JPH07245228A - 表面実装型電子部品の製造方法 - Google Patents

表面実装型電子部品の製造方法

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JPH07245228A
JPH07245228A JP6033744A JP3374494A JPH07245228A JP H07245228 A JPH07245228 A JP H07245228A JP 6033744 A JP6033744 A JP 6033744A JP 3374494 A JP3374494 A JP 3374494A JP H07245228 A JPH07245228 A JP H07245228A
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JP
Japan
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mother substrate
slit
electronic element
external electrode
surface mount
Prior art date
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Pending
Application number
JP6033744A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuhiro Misaki
勝弘 三▲崎▼
Kazuo Dogakiuchi
一雄 堂垣内
Masahiko Kawaguchi
正彦 川口
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面実装電子部品の製造方法において、外部
電極を量産性を損なうことなく、コストダウンを図っ
て、容易かつ精度よく形成すること。 【構成】 電子素子2を一単位ずつ縦横方向に形成した
マザー基板1を製作し、このマザー基板1に一単位の電
子素子2の両端部に沿ったスリット3を形成する。次
に、スリット3部分に外部電極を形成し、マザー基板1
をスリット3とは直交する方向に切断し、一単位ずつの
電子素子2に分離する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、表面実装型電子部品の
製造方法、例えば、チップコイル、チップインダクタ、
チップコンデンサ、チップ抵抗等の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、チップコイルやチップコンデンサ
等の電子部品は、マザー基板に電子素子を一単位ずつ縦
横方向に複数個形成し、このマザー基板を縦横に切断し
て一単位ずつの電子素子(チップ)に分離し、マザー基
板がグリーンシートの場合はさらにこれらのチップを焼
結した後、チップの両端部(必要に応じて中央部分)に
外部電極を形成することにより製造されていた。外部電
極は、Ag等を含む導電性ペーストを必要箇所に塗布し
たり、ディッピングによって付着させたり、あるいは蒸
着、スパッタリング、イオンプレーティング、めっき等
の薄膜技術によって形成していた。
【0003】しかしながら、従来の製造方法では、マザ
ー基板から切り出されたチップの状態で外部電極を形成
するため、チップを整列させる工程が必要で、量産性を
損い、整列用の設備も高価になるという問題点を有して
いた。特に、近年では、チップが小形化しているため、
これらの従来の製造方法では外部電極の寸法精度に限界
を生じている。
【0004】
【発明の目的、構成、作用、効果】そこで、本発明の目
的は、外部電極を容易にかつ寸法精度よく形成でき、量
産性を損なうことなく、コストダウンを図ることのでき
る表面実装型電子部品の製造方法を提供することにあ
る。
【0005】以上の目的を達成するため、本発明に係る
表面実装型電子部品の製造方法は、電子素子を一単位ず
つ縦横方向に形成したマザー基板を製作する工程と、こ
のマザー基板に一単位の電子素子の両端部分に沿ったス
リットを形成する工程と、少なくとも前記スリット部分
に外部電極を形成する工程と、前記マザー基板を前記ス
リットとは直交する方向に切断し、一単位ずつの電子素
子に分離する工程とからなることを特徴とする。
【0006】以上の各工程を経ることにより、外部電極
はマザー基板の状態で形成される。外部電極は厚膜技
術、薄膜技術のいずれでも、あるいは併用して形成する
ことができ、マザー基板の状態で取り扱うため、従来の
ようにチップを整列させたりする必要がなく、整列設備
が不要となり、量産性が向上する。
【0007】
【実施例】以下、本発明に係る表面実装型電子部品の製
造方法の実施例について添付図面を参照して説明する。
【0008】(第1実施例、図1〜図4参照)第1実施
例においては、まず、図1に示すマザー基板1を製作す
る。このマザー基板1は、無地のグリーンシートと電子
素子2を形成するための導体パターンを形成したグリー
ンシートとを積み重ねて圧着し、焼成したもので、例え
ば、電子素子2は積層コンデンサである。電子素子2は
一単位ずつマザー基板1内に縦横方向に形成される。電
子素子2としては、コンデンサ以外にコイル、インダク
タ、抵抗等種々の素子を形成してもよい。
【0009】次に、図2に示すように、前記マザー基板
1にスリット3を形成する。このスリット3は一単位の
電子素子2の両端部分に沿って形成され、カット面には
電子素子2の内部電極が露出する。図2(A)はスリッ
ト3を一端がマザー基板1の端面まで、いわゆる櫛歯状
に、切り込んだ例を示す。図2(B)はスリット3をマ
ザー基板1の両端がつながっている状態で切り込んだ例
を示す。スリット3の形成はダイシングソー、エンドミ
ル、サンドブラスト、レーザ等の手段で行われる。
【0010】次に、図3に示す工程を経て各電子素子2
の両端部に外部電極5を形成する。この外部電極形成工
程では、まず、図3(A)に示すように、めっきレジス
ト材6を形成する。めっきレジスト材6はスリット3を
除いたマザー基板の表裏面に形成される。このめっきレ
ジスト材6の形成は、平面状に形成すればよいため、通
常のスクリーン印刷、フォトリソグラフィなどにより容
易に可能である。次に、図3(B)に示すように、C
u,Ni,Ag等を無電解めっきによってマザー基板の
めっきレジスト材6に覆われていない部分に付着させ、
下地電極5aとする。このとき、電子素子(図3では積
層コンデンサ)2の内部電極2aの端部が下地電極5a
と電気的に接続される。続いて、この下地電極5aをよ
り強固にするために、Cu,Ni,Ag,Sn等を電解
めっきによって付着させ、電極5bとする(図3(C)
参照)。これらの電子素子はまだマザー基板状態である
ため、めっきレジスト材6を適当なパターンとすること
により、相互の電気的導通をとることができ、電解めっ
きの作業性がよい。次に、前記めっきレジスト材6を除
去する(図3(D)参照)。なお、めっきレジスト材6
をそのまま最終製品まで残しておき、コーティング樹脂
の役割を持たせることもできる。
【0011】次に、マザー基板1をスリット3とは直交
する方向に切断し、一単位ずつの電子素子2に分離(チ
ップ化)し、図4に示す電子部品(チップコンデンサ)
として完成される。なお、前記焼成工程は、マザー基板
1を一単位ずつの電子素子2に分離した後に実施するよ
うにしてもよい。
【0012】(第2実施例、図5、図6参照)第2実施
例は、電子素子を内蔵したマザー基板を製作し、スリッ
トを形成する工程は前記第1実施例と同様である(図
1、図2参照)。異なるのは、外部電極形成工程であ
り、まず、図5(A)に示すように、Cr,Cu,A
g,Pd等をスパッタリングによってマザー基板の全面
に付着させ、電極膜7を形成する。電極膜7の形成は、
スパッタリング以外にも蒸着、イオンプレーティング、
めっきでもよく、あるいは印刷であってもよい。電極膜
7は電子素子(図5では積層コンデンサ)2の内部電極
2aの端部と電気的に接続される。
【0013】次に、図5(B)に示すように、ポジティ
ブ型感光性レジスト材8を電極膜7の全体に浸漬法など
により塗布し、フォトマスク9を用いて表裏面から紫外
線を照射する。これにて、感光性レジスト材8の被照射
部分が軟化し、軟化部分を現像により除去する。次に、
感光性レジスト材8に覆われていない部分の電極膜7を
エッチングなどにより除去する(図5(C)参照)。さ
らに、感光性レジスト材8の残留部分を除去すると、図
5(D)に示すように、電子素子2の両端部に電極膜が
外部電極7として残る。なお、この外部電極7には、さ
らにその表面にNi、半田等をめっき処理してもよい。
【0014】その後、マザー基板をスリット3とは直交
する方向に切断し、電子素子2をチップ化して製品とし
て完成させる点は前記第1実施例と同様である。なお、
焼結工程はマザー基板の状態で行ってもよいし、各一単
位の電子素子2に分離した後に行ってもよい。
【0015】図6は第2実施例の外部電極形成工程で、
感光性レジスト材8の塗布に代えて、ストリップフィル
ム10を使用した場合を示す。この図6は図5(B)に
代わるものである。
【0016】また、第2実施例においては、電極膜7を
マザー基板の全面に設けるのではなく、図5(D)に示
したように外部電極7として残される部分以外をマスキ
ングし、電極膜(外部電極)7を形成してもよい。この
場合は、フォトリソグラフを省略できる。
【0017】(他の実施例)なお、本発明に係る表面実
装型電子部品の製造方法は前記実施例に限定するもので
はなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。例え
ば、電子素子を構成する導体パターンがマザー基板の表
面に形成されていてもよく、この場合は、表面の導体パ
ターンと外部電極とを必要に応じて電気的に接続させれ
ばよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るマザー基板を示す斜
視図。
【図2】前記マザー基板にスリットを形成した状態を示
す斜視図、(A)は一例、(B)は他の例を示す。
【図3】第1実施例における外部電極形成工程を(A)
〜(D)の順に示す説明図。
【図4】第1実施例によって完成された表面実装型電子
部品を示す斜視図。
【図5】第2実施例における外部電極形成工程を(A)
〜(D)の順に示す説明図。
【図6】図5に示した外部電極形成工程の変形例を示す
説明図。
【符号の説明】
1…マザー基板 2…電子素子 3…スリット 5,7…外部電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子素子を一単位ずつ縦横方向に形成し
    たマザー基板を製作する工程と、 前記マザー基板に一単位の電子素子の両端部分に沿った
    スリットを形成する工程と、 少なくとも前記スリット部分に外部電極を形成する工程
    と、 前記マザー基板を前記スリットとは直交する方向に切断
    し、一単位ずつの電子素子に分離する工程と、 からなることを特徴とする表面実装型電子部品の製造方
    法。
JP6033744A 1994-03-03 1994-03-03 表面実装型電子部品の製造方法 Pending JPH07245228A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5936504A (en) * 1996-01-11 1999-08-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Chip-type coil device
WO2001022443A1 (fr) * 1999-09-17 2001-03-29 Fdk Corporation Bobine d'inductance multicouche et procede de fabrication de ladite bobine d'inductance
JP2002170788A (ja) * 2000-11-29 2002-06-14 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
US6935016B2 (en) 2000-01-17 2005-08-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing a resistor
JP2005259892A (ja) * 2004-03-10 2005-09-22 Koa Corp チップ部品の製造方法
JP2009267323A (ja) * 2008-03-31 2009-11-12 Tdk Corp 端子電極形成方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5936504A (en) * 1996-01-11 1999-08-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Chip-type coil device
EP1152438A4 (en) * 1999-09-17 2003-05-28 Fdk Corp MULTILAYER INDUCTOR AND MANUFACTURING METHOD
JP2001155938A (ja) * 1999-09-17 2001-06-08 Fdk Corp 積層インダクタおよびその製造方法
EP1152438A1 (en) * 1999-09-17 2001-11-07 FDK Corporation Multilayer inductor and method of manufacturing the same
US6452473B1 (en) 1999-09-17 2002-09-17 Fdk Corporation Multilayer inductor and method of manufacturing the same
WO2001022443A1 (fr) * 1999-09-17 2001-03-29 Fdk Corporation Bobine d'inductance multicouche et procede de fabrication de ladite bobine d'inductance
US6935016B2 (en) 2000-01-17 2005-08-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing a resistor
US7165315B2 (en) 2000-01-17 2007-01-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for fabricating a resistor
US7188404B2 (en) 2000-01-17 2007-03-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for fabricating a resistor
US7334318B2 (en) 2000-01-17 2008-02-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for fabricating a resistor
JP2002170788A (ja) * 2000-11-29 2002-06-14 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
JP2005259892A (ja) * 2004-03-10 2005-09-22 Koa Corp チップ部品の製造方法
JP2009267323A (ja) * 2008-03-31 2009-11-12 Tdk Corp 端子電極形成方法

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