KR20020080444A - 광학 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 그 반사막이 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금 박막으로 이루어지는 구성으로서, 광학 기록 매체의 비용의 저렴화를 도모하고, 또한, 내후성의 향상을 도모함으로써 장기 보존에 있어서의 특성 열화의 회피를 도모한다.

Description

광학 기록 매체{Optical recording medium}
오디오용, 비디오용 등 각종 정보를 기록하는 광학 기록 매체로서, CD 및 CD-ROM 등의 재생 전용형, 광자기 디스크, 상변화(phase change) 디스크 등의 재기록형, 및 유기 재료를 사용한 CD-R 등의 추기형 등의 각종 광학 기록 매체가 있다.
상기 광학 기록 매체를 구성하는 정보 기록층에는 데이터 정보, 트래킹 서보 신호 등의 기록이 이루어지는 위상 피트, 프리 그루브 등의 미세 요철이 형성된다.
한편, 최근 광학 기록 매체에 있어서, 정보 기록의 대용량화의 요구가 높아지고, 예를 들어 제 1 및 제 2 정보 기록층이 적층된 2층 구조의 DVD(Digital Versatile Disc)의 실용화가 진행되고 있다.
도 4는 제 1 정보 기록층(231) 및 제 2 정보 기록층(232)이 적층된 2층 구조에 의한 광학 기록 매체(200)의 개략 단면도를 도시한다.
제 1 정보 기록층(231)은 제 1 기판(201)의 사출성형과 동시에 형성한 제 1 미세 요철(211)상에, 예를 들면 Au, Si, AgPdCu, AgPdTi 등으로 이루어지는 반투명반사막(223)이 성막되어 구성되어 있다.
제 2 정보 기록층(232)은 제 2 기판(202)의 사출성형과 동시에 형성한 제 2 미세 요철(222)상에, 예를 들면 Al 박막, Al 합금 박막 등의 반사막(224)이 성막되어 구성되어 있다.
그리고, 상기 제 1 기판(201)과 제 2 기판(202)은 제 1 정보 기록층(231) 및 제 2 정보 기록층(232)을 대향시켜 투명 접착제층(203)을 개재하여 접합되고, 2층의 정보 기록층이 형성되어 있다.
상기 구성에 의한 광학 기록 매체(200)에 있어서는 그 제 1 및 제 2 정보 기록층(231 및 232)으로부터의 각각의 정보의 재생 또는 기록, 또는 그 쌍방(이하 간단히 재생 또는 기록이라고 부른다)을 행하기 위해서는 그 드라이브 장치의 간략화를 도모하고, 또한 이들의 정보 기록층(231 및 232)의 각각에 대하여, 단시간에 액세스하고, 연속적으로 그 기록 또는 재생을 행할 수 있도록, 1세트의 광학 헤드에 의해서, 광학 기록 매체(200)의 동일측, 예를 들면 제 1 기판(201)측으로부터의 레이저 광 조사에 의해서 행하도록 하는 것이 요망된다.
이와 같이, 광학 기록 매체의 동일측으로부터, 제 1 및 제 2 정보 기록층(231 및 232)에 대하여, 그 기록 또는 재생, 또는 그 쌍방을 행하는 레이저광의 조사를 행하는 경우, 동일 광학 헤드로부터, 제 1 정보 기록층(231)에 대해서는 레이저광(L)을 도 4 중의 실선으로 도시하는 바와 같이, 제 1 정보 기록층(231)에 포커싱(focusing)시켜 행하고, 제 2 정보 기록층(232)에 대해서는 레이저광(L)을 도 4 중의 파선으로 도시하는 바와 같이, 제 2 정보 기록층(232)에 포커싱시켜행한다.
이 경우, 제 1 및 제 2 정보 기록층(231 및 232)의 쌍방에 관하여 레이저 광에 의한 기록 또는 재생, 또는 그 쌍방을 행할 수 있도록 하기 위해서는 상술한 바와 같이, 레이저 광의 입사측의 제 1 정보 기록층(231)에는 반투명 반사막(223)이 설치되고 조사 레이저 광의 일부를 반사하여 이 제 1 정보 기록층(231)의 기록 또는 재생이 행해지도록 하며, 일부를 투과시켜서 제 2 정보 기록층(232)으로 향하게 하여, 이 제 2 정보 기록층(231)의 기록 또는 재생이 행해지도록 한다.
또한, 제 1 정보 기록층(231)과 제 2 정보 기록층(232)은 레이저 광에 대하여 고투과율을 갖는 접착 재료로 이루어지는 투명 접착제층(203)을 개재하고, 서로의 재생 신호가 간섭하지 않는 거리를 두고 적층되어 있는 것이며, 이 때문에, 대물렌즈의 포커스 위치를 각각의 정보 기록층(231 및 232)에 대응한 위치에 맞춤으로써, 각각의 정보를 고정밀도로 재생할 수 있게 된다.
이러한 신호의 재생 방법을 실현하는 데에는 제 1 정보 기록층(231)의 반투명 반사막(223)의 막 설계가 극히 중요하게 된다.
상기 반투명 반사막(223)의 성막 재료로서, 상술한 바와 같이, Au, Si, AgPdCu, AgPdTi가 사용되고 있다.
이들은 레이저 광에 대한 반사율 및 투과율의 관점에서 반투명 반사막(223)으로서의 광학적 특성을 만족하고, 또한 스퍼터링에 의해서 용이하게 박막 형성할 수 있으므로 적용되고 있었다.
그러나, Au는 재료의 비용 증가를 초래하는 문제가 있고, Si는 상대적으로염가이지만, 투명 접착제층(203)을 구성하는 접착 재료 또는 기판(201)의 재료와의 접착성이 뒤떨어지고, 굴곡이나 휨 등의 기계적인 변형 또는 고습도 하와 같은 엄격한 환경 하에서의 신뢰성이 충분히 얻어지지 않는 문제를 갖는다.
게다가, Si 막은 금속 박막에 비하여, 그 성막 시의 스퍼터링 공정에서의 스퍼터링 처리실 내에 부착된 Si가 박리되기 쉽고, 소위 미립자(particle)가 발생하기 쉬우며, 에러 레이트의 악화를 초래하는 문제가 있다.
또한, 통상의 반투명 반사막에 사용되고 있는 금속 또는 Si 반도체 재료 등에 의해서 반투명 반사막을 구성하기 위해서는 그 막 두께는 5〔nm〕내지 25〔nm〕정도로 하는 것이 필요하고, 이것은 예를 들면 통상의 콤팩트 디스크에 있어서의 반사막의 35〔nm〕내지 60〔nm〕에 비하여 얇다. 그리고, 통상의 반투명 반사막에 사용되고 있는 금속 또는 Si 반도체 재료 등은 장기간 보존, 더욱이 고온 다습 환경 하에서의 보존에 있어서, 기판(201)측으로부터의 영향에 의해 표면 산화가 비교적 생기기 쉽기 때문에, 이 정도의 막 두께로서는 그 반사율 변화로의 영향이 크고 내후성이 뒤떨어진다.
또한, 상기 반투명 반사막(223)은 기판(201)측에서의 영향뿐만 아니라, 투명 접착제층(203)과의 접촉부로부터의 산화도 문제가 되고, 이것에 의한 반사율의 변화나 재생 신호의 지터(jitter)의 열화가 문제로 되고 있다.
또한, 상술한 산화뿐만 아니라, 고온 환경 하에서의 방치, 이른바 어닐링 효과에 의해서, 성막 후의 막 중의 원자가 이동하여, 열전도율, 또는 반사율이 증가되는 현상도, 조성에 따라서는 문제가 된다.
이러한 다층 구조의 광학 기록 매체에 있어서는 그 반투명 반사막의 구성에, 많은 문제를 안고 있으며, 이 내후성 및 비용의 저렴화는 다층 구조의 광학 매체의 실용화에 있어서, 큰 문제로 되어 있다.
그러나, 이러한 다층 구조의 광학 기록 매체에 한정되지 않고, 정보 기록층으로서 각종 재료막을 적층 성막하는 광자기, 상변화, 색소계 등의 기록 가능한 광학 기록 매체에 사용되는 반사막에 있어서도, 반사막의 내후성은 중요하고, 반사막의 산화 등에 의한 경시 변화에 의해, 재생 신호 품질뿐만 아니라, 기록 감도 등의 기록 조건의 변화를 초래하는 문제도 있다.
한편, AgPdCu 박막 또는 AgPdTi 박막은 Au 단체에 비하여 비용적으로 염가이고, Si의 경우처럼 박리의 문제도 생기지 않는다.
그러나, 최근, 보다 높은 기록 밀도 또는 기록 용량이 요구되고, 기록 또는 재생에 사용되는 조사광으로서, 단파장 레이저광이 사용되어 면 기록 밀도의 향상이 도모되고 있다. 이 경우, 보다 높은 기록 비트의 정밀도가 필요하게 되고, 면기록 밀도가 낮은 경우에 있어서 허용되는 정도가 약간인 재생 신호의 지터의 열화라도, 면 기록 밀도가 높아지는 경우에는 문제가 된다.
더욱이, 상술한 바와 같은 정보 기록층이 2층 구조로 되거나, 또한 2층 이상의 다층화가 이루어지면, 조사광의 입사측에 위치하는 각 정보 기록층에 있어서의 반투명 반사막은 각 층의 반사율이나, 투과율 관계의 선정으로부터, 그 막 두께는 보다 얇아지는 방향에 있고, 이 반투명 반사막에 있어서는 보다 높은 내후성이 요구된다.
즉, 보다 장기에 걸쳐, 보다 가혹한 환경 하에서 반사율 변화나, 재생 신호의 지터의 열화를 초래하지 않고서, 보다 높은 내후성이 요구된다.
그리고, 또한, 보다 비용의 저렴화의 요구도 높아지고 있다.
본 발명은 광학 기록 매체의 정보 기록층을 구성하는 반투명 반사막, 및 반사막, 특히 반투명이라는 특수한 특성이 요구되는 반투명 반사막에 있어서, 그 내후성의 향상과 동시에, 비용의 저렴화를 도모할 수 있는 광학 기록 매체를 제공하는 것이다.
본 발명은 예를 들면 CD(Compact Disc), CD-ROM(CD-Read Only Memory) 등에 있어서, 반투명 반사막, 반사막의 보다 높은 내후성(耐候性), 비용의 보다 저렴화를 도모한 광학 기록 매체에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 2층의 정보 기록층을 갖는 광학 기록 매체의 일 실시예의 개략 단면도.
도 2는 본 발명의 광학 기록 매체의 다른 일 실시예의 개략 단면도.
도 3은 광자기 기록 매체의 광자기 기록층부를 확대한 개략 단면도.
도 4는 종래의 광학 기록 매체의 일 실시예의 개략 단면도.
도 5는 보존 시험 전후에 있어서의 기록 파워와 CNR의 관계를 도시하는 도면.
도 6은 각종 광 디스크 구조에 의한 시료의 구성을 열기한 표(표 1-1).
도 7은 도 6의 각 시료에 대한 특성을 열기한 표(표 1-2).
도 8은 각종 광 디스크 구조에 의한 시료의 구성을 열기한 표(표 2-1).
도 9는 도 8의 각 시료에 대한 특성을 열기한 표(표 2-2).
도 10은 각종 광 디스크 구조에 의한 시료의 구성을 열기한 표(표 3-1).
도 11은 도 10의 각 시료에 관해서 특성을 열기한 표(표 3-2).
도 12는 각종 광 디스크 구조에 의한 시료의 구성을 열기한 표(표 4-1).
도 13은 도 12의 각 시료에 대한 특성을 열기한 표(표 4-2).
도 14는 각종 광 디스크 구조에 의한 시료의 구성을 열기한 표(표 5-1).
도 15는 도 14의 각 시료에 대한 특성을 열기한 표(표 5-2).
본 발명은 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 그 반사막이, 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금 박막으로 이루어지는 구성으로 한다.
또한, 본 발명은 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서, 그 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이 형성되며, 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성된 구성을 갖고, 그 반투명 반사막이 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금 박막으로 이루어지는 구성으로 한다.
상기 구성에 있어서, 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생은 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행하는 것이다.
또한, 본 발명은 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 그 반사막이 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고, 이 AgCu계 합금이 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 이 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCu계의, 3원 합금 또는 4원 합금의 어느 하나로 이루어지는 구성으로 한다.
더욱이, 본 발명은 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서, 그 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이 형성되며, 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성된 구성을 갖고, 그 반투명 반사막이 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지며, 상기 AgCu계 합금이 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 이 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCu계의, 3원 합금 또는 4원 합금의 어느 하나로 이루어지는 구성으로 한다.
이 구성에 있어서, 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생은 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행하는 것이다.
또한, 본 발명은 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 그 반사막이 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고, 이 AgCu계 합금은 0.1〔atom%〕이상 20〔atom%〕이하인 Pd를 함유하고, 또한 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 이 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCuPd계의, 4원 합금 또는 5원 합금의 어느 하나로 이루어지는 구성으로 한다.
또한, 본 발명은 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서, 그 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이형성되어 이루어지며, 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성되어 이루어지고, 그 반투명 반사막이 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고, 이 AgCu계 합금이 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕이하인 Pd를 함유하고, 또한 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 이 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하 함유하는, AgCuPd계의, 4원 합금 또는 5원 합금의 어느 하나로 이루어지는 구성으로 한다.
이 구성에 있어서, 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생은 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행한다.
그리고, 상술한 적어도 제 1 및 제 2 정보 기록층을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 제 1 정보 기록층은 제 1 기판 상에 형성되고, 제 2 정보 기록층은 제 2 기판 상에 형성되며, 이들 제 1 기판과 제 2 기판이 서로의 정보 기록층을 대향시켜 접합된 구성으로 할 수 있고, 이들 제 1 및 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생은 모두 제 1 기판측으로부터의 광 조사에 의해서 행해지는 구성으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 구성에 있어서는 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서, 그 반사막을, 또는 반사막 및 반투명 반사막을 갖는 광학 기록 매체 에 있어서는 적어도 그 반투명 반사막을, 각각 AgCu 합금, AgCu계 합금, 더욱이 AgCuPd계 합금 박막에 의한 구성으로 한 것에 의해, 보다 내후성이 뛰어나고, 더욱이 염가의 광학 기록 매체를 얻을 수 있도록 한 것이다.
또한, 본 발명에 따르면, 상술한 반사막, 또는 반투명 반사막, 또는 반사막 및 반투명 반사막을 구성하는, AgCu계 합금, AgCuPd계 합금에 있어서, 이들 합금을구성하는 것에 적합한 첨가 원소의 특정과, 그 함유율의 특정에 따라서, 이들 반사막, 또는 반투명 반사막, 또는 반사막 및 반투명 반사막의 내후성의 향상을 도모하고, 예를 들면 고온 다습의 조건하에 있어서의 장기 보존에 의해서도, 광학 기록 매체의 정보 기록층에 요구되는 반사율이나 투과율 등의 광학 특성, 또는 기록 감도의 변화를 효과적으로 피할 수 있도록 한 것이다.
이와 같이 본 발명 구성은 후술함으로써, 분명하게 되는 바와 같이, 보다 높은 내후성을 나타내고, 더구나 염가에 따라서 비용의 저감화가 도모된 광학 기록 매체를 얻는 것이다.
이하, 본 발명의 광학 기록 매체의 실시예에 관해서 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명의 광학 기록 매체는 이하에 도시하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 광학 기록 매체(10)의 개략 단면도를 도시한다.
상기 광학 기록 매체(10)에 있어서는 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)이 이들 기판(1 및 2)에 형성된 정보 기록층(21 및 22)을 서로 대향시켜, 투명 접착제층(3)을 개재하여 접합된 구성을 갖고, 제 1 정보 기록층(21) 및 제 2 정보 기록층(22)이 적층된 2층 구조의 DVD(Digital Versatile Disc) 포맷에 의한 구성으로 한 경우이다.
제 1 및 제 2 정보 기록층(21 및 22)은 각각 기록 정보에 따라서 형성된 제 1 및 제 2 미세 요철(11 및 12)을 갖고, 제 1 미세 요철(11)에는 기록 및/또는 재생에 사용하는 조사광에 대한 반투명 반사막(13)이 피착 형성되며, 제 2 미세 요철(22)에는 동일한 조사광에 대한 반사막(14)이 피착 형성되어 이루어진다.
제 1 기판(1)은 상술한 조사광에 대하여 광 투과성을 나타내는 예를 들면 폴리카보네이트 등의 플라스틱을 사용한 사출성형에 의해서 제작할 수 있다. 이 경우, 제 1 기판(1)에 형성하는 제 1 정보 기록층(21)의 제 1 미세 요철(11)도, 제 1 기판(1)의 사출성형과 동시에 형성할 수 있다.
제 2 기판(2)은 광 투과성, 불투명 등을 문제삼지 않지만, 예를 들면 같이 예를 들면 폴리카보네이트 등의 플라스틱의 사출성형에 의해서 성형할 수 있고, 이 제 2 기판(2)의 성형과 동시에 제 2 정보 기록(2)을 구성하는 제 2 미세 요철(12)을 형성할 수 있다.
또한, 제 1 정보 기록층(21)의 제 1 미세 요철(11)상에는 반투명 반사막(13)이 성막된다.
상기 반투명 반사막(13)은 상술한 조사광 예를 들면 레이저광 중의 일부를 반사하여, 일부를 투과할 수 있도록, 예를 들면 막 두께 10〔nm〕내지 15〔nm〕를 갖는, AgCu 합금, 또는 AgCu계 합금에 의한 박막에 의해서 형성한다.
반투명 반사막(13)을 구성하는 AgCu 합금은 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금을 적용할 수 있다.
또한, 반투명 반사막(13)은 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금이고, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 이 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하인, AgCu계의 3원 합금 또는 4원 합금에 의해서 구성할 수 있다.
또는 반투명 반사막(13)은 1.5〔atom%〕이상 90〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금이고, 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕의 Pd를 함유하고, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의, 적어도 1 또는 2 이상의 원소를 합계로 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하 함유하는, AgCuPd계의 4원 또는 5원 합금에 의해서 구성한다.
한편, 제 2 정보 기록층(22)은 상술한 제 2 미세 요철(12)상에, 반사막(14)이 형성된다.
상기 반사막(14)은 고반사율을 갖는 금속 재료, 예를 들면 Au, Au를 주성분으로 하는 합금, 예를 들면 Ag, 또는 Ag을 주성분으로 하는 합금, 또는 Pt, 또는 Pt를 주성분으로 하는 합금, 또는 Cu 또는 Cu를 주성분으로 하는 합금 등을 사용하여 성막할 수도 있다.
또한, 비용의 저렴화로, 반사막(14)을, Al에, Si, Ti, Cr 등을 첨가한 Al 합금에 의해서 구성할 수도 있다.
그러나, 상기 반사막(14)은 고내후성과 저비용화로부터 상술한 반투명 반사막과 동일한 재료, 조성에 의한 상술한 AgCu 합금, AgCu계의 3원 또는 4원 합금, AgCuPd계의 4원 또는 5원 합금에 의해서 형성하고, 그 막 두께를 예를 들면 35〔nm〕내지 60〔nm〕로 형성할 수 있다.
상술한 반투명 반사막(13) 및 반사막(14)은 모두, 종래 공지의 스퍼터링법, 일반적으로는 마그네트론(magnetron) 스퍼터링법에 의해서 성막할 수 있다.
도 1에 도시하는 광학 기록 매체(10)에 대한 제 1 정보 기록층(21) 및 제 2 정보 기록층(22)으로부터의 신호의 재생 또는 기록을 행할 때는 드라이브 장치의 간략화를 도모하고, 또한 이들의 정보 기록층(21 및 22)의 각각에 대하여, 단시간에 액세스하고, 연속적으로 그 기록 내지 재생을 할 수 있도록, 1세트의 광학 헤드에 의해서, 광학 기록 매체(10)의 동일면측, 도 1의 구성에 있어서는 제 1 기판(1)측으로부터의 레이저 광 조사에 의해서 행한다.
광학 기록 매체(10)의 동일면측으로부터의 레이저 광 조사에 의한 재생 또는 기록은 광학 헤드로부터의 조사광 L을, 도 1 중의 실선으로 도시하는 바와 같이, 제 1 정보 기록층(21)에 포커싱시켜 행하고, 제 2 정보 기록층(22)에 대해서는 광학 헤드로부터의 조사광 L을 도 1 중의 파선으로 도시하는 바와 같이, 제 2 정보 기록층(22)에 포커싱시켜 행한다.
다음에, 본 발명의 광학 기록 매체를, 광자기 기록 매체에 적용한 경우에 관해서 설명한다.
도 2는 광자기 기록 매체(100)의 일 예의 개략 단면도를 도시한다. 광자기 기록 매체(100)에 있어서는 폴리카보네이트 등의 광 투과성 수지로 이루어지는 기판(101)상에, 기판의 사출성형과 동시에 형성한 프리 그루브 등의 미세 요철(102)을 갖고, 미세 요철(102)상에 광자기 기록층(104)이 성막되어 이루어지는 정보층(105)을 갖고, 정보층(105)상에 보호층(106)이 형성되어 이루어지는 구성을 갖는다.
도 3에, 도 2에 도시한 광자기 기록 매체(100)의 광자기 기록층(104)의 적층 구조를 도시한 개략 단면도를 도시한다.
광자기 기록층(104)은 도 3에 도시하는 적층 구성으로 할 수 있다. 이 광자기 기록층(104)은 예를 들면 기판(101)상에, 예를 들면 SiNx로 이루어지고, 40〔nm〕정도의 막 두께의 제 1 유전체층(41)과, 예를 들면 TbFeCo로 이루어지며, 15〔nm〕정도의 막 두께의 기록층(42)과, 후술하는 AgCu계 합금으로 이루어지고, 10〔nm〕정도의 막 두께의 반투명의 열 조정막(43)과, 예를 들면 SiNx로 이루어져 20〔nm〕정도의 막 두께의 제 2 유전체층(44)과, 후술하는 AgCu계 합금으로 이루어지고, 40〔nm〕정도의 막 두께의 반사막(45)이 순차 적층 형성되어 이루어지는 구성을 갖는다.
도 3에 있어서의 열 조정막(43) 및 반사막(45)은 상술한 반투명 반사막(13) 및 반사막(14)에 있어서와 마찬가지로, AgCu 합금, 또는 AgCu계 합금에 의한 박막에 의해서 형성할 수 있다.
AgCu 합금은 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금을 적용할 수 있다.
또는 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금으로서, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하인, AgCu계의 3원 합금 또는 4원 합금에 의해서 구성할 수 있다.
또는 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금으로서, 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕의 Pd를 함유하고, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의, 적어도 1 또는 2 이상의 원소를 합계로 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하 함유한, AgCuPd계의 4원 또는 5원 합금에 의해서 구성하는 보호층(106)은 종래 공지의 자외선 경화성 수지를 스핀 코팅하여(spin coating), 광 경화함으로써 형성할 수 있다.
도 2에 도시하는 광자기 기록 매체(100)에 대한 정보의 기록 또는 재생을 행할 때는 기판(101)측으로부터의 레이저 광 조사에 의해서 행한다.
즉, 광학 헤드로부터의 조사광 L을 도 2 중의 실선으로 도시하는 바와 같이, 정보층(105)에 포커싱시켜 행한다.
다음에, 본 발명의 광학 기록 매체의 특성을 이해하기 위해서, 본 발명에 따른 광학 기록 매체의 실시예를 포함해서 각 디스크 구조에 의한 시료를 제작하고, 각각의 특성, 즉 내후성을 측정하였다.
또한, 이들 시료 중에 있어서, 1장의 기판에만 정보 기록층을 형성한 구조의 디스크(이하 단판이라고 부른다)의 시료를 제작하여, 그 특성을 측정한 이유는 예를 들어 기판의 두께를 0.6〔mm〕로 한 경우, 2장의 기판간에 제 1 및 제 2 정보 기록층을 끼운 접합 구조에 비하여, 전체의 강성이 뒤떨어지기 때문에, 그 보존 시 험에 의한 기판의 휘어짐의 발생이 현저하게 나타나고, 예를 들면 반투명 반사막 등을 구성하는 합금 박막과 기판과의 밀착력이 문제되어, 박리가 생기기 쉬워, 결과적으로 엄격한 평가를 할 수 있는 것에 있다.
또한, 각각 제 1 및 제 2 정보 기록층(21 및 22)에 상당하는 제 1 및 제 2 기판(1 및 2)에 상당하는 2장의 기판의 접합 구조에 의한 광디스크에 관한 시료에 있어서, 그 반사막(14)에 상당하는 합금 박막을 반투명 반사막에 있어서의 합금 박막과는 다른 통상의 합금 박막의 AlTi 재료에 의한 구성으로 한 이유는 이질의 합금 박막의 접합 구조가 고습 환경 하에서의 열화가 가속되어, 엄격한 평가를 할 수 있는 것에 의한다. 결국, 이 접합 구조의 시료에 있어서, 반투명 반사막과 반사막과의 쌍방을 모두 AgCu 합금, AgCu 합금계, AgCuPd계 합금에 의해서 구성하는 경우는 이들 시료의 내후성은 보다 뛰어난 내후성을 나타내게 된다.
즉, 각 시료에 기인하여, 반투명 반사막의 재료 특성의 고찰을 보다 엄격하게 행하였다.
〔시료 1〕
우선, 두께 0.6〔mm〕의 기판을 폴리카보네이트를 사용하여 사출성형에 의해서 제작하였다.
이 기판의 한 주면에는 그 성형과 동시에, 트랙 피치 0.74〔㎛〕, 피트 깊이 110〔nm〕, 최단 피트 길이 0.44〔㎛〕인 EFM 코드를 사용하여 변조된 미세 요철 즉 비트 데이터열을 형성하였다.
이 비트 데이터열이 형성된 기판 상에, 마그네트론 스퍼터링법에 의해서, 막 두께를 10〔nm〕내지 15〔nm〕의 Ag100-xCux(x는 atom%)보다 이루어지고, x=3.0으로 한 반투명 반사막을 성막하여 제 1 정보 기록층(21)을 형성하였다.
다음에, 이 AgCu 합금에 의한 반투명 반사막상을 덮고, 보호층을 자외선 경화 수지의 스핀 코팅 및 경화 처리에 의해서 형성하였다.
〔시료 2〕
시료 1과 동일한 구성에 있어서, 반투명 반사막의 조성을 x=6.5로 하였다.
〔시료 3〕(실시예 1)
이 시료에 있어서는 도 1에 도시한 구조에 대응하는 것을 갖고, 각각 제 1 및 제 2 정보 기록층(21 및 22)을 갖는 제 1 및 제 2 기판(1 및 2)의 접합 구조로 한 경우이다.
이 경우, 시료 1에 있어서의 기판과 동일한 구성에 의한 제 1 기판(1)을 준비하고, 이 위에, 마그네트론 스퍼터링법에 의해서, Ag100-xCux에 있어서 x=3.0으로 한 AgCu 합금 박막을 성막하고, 막 두께 10 내지 15〔nm〕의 반투명 반사막(13)을 성막하여 제 1 정보 기록층(21)을 형성하였다.
한편, 제 1 기판(1)과 동일한 구성에 의한 제 2 기판(2)을 제작하고, 이 제 2 기판(2)상에, 마그네트론 스퍼터링법에 의해서 막 두께 50〔nm〕의 AlTi 합금 박막으로 이루어지는 반사막(14)을 성막하여 제 2 정보 기록층(22)을 형성하였다.
그리고, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을, 투명 접착제로서 자외선 경화성 수지를 사용하여 서로의 정보 기록층(21, 22)을 대향시켜 접합하고, 접합 구조의 광 디스크를 제작하였다.
그러므로, 제 1 기판(1)상에 성막한 AgCu계 합금막의 막 두께의 선정은 파장 660〔nm〕의 레이저광을 사용하여, 제 2 기판(2)상의 반사막(14)으로서 35 내지 60〔nm〕의 막 두께의 Al 합금막, 또는 30 내지 60〔nm〕의 막 두께의 Ag 합금막을 형성한 경우에, 제 1 정보 기록층(21)의 반사율과 제 2 정보 기록층(22)의 반사율이 거의 같아지도록 설정한 것이다.
〔시료 4〕(비교예 1)
이 시료에 있어서는 시료 1과 동일한 구성, 및 제조 방법을 취하지만, 그 Ag100-xCux합금 박막을 x=2.0으로 하였다.
〔시료 5〕(비교예 2)
이 시료에 있어서도, 시료 1과 동일한 구성, 및 제조 방법을 취하지만, 그 Ag100-xCux합금 박막을 x=7.0으로 하였다.
〔시료 6〕(비교예 3)
이 시료에 있어서도, 시료 1과 동일한 구성, 및 제조 방법을 취하지만, 그 Ag100-xCux합금 박막을 x=9.0으로 하였다.
〔시료 7〕(비교예 4)
이 시료에 있어서도, 시료 1과 동일한 구성, 및 제조 방법을 취하지만, 그 Ag100-xCux합금 박막 대신에, 제 1 기판(1)상에 마그네트론 스퍼터링법에 의해서, 막 두께가 10 내지 15〔nm〕의 Si 막을 성막하여 제 1 정보 기록층(21)을 형성하였다.
다음에 제 1 기판(1)과 동일하게, 제 2 기판(2)상에 마그네트론 스퍼터링법에 의해서 막 두께 50〔nm〕의 AlTi 합금 박막에 의한 반사막(14)을 성막하여 제 2 정보 기록층(22)을 형성하였다.
상기 제 1 및 제 2 기판(1 및 2)을, 시료 3과 동일하게 투명 접착제로서의 자외선 경화성 수지에 의해서 서로의 정보 기록층(21, 22)을 대향시켜 접합하고,접합 구조의 광디스크를 제작하였다.
〔시료 8〕(비교예 5)
이 시료에 있어서는 시료 1과 동일한 구성, 및 제조 방법을 취하지만, 그 반투명 반사막으로서, 막 두께가 10 내지 15〔nm〕의 Ag 막을 성막하였다.
상술한 각 시료(1 내지 8)에 관해서, 고온 고습 환경 하의 보존 시험을 하여, 이 시험의 전후에 있어서의, 각 정보 기록층(21, 22)의 반사율〔%〕, 지터〔%〕의 측정을 하여, 보존 시험의 전후에서의 정보 기록층의 반사율의 변화율〔%〕을 산출하였다.
또, 고온 고습 환경 하의 보존 시험은 온도 85℃, 습도 90% RH의 환경의 보존 조내에 각 시료의 광디스크를 100시간 방치시키는 것으로 하였다.
또한, 지터치의 측정에는 파장 660〔nm〕의 반도체 레이저, 및 개구율 0.60의 대물렌즈를 탑재한 광학 픽업을 사용하였다.
각 시료(1 내지 8)의, 반투명 반사막의 성막 재료 조성(atom%)과, 광디스크 구조와, 그 보존 시험의 전후에 있어서의, 각 정보 기록층(21, 22)의 반사율〔%〕, 지터〔%〕, 및 보존 시험의 전후에서의 정보 기록층의 반사율의 변화〔%〕를 결과를, 도 6 및 도 7의 표 1- 1 및 표 1-2에 나타낸다.
표 중, R1〔%〕는 단판 구조 및 접합 구조의 각 시료(광디스크)의 제 1 정보 기록층(21)에 관한, 초기 즉 보존 시험전의 반사율을 나타내고, R3〔%〕은 이들의 보존 시험 후의 반사율을 나타낸다.
또한, 표 중 R2〔%〕는 접합 구조의 시료(광디스크)의 제 2 정보 기록층(22)의 초기의 반사율을 나타내고, R4〔%〕는 이들의 보존 시험 후의 반사율을 나타낸다.
또한, 보존 시험 전후의 반사율의 변화는 ｜R1-R3｜〔%〕로 도시한다.
표 1(도 6 및 도 7)에 도시하는 바와 같이 단판 구조의 광디스크의 정보 기록층 및 접합 구조의 광디스크의 제 1 정보 기록층(21)에, Ag100-xCux(3≤x≤6.5)의 박막을 형성한 시료(1 내지 3)는 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕이하로 저감화되고, 보존 시험 전후에 있어서의 지터의 변화를 1〔%〕이하로 억제할 수 있으며, 이 결과로부터 내후성이 양호한 광학 특성이 얻어지는 것을 알 수 있다.
이에 대하여 시료 4 내지 7(비교예 1 내지 비교예 4)은 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕를 넘고, 시료 8(비교예 5)에 있어서는 보존 시험 후의 지터치가 커져 안정한 신호의 재생을 행할 수 없게 된다는 문제가 생겼다.
다음에, 정보 기록층에, 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하고, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 그 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 한 AgCu(Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W)의 3원 합금 또는 4원 합금의 어느 하나를 성막한 시료 9 내지 39를 제작하였다.
〔시료 9〕내지 〔시료 31〕
이들 시료에 있어서는 시료 1에 있어서와 동일한 구성 및 방법에 의한 단판의 광 디스크 구성으로 하였지만, 이들 시료에 있어서는 기판상(1) 상의 AgCu 합금막 대신에, 반투명 반사막(13)을, 막 두께가 10 내지 15〔nm〕인 Ag100-x-yCuxAy(A는 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소로, x, y는 각각 atom%을 나타낸다)로 하고, 2≤x≤9, 0.5≤y≤8.1의 구성으로 하였다.
〔시료 32〕(실시예 2) 내지 〔시료 38〕(실시예 8)
시료 3과 동일한 구성 및 방법을 갖고, 도 1에서 도시한 제 1 및 제 2 정보 기록층(21 및 22)을 갖는 제 1 및 제 2 기판(1 및 2)의 접합 구조로 하지만, 이 시료 32 내지 시료 38에 있어서는 제 1 기판(1)상의 반투명 반사막(13)을, 막 두께가 10 내지 15〔nm〕인 Ag100-x-yCuxAy(A는 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소로, x, y는 각각 atom%를 나타낸다)로 하고, 2≤x≤9, 0.5≤y≤8.1의 구성으로 하였다.
〔시료 39〕(비교예 6)
시료 1과 동일한 구조 및 방법에 의한 것이지만, 이 시료 39에 있어서는 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-yCuxAy(A는 Al 및 Ti)로 하고, x=5.4로 하고, y=8.5로 한 그 밖의 조건은 〔시료 1〕과 동일하게 하여 단판 구조의 광디스크의 샘플을 제작하였다.
상술한 각 시료 9 내지 39에 관해서, 그 반투명 반사막의 성막 재료 조성(atom%)과, 광 디스크 구조를 도 8 및 도 10의 표 2-1 및 표 3-1로서 나타내고, 상술한 바와 같은 고온 고습 환경 하의 보존 시험을 하여, 이 시험 결과를, 도9 및 도 11의 표 2-2 및 표 3-2에 나타낸다.
단판 구조의 광디스크의 정보 기록층 및 접합 구조의 광디스크의 제 1 정보 기록층(21)에, 합금의 원자 조성을 Ag100-x-yCuxAy(A= Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 적어도 어느 하나)로, 2≤x≤9, 0.5≤y≤8.1로 하였다, 시료 9 내지 시료 38에 있어서는 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕이하로 저감화되어, 보존 시험 전후에 있어서의 지터의 변화를 1〔%〕이하로 억제할 수 있고, 특히 내후성이 양호한 광학 특성이 얻어졌다.
이에 대하여, 시료 39(비교예 6)에 있어서는 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕를 넘고, 내후성이 열화되었다.
다음에, 정보 기록층에, 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하고, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 합계로 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕 이하 함유하고, 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕이하인 Pd를 함유한다, AgCuPd계 4원 합금 또는 5원 합금의 어느 하나에 의한 반투명 반사막을 성막한 시료(광디스크)를 나타낸다.
〔시료 40〕내지 〔시료 60〕
시료 1과 동일한 구조 및 방법에 의한 단판 구조로 하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy(A는 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W의 1종이고, x, y, z는 각각 atom%을 나타낸다)의, 1.5≤x≤9.0, 0.5≤y≤8.1, 0.1≤z≤2.0으로 하였다.
〔시료 61〕(실시예 9) 내지 〔시료 65〕(실시예 13)
시료 3(실시예 1)과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy(A는 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W의 1종이고, x, y, z는 각각 atom%을 도시한다)의, 1.5≤x≤9.0, 0.5≤y≤8.1, 0.1≤z≤2.0으로 하였다.
〔시료 66〕(비교예 7)
시료 1에서 설명한 것과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy(A는 Al)로 하고, x=4.0으로 하고, y=9.0으로 하여, z=0.9로 한다.
〔시료 67〕(비교예 8)
시료 1과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy로 하고, x=1.5, y=0.0, z=0.9로 하였다.
〔시료 68〕(비교예 9)
시료 1과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy로 하고, x=1.5, y= 0.0, z= 0.9로 하였다.
〔시료69〕(비교예10)
시료 3과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy로 하고, x=1.5, y= 0.0, z= 0.9로 하였다.
〔시료 70〕(비교예 11)
시료 3과 동일한 구조 및 방법에 의해서 제작하지만, 그 반투명 반사막(13)을, Ag100-x-y-zPdzCuxAy로 하고, x=4.0, y=0.0, z=0.9로 하였다.
상술한 시료 57 내지 시료 70의 광디스크에 관해서, 그 반투명 반사막의 성막 재료 조성(atom%)과, 광 디스크 구조와, 상술한 바와 같은 고온 고습 환경 하의 보존 시험을 하여, 이 시험 결과를, 도 14 및 도 15의 표 5-1 및 표 5-2에 나타낸다.
도 14 및 도 15의 표 5-1 및 표 5-2에 나타내는 바와 같이, 단판 구조 및 접합 구조의 제 1 정보 기록층(21)에, 합금의 원자 조성을 Ag100-x-y-zPdzCuxAy로 하고, A가 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2종의 원소로 하며, 1.5≤x≤9.0, 0.5≤y≤8.1, 0.1≤z≤2.0으로 한 시료 40 내지 시료 65에 있어서는 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕이하로 저감화되고, 보존 시험 전후에 있어서의 지터의 변화를 1〔%〕이하로 억제할 수 있고, 특히 내후성이 양호한 광학 특성이 얻어졌다.
이에 대하여 시료 66(비교예 7)에 있어서는 보존 시험 후의 지터치가 커져 버려, 안정한 신호의 재생을 행할 수 없게 되는 문제를 발생하였다.
또한, 시료 67(비교예 8) 내지 시료 70(비교예 11)에 나타낸 광디스크에 있어서는 보존 시험 전후에 있어서의 반사율의 변화가 1.0〔%〕를 넘어, 내후성이 열화되었다.
상술한 부분에서 분명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 정보 기록층에, AgCu 합금 박막, 또는 AgCu계 합금을 적용하여, 그 조성의 특정, 원소의 선정, 그 함유량의 특정에 따라서, 정보 기록층의 내후성 향상을 도모할 수 있고, 고온 고습 조건하에 있고 장기 보존한 후에 있어서의 반사율이나 투과율 등의, 광학 기록 매체의 정보 기록층에 요구되는 광학 특성의 변화량이 낮게 억제되며, 지터의 열화가 효과적으로 회피되며, 또한 종래의 광학 기록 매체에 비하여 비용의 저감화를 도모할 수 있다.
또한, 상술한 각 시료에 있어서는 ROM(Read 0nly Memory)의 광디스크에 관해서 예시하였지만, 본 발명은 이 예에 한정되는 것은 아니며, 그 밖에, 광자기 기록, 상변화 기록과 같은 재기록이 가능한 광디스크에 대해서도 적용할 수 있고, 반사막이나 열 구조막으로서, 본 발명의 정보 기록층을 구성하는 AgCu 합금을 적용함으로써, 내후성의 향상을 도모하고, 장시간 보존에 의한 경시 변화에 의한 기록 감도의 변화를 저감하여 안정된 기록을 할 수 있으며, 지터의 열화를 효과적으로 회피할 수 있다.
예를 들면, 본 발명을 도 3에 도시하는 광자기 기록 매체(100)에 적용하여, 기록 감도의 변화의 측정을 하였다.
광자기 기록 매체(100)는 기판(101)상에 SiNx로 이루어지고 40〔nm〕의 막 두께의 제 1 유전체층(41), TbFeCo로 이루어져 15〔nm〕의 막 두께의 기록층(42), AgCu계 합금으로 이루어져 10〔nm〕정도의 막 두께의 반투명 반사막에 의한 열 조정막(43), SiNx로 이루어져 20〔nm〕정도의 막 두께의 제 2 유전체층(44), 및 AgCu계 합금으로 이루어져 40〔nm〕정도의 막 두께의 반사막(45)이 적층 형성되어 이루어지는 구성을 갖는다.
또, 열 조정막(43) 및 반사막(45)이, AgPd0.9Cu1.5합금 박막으로 이루어지는 광자기 디스크 샘플과, AgCu0.9Ti1.7합금 박막으로 이루어지는 광자기 디스크를 제작하였다.
이 경우, 소위 자계 변조 기록법을 사용하여, 레이저광의 파장을 405〔nm〕로 하고, 대물렌즈의 개구 수를 0.60으로 하고, 선속도를 4.6〔m/s〕의 각 조건하, 트랙 피치를 0.80〔㎛〕, 홈 깊이 30〔nm〕의 소위 랜드 그루브 기록 안내홈이 설치된 기판(101)상의 광자기 기록층(104)에, 마크 길이 0.3〔㎛〕의 기록을 행하고, 상술한 보존 시험 전후에 있어서의 기록 파워와 재생 CNR의 관계를 측정하였다.
이 측정 결과를 도 5에 도시한다. 도 5에 있어서, ■, 및 □이 AgPd0.9Cu1.5합금 박막을 성막한 광자기 디스크의 보존 시험 전후에 있어서의 측정 결과를 나타내고, ● 및 ○를 AgCu0.9Ti1.7합금 박막을 성막한 광자기 디스크의 보존 시험 전후에 있어서의 측정 결과를 도시한다.
도 5에 도시하는 바와 같이, AgPd0.9Cu1.5합금을 성막한 광자기 디스크에 있어서는 고온 고습 조건하에 있어서의 보존 시험 후의 기록 파워는 약 10% 정도 높은 방향으로 시프트하였다. 즉, 고온 고습 조건하에 방치되는 것에 의해서, 원자의 이동에 의해 박막의 밀도가 향상되고, 열전도율이 높아지며, 에너지적인 손실이 커졌다.
한편, 본 발명의 광학 기록 매체의 일 예에 따른 광자기 디스크에 있어서의 AgCu0.9Ti1.7합금을 성막한 광자기 디스크에 있어서는 고온 고습 조건하에 있어서의 보존 시험 후에 있어서는 기록 파워의 상승은 보이지 않고, 에너지적인 손실이 작고, 막의 특성으로서 극히 내후성이 뛰어난 것을 알았다.
금속에서는 일반적으로, 반사율이 높은 재료일수록 열전도율이 높고, 반대로 반사율이 낮으면 열전도율도 저하한다. 또한, 열전도율이 높아질수록, 기록 감도가 저하되고, 반대로 열전도율이 낮을수록 기록 감도가 향상된다.
반사막의 보존 시험 전후에서의 반사율의 변화를 측정함으로써, 기록 감도의 변화를 어림할 수 있다. 때문에 상기〔표 1〕내지 〔표 5〕중에 나타낸 각 실시예로부터, 각종 조성에서의 기록 감도의 변화를 어림하는 것이 가능하다.
본 발명에 따르면, AgCu 합금 또는 AgCuPd 합금에, Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 어느 하나의 원소를 1종 이상 함유시키는 것을 특징으로 하고 있지만, 이러한 첨가 원소 외에, 화학적으로 유사한 성질을 갖는 천이 금속인 V, Cr, Mn, Co, Y, Zr, Nb, Ru, Ta를 함유시키는 것에 의해서도 본 발명과 동일한 효과를 기대할 수 있다.
더욱이, 본 발명의 광학 기록 매체는 단층, 2층의 정보 기록층을 갖는 것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 3층 이상의 정보 기록층이 적층된 다층 구조의 광학 기록 매체에 대해서도, 동일하게 적용할 수 있다.
또한, 상술한 예에 있어서는 광학 기록 매체를 구성하는 기판을, 사출성형에의해 형성하였지만, 본 발명은 상술의 예에 한정되지 않고, 평활면을 갖는 판에, 2P(Photo polimarization)법에 의해서 미세 요철을 형성하는 경우에도 적용할 수 있다.
또한, 상술한 예에 있어서는 디스크형, 원판형의 광학 기록 매체의 예에 관해서 설명하였지만, 본 발명은 이 예에 한정되지 않고, 카드형, 시트형 등, 각종 형상의 광학 기록 매체에 대해서도 적용할 수 있다.

Claims (7)

  1. 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 반사막이 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금 박막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  2. 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이 형성되어 이루어지고,
    상기 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성되어 이루어지며,
    상기 반투명 반사막은 3.0〔atom%〕이상 6.5〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu 합금 박막으로 이루어지고,
    상기 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생이 상기 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  3. 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 반사막이 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고,
    상기 AgCu계 합금은 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 상기 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCu계의 3원 합금 또는 4원 합금중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  4. 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이 형성되어 이루어지고,
    상기 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성되어 이루어지며,
    상기 반투명 반사막이 2.0〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고,
    상기 AgCu계 합금은 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 상기 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCu계의 3원 합금 또는 4원 합금중 어느 하나로 이루어지며,
    상기 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생이 상기 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  5. 적어도 정보 기록층과 반사막을 갖는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 반사막이 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고,
    상기 AgCu계 합금은 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕이하인 Pd를 함유하고, 또한 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중의 1 또는 2의 원소를 함유하고, 상기 원소의 함유합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하로 된 AgCuPd계의 4원 합금 또는 5원 합금중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  6. 적어도 제 1 정보 기록층과, 제 2 정보 기록층이 적층되어 이루어지는 광학 기록 매체에 있어서,
    상기 제 1 정보 기록층에는 반투명 반사막이 형성되어 이루어지고,
    상기 제 2 정보 기록층에는 반사막이 형성되어 이루어지며,
    상기 반투명 반사막이 1.5〔atom%〕이상 9.0〔atom%〕이하의 Cu를 함유하는 AgCu계 합금 박막으로 이루어지고,
    상기 AgCu계 합금은 0.1〔atom%〕이상 2.0〔atom%〕이하인 Pd를 함유하며, 또한 Al, Ti, Fe, Ni, Mo, W 중 1 또는 2의 원소를 함유하고, 상기 원소의 함유 합계가 0.5〔atom%〕이상 8.1〔atom%〕이하 함유하는 AgCuPd계의 4원 합금 또는 5원 합금의 어느 하나로 이루어지며,
    상기 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생이 상기 제 1 정보 기록층을 투과한 조사광에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
  7. 제 2 항, 제 4 항, 또는 제 6 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 정보 기록층은 제 1 기판상에 형성되고,
    상기 제 2 정보 기록층은 제 2 기판상에 형성되며,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판이 서로의 정보 기록층을 대향시켜 접합하여 이루어지고,
    상기 제 1 및 제 2 정보 기록층에 대한 정보의 재생은 제 1 기판측으로부터의 광조사에 의해서 행하는 것을 특징으로 하는 광학 기록 매체.
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