DE29924287U1 - Träger für zu bearbeitende, aufzubewahrende und/oder zu transportierende Scheiben - Google Patents

Träger für zu bearbeitende, aufzubewahrende und/oder zu transportierende Scheiben

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Description

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Claims (9)

1. Waferträger umfassend einen aus einem ersten thermoplastischen Material gefertigten Behälter (60) mit einer Vielzahl von gegenüber liegenden, parallelen Schlitzen (28, 120) zur axial ausgerichteten Aufnahme einer Vielzahl von Wafern, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (60) mit einem Fenster (70) aus einem zweiten thermoplastischen Material versehen ist, wobei das Fenster (70) in dem Behälter (60) durch Überspritzen mit dem ersten thermoplastischen Material des Behälters (60) befestigt ist.
2. Waferträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste thermoplastische Material eine im wesentlichen amorphe Struktur und das zweite thermoplastische Material eine im wesentlichen kristalline Struktur aufweisen.
3. Waferträger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste thermoplastische Material eine hohe Abriebfestigkeit besitzt.
4. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite thermoplastische Material ein Polyetheretherketon oder Polyetherimid und das erste thermoplastische Material ein Polycarbonat ist.
5. Waferträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Polyetheretherketon oder Polyetherimid mit Kohlenstoffasern gefüllt ist.
6. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß weitere Teile (46, 84, 96, 118, 139, 68, 64, 92) aus dem zweiten thermoplastischen Material bestehen und überspritzt sind.
7. Waferträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Stützabschnitt (96) für die Wafer aus dem zweiten thermoplastischen Material als Fächerleisten ausgebildet sind.
8. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch einen H-förmigen Verbindungssteg.
9. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter verschließbar ist.
DE29924287U 1998-05-28 1999-05-27 Träger für zu bearbeitende, aufzubewahrende und/oder zu transportierende Scheiben Expired - Lifetime DE29924287U1 (de)

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