봉부는 상대 부재의 방향으로 그리고 동시에 상기 접동지지수단의 앞측으로 향하여 연장시켜 형성되었으므로 톱플랜지 등이 충격에 의해 떨어져 나가는 것을 방지할 수 있다.

(13)　상기 계지용 걸이의 당접부는 상기 지지봉부의 기단부에서 상대 부재측에 설치되었으므로, 당접부가 계지용 돌기로부터 빗나가는 것이 없어져, 톱플랜지 등이 충격에 의해 빠져나가는 것을 방지할 수 있다.

(14)　상기 접동지지수단의 지지부 및 접동부가 병렬로 2개씩 설치되며, 앞측에 있어서의 이들의 간격을 좁게, 안측을 넓게 설정했으므로, 접동부를 지지부에 용이하게 착탈시킬 수 있다.

(15)　상기 접동지지수단에 지지된 2개의 부재의 상호의 접동을 안내해 접동방향과 직교할 방향의 위치를 결정하는 안내 레일을 구비했으므로, 안내 레일에 안내되어 톱플랜지 등을 용이하게 착탈시킬 수 있다.

(16)　레칫 기구는 상기 용기본체측에 계지해 상기 덮개를 상기 용기본체에 고정하는 제1완부와, 상기 덮개에 회동 가능하게 지지됨과 동시에 상기 제1완부를 회동 가능하게 지지하는 제2완부로 이루어지며, 상기 제1완부는 그 기단부에 설치되어 상기 용기본체측에 당접하는 계지용 걸이와 선단부에 설치되어 상기 제1및 제2완부가 한도까지 회동한 상태로 상기 덮개의 횡방향에 위치하는 파지부로 이루어지며며, 상기 제2완부는 상기 제1완부를 한도까지 회동시킨 상태로 그 기단부의 계지용 걸이가 용기본체에 접촉하지 않는 위치까지 회동하므로, 덮개를 용기본체에 대해서 용이하게 착탈시킬 수 있다.

(17)　상기 제1완부는 상기 제2완부에 대해서 90° 열리며, 상기 제2완부는 상기 용기본체에 대해서 35° 열리므로, 제1완부가 용기본체에 접촉하는 것을 방지할 수가 있음과 동시에, 파지부를 덮개의 횡방향의 잡기 쉬운 위치로 지지시킬 수 있다.

(18)　상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며, 상기 박판 누름부재에 상기 박판을 1매씩 감합해 지지하는 감합홈이 설치되며, 상기 감합홈의 저부가 박판의 주연을 끼워 넣도록 예각으로 형성되었으므로, 박판을 확실히 지지할 수 있다.

(19)　상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며, 상기박판 누름부재는 병렬로 다수 배치 및 설치되어 상기 박판의 주연부에 당접해 각 박판을 일정 간격을 비워 1매씩 지지하는 누름띠를 갖추며, 상기 누름띠는 상기 박판의 주연을 따라 파형으로 형성되었으므로, 박판이 누름띠의 사이에 들어가는 것을 방지할 수 있다.

(20)　횡으로 둔 상태의 상기 용기본체의 저부에 전체의 위치를 결정하는 본체 위치결정수단이 설치되며, 상기 본체 위치결정수단이 상기 용기본체의 저부의 3곳에 3방향을 향해 설치되는 V자 홈을 구성하는 V자 홈판편과 상기 V자 홈판편을 지지하는 지지대를 구비하여 구성되었으므로, 용기본체와 다른 재질의 V자 홈판편을 장착할 수 있다.

(21)　상기 V자 홈판편은 표면의 마찰 저항의 작은 재료로 구성되었으므로, 재치대의 감합 돌기에 대해 부드럽게 미끄러져, 박판지지용기의 위치를 정확하게 결정시킬 수 있다.

(22)　상기 V자 홈판편은 상기 지지대에 착탈 가능하게 장착되었으므로, 상대측의 돌기의 재질 등에 따라, 상이한 재질에 V자 홈판편을 용이하게 바꿀 수 있다.

Claims

내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 홈판의 상부를 상기 용기본체측에 지지하는 상부 감합부와, 그 하부를 상기 용기본체측에 지지하는 하부 감합부를 설치하며,

상기 상부 감합부가 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 적어도 양단부에 설치된 상부 감합편과, 상기 홈판 중 상기 상부 감합편에 대향하는 위치에 설치된 상부 피감합편으로 이루어지고,

상기 상부 감합편이 상기 홈판측에 당접하여 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 당접면과, 상기 당접면을 홈판측에 당접시킨 상태로 지지하는 지지면을 구비하며,

상기 상부 피감합편이 상기 상부 감합편의 당접면에 당접하여 홈판의 회동을 억제하면서 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 평탄면상의 피당접면과, 상기 상부 감합편의 지지면에 당접하여 상기 피당접면을 상대측의 상기 당접면에 당접시킨 상태로 지지하는 피지지면을 구비한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 홈판의 상부를 상기 용기본체측에 지지하는 상부 감합부와, 그 하부를 상기 용기본체측에 지지하는 하부 감합부를 구비하며,

상기 하부 감합부가 상기 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 위치결정수단과 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 위치결정수단과, 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 위치결정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제2항에 있어서, 상기 상하방향 위치결정수단이 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되며, 상기 홈판의 하부에 감합함과 동시에 그 하단부에 당접하여 홈판의 상하방향의 위치를 결정하는 상하방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제2항에 있어서,　상기 좌우방향 위치결정수단이 상기 홈판의 하부에 설치된 노치와, 상기 용기본체 내의 대향하는 각 측벽면 중 하부에 설치되며, 상기 홈판의 하부의 노치에 감합하여 홈판의 좌우방향의 위치를 결정하는 좌우방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제2항에 있어서, 상기 전후방향 위치결정수단이 상기 홈판의 하부에 그 이면측으로 연장하여 설치되며, 상기 용기본체의 측벽면의 하부에 당접하여 홈판의 전후방향의 위치를 결정하는 전후방향 지지편을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는박판지지용기.
제2항에 있어서, 상기 홈판의 하부에, 상기 용기본체측에 계지하여 홈판이 상방향으로 빠지는 것을 억제하는 스토퍼를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 홈판이 상기 복수매의 박판을 1매씩 지지하는 판편을 복수매 나열하여 구성되며,

상기 판편이 상기 용기본체의 안측으로부터 상기 박판의 출입구측까지 연장하여 설치되며, 그 안측으로부터 중간위치까지를 상기 박판의 주연을 따라 만곡시킴과 동시에, 중간위치로부터 출입구측까지를 상기 용기본체측에 따라 형성하며,

상기 판편의 안측 및 출입구측에 상기 박판을 지지하는 박판 지지용 돌기가 설치됨과 동시에, 출입구측의 박판 지지용 돌기가 상기 판편의 내측연과 상기 박판의 주연의 교점 부근에 설치된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 덮개와 상기 용기본체와의 사이에 가스켓이 설치되며,

상기 가스켓은 상기 덮개측 또는 용기본체측에 감합되어 전체를 지지하는 기단 지지부와, 상기 기단 지지부로부터 연장하여 형성된 당접부로 이루어지며,

상기 당접부는 상기 기단 지지부로부터 주위에 플랜지상으로 넓혀 형성됨과 동시에, 그 중간부는 상방향으로 호형상을 갖고, 외주연부를 하방향으로 접어 형성하며,

상기 외주연부는 용기본체측 또는 덮개 측에 당접된 상태로 상기 중간부가 덮개측 또는 본체측으로 압압되는 것으로, 상기 당접부가 갖는 탄성력으로 외주연부가 용기본체측 또는 덮개측에 밀착되는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제8에 있어서, 상기 가스켓의 기단 지지부의 상측면의 내측에 설치되며, 상방향으로 연장하여 덮개측 또는 용기본체측에 당접하는 실링편과, 상기 실링편의 외측에 설치되어 실링편의 탄성변형을 흡수하는 환상홈을 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 용기본체의 저판부를 상기 용기본체 내에 수납된 박판의 하단과 3mm 정도의 극간으로 설정한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제10항에 있어서, 상기 용기본체의 저판부와 그 내부에 수납된 박판의 하단과의 극간을 줄인 분만큼 상기 용기본체의 높이를 줄인 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

반송 기계용의 톱플랜지 또는 작업자가 잡기 위한 핸들의 한쪽 또는 양쪽을 상기 용기본체에 착탈 가능하게 지지하는 착탈 기구를 구비하고,

상기 착탈 기구가 상기 용기본체와, 상기 톱플랜지 또는 핸들 2개의 부재를 서로 접동할 수 있게 지지하는 접동 지지수단과, 상기 접동 지지수단으로 접동 가능하게 지지된 2개의 부재를 서로 어긋나지 않게 계지하는 계지 수단을 구비하며,

상기 접동 지지수단이 한쪽의 부재에 설치된 지지부와, 다른 한쪽의 부재에 설치되어 상기 지지부에 앞측으로부터 안측까지 삽입되는 접동부로 이루어지고,

상기 계지수단이 한쪽 또는 다른 한쪽의 부재에 설치된 계지용 돌기와, 다른 한쪽 또는 한쪽의 부재에 설치된 계지용 걸이로 이루어지며,

상기 계지용 걸이가 상기 계지용 돌기에 당접하는 당접부와 상기 당접부를 지지하는 지지봉부로 이루어지고,

상기 지지봉부가 상대 부재쪽으로 그리고 동시에 상기 접동 지지수단의 앞측으로 향해 연장하여 형성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제12항에 있어서, 상기 계지용 걸이의 당접부가 상기 지지봉부의 기단부에서 상대 부재측에 설치된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제12항에 있어서, 상기 접동지지수단의 지지부 및 접동부가 병렬로 2개씩 설치되며, 앞측에 둘 수 있는 이들의 간격을 좁게 하고, 용기 안측을 넓게 설정한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제12항에 있어서, 상기 접동지지수단에 지지된 2개의 부재의 상호의 접동을 안내하여 접동방향과 직교할 방향의 위치를 결정하는 안내 레일을 설치한 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하여 이루어지는 박판지지용기에 있어서,

상기 덮개에 상기 덮개를 용기본체에 고정하는 레칫 기구를 설치하며,

상기 레칫 기구가 상기 용기본체측에 계지하여 상기 덮개를 상기 용기본체에 고정하는 제1완부와, 상기 덮개에 회동 가능하게 지지됨과 동시에 상기 제1완부를회동 가능하게 지지하는 제2완부로 구성되며,

상기 제1완부가 그 기단부에 설치되어 상기 용기본체측에 당접하는 계지용 걸이와, 선단부에 설치되어 상기 제1완부 및 제2완부가 한도까지 회동한 상태로 상기 덮개의 횡방향에 위치하는 파지부로 이루어지며,

상기 제2완부가 상기 제1완부를 한도까지 회동시킨 상태로 그 기단부의 계지용 걸이가 용기본체에 접촉하지 않는 위치로 회동하는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제16항에 있어서, 상기 제1완부가 상기 제2완부에 대하여 90° 열리며, 상기 제2완부가 상기 용기본체에 대하여 35° 열리는 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하는 박판지지용기에 있어서,

상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며,

상기 박판 누름부재에 상기 박판을 1매씩 감합하여 지지하는 감합홈이 설치되고, 상기 감합홈이 박판의 주연을 끼워 넣도록 예각으로 형성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 양측으로부터 지지하는 홈판을 구비하는 박판지지용기에 있어서,

상기 덮개의 이면에 상기 덮개가 상기 용기본체에 장착되었을 때 용기본체 내에 수납된 박판의 상부를 눌러 지지하는 박판 누름부재가 설치되며,

상기 박판 누름부재가 병렬로 다수 배설되어 상기 박판의 주연부에 당접하여 각 박판을 일정 간격을 비워 1매씩 지지하는 누름띠를 구비하며, 상기 누름띠가 상기 박판의 주연을 따라 파형으로 형성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
내부에 박판을 복수매 수납하는 용기본체와, 이 용기본체를 덮는 덮개와, 상기 용기본체 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 박판을 내측으로부터 지지하는 홈판을 구비하는 박판지지용기에 있어서,

횡으로 둔 상태의 상기 용기본체의 저부에 전체의 위치를 결정하는 본체 위치결정수단이 설치되며,

상기 본체 위치결정수단이 상기 용기본체의 저부의 3곳에 3방향을 향하여 설치되는 V자 홈을 구성하는 V자 홈판편과, 상기 V자 홈판편을 지지하는 지지대를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제20항에 있어서, 상기 V자 홈판편이 표면의 마찰 저항이 작은 재료로 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.
제20항에 있어서, 상기 V자 홈판편이 상기 지지대에 착탈 가능하게 장착된 것을 특징으로 하는 박판지지용기.