WO2002054396A1 - Support d'enregistrement optique - Google Patents

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WO2002054396A1
WO2002054396A1 PCT/JP2001/011495 JP0111495W WO02054396A1 WO 2002054396 A1 WO2002054396 A1 WO 2002054396A1 JP 0111495 W JP0111495 W JP 0111495W WO 02054396 A1 WO02054396 A1 WO 02054396A1
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WO
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information recording
recording layer
atom
reflective film
recording medium
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PCT/JP2001/011495
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Katsuhisa Aratani
Shintaro Tanaka
Naoki Okawa
Original Assignee
Sony Corporation
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Publication date
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    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Definitions

  • the present invention is directed to an optical recording system for a semi-transparent reflective film and a reflective film, for example, for a CD (Compact Disc), a CD-ROM (CD-Read Only Memory), etc., which have higher weather resistance and lower cost.
  • a CD Compact Disc
  • CD-ROM Compact Only Memory
  • Optical recording media for recording various types of information such as for audio and video, use read-only media such as CDs and CD-ROMs, rewritable media such as magneto-optical discs and phase-change discs, and organic materials.
  • read-only media such as CDs and CD-ROMs
  • rewritable media such as magneto-optical discs and phase-change discs
  • organic materials such as organic materials.
  • write-once optical recording media such as CD-R.
  • Fine irregularities such as phase pits and pre-groups for recording data information, tracking servo signals, and the like are formed on the information recording layer constituting these optical recording media.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an optical recording medium 200 having a two-layer structure in which a first information recording layer 231 and a second information recording layer 232 are laminated.
  • the first information recording layer ′ 23 1 is formed on the first fine irregularities 2 11 formed at the same time as the injection molding of the first substrate 0 1 by, for example, Au, Si, Ag Pd Cu , And a translucent reflective film 223 made of AgPdTi or the like.
  • the second information recording layer 232 is the same as that of the injection molding of the second substrate 202.
  • a reflective film 224 such as an A1 thin film or an A1 alloy thin film is formed on the second fine irregularities 222 formed at that time.
  • the first substrate 201 and the second substrate 202 are arranged such that the first information recording layer 231 and the second information recording layer 232 face each other, and the transparent adhesive layer 202 is formed.
  • the two pieces of information recording layer are formed by laminating through three layers.
  • reproduction and / or recording of information from the first and second information recording layers 2 31 and 2 32, or both (hereinafter simply referred to as reproduction or recording) ).
  • the drive device is simplified, each of the information recording layers 2 31 and 2 32 is accessed in a short time, and its recording or reproduction is continuously performed.
  • the irradiation is performed by irradiating a laser beam from the same side of the optical recording medium 200, for example, the first substrate 201 side, by using a set of optical heads. Is desired.
  • the first and second information recording layers 2 31 and 2 32 are irradiated with laser light for recording or reproducing, or both, from the same side of the optical recording medium.
  • the laser beam L is applied to the first information recording layer 231, from the same optical head, as shown by the solid line in FIG.
  • the laser beam L is focused on the second information recording layer 232 as shown by the broken line in FIG. 4 for the second information recording layer 232.
  • the first information recording layer 231 on the incident side of the laser light is provided with a translucent reflective film 223, which reflects a part of the irradiation laser light to reflect the first information.
  • the recording or reproduction of the recording layer 2 31 is performed, and a part of the recording or reproduction is performed, and the recording of the second information recording layer 2 31 is performed toward the second information recording layer 2 32. Alternatively, reproduction is performed.
  • the first information recording layer 23 1 and the second information recording layer 23 2 are mutually connected via a transparent adhesive layer 203 made of an adhesive material having a high transmittance to laser light. Are stacked at a distance such that the reproduced signals do not interfere with each other. For this reason, the focus position of the objective lens is set at a position corresponding to each of the information recording layers 2 31 and 2 32. By adjusting the position, it is possible to reproduce each information with high precision.
  • the film design of the translucent reflective film 223 of the first information recording layer 231 is extremely important.
  • Au has a problem of increasing the cost of the material, and Si is relatively inexpensive.
  • bonding with the adhesive material constituting the transparent adhesive layer 203 or the material of the substrate 201 is not possible.
  • it has a problem in that it has poor reliability and mechanical reliability such as bending and warping or insufficient reliability in severe environments such as high humidity.
  • the Si film is more likely to separate Si adhered to the sputtering processing chamber in the sputtering process at the time of forming the film than the metal thin film, so that so-called particles are more likely to be generated, and an error is generated. There is a problem that one rate worsens.
  • the film thickness is It is necessary to set it to about 5 [nm] to 25 [nm], which is thinner than, for example, 35 [nm] to 0 [nm] of the reflective film in a normal compact disc.
  • the metal or Si semiconductor material used for the ordinary translucent reflective film is subjected to surface oxidation due to the influence from the substrate 201 side during long-term storage and further in a high-temperature and high-humidity environment. Since film formation is relatively easy to occur, such a film thickness has a large effect on the change in reflectance and is inferior in weather resistance.
  • the translucent reflective film 223 not only has an effect from the substrate 201 side, but also has a problem of oxidization from a contact portion with the transparent adhesive layer 203, thereby increasing the reflectance. Changes and deterioration of the jitter of the reproduced signal are problems. '
  • the optical recording medium having such a multilayer structure.
  • the weather resistance of the reflection film is important, and there is a problem that not only the reproduction signal quality but also the recording conditions such as the recording sensitivity change due to the temporal change due to the oxidation of the reflection film.
  • the AgPdCu thin film or the AgPdTi thin film is inexpensive compared with the Au alone, and does not cause the separation problem as in the case of Si.
  • higher recording densities or recording capacities are required, and short-wavelength laser light is used as irradiation light used for recording or reproduction to improve the areal recording density.
  • higher recording pit accuracy is required, and even a slight deterioration of the reproduction signal jitter that is allowable when the surface recording density is low becomes a problem when the surface recording density increases.
  • the translucent reflective film in each information recording layer located on the incident side of the irradiation light has a From the selection of the relationship between the reflectance and the transmittance of each layer, the film thickness tends to be thinner, and higher weather resistance is required for this translucent reflective film.
  • the present invention relates to a semi-transparent reflective film constituting an information recording layer of an optical recording medium, and a reflective film, particularly a semi-transparent reflective film which is required to have a special property of being translucent.
  • An object of the present invention is to provide an optical recording medium capable of reducing costs. Disclosure of the invention
  • the present invention relates to an optical recording medium having at least an information recording layer and a reflective film, wherein the reflective film contains Cu of 3.0 [atom%] or more and 6.5 [atom%] or less.
  • the structure is made of an Ag Cu alloy thin film.
  • the present invention relates to an optical recording medium in which at least a first information recording layer and a second information recording layer are laminated, wherein the first information recording layer has a translucent reflective film. Formed on the second information recording layer.
  • a translucent reflective film comprising a Ag Cu alloy thin film containing Cu not less than 3.0 [atom%] and not more than 6.5 [atom%]. I do.
  • reproduction of information from the second information recording layer is performed by irradiation light transmitted through the first information recording layer.
  • the present invention relates to an optical recording medium having at least an information recording layer and a reflective film, wherein the reflective film has a Cu of 2.0 [atom%] or more and 9.0 [: atom%] or less.
  • the present invention relates to an optical recording medium having at least a first information recording layer and a second information recording layer laminated, wherein the first information recording layer has a translucent reflective film.
  • the second information recording layer has a reflective film formed on the second information recording layer, and the translucent reflective film has a Cu of not less than 2.0 [atom%] and not more than 9.0 [atom%].
  • Ag Cu-based alloy thin film containing, this Ag Cu-based alloy contains 1 or 2 elements of A 1, Ti, Fe, Ni, Mo, W, Ag Cu-based ternary or quaternary alloy with a total content of this element of 0.5 [atom%] or more and 8.1 Cato% or less. I do.
  • reproduction of information from the second information recording layer is performed by irradiation light transmitted through the first information recording layer.
  • the present invention relates to an optical recording medium having at least an information recording layer and a reflective film, wherein the reflective film has a Cu of not less than 1.5 C atom%] and not more than 9.0 [atom%].
  • Ag Cu-based alloy thin film This Ag Cu-based alloy contains Pd of 0.1 [at 0 m%] or more and 2.0 [atom%] or less, and Al, Ti, Fe, Ni, Ag C u P d containing 1 or 2 elements of Mo and W, and the total content of these elements is 0.5 [atom%] or more and 8.1 C atom%] or less
  • the system consists of either a quaternary alloy or a quinary alloy.
  • the present invention relates to an optical recording medium comprising at least a first information recording layer and a second information recording layer laminated, wherein the first information recording layer has a translucent reflective film.
  • a reflective film is formed on the second information recording layer, and the translucent reflective film contains Cu not less than 1.5 [atom%] and not more than 9.0 [atom%].
  • Ag Cu-based alloy thin film that contains Pd not less than 0.1 [atom%] and not more than 2.0 [atom%], and A 1, T i , Fe, Ni, Mo, W, contain 1 or 2 elements, and the total content of these elements is 0.5 [atom%] or more.
  • reproduction of information from the second information recording layer is performed by irradiation light transmitted through the first information recording layer.
  • the first information recording layer is formed on the first substrate, and the second information recording layer is And the first and second substrates are bonded together with their information recording layers facing each other, and the first and second information recording layers are formed on the first and second information recording layers. Reproduction of information to and from the layers is performed by light irradiation from the first substrate side.
  • the reflective film or the reflective film and the semi-transparent for optical recording media having a reflective film at least the translucent reflective film is made of an AgCu alloy, an AgCu-based alloy, and an AgCuPd-based alloy thin film.
  • an optical recording medium which is more excellent in weather resistance and inexpensive can be obtained.
  • the present invention in the Ag Cu-based alloy and the Ag Cu Pd-based alloy constituting the reflective film, the translucent reflective film, or the reflective film and the translucent reflective film, By specifying an additive element suitable for forming the alloy and specifying the content thereof, the weather resistance of the reflective film, the translucent reflective film, or the reflective film and the translucent reflective film is improved. Even under long-term storage under the conditions described above, it is possible to effectively avoid changes in optical characteristics such as reflectance and transmittance required for the information recording layer of the optical recording medium or changes in recording sensitivity. is there.
  • the configuration of the present invention provides an optical recording medium that exhibits higher weather resistance and that is inexpensive and thus reduced in cost, as will be apparent from the description below.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of an example of an optical recording medium having two information recording layers of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic sectional view of another example of the optical recording medium of the present invention
  • FIG. 3 is an enlarged schematic cross-sectional view of the magneto-optical recording layer of the magneto-optical recording medium
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an example of a conventional optical recording medium
  • FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the power and the CNR.
  • FIG. 6 is a table (Table 1-1) listing the configurations of the samples with various optical disc structures.
  • FIG. Fig. 8 is a table listing the characteristics of the samples (Table 1-2). Fig.
  • Fig. 8 is a table listing the configurations of the samples with various optical disk structures.
  • Fig. 9 (Table 2-1)
  • Fig. 9 is a table (Table 2-2) in which the characteristics of each sample in Fig. 8 are listed, and
  • Fig. 10 shows the samples of various optical disk structures.
  • Fig. 11 is a table (Table 3-1) that lists the configurations.
  • Fig. 11 is a table (Table 3-2) that lists the characteristics of each sample in Fig. 10;
  • Fig. 13 is a table (Table 4-11) that lists the composition of the samples by the disk structure.
  • Fig. 13 is a table (Table 4-2) that lists the characteristics of each sample in Fig. 12.
  • Figure 14 is a table (Table 5-1) that lists the configurations of the samples with various optical disk structures.
  • Figure 15 is a table that lists the characteristics of each sample in Figure 14 (Table 5-1). 5-2). '' Best mode for carrying out the invention
  • optical recording medium of the present invention is not limited to the examples shown below.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of an optical recording medium 10 of the present invention.
  • the first substrate 1 and the second substrate 2 are transparently bonded with the information recording layers 21 and 22 formed on the substrates 1 and 2 facing each other.
  • a DVD (Digital Versatile Disc) film having a structure in which the first information recording layer 21 and the second information recording layer 22 are laminated and has a configuration in which the first information recording layer 21 and the second information recording layer 22 are laminated via the agent layer 3 This is a case where the configuration is adopted.
  • the first and second information recording layers 2.1 and 22 have first and second fine irregularities 11 and 12 respectively formed according to recording information.
  • a semi-transparent reflective film 13 for the irradiation light used for recording and / or reproduction is formed, and a second fine unevenness 22 is formed with a reflection film 14 for the same irradiation light.
  • Consisting of The first substrate 1 can be manufactured by injection molding using, for example, a plastic such as a polycarbonate which exhibits light transmittance with respect to the above-mentioned irradiation light.
  • the first fine irregularities 11 of the first information recording layer 21 formed on the first substrate 1 can also be formed simultaneously with the injection molding of the first substrate 1.
  • the second substrate 2 may be formed by injection molding of plastic such as polycarbonate, for example, although it may be light-transmissive or opaque. At the same time, the second fine irregularities 12 constituting the second information recording 2 can be formed.
  • a semi-transparent reflective film 13 is formed on the first fine irregularities 11 of the first information recording layer 21.
  • the semi-transparent reflective film 13 has a thickness of, for example, 10 nm to 15 nm so as to reflect a part of the above-described irradiation light, for example, a laser beam and transmit a part of the light. And a thin film of an AgCu alloy or an AgCu alloy.
  • the Ag Cu alloy constituting the translucent reflective film 13 may be an Ag Cu alloy containing Cu not less than 3.0 [atom%] and not more than 6.5 [at om%]. .
  • the translucent reflective film 13 has a thickness of 2.0 (at 0 m%) or more.
  • the translucent reflective film 13 is an Ag Cu-based alloy containing Cu not less than 1.5 [atom%] and not more than 9.0 [atom%], and 0.1 [atom '% ⁇ 2.0, including Pd of 2.0 [atom%]. Has at least one or more elements of Al, Ti, Fe, Ni, Mo, and W in total of 0.5 [atom%] or more and 8.1 C atom% or less. It is composed of an AgCuPd quaternary or quinary alloy.
  • the reflection film 14 is formed on the second fine unevenness 12 described above.
  • the reflective film 14 is made of a metal material having a high reflectivity, for example, Au, an alloy mainly containing Au, for example, Ag, an alloy mainly containing Ag, or Pt, or Pt. Is formed using an alloy mainly composed of Pt, or Cu or an alloy mainly composed of Cu.
  • the reflection film 14 can be made of an A1 alloy obtained by adding Si, Ti, Cr and the like to A1.
  • the reflective film 14 has high weather resistance and low cost, and has the same material and composition as those of the above-mentioned translucent reflective film. It can be formed of a quaternary alloy or an AgCuPd-based quaternary or quinary alloy, and can have a thickness of, for example, 3.5 [nm] to 60 [nm].
  • Both the translucent reflective film 13 and the reflective film 14 described above are formed by a conventionally known sputtering method, generally a magnetron sputtering method.
  • the film can be formed.
  • the drive device When reproducing or recording signals from the first information recording layer 21 and the second information recording layer 22 on the optical recording medium 10 shown in FIG. 1, the drive device is simplified, and Each of the information recording layers 21 and 22 can be accessed in a short time, and the recording or reproduction can be performed continuously by using a set of optical heads.
  • the laser beam irradiation is performed from the first substrate 1 side.
  • the irradiation light L from the optical head is applied to the first information recording layer as shown by the solid line in FIG.
  • Focusing on the second information recording layer 22, the irradiation light L from the optical head is applied to the second information recording layer 22 as shown by the broken line in FIG. Perform focusing. .
  • FIG. 2 is a schematic sectional view of an example of the magneto-optical recording medium 100.
  • the magneto-optical recording medium 100 has fine irregularities 102 such as a pre-group formed simultaneously with injection molding of a substrate on a substrate 101 made of a light-transmitting resin such as polycarbonate. It has an information layer 105 on which the magneto-optical recording layer 104 is formed on the fine unevenness 102, and has a configuration in which a protective layer 106 is formed on the information layer 105. .
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a laminated structure of the magneto-optical recording layer 104 of the magneto-optical recording medium 100 shown in FIG.
  • the magneto-optical recording layer 104 can have a laminated structure shown in FIG.
  • the magneto-optical recording layer 104 is composed of, for example, SiN x on the substrate 101, for example, and a first dielectric layer '41 having a thickness of about 40 [nm], and for example, Tb.
  • a recording layer 42 made of F e Co and having a thickness of about 15 [nm], and a translucent heat having a thickness of about 10 [nm] made of an AgCu-based alloy described later.
  • adjustment film 4 3 for example, an S i N consists x 2 0 of about [nm] membrane second thickness of the dielectric layer 4 4 consists of a g C u alloy to be described later, 4 0 [nm] degree
  • a reflective film 45 having a film thickness of 40 nm.
  • the heat adjustment film 43 and the reflection film 45 in FIG. As in the bright reflection film 13 and the reflection film 14, it can be formed by a thin film of an AgCu alloy or an AgCu-based alloy.
  • Ag Cu alloy containing Cu not less than 3.0 [atom%] and not more than 6.5 [atom%] can be applied.
  • an Ag Cu-based alloy containing Cu not less than 1.5 [atom%] and not more than 9.0 [atom%] and having a content of 0.1 [atom] or more and 2.0 C aom%] Pd is contained, and at least one or more of Al, Ti, Fe, Ni, Mo, and W is 0.5 [atm '%] or more in total.
  • the protective layer 106 composed of an AgCuPd-based quaternary or quaternary alloy containing C atom%] or less is formed by spin-coating a conventionally known ultraviolet curable resin and photo-curing. Can be formed by
  • Recording or reproduction of information on the magneto-optical recording medium 100 shown in FIG. 2 is performed by irradiating a laser beam from the substrate 101 side.
  • the irradiation light L from the optical head is focused on the information layer 105 as shown by the solid line in FIG.
  • a disk (hereinafter, referred to as a single plate) having a structure in which an information recording layer is formed on only one substrate was prepared from these samples.
  • the reason why the characteristics were measured is that, for example, when the thickness of the substrate is 0.6 [mm], compared to the bonding structure in which the first and second information recording layers are sandwiched between two substrates.
  • the overall rigidity is inferior, warpage of the substrate due to the storage test appears remarkably, for example, the adhesion force between the alloy thin film constituting the translucent reflection film and the substrate and the substrate becomes a problem, and separation occurs. It is easy and, as a result, can be evaluated rigorously.
  • the alloy thin film corresponding to the reflective film 14 is made of a normal alloy thin film made of A1Ti material, which is different from the alloy thin film in the translucent reflective film, is that the bonding of a heterogeneous alloy thin film is better. Deterioration in a high-humidity environment is accelerated, and rigorous evaluation can be performed. In other words, in this bonded structure sample, when both the translucent reflective film and the reflective film are made of AgCu alloy, AgCu alloy system, and AgCuPd system alloy. Means that these samples show better weather resistance.
  • a substrate having a thickness of 0.6 [mm] was produced by injection molding using polycarbonate.
  • a protective layer is formed on the translucent reflective film made of the AgCu alloy by spin coating and curing of an ultraviolet curable resin.
  • first and second substrates 1 and 2 having a structure corresponding to the structure shown in FIG. 1 and having first and second information recording layers 21 and 22, respectively, were attached. This is the case of a matching structure.
  • a first substrate 1 having the same configuration as that of the substrate in sample 1 is prepared.
  • ⁇ 3 at Ag 100 — X Cu x
  • An Ag Cu alloy thin film having a thickness of 0 was formed, and a translucent reflective film 13 having a thickness of 10 15 [nm] was formed to form a first information recording layer 21.
  • a second substrate 2 having the same configuration as that of the first substrate 1 was prepared, and a 50 nm-thick A1 film was formed on the second substrate 2 by magnetron sputtering.
  • a second information recording layer 22 was formed by forming a reflective film 14 made of a Ti alloy thin film.
  • the first substrate 1 and the second substrate 2 are adhered to each other with the information recording layers 2 122 facing each other by using an ultraviolet curable resin as a transparent adhesive, and a laminated structure is formed.
  • Optical disc was manufactured Incidentally, the thickness of the AgCu-based alloy film formed on the first substrate 1 was selected using a laser beam having a wavelength of 600 nm, and the reflection film 14 on the second substrate 2 was used. When an A1 alloy film with a thickness of 35 to 60 (nm) or an Ag alloy film with a thickness of 30 to 60 (nm) is formed,
  • the reflectance of the first information recording layer 21 is set to be substantially equal to the reflectance of the second information recording layer 22.
  • This sample also has the same configuration and manufacturing method as Sample 1, but has an Ag of 10 .
  • the C u x alloy thin film, and X 9. 0 [Sample 7] (Comparative Example 4)
  • This sample also has the same configuration and manufacturing method as sample 1, but the Agu.
  • the magnetic Toronsupa' evening-ring method first upper board 1, the first information recording by forming a S i layer having a thickness of 1 0-1 5 [nm] A layer 21 is formed.
  • a reflection film made of an AlTi alloy thin film having a thickness of 50 nm is formed on the second substrate 2 by a magnetron sputtering method.
  • a second information recording layer 22 was formed by depositing 14.
  • an Ag film having a film thickness of 10 to 15 [nm] was formed as a translucent reflective film, although the same configuration and manufacturing method as in Sample 1 were adopted.
  • a storage test was performed for each of the above samples 1 to 8 in a high-temperature and high-humidity environment, and before and after this test, the reflectance [%] and jitter [%] of each information recording layer 21 and 22 were measured. The change rate [%] of the reflectance of the information recording layer before and after the storage test was calculated.
  • the optical disk of each sample was allowed to stand for 1.00 hours in a storage tank with a temperature of 85 ° C and a humidity of 90% RH. .
  • the jitter value was measured using an optical pickup equipped with a semiconductor laser having a wavelength of 600 [nm] and an objective lens having an aperture ratio of 0.60.
  • the material composition (atom%) of the translucent reflective film of each sample 1 to 8, the optical disc structure, and the reflectance of each information recording layer 21 and 22 before and after the storage test [% ], Jitter [%], and change [%] in the reflectivity of the information recording layer before and after the storage test are shown in Tables 1-1 and Table 1-2 in Figs. 6 and 7, respectively.
  • [%] is for the first information recording layer 2 1 of each sample veneer structure and bonding structure (optical disk), shows the reflectance before initial Sunawa Chi storage test, R 3 [%] Indicates the reflectance after these storage tests.
  • R 2 [%] ' is the sample of the bonded structure (optical disk ) Shows the initial reflectance of the second information recording layer 22, and R 4 [%] shows the reflectance after these storage tests.
  • the information recording layer contains Cu not less than 2.0 [at 0 m%] and not more than 9.0 [atom%], and Al, Ti ', Fe, Ni, Mo, W Ag Cu (Al, Ti, Fe, N) containing 1 or 2 of the above elements and having a total content of 0.5 [atom%] or more and 8.1 [atom%] or less
  • Samples 9 to 39 were prepared by depositing either a ternary alloy (i ', Mo, W) or a quaternary alloy.
  • the translucent reflective film 13 on the first substrate 1 was formed of Ag 10 having a film thickness of 10 to 15 [nm].
  • x- y y C x x A y (A is one or two elements of A l, T i, F e, N i, M o, W, and x and y each represent atom%), and 2 ⁇ x ⁇ 9, 0.5 ⁇ y ⁇ 8.1.
  • the first information recording layer 2 1 of the optical disc information recording layer and the bonding structure of the optical disc of the single plate structure, the atomic composition of the alloy A g 1 0 0 - x- y C u x A y (A At least one of A l, T i, F e, N i, Mo, and W), with 2 ⁇ x ⁇ 9 and 0.5 ⁇ y ⁇ 8.1, Samples 9 to 38 In, the change in reflectance before and after the storage test was reduced to 1.0% or less, The change in jitter was suppressed to 1% or less, and optical characteristics with particularly good weather resistance were obtained.
  • the information recording layer contains Cu not less than 1.5 [atom%] and not more than 9.0 [atom%], and among Al, Ti, Fe, Ni, Mo, and W, Contains a total of 0.5 [at 0 m%] or more and 8.1 [at 0 m%] or less, and 0.1 [atom%] or more and 2.0 [atom%] or less
  • Fig. 3 shows a sample (optical disc) on which a translucent reflective film formed of either an AgCuPd-based quaternary alloy or a quinary alloy containing Pd is formed.
  • the translucent reflection film 1 A g 1 0 o - x - y - z P d 2 C u ⁇ A y (A is A l, T i, F e, N i, 1 ⁇ 0, ⁇ , where y, y and z each represent atom%) of 1.5 ⁇ x ⁇ 9.0, 0.5 ⁇ ⁇ ⁇ 8.1 and 0.1 ⁇ z ⁇ 2.0.
  • the translucent reflective film 13 was made of Ag 1 Q.
  • the translucent reflective film 13 was made of Ag 10 .
  • the atomic composition of the alloy was set to Ag for the first information recording layer 21 having the single-plate structure and the bonded structure.
  • One x one y - and z P d z C u x A y, A is an A l, T i, F e , N i, M o, 1 or two elements of W,
  • the change in reflectance before and after the storage test 1.0% or less before and after the storage test
  • the change in jitter during the test can be suppressed to less than or equal to 1. [%], and optical characteristics with particularly good weather resistance can be obtained.
  • an AgCu alloy thin film or an AgCu alloy is applied to the information recording layer, the composition is specified, the elements are selected, and the content is determined.
  • the amount By specifying the amount, the weather resistance of the information recording layer is improved, and the optical characteristics required for the information recording layer of the optical recording medium, such as the reflectance and transmittance after long-term storage under high temperature and high humidity conditions.
  • the amount of change in the optical recording medium is suppressed to a low level, and the deterioration of the jitter is effectively avoided, and the cost is reduced as compared with the conventional optical recording medium.
  • a ROM (Read Only Memoly) optical disk has been described as an example, but the present invention is not limited to this example, and other examples include magneto-optical recording and phase change recording. It can be applied to optical discs that can be easily rewritten.
  • the AgCu alloy constituting the information recording layer of the present invention as a reflective film or a thermal structure film, the weather resistance can be improved, It is possible to perform stable recording by reducing the change in the recording sensitivity due to the temporal change due to the time storage, and it is possible to effectively avoid the deterioration of the jitter.
  • the change in the recording sensitivity was measured.
  • Magneto-optical recording medium 1 0 0 is made of S i N first dielectric layer 4 1 of a thickness of 4 0 [nm] consists x, T b F e C o on the substrate 1 0 1
  • thermoelectric film 43 and the reflection film 45 are made of AgPd. s Cu!.
  • a magneto-optical disc sample consisting of a 5 alloy thin film and Ag Cu. . 9 T i 1. to produce a magneto-optical disk composed of 7 alloy thin film.
  • the so-called magnetic field modulation recording method is used, the wavelength of the laser beam is set to 405 [nm], the numerical aperture of the objective lens is set to 0.60, and the linear velocity is set to 4.6 Cm / s]
  • the magneto-optical recording layer 10 on the substrate 101 provided with the so-called land group recording guide groove having a track pitch of 0.80 [ ⁇ m] and a groove depth of 30 [nm]
  • recording was performed with a mark length of 0.3 '[ ⁇ m], and the relationship between the recording power and the reproduction CNR before and after the storage test described above was measured.
  • Figure 5 shows the measurement results.
  • ⁇ and ⁇ indicate the measurement results before and after the storage test of the magneto-optical disk on which the AgPd0.9 CU5 alloy thin film was formed. 9 Ti
  • the higher the reflectivity of a metal the higher the thermal conductivity.
  • the lower the reflectivity the lower the thermal conductivity.
  • the higher the thermal conductivity the lower the recording sensitivity.
  • the lower the thermal conductivity the higher the recording sensitivity.
  • the change in recording sensitivity can be estimated by measuring the change in reflectivity before and after the storage test of the reflective film. Therefore, it is possible to estimate the change in the recording sensitivity with various compositions from each of the examples shown in the above [Table 1] to [Table 5].
  • the Ag Cu alloy or the Ag Cu Pd alloy contains one or more elements selected from the group consisting of A 1, Ti, Fe, Ni, Mo, and W.
  • V, Cr, Mn, C0, Y, Zr, Nb, R By containing u and Ta, the same effect as in the present invention can be expected.
  • the optical recording medium of the present invention is not limited to a single-layer or two-layer information recording layer, but is, for example, an optical recording medium having a multilayer structure in which three or more information recording layers are laminated. The same can be applied to
  • the substrate constituting the optical recording medium was formed by injection molding.
  • the present invention is not limited to the above-described example, and a plate having a smooth surface may be formed by a 2P (Photo polimarization) method.
  • the present invention can be applied to the case of forming fine irregularities.

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Description

明 細 書
光学記録媒体
技術分野
本発明は、 例えば C D ( Compact Disc) 、 C D - R O M ( C D - Read Only Memory) 等において、 半透明反射膜、 反射膜の、 よ り高い耐候性、 コス 卜のより低廉化を図った光学記録媒体に係わ o 背景技術
オーディオ用、 ビデオ用等、 各種の情報を記録する光学記録媒 体として、 C Dおよび C D— R O M等の再生専用型、 光磁気ディ スク、 相変化ディ スク等の書換え型、 および有機材料を用いた C D - R等の追記型等の各種光学記録媒体がある。
これらの光学記録媒体を構成する情報記録層には、 データ情報 、 トラ ッキングサ一ボ信号等の記録がなされる位相ピッ ト、 プリ グループ等の微細凹凸が形成される。
一方、 近年、 光学記録媒体において、 情報記録の大容量化の要 求が高まつており、 例えば第 1および第 2 の情報記録層が積層さ れた 2層構造の D V D (Digital Versatile Disc)の実用化が進ん でいる。
図 4 は、 第 1 の情報記録層 2 3 1および第 2 の情報記録層 2 3 2が積層された 2層構造による光学記録媒体 2 0 0 の概略断面図 を示す。
第 1 の情報記録層' 2 3 1 は、 第 1 の基板 0 1 の射出成形と同 時に形成した第 1 の微細凹凸 2 1 1上に、 例えば A u , S i， A g P d C u , A g P d T i等より成る半透明反射膜 2 2 3が成膜 されて構成されている。
第 2 の情報記録層 2 3 2 は、 第 2 の基板 2 0 2 の射出成形と同 時に形成した第 2 の微細凹凸 2 2 2上に、 例えば A 1薄膜、 A 1 合金薄膜等の反射膜 2 2 4が成膜されて構成されている。
そして、 これら第 1 の基板 2 0 1 と第 2の基板 2 0 2 とは、 第 1 の情報記録層 2 3 1および第 2の情報記録層 2 3 2を対向させ て透明接着剤層 2 0 3を介して貼り合わされて、 2層の情報記録 層が形成されている。
この構成による光学記録媒体 2 0 0においては、 その第 1およ び第 2の情報記録層 2 3 1および 2 3 2からのそれぞれの情報の 再生または記録、 あるいはその双方 （以下単に再生または記録と いう） を行うには、 その ドライブ装置の簡略化を図り、 かっこれ らの情報記録層 2 3 1 および 2 3 2のそれぞれに対し、 短時間に アクセスし、 連続的にその記録あるいは再生を行うことができる ように、 1組の光学へッ ドによつて、 光学記録媒体 2 0 0の同一 側、 例えば第 1 の基板 2 0 1側からのレーザ光照射によつて行う ようにすることが望まれる。
このように、 光学記録媒体の同一側から、 第 1および第 2の情 報記録層 2 3 1 および 2 3 2対して、 その記録あるいは再生、 ま たはその双方を行う レーザ光の照射を行う場合、 同一光学へッ ド から、 第 1 の情報記録層 2 3 1 に対しては、 レーザ光 Lを、 図 4 中の実線で示すように、 第 1の情報記録層 2 3 1 にフォーカシン グさせて行い、 第 2の情報記録層 2 3 2 に対しては、 レーザ光 L を図 4中の破線で示すように、 第 2の情報記録層 2 3 2 にフォー カシングさせて行う。
この場合、 第 1および第 2のの情報記録層 2 3 1および 2 3 2 の双方に関してレーザ光による記録あるいは再生、 またはその双 方を行う ことができるようにするためには、 上述したように、 レ 一ザ光の入射側の第 1の情報記録層 2 3 1には、 半透明反射膜 2 2 3が設けられて照射レーザ光の一部を反射してこの第 1の情報 記録層 2 3 1 の記録あるいは再生が行われるようにし、 一部を透 過させて、 第 2の情報記録層 2 3 2 に向かわせて、 この第 2の情 報記録層 2 3 1の記録あるいは再生が行われるようにする。
尚、 第 1 の情報記録層 2 3 1 と第 2の情報記録層 2 3 2 とは、 レーザ光に対して高透過率を有する接着材料からなる透明接着剤 層 2 0 3を介して、 互いの再生信号が干渉しないような距離を隔 てて積層されているものであり、 このために、 対物レンズのフォ ―力ス位置を各々の情報記録層 2 3 1および 2 3 2 に対応した位 置に合わせることにより、 それぞれの情報を高精度に再生するこ とが可能になる。
このような信号の再生方法を実現する上では、 第 1の情報記録 層 2 · 3 1 の半透明反射膜 2 2 3の膜設計が極めて重要となる。
この半透明反射膜 2 2 3の成膜材料として、 上述したように、 ' A u , S i， A g P d C u ,· A g P d T iが用いられている。
これらは、 レーザ光に対する反射率および透過率の観点から半 透明反射膜 2 2 3 としての光学的特性を満足し、 またスパッ夕 リ ングによつて容易に薄膜形成できることから適用されていた。
しかしながら、 A uは材料のコス ト高を来すという問題があり S i は相対的に安価であるが、 透明接着剤層 2 0 3を構成する 接着材料あるいは基板 2 0 1の材料との接着性に劣り、 曲げや反 り等の機械的な変形あるいは高湿度下のような厳しい環境下にお ける信頼性が充分に得られないという問題を有する。
さ らには、 S i膜は金属薄膜に比べて、 その成膜時のスパッタ リ ング工程におけるスパッ夕 リ ング処理室内に付着した S iが剝 離し易く 、 いわゆるパーティ クルが発生しやすく、 エラ一レー ト の悪化を来すという問題がある。
また、 通常の半透明反射膜に用いられている金属あるいは S i 半導体材料等によつて半透明反射膜を構成するには、 その膜厚は 5 〔 n m〕 〜 2 5 〔n m〕 程度とすることが必要であり、 これは 例えば通常のコンパク トディ スクにおける反射膜の 3 5 〔 n m〕 〜 0 〔 n m〕 に比して薄い。 そして、 この通常の半透明反射膜' に用いられている金属あるいは S i半導体材料等は、 長期間保存 、 更に高温多湿環境下での保存において、 基板 2 0 1側からの影 響により表面酸化が比較的生じ易いことから、 この程度の膜厚で は、 その反射率変化.への影響が大き く耐候性に劣る。
また、 この半透明反射膜 2 2 3 は、 基板 2 0 1側からの影響の みならず、 透明接着剤層 2 0 3 との接触部からの酸化も問題とな り、 これによる反射率め変化や再生信号のジッターの劣化が問題 となっている。 '
また、 上述した酸化のみならず、 高温環境下での放置、 いわゆ るァニール効果によって、 成膜後の膜中の原子が移動し、 熱伝導 率、 あるいは反射率が増加してしまう現象も、 組成によっては問 題となる。
このような多層構造の光学記録媒体においては、 その半透明反 射膜の構成に、 多くの問題を抱えていて、 この耐候性およびコス 卜の低廉化は、 多層構造の光学媒体の実用化において、 大きな問 題となっている。
しかしながら、 このような多層構造の光学記録媒体に限らず、 情報記録層と して各種材料膜を積層成膜する光磁気、 相変化、 色 素系等の記録可能な光学記録媒体に用いられる反射膜においても 、 反射膜の耐候性は重要であり、 反射膜の酸化等による経時変化 により、 再生信号品質のみならず、 記録感度等の記録条件の変化 を来すという問題もある。
—方、 A g P d C u薄膜あるいは A g P d T i薄膜は、 A u単 体に比較してコス ト的に安価であり、 S i の場合のような剝離の 問題も生じない。 しかしながら、 昨今、 より高い、 記録密度あるいは記録容量が 要求され、 記録あるいは再生に用いられる照射光として、 短波長 レーザ光が用いられて面記録密度の向上が図られている。 この場 合、 より高い記録ピッ 卜の精度が必要となり、 面記録密度が低い 場合において許容される程度の僅かな再生信号のジッターの劣化 でも、 面記録密度の高く なる場合には問題となる。
更に、 上述したような情報記録層が 2層構造とされたり、 さ ら に 2層以上の多層化がなされると、 照射光の入射側に位置する各 情報記録層における半透明反射膜は、 各層の反射率や、 透過率関 係の選定から、 その膜厚は、 より薄く される方向にあり、 この.半 透明反射膜においては、 より高い耐候性が要求されてく る。
すなわち、 より長期に渡り、 より,過酷な環境下において反射率 変化や、 再生信号のジッターの劣化を来すことがない、 より高い 耐候性が要求される。
そして、 更に、 より コス トの低廉化の要求も高まつている。 本発明は、 光学記録媒体の情報記録層を構成する半透明反射膜 、 および反射膜、 殊に半透明という特殊な特性が要求される半透 明反射膜において.、 その耐候性の向上と同時に、 コス トの低廉化 を図ることができる光学記録媒体を提供するものである。 発明の開示
本発明は、 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光学記録 媒体にあって、 その反射膜が、 3 . 0 [ a t o m %〕 以上 6 . 5 〔 a t o m %〕 以下の C uを含有'する A g C u合金薄膜から成る 構成とする。
また、 本発明は、 少なく とも第 1 の情報記録層と、 第 2 の情報 記録層とが積層されて成る光学記録媒体にあって、 その第 1の情 報記録層には半透明反射膜が形成され、 第 2 の情報記録層には反 射膜が形成された構成を有し、 その半透明反射膜が、 3 . 0 [ a t o m%〕 以上 6 . 5 〔 a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u合金薄膜から成る構成とする。
この構成において、 第 2 の情報記録層に対する情報の再生は、 第 1の情報記録層を透過した照射光により行う ものである。
また、 本発明は、 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光 学記録媒体にあって、 その反射膜が、 2 . 0 [ a t o m%〕 以上 9 . 0 [： a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜 から成り、 この A g C u系合金が、 A l， T i， F e , N i , M o， Wのうちの、 1または 2の元素を含有し、 この元素の含有合 計が、 0 . 5 C a t o m % ) 以上 8. 1 a t o m%) 以下とさ れた A g C u系の、 3元合金もしく は 4元合金のいずれかより成 る構成とする。
更に、 本発明は、 少なく とも第 1 の情報記録層と、 第 2 の情報 記録層とが積層されて成る光学記録媒体にあって、 その第 1 の情 報記録層には半透明反射膜が形成され、 第 2 の情報記録層には反 射膜が形成された構成を有し、 その半透明反射膜が、 2 . 0 〔 a t o m%〕 以上 9 . 0 〔 a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、 この A g C u系合金が、 A 1 , T i , F e , N i， M o， Wのうちの、 1または 2 の元素を含有し、 こ の元素の含有合計が、 0 . 5 〔 a t o m%〕 以上 8 . 1 C a t o %] 以下とされた A g C u系の、 3元合金もしく は 4元合金の いずれかより成る構成とする。
この構成において、 第 2の情報記録層に対する情報の再生は、 第 1 の情報記録層を透過した照射光により行う ものである。
また、 本発明は、 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光 学記録媒体にあって、 その反射膜が、 1 . 5 C a t o m %] 以上 9 . 0 〔 a t o m %〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜 から成り、 この A g C u系合金は、 0. 1 〔 a t 0 m%〕 以上 2 . 0 〔 a t o m%〕 以下の P dを含有し、 かつ A l， T i， F e , N i， M o， Wのうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 この元 素の含有合計が、 0. 5 〔 a t o m%〕 以上 8. 1 C a t o m % 〕 以下とされた A g C u P d系の、 4元合金もしく は 5元合金の いずれかより成る構成とする。
また、 更に本発明は、 少なく とも第 1 の情報記録層と、 第 2 の 情報記録層とが積層されて成る光学記録媒体にあって、 その第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 第 2の情報記 録層には反射膜が形成されて成り、 その半透明反射膜が、 1. 5 〔 a t o m%〕 以上 9. 0 〔 a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、 この A g C u系合金が、 0. 1 〔 a t o m%) 以上 2. 0 〔 a t o m%〕 以下の P dを含有し、 か つ A 1 , T i， F e , N i， M o , Wのうちの、 1 または 2の元 素を含有し、 この元素の含有合計が、 0. 5 [ a t o m%〕 以上
8. 1 [ a ΐ ο m %] 以下含有する、 A g C u P d系の、 .4元合 金もしく は 5元合金のいずれかより成る構成とする。
この構成において、 第 2 の情報記録層に対する情報の再生は、 第 1 の情報記録層を透過した照射光により行う。
そして、 上述した少なく とも第 1および第 2 の情報記録層を有 する光学記録媒体において、 第 1の情報記録層は、 第 1の基板の 上に形成され、 第 2 の情報記録層は、 第 2 の基板上に形成されて 、 これら第 1の基板と第 2 の基板とが、 互いの情報記録層を対向 させて貼り合わされた構成とすることができ、 これら第 1および 第 2 の情報記録層に対する情報の再生は、 共に第 1の基板側から の光照射によつて行われる構成とする。
上述したように、 本発明構成においては、 反射膜を有する光学 記録媒体において、 その反射膜を、 あるいは反射膜および半透明 反射膜を有する光学記録媒体に つては少なく ともその半透明反 射膜を、 それぞれ A g C u合金、 A g C u系合金、 更に A g C u P d系合金薄膜による構成としたことによって、 より耐候性にす ぐれ、 しかも廉価な光学記録媒体を得ることができるようにした ものある。
更に、 本発明によれば、 上述した反射膜、 あるいは半透明反射 膜、 または反射膜および半透明反射膜を構成する、 A g C u系合 金、 A g C u P d系合金において、 これら合金を構成するに好適 な添加元素の特定と、 その含有率の特定とによって、 これら反射 膜、 あるいは半透明反射膜、 または反射膜および半透明反射膜の 耐候性の向上を図り、 例えば高温多湿の条件下における長期保存 によっても、 光学記録媒体の情報記録層に要求される反射率や透 過率等の光学特性、 あるいは記録感度の変化を効果的に回避する ことができるようにしたものである。
このように本発明構成は、 後述するところによって、 明らかと されるように、 より高い耐候性を示し、 しかも廉価な従ってコス トの低減化が図られた光学記録媒体を得るものである。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の 2層の情報記録層を有する光学記録媒体の一 例の概略断面図であり、 図 2 は、 本発明の光学記録媒体の他の一 例の概略断面図であり、 図 3 は、 光磁気記録媒体の光磁気記録層 部を拡大した概略断面図であり、 図 4 は、 従来の光学記録媒体の 一例の概略断面図であり、 図 5 は、 保存試験前後における記録パ' ヮ一と C N Rの関係を示す図であり、 図 6 は、 各種光ディ スク構 造による試料の構成を列記した表図 （表 1 - 1 ) であり、 図 7は 、 図 6の各試料についての特性を列記した表図 （表 1 - 2 ) であ り、 図 8 は、 各種光ディ スク構造による試料の構成を列記した表 図 （表 2 — 1 ) であり、 図 9 は、 図 8 の各試料についての特性を 列記した表図 （表 2 — 2 ) であり、 図 1 0 は、 各種光ディ スク構 造による試料の構成を列記した表図 （表 3 — 1 ) であり、 図 1 1 は、 図 1 0 の各試料についての特性を列記した表図 （表 3 - 2 ) であり、 図 1 2 は、 各種光ディ スク構造による試料の構成を列記 した表図 （表 4 一 1 ) であり、 図 1 3 は、 図 1 2の各試料につい ての特性を列記した表図 （表 4 — 2 ) であり、 図 1 4は、 各種光 ディ スク構造による試料の構成を列記した表図 （表 5 - 1 ) であ り、 図 1 5 は、 図 1 4 の各試料についての特性を列記した表図 （ 表 5 — 2 ) である。 ' 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の光学記録媒体の実施形態について図を参照して 説明するが、 本発明の光学記録媒体は以下に示す例に限定される ものではない。
図 1 は、 本発明の光学記録媒体 1 0の概略断面図を示す。
この光学記録媒体 1 0 においては、 第 1 の基板 1 と第 2 の基板 2 とが、 これら基板 1 および 2 に形成された情報記録層 2 1およ び 2 2 を互いに対向させて、 透明接着剤層 3を介して貼り合わせ た構成を有し、 第 1 の情報記録層 2 1および第 2 の情報記録層 2 2が積層された ί層構造の D V D (Digital Versatile Disc)フォ —マツ トによる構成とした場合である。
第 1 および第 2 の情報記録層 2 .1および 2 2 は、 それぞれ記録 情報に応じて形成された第 1および第 2の微細凹凸 1 1および 1 2を有し、 第 1 の微細凹凸 1 1 には、 記録および/あるいは再生 に用いる照射光に対する半透明反射膜 1 3が被着形成され、 第 2 の微細凹凸 2 2 には、 同様の照射光に対する反射膜 1 4が被着形 成されて成る。 第 1の基板 1 は、 上述の照射光に対して光透過性を示す例えば ポリ 力一ボネ一 ト等のプラスチックを用いた射出成形によつて作 製するこ とができる。 この場合、 この第 1の基板 1に形成する第 1の情報記録層 2 1 の第 1の微細凹凸 1 1 も、 この第 1の基板 1 の射出成形と同時に形成することができる。
第 2の基板 2 は、 光透過性、 不透明等を問わないものの、 例え ば同様に例えばポリカーボネ一 ト等のプラスチックの射出成形に よつて成形することができ、 この第 2の基板 2の成形と同時に第 2の情報記録 2 を構成する第 2 の微細凹凸 1 2を形成することが できる。
また、 第 1 の情報記録層 2 1 の第 1の微細凹凸 1 1上には、 半 透明反射膜 1 3が成膜される。
この半透明反射膜 1 3 は、 上述の照射光例えばレーザ光のうち の一部を反射し、 一部を透過することができるように、 例えば膜 厚 1 0 〔 n m〕 〜 1 5 〔 n m〕 を有する、 A g C u合金、 あるい は A g C u系合金による薄膜によって形成する。
半透明反射膜 1 3を構成する A g C u合金は、 3. 0 〔 a t o m%〕 以上 6. 5 〔 a t o.m%〕 以下の C uを含有する A g C u 合金を適用することができる。
また、 半透明反射膜 1 3 は、 2. 0 〔 a t 0 m%〕 以上 9 · 0
〔 a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金であつて、 A 1 , T i， F e , N i , M o , Wのうちの、 1 または 2の元素 を含有し、 この含有合計が、 0. 5 〔 a t o m%) 以上 8. 1 〔 a t o m%〕 以下である、 A g C u系の 3元合金または 4元合金 によって構成し得る。
あるいは、 半透明反射膜 1 3 は、 1. 5 [ a t o m % ) 以上 9 . 0 〔 a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金であつ て、 0. 1 〔 a t o m'%〕 以上 2. 0 〔 a t o m%〕 の P dを含 有し、 A l , T i， F e， N i , M o, Wのうちの、 少なく とも 1または 2以上の元素を合計で 0. 5 〔 a t o m%〕 以上 8. 1 C a t o m%] 以下含有する、 A g C u P d系の 4元または 5元 合金によつて構成する。
一方、 第 2の情報記録層 2 2は、 上述した第 2の微細凹凸 1 2 上に、 反射膜 1 4が形成される。
この反射膜 1 4は、 高反射率を有する金属材料、 例えば A u、 A uを主成分とする合金、 例えば A g、 もしく は A gを主成分と する合金、 または P t、 もしく は P tを主成分とする合金、 ある いは C uもしく は C uを主成分とする合金等を用いて成膜するこ
• と もできる。
また、 コス トの低廉化から、 反射膜 1 4を、 A 1 に、 S i， T i， C r等を添加した A 1合金によつて構成することもできる。 しかしながら、 この反射膜 1 4は、 高耐候性と低コス トイ匕力、ら 上述した半透明反射膜と同様の材料、 組成による上述した A g C u合金、 A g C u系の 3元あるいは 4元合金、 A g C u P d系の 4元あるいは 5元合金によって形成し、 その膜厚を例えば 3.5 〔 n m〕 〜 6 0 〔nm〕 に形成することができる。
上述した半透明反射膜 1 3および反射膜 1 4は共に、 従来公知 のスパッタ リ ング法、 一般にはマグネ トロンスパッ夕リ ング法に
• よつて成膜する ことができる。
図 1に示す光学記録媒体 1 0に対する第 1の情報記録層 2 1お よび第 2の情報記録層 2 2からの信号の再生あるいは記録を行う 際には、 ドライブ装置の簡略化を図り、 かつこれらの情報記録層 2 1および 2 2のそれぞれに対し、 短時間にアクセスし、 連続的 にその記録ないし再生を行う ことができるように、 1組の光学へ ッ ドによって、 光学記録媒体 1 0の同一面側、 図 1の構成におい ては、 第 1の基板 1側からのレーザ光照射によつて行う。 光学記録媒体 1 0の同一面側からのレーザ光照射による再生あ るいは記録は、 光学へッ ドからの照射光 Lを、 図 1中の実線で示 すように、 第 1の情報記録層 2 1にフォーカシングさせて行い、 第 2の情報記録層 2 2 に対しては、 光学へッ ドからの照射光 Lを 図 1 中の破線で示すように、 第 2の情報記録層 2 2 にフォーカシ ングさせて行う。 .
次に、 本発明の光学記録媒体を、 光磁気記録媒体に適用した場 合について説明する。
図 2 は、 光磁気記録媒体 1 0 0の一例の概略断面図を示す。 光磁気記録媒体 1 0 0 においては、 ポリカーボネ— 卜等の光透 過性樹脂よりなる基板 1 0 1上に、 基板の射出成形と同時に形成 したプリ グループ等の微細凹凸 1 0 2を有し、 この微細凹凸 1 0 2上に光磁気記録層 1 0 4が成膜されてなる情報層 1 0 5を有し 、 情報層 1 0 5上に保護層 1 0 6が形成されてなる構成を有する 。
図 3 に、 図 · 2 に示した光磁気記録媒体 1 0 0 の光磁気記録層 1 0 4 の積層構造を示した概略断面図を示す。
光磁気記録層 1 0 4 は、 図 3 に示す積層構成とすることができ る ο
この光磁気記録層 1 0 4 は、 例えば基板 1 0 1上に、 例えば S i N x より成り、 4 0 〔 n m〕 程度の膜厚の第 1の誘電体層' 4 1 と、 例えば T b F e C oより成り、 1 5 〔n m〕 程度の膜厚の記 録層 4 2 と、 後述する A g C u系合金より成り、 1 0 〔 n m〕 程 度の膜厚の半透明の熱調整膜 4 3 と、 例えば S i N x より成り 2 0 〔 n m〕 程度の膜厚の第 2 の誘電体層 4 4 と、 後述する A g C u系合金より成り、 4 0 〔 n m〕 程度の膜厚の反射膜 4 5 とが順 次積層形成されて成る構成を有する。
図 3における熱調整膜 4 3および反射膜 4 5は、 前述した半透 明反射膜 1 3および反射膜 1 4 におけると同様に、 A g C u合金 、 あるいは A g C u系合金による薄膜によつて形成することがで さ る。
A g C u合金は、 3.. 0 〔 a t o m%〕 以上 6. 5 [ a t o m %〕 以下の C uを含有する A g C u合金を適用することができる あるいは、 2. 0 〔 a t o m%〕 以上 9. 0 し a t o m%〕 以 下の C uを含有する A g C u系合金であつて、 A 1 ， T i ， F e ， N i ， M o , Wのうちの、 1 または 2の元素を含有し、 この含 有合計が、 0. 5 〔 a t o m%〕 以上 8. 1 〔 a t o m%〕 以下 である、 A g C u系の 3元合金または 4元合金によつて構成し得 o
あるいは、 1. 5 〔 a t o m %〕 以上 9. 0 〔 a t o m%〕 以 下の C uを含有する A g C u系合金であって、 0. 1 〔 a t o m 〕 以上 2. 0 C a o m%〕 の P dを含有し、 A l， T i， F e , N i ， M o， Wのうちの、 少なく とも 1 または 2以上の元素 を合計で 0. 5 〔 a t o m'%〕 以上 8. 1 C a t o m%] 以下含 有する、 A g C u P d系の 4元または 5元合金によつて構成する 保護層 1 0 6 は、 従来公知の紫外線硬化性樹脂をスピンコー ト し、 光硬化する ことによって形成することができる。
図 2 に示す光磁気記録媒体 1 0 0 に対する情報の記録あるいは 再生を行う際には、 基板 1 0 1側からのレーザ光照射によって行 う。
すなわち、 光学へッ ドからの照射光 Lを、 図 2中の実線で示す ように、 情報層 1 0 5 にフォーカシングさせて行う。
次に、 本発明の光学記録媒体の特性の理解のために、 本発明に よる光学記録媒体の実施例を含めて各ディ スク構造による試料を
3 作製し、 それぞれの特性、 すなわち耐候性の測定を行った。
尚、 これら試料中において、 1枚の基板にのみ情報記録層を形 成した構造のディ スク （以下単板と称する。 ） の試料を作製して
、 その特性を測定した理由は、 例えば基板の厚さを 0 . 6 〔m m 〕 と した場合、 2枚の基板間に第 1および第 2の情報記録層を挟 み込んだ貼合わせ構造に比し、 全体の剛性が劣ることから、 その 保存試験による基板の反りの発生が顕著に現れ、 例えば半透明反 射膜等を構成する合金薄膜と基板との密着力が問題となり、 剝離. が生じやすく、 結果と して、 厳しい評価を行うことができること にある。
また、 それぞれ第 1および第 2 の情報記録層 2 1および 2 2 に 相当する第 1 および第 2 の基板 1および 2に相当する 2枚の基板 の貼り合わせ構造による光ディ スクに関する試料において、 その 反射膜 1 4 に相当する合金薄膜を、 半透明反射膜における合金薄 膜とは異なる通常の合金薄膜の A 1 T i材料による構成とした理 由は、 異質の合金薄膜の貼合わせの方が高湿環境下での劣化が加 速され、 厳しい評価を行う こ とができることによる。 つまり、 こ の貼合わせ構造の試料において、 半透明反射膜と反射膜との双方 を、 共に、 A g C u合金、 A g C u合金系、 A g C u P d系合金 によって構成する場合は、 これら試料の耐候性は、 よりすぐれた 耐候性を示すことになる。
すなわち、 各試料に基いて、 半透明反射膜の材料特性の考察を より厳しく行った。
〔試料 1〕
先ず、 厚さ 0 . 6 〔m m〕 の基板をポリカーボネー トを用いて 射出成形によって作製した。
この基板の一主面には、 その成形と同時に、 トラ ック ピッチ 0 . 7 4 〔 m j 、 ピッ ト深さ 1 1 0 〔 n m〕 、 最短ピッ ト長 0 . 4 4 〔 m〕 の E F Mコー ドを用いて変調された微細凹凸すなわ ちピッ トデータ列を形成した。
このピッ トデータ列が形成された基板上に、 マグネ ト口ンスパ ッタ リ ング法によって、 膜厚を 1 0 〔n m〕 〜 1 5 〔n m〕 の A g ! o o- x C u x (xは、 a t o m%) より成り、 x = 3. 0 とし た半透明反射膜を成膜して第 1の情報記録層 2 1を形成した。
次に、 この A g C u合金による半透明反射膜上を覆って、 保護 層を紫外線硬化樹脂のスピンコー トおよび硬化処理によつて形成 O
〔試料 2〕
試料 1 と同様の構成において、 半透明反射膜の組成を X = 6. 5 と した。
〔試料 3〕 （実施例 1 )
この試料においては、 図 1 に示した構造に対応するを有し、 そ れぞれ第 1 および第 2の情報記録層 2 1および 2 2を有する第 1 および第 2 の基板 1および 2の貼合わせ構造とした場合である。
この場合、 試料 1における基板と同様の構成による第 1の基板 1 を用意して、 この上に、. マグネ トロンスパッタ リ ング法によつ て、 A g 100— X C u x において χ = 3 · 0 とした A g C u合金薄 膜を成膜して、 膜厚 1 0 1 5 〔n m〕 の半透明反射膜 1 3を成 膜して第 1 の情報記録層 2 1を形成した。
一方、 第 1の基板 1 と同様の構成による第 2の基板 2を作製し 、 この第 2 の基板 2上に、 マグネ トロンスパッタリ ング法によつ て膜厚 5 0 〔 n m〕 の A 1 T i合金薄膜よりなる反射膜 1 4を成 膜して第 2 の情報記録層 2 2を形成した。
そして、 これら第 1の基板 1 と第 2の基板 2 とを、 透明接着剤 と して紫外線硬化性樹脂を用いて互いの情報記録層 2 1 2 2を 対向させて貼り合わせ、 貼り合わせ構造の光ディ スクを作製した 因みに、 第 1 の基板 1上に成膜した A g C u系合金膜の膜厚の 選定は、 波長 6 6 0 〔 n m〕 のレーザ光を用い、 第 2の基板 2上 の反射膜 1 4 として 3 5〜 6 0 〔 n m〕 の膜厚の A 1合金膜、 あ るいは 3 0〜 6 0 〔n m〕 の膜厚の A g合金膜を形成した場合に
、 第 1の情報記録層 2 1 の反射率と第 2の情報記録層 2 2の反射 率とが、 略等しく なるように設定したものである。
〔試料 4〕 （比較例 1 )
この試料においては、 試料 1 と伺様の構成、 および製造方法を とる ものの、 その A g l。。— x C u x 合金薄膜を、 X = 2. 0 と し た。
〔試料 5〕 （比較例 2 ) ' '
この試料においても、 試料 1 と同様の構成、 および製造方法を とるものの、 その A g i。。― x C u 合金薄膜を、 X = 7. 0 とし た。
〔試料 6〕 （比較例 3 )
この試料においても、 試料 1 と同様の構成、 および製造方法を とるものの、 その A g 10。 C u x 合金薄膜を、 X = 9. 0 とし 〔試料 7〕 （比較例 4 )
この試料においても、 試料 1 と同様の構成、 および製造方法を とる ものの、 その A g u。 C u x 合金薄膜に代えて、 第 1の基 板 1上にマグネ トロンスパッ夕 リ ング法によって、 膜厚が 1 0〜 1 5 〔 n m〕 の S i膜を成膜して第 1の情報記録層 2 1を形成し 次に第 1の基板 1 と同様に、 第 2の基板 2上にマグネ ト ロンス パッ夕 リ ング法によって膜厚 5 0 〔 n m〕 の A l.T i合金薄膜に よる反射膜 1 4を成膜して第 2の情報記録層 2 2を形成した。 これら第 1および第 2の基扳 1および 2を、 試料 3 と同様に透 明接着剤と しての紫外線硬化性樹脂によつて互いの情報記録層 2 1、 2 2 を対向させて貼り合わせて、 貼り合わせ構造の光ディ ス クを作製した。
〔試料 8〕 （比較例 5 )
この試料においては、 試料 1 と同様の構成、 および製造方法を とるものの、 その半透明反射膜として、 膜厚が 1 0〜1 5 〔n m 〕 の A g膜を成膜した。
上述した各試料 1〜 8 について、 高温高湿環境下の保存試験を 行い、 この試験の前後における、 各情報記録層 2 1、 2 2の反射 率 〔％〕 、 ジッター 〔％〕 の測定を行い、 保存試験の前後での情 報記録層の反射率の変化率 〔％〕 を算出した。
なお、 高温高湿環境下の保存試験は、 温度 8 5 °C、 湿度 9 0 % R Hの環境の保存槽内に各試料の光ディ スクを 1 .0 0時間放置さ せるものと し.た。
また、 ジッター値の測定には、 波長 6 6 0 〔n m〕 の半導体レ 一ザ、 および開口率 0 . 6 0 の対物レンズを搭載した光学ピック アップを用いた。
各試料 1〜 8の、 半透明反射膜の成膜材料組成 （ a t o m % ) と、 光ディ スク構造と、 その保存試験の前後における、 各情報記 録層 2 1、 2 2 の反射率 〔％〕 、 ジッター 〔％〕 、 および保存試 験の前後での情報記録層の反射率の変化 〔％〕 を結果を、 図 6お よび図 7 の表 1 — 1および表 1 一 2 に示す。
表中、 〔％〕 は、 単板構造および貼り合わせ構造の各試料 (光ディ スク） の第 1 の情報記録層 2 1についての、 初期すなわ ち保存試験前の反射率を示し、 R 3 〔％〕 は、 これらの保存試験 後の反射率を示す。
また、 表中 R 2 〔％〕 'は、 貼り合わせ構造の試料 （光ディスク ) の第 2 の情報記録層 2 2の初期の反射率を示し、 R4 〔％〕 は 、 これらの保存試験後の反射率を示す。
更に、 保存試験前後の反射率の変化は、 I R.i - R 3 I 〔％〕 で示す。
表 1 (図 6および図 7 ) に示すように単扳構造の光ディ スクの 情報記録層および貼り合わせ構造の光ディ スクの第 1の情報記録 層 2 1 に、 A g 1 ()。— x C u x ( 3 ≤ x≤ 6. 5 ) の薄膜を形成し た試料 1〜 3 は、 保存試験前後における反射率の変化が 1. 0 〔 %〕 以下に低減化され、 保存試験前後におけるジッターの変化を 1 〔％〕 以下に抑制することができ、 この結果から耐候性が良好 な光学特性が得られることが分かる。
これに対し試料 4〜 7 (比較例 1〜比較例 4 ) は、 保存試験前 後における反射率の変化が 1. 0 し％〕 を超え、 試料 8 (比較例 5 ) においては、 保存試験後のジッター値が大き く なって安定し た信号の再生が行えなく なるという問題が生じた。
次に、 情報記録層に、 2. 0 〔 a t 0 m%〕 以上 9. 0 〔 a t o m % ) 以下の C uを含有し、 A l , T i'， F e， N i， M o， Wのうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 その含有合計が 0. 5 〔 a t o m%] 以上 8. 1 〔 a t o m%〕 以下とした A g C u ( A l， T i , F e， N i'， M o , W) の 3元合金あるいは 4元合 金のいずれかを成膜した試料 9〜 3 9を作製した。
〔試料 9〕 〜 〔試料 3 1〕
これら試料においては、 試料 1におけると同様の構成および方 法による単板の光ディ スク構成としたが、 これら試料においては 、 基板上 1上の' A g C u合金膜代えて、 半透明反射膜 1 3を、 膜 厚力 1 0〜 1 5 〔 n m〕 の A g iu-x- y C u x Ay (Aは A l , T i， F e， N i , M o， Wのうちの 1 または 2の元素で、 x， yはそれぞれ a t o m%を示す） と し、 2 x≤ 9、 0. 5 ≤ y ≤ 8. 1の構成と した。
〔試料 3 2〕 （実施例 2 ) 〜 〔試料 3 8〕 （実施例 8)
試料 3 と同様の構成および方法をもって、 図 1で示した第 1お よび第 2の情報記録層 2 1および 2 2を有する第 1および第 2の 基板 1および 2の貼り合わせ構造とするものの、 この試料 3 2〜 試料 3 8においては、 第 1の基板 1上の半透明反射膜 1 3を、 膜 厚力 1 0〜 1 5 〔nm〕 の A g 10。 x一 y C ux Ay (Aは A l， T i , F e , N i， M o, Wのうちの 1または 2の元素で、 x， yはそれぞれ a t o m%を示す） とし、 2≤ x≤ 9、 0. 5≤ y ≤ 8. 1の構成とした。
〔試料 3 9〕 （比較例 6 ) .
試料 1 と同様の構造および方法によるものの、 この試料 3 9に おいては、 その半透明反射膜 1 3を、 A g 1 D。— x— y C u χ Ay ( Aは A lおよび T i ) と し、 x = 5. 4 とし、 y = 8. 5 とした o
その他の条件は 〔試料 1〕 と同様にして単板構造の光ディスク のサンプルを作製した。
上述した各試料 9〜 3 9について、 その半透明反射膜の成膜材 料組成 （ a t o m%) と、 光ディ スク構造を図 8および図 1 0の 表 2 — 1および表 3— 1 として示し、 前述したと同様の高温高湿 環境下の保存試験を行い、 この試験結果を、 図 9および図 1 1の 表 2— 2および表 3 - 2に示す。
単板構造の光ディスクの情報記録層および貼り合わせ構造の光 ディ スクの第 1の情報記録層 2 1に、 合金の原子組成を A g 1 0 0 - x-y C u x Ay (A = A l , T i , F e， N i , Mo， Wのうち の少なく と もいずれか） で、 2≤ x≤ 9、 0. 5≤ y≤ 8. 1 と した、 試料 9〜試料 3 8においては、 保存試験前後における反射 率の変化が 1. 0 〔％〕 以下に低減化され、 保存試験前後におけ るジッターの変化を 1 〔％〕 以下に抑制することができ、 特に耐 候性が良好な光学特性が得られた。
これに対し、 試料.3 9 (比較例 6 ) においては、 保存試験前後 ίこおける反射率の変化が 1 . 0 〔％〕 を超え、 耐候性が劣化した ο
' 次に、 情報記録層に、 1 . 5 〔 a t o m%〕 以上 9 . 0 〔 a t o m%〕 以下の C uを含有し、 A l ， T i， F e， N i， M o， Wのうちの、 1 または 2 の元素を合計で 0 . 5 〔 a t 0 m%〕 以 上 8 . 1 〔 a t 0 m%〕 以下含有し、 0 . 1 〔 a t o m%〕 以上 2 . 0 〔 a t o m%〕 以下の P dを含有する、 A g C u P d系 4 元合金または 5元合金のいずれかによる半透明反射膜を成膜した 試料 （光ディ スク） を示す。
〔試料 4 0〕 〜 〔試料 6 0〕
試料 1 と同様の構造および方法による単板構造とするものの、 その半透明反射膜 1 3を、 A g 1 0 o - x - y - z P d 2 C u χ A y (A は A l， T i ， F e , N i ， 1^ 0， ^の 1種でぁり、 ， y， z はそれぞれ a t o m%を示す） の、 1 . 5 ≤ x ≤ 9 . 0、 0 . 5 ≤ γ ≤ 8 . 1、 0 . 1 ≤ z ≤ 2 . 0 と した。
〔試料 6 1〕 （実施例 9 ) 〜 〔試料 6 5〕 （実施例 1 3 ) 試料 3 (実施例 1 ) と同様の構造および方法によって作製する のの、 その半透明反射膜 1 3を、 A g 。。― x— y- z P d z C u , A y (·Αは A l ， T i ， F e , N i , M o， Wの 1種であり、 x， y , zはそれぞれ a t o m%を示す） の、 1 . 5 ≤ x ≤ 9 . 0、 0 . 5 ≤ γ ≤ S . 1、 0 . 1 ≤ ζ ≤ 2 . 0 とした。
〔試料 6 6〕 （比較例 7 )
試料 1で説明したと同様の構造および方法によって作製するも のの、 その半透明反射膜 1 3を、 A g 1 Q。_X- y— z P d z C u x A y (Aは A l ) と し、 x = 4 . 0 とし、 y = 9 . 0 とし、 z = 0 ノ 9 と した。
〔試料 6 7〕 （比較例 8 )
試料 1 と同様の構造および方法によって作製するものの、 その 半透明反射膜 1 3を、 A g 1 0 o- x ~ y - z P d z C u x A y とし、 x = 1 . 5、 y = 0 . 0、 z = 0 . 9 とした。
〔試料 6 8〕 （比較例 9 )
試料 1 と同様の構造および方法によって作製するものの、 その 半透明反射膜 1 3を、 A g 1 0。— x一 y-z P d z C u x A y とし、 X = 1 . 5、 y = 0 . 0、 z = 0 . 9 と した。
〔試料 6 9〕 （比較例 1 0 )
試料 3 と同様の構造および方法によって作製するものの、 そ の半透明反射膜 1 3を、 A g i o o- x- y - z P d z C u x A y とし、 x = 1 ; 5、 y = 0 . 0、 z = 0 . 9 とした。
〔試料 7 0〕 （比較例 1 1 )
試料 3 と同様の構造および方法によつて作製するものの、 そ の半透明反射膜 1 3を、 A g l。。— x— y— z P d z C u x A y とし、 x = 4. 0、 y = 0 . 0、 z = 0 . 9 と した。
上述した試料 5 7〜試料 7 0 の光ディ スクについて、 その半透 明反射膜の成膜材料組成 （ a t o m%) と、 光ディ スク構造と、 前述したと同様の高温高湿環境下の保存試験を行い、 この試験結 果を、 図 1 4および図 1 5 の表 5 — 1および表 5 — 2に示す。
図 1 4および図 1 5 の表 5 — 1および表 5 — 2に示すように、 単板構造および貼り合わせ構造の第 1の情報記録層 2 1に、 合金 の原子組成を A g 。。一 x一 y— z P d z C u x A y とし、 Aが A l , T i， F e , N i， M o， Wのうちの 1 または 2種の元素とし、
1 . 5 ≤ X ≤ 9 . 0、 0 . ≤ γ ≤ S . 1、 0 . 1 ≤ ζ ≤ 2 . 0 とした試料 4 0〜試料 6 5 においては、 保存試験前後における反 射率の変化が 1 . 0 〔％〕 以下に低減化され、 保存試験前後にお けるジッターの変化を' 1 .〔％〕 以下に抑制することができ、 特に 耐候性が良好な光学特性が得られた。
これに対して試料 6 6 (比較例 7 ) においては、 保存試験後の ジッ夕一値が大き くなつてしまい、 安定した信号の再生が行えな く なるという問題を生じた。
また、 試料 6 7 (比較例 8 ) 〜試料 7 0 (比較例 1 1 ) に示し た光ディ スクにおいては、 保存試験前後における反射率の変化が 1 ·. 0 〔％〕 を超え、 耐候性が劣化した。
上述したところから明らかなように、 本発明によれば、 情報記 録層に、 A g C u合金薄膜、 あるいは A g C u系合金を適用し、 その組成の特定、 元素の選定、 その含有量の特定によって、 情報 記録層の耐候性が向上を図られ、 高温高湿条件下において長期保 存した後における反射率や透過率等の、 光学記録媒体の情報記録 層に要求される光学特性の変化量が低く抑えられ、 ジッターの劣 化が効果的に回避されるものであり、 また従来の光学記録媒体に 比してコス トの低減化が図られるものである。
尚、 上述した各試料においては、 ROM(Read Only Memoly)の 光ディ スクについて例示したが、 本発明はこの例に限定されるも のではなく、 この他、 光磁気記録、 相変化記録のような書換えが 可能な光ディ スクについても適用でき、 反射膜や熱構造膜として 、 本発明の情報記録層を構成する A g C u合金を適用することに よって、 耐候性の向上を図り、 長時間保存による経時変化による 記録感度の変化を低減して安定な記録を行うことができるように なり、 ジッターの劣化が効果的に回避することができる。
例えば、 本発明を図 3に示す光磁気記録媒体 1 0 0に適用して
、 記録感度の変化の測定を行った。
光磁気記録媒体 1 0 0は、 基板 1 0 1上に S i Nx より成り 4 0 〔nm〕 の膜厚の第 1の誘電体層 4 1、 T b F e C oより成り 1 5 〔 n m〕 の膜厚の記録層 4 2、 A g C u系合金より成り 1 0 〔 n m〕 程度の膜厚の半透明反射膜による熱調整膜 4 3、 S i N x より成り 2 0 〔 n m〕 程度の膜厚の第 2の誘電体層 4 4、 およ び A g C u系合金より成り 4 0 〔n m〕 程度の膜厚の反射膜 4 5 が積層形成されて成る構成を有する。
なお、 熱調整膜 4 3および反射膜 4 5が、 A g P d。. s C u !. 5 合金薄膜よりなる光磁気ディ スクサンプルと、 A g C u。. 9 T i 1. 7 合金薄膜よりなる光磁気ディ スクを作製した。
この場合、 いわゆる磁界変調記録法を用い、 レ一ザ光の波長を 4 0 5 〔 n m〕 と し、 対物レンズの開口数を 0. 6 0 とし、 線速 度を 4 · 6 Cm/ s〕 の各条件下、 トラックピッチを 0. 8 0 〔 〃 m〕 、 溝深さ 3 0 〔 n m〕 のいわゆるラ ン ドグループ記録案内 溝の設けられた基板 1 0 1上の光磁気記録層 1 0 4に、 マーク長 さ 0. 3 '〔 μ m〕 の記録を行い、 上述した保存試験前後における 記録パワーと再生 C N Rの関係を測定した。
この測定結果を図 5 に示す。 図 5において、 釅、 および口が A g P d 0. 9 C U 5 合金薄膜を成膜した光磁気ディ スク.の保存試 験前後における測定結果を示し、 ·および〇を A g C u 0. 9 T i
1. 7 合金薄膜を成膜した光磁気ディ スクの保存試験前後における 測定結果を示す。
図 5に示すように、 A g P d。. 9 C u !. 5 合金を成膜した光磁 気ディ スクにおいては、 高温高湿条件下における保存試験後の記 録パヮ一は、 およそ 1 0 %程度高い方向にシフ ト した。 すなわち 、 高温高湿条件下に放置されることによって、 原子の移動により 薄膜の密度が向上し、 熱伝導率が高くなり、 エネルギー的なロス が大きく なつた。
—方、 本発明の光学記録媒体の一例に係る光磁気ディ スクにお ける A g C u。. s T i !. 7 合金を成膜した光磁気ディスクにおい ては、 高温高湿条件下における保存試験後において.は、 記録パヮ 一の上昇は見られず、 エネルギー的なロスが小さ く、 膜の特性と して極めて耐候性に優れたものであることがわかつた。
金属では、 一般に、 反射率が高い材料ほど熱伝導率が高く、 逆 に反射率が低いと.熱伝導率も低下する。 また、 熱伝導率が高くな るほど、 記録感度が低下し、 逆に熱伝導率が低いほど記録感度が 向上する。
反射膜の保存試験前後での反射率の変化を測定することによつ て、 記録感度の変化を見積もることができる。 ゆえに上記 〔表 1 〕 〜 〔表 5〕 中に示した各実施例から、 各種組成での記録感度の 変化を見積もることが可能である。
本発明によれば、' A g C u合金あるいは A g C u P d合金に、 A 1 , T i , F e , N i， M o， Wのうちのいずれかの元素を 1 種以上含有させることを特徴と しているが、 このような添加元素 のほか、 化学的に類似した性質を有する遷移金属である V， C r ， M n , C 0 , Y， Z r , N b， R u， T aを含有させることに ■ よっても本発明と同様の効果を期待することができる。
尚、 本発明の光学記録媒体は、 単層、 2層の情報記録層を有す るものに限定されるものではなく、 例えば 3層以上の情報記録層 が積層された多層構造の光学記録媒体についても、 同様に適用す ることができる。
また、 上述した例においては、 光学記録媒体を構成する基板を 、 射出成形により形成したが、 本発明は上述の例に限定されず、 平滑面を有する板に、 2 P (Photo polimarization) 法によって 微細凹凸を形成する場合にも適用できる。
また、 上述した例においては、 ディ スク状、 円板状の光学記録 媒体の例について説明したが、 本発明はこの例に限定されず、 力 ー ド状、 シー ト状等、 各種形状の光学記録媒体についても適用で きる

Claims

請 求 の 範 囲
1. 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光学記録媒体にあ つて、
上記反射膜が、 3. 0 〔 a t o m%〕 以上 6. 5 C a t o m % 〕 以下の C uを含有する A g C u合金薄膜から成ることを特徵と する光学記録媒体。
2. 少なく とも第 1の情報記録層と、 第 2 の情報記録層とが積層 されて成る光学記録媒体にあって、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2 の情報記録層には反射膜が形成されて成り、
上記半透明反射膜は、 3. 0 [ a t o m%〕 以上 6. 5 [ a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u合金薄膜から成り、 上記第 2 の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1の情報 記録層を透過した照射光により行う ことを特徵とする光学記録媒 体。
3. 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光学記録媒体にあ つて、
上記反射膜が、 2. 0 [ a t.0 m%) 以上 9. 0 〔 a t o m% 〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、
該 A g C u系合金は、 A l， T i， F e， N i， M o， Wのう ちの、 1 または 2の元素を含有し、 該元素の含有合計が、 0. 5 〔 a t o m%〕 以上 8. 1 〔 a t o m%〕 以下とされた A g C u 系の、 3元合金もしく は 4元合金のいずれかより成ることを特徵 とする光学記録媒体。
4. 少なく とも第 1の情報記録層と、 第 2 の情報記録層とが積層 されて成る光学記録媒体にあつて、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2 の情報記録層には反射膜が形成されて成り、 上記半透明反射膜が、 2. 0 〔 a t o m%〕 以上 9. 0 C a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、 該 A g C u系合金は、 A l， T i , F e , N i， M o， Wのう ちの、 1 または 2の元素を含有し、 該元素の含有合計が、 0. 5 〔 a t o m%〕 以上 8. 1 〔 a t o m%〕 以下とされた A g C u 系の、 3元合金もしく は 4元合金のいずれかより成り、
上記第 2の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1の情報 記録層を透過した照射光により行う ことを特徴とする光学記録媒 体。
5. 少なく とも情報記録層と反射膜とを有す'る光学記録媒体にあ つて、
上記反射膜が、 1. 5 C a t o m%] 以上 9. 0 [ a t o m% ] 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、
該 A g C u系合金は、 0. 1 〔 a t o m%〕 以上 2. 0 〔 a t o m % ] 以下の P dを含有し、 かつ A l， T i， F e， N i , M o， Wのうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 該元素の含有合計 力 、 0. 5 [： a t o m%〕 以上 8. 1 〔 a t o m %〕 以下とされ た A g C u P d系の、 4元合金もしく は 5元合金のいずれかより 成ることを特徴とする光学記録媒体。
6. 少なく とも第 1の情報記録層と、 第 2の情報記録層とが積層 されて成る光学記録媒体にあつて、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2 の情報記録層には反射膜が形成されて成り、
上記半透明反射膜が、 1. 5 〔 a t o m%〕 以上 9. 0 ( a t o m%〕 以下の C uを含有する A g C u系合金薄膜から成り、 上記 A g C u系合金は、 0. 1 〔 a t o m%〕 以上 2. 0 〔 a t o m%〕 以下の P dを含有し、 かつ A l， T i， F e , N i， M o , Wのうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 該元素の含有合 計が、 0. 5 C a t o m%] 以上 8. 1 [ a t o m .% ) 以下含有 する、 A g C u P d系の、 4元合金もしく は 5元合金のいずれか より成り、
上記第 2 の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1の情報 記録層を透過した照射光により行うことを特徴とする光学記録媒 体。
7. 上記第 1 の情報記録層は、 第 1の基板上に形成され、
上記第 2の情報記録層は、 第 2の基板上に形成され、
上記第 1の基板と上記第 2 の基板とが、 互いの情報記録層を対 向させて貼り合わされて成り、
上記第 1および第 2 の情報記録層に対する情報の再生は、 第 1 の基板側からの光照射によって行うことを特徵とする請求の範囲 第 2項、 第 4項、 または第 6項に記載の光学記録媒体。
補正書の請求の範囲
[2002年 6月 14曰 （14. 06. 02) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 1は 取り下げられた；出願当初の請求の範囲 2-7は補正された。 （3頁） ]
1 . (削除）
2. (補正後） 少なく とも第 1の情報記録層と、 第 2の情報記録 層とが積層されて成る光学記録媒体にあって、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2 の情報記録層には反射膜が形成されて成り、 上記半透明反射膜は、 厚さが 1 0 n m以上 1 5 n m以下とされ 、 3 . 0 〔 a t o m%〕 以上 6 . 5 〔 a t o m %〕 以下の C uを 含有する A g C u合金から成り、
上記第 2 の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1の情報 記録層を透過した照射光によって行われることを特徴とする光学 記録媒体。
3 . (補正後） 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光学記 録媒体にあって、
上記反射膜が、 2. 0 [ a t o m%) 以上 9. 0 C a t o %
〕 以下の C uを含有する A g C u系合金から成り、
該 A g C u系合金は、 F e， N i， M o , Wのうちの、 1また は 2 の元素を含有し、 該元素の含有合計が 0 . 5 ( a t o m % 3 以上 8 . 1 〔 a t o m %〕 以下とされた A g C u系の 3元合金も しく は 4元合金のいずれかから成ることを特徴とする光学記録媒 体。
4. (補正後） 少なく とも第 1 の情報記録層と、 第 2の情報記録 層とが積層されて成る光学記録記録媒体にあって、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2の情報記録層には反射膜が形成されて成り、 上記半透明反射膜が、 2. 0 〔 a t 0 m%〕 以上 9. 0 C a t o m % ) 以下の C uを含有する A g C u系合金から成り、
該 A g C u系合金は、 F e , N i， M o， Wのうちの、 1また
29
補正された用紙 （条約第 19条） は 2 の元素を含有し、 該元素の含有合計が 0. 5 C a t 0 m%) 以上 8 . 1 〔 a t o m%〕 以下とされた A g C u系の 3元合金も し く は 4元合金のいずれかから成り、
上記第 2 の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1 の情報 記録層を透過した照射光によつて行われることを特徵とする光学 記録媒体。
5. (補正後） 少なく とも情報記録層と反射膜とを有する光学記 録¾体にあって、
上記反射膜が、 1 . 0 〔 a t o m%) 以上 8. 2 [ a t o m% 〕 以下の C uを含有する A g C u P d系合金薄膜から成り、 該 A g C u P d系合金は、 A l ， T i , F e , N i， M o， W のうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 該元素の含有合計が 1 . 0 〔 a t o m %〕 以上 7. 5 〔 a t o m %〕 以下とされた A g C u P d系の 4元合金も しく は 5元合金のいずれかから成ることを 特徴とする光学記録媒体。
6. (補正後） 少なく とも第 1の情報記録層と、 第 2 の情報記録 層とが積層されて成る光学記録媒体にあつて、
上記第 1 の情報記録層には半透明反射膜が形成されて成り、 上記第 2 の情報記録層には反射膜が形成されて成り、 上記半透明反射膜が、 1. 0 〔 a t 0 m%〕 以上 8. ' 2 〔 a t o m %] 以下の C uを含有する A g C u P d系合金から成り、 上記 A g C u P d系合金は、 A 1 ， T i , F e , N i， M o， Wのうちの、 1 または 2 の元素を含有し、 該元素の含有合計が 1 . 0 〔 a t o m%〕 以上 7. 5 〔 a t o m %〕 以下とされた A g C u P d系の 4元合金もしく は 5元合金のいずれかから成り、 上記第 2の情報記録層に対する情報の再生が、 上記第 1の情報 記録層を透過した照射光により行う ことを特徵とする光学記録媒 体。
30
補正された用紙 （条約第 19条）
7 . (補正後） 上記第 1の情報記録層は、 第 1の基板上に形成さ れ、
上記第 2 の情報記録層は、 第 2 の基板上に形成され、
上記第 1の基板と上記第 2の基板とが、 互いの情報記録を対向 させて貼り合わせて成り、
上記第 1および第 2の情報記録層に対する情報の再生は、 第 1 の基板側からの光照射によつて行われることを特徵とする請求の 範囲第 2項、 第 4項、 または第 6項に記載の光学記録媒体。
31
補正された用紙 （条約第 19条） 条約 1 9条に基づく説明書 請求の範囲第 2項は、 半透明反射膜が、 厚さが 1 0 nm以上 1 5 n m以下に特定されものであることを明確にした。 請求の範囲第 3項は、 反射膜を構成する A g C u系合金に含有さ せる元素が A し T i を含まず、 F e， N i， M o， Wのうちの 1 または 2の元素に特定されるものであることを明確にした。 請求の範囲第 4項は、 半透明反射膜を構成する A g C u系合金に 含有させる元素が A し T iを含まず、 F e， N i， M o， Wの うちの 1または 2の元素に特定されるものであることを明確にし
/ 請求の範囲第 5項は、 反射膜が、 A g C u P d系合金薄膜であり 、 その C uの含有量が 1. 0 〔 a t o m%〕 ^上 8. 2 〔 a t o m%] 以下であり、 A し T i， F e， N i， M o， Wのうちの 1 または 2の元素の総含有量が、 1. 0 〔 a t 0 m%〕 以上 7. 5 〔 a t o m%〕 以下に特定されることを明確にした。 請求の範囲第 6項は、 半透明反射膜が、 A g C u P d系合金薄膜 であり、 その C uの含有量が 1. 0 〔 a t o m%〕 以上 8. 2 〔 a t o m% 以下であり、 A l， T i， F e , N i， M o， Wの うちの 1 または 2の元素の総含有量が、 1. 0 〔 a t 0 m%〕 以 上 7. 5 〔 a t o m%〕 以下に特定されることを明確にした。 請求の範囲第 7項は、 請求の範囲第 1項を削除したことにより、 引用請求項の補正をした。
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