KR20020071946A

KR20020071946A - 저항기 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20020071946A
Application number: KR1020027009193A
Authority: KR
Inventors: 하시모토마사토; 모리모토요시로; 후쿠오카아키오; 가이토히로아키; 사이카와히로유키; 마츠카와도시키; 하야세준이치
Original assignee: 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 2000-01-17
Filing date: 2001-01-17
Publication date: 2002-09-13
Also published as: CN1722316B; US20050153515A1; EP1255256A1; US7334318B2; WO2001054143A1; US7188404B2; US20050158960A1; EP1255256A4; CN1722316A; KR100468373B1; US6935016B2; CN1220219C; US20030132828A1; US7165315B2; EP1255256B1; CN1395734A; US20050125991A1; EP1981041A2; DE60139855D1; EP1981040A2

Abstract

본 발명은 이산형 기판의 치수 분류가 불필요해져, 종래와 같은 이산형 기판의 치수 랭크에 따라 마스크를 교환하는 공정을 없앨 수 있는 동시에, 값싸고 또한 미세한 저항기를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 이 목적을 달성하기 위해, 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판(11)과, 이산형 기판(11)의 상면에 형성된 상면 전극층(12)과, 상면 전극층(12)에 일부가 겹쳐지도록 형성된 저항층(13)과, 저항층(13)을 덮도록 형성된 보호층(14, 16)과, 상면 전극층(12)과 전기적으로 접속되도록 이산형 기판(11)의 측면에 형성된 측면 전극층(17)에 의해 구성한 것이다.

Description

저항기 및 그 제조 방법{RESISTOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

종래의 이러한 종류의 저항기로는 일본국 특개평 4-102302호 공보에 개시된 것이 알려져 있다.

이하, 종래의 저항기 및 그 제조 방법에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

도 53은 종래의 저항기의 단면도이다.

도 53에서 1은 알루미나 등의 자기(磁器)로 이루어지는 절연성을 갖는 이산(discrete)형 기판이다. 2는 상기 이산형 기판(1)의 상면의 좌우 양단부에 형성된 1쌍의 제1 상면 전극층이다. 3은 1쌍의 제1 상면 전극층(2)에 일부가 겹쳐지도록 상기 이산형 기판(1)의 상면에 형성된 저항층이다. 4는 저항층(3)의 전체만을 덮도록 형성된 제1 보호층이다. 5는 저항값을 수정하기 위해 저항층(3) 및 제1 보호층(4)에 형성된 트리밍 홈이다. 6은 제1 보호층(4)의 상면에만 형성된 제2 보호층이다. 7은 1쌍의 제1 상면 전극층(2)의 상면에 위치하여 상기 이산형 기판(1)의 폭 전체까지 이어지도록 형성된 1쌍의 제2 상면 전극층이다. 8은 상기 이산형 기판(1)의 양 측면에 형성된 1쌍의 측면 전극층이다. 9, 10은 1쌍의 제2 상면 전극층(7) 및 1쌍의 측면 전극층(8)의 표면에 형성된 1쌍의 니켈 도금층 및 1쌍의 땜납 도금층이다. 이 경우, 땜납 도금층(10)은 제2 보호층(6)보다도 낮게 형성되어 있는 것이다.

이상과 같이 구성된 종래의 저항기에 대해, 다음에 그 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 54(a) ∼ (f)는 종래의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저 도 54(a)에 나타낸 바와 같이, 절연성을 갖는 이산형 기판(1)의 상면의 좌우 양단부에 1쌍의 제1 상면 전극층(2)을 달라붙이기 형성한다.

이어서, 도 54(b)에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 제1 상면 전극층(2)에 일부가 겹쳐지도록 상기 이산형 기판(1)의 상면에 저항층(3)을 달라붙이기 형성한다.

이어서, 도 54(c)에 나타낸 바와 같이, 저항층(3) 전체만을 덮도록 제1 보호층(4)을 달라붙이기 형성한 후, 저항층(3)에서의 전체 저항값이 소정 저항값의 범위 내에 들어가도록 레이저 등에 의해 저항층(3) 및 제1 보호층(4)에 트리밍 홈(5)을 형성한다.

다음으로, 도 54(d)에 나타낸 바와 같이, 제1 보호층(4)의 상면에만 제2 보호층(6)을 달라붙이기 형성한다.

이어서, 도 54(e)에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 제1 상면 전극층(2)의 상면에 위치하여 상기 이산형 기판(1)의 폭 전체까지 이어지도록 1쌍의 제2 상면 전극층(7)을 달라붙이기 형성한다.

다음으로, 도 54(f)에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 제1 상면 전극층(2) 및 상기이산형 기판(1)의 좌우 양단의 측면에 1쌍의 제1, 제2 상면 전극층(2, 7)과 전기적으로 접속되도록 1쌍의 측면 전극층(8)을 달라붙이기 형성한다.

마지막으로, 1쌍의 제2 상면 전극층(7) 및 1쌍의 측면 전극층(8)의 표면에 니켈 도금을 실시한 후, 땜납 도금을 실시함으로써 1쌍의 니켈 도금층(9)과, 1쌍의 땜납 도금층(10)을 형성하여 종래의 저항기를 제조하고 있었다.

또, 상기한 저항기도 대단히 소형화되어 왔으며, 최근에는 길이 0.6mm ×폭 0.3mm ×두께 0.25mm의 대단히 소형의 저항기도 제조되게 되었다.

상기한 종래의 구성 및 제조 방법으로 길이 0.6mm ×폭 0.3mm ×두께 0.25mm의 대단히 소형의 저항기를 제조하고자 한 경우의 과제에 대해 설명한다.

종래에서의 알루미나 등의 자기로 이루어지는 시트 형상의 절연 기판은, 기판 분할 홈을 시트 형상의 절연 기판의 소성 전에 미리 형성하고, 이 절연 기판을 소성함으로써 제조하고 있다. 이 때문에, 시트 형상의 절연 기판에 미리 형성된 기판 분할 홈은 시트 형상의 절연 기판의 미묘한 조성 불균일이나, 시트 형상의 절연 기판의 소성시의 미소한 온도 불균일에 의해 치수 불균일이 발생하는 것이다(이 치수 불균일은 약 100mm ×100mm의 시트 형상의 절연 기판에서는 약 0.5mm 정도에나 달한다).

이러한 치수 불균일을 갖는 시트 형상의 절연 기판을 사용하여, 대단히 미세한 저항기를 제조하는 경우에는, 이산형 기판의 치수를 종방향과 횡방향의 각각으로 대단히 미세한 치수 랭크로 분류하고, 각각의 치수 랭크에 상당하는 상면 전극층(2), 저항층(3), 제1 보호층(4) 등의 스크린 인쇄 마스크를 갖출 필요가 있는 동시에, 이산형 기판의 치수 랭크에 따라 마스크를 교환할 필요가 있는 것으로, 그 결과 대단히 공정이 번잡해진다는 과제를 갖고 있었다(치수 랭크를 0.05mm 단위로 분류하는 경우에는 종방향, 횡방향 합쳐, 각각 25랭크로 종횡 합계 약 600랭크 이상의 치수 분류가 필요해진다).

본 발명은 상기 종래의 과제를 해결하는 것으로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요해져, 종래와 같은 이산형 기판의 치수 랭크에 따라 마스크를 교환하는 공정을 없앨 수 있는 동시에, 값싸고 또 미세한 저항기를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명은 저항기 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 미세한 저항기 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기의 단면도,

도 2는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 3(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 4(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 5(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 6(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 7(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 8(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 9는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 일단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 10은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 양단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 11은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 3개의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 12는 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 13(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 14(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 15(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 16(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 17(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 18(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 19는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 일단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 20은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 양단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 21은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 3개의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 22는 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 23(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 24(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 25(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 26(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 27(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 28(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 29는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 일단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 30은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 양단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 31은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 3개의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 32는 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 33(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 34(a) ∼ (e)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 35(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 36(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 37(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 38(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 39는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 일단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 40은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 양단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 41은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 3개의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 42는 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기의 제조 방법에 의해 얻어진 저항기의 단면도,

도 43은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 44(a) ∼ (f)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 45(a) ∼ (f)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 46(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 47(a) ∼ (d)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 48(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 단면도,

도 49(a) ∼ (c)는 동 저항기의 제조 공정을 나타낸 평면도,

도 50은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 일단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 51은 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 양단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 52는 동 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 3개의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도,

도 53은 종래의 저항기의 단면도,

도 54(a) ∼ (f)는 종래의 저항기의 제조 공정을 나타낸 사시도이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 저항기는, 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판과, 상기 이산형 기판의 상면에 형성된 1쌍의 상면 전극층과, 상기 1쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 형성된 저항층과, 상기 저항층을 덮도록 형성된 보호층과, 상기 1쌍의 상면 전극층과 전기적으로 접속되도록 상기 이산형 기판의 측면에 형성된 니켈계 전극에 의한 1쌍의 측면 전극층을 구비한 것이다.

상기한 저항기에 의하면, 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판을 사용하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요해지고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 랭크에 따라 마스크를 교환하는 공정을 없앨수 있는 동시에, 값싸고 또 미세한 저항기를 제공할 수 있는 것이다.

(제1 실시예)

이하, 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기 및 그 제조 방법에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기의 단면도이다.

도 1에서, 11은 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판이다. 12는 이산형 기판(11)의 상면에 형성된 은을 주성분으로 하는 1쌍의 상면 전극층이다. 13은 1쌍의 상면 전극층(12)에 일부가 겹쳐지도록 이산형 기판(11)의 상면에 형성된 산화루테늄계의 저항층이다. 14는 저항층(13)의 상면에 형성된 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층이다. 15는 1쌍의 상면 전극층(12)간의 저항층(13)의 저항값을 수정하기 위해 형성된 트리밍 홈이다. 16은 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(14)을 덮도록 형성된 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층이다. 17은 1쌍의 상면 전극층(12)의 일부에 겹쳐지는 동시에, 이산형 기판(11)의 양측면 및 이면의 양단부를 덮도록 형성된 니켈로 이루어지는 1쌍의 측면 전극층이다. 18은 1쌍의 측면 전극층(17) 및 1쌍의 상면 전극층(12)의 일부를 덮도록 형성된 주석으로 이루어지는 땜납층이다.

이상과 같이 구성된 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기에 대해, 다음에 그 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도, 도 3(a) ∼ (e), 도 4(a) ∼ (e), 도 5(a) ∼ (d), 도 6(a) ∼ (d), 도 7(a) ∼ (c) 및 도 8(a) ∼ (c)는 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저, 도 2, 도 3(a), 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 두께 0.2mm의 절연성을 갖는 시트 형상의 절연 기판(21)을 준비한다. 이 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(21a)를 갖고 있는 것이다. 그리고, 이 불필요 영역부(21a)는 대략 ㅁ자 형상으로 구성되어 있는 것이다.

다음으로, 도 2, 도 3(b), 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(21)의 상면에 스크린 인쇄 공법에 의해 은을 주성분으로 하는 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 상면 전극층(22)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 2, 도 3(c), 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 걸치도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 산화루테늄계의 복수의 저항층(23)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 저항층(23)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 3, 도 4(d)에 나타낸 바와 같이, 복수의 저항층(23)을 덮도록,스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(24)을 형성하고, 피크 온도 600℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(24)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 3(e), 도 4(e)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(22)간의 저항층(23)의 저항값을 일정한 값으로 조정하기 위해, 레이저 트리밍 공법에 의해 트리밍을 행하여, 복수의 트리밍 홈(25)을 형성했다.

이어서, 도 5(a), 도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 도면상의 종방향으로 나열되는 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(24)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 수지를 주성분으로 하는 복수의 제2 보호층(26)을 형성하고, 피크 온도 200℃의 경화 프로파일로 경화시킴으로써, 제2 보호층(26)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 5(b), 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 복수의 제2 보호층(26)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 제1 레지스트층(27)을 형성하고, 자외선 경화에 의해 제1 레지스트층(27)을 안정적인 막으로 했다. 또한, 스크린 인쇄 공법에 의해, 시트 형상의 절연 기판(21)의 이면상에 복수의 제2 레지스트층(28)을 형성하고, 자외선 경화에 의해 제2 레지스트층(28)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 2, 도 5(c) 도 6(c)에 나타낸 바와 같이, 제1 레지스트층(27) 및 제2 레지스트층(28)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(21a)를 제외하고, 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 분리하여 복수의 직사각형 형상 기판(21b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(29)을 다이싱 공법에 의해 복수 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)는 700㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 슬릿 형상의 제1 분할부(29)의 폭은 120㎛ 폭으로 되어 있다. 또, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)는 시트 형상의 절연 기판(21)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있는 것이다. 그리고 또, 상기 시트 형상의 절연 기판(21)은 불필요 영역부(21a)를 제외하고 다이싱 공법에 의해 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성하고 있으므로, 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(21b)은 불필요 영역부(21a)로 연결되어 있으므로, 시트 상태를 나타내고 있는 것이다.

다음으로, 도 5(d), 도 6(d)에 나타낸 바와 같이, 도금욕에 침전시켜 도금을 행하는 무전해 도금 공법을 사용하여, 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 면에 니켈 도금을 실시하고, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 측면 전극층(30)을 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)가 시트 형상의 절연 기판(21)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있으므로, 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 면에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 측면 전극층(30)을 형성한 경우, 측면 전극층(30)은 시트 형상의 절연 기판(21)의 상면측으로부터 관통구멍이 되어 있는 슬릿 형상의 제1 분할부(29)의 내면 전체를 거쳐 시트 형상의 절연 기판(21)의 이면측까지 형성되는 것이다. 또, 이 측면 전극층(30)은 시트 형상의 절연 기판(21)의 상면측에서는 노출되어 있는 상면 전극층(22)의 일부와 제1 레지스트층(27)을 덮도록 형성되고, 또한 시트 형상의 절연 기판(21)의 이면측에서는 제2 레지스트층(28)을 덮도록 형성되는 것이다.

이어서, 도 7(a), 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 복수의 제1 레지스트층(도시 생략) 및 복수의 제2 레지스트층(도시 생략)을 박리하고, 복수 쌍의 측면 전극층(30)을 패터닝한다.

다음으로, 도 7(b), 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 전기 도금 공법을 사용하여, 노출되어 있는 복수 쌍의 측면 전극층(30)과, 복수의 제1 레지스트층(도시 생략)을 박리함으로써 노출된 복수 쌍의 상면 전극층(22)의 일부를 덮도록, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 주석으로 이루어지는 복수 쌍의 땜납층(31)을 형성한다.

상기 측면 전극층(30)의 두께는 약 4 ∼ 6㎛의 두께로 되어 있으나, 이 범위에 한정되는 것이 아니며, 그 두께는 1 ∼ 15㎛의 두께가 타당하며, 또 이 측면 전극층(30)은 무전해 도금 공법을 사용하여 니켈 도금을 실시함으로써 구성하고 있으므로, 자성을 갖지 않는 형태가 되는 것으로, 이러한 구성에 있어서는 대단히 치수 정밀도가 높은 것이 얻어지는 동시에, 자동 실장기의 흡착 핀으로 저항기를 흡착하여 실장하는 경우에, 흡착시의 안정성이 향상하여 높은 실장율을 확보할 수 있는 것이다.

또, 상기 땜납층(31)은 주석으로 구성하고 있으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 주석 합금계의 재료이어도 되고, 이들 재료로 구성한 경우에는, 리플로우 납땜시에 안정된 납땜이 가능한 것이다.

그리고 또, 상기 상면 전극층(22)은 은계의 재료로 구성하는 동시에, 저항층(23)은 산화루테늄계의 재료로 구성하고 있으므로, 내열성 및 내구성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

또한, 상기 저항층(23) 등을 덮는 보호층은, 저항층(23)을 덮는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(24)과, 이 제1 보호층(24)을 덮는 동시에, 트리밍 홈(25)을 덮는 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(26)의 2층으로 구성하고 있으므로, 상기 제1 보호층(24)으로 레이저 트리밍시의 크랙의 발생을 방지하여 전류 잡음을 작게 할 수 있는 동시에, 상기 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(26)으로 저항층(23) 전체가 덮힘으로써 내습성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

마지막으로, 도 2, 도 7(c), 도 8(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(21a)를 제외하고, 시트 형상의 절연 기판(21)에서의 복수의 직사각형 형상 기판(21b)에, 복수의 저항층(23)이 개개로 분리되어 이산형 기판(21a)으로 분할되도록 슬릿 형상의 제1 분할부(29)와 직교하는 방향으로 다이싱 공법을 사용하여 복수의 제2 분할부(32)를 형성한다. 이 경우, 복수의 제2 분할부(32)는 400㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 제2 분할부(32)의 폭은 100㎛ 폭으로 되어 있다. 그리고, 이 복수의 제2 분할부(32)는 불필요 영역부(21a)를 제외하고 복수의 직사각형 형상 기판(21b)에 다이싱 공법에 의해 형성하도록 되어 있으므로, 이 복수의 제2 분할부(32)를 형성할 때마다 이산형 기판(21c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(21a)로부터 분리되는 것이다.

이상과 같은 공정에 의해, 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기는 제조되는 것이다.

상기 공정에 의해 제조한 저항기의 길이 치수 및 폭 치수는 다이싱 공법에 의해 형성된 슬릿 형상의 제1 분할부(29) 및 제2 분할부(32)의 간격이 정확(±0.005mm 이내)한 동시에, 측면 전극층(30) 및 땜납층(31)의 두께도 정확하므로, 제품인 저항기의 전체길이 및 전체폭은 정확히 길이 0.6mm ×폭 0.3mm가 되는 것이다. 또, 상면 전극층(22) 및 저항층(23)의 패턴 정밀도도 이산형 기판의 치수 랭크 분류가 불필요한 동시에 동일한 이산형 기판의 치수 랭크 내에서의 치수 불균일을 고려할 필요가 없으므로, 저항층(23)의 유효 면적도 종래품에 비해 크게 취할 수 있다. 즉, 종래품에서의 저항층은 길이 약 0.20mm ×폭 0.19mm이었던 것에 비해, 본 발명의 제1 실시예에서의 저항기의 저항층(23)은 길이 약 0.25mm ×폭 0.24mm가 되어 면적으로는 약 1.6배 이상이 되는 것이다.

상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29) 및 복수의 제2 분할부(32)는 다이싱 공법을 사용하여 형성하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요한 시트 형상의 절연 기판(21)을 사용할 수 있고, 이에 의해, 종래와 같은 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지므로, 종래와 같은 마스크 교환에 의한 공정의 번잡함을 없앨 수 있는 동시에, 다이싱도 반도체 등에서 일반적인 다이싱 설비를 사용하여 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 상기 시트 형상의 절연 기판(21)은 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(21a)를 형성하고, 또한 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29) 및 복수의 제2 분할부(32)는 상기 불필요 영역부(21a)에는 형성하지 않도록 하고 있으므로, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(21b)은 불필요 영역부(21a)로 연결되어 있으며, 그 때문에 시트 형상의 절연 기판(21)이 복수의 직사각형 형상 기판(21b)에 미세하게 분리되지 않고, 따라서 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성한 후에도, 불필요 영역부(21a)를 갖는 시트 형상의 절연 기판(21)의 상태로 후 공정을 행할 수 있으므로, 공법 설계를 간략화할 수 있는 것이다. 또, 복수의 제2 분할부(32)를 형성하면, 이 복수의 제2 분할부(32)를 형성할 때마다 이산형 기판(21c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(21a)로부터 분리되므로, 불필요 영역부(21a)와 제품을 나중에 선별하는 공정은 불필요해지는 것이다.

그리고 또, 복수 쌍의 측면 전극층(30) 및 복수 쌍의 땜납층(31)은 시트 형상의 절연 기판(21)의 상태로 형성하도록 하고 있으므로, 측면 전극층(30)을 시트 형상의 절연 기판(21)에 형성할 수 있는 동시에, 전기 도금 공법에 의해 땜납층(31)을 형성할 때는 전위차를 작게 할 수 있고, 이에 의해 안정적인 땜납층(31)을 형성할 수 있는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(21a)를 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 주위의 단부에 형성하여 대략 ㅁ자 형상으로 구성한 것이 대해 설명했으나, 이 불필요 영역부(21a)는 시트 형상의 절연 기판(21)의 전체 주위의 단부에 반드시 형성할 필요는 없고, 예를 들면 도 9에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(21)의 일단부에 불필요 영역부(21d)를 형성한 경우, 도 10에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(21)의 양단부에 불필요 영역부(21e)를 형성한 경우, 도 11에 나타낸 바와 같이 시트형상의 절연 기판(21)의 3개의 단부에 불필요 영역부(21f)를 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제1 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 복수의 제2 분할부(32)를 다이싱 공법에 의해 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 이외에 예를 들면 이 복수의 제2 분할부(32)를 시트 형상의 절연 기판(21)의 이면측, 상면측, 중앙부 중 어느 하나에 얇은 부분를 남기고 시트 형상의 절연 기판(21)의 상면측, 이면측, 중앙부 중 어느 하나를 레이저 공법, 다이싱 공법 등으로 절단함으로써 형성해도 되고, 이들 경우는 제2 분할부(32)를 형성할 때마다 이산형이 되는 것이 아니라, 2단계로 이산형이 되는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 제1 레지스트층(27) 및 제2 레지스트층(28)을 형성한 후에, 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성했으나, 제1 레지스트층(27) 및 제2 레지스트층(28)은 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성한 후에 형성해도 되는 것이다. 단, 이렇게 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성한 후에 제1 레지스트층(27) 및 제2 레지스트층(28)을 스크린 인쇄하는 경우에는, 시트 형상의 절연 기판(21)의 강도가 약해지므로, 스크린 인쇄시의 인압(印壓)을 약하게 할 필요가 있다.

또한, 제2 레지스트층(28)은 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(24)을 형성한 직후에 형성해도 본 발명의 제1 실시예와 동일한 효과가 얻어지는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 제1 레지스트층(27) 및 제2 레지스트층(28)의 박리는, 땜납층(31)의 형성 전에 행했으나, 이것은 땜납층(31)의 형성 후에도 가능하다.

또, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 상면 전극층(22)으로서 은계의 재료를 사용하고, 또한 저항층(23)으로서 산화루테늄계의 재료를 사용했으나, 이들은 다른 재료계로도 본 발명의 제1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 슬릿 형상의 제1 분할부(29) 및 제2 분할부(32)를 다이싱 공법을 사용하여 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 다이싱 공법 이외에, 레이저나 워터젯 등의 분할부 형성 수단을 사용하여 슬릿 형상의 제1 분할부(29) 및 제2 분할부(32)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제1 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 이산형 기판(11)의 상면에 1쌍의 상면 전극층(12)을 형성하고, 그 후 이 1쌍의 상면 전극층(12)에 일부가 겹쳐지도록 저항층(13)을 형성한 것에 대해 설명했으나, 이것과는 반대로 이산형 기판(11)의 상면에 저항층(13)을 형성하고, 그 후 이 저항층(13)에 일부가 겹쳐지도록 1쌍의 상면 전극층(12)을 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제1 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제1 실시예에서는, 복수의 직사각형 형상 기판(21b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하는 경우, 복수 쌍의 상면 전극층(22), 복수의 저항층(23), 복수의 제1 보호층(24), 복수의 트리밍 홈(25), 복수의 제2 보호층(26), 복수의 제1 레지스트층(27), 복수의 제2 레지스트층(28)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 것에 대해 설명했으나, 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면 이 이외에 시트 형상의 절연 기판(21)에, 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 경우, 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 미리 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판(21)을 사용한 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)에 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)에 복수의 저항층(23)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)에 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 형성하고, 또한 이 복수 쌍의 상면 전극층(22)에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층(23)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)에 복수의 저항층(23)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(23)에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층(22)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(21)에 복수 쌍의 상면 전극층(22), 복수의 저항층(23)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(23)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(22)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(21)에 슬릿 형상의 제1 분할부(29)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제1 실시예와 동일한 효과를 발휘하는 것이다.

(제2 실시예)

이하, 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도, 도 13(a) ∼ (e), 도 14(a) ∼ (e), 도 15(a) ∼ (d), 도 16(a) ∼ (d), 도 17(a) ∼ (c) 및 도 18(a) ∼ (c)는 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저, 도 12, 도 13(a), 도 14(a)에 나타낸 바와 같이, 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 두께 0.2mm의 절연성을 갖는 시트 형상의 절연 기판(41)을 준비한다. 이 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)은 도 12에 나타낸 바와 같이, 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(41a)를 갖고 있는 것이다. 그리고, 이 불필요 영역부(41a)는 대략 ㅁ자 형상으로 구성되어 있는 것이다.

다음으로, 도 12, 도 13(b), 도 14(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(41)의 상면에 스크린 인쇄 공법에 의해 은을 주성분으로 하는 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 상면 전극층(42)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 12, 도 13(c), 도 14(c)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 걸치도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 산화루테늄계의 복수의 저항층(43)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 저항층(43)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 13(d), 도 14(d)에 나타낸 바와 같이, 복수의 저항층(43)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(44)을 형성하고, 피크 온도 600℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(44)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 13(e), 도 14(e)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(42)간의 저항층(43)의 저항값을 일정한 값으로 조정하기 위해, 레이저 트리밍 공법에 의해 트리밍을 행하여, 복수의 트리밍 홈(45)을 형성했다.

이어서, 도 15(a), 도 16(a)에 나타낸 바와 같이, 도면상의 횡방향으로 나열되는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(44)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 수지를 주성분으로 하는 복수의 제2 보호층(46)을 형성하고, 피크 온도 200℃의 경화 프로파일로 경화시킴으로써, 제2 보호층(46)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 15(b), 도 16(b)에 나타낸 바와 같이, 스크린 인쇄 공법에 의해 시트 형상의 절연 기판(41)의 이면상에 복수의 레지스트층(47)을 형성하고, 자외선 경화에 의해 레지스트층(47)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 12, 도 15(c) 도 16(c)에 나타낸 바와 같이, 레지스트층(47)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(41)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(41a)를 제외하고, 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 분리하여 복수의 직사각형 형상 기판(41b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 다이싱 공법에의해 복수 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)는 700㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 슬릿 형상의 제1 분할부(48)의 폭은 120㎛ 폭으로 되어 있다. 또, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)는 시트 형상의 절연 기판(41)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있는 것이다. 그리고 또, 상기 시트 형상의 절연 기판(41)은 불필요 영역부(41a)를 제외하고 다이싱 공법에 의해 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성하고 있으므로, 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(41b)은 불필요 영역부(41a)로 연결되어 있으므로, 시트 상태를 나타내고 있는 것이다.

다음으로, 도 15(d), 도 16(d)에 나타낸 바와 같이, 스퍼터 공법을 사용하여, 시트 형상의 절연 기판(41)의 이면 및 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금, 예를 들면 니켈-크롬 합금에 의한 두께가 약 0.1 ∼ 1㎛인 측면 전극층(49)을 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)의 내면에 형성된 측면 전극층(49)은 시트 형상의 절연 기판(41)의 상면에 형성된 상면 전극층(42)에 접하여 전기적으로 접속되는 것이다.

이어서, 도 17(a), 도 18(a)에 나타낸 바와 같이, 복수의 레지스트층(도시 생략)을 박리하고, 복수 쌍의 측면 전극층(49)을 패터닝한다.

다음으로, 도 17(b), 도 18(b)에 나타낸 바와 같이, 전기 도금 공법을 사용하여, 노출되어 있는 복수 쌍의 측면 전극층(49) 및 복수의 레지스트층(도시 생략)을 박리함으로써 노출된 복수 쌍의 상면 전극층(42)의 일부를 덮도록, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 니켈로 이루어지는 복수 쌍의 니켈층(50)과 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 주석으로 이루어지는 복수 쌍의 땜납층(51)을 형성한다.

상기 스퍼터 공법에 의해 측면 전극층(49)의 두께는 약 0.1 ∼ 1㎛의 두께로 되어 있으나, 이 범위에 한정되는 것이 아니며, 니켈층(50) 및 땜납층(51)을 더한 두께는 1 ∼ 15㎛의 두께가 타당하다.

또, 상기 땜납층(51)은 주석으로 구성하고 있으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 주석 합금계의 재료이어도 되고, 이들 재료로 형성한 경우에는, 리플로우 납땜시에 안정된 납땜이 가능한 것이다.

그리고 또, 상기 상면 전극층(42)은 은계의 재료로 구성하는 동시에, 저항층(43)은 산화루테늄계의 재료로 구성하고 있으므로, 내열성 및 내구성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

또한, 상기 저항층(43) 등을 덮는 보호층은 저항층(43)을 덮는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(44)과, 이 제1 보호층(44)을 덮는 동시에, 트리밍 홈(45)을 덮는 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(46)의 2층으로 구성되고 있으므로, 상기 제1 보호층(44)으로 레이저 트리밍시의 크랙의 발생을 방지하여 전류 잡음을 작게 할 수 있는 동시에, 상기 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(46)으로 저항층(43) 전체가 덮힘으로써 내습성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

마지막으로, 도 12, 도 17(c), 도 18(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(41)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(41a)를 제외하고, 시트 형상의 절연 기판(41)에서의 복수의 직사각형 형상 기판(41b)에, 복수의저항층(43)이 개개로 분리되어 이산형 기판(41a)으로 분할되도록 슬릿 형상의 제1 분할부(48)와 직교하는 방향으로 다이싱 공법을 사용하여 복수의 제2 분할부(52)를 형성한다. 이 경우, 복수의 제2 분할부(52)는 400㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 제2 분할부(52)의 폭은 100㎛ 폭으로 되어 있다. 그리고, 이 복수의 제2 분할부(52)는 불필요 영역부(41a)를 제외하고 복수의 직사각형 형상 기판(41b)에 다이싱 공법에 의해 형성하도록 되어 있으므로, 이 복수의 제2 분할부(52)를 형성할 때마다 이산형 기판(41c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(41a)로부터 분리되는 것이다.

이상과 같은 공정에 의해, 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기는 제조되는 것이다.

상기 공정에 의해 제조한 저항기의 길이 치수 및 폭 치수는 다이싱 공법에 의해 형성된 슬릿 형상의 제1 분할부(48) 및 제2 분할부(52)의 간격이 정확(±0.005mm 이내)한 동시에, 측면 전극층(49), 니켈층(50) 및 땜납층(51)의 두께도 정확하므로, 제품인 저항기의 전체길이 및 전체폭은 정확히 길이 0.6mm ×폭 0.3mm가 되는 것이다. 또, 상면 전극층(42) 및 저항층(43)의 패턴 정밀도도 이산형 기판의 치수 랭크 분류가 불필요한 동시에 동일한 이산형 기판의 치수 랭크 내에서의 치수 불균일을 고려할 필요가 없으므로, 저항층(43)의 유효 면적도 종래품에 비해 크게 취할 수 있다. 즉, 종래품에서의 저항층은 길이 약 0.20mm ×폭 0.19mm이었던 것에 비해, 본 발명의 제2 실시예에서의 저항기의 저항층(43)은 길이 약 0.25mm ×폭 0.24mm가 되어 면적으로는 약 1.6배 이상이 되는 것이다.

상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48) 및 복수의 제2 분할부(52)는 다이싱 공법을 사용하여 형성하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요한 시트 형상의 절연 기판(41)을 사용할 수 있고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지므로, 종래와 같은 마스크 교환에 의한 공정의 번잡함을 없앨 수 있는 동시에, 다이싱도 반도체 등에서 일반적인 다이싱 설비를 사용하여 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 상기 시트 형상의 절연 기판(41)은 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(41a)를 형성하고, 또한 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48) 및 복수의 제2 분할부(52)는 상기 불필요 영역부(41a)에는 형성하지 않도록 하고 있으므로, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(41b)은 불필요 영역부(41a)로 연결되어 있으며, 그 때문에 시트 형상의 절연 기판(41)이 복수의 직사각형 형상 기판(41b)에 미세하게 분리되지 않고, 따라서 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성한 후에도, 불필요 영역부(41a)를 갖는 시트 형상의 절연 기판(41)의 상태로 후 공정을 행할 수 있으므로, 공법 설계를 간략화할 수 있는 것이다. 또, 복수의 제2 분할부(52)를 형성하면, 이 복수의 제2 분할부(52)를 형성할 때마다 이산형 기판(41c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(41a)로부터 분리되므로, 불필요 영역부(41a)와 제품을 나중에 선별하는 공정은 불필요해지는 것이다.

그리고 또, 복수 쌍의 측면 전극층(49), 니켈층(50) 및 복수 쌍의 땜납층(51)은 시트 형상의 절연 기판(41)의 상태로 형성하도록 하고 있으므로, 측면 전극층(49)을 시트 형상의 절연 기판(41)의 필요 부분에 형성할 수 있는 동시에, 전기 도금 공법에 의해 니켈층(50) 및 땜납층(51)을 형성할 때는 전위차를 작게 할 수 있어, 이에 의해 안정적인 니켈층(50) 및 땜납층(51)을 형성할 수 있는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(41a)를 시트 형상의 절연 기판(41)의 전체 주위의 단부에 형성하여 대략 ㅁ자 형상으로 구성한 것에 대해 설명했으나, 이 불필요 영역부(41a)는 시트 형상의 절연 기판(41)의 전체 주위의 단부에 반드시 형성할 필요는 없고, 예를 들면 도 19에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(41)의 일단부에 불필요 영역부(41d)를 형성한 경우, 도 20에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(41)의 양단부에 불필요 영역부(41e)를 형성한 경우, 도 21에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(41)의 3개의 단부에 불필요 영역부(41f)를 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제2 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 복수의 제2 분할부(52)를 다이싱 공법에 의해 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 이외에 예를 들면 이 복수의 제2 분할부(52)를 시트 형상의 절연 기판(41)의 이면측, 상면측, 중앙부 중 어느 하나에 얇은 부분을 남기고 시트 형상의 절연 기판(41)의 상면측, 이면측, 중앙부 중 어느 하나를 레이저 공법, 다이싱 공법 등으로 절단함으로써 형성해도 되고, 이들 경우는 제2 분할부(52)를 형성할 때마다 이산형이 되는 것이 아니라, 2단계로 이산형이 되는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 레지스트층(47)을 형성한 후에, 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성했으나, 레지스트층(47)은 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성한 후에 형성해도 되는 것이다. 단, 이렇게 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성한 후에 레지스트층(47)을 스크린 인쇄하는 경우에는, 시트 형상의 절연 기판(41)의 강도가 약해지므로, 스크린 인쇄시의 인압을 약하게 할 필요가 있다.

또한, 레지스트층(47)은 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(44)을 형성한 직후에 형성해도 본 발명의 제2 실시예와 동일한 효과가 얻어지는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 레지스트층(47)의 박리는, 니켈층(50) 및 땜납층(51)의 형성 전에 행했으나, 이것은 니켈층(50) 및 땜납층(51)의 형성 후에도 가능하다.

또, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 상면 전극층(42)으로서 은계의 재료를 사용하고, 또한 저항층(43)으로서 산화루테늄계의 재료를 사용했으나, 이들은 다른 재료계로도 본 발명의 제2 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

그리고, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 슬릿 형상의 제1 분할부(48) 및 제2 분할부(52)를 다이싱 공법을 사용하여 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 다이싱 공법 이외에 레이저나 워터젯 등의 분할부 형성 수단을 사용하여 슬릿 형상의 제1 분할부(48) 및 제2 분할부(52)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제2 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제2 실시예에서는, 복수의 직사각형 형상 기판(41b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하는 경우, 복수 쌍의 상면 전극층(42), 복수의 저항층(43), 복수의 제1 보호층(44), 복수의 트리밍 홈(45), 복수의 제2 보호층(46), 복수의 레지스트층(47)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 것에 대해 설명했으나, 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면 이 이외에 시트 형상의 절연 기판(41)에, 최초로 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 경우, 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 미리 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판(41)을 사용한 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)에 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)에 복수의 저항층(43)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)에 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 형성하고, 또한 이 복수 쌍의 상면 전극층(42)에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층(43)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)에 복수의 저항층(43)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(43)에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층(42)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(41)에 복수 쌍의 상면 전극층(42), 복수의 저항층(43)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(43)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(42)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(41)에 슬릿 형상의 제1 분할부(48)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제2 실시예와 동일한 효과를 발휘하는 것이다.

(제3 실시예)

이하, 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 22는 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도, 도 23(a) ∼ (e), 도 24(a) ∼ (e), 도 25(a) ∼ (d), 도 26(a) ∼ (d), 도 27(a) ∼ (c) 및 도 28(a) ∼ (c)는 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저, 도 22, 도 23(a), 도 24(a)에 나타낸 바와 같이, 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 두께 0.2mm의 절연성을 갖는 시트 형상의 절연 기판(61)을 준비한다. 이 경우, 시트 형상의 절연 기판(61)은 도 22에 나타낸 바와 같이, 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(61a)를 갖고 있는 것이다. 그리고, 이 불필요 영역부(61a)는 대략 ㅁ자 형상으로 구성되어 있는 것이다.

다음으로, 도 22, 도 23(b), 도 24(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(61)의 상면에 스크린 인쇄 공법에 의해 은을 주성분으로 하는 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써,상면 전극층(62)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 22, 도 23(c), 도 24(c)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 걸치도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 산화루테늄계의 복수의 저항층(63)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 저항층(63)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 23, 도 24(d)에 나타낸 바와 같이, 복수의 저항층(63)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(64)을 형성하고, 피크 온도 600℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(64)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 23(e), 도 24(e)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(62)간의 저항층(63)의 저항값을 일정한 값으로 조정하기 위해, 레이저 트리밍 공법에 의해 트리밍을 행하여, 복수의 트리밍 홈(65)을 형성했다.

이어서, 도 25(a), 도 26(a)에 나타낸 바와 같이, 도면 상의 종방향으로 나열되는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(64)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 수지를 주성분으로 하는 복수의 제2 보호층(66)을 형성하고, 피크 온도 200℃의 경화 프로파일로 경화시킴으로써, 제2 보호층(66)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 22, 도 25(b), 도 26(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(61)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(61a)를 제외하고, 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 분리하여 복수의 직사각형 형상 기판(61b)으로 분할하기위한 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 다이싱 공법에 의해 복수 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)는 700㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 슬릿 형상의 제1 분할부(67)의 폭은 120㎛ 폭으로 되어 있다. 또, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)는 시트 형상의 절연 기판(61)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있는 것이다. 그리고 또, 상기 시트 형상의 절연 기판(61)은 불필요 영역부(61a)를 제외하고 다이싱 공법에 의해 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 형성하고 있으므로, 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(61b)은 불필요 영역부(61a)으로 연결되어 있으므로, 시트 상태를 나타내고 있는 것이다.

다음으로, 도 25(c), 도 26(c)에 나타낸 바와 같이, 슬릿 형상의 제1 분할부(67)가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판(61)의 이면에 자성 금속으로 이루어지는 마스크(68)를 설치하는 동시에, 상기 시트 형상의 절연 기판(61)의 상면측에 상기 마스크(68)를 소정 위치에 고정하기 위한 마그넷(69)을 설치한다. 이어서, 도 25(d), 도 26(d)에 나타낸 바와 같이, 이 설치 상태에서 스퍼터 공법을 사용하여, 시트 형상의 절연 기판(61)의 이면 및 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금, 예를 들면 니켈-크롬 합금에 의한 두께가 약 0.1 ∼ 1㎛인 복수 쌍의 측면 전극층(70)을 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)의 내면에 형성된 측면 전극층(70)은 시트 형상의 절연 기판(61)의 상면에 형성된 상면 전극층(62)에 접하여 전기적으로 접속되는 것이다.

이어서, 도 27(a), 도 28(a)에 나타낸 바와 같이, 마스크(68)와 마그넷(69)을 떼어낸다.

다음으로, 도 27(b), 도 28(b)에 나타낸 바와 같이, 전기 도금 공법을 사용하여, 노출되어 있는 복수 쌍의 측면 전극층(70) 및 복수 쌍의 상면 전극층(62)의 일부를 덮도록, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 니켈로 이루어지는 복수 쌍의 니켈층(71)과 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 주석으로 이루어지는 복수 쌍의 땜납층(71)을 형성한다.

상기 스퍼터 공법에 의해 형성되는 측면 전극층(70)의 두께는 약 0.1 ∼ 1㎛의 두께로 되어 있으나, 이 범위에 한정되는 것이 아니며, 니켈층(71) 및 땜납층(72)을 더한 두께는 1 ∼ 15㎛의 두께가 타당하다.

또, 상기 땜납층(72)은 주석으로 구성하고 있으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 주석 합금계의 재료이어도 되고, 이들 재료로 구성한 경우에는, 리플로우 납땜시에 안정된 납땜이 가능한 것이다.

그리고 또, 상기 상면 전극층(62)은 은계의 재료로 구성하는 동시에, 저항층(63)은 산화루테늄계의 재료로 구성하고 있으므로, 내열성 및 내구성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

또한, 상기 저항층(63) 등을 덮는 보호층은 저항층(63)을 덮는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(64)과, 이 제1 보호층(64)을 덮는 동시에, 트리밍 홈(65)을 덮는 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(66)의 2층으로 구성하고 있으므로, 상기 제1 보호층(64)으로 레이저 트리밍시의 크랙의 발생을 방지하여 전류 잡음을 작게 할 수 있는 동시에, 상기 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(66)으로 저항층(63) 전체가 덮힘으로써 내습성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

마지막으로, 도 22, 도 27(c), 도 28(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(61)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(61a)를 제외하고, 시트 형상의 절연 기판(61)에서의 복수의 직사각형 형상 기판(61b)에, 복수의 저항층(63)이 개개로 분리되어 이산형 기판(61a)으로 분할되도록 슬릿 형상의 제1 분할부(67)와 직교하는 방향으로 다이싱 공법을 사용하여 복수의 제2 분할부(73)를 형성한다. 이 경우, 복수의 제2 분할부(73)는 400㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 제2 분할부(73)의 폭은 100㎛ 폭으로 되어 있다. 그리고, 이 복수의 제2 분할부(73)는 불필요 영역부(61a)를 제외하고 복수의 직사각형 형상 기판(61b)에 다이싱 공법에 의해 형성하도록 하고 있으므로, 이 복수의 제2 분할부(73)를 형성할 때마다 이산형 기판(61c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(61a)로부터 분리되는 것이다.

이상과 같은 공정에 의해, 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기는 제조되는 것이다.

상기 공정에 의해 제조한 저항기의 길이 치수 및 폭 치수는 다이싱 공법에 의해 형성된 슬릿 형상의 제1 분할부(67) 및 제2 분할부(73)의 간격이 정확(±0.005mm 이내)한 동시에, 측면 전극층(70), 니켈층(71) 및 땜납층(72)의 두께도 정확하므로, 제품인 저항기의 전체길이 및 전체폭은 정확히 길이 0.6mm ×폭 0.3mm가 되는 것이다. 또, 상면 전극층(62) 및 저항층(63)의 패턴 정밀도도 이산형 기판의 치수 랭크 분류가 불필요한 동시에 동일한 이산형 기판의 치수 랭크 내에서의 치수 불균일을 고려할 필요가 없으므로, 저항층(63)의 유효 면적도 종래품에 비해 크게 취할 수 있다. 즉, 종래품에서의 저항층은 길이 약 0.20mm ×폭 0.19mm이었던 것에 비해, 본 발명의 제3 실시예에서의 저항기의 저항층(63)은 길이 약 0.25mm ×폭 0.24mm가 되어 면적으로는 약 1.6배 이상이 되는 것이다.

상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67) 및 복수의 제2 분할부(73)는 다이싱 공법을 사용하여 형성하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요한 시트 형상의 절연 기판(61)을 사용할 수 있고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지므로, 종래와 같은 마스크 교환에 의한 공정의 번잡함을 없앨 수 있는 동시에, 다이싱도 반도체 등에서 일반적인 다이싱 설비를 사용하여 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 상기 시트 형상의 절연 기판(61)은 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(61a)를 형성하고, 또한 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67) 및 복수의 제2 분할부(73)는 상기 불필요 영역부(61a)에는 형성하지 않도록 하고 있으므로, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(61b)은 불필요 영역부(61a)로 연결되어 있으며, 그 때문에 시트 형상의 절연 기판(61)이 복수의 직사각형 형상 기판(61b)에 미세하게 분리되지 않고, 따라서 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 형성한 후에도, 불필요 영역부(61a)를 갖는 시트 형상의 절연 기판(61)의 상태로 후 공정을 행할 수 있으므로, 공법 설계를 간략화할 수 있는 것이다. 또, 복수의 제2 분할부(73)를 형성하면, 이 복수의 제2 분할부(73)를 형성할 때마다 이산형 기판(61c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(61a)로부터 분리되므로, 불필요 영역부(61a)와 제품을 나중에 선별하는 공정은 불필요해지는 것이다.

그리고 또, 복수 쌍의 측면 전극층(70), 니켈층(71) 및 복수 쌍의 땜납층(72)은 시트 형상의 절연 기판(61)의 상태로 형성하도록 하고 있으므로, 측면 전극층(70)을 시트 형상의 절연 기판(61)의 필요 부분에 형성할 수 있는 동시에, 전기 도금 공법에 의해 니켈층(71) 및 땜납층(72)을 형성할 때는 전위차를 작게 할 수 있어, 이에 의해 안정적인 니켈층(71) 및 땜납층(72)을 형성할 수 있는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제3 실시예에서는, 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(61a)를 시트 형상의 절연 기판(61)의 전체 주위의 단부에 형성하여 대략 ㅁ자 형상으로 구성한 것에 대해 설명했으나, 이 불필요 영역부(61a)는 시트 형상의 절연 기판(61)의 전체 주위의 단부에 반드시 형성할 필요는 없고, 예를 들면 도 29에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(61)의 일단부에 불필요 영역부(61d)를 형성한 경우, 도 30에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(61)의 양단부에 불필요 영역부(61e)를 형성한 경우, 도 31에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(61)의 3개의 단부에 불필요 영역부(61f)를 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제3 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제3 실시예에서는, 복수의 제2 분할부(73)를 다이싱 공법에 의해 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 이외에 예를 들면 이 복수의 제2 분할부(73)를 시트 형상의 절연 기판(61)의 이면측, 상면측, 중앙부 중 어느 하나에 얇은 부분을 남기고 시트 형상의 절연 기판(61)의 상면측, 이면측, 중앙부 중 어느 하나를 레이저 공법, 다이싱 공법 등으로 절단함으로써 형성해도 되고, 이들 경우는 제2 분할부(73)를 형성할 때마다 이산형이 되는 것이 아니라, 2단계로 이산형이 되는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제3 실시예에서는, 상면 전극층(62)으로서 은계의 재료를 사용하고, 또한 저항층(63)으로서 산화루테늄계의 재료를 사용했으나, 이들은 다른 재료계로도 본 발명의 제3 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제3 실시예에서는, 슬릿 형상의 제1 분할부(67) 및 제2 분할부(73)를 다이싱 공법을 사용하여 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 다이싱 공법 이외에 레이저나 워터젯 등의 분할부 형성 수단을 사용하여 슬릿 형상의 제1 분할부(67) 및 제2 분할부(73)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제3 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제3 실시예에서는, 복수의 직사각형 형상 기판(61b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하는 경우, 복수 쌍의 상면 전극층(62), 복수의 저항층(63), 복수의 제1 보호층(64), 복수의 트리밍 홈(65), 복수의 제2 보호층(66)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 것에 대해 설명했으나, 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면 이 이외에 시트 형상의 절연 기판(61)에, 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 경우, 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 미리 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판(61)을 사용한 경우, 시트 형상의 절연기판(61)에 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(61)에 복수의 저항층(63)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(61)에 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 형성하고, 또한 이 복수 쌍의 상면 전극층(62)에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층(63)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(61)에 복수의 저항층(63)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(63)에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층(62)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(61)에 복수 쌍의 상면 전극층(62), 복수의 저항층(63)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(63)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(62)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(61)에 슬릿 형상의 제1 분할부(67)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제3 실시예와 동일한 효과를 발휘하는 것이다.

(제4 실시예)

이하, 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 32는 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸상면도, 도 33(a) ∼ (e), 도 34(a) ∼ (e), 도 35(a) ∼ (c), 도 36(a) ∼ (c), 도 37(a) ∼ (c) 및 도 38(a) ∼ (c)는 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저, 도 32, 도 33(a), 도 34(a)에 나타낸 바와 같이, 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 두께 0.2mm의 절연성을 갖는 시트 형상의 절연 기판(81)을 준비한다. 이 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)은 도 32에 나타낸 바와 같이, 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(81a)를 갖고 있는 것이다. 그리고, 이 불필요 영역부(81a)는 대략 ㅁ자 형상으로 구성되어 있는 것이다.

다음으로, 도 32, 도 33(b), 도 34(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(81)의 상면에 스크린 인쇄 공법에 의해 은을 주성분으로 하는 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 상면 전극층(82)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 32, 도 33(c), 도 34(c)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 걸치도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 산화루테늄계의 복수의 저항층(83)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 저항층(83)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 33(d), 도 34(d)에 나타낸 바와 같이, 복수의 저항층(83)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(84)을 형성하고, 피크 온도 600℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 프리코트글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(84)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 33(e), 도 34(e)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(82)간의 저항층(83)의 저항값을 일정한 값으로 조정하기 위해, 레이저 트리밍 공법에 의해 트리밍을 행하여, 복수의 트리밍 홈(85)을 형성했다.

이어서, 도 35(a), 도 36(a)에 나타낸 바와 같이, 도면 상의 종방향으로 나열되는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(84)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 수지를 주성분으로 하는 복수의 제2 보호층(86)을 형성하고, 피크 온도 200℃의 경화 프로파일로 경화시킴으로써, 제2 보호층(86)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 32, 도 35(b) 도 36(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(81)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(81a)를 제외하고, 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 분리하여 복수의 직사각형 형상 기판(81b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 다이싱 공법에 의해 복수 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)는 700㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 슬릿 형상의 제1 분할부(87)의 폭은 120㎛ 폭으로 되어 있다. 또, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)는 시트 형상의 절연 기판(81)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있는 것이다. 그리고 또, 상기 시트 형상의 절연 기판(81)은 불필요 영역부(81a)를 제외하고 다이싱 공법에 의해 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 형성하고 있으므로, 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(81b)은 불필요 영역부(81a)로 연결되어 있으므로, 시트상태를 나타내고 있는 것이다.

다음으로, 도 35(c), 도 36(c)에 나타낸 바와 같이, 슬릿 형상의 제1 분할부(87)가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판(81)의 이면 전체면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 금속막(88)을 스퍼터 공법, 무전해 도금 공법 등에 의해 형성하는 동시에, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부(87)의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 복수 쌍의 측면 전극층(89)을 스퍼터 공법, 무전해 도금 공법 등에 의해 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)의 내면에 형성된 측면 전극층(89)은 시트 형상의 절연 기판(81)의 상면에 형성된 상면 전극층(82)에 접하여 전기적으로 접속되는 것이다.

다음으로, 도 37(b), 도 38(a)에 나타낸 바와 같이, 상기 시트 형상의 절연 기판(81)의 이면 전체면에 형성된 금속막(88)의 불필요 부분을 레이저로 제거함으로써 복수 쌍의 이면 전극층(90)을 형성한다.

이어서, 도 37(b), 도 38(b)에 나타낸 바와 같이, 전기 도금 공법을 사용하여, 노출되어 있는 복수 쌍의 측면 전극층(89) 및 복수 쌍의 상면 전극층(82)의 일부를 덮도록, 약 4 ∼ 6㎛인 니켈로 이루어지는 복수 쌍의 니켈층(91)과 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 주석으로 이루어지는 복수 쌍의 땜납층(92)을 형성한다. 또한, 상기 복수 쌍의 측면 전극층(89)을 스퍼터 공법에 의해 형성한 경우는, 측면 전극층(89)의 두께가 약 0.1 ∼ 1㎛의 두께이므로, 니켈층(91)과 땜납층(92)을 형성할 필요가 있으나, 상기 복수 쌍의 측면 전극층(89)을 무전해 도금 공법에 의해 형성한 경우는, 측면 전극층(89)의 두께가 약 4 ∼ 6㎛의 두께이므로, 땜납층(92)만을 형성하면 되는 것이다.

또, 상기 땜납층(92)은 주석으로 구성하고 있으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 주석 합금계의 재료이어도 되고, 이들 재료로 형성한 경우에는, 리플로우 납땜시에 안정된 납땜이 가능한 것이다.

그리고 또, 상기 상면 전극층(82)은 은계의 재료로 구성하는 동시에, 저항층(83)은 산화루테늄계의 재료로 구성하고 있으므로, 내열성 및 내구성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

또한, 상기 저항층(83) 등을 덮는 보호층은, 저항층(43)을 덮는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(84)과, 이 제1 보호층(84)을 덮는 동시에, 트리밍 홈(85)을 덮는 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(86)의 2층으로 구성하고 있으므로, 상기 제1 보호층(84)으로 레이저 트리밍시의 크랙의 발생을 방지하여 전류 잡음을 작게 할 수 있는 동시에, 상기 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(86)으로 저항층(83) 전체가 덮힘으로써 내습성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

마지막으로, 도 32, 도 37(c), 도 38(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(81)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(81a)를 제외하고, 시트 형상의 절연 기판(81)에서의 복수의 직사각형 형상 기판(81b)에, 복수의 저항층(83)이 개개로 분리되어 이산형 기판(81a)으로 분할되도록 슬릿 형상의 제1 분할부(87)와 직교하는 방향으로 다이싱 공법을 사용하여 복수의 제2 분할부(93)를 형성한다. 이 경우, 복수의 제2 분할부(93)는 400㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 제2 분할부(93)의 폭은 100㎛ 폭으로 되어 있다. 그리고, 이 복수의 제2 분할부(93)는 불필요 영역부(81a)를 제외하고 복수의 직사각형 형상 기판(81b)에 다이싱 공법에 의해 형성하도록 하고 있으므로, 이 복수의 제2 분할부(93)를 형성할 때마다 이산형 기판(81c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(81a)로부터 분리되는 것이다.

이상과 같은 공정에 의해, 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기는 제조되는 것이다.

상기 공정에 의해 제조한 저항기의 길이 치수 및 폭 치수는 다이싱 공법에 의해 형성된 슬릿 형상의 제1 분할부(87) 및 제2 분할부(93)의 간격이 정확(±0.005mm 이내)한 동시에, 측면 전극층(89), 니켈층(91) 및 땜납층(92)의 두께도 정확하므로, 제품인 저항기의 전체길이 및 전체폭은 정확히 길이 0.6mm ×폭 0.3mm가 되는 것이다. 또, 상면 전극층(82) 및 저항층(83)의 패턴 정밀도도 이산형 기판의 치수 랭크 분류가 불필요한 동시에 동일한 이산형 기판의 치수 랭크 내에서의 치수 불균일을 고려할 필요가 없으므로, 저항층(83)의 유효 면적도 종래품에 비해 크게 취할 수 있다. 즉, 종래품에서의 저항층은 길이 약 0.20mm ×폭 0.19mm이었던 것에 비해, 본 발명의 제4 실시예에서의 저항기의 저항층(83)은 길이 약 0.25mm ×폭 0.24mm가 되어 면적으로는 약 1.6배 이상이 되는 것이다.

상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87) 및 복수의 제2 분할부(93)는 다이싱 공법을 사용하여 형성하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요한 시트 형상의 절연 기판(81)을 사용할 수 있고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지므로, 종래와 같은 마스크 교환에 의한 공정의 번잡함을 없앨 수 있는 동시에, 다이싱도 반도체 등에서 일반적인 다이싱 설비를 사용하여 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 상기 시트 형상의 절연 기판(81)은 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(81a)를 형성하고, 또한 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87) 및 복수의 제2 분할부(93)는 상기 불필요 영역부(81a)에는 형성하지 않도록 하고 있으므로, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(81b)은 불필요 영역부(81a)로 연결되어 있으며, 그 때문에 시트 형상의 절연 기판(81)이 복수의 직사각형 형상 기판(81b)에 미세하게 분리되지 않고, 따라서 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 형성한 후에도, 불필요 영역부(81a)를 갖는 시트 형상의 절연 기판(81)의 상태로 후 공정을 행할 수 있으므로, 공법 설계를 간략화할 수 있는 것이다. 또, 복수의 제2 분할부(93)를 형성하면, 이 복수의 제2 분할부(93)를 형성할 때마다 이산형 기판(81c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(81a)로부터 분리되므로, 불필요 영역부(81a)와 제품을 나중에 선별하는 공정은 불필요해지는 것이다.

그리고 또, 복수 쌍의 측면 전극층(89), 니켈층(91) 및 복수 쌍의 땜납층(92)은 시트 형상의 절연 기판(81)의 상태로 형성하도록 하고 있으므로, 측면 전극층(89)을 시트 형상의 절연 기판(81)의 필요 부분에 형성할 수 있는 동시에, 전기 도금 공법에 의해 니켈층(91) 및 땜납층(92)을 형성할 때는 전위차를 작게 할 수 있고, 이에 의해 안정적인 니켈층(91) 및 땜납층(92)을 형성할 수 있는것이다.

또한, 상기 본 발명의 제4 실시예에서는, 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(81a)를 시트 형상의 절연 기판(81)의 전체 주위의 단부에 형성하여 대략 ㅁ자 형상으로 구성한 것이 대해 설명했으나, 이 불필요 영역부(81a)는 시트 형상의 절연 기판(81)의 전체 주위의 단부에 반드시 형성할 필요는 없고, 예를 들면 도 39에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(81)의 일단부에 불필요 영역부(81d)를 형성한 경우, 도 40에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(81)의 양단부에 불필요 영역부(81e)를 형성한 경우, 도 41에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(81)의 3개의 단부에 불필요 영역부(81f)를 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제4 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제4 실시예에서는, 복수의 제2 분할부(93)를 다이싱 공법에 의해 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 이외에 예를 들면 이 복수의 제2 분할부(93)를 시트 형상의 절연 기판(81)의 이면측, 상면측, 중앙부 중 어느 하나에 얇은 부분을 남기고 시트 형상의 절연 기판(81)의 상면측, 이면측, 중앙부 중 어느 하나를 레이저 공법, 다이싱 공법 등으로 절단함으로써 형성해도 되고, 이들 경우는 제2 분할부(93)를 형성할 때마다 이산형이 되는 것이 아니라, 2단계로 이산형이 되는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제4 실시예에서는, 상면 전극층(82)으로서 은계의 재료를 사용하고, 또한 저항층(83)으로서 산화루테늄계의 재료를 사용했으나, 이들은 다른 재료계로도 본 발명의 제4 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제4 실시예에서는, 슬릿 형상의 제1 분할부(87) 및 제2 분할부(93)를 다이싱 공법을 사용하여 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 다이싱 공법 이외에 레이저나 워터젯 등의 분할부 형성 수단을 사용하여 슬릿 형상의 제1 분할부(87) 및 제2 분할부(93)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제4 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제4 실시예에서는, 복수의 직사각형 형상 기판(81b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하는 경우, 복수 쌍의 상면 전극층(82), 복수의 저항층(83), 복수의 제1 보호층(84), 복수의 트리밍 홈(85), 복수의 제2 보호층(86)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(81)에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 것에 대해 설명했으나, 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면 이 이외에, 시트 형상의 절연 기판(81)에, 최초에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 경우, 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 미리 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판(81)을 사용한 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)에 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(81)에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)에 복수의 저항층(83)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(81)에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)에 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 형성하고, 또한 이 복수 쌍의 상면 전극층(82)에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층(83)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(81)에슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)에 복수의 저항층(83)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(83)에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층(82)을 형성한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(81)에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 복수 형성하도록 한 경우, 시트 형상의 절연 기판(81)에 복수 쌍의 상면 전극층(82), 복수의 저항층(83)을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층(83)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(82)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(81)에 슬릿 형상의 제1 분할부(87)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제4 실시예와 동일한 효과를 발휘하는 것이다.

(제5 실시예)

이하, 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기의 제조 방법에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 42는 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기의 단면도이다.

도 42에서, 101은 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판이다. 102는 이산형 기판(101)의 상면에 형성된 금을 주성분으로 하는 1쌍의 금속층이다. 103은 1쌍의 금속층(102)에 일부가 겹쳐지도록 이산형 기판(101)의 상면에 형성된 은을 주성분으로 하는 1쌍의 상면 전극층이다. 104는 1쌍의 상면 전극층(103)에 일부가 겹쳐지도록 이산형 기판(101)의 상면에 형성된 산화루테늄계의 저항층이다. 105는 저항층(104)의상면에 형성된 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층이다. 106은 1쌍의 상면 전극층(103)간의 저항층(104)의 저항값을 수정하기 위해 형성된 트리밍 홈이다. 107은 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(105)을 덮도록 형성된 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층이다. 108은 1쌍의 상면 전극층(103)의 일부에 겹쳐지는 동시에, 이산형 기판(101)의 양측면 및 이면의 양단부를 덮도록 형성된 니켈로 이루어지는 1쌍의 측면 전극층이다. 109는 1쌍의 측면 전극층(108) 및 1쌍의 상면 전극층(103)의 일부를 덮도록 형성된 주석으로 이루어지는 땜납층이다.

이상과 같이 구성된 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기에 대해, 다음에 그 제조 방법을 도면을 참조하면서 설명한다.

도 43은 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기를 제조하는 경우에 사용되는 시트 형상의 절연 기판의 전체 주위의 단부에 불필요 영역부를 형성한 상태를 나타낸 상면도, 도 44(a) ∼ (f), 도 45(a) ∼ (f), 도 46(a) ∼ (d), 도 47(a) ∼ (d), 도 48(a) ∼ (c) 및 도 49(a) ∼ (c)는 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기의 제조 방법을 나타낸 공정도이다.

먼저, 도 43, 도 44(a), 도 45(a)에 나타낸 바와 같이, 소성이 끝난 96% 순도의 알루미나로 이루어지는 두께 0.2mm의 절연성을 갖는 시트 형상의 절연 기판(111)을 준비한다. 이 경우, 시트 형상의 절연 기판(111)은 도 43에 나타낸 바와 같이, 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(111a)를 갖고 있는 것이다. 그리고, 이 불필요 영역부(111a)는 대략 ㅁ자 형상으로 구성되어 있는 것이다.

다음으로, 도 43, 도 44(b), 도 45(b)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 복수의 제1 분할부를 걸치도록 하여 스크린 인쇄 공법에 의해 금을 주성분으로 하는 복수 쌍의 금속층(112)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 금속층(112)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 43, 도 44(c), 도 45(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 상기 복수 쌍의 금속층(112)과 전기적으로 접속되도록 스크린 인쇄 공법에 의해 은을 주성분으로 하는 복수 쌍의 상면 전극층(113)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 상면 전극층(113)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 43, 도 44(d), 도 45(d)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(113)을 걸치도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 산화루테늄계의 복수의 저항층(114)을 형성하고, 피크 온도 850℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 저항층(114)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 44(e), 도 45(e)에 나타낸 바와 같이, 복수의 저항층(114)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(115)을 형성하고, 피크 온도 600℃의 소성 프로파일로 소성함으로써, 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(115)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 44(f), 도 45(f)에 나타낸 바와 같이, 복수 쌍의 상면 전극층(113)간의 저항층(114)의 저항값을 일정한 값으로 조정하기 위해, 레이저 트리밍 공법에 의해 트리밍을 행하여, 복수의 트리밍 홈(116)을 형성했다.

이어서, 도 46(a), 도 47(a)에 나타낸 바와 같이, 도면 상의 종방향으로 나열되는 복수의 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(115)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 수지를 주성분으로 하는 복수의 제2 보호층(117)을 형성하고, 피크 온도 200℃의 경화 프로파일로 경화시킴으로써, 제2 보호층(117)을 안정적인 막으로 했다.

다음으로, 도 46(b), 도 47(b)에 나타낸 바와 같이, 복수의 제2 보호층(117)을 덮도록, 스크린 인쇄 공법에 의해 복수의 제1 레지스트층(118)을 형성하고, 자외선 경화에 의해 제1 레지스트층(118)을 안정적인 막으로 했다. 또한, 스크린 인쇄 공법에 의해, 시트 형상의 절연 기판(111)의 이면 상에 복수의 제2 레지스트층(119)을 형성하고, 자외선 경화에 의해 제2 레지스트층(119)을 안정적인 막으로 했다.

이어서, 도 43, 도 46(c), 도 47(c)에 나타낸 바와 같이, 제1 레지스트층(118) 및 제2 레지스트층(119)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(111)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(111a)를 제외하고, 복수 쌍의 금속층(112)만을 분리하여 복수의 직사각형 형상 기판(111b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 다이싱 공법에 의해 복수 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)는 700㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 슬릿 형상의 제1 분할부(120)의 폭은 120㎛ 폭으로 되어 있다. 또, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)는 시트 형상의 절연 기판(111)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있는 것이다. 그리고 또, 상기 시트 형상의 절연기판(111)은 불필요 영역부(111a)를 제외하고 다이싱 공법에 의해 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성하고 있으므로, 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(111b)은 불필요 영역부(111a)로 연결되어 있으므로, 시트 상태를 나타내고 있는 것이다.

다음으로, 도 46(d), 도 47(d)에 나타낸 바와 같이, 도금욕에 침전시켜 도금을 행하는 무전해 도금 공법을 사용하여, 시트 형상의 절연 기판(111)의 전체면에 니켈 도금을 실시하고, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 측면 전극층(121)을 형성한다. 이 경우, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)가 시트 형상의 절연 기판(111)을 상하 방향으로 관통하는 관통구멍으로 형성되어 있으므로, 시트 형상의 절연 기판(111)의 전체면에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 측면 전극층(121)을 형성한 경우, 측면 전극층(121)은 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면측으로부터 관통구멍이 되어 있는 슬릿 형상의 제1 분할부(120)의 내면 전체를 거쳐 시트 형상의 절연 기판(111)의 이면측까지 형성되는 것이다. 또, 이 측면 전극층(121)은 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면측에서는 노출되어 있는 상면 전극층(113)의 일부와 제1 레지스트층(118)을 덮도록 형성되고, 또한 시트 형상의 절연 기판(111)의 이면측에서는 제2 레지스트층(119)을 덮도록 형성되는 것이다.

이어서, 도 48(a), 도 49(a)에 나타낸 바와 같이, 복수의 제1 레지스트층(도시 생략) 및 복수의 제2 레지스트층(도시 생략)을 박리하고, 복수의 측면 전극층(121)을 패터닝한다.

다음으로, 도 48(b), 도 49(b)에 나타낸 바와 같이, 전기 도금 공법을 사용하여, 노출되어 있는 복수 쌍의 측면 전극층(121) 및 복수의 제1 레지스트층(도시 생략)을 박리함으로써 노출된 상면 전극층(113)의 일부를 덮도록, 두께가 약 4 ∼ 6㎛인 주석으로 이루어지는 복수 쌍의 땜납층(122)을 형성한다.

상기 측면 전극층(121)의 두께는 약 4 ∼ 6㎛의 두께로 되어 있으나, 이 범위에 한정되는 것이 아니며, 그 두께는 1 ∼ 15㎛의 두께가 타당하며, 이러한 구성에 있어서는 대단히 치수 정밀도가 높은 것이 얻어지는 것이다.

또, 상기 땜납층(122)은 주석으로 구성하고 있으나, 이에 한정되는 것이 아니며, 주석 합금계의 재료이어도 되고, 이들 재료로 구성한 경우에는, 리플로우 납땜시에 안정된 납땜이 가능한 것이다.

그리고 또, 상기 금속층(112)은 금계의 재료로 구성하는 동시에, 상기 상면 전극층(113)은 은계의 재료로 구성하고, 또한 저항층(114)은 산화루테늄계의 재료로 구성하고 있으므로, 내열성 및 내구성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

또한, 상기 저항층(114) 등을 덮는 보호층은, 저항층(114)을 덮는 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(115)과, 이 제1 보호층(115)을 덮는 동시에, 트리밍 홈(116)을 덮는 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(117)의 2층으로 구성하고 있으므로, 상기 제1 보호층(115)으로 레이저 트리밍시의 크랙의 발생을 방지하여 전류 잡음을 작게 할 수 있는 동시에, 상기 수지를 주성분으로 하는 제2 보호층(117)으로 저항층(114) 전체가 덮힘으로써 내습성이 뛰어난 저항 특성을 확보할 수 있는 것이다.

마지막으로, 도 43, 도 48(c), 도 49(c)에 나타낸 바와 같이, 시트 형상의 절연 기판(111)의 전체 주위의 단부에 형성된 불필요 영역부(111a)를 제외하고, 시트 형상의 절연 기판(111)에서의 복수의 직사각형 형상 기판(111b)에, 복수의 저항층(114)이 개개로 분리되어 이산형 기판(111a)으로 분할되도록 슬릿 형상의 제1 분할부(120)와 직교하는 방향으로 다이싱 공법을 사용하여 복수의 제2 분할부(123)를 형성한다. 이 경우, 복수의 제2 분할부(123)는 400㎛ 피치로 형성되어 있으며, 또한 이 제2 분할부(123)의 폭은 100㎛ 폭이 되어 있다. 그리고, 이 복수의 제2 분할부(123)는 불필요 영역부(111a)를 제외하고 복수의 직사각형 형상 기판(111b)에 다이싱 공법에 의해 형성하도록 하고 있으므로, 이 복수의 제2 분할부(123)를 형성할 때마다 이산형 기판(111c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(111a)로부터 분리되는 것이다.

이상과 같은 공정에 의해, 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기는 제조되는 것이다.

상기 공정에 의해 제조한 저항기의 길이 치수 및 폭 치수는 다이싱 공법에 의해 형성된 슬릿 형상의 제1 분할부(120) 및 제2 분할부(123)의 간격이 정확(±0.005mm 이내)한 동시에, 측면 전극층(121) 및 땜납층(122)의 두께도 정확하므로, 제품인 저항기의 전체길이 및 전체폭은 정확히 길이 0.6mm ×폭 0.3mm가 되는 것이다. 또, 금속층(112), 상면 전극층(113) 및 저항층(114)의 패턴 정밀도도 이산형 기판의 치수 랭크 분류가 불필요한 동시에 동일한 이산형 기판의 치수 랭크 내에서의 치수 불균일을 고려할 필요가 없으므로, 저항층(114)의 유효 면적도종래품에 비해 크게 취할 수 있다. 즉, 종래품에서의 저항층은 길이 약 0.20mm ×폭 0.19mm이었던 것에 비해, 본 발명의 제5 실시예에서의 저항기의 저항층(114)은 길이 약 0.25mm ×폭 약 0.24mm가 되어 면적으로는 약 1.6배 이상이 되는 것이다.

상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120) 및 복수의 제2 분할부(123)는 다이싱 공법을 사용하여 형성하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류가 불필요한 시트 형상의 절연 기판(111)을 사용할 수 있고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지므로, 종래와 같은 마스크 교환에 의한 공정의 번잡함을 없앨 수 있는 동시에, 다이싱도 반도체 등에서 일반적인 다이싱 설비를 사용하여 용이하게 행할 수 있는 것이다.

또, 상기 시트 형상의 절연 기판(111)은 전체 주위의 단부에 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(111a)를 형성하고, 또한 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120) 및 복수의 제2 분할부(123)는 상기 불필요 영역부(111a)에는 형성하지 않도록 하고 있으므로, 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성한 후에도 복수의 직사각형 형상 기판(111b)은 불필요 영역부(111a)로 연결되어 있으며, 그 때문에 시트 형상의 절연 기판(111)이 복수의 직사각형 형상 기판(111b)에 미세하게 분리되지 않고, 따라서 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성한 후에도, 불필요 영역부(111a)를 갖는 시트 형상의 절연 기판(111)의 상태로 후 공정을 행할 수 있으므로, 공법 설계를 간략화할 수 있는 것이다. 또, 복수의 제2 분할부(123)를 형성하면, 이 복수의 제2 분할부(123)를 형성할 때마다 이산형 기판(111c)으로 절단 분할되고, 이산형이 된 제품은 불필요 영역부(111a)로부터 분리되므로, 불필요영역부(111a)와 제품을 나중에 선별하는 공정은 불필요해지는 것이다.

그리고 또, 복수 쌍의 측면 전극층(121) 및 복수 쌍의 땜납층(122)은 시트 형상의 절연 기판(111)의 상태로 형성하도록 하고 있으므로, 측면 전극층(121)을 시트 형상의 절연 기판(111)에 형성할 수 있는 동시에, 전기 도금 공법에 의해 땜납층(122)을 형성할 때는 전위차를 작게 할 수 있어, 이에 의해 안정적인 땜납층(122)을 형성할 수 있는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 최종적으로는 제품이 되지 않는 불필요 영역부(111a)를 시트 형상 절연 기판(111)의 전체 주위의 단부에 형성하여 대략 ㅁ자 형상으로 구성한 것에 대해 설명했으나, 이 불필요 영역부(111a)는 시트 형상의 절연 기판(111)의 전체 주위의 단부에 반드시 형성할 필요는 없고, 예를 들면 도 50에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(111)의 일단부에 불필요 영역부(111d)를 형성한 경우, 도 51에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(111)의 양단부에 불필요 영역부(111e)를 형성한 경우, 도 52에 나타낸 바와 같이 시트 형상의 절연 기판(111)의 3개의 단부에 불필요 영역부(111f)를 형성한 경우에도, 상기 본 발명의 제5 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 복수의 제2 분할부(123)를 다이싱 공법에 의해 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 이외에 예를 들면 이 복수의 제2 분할부(123)를 시트 형상의 절연 기판(111)의 이면측, 상면측, 중앙부 중 어느 하나에 얇은 부분을 남기고 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면측, 이면측, 중앙부 중 어느 하나를 레이저 공법, 다이싱 공법 등으로 절단함으로써 형성해도 되고, 이들 경우는 제2 분할부(123)를 형성할 때마다 이산형이 되는 것이 아니라, 2단계로 이산형이 되는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 제1 레지스트층(118) 및 제2 레지스트층(119)을 형성한 후에, 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성했으나, 제1 레지스트층(118) 및 제2 레지스트층(119)은 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성한 후에 형성해도 되는 것이다. 단, 이렇게 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성한 후에 제1 레지스트층(118) 및 제2 레지스트층(119)을 스크린 인쇄하는 경우에는, 시트 형상의 절연 기판(111)의 강도가 약해지므로, 스크린 인쇄시의 인압을 약하게 할 필요가 있다.

또한, 제2 레지스트층(119)은 프리코트 글라스층으로 이루어지는 제1 보호층(115)을 형성한 직후에 형성해도 본 발명의 제5 실시예와 동일한 효과가 얻어지는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 제1 레지스트층(118) 및 제2 레지스트층(119)의 박리는, 땜납층(122)의 형성 전에 행했으나, 이것은 땜납층(122)의 형성 후에도 가능하다.

또, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 금속층(112)으로서 금계의 재료를 사용하고, 또한 상면 전극층(113)으로서 은계의 재료를 사용하고, 또한 저항층(114)으로서 산화루테늄계의 재료를 사용했으나, 이들은 다른 재료계로도 본 발명의 제5 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

그리고 또, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 슬릿 형상의 제1 분할부(120)및 제2 분할부(123)를 다이싱 공법을 사용하여 형성한 것에 대해 설명했으나, 이 다이싱 공법 이외에 레이저나 워터젯 등의 분할부 형성 수단을 사용하여 슬릿 형상의 제1 분할부(120) 및 제2 분할부(123)를 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제5 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층(113)을 형성한 후, 이 복수 쌍의 상면 전극층(113)을 걸치도록 복수의 저항층(114)을 형성하도록 하고 있으나, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 복수의 저항층(114)을 형성한 후, 이 복수의 저항층(114)에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층(113)을 형성하도록 해도, 상기 본 발명의 제5 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 복수의 직사각형 형상 기판(111b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 복수 형성하는 경우, 복수 쌍의 금속층(112), 복수 쌍의 상면 전극층(113), 복수의 저항층(114), 복수의 제1 보호층(115), 복수의 트리밍 홈(116), 복수의 제2 보호층(117), 복수의 제1 레지스트층(118), 복수의 제2 레지스트층(119)을 형성한 시트 형상의 절연 기판(111)에서의 상기 복수 쌍의 금속층(112)에만, 이 복수 쌍의 금속층(112)을 분리하여 시트 형상의 절연 기판(111)을 복수의 직사각형 형상 기판(111b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 복수 형성하도록 한 것에 대해 설명했으나, 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면 이 이외에 시트 형상의 절연 기판(111)에 복수 쌍의 금속층(112), 복수 쌍의 상면 전극층(113), 복수의 저항층(114)을 형성하고, 이 복수의 저항층(114)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(113)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행한 후, 이 시트 형상의 절연 기판(111)에서의 상기 복수층의 금속층(112)에만, 이 복수 쌍의 금속층(112)을 분리하여 시트 형상의 절연 기판(111)을 복수의 직사각형 형상 기판(111b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 복수 형성하도록 한 경우에도, 상기 본 발명의 제5 실시예와 동일한 효과를 발휘하는 것이다.

또, 상기 본 발명의 제5 실시예에서는, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 복수 쌍의 금속층(112)을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 상기 금속층(112)과 전기적으로 접속되는 복수 쌍의 상면 전극층(113)과 복수의 저항층(114)을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층(114)에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층(113)간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층(114)을 덮도록 복수의 보호층(115)을 형성하는 공정을 실시한 시트 형상의 절연 기판(111)에서의 상기 복수 쌍의 금속층(112)에만, 이 복수 쌍의 금속층(112)을 분리하여 시트 형상의 절연 기판(111)에 복수의 직사각형 형상 기판(111b)으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 복수 형성한 것으로, 이 제조 방법에 의하면, 시트 형상의 절연 기판(111)의 상면에 형성된 복수 쌍의 금속층(112)과 복수 쌍의 상면 전극층(113)이 전기적으로 접속되도록 구성하고 있으므로, 1쌍의 상면 전극층(113)간의 저항값을 조정하기 위한 트리밍시의 저항값 측정에서는, 해당 상면 전극층(113) 외에 인접하는 전극층(112)도 사용할 수 있으며, 이에 의해, 특히 미세한 저항기의 경우에는트리밍용 검침을 상면 전극에 용이하게 접촉시킬 수 있고, 또 시트 형상의 절연 기판(111)에 슬릿 형상의 제1 분할부(120)를 형성하는 경우, 금속층(112)만이 절단되고 상면 전극층(113)은 절단되지 않으므로, 버르(burr)가 발생하지 않고, 이에 의해 저항기 상면을 평활하게 할 수 있으므로, 실장 효율을 높일 수 있다는 효과를 갖는 것이다.

이상과 같이 본 발명의 저항기는, 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판과, 상기 이산형 기판의 상면에 형성된 1쌍의 상면 전극층과, 상기 1쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 형성된 저항층과, 상기 저항층을 덮도록 형성된 보호층과, 상기 1쌍의 상면 전극층과 전기적으로 접속되도록 상기 이산형 기판의 측면에 형성된 니켈계 전극에 의한 1쌍의 측면 전극층을 구비한 것으로, 이 구성에 의하면, 시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판을 사용하고 있으므로, 이산형 기판의 치수 분류는 불필요해지고, 이에 의해 종래와 같은 이산형 기판의 치수 랭크에 따라 마스크를 교환하는 공정을 없앨 수 있는 동시에, 값싸고 또 미세한 저항기를 제공할 수 있는 것이다.

Claims

시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산(discrete)형이 된 이산형 기판과, 상기 이산형 기판의 상면에 형성된 1쌍의 상면 전극층과, 상기 1쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 형성된 저항층과, 상기 저항층을 덮도록 형성된 보호층과, 상기 1쌍의 상면 전극층과 전기적으로 접속되도록 상기 이산형 기판의 측면에 형성된 니켈계 전극에 의한 1쌍의 측면 전극층을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기.
시트 형상의 절연 기판을 슬릿 형상의 제1 분할부와 이 제1 분할부와 직교 관계에 있는 제2 분할부로 분할함으로써 이산형이 된 이산형 기판과, 상기 이산형 기판의 상면에 형성된 저항층과, 상기 저항층에 일부가 겹쳐지도록 형성된 1쌍의 상면 전극층과, 상기 저항층을 덮도록 형성된 보호층과, 상기 1쌍의 상면 전극층과 전기적으로 접속되도록 상기 이산형 기판의 측면에 형성된 니켈계 전극에 의한 1쌍의 측면 전극층을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 복수 쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수의 저항층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 상면 전극층 형성 공정, 저항층 형성 공정, 트리밍 공정, 보호층 형성 공정을 실시한 시트 형상의 절연 기판에, 복수 쌍의 상면 전극층을 분리하여, 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 저항층 형성 공정, 상면 전극층 형성 공정, 트리밍 공정, 보호층 형성 공정을 실시한 시트 형상의 절연 기판에, 복수 쌍의 상면 전극층을 분리하여, 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판의 이면에 레지스트층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판의 이면 및 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 스퍼터 공법에 의해 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 레지스트층을 박리하여 복수 쌍의 측면 전극층을 패터닝하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판의 이면에 마스크를 설치하는 공정과, 이 마스크를 설치한 상태로 상기 절연 기판의 이면 및 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 스퍼터 공법에 의해 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판의 이면 전체면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 금속막을 형성하는 공정과, 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판의 이면 전체면에 형성된 금속막의 불필요 부분을 레이저로 제거함으로써 복수 쌍의 이면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판에 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판에 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연기판에 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판에 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판에 먼저 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 미리 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판을 사용하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 미리 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판을 사용하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 미리 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판을 사용한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 미리 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판을 사용한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 미리 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성한 시트 형상의 절연 기판을 사용한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수의 저항층을 형성하는 공정은, 상기 복수 쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 복수의저항층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수의 저항층을 형성하는 공정은, 상기 복수 쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수의 저항층을 형성하는 공정은, 상기 복수 쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 복수의 저항층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하고, 또한 이 복수 쌍의 상면 전극층에 일부가 겹쳐지도록 저항층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 저항층을 형성하고, 또한 이 복수의 저항층에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성한 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성한 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성한 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제3항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 복수의 저항층에서의 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 트리밍 공정 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제4항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 복수의 저항층에서의 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 트리밍 공정 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 시트 형상의 절연 기판에 무전해 도금 공법으로 니켈 도금을 실시함으로써 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 복수 쌍의 측면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수의 저항층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 복수의 저항층에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수의 저항층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 복수의 저항층에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수의 저항층을 형성한 후에 실시하고, 또한 복수 쌍의 상면 전극층을 형성하는 공정은, 상기 복수의 저항층에 일부가 겹쳐지도록 복수 쌍의 상면 전극층을 형성한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제7항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 복수의 저항층에서의 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 트리밍 공정 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제8항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 복수의 저항층에서의 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 트리밍 공정 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
제9항에 있어서, 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정은, 복수의 저항층에서의 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 트리밍 공정 후에 실시한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 금속층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판의 상면에 상기 금속층과 전기적으로 접속되는 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수 쌍의 금속층에만, 이복수 쌍의 금속층을 분리하여 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의 복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.
시트 형상의 절연 기판의 상면에 복수 쌍의 금속층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판의 상면에 상기 금속층과 전기적으로 접속되는 복수 쌍의 상면 전극층과 복수의 저항층을 양쪽이 전기적으로 접속되도록 형성하는 공정과, 상기 복수의 저항층에서의 상기 복수 쌍의 상면 전극층간의 저항값을 조정하기 위해 트리밍을 행하는 공정과, 상기 트리밍을 행한 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수 쌍의 금속층에만, 이 복수 쌍의 금속층을 분리하여 시트 형상의 절연 기판을 복수의 직사각형 형상 기판으로 분할하기 위한 슬릿 형상의 제1 분할부를 복수 형성하는 공정과, 적어도 상기 복수의 저항층을 덮도록 복수의 보호층을 형성하는 공정과, 상기 슬릿 형상의 제1 분할부가 복수 형성된 상태의 시트 형상의 절연 기판에서의 상기 복수의 슬릿 형상의 제1 분할부의 내면에 니켈 또는 니켈계 합금에 의한 복수 쌍의 측면 전극층을 형성하는 공정과, 상기 시트 형상의 절연 기판에서의복수의 직사각형 형상 기판에, 상기 복수의 저항층이 개개로 분리되어 이산형 기판으로 분할되도록 상기 슬릿 형상의 제1 분할부와 직교하는 방향으로 복수의 제2 분할부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 저항기의 제조 방법.