KR20010089357A - 반도체 다이 캐리어 제작 장치 및 그 제작 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 리이드선 삽입 기계는 기판 공급원과, 전도성 리이드선 공급원 및 리이드선 삽입 기계를 포함하고 있다. 전도성 리이드선은 기판의 측벽에 형성된 리이드선 통로로 삽입되어 있다. 또한, 개시된 본 발명의 반도체 다이 캐리어 제작 방법은 복수개의 전도성 리이드선을 형성하는 단계와; 반도체 다이를 고정하고 그 외면을 한정하는 각각에 복수개의 리이드선 통로를 갖는 복수의 절연 측벽을 갖는 기판을 형성하는 단계와; 적어도 하나의 전도성 리이드선을 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 일측벽에 형성된 통과하는 리이드선 통로와, 적어도 하나의 전도성 리이드선을 상기 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 타측벽에 형성된 리이드선 통로에 동시에 삽입시키는 단계를 포함하고 있다.
Description
본 발명은 전기 부품, 보다 상세하게는 반도체 다이 캐리어 제작 장치 및 제작 방법 관한 것이고, 반도체 다이를 고정하는 기판의 측벽으로 전도성 리이드선 삽입하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 다이는 오늘날 다양하게 사용되어지고 있다. 상기 다이는 보통 하우징 또는 캐리어(또한 패키지로 공지되어 있음)에서 지지되며, 이들 하우징과 캐리어는 그 사용에 따라 상기 다이를 보호하고, 상기 다이를 기판 또는 보오드에 연결하는 것을 촉진한다. 상기 캐리어는 반도체 다이와 기판 또는 보오드의 사이에서 전기적 연결을 수행하는 전도성 리이드선을 흔히 포함하고 있다.
반도체 다이 캐리어는 리드 프레임의 주변에 가소성 하우딩을 몰딩함으로서 일반적으로 제작된다. 상기 리드 프레임은 몰딩시에 개개의 리이드선을 연결하고 리이드선의 위치를 유지시키게 된다. 여기서, 양수인은 반도체 다이 캐리어의 제작을 간단하게 하고, 전기적 성능을 향상시키며, 비용을 절감하는 다른 접근 방법을 적용하였다. 예를 들면, 미국 특허번호 제5,819,403호는 미리 제작된 리이드선을 캐리어 하우징을 통하여 홀(holes)에 삽입하는 것을 기술하고 있다. 보다 많은 전도성 리이드선이 각각의 반도체 다이 캐리어에 필요하게 됨에 따라서, 제작 공정은 점점 더 반복적이게 되고 시간을 소모하게 된다. 다수의 전도성 리이드선을 다이 캐리어의 단일측에 장착하는 것은 많은 반복 작업을 필요로 한다. 제작 시간은 특히 제작 공정이 저비용의 큰 체적을 차지하는 부품을 생산하는 경우에 제작 공정의 수익성에 중요한 요소가 된다.
종래의 리이드선 삽입 기계는 단일 크기의 "패키지" 즉, 특정한 치수와 특정한 수의 리이드선을 포함하는 특정한 캐리어를 처리하도록 구성되어 있었다. 대개는, 다른 크기와 다른 형태의 패키지를 수용하는데 다른 리이드선 삽입 기계가 필요하다. 게다가, 종래의 리이드선 삽입 기계는 리이드선 삽입 깊이와 상기 패키지의 측벽을 따르는 리이드선 사이의 간격에 관한 조정에 제한이 있었다. 부가적으로 이러한 리이드선 삽입기계는 패키지에 리이드선 삽입을 위한 리이드선 공급을 위해 탄약대 시스템(bandolier system)을 사용하고 있다. 이러한 탄약대 시스템에 있어서, 개개의 리이드선은 탄약대로 지칭되는 벨트내에서 이동되어 진다. 이와 같은 탄약대 시스템에 있어서, 탄약대 또는 패키지 모두에 리이드선을 삽입하기전이거나 또는 삽입하는 동안에 리이드선이 구부러지거나 손상될 위험이 매우 높았다. 리이드선을 삽입하는 종래의 다른 방법은 리이드선을 손으로 삽입하는 작업과 연관되어 있다. 분명히, 이와 같은 방법은 과도한 시간을 소모시키며, 상기 리이드선은 처리 및 삽입중에 손상될 수도 있었다.
따라서, 종래의 기술에서 반도체 다이 캐리어의 경제적인 제작 방법을 제공할 필요성이 있었다. 또한, 반도체 다이 캐리어 또는 외부 리이드선을 갖는 다른 전기 부품의 다른 크기 및 형태를 경제적으로 제작하는데 사용될 수 있는 장치에 대한 필요성이 있었다. 또한, 리이드선이 삽입 공정동안에 손상되지 않도록 리이드선을 공급하고 삽입할 수 있는 장치에 대한 필요성이 있었다.
본 출원은 본 출원의 양수인에 의해서 공유된 다수의 특허 및/특허 출원 내용과 관련되어 있다. 상기 출원은: 1997년 11월 14일 출원된 미국 특허 출원번호 제08/970,379호의 발명의 명칭 "연결 다이를 갖는 멀티-칩 모듈"과; 1994년 3월 11일 출원된 미국 특허 출원번호 08/208,586호의 발명의 명칭 "미리 제작된 반도체 칩 캐리어"와; 미국 특허번호 제5,819,403호의 발명의 명칭 "반도체 칩 캐리어 제작 방법"이며, 이들 모두는 본 명세서에 참조 목적으로 편입되게 된다.
본 명세서에 편입되며, 명세서의 일부를 구성하는 첨부 도면은 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 실시예(들)를 예시하며, 본 발명의 원리를 기술하는 역할을 한다.
도 1a-b는 본 발명에 따른 리이드선 삽입 기계의 전후방 사시도이다.
도 2는 도 1의 리이드선 삽입 기계의 하부에 있는 삽입물을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 리이드선 삽입 기계의 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 리이드선 삽입 기계의 개략적인 사시도이다.
도 5는 도 1의 리이드선 삽입 기계의 다른 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 피더 어셈블리(substrate feeder assembly)의 분해 등각도(exploded isometric view)이다.
도 7은 도 6의 기판 피더 어셈블리의 저부를 나타내는 사시도이다.
도 8a와 8b는 본 발명에 따른 기판 피더 어셈블리 튜브의 사시도 및 그 단면도(端面圖)이다.
도 9a-9c는 본 발명에 따른 기판의 평면도, 횡단면도 및 확대 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 기판 지지부재의 분해 등각도이다.
도 12 및 13은 본 발명에 따른 기판 지지 어셈블리의 사시도이다.
도 13은 본 발명에 따른 로봇 아암의 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 선단 작동체(end effector)의 분해 등각도이다.
도 15는 본 발명에 따른 리이드선 캐리어 스트립의 평면도이다.
도 16은 본 발명에 따른 디릴러 어셈블리(dereeler assembly)의 측면도이다.
도 17은 본 발명에 따른 디릴러 어셈블리의 분해 등각도이다.
도 18은 본 발명에 따른 스플리터 어셈블리에 삽입된 캐리어 스트립(carrier strip)을 나타내는 단면도(端面圖)이다.
도 19는 본 발명에 따른 스플리터 어셈블리의 분해 등각도이다.
도 20은 본 발명에 따른 캐리어 스트립과 리이드선 삽입 부품의 측면도이다.
도 21 및 22는 본 발명에 따른 리이드선 삽입 부품의 사시도이다.
도 23a-d는 본 발명에 따른 리이드선 푸셔의 측면도, 확대 측면도, 단면도(端面圖) 및 사시도이다.
도 24a-c는 본 발명에 따른 다이의 측면도, 사시도 및 확대 측면도이다.
도 25-27은 본 발명에 따른 펀칭 요소와, 캐리어 스트립 및 다이 사이의 상대적인 이동을 나타내는 사시도이다.
도 28은 전도성 리이드선이 그 위에 위치되어 있는 리이드선 푸셔의 사시도이다.
도 29 및 30은 리이드선 푸셔와 기판 사이의 상대적인 이동을 나타내는 측면도이다.
도 31 및 32는 본 발명에 따른 컨베이어 어셈블리의 사시도와 분해 등각도이다.
도 33a-c는 본 발명에 따른 제품 캐리지의 평면도, 측면도 및 저면도이다.
도 34는 도 33a-의 제품 캐리지상에 위치되어 있는 마무리된 기판이다.
도 35a-c는 본 발명에 따른 테이크-업 릴(take-up reel)의 정면도, 후면도 및 측면도이다.
도 36a 및 36b는 본 발명에 따른 삽입 기계의 작동을 예시하는 순서도이다.
본 발명은 상기 상황을 고려하여 안출된 것으로서 반도체 다이 캐리어와 같은 외부 리이드선을 갖는 전기 부품 제작 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 반도체 다이를 고정하는 패키지와 같은 기판에 형성된 리이드선 통로로 전도성 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리이드선을 기판의 측벽에 형성된 리이드선 통로로 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리이드선을 기판의 적어도 2개의 측벽에 형성된 리이드선 통로로 동시에 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전도성 리이드선을 기판의 일측벽에 형성된 수직으로 이격된 열에 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전도성 리이드선을 기판의 적어도 2개의 측벽에 형성된 수직으로 이격된 열에 동시에 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 장치를 최소한으로 조정하면 다른 크기 및 다른 형태의 기판에 전도성 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리이드선 삽입의 깊이와 리이드선 사이의 간격에 대해 광범위한 조정성을 갖는 전도성 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리이드선을 기판에 정밀하게 삽입할 수 있도록 사진, 광학 및 전기적 신호로부터 피이드백되는 것을 이용하는 전도성 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다수의 리이드선 공급원과 다수의 기판 공급원을 포함하는 전도성 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하여, 장치를 병렬로 운전시키고 기계의 가동 휴지시간을 줄여 운전 감독 시간을 최소화하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리이드선 삽입 공정 동안에 생산된 스크랩 재료(scrap material)(부스러기 재료)를 재활용하는 시스템을 포함하는 리이드선을 삽입하는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판에 다양한 수의 리이드선을 용이하게 삽입할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 반도체 다이 캐리어와 같은 외부 리이드선을 갖는 전기 부품을 경제적으로 제작하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전도성 리이드선을 기판의 일측벽에 있는 리이드선통로와 다른 전도성 리이드선을 동일한 기판의 타측벽에 있는 리이드선 통로에 동시에 삽입하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 부가적인 목적과 이점은 하기의 발명의 상세한 설명에서 일부 설명되어질 것이고, 일부는 발명의 상세한 설명으로부터 자명하게 될 것이며, 본 발명의 실시를 통해서 습득될 수도 있을 것이다. 본 발명의 목적과 이점은 첨부된 청구범위에서 특히 지적된 요소와 그 요소의 조합에 의해 구현되고 획득될 수 있을 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 명세서상에서 구현되고 기술되어진, 본 발명의 반도체 다이 캐리어 제작 방법은 복수개의 전도성 리이드선을 형성하는 단계와, 그 외면을 한정하는 복수개의 절연 측벽을 갖고, 각각의 상기 측벽은 복수개의 리이드선 통로를 갖는 반도체 다이를 고정하기 위한 기판을 형성하는 단계와, 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 일측벽에 통과하게 형성된 리이드선 통로에 적어도 하나의 전도성 리이드선과, 상기 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 타측벽에 통과하게 형성된 리이드선 통로에 적어도 하나의 전도성 리이드선을 동시에 삽입시키는 단계를 포함하고 있다.
실시예에서, 리이드선 통로는 전도성 리이드선에 마찰에 의해 유지될 수 있는 크기를 가지며 다수의 수직으로 이격된 열 형태로 상기 각각의 측벽을 통과하게 형성되어 있다. 또한, 상기 각각의 측벽을 통과하는 리이드선 통로는 수직으로 정렬될 수도 있으며, 이와는 다른 실시예로서 서로에 대해서 엇갈리게 배치되어 질 수도 있다. 상기 전도성 리이드선은 거의 L형으로 형성되어 질 수도 있다. 수직으로 이격된 열중 다른 열에 삽입된 상기 리이드선은 다른 길이를 가질 수도 있다.
거의 L형의 전도성 리이드선을 형성하는 단계는 거의 L형 전도성 리이드선을 금속으로부터 펀칭하는 단계를 포함하고 있다
상기 전도성 리이드선을 삽입하는 단계는 상기 전도성 리이드선을 일측벽내에 유지하기 위해 상기 일측벽에 수직으로 이격된 열 형태의 리이드선 통로로 삽입시키는 단계를 포함하고 있다.
상기 전도성 리이드선을 동시에 삽입시키는 단계는 상기 전도성 리이드선을 상기 일측벽내에 유지하기 위해; 적어도 하나의 전도성 리이드선을 상기 일측벽에 적어도 하나의 수직으로 이격된 열 형태로 형성된 리이드선 통로와, 다른 전도성 리이드선을 상기 기판내에 유지하기 위해 상기 타측벽에 적어도 하나의 수직으로 이격된 열 형태로 형성된 리이드선 통로로 동시에 삽입시키는 단계를 포함하고 있다.
본 발명은 복수개의 거의 L형 전도성 리이드선을 형성하는 단계와, 그 외면을 한정하는 복수개의 측벽을 갖고, 이들 각각의 측벽은 다수의 수직으로 이격된 열형태로 형성된 복수개의 리이드선 통로를 갖는 반도체 다이를 고정하기 위한 기판을 형성하는 단계와, 복수의 전도성 리이드선을 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 일측벽에 복수개의 수직으로 이격된 열을 갖는 형태로 통과하게 형성된 리이드선 통로와, 복수의 전도성 리이드선을 상기 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 타측벽에 형성된 리이드선 통로에 동시에 삽입시키는 단계를 구비하고 있다.
본 발명은 또한 전도성 반도체 다이에 고정하기 위해 리이드선을 기판으로 삽입시키는 장치를 더 포함하고 있다. 상기 기판은 상기 기판의 외면을 한정하는 복수개의 절연 측벽을 가지고 있으며, 상기 각각의 측벽은 측벽 자신을 통과하게 형성된 복수개의 리이드선 통로를 가지고 있다. 상기 장치는 상기 기판으로 삽입하기 위한 복수개의 전도성 리이드선을 공급하기 위한 수단과, 상기 전도성 리이드선이 상기 기판으로 삽입되도록 개개의 기판을 공급하는 수단와, 리이드선을 상기 기판의 적어도 2개의 측벽에 형성된 리이드선 통로로 동시에 삽입하는 수단을 포함하고 있다.
상기 기판의 각각의 측벽에 형성된 상기 리이드선 통로는 복수개의 수직으로 이격된 열을 가질 수도 있다. 상기 복수개의 전도성 리이드선을 공급하는 수단은 복수개의 거의 L형 전도성 리이드선을 공급하는 수단을 포함하고 있다. 상기 리이드선을 동시에 삽입하기 위한 수단은 기판의 내부에 유지될 수 있도록 상기 기판의 적어도 2개의 측벽상에 형성된 다수개의 수직으로 이격된 열 형태를 갖는 리이드선 통로로 복수개의 전도성 리이드선 동시에 삽입하는 수단을 포함하고 있다.
본 발명은 반도체 다이를 고정하기 위한 기판에 반도체 리이드선을 삽입하는 장치를 포함하고 있다. 상기 기판은 상기 기판의 외면을 한정하는 복수의 절연 측벽을 가지고 있으며, 상기 각각의 측벽은 측벽 자신에 다수의 수직으로 이격된 열이 형성된 복수개의 리이드선 통로를 갖고 있다. 상기 장치는 상기 기판 삽입용의 복수개의 L형 전도성 리이드선을 공급하기 위한 수단과, 상기 전도성 리이드선을 상기 기판 내부로 삽입할 수 있도록 개개의 기판을 공급하기 위한 수단과, L형 전도성의 리이드선을 상기 기판의 일측벽에 형성된 적어도 2개의 수직으로 이격된 열의 형태를 갖는 리이드선 통로로 삽입시키는 수단을 포함하고 있다.
상기 리이드선을 동시에 삽입하기 의한 상기 수단은 측벽 내부에 유지되도록 적어도 일측벽에 형성된 적어도 하나의 일정하게 이격된 열을 갖는 형태의 리이드선 통로로 복수개의 L형 전도성 리이드선을 동시에 삽입시키는 수단을 더 포함하고 있다. 수직으로 다르게 이격된 열로 삽입된 L형 리이드선은 그 길이 또는 형태가 다를 수도 있다.
본 발명은 반도체 다이를 고정하기 위한 기판에 전도성 리이드선을 삽입시키는 장치를 포함하고 있으며 상기 기판은 상기 기판의 외면을 한정하는 복수개의 측벽을 가지고 있고, 상기 각각의 측벽은 측벽 자신을 관통하게 형성된 복수개의 리이드선 통로를 가지고 있다. 상기 장치는 전도성 리이드선의 복수의 공급 라인을 상기 장치에 공급하기 위한 제1피드 메카니즘을 포함하고 있으며, 각각의 상기 공급 라인은 이동 매체상에 설치된 복수개의 전도성 리이드선을 구비하고 있고, 상기 장치는 또한 개개의 기판을 전도성 리이드선 삽입용의 상기 장치로 공급하기 위한 제2피드 메카니즘을 포함할 수도 있다. 상기 장치는 상기 리이드선을 삽입하는 동안에 개개의 기판을 고정하기 위한 맨드릴과, 상기 리이드선이 삽입되고 난 후에 상기 기판을 수용하기 위한 제품 캐리지 및 리이드선 삽입 메카니즘을 포함할 수가 있다.
상기 리드선 메카니즘은 상기 제1피드 메카니즘으로부터 전도성 리이드선을 수용하고, 상기 리이드선 삽입 메카니즘은 다수의 리이드선을 상기 기판의 적어도2개의 측벽에 형성된 리이드선 통로로 삽입시키도록 구성되어 있다.
상기 장치는 개개의 리이드선을 상기 이동 매체로부터 제거하고 제거된 리이드선을 상기 리이드선 삽입 메카니즘으로 공급하기 위한 펀칭 메카니즘과, 개개의 기판을 리이드선 삽입전에 상기 제2피스 메카니즘으로부터 상기 맨드릴로 이동시키고 상기 리이드선 삽입후에는 상기 맨드릴로부터 상기 제품 캐리지로 이동시키도록 구성된 로봇 아암을 포함하고 있다.
상기 제1피드 메카니즘에 의해 공급된 전도성의 리이드선은 L형 전도성 리이드선일 수도 있다. 바람직하게는, 이동 매체는 복수개의 전도성 리이드선을 포함하는 거의 연속적인 스트립 또는 거의 연속적인 테잎중 어느 하나를 포함할 수도 있고, 제2피드 메카니즘은 그 내부에 감싸여진 반도체 다이를 고정하기 위한 복수개의 기판을 갖는 복수의 튜브를 포함하고 있고, 상기 각각의 튜브는 그위에 설치된 개벽적인 기판을 배출하는 장치를 가지고 있다.
상기 기판 각각의 측벽에 형성된 리이드선 통로는, 다수의 수직으로 이격된 열의 형태로 형성되어진다. 전도성 리이드선 삽입 메카니즘은 복수의 전도성 리이드선이 기판의 내부에 유지할 수 있도록 적어도 하나의 측벽상에 적어도 하나의 수직방향으로 이격된 열의 형태로 형성된 리이드선 통로로 동시에 삽입되도록 구성되어 질 수가 있다. 수직방향으로 다르게 이격된 열로 삽입된 상기 L형 리이드선은 그 길이가 다를 수도 있다.
상기한 일반적인 발명의 설명과 하기의 발명의 상세한 설명 모두는 단지 예시적이고 설명을 위한 것이며, 청구범위와 같이 본 발명을 제한하지 않는 것으로서이해되어져야만 한다.
첨부된 도면에 예시된 본 발명의 예시적인 실시예(들)에 대해 이제 상세히 기술한다. 가능하다면, 동일한 도면 부호가 전 도면을 통하여 동일한 부품 또는 유사한 부품을 가리키는데 사용될 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 장치는 전도성 리이드선의 다수의 공급 라인을 상기 장치에 공급하는 제1피드 메카니즘과, 개개의 기판을 전도성 리이드선을 삽입하는 상기 장치에 공급하는 제2피드 메카니즘을 구비하고 있고, 각각의 상기 공급 라인은 이동 매체에 설치된 복수개의 전도성 리이드선을 구비하고 있다. 상기 장치는 리이드선을 삽입하는 동안 개개의 기판을 고정하는 맨드릴(mandrel)과, 리이드선 삽입후에 기판을 수용하는 제품 캐리지와, 전도성 리이드선 삽입 메카니즘을 더 포함하고 있다. 상기 리이드선 삽입 메카니즘은 전도성 리이드선을 상기 제1피드 메카니즘으로부터 수용하고, 상기 리이드선 삽입 메카니즘은 다수의 리이드선을 적어도 2개의 측벽에 형성된 리이드선 통로에 동시에 삽입하도록 구성되어 있다. 도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 리이드선 삽입 기계(10)의 실시예를 예시하고 있다.
리이드선 삽입 기계(10)는 기판 피더 어셈블리(200)와, 리이드선 공급라인(300)과. 리이드선 삽입 메카니즘(1000)을 포함하고 있다. 기판 피더 어셈블리(200)는 적어도 하나의 기판(250)(즉, 반도체 다이 캐리어와 같은 전기 부품 하우징)을 포함하고 있으며, 수천개의 기판을 포함할 수도 있다.
리이드선 공급 라인(300)은 지지 테잎(backing tape) 또는 인터립(interleaf)(312)(도 16 참조)에 의해 지지되는 전도성 리이드선(310)의 공급원을 포함하고 있다. 도 1a를 참조하면, 상기 리이드선 공급 라인(300)은 전도성 리이드선(310)을 기판(250)에 삽입하는 리이드선 삽입 메카니즘(1000)을 향하고 있다. 리이드선 삽입 기계(10)은 2개의 리이드선 공급 라인(300)을 포함할 수도 있으며, 이들 공급 라인 각각은 디릴러 어셈블리(dreeler assembly)(800)내의 릴(802)상에 권선되어 있다. 테이크-업 릴 어셈블리(take-up reel assembly)(806)은 릴(808)을 포함하며, 상기 릴(808)에는 리이드선 공급 라인(300)이 리이드선 삽입 메카니즘(1000)에 공급될 때 인터립(312)이 권선되어진다. 도 1b는 리이드선 삽입 기계(10)의 후방 사시도를 나타내며, 디릴러 어셈블리(800)와 테이크 업 릴 어셈블리(806)의 다른 실시예를 나타내고 있음에 주목하여야 한다. 이와 같이 다른 실시예는 디릴러 어셈블리(800)과 테이크 업 릴 어셈블리(806)가 예를 들면 특정한 공간적 요구에 따라 리이드선 삽입 메카니즘(1000)에 근접한 부분 어디에도 위치될 수도 있다는 것을 예시하고 있다.
리이드선 삽입 기계의 실시예는 개개의 기판을 전도성 리이드선 삽입용 장치에 공급하는 장치를 포함하고 있다. 이러한 메카니즘의 실시예는 도 1a 및 도 1b에 도시되어 있다. 로봇 어셈블리(600)은 기판(250)을 기판 피더 어셈블리(200)로부터 기판 이동 어셈블리(400)으로 이동시키기 위해 사용되어질 수도 있다. 상기 기판(250)은 상기 기판 이동 어셈블리(400)를 따라 리이드선 삽입 메카니즘(1000)의 근처 위치로 이동되어 리이드선이 그 속으로 삽입되어질 수도 있게 한다. 필요한 수의 리이드선(310)이 상기 기판(250)으로 삽입되어진 상태이면, 상기 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)을 상기 컨베이어 어셈블리(1200)상에 있는 제품 캐리지(1224)로 이동시킨다. 로봇 어셈블리(600)은 시각 안내 어셈블리(1600)로부터 수신된 응답에 의해 제어되어진다.
리이드선 삽입 기계(10)는 또한 다양한 어셈블리를 지지하는 프레임(100)을 포함하고 있다. 도 1a를 참조하면, 프레임(100)은 테이블(110)과, 안전 울타리(102)와 전기 울타리(104)를 포함하고 있다. 안전 울타리(102)는 상기 테이블(110)의 위에 위치되어 있으며, 다양한 리이드선 삽입 어셈블리를 감싸고 있다. 안전 울타리(102)는 프레임(100)의 수평 및 수직 부재에 인접한 부분 사이에 위치된 쉴드(shield)(도시되어 있지 않음-간결성을 위해 도면으로부터 삭제)를 포함하고 있다. 각각의 쉴드는 상기 수직 부재의 일측에 부착되어 있으며, 운전자에게 근접 도어(access door)로서 기능하여 리이드선 삽입 기계(10)의 부품에 근접을 가능하게 한다. 바람직하게는, 각각의 쉴드는 폴리카본네이트 예를 들면, 렉산{LEXAN(상표명)} 재질로 제작될 수 있으며, 운전자가 공정을 지켜볼수 있도록 투명하다. 부가적으로, 상기 쉴드는 제작 공정중에 운전자를 보호한다.
전기 울타리(104)는 테이블(110)의 하부에 위치되어 있다. 리이드선 삽입 기계의 전기 부품은 상기 전기 울타리(104)의 내부에 감싸여질 수도 있다. 상기 리이드선 삽입 공정으로부터 남겨진 재활용 재료용 스크랩 용기는 또한 전기 울타리(104)의 내부에 감싸여질 수도 있다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 도어(106, 108)는 전기 울타리(104)의 전방부를 폐쇄시키고 그 내용물을 보호하여 손상을 방지한다.
리이드선 삽입 기계의 실시예는 CAM 소프트웨어 제어 어셈블리를 포함하고 있다. 터치 스크린(1302)를 이용하는 이와 같은 어셈블리의 실시예가 도 1a에 도시되어 있다. 이와 같은 시스템으로서, 운전자는 터치 스크린(1302)과 터치 스크린(1302)상에 표시되어 있는 기계 셋업 및 운전 메뉴(도시되어 있지 않음)를 이용하여 제작 공정에 대한 운전 조건을 선택할 수도 있다. 운전 조건은 리이드선 삽입 기계(10)에 설치된 비디오 모니터(1500)을 시청함으로서 공정중에 평가되어질 수도 있다.
상기한 바와 같이, 리이드선 삽입 기계의 실시예는 또한 상기 제작 공정(도 2 참조)으로부터 스크랩 부분을 수집하기 위한 상기 테이블(110)의 하측에 위치된 스크랩 용기(118)를 포함할 수도 있다. 스크랩 개구(112)는 도 32에 도시되어 있는 바와 같이 테이블(110)에 형성되어 있다. 스크랩 조각들은 스크랩 개구(112)를 통과하여 튜브(120)로 들어간다. 바람직하게는, 튜브(120)는 진공 상태에서, 상기 스크랩 조각을 상기 스크랩 용기(118)로 흡인한다. 상기 스크랩 용기(118)이 차게되면, 상기 스크랩 조각은 또 다른 공정을 위해서 재활용되어 질 수가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 리이드선 삽입 기계의 평면도가 도 3에 도시되어 있다. 바람직하게는, 리이드선 삽입 기계(10)는 2개의 기판 피더 어셈블리(200)를포함하고 있다. 각각의 기판 피더 어셈블리(200)는 기판이 적층되어 들어가는 튜브(202)를 구비하고 있다. 6개의 튜브가(202)가 각각의 기판 피더 어셈블리(200)에 대해서 도시되어 있고, 반면에 다수의 튜브(202)는 필요에 따라 변화되어 질 수도 있다. 이와는 다른 실시예로서, 기판을 공급하는 연속적인 피드 장치가 어떠한 형태로든 이용되어 질 수가 있다.
바람직하게는, 리이드선 삽입 기계(10)는 각각의 기판 피더 어셈블리(200)에 상응하는 리이드선 공급 라인(300)을 포함하고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 리이드선 삽입 기계(10)의 각각의 측면에는 리이드선 공급 라인(300)이 위치되어 있다. 기판(250)에 삽입을 위한 리이드선(310)의 공급은 리이드선 공급 라인(300)의 일부로서 리이드선 삽입 메카니즘(1000)으로 이동한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 리이드선 삽입 기계(10)는 기판 이동 어셈블리(400)를 이용하여 리이드선 삽입 메카니즘(1000)에 인접한 기판(250)을 위치시키고 지지하여, 상기 리이드선(310)이 기판으로 삽입될 수도 있게 된다. 바람직하게는, 기판 이동 어셈블리(400)는 삽입 공정중에 기판(250)을 지지하는 지지부재(500)을 포함한다. 지지부재(500)는 모터(도시되어 있지 않음)에 의하여 캐리지(412)를 따라서 이동 가능하다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 이동 어셈블리(400)는 시각 안내 어셈블리 카메라를 사용하여 캐리지(412)를 따라서 적정한 위치를 결정한다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 하나의 기판 이동 어셈블리(400)는 삽입 메카니즘(1000)에 근접하게 위치되어 있고, 다른 기판 이동 어셈블리(400)는 캐리지(412)의 일단부에 위치되어 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 로봇 어셈블리(600)은 튜브(202)로부터 배출된 기판(250)을 픽업하고 기판(250)을 지지부재(500)중 하나의 지지부재(500)상에 위치시킨다. 기판(250)을 수용한 후에, 상기 지지부재(500)는 상기 리이드선 삽입 메카니즘(1000)에 인접하게 이동되어 진다. 상기 리이드선(310)이 하나의 기판(250)에 삽입되어지는 동안에, 상기 로봇 어셈블리(600)는 이동하여 다른 기판(250)을 상기 기판 피더 어셈블리(200)로부터 픽업하고, 캐리지(412)의 일단에 위치된 다른 지지부재(500)상에 상기 기판(250)을 위치시킨다. 따라서, 지지부재(500)가 그 위에 위치된 기판(250)을 갖지 않을 때, 상기 로봇 어셈블리(600)는 이동하여 상기 기판(250)을 상기 기판 피더 어셈블리(200)로부터 픽업하고, 상기 기판(250)을 빈 지지부재(500)상에 위치시킨다. 이와 같은 기판(250) 이동 공정은 제작 공정 동안 모든 기판(250)의 처리가 완료될 때까지 반복된다.
본 발명에 따른 실시예에서, 로봇 어셈블리(600)는 또한 그 리이드선(310)이 모두 삽입된 후에 완성된 기판(250)을 지지부재(500)로부터 제거한다. 따라서, 모든 특정 기판의 리이드선이 삽입된 후에, 완성된 기판(250)과 함께 지지부재(500)는 캐리지(412)의 일단부로 이동한다. 한편, 새로운 기판(250)을 포함하는 다른 지지부재(500)는 상기 캐리지(412)의 타단부로부터 삽입 메커니즘(1000)의 인접부로 이동하여 리이드선(310)은 기판 내부로 삽입되어 질 수가 있다. 여기서, 로봇 어셈블리(600)는 완성된 기판(250)의 위로 이동하고 완성된 기판(250)을 상기 컨베이어 어셈블리(1200)에 위치한 제품 캐리지(1224)로 이동시킨다. 완성된기판(250)이 제품 캐리지(1224)로 이동하고 난 후에, 로봇 어셈블리(600)은 새로은 기판(250)을 방금 비워진 지지부재(500)상에 위치시키고, 공정은 반복되어 진다.
리이드선 삽입 메카니즘(1000)의 예시적인 실시예가 도 4 및 도 5에 개략적인 형태로 도시되어 있다. 리이드선 삽입 메카니즘(1000)은 캐리지(412) 양측에 위치한 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)을 포함하고 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 리이드선 공급 라인(300)은 리이드선 삽입 부품(1002)의 공급 컬럼(supply column)으로 공급되어진다. 리이드선 공급 부품(1002)이 작동될 때, 리이드선(310)은 지지부재(500)상에 위치한 기판(250)으로 밀어진다. 따라서, 상기 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)로부터 공급된 리이드선(310)은 기판(250)에 동시에 삽입되어진다.
리이드선 삽입 기계의 작동중에, 제1세트의 리이드선(310)이 리이드선 삽입 부품(1002)에 의해 기판(250)으로 전진되고 난 후에, 지지부재(500)는 캐리지(412)를 따라서 이동하여 기판(250)의 비어있는 리이드선 통로(254)의 다음 세트와 삽입되어질 리이드선(310)의 다음 세트를 정렬될 수 있도록 한다. 지지부재(500)의 이러한 증분적인 이동(incremental movement)은 기판(250)의 2개의 대향하는 측멱을 따라 있는 리이드선 통로(254)가 채워질 때까지 반복되어 진다. 여기서, 상기 지지부재(500)는 90도 회전하며, 상기 삽입 공정은 상기 기판(250)의 다른 2개의 측벽을 따라서 반복되어진다.
리이드선 삽입 기계의 실시예에 있어서, 개개의 기판(250)의 모든 요구되는 리이드선 통로(254)가 리이드선(310)으로 충진되면, 완성된 기판이 얹어져 이동되는 지지부재(500)가 캐리지(412)의 일단으로 이동되게 된다. 이후, 로봇 어셈블리(600)는 완성된 기판(250)을 지지부재(500)으로부터 픽업하고, 기판(250)을 그 컨베이어 어셈블리(1200)로 전달하게 된다.
리이드선 삽입 기계(10)의 컨베이어 어셈블리(1200)의 실시예는 2개의 레일(1202)(도 5 참조)에 의해 지지되는 다수의 제품 캐리지(1224)를 포함하고 있다. 마감된 기판(250)이 제품 캐리지(1224)상에 위치되어 있고, 상기 캐리지(1224)가 완전히 채워졌을 때, 운전자에 의해서 상기 캐리지(1224)는 상기 리이드선 삽입 기계(10)로부터 제거된 후 빈 제품 캐리지(1224)로 대체되게 된다.
리이드선 공급 라인(300)과, 기판 피더 어셈블리(200)와, 상기 리이드선 삽입 메카니즘의 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)은 서로 각각 유사하기 때문에, 단순성을 위해 이들중 단지 각각 하나만이 상세하게 기술되어질 것이다.
기판 피더 어셈블리(200)의 실시예가 도 6-8b를 참조하여 보다 상세하게 기술되어질 것이다. 상기한 바와 같이, 기판 피더 어셈블리(200)는 어떠한 전도성 리이드선(310)의 삽입에 앞서서 기판(250)을 저장하는 튜브(202)를 포함하고 있다. 각각의 튜브(202)는 프레임(204)상에 설치된 홀더(210)에 의해서 그 하부가 지지되어 있다. 각각의 튜브(202)는 지지를 위해 프레임(100)상에 설치되어 있는 브래킷(206)상에 위치한 클립(208)에 의해서 측방향으로 이동되는 것이 방지된다. 엔드 캡(end cap)(도시되어 있지 않음)은 각각의 튜브(202)의 상부에 위치되어질 수도 있다. 바람직하게는, 상기 튜브(202)는 비록 가소성 재료로부터 제작되어 질 수도 있으나, 다른 어떠한 단단한 재료가 이용되어질 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판(250)은 튜브(202)속으로 삽입되어 서로의 상부에 얹혀진다. 기판 피더 어셈블리(200)은 튜브(202)가 비어 있을 때 이를 감지하는 센서(도시되어 있지 않음)를 포함하고 있다. 기판(250)은 공기 공급원(도시되어 있지 않음)으로부터 작동되어지는 푸셔(214)에 의해 각각의 튜브(202)로부터 한번에 하나씩 분배되어진다. 푸셔(214)는 하부의 기판(250)을 네스트(nest)(228)(도 7참조)로 밀어내는데 사용되어 진다. 기판(250)이 상기 튜브(250)로부터 분배되고 난 후에, 상기 로봇 어셈블리(600)는 기판을 상기 네스트(228)로부터 픽업한다. 기판(250)이 상기 네스트(28)내에 위치되어 있을 때 이를 감지하는 부가적인 센서가 사용되어 질 수도 있다. 상기한 바와 같이, 로봇 어셈블리(600)는 튜브(202)로부터 배출되어 있는 기판을 잡아서, 상기 기판을 지지부재(500)상에 위치시킨다. 다양한 수의 기판(250)이 튜브(202)에 저장되어질 수 있는 반면에, 바람직하게는 적어도 240개의 기판이 상기 튜브(202)에 저장되어진다. 하나의 튜브(202)가 비워지게 되면, 다음 튜브(202)는 기판(250)을 분배하기 시작한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 도 9a-9c에 도시된 바와 같이 상기 기판(250)은 본 명세서에 참조용으로 편입되어 있는 공유된 미국 특허출원번호 제08/970,370호의 발명의 명칭 "연결 다이를 갖는 멀티-칩 모듈"에 개시된 구성과 유사하다. 상기 기판(250)은 장방형의 가소성 하우징과 그 하우징 내부에 단이 형성된(stepped) 공동부를 구비하고 있다. 상기 기판(250)의 공동부는 측벽(252)에 의해서 한정된다. 각각의 측벽(252)은 그 내부를 통과하게 연장된 복수개의 리이드선 통로(254)를 가지고 있다. 바람직하게는, 각각의 측벽은 도 9c에 도시되어 있는 바와 같이 수직으로 정렬될 수도 있는 복수개의 열을 갖는 리이드선 통로(254)를 가지고 있다. 이와는 다른, 실시예로서, 몇몇 또는 모든 리이드선 통로(254)는 상기 리이드선 통로의 다른 통로에 대해서 어긋나게 배치되어질 수도 있다. 선택적으로, 각각의 리이드선 통로(254)은 원호부(258)과 각진 부분(256)을 포함하며 리이드선 삽입과 그 유지를 간단히 할 수가 있다. 물론, 하나 또는 그 이상의 리이드선 통로(254)는 리이드선(310)이 상기 리이드선 통로내에서 마찰에 의해서 유지되는 크기로 형성되어질 수도 있다. 비록 상기 기판(250)이 바람직하게는 가소성 재료로 제작되어지지만, 다른 어떠한 내구성을 갖는 절연 재료가 이용되어 질수도 있다.
도 10을 참조하면, 기판 지지부재(500)의 실시예가 도시되어 있다. 상기 기판(250)은 맨드릴(508)의 상부에 위치되어 있다. 상기 맨드릴(508)은 축받이(pedestal)(510)와 환형의 몸체(514)를 포함하고 있다. 상기 축받이(510)는 그 길이방양 축을 따르는 통로(540)와 홀(hole)(512)를 가지고 있다. 공기 링 부품(air ring fitting)(518)상에 설치되어 있는 샤프트(506)은 상기 축 통로(540)에 삽입되어 있다. 세트 스크류(도시되어 있지 않음)는 상기 홀(512)에 삽입되어 축(506)의 표면에 결합되고, 상기 맨드릴(508)과 샤프트(506)의 사이의 상대적인 수직 이동을 방지하는 것에 주목하여야 한다. 또한, 상기 맨드릴(508)은 단일의 크기를 갖는 기판(250)에 대해서 특정하게 그 크기를 갖을 수 있음에 주목하여야 한다. 따라서, 만일 다른 크기의 기판(250)이 상기 삽입 기계에 사용되어 진다면, 단지 맨드릴(508)만이 바뀌게된다.
싱기 지지부재(500)상에 올려진 기판(250)을 상기 리이드선 삽입 메카니즘(1000)으로 이동시키기 위하여, 상기 지지부재(500)의 베이스 플레이트(502)는 모터(도시되어 있지 않음)에 의하여 캐리지(412)를 따라 이동하는 플랫폼(402)에 설치되어 있다. 본 명세서서에 보다 상세히 기술되어지겠지만, 상기 축받이(510)는 리이드선 삽입 공정 동안에 승강되어 회전되어진다. 이와 같은 이동을 가능하도록 하기 위하여, 회전 어셈블리(530)가 베이스(502)상에 설치되어질 수도 있다. 회전 어셈블리(530)은 외주 몸체 부분(534)와 내주 몸체 부분(536)을 포함하고 있다. 바람직하게는, 외주 몸체 부분(534)는 플레이트(502)에 설치되어진다. 플레이트(502)는 회전 어셈블리(530)에 연결되어 있고, 서로 통해져 있다. 밸브(532)가 개방되면, 상기 밸브(532)는 압축 공기 공급원(도시되어 있지 않음)으로부터 공기를 상기 내외주 몸체 부분(536, 534)에 공급하도록 한다.
지지부재(500)의 실시예는 실린더(520)에 연결되어 있는 원형의 몸체(524)를 포함하고 있다. 피스톤(504)은 피스톤(504)과 실린더(520)의 사이에 위치된 O-링(526, 528)과 함께 상기 실린더(520)의 일단에 삽입되어질 수도 있다. 공기를 회전 어셈블리(530)에 공급함으로서, 원형의 몸체는(524)는 승강되고 회전 어셈블리(530)에 대하여 회전되어질 수도 있다. 원형의 몸체가(524)가 결속부재(fastener)(도시되어 있지 않음)에 의해 공기 링 부품(518)에 연결되어 있기 때문에, 맨드릴(508)상에 위치한 기판(250)은 원형의 몸체(524)가 승강되고 회전함에 따라 승강되고 회전된다.
기판(250)의 제작공정 동안에 기판(250)이 상기 맨드릴(508)의 상부에서 유지되는 것을 확실시 할 수 있도록, 기판 지지 어셈블리(700)가 제공되어 있다. 기판 지지 어셈블리(700)의 실시예는 도 11 및 도 12에 도시되어 있다. 기판(250)의 이동과 손상을 방지할 수 있도록, 접촉 부재(712) 상기 기판의 상면에 결합되게 된다. 접촉 부재(712)는 바람직하게는 데린{DELRIN(상표명)} 재질로 제작되지만, 기판(250)의 표면을 손상하지 않는 다른 어떠한 다른 중간 정도의 단단한 재료가 이용되어질 수도 있다.
기판 지지 어셈블리(700)는 수직 베이스 플레이트(708)를 포함하는 수직부(702)를 포함하고 있다. 수직 베이스 플레이트(708)는 베이스 플레이트(710)와 플레이트(720)에 결속부재(도시되어 있지 않음)에 의해 고정되어 있다. 또한, 지지부재(500)는 지지부재 베이스 플레이트(502)와 플랫폼(402)을 통하여 플레이트(720)에 고정되어 있다. 결속부재(718)는 홀(542, 414) 내에 설치되어서 베이스 플레이트(502)와 플랫폼(402)을 플레이트(720)에 고정한다. 또는, 볼트 또는 이와 유사한 결합 부재가 결속부재로서 사용되어진다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 맨드릴(508)과 그 위에 설치된 기판(250)은 제작공정 동안에 승강되고 회전되어진다. 맨드릴(508)의 수직 이동을 허용할 수 있도록, 공압 액투에이터(714)가 수직부(702)의 캔틸레버 부분상에 설치되어있다. 공압 액튜에이터(714)는 수직부(702)의 상부에 위치되며, 상기 캔틸레버 부분(704)에 형성된 홀(706)을 통하여 연장되어 있는 아암(도시되어 있지 않음)을 가지고 있다. 액튜에이터(714)는 공기에 의해 작동되며, 접촉 부재(712)를 상기 기판(250)에 수직으로 접촉시키고 접촉으로부터 벗어나게 한다. 공기는배관(716)(도 12 참조)에 의해 압축공기 공급원(도시되어 있지 않음)으로부터 액튜에이터(714)로 공급되어진다. 상기 배관(716)은 도 12에 도시된 바와 같이 수직부(702)의 후방부를 따라 고정되어 있다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 로봇 어셈블리(600)의 실시예 및 이 실시예에 상응하는 선단 작동체(650)가 도시되어 있다. 로봇 어셈블리(600)는 로봇 아암(620)의 선단에 설치된 선단 작동체(650)를 이용하여 기판(250)을 픽업한다. 로봇 어셈블리(600)은 주몸체(602)와 프레임(100)에 연결될 수 있어서 로봇 어셈블리(600)를 지지하는 설치부(616)을 포함하고 있다. 사이드 아암(622)은 주몸체(602)의 하부에 설치되어서 주몸체(602)에 대해 회전 가능한 원형의 부분(624)를 통해 주몸체(602)에 회전 가능하게 그 일단이 설치되어 있다. 사이드 아암(622)의 타단은 로봇 아암(620)에 선회가능하게 연결되어있다. 아암(620, 622)은 선단 작동체(650)가 삽입 기계(10)상의 어느 특정한 위치로 이동하도록 한다.
도 13에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 로봇 어셈블리(600)는 하부 플레이트(604)와, 사이드 플레이트(606)와, 카메라 브래킷(608)을 포함하고 있다. 카메라 브래킷(608)은 하기에 보다 상세하게 기술되어질 시각 안내 어셈블리(1600)의 일부인 카메라를 지지하는데 사용되어진다. 도 13에는, Z-축 카메라 브래킷(612) 및 이에 상응하는 시각 안내 어셈블리의 다른 카메라를 지지하는데 사용되는 브래킷 부분(614)가 도시되어 있다.
시각 안내 어셈블리(1600)는 다수의 카메라(도시되어 있지 않음)와 제어 시스템을 이용하고 있다. CAM 소프트웨어에 의해서 구동되는 제어 시스템은 카메라에 의해 촬영된 이미지를 선택할 수 있고, 상기 이미지의 목적물을 평가할 수가 있다. 시각 안내 어셈블리(1600)는 로봇 어셈블리(600)의 제어를 위한 피드백을 제공한다. 본 발명의 실시예에 있어서, 4개의 카메라가 사용되어지며, 다른 개수의 카메라가 이용되어질 수도 있다. 제1카메라는 상기 기판(250)의 위치와 방향을 상기 제어 시스템에 보고하는데 사용되어 상기 로봇 어셈블리(600)를 적당한 위치로 이동시킬수 있도록 한다. 상기 제1카메라는 브래킷(612, 614)에 의해서 로봇 아암(620)의 일단에 부착되어 있다. 제2카메라는 상기 리이드선이 상기 기판(250)으로 삽입된 깊이와 상기 리이드선(310)의 삽입된 방향을 상기 제어 시스템으로 보고한다. 상기 제2카메라는 브래킷(608)상에 장착되어 있다. 시각 안내 어셈블리(1600)는 (상기 리이드선 사이의 거리와 같은 삽입된 리이드선의 측면에서 보여지는 치수 데이터를 상기 제어 시스템에 각각 보고하는) 제3, 4카메라를 또한 포함할 수도 있다. 본 발명의 실시예에 있어서, 제3, 4카메라는 상기 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)위에 위치되어 있으며 상기 기판(250)의 대향측을 향하게 배향되어 있다.
선단 작동체 어셈블리(650)의 실시예는 도 14를 참조하여 기술되어질 것이다. 선단 작동체 어셈블리(650)은 로봇 어셈블리(600)의 로봇 아암(620)에 설치되어 기판(250)을 픽업하고 이동시킨다. 선단 작동체 어셈블리(650)는 흡입 컵(684)에서 진공 효과를 이용하여 기판(250)을 픽업하지만, 다른 적당한 수단이 상기 기판을 픽업하는데 이용되어질 수도 있다.
본 발명의 실시예에 의한 작동체 어셈블리(650)는 로드(652)를 포함하는데, 상기 로드(652)는 상기 로봇 아암(620)의 상응하는 홀(도시되어 있지 않음)속으로 삽입되어 있다. 상기 선단 작동체 어셈블리(650)는 상기 로드(652)와 상기 컵(684)의 사이에 위치된 퀵스톱부(quickstop)(664)과 퀵스톱부 베이스 플레이트(672)를 포함하고 있다. 상기 퀵스톱부(664)은 그 상면에 플랫폼(668)을 포함하고 있다. 스페이서(660)는 결속부재(658)에 의해서 스페이서(660)에 형성된 홀(662)를 통해 플랫폼(668)에 고정되어 있다. 결속부재(658)는 볼트, 스크류, 또는 다른 어떠한 결합 메카니즘 또는 시스템이 될 수도 있다. 회전 부재(656)는 스페이서(660)을 통해서 보어(688)의 내측에 설피되어 있다. 회전 부재(656)는 커넥터(654)가 삽입 설치되는 보어(690)를 포함하고 있다 커넥터(654)는 로드(652)를 퀵스톱부(664)에 설치된 요소에 연결하는데 사용된다. 바람직하게는, 커넥터(654)는 보어(690)에 마찰 끼워맞춤되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 퀵스톱부(664)은 결속부재가 삽입되어 퀵스톱부(664)을 퀵스톱부 베이스 플레이트(672)에 고정하는 복수개의 홀(670)을 포함하고 있다. 상기 퀵스톱부 베이스 플레이트(672)는 결속부재가 내부로 삽입되어 퀵스톱부 베이스 플레이트(672)를 브래킷(676)에 고정하는 홀(674)을 포함하고 있다. 브래킷(676)은 일측에 설치된 커넥터(686)와 타측에 설치된 실린더(678)을 포함하고 있다. 결속부재(658)는 도 14에 도시된 바와 같이 커넥터(686)와 실린더(678)을 설치하는데 사용되어진다. 실린더(678)와 그 하부에 설치된 진공 플레이트(680)는 진공 효과를 발생시키는데 사용되어진다. 진공 플레이트(680)에는 하단에 위치한 컵(684)를 가지고 있는 튜브(682)가 부착되어 있다. 상기 컵(684)은 상기 진공 플레이트(680)와 유체 연결되어 있기 때문에, 진공 효과는 상기 튜브(682)를 통해서 컵(684)으로 부여되어 로봇 어셈블리(600)가 상기 기판(250)을 픽업할 수 있도록 한다.
상기 제1카메라는, 상기한 바와 같이, 로봇 아암(620) 및 선단 작동체(650)와 결합되어 질 수도 있다. 상기 제1카메라는 선단 작동체(650)가 상기 기판(250)를 놓기전에 상기 지지부재(500)상에 상기 기판(250)이 적당하게 위치되어 있는지를 검사하는데 사용되어질 수도 있다. 만일 제1카메라와 제어 시스템이 상기 기판(250)이 부품 결합에 의해서 부적절하게 위치되었고 적당하게 위치되지 않았을 경우에, 로봇 어셈블리(600)는 상기 기판(250)을 내려놓는 대신에 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)을 폐기 용기(reject bean)(도시되어 있지 않음)에 위치시킨다. 이 폐기 시간동안에 제작공정은 다음 기판을 연속 처리한다.
이와 유사하게, 상기 제2카메라는 상기 기판으로 삽입되어진 상태인 상기 리이드선(310) 방향을 관찰하는데 사용되어 질 수도 있다. 상기 제2카메라가 상기 리이드선이 부적절하게 삽입된 것을 검출할 때, 상기 제어 시스템은 그 편차의 대소를 결정한다. 상기 편차가 작은 것이라고 여겨질 경우, 상기 기판(250)의 위치는 수정되고, 공정은 계속되어 진다. 그러나, 상기 편차가 큰 것이라고 여겨질 경우, 삽입 사이클은 중단되고, 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)을 들어 올려서 폐기 용기에 위치시킨다. 이와 동시에, 운전자는 상기 제어 시스템을 통하여 문제가 발생하였음을 통지받게 된다. 본 발명의 실시예에서, 리이드선 삽입 기계(10)상에설치된 황색등(도시되어 있지 않음)은 깜박거려서 이러한 문제점을 운전자에게 통지하게 된다.
본 발명의 실시예의 제어 시스템은 리이드선 고착(jam)을 감지하는 다른 에러 감지 특징을 가지고 있다. 상기 리이드선(310)이 (기판(250)의 통로(254)에서 정렬되지 않게) 고착된 경우, 상기 리이드선 삽입 부품(1002)은 상기 기판(250)으로부터 후퇴되어진다. 상기 고착된 리이드선(310)이 상기 기판으로부터 제거되고 나서, 다시 올바로 삽입되면, 상기 삽입 공정은 다시 개시된다. 그러나, 고착된 리이드선(310)이 적당하게 삽입되지 못한 경우, 상기 운전자는 상기 제어 시스템을 통해서 문제를 통지받게 된다. 본 발명의 실시예에서, 적색등(도시되어 있지 않음)과 버져(buzer)가 제어 시스템에 의해서 작동되어, 운전자에게 리이선의 고착을 경고하게 된다. 운전자는 리이드선 삽입 기계(10)를 수리 상태로 위치시키고, 안전 울타리(102)의 쉴드(122)를 개방한 후, 리이드선 삽입 부품(1002)을 이동시키고, 고착된 리이드선(310)을 제거하게 된다. 상기 리이드선 삽입 부품(1002)을 재삽입하고 난 후에, 운전자는 리이드선 삽입 기계(10)를 운전 상태로 되돌리게 된다. 만일 상기 기판(250)이 고착되는 과정에서 손상되었을 경우에는, 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)을 제거하고 기판을 폐기 용기에 위치시킨게 된다. 리이드선 삽입 공정은 이후 다시 개시된다.
본 발명의 실시예에 따른 리이드선 삽입 기계(10)의 실시예는 또한 비상 정지 장치(도시되어 있지 않음)를 프레임 각각의 구석에 포함할 수도 있다. 상기 비상 정지 장치는 운전자가 어떤 이유에서 상기 리이드선 삽입 공정을 재빨리 정지시키도록 하는 비상 스위치(kill switchs)에 의해서 작동되게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 리이드선 공급 라인(300)은 도 15에 도시되어 있다. 상기 리이드선 공급 라인(300)은 그 위에 장착된 캐리어 테잎, 또는 캐리어 스트립과 전도성 리이드선(310)중 어느 하나를 포함할 수도 있다. 초기에는, 상기 캐리어 스트립(302)와 전도성 리이드선(310)은 리이드선 펀치 기계(도시되어 있지 않음)에 의해서 매우 좁은 금속판으로부터 펀칭될 수도 있다. 금속판의 펀칭에 의해서, 도 15에 도시되어진 바와 같이 연속적인 리이드선 공급 라인이 형성되어지게 된다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 리이드선 펀칭 기계는 거의 L-형의 펀치를 사용하여 거의 L-형의 리이드선을 형성할 수 있도록 하고 있다. 일 실시예에서, 상기 리이드선은 장방형의 횡단면을 갖을 수도 있다. 그러나, 상기 리이드선은 상기 다이 캐리어의 내의 다이와 보오드 또는 기판의 사이에서 전기적 연결을 가능하게 하는 역할을 하는 다른 필요한 형태로 형성되거나 횡단면일 수도 있다. 게다가, 도 15에서 상기 전도성 리이드선(310)이 3개의 세트로 형성되어 있는 반면에, 각각의 세트에서 다수의 리이드선(310)이 필요에 따라 변화되어질 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 리이드선 공급 라인(300)은 상기 캐리어(302)의 2개의 측부 사이에서 일정하게 이격되어 있는 타이 바아(tie bar)(304)를 갖는 캐리어(302)의 형태이다. 상기 타이 바아(304)에는 설치 요소(306)가 부착되어 있다. 각각의 전도성 리이드선(310)은 상기 설치 요소(306)에 연결되어 있다. 도 15에 도시되어져 있는 바와 같이, 캐리어(302)는 또한 각각의 측부에 정렬 홀(308)을 포함하고, 상기 정렬 홀(308)의 기능은 상기 리이드선삽입 메카니즘(1000)에 대해서 기술할 때 보다 상세하게 기술되어질 것이다. 캐리어(302)는 연속적이며, 테잎 형태의 지지부(backing) 또는 인터립(312)에 설치되어 부가적인 지지체(도 16참조)를 제공하게 된다. 캐리어(302) 및 지지부(312)는 리이드선 삽입 기계(10)에서 사용되는 릴(802)상에 감겨져 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 릴(802)은 캐리어(302)와 캐리어를 지지하는 상응하는 지지부(312)을 갖는 것으로 도 16에 도시되어 있다. 릴(802)이 모터(도 17 참조)에 의해 회전함에 따라, 캐리어(302)는 상기 리이드선 삽입 메카니즘(1000)을 향하는 하나의 방향으로 공급되어 질 수 있고, 상기 지지부(312)는 분리 방향으로 테이크-업 릴(808) 어셈블리상에 권선되어질 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따른 디릴러(800)의 실시예는 도 17에 도시되어 있다. 디릴러 어셈블리(800)은 전력 공급원(830)에 의해 전원이 인가되는 모터(848, 850)에 의히 구동되어 질 수도 있는 릴(802, 804)를 포함하고 있다. 릴(802, 804)는 고정 릴부분(802a, 804a)과 회전 릴 부분(802b, 804b)를 각각 포함하고 있다. 상기 릴(802, 804)이 동일하기 때문에, 오직 하나의 릴(802)만이 보다 상세히 기술되어질 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 릴(802)은 상기 리이드선 공급 라인(300)이 권선되어질 수도 있는 허브(846)를 포함하고 있다. 상기 릴(802)은 또한 릴(802a, 802b) 및 허브(818)를 도 17에 도시한 바와 같이 포함하고 있다. 허브(846)는 상기 리이드선 공급 라인(300)이 전진할 때 상기 릴(802)이 과도하게 회전하는 것을 방지하는 마찰 허브이다. 릴(802, 804)은 상부 프레임(842)의 전방부재에 설치되어 있다. 디딜러 어셈블리(800)은 상부 프레임(842)의 후방 부재상에 위치한 샤프트(884)에 설치된 테이크-업 릴(808)을 포함하고 있다. 상부 프레임(842)는 하부 프레임(840)에 삽입되어져 있고, 리이드선 삽입 기계(10)의 안전 울타리(102)에 밀접하게 위치되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 디릴러 어셈블리(800)는 아암(864, 866)의 단부에 설치된 전기 스트립 센서(860, 862)를 포함하고 있다. 이러한 센서(860, 862)는 제어 시스템에 신호를 인가하여 리이드선 공급 라인(300)이 릴(802)로부터 인출되는 속도를 제어하게 된다.
도 35a-35c를 참조하면, 테이크-업 릴(808)실시예가 도시되어 있다. 테이크-업 릴(808)은 매끈한 전면(886)과, 리브 지지면(888)과, 이들 면(886, 888)의 사이에 형성된 개구(816)를 포함하고 있다. 도 35c에 도시된 바와 같이, 테이크-업 릴(808)은 인터리브(312)가 권선되어질 수도 있는 일체형의 허브(880)를 포함하고 있다. 테이크-업 릴(808)은 도 35c에 도시된 바와 같이 일측에서 개방되어 있어서, 허브(880)상에 권선된 인터립(312)은 손쉬우면서도 재빠르게 제거될 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 테이크-업 릴 어셈블리(806)은 또한 상기 허브(880)상에 클램프(도시되어 있지 않음)을 포함하여 상기 인터립(312)의 일단을 조일수 있다. 개구(882)가 샤프트(884)상에 릴(808)을 삽입하기 위하여 허브(880)을 통과하여 형성될 수가 있다. 테이크-업 릴(808)은 바람직하게는 모터(도시되어 있지 않음)에 의해 구동되며, 공급 릴(802)상에서 인장력을 유지하는데 사용되는구동 슬립 클러치를 구동시킨다.
리이드선 공급 라인(300)이 삽입 메카니즘(100)에 공급되기 전에, 리이드선 공급 라인(300)은 타이 바아(304)를 따라서 반드시 두 개의 부분으로 분할되어 진다. 이는 스플리터 어셈블리(splitter assembly)(900)을 통하여 달성되어질 수도 있다. 상기 캐리어(302)가 인터립(312)으로부터 분리되고 나면, 상기 캐리어는 도 18에 도시된 바와 같이 화살표 "A"의 방향으로 스플리터 어셈블리(900)로 공급되어 진다. 스플리터 어셈블리(900)은 캐리어(302)를 수용하고 타이바(304)를 분할하여 상기 캐리어(302)가 2개의 부분으로 분할되도록 한다.
본 발명의 실시예에 따른 스플리터 어셈블리(900)의 실시예는 도 19에 도시되어 있다. 스를리터 어셈블리(900)은 스플리터 다이 어셈블리(02)를 지지하는 프레임을 포함하고 있다. 프레임은 상부 플레이트(904)와, 하부 플레아트(06)와 측부 플레이트(908, 910)을 포함하고 있다. 상기 프레임상에는 캐리어(302)가 초기에 사이에 삽입되어지는 2개의 롤러(918, 920)가 설치되어 있다. 상기 롤러(918, 920)는 모터(916, 936)에 의해 작동되어 캐리어(302)를 스플리터 다이 어셈블리(902)에 전달한다. 상기 스플리터 다이 어셈블리(902)는 정렬 홀(308)을 통해 관찰하며 연속적으로 상기 캐리어(302)의 위치를 컨트롤러에 보고하는 관통 빔 센서를 포함할 수도 있다. 상기 센서는 상기 캐리어(302)의 접합부를 위치시키고며, 이러한 접합부를 상기 컨트롤러에 알리는데 사용되어진다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 스플리터 다이 어셈블리(902)는 또한 상기 캐리어(302)의 각각의 타이 바아(304)를 펀칭하거나 절단하는 스플리터 다이(도시되어 있지 않음)를 포함하고 있다. 결과적으로, 상기 다이 캐리어(302)는 상기 스플리터 어셈블리(902)로부터 서로 거의 거울형인 2개의 부분(302A, 302B)으로 만든다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스플리터 다이(902)는 공압으로 작동되어진다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 분리된 캐리어(302A, 302B)는 이후 도 20-22에 도시된 바와 같이 리이드선 삽입 메카니즘(1000)으로 공급되어진다. 도 21에 도시된 바와 같이, 캐리어(302)는 리이드선 삽입 부품(1002)의 공급 컬럼(1070)의 채널(1072)로 들어가는 것으로 도시되어 있다. 공급 컬럼(1070)의 내측에는 모터(1026, 1028)(도 21, 22 참조)에 의해 작동되는 한쌍의 핀치 롤러(pinch roller)(도시되어 있지 않음)가 설치되어 있다. 핀치 롤러 각각의 쌍은 그 사이에 위치된 캐리어(302)를 고정하고, 캐리어를 당겨서 공급 컬럼(1070)으로 위치시킨다. 공급 컬럼(1070)은 또한 리이드선 각각의 세트가 펀칭되기 전에 정렬 홀(308)을 통해 관찰하여 상기 캐리어(302)가 올바르게 정렬되었는지를 확실시하는 상기 다이(1006, 1008)의 위에 위치된 관통 빔 센서를 포함하고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 리이드선 삽입 부품(1002)은 도 21 및 도 22에 보다 상세하게 도시되어 있다. 리이드선 삽입 부품(1002)은 전도성 리이드선(310)을 캐리어(310)로부터 집어서 리이드선을 특정 기판(250)에 있는 리이드선 통로(254)에 삽입시킨다. 상기 리이드선 삽입 부품(1002)은 상기 리이드선(310)을 상기 캐리어(302A, 302B)로부터 분리할 수 있도록 펀칭 부재(1020)와 다이(1006, 1008)(도 25 참조)를 포함하고 있다. 상기 펀칭 부재(1020)는 리이드선 펀치(1030)와, 스크랩 펀치(1040) 및 면에 부착되어 있는 정렬핀(1036)을 가지고 있다. 따라서, 상기 펀칭 부대(1020)가 A 또는 B 방향으로 이동하게 되면, 펀치(1030, 1040) 및 핀(1036) 또한 이동하게 된다(도 25 참조).
본 발명의 실시예에 따르면, 펀치(1030)는 리이드선(310)을 캐리어(302)로부터 분리시키고, 리이드선(310)을 리이드선 푸셔(1102)(도 25 참조)상에 형성된 글루브(grooves)(1108)로 리이드선(310)을 이동시킨다. 도 21 및 22에 도시된 바와 같이, 리이드선 푸셔(1102)의 실시예는 이후 상기 리이드선(310)을 기판으로 삽입시킬수 있도록 이동된다. 리이드선 푸셔(1102)는 하우징(1132)의 플레이트(1126, 1128)의 사이에 형성된 터널(1130)내에서 선형적으로 이동되어진다. 리이드선 푸셔(1102)는 모터(1052)를 사용하여 이동되어 질 수도 있다. 모터(1052)는 결속부재(도시되어 있지 않음)에 의해 트레이(tray)(1054)의 연장부(1062)에 설치되어질 수도 있다. 모터(1052)는 플레이트(1066, 1068)를 트레이(1054)를 따라 이동시키는 스핀들(도시되진 않음)을 회전시킨다. 트레이(1054)는 플레이트(1066)가 따라서 슬라이딩하는 상면을 갖는 측면(1056)을 포함하고 있다. 트레이(1054)는 또한 플레이트(1066)의 이동을 제한하는 단부벽(1058)을 포함하고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 리이드선 삽입 부품(1002)은 또한 펀칭 요소(1020)에 연결되어 있는 펀치 구동체(1022)와 아암(1024)를 포함하고 있다. 본 발명의 실시예에서, 펀치 구동체(1022)는 전자기 솔레노이드이지만, 다른 적당한 구동 메카니즘이 이용되어질 수도 있다.
도 23a-23d를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 리이드선 푸셔(1102)의 실시예가 도시되어 있다. 리이드선 푸셔(1102)는 리이드선 고정 영역(1104)을 갖는 삽입단(1106)을 포함하고 있다. 리이드선 고정 영역(1104)은 리이드선 푸셔(1102)의 제1, 2측(1110, 1112) 양쪽에 위치한 핑거(finger)(1120a, b, c, d)에 의해서 분리되는 글루브(1108a, b, c, d)를 포함하고 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 핑거(1120a, b, c, d) 각각의 길이는 도 23b에 도시된 바와 같이 다르다. 길이의 차이는 다수의 L-형 전도성 리이드선(310)의 사용을 촉진한다.
물론, 상기 리이드선 푸셔(1102)는 리이드선의 삽입을 위해 상응하는 개수의 리이드선을 수용할 수 있도록 다른 수(예를 들면, 1개, 2개, 3개 또는 그 이상)의 글루브를 포함할 수도 있다. 게다가, 상기 글루브는 다른 형상의 리이드선을 수용할 수 있도록 다양한 형상을 가질수도 있다. 또한, 2개 또는 그 이상의 상기 글루브는 다른 깊이를 갖을 수도 있어서 삽입된 리이드선이 서로에 대해서 엇갈리게 배치되거나 다수의 컬럼을 형성하게 된다. 리이드선 푸셔(1102)는 또한 리이드선 푸셔(1102)와 기판(250)이 하기에 보다 상세하게 기술되는 바와 같이 서로에 대해서 이동하는 것을 가능하게 하는 요부(1118)를 포함하고 있다. 리이드선 푸셔(1102)는 또한 결속부재(도시되어 있지 않음)가 관통 삽입되어 리이드선 푸셔(1102)를 그 이동수단에 부착시키는 대형 홀(1114)와 소형 홀(1116)을 포함할 수도 있다.
도 24a-24c를 참조하면, 다이(1006, 1008)의 실시예가 도시되어 있다. 삽입 헤드 어셈블리(1002)는 다이(1006, 1008)를 포함하여 리이드선(310)이 정확하게 리이드선 푸셔(1102)(도 25 참조)상에 형성된 글루브(1108a, b, c, d)밀어지는 것을 확실하게 이루어지도록 한다. 다이(1006, 1008)가 동일하기 때문에, 단지다이(1006)만이 간결성을 위해 보다 상세히 기술되어질 것이다. 다이(1006)은 다수의 정렬 홀(1016)을 포함하고 있다. 스크랩 개구(1014)의 기능은 아래에 보다 상세히 기술되어 질 것이다.
도 25-27을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 리이드선 삽입 기계의 작동이 기술되어질 것이다. 도 25는 리이드선 삽입 기계의 몇가지 부품을 나타내는 분해도를 도시하고 있다. 여기서, 펀칭 요소와, 리이드선 푸셔(1102)와 리이드선 공급원(300)사이의 사이의 상대적인 관계가 이해되어 질 수도 있다.
상기한 바와 같이, 리이드선(310)용의 캐리어(302)는 스플리터 어셈블리(900)에 의해서 2개의 부분(302A, 302B)에 의해서 분할되어질 수도 있다. 도 25에서, 개리어(302A, 302B)의 부분이 해당 공급 컬럼(1070)이 없이 도시되어 있다. 캐리어(302)가 분할되고 나면, 리이드선(310)은 리이드선 삽입 부품(1002)의 양측 어디에서도 동일한 방향으로 배향되게 된다. 상기 캐리어(302)는 펀칭 부재(1020)와 그와 결합된 펀칭 요소의 왕복운동과 함께 공급 컬럼(1070)내에서 롤러에 의해서 리이드선(310) 세트와 동일한 거리까지 하방향으로 전진된다.
본 발명의 실시예에 따른 펀칭 요소를 살펴보면, 리이드선 펀치(1030)와, 스크랩 펀치(1040) 및 정렬 핀(1036)은 왕복 운동하여 다이(1006)와 결합 또는 해제되는 펀칭 부재(1020)상에 설치되어 있다. 도 25의 좌측에 위치한 펀칭 요소는 화살표 "B"의 방향으로 이동하여 캐리어(302A)와 결합되는 반면 도 25의 우측에 위치한 펀칭 요소는 화살표 "C"의 방향으로 동시에 이동하여 캐리어(302B)와 결합되게 된다. 각각의 정렬 핀(1036)은 도 27에 도시된 바와 같이 캐리어(302A)내의 정렬홀(308)과 다이(1006)내의 홀(1016)으로 삽입되는 끝이 테이퍼진 부분을 갖는다. 정렬 핀(1036)은 특정한 정렬 홀(308)과 인접한 리이드선(310)이 다이(1006)에 형성된 슬롯과 정렬되는 것을 확실하게 이루어지도록 한다. 이는 불량한 정렬에 의해 리이드선(310)이 손상되는 것을 방지하며 제작공정의 전반적인 효율을 향상시킨다.
본 발명의 실시예에 따르면, 리이드선 펀치(1030)는 일단이 펀칭 부재(1020)에 설치되어 있는 다수의 리브(1032)를 구비하고 있다. 리브(1032)는 캐리어(302A)의 설치 요소(306)에 고정된 리이드선(310)의 간격과 정렬될 수 있도록 공간적으로 이격되어 있다. 상기 리이드선 펀치(1030)가 이동하여 도 27에 도시된 바와 같이 캐리어(302)상에서 리이드선과 같이 접촉하게 될 때, 리이드선(310)은 설치 요소(306)으로부터 분리되고 다이(1006)에 형성된 슬롯(1010)을 통하여 리이드선 푸셔(1102)내의 해당 글루브(1108a, b, c, d)에 밀어 넣어진다.
본 발명의 실시예에 따르면, 스크랩 펀치(1040)는 다이(1006)에 형성된 스크랩 개구(1014)와 짝을 이루는 장방형의 블록일 수도 있다. 스크랩 펀치(1040)는 스크랩 개구(1014)와 정렬되어 있는 캐리어(302) 하부의 대부분을 절단한다.
도 26을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 펀칭 요소, 푸싱 요소 및 캐리어(302)가 다이(1006, 1008) 또는 플레이트(1126, 1128) 없이 도시되어 있다. 도 26에 도시되어 있고, 하기에 설명되어져 있는 바와 같이, 리이드선(310)이 푸셔(1102)로 펀칭되고 난 후에, 상기 푸셔(1102)는 리이드선을 기판(250)으로 삽입시킨다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 리이드선 푸셔(1102)는 플레이트(1126, 1128)에 의해서 한정되는 터널(1130)의 내부에서 왕복 이동되어진다. 리이드선 푸셔(1102)는 도 26 및 도 28에 도시되어져 있는데, 여기서 전도성 리이드선(310)은 리이드선 푸셔(1102)의 삽입단이(1106)으로부터 연장되어 있다. 도 28을 참조하면, 리이드선 푸셔(1102)에 형성된 글루브(1108a, b, c, d)내의 리이드선(310)의 확대 사시도는 리이드선 펀치(1030)에 의해 펀칭된 후의 리이드선(310)을 나타내고 있다.
기판(250)으로 삽입된 리이드선(310)의 삽입을 살펴보면, 도 29 및 도 30은 리이드선 푸셔(1102)와 기판(250)사이의 상대적인 이동을 도시하고 있다. 리이드선(310)이 리이드선 푸셔(1102)로 삽입되고 난 후에는, 리이드선 푸셔(1102)가 전방으로 이동하여 리이드선(310)이 도 25 및 도 27에 도시된 바와 같은 플레이트(1126, 1128)을 지나서 연장되게 된다. 이와 동시에, 리이드선(310)은 지지부재(500)상에 위치되어 있는 기판(250)의 측벽(252)에 형성된 리이드선 통로(25)에 삽입되어진다. 리이드선(310)이 삽입되고 나면, 축받이(510)와 기판(250)은 도 30에 도시되어 있는 바와 같이 리이드선(310)의 일단을 글루브(100a, b, c, d)로부터 제거하기에 충분한 거리만큼 승강시킨다. 여기서, 리이드선 푸셔(1102)는 터널(1130)속으로 후퇴되고, 리이드선(310)의 다음 세트를 대기할 수 있도록 정렬되어 질 수도 있다. 도 29 및 도 30이 단지 리이드선 푸셔(1102)의 일측을 도시하는 반면에, 상기 공정은 도시되지 않은 리이드선푸셔(1102)의 측부에 위치한 리이드선(310)에도 바로 적용되어 진다. 따라서, 예시된 실시예에서, 6개의 리이드선은 푸셔(1102)가 각각 스트로크 하는 동안에 (상기 푸셔(1102)의 일측에 3개씩) 삽입되어 지게 된다.
리이드선 푸셔(1102)가 후퇴되고 난 후에, 기판 이동 어셈블리(400)은 지지부재(500)를 전진시켜 기판(250)에서 다음에 빈 리이드선 통로(254)가 리이드선 푸셔(1102)아 정렬되도록 한다. 상기 리이드선(310) 삽입 공정은 리이드선(310)의 다음 세트에 대해서 반복되어진다. 다시 말해서, 캐리어(302)는 펀칭을 위해 다이(1006)의 슬롯(1010)에 인접하게 리이드선(310)의 다음 세트의 위치로 전진하고, 리이드선 펀치(1030), 스크랩 펀치(1040) 및 정렬 핀(1036)은 캐리어(302)의 해당 부분에 결합되도록 이동되어진다.
기판(250)의 측벽을 따르라 형성된 모든 리이드선 통로(254)가 채워지면, 축받이(510)은 상방형으로 승강되고, 90도 회전하여 리이드선(310)이 2개의 측벽(252)에 남아 있는 리이드선 통로(254)속으로 삽입되어질 수 있도록 할 수도 있다. 상기 리이드선(310) 삽입 공정은 기판(250)의 모든 리이드선 통로(254)가 채워질 때까지 반복되어진다. 비록 본 발명의 바람직간 실시예가 기판(250)의 대향측에서 작동하는 2개의 삽입 메카니즘을 포함하지만, 본 발명은 4개의 삽입 메카니즘이 이용되어 기판의 모든 측부에서 동시에 작동하는 다른 실시예를 포함한다는 점에 또한 주목해야 한다.
마감된 기판(250) 처리용 공정이 도 31-34를 참조하여 이제 기술되어질 것이다. 도 31을 참조하면, 마감된 기판(250)을 고정하는 컨베이어 어셈블리(1200)가도시되어 있다. 컨베이어 어셈블리(1200)의 바람직한 실시예는 컨베이어 레일(1202)에 설치되어 있는 제품 캐리지(1224)를 포함하고 있다. 도 33a-33c에 도시되어 있는 바와 같이, 각각의 제품 캐리지(1224)는 벽(1228)에 의해서 한정되는 포켓(1226)을 포함할 수도 있다 마감된 기판(250)은 지지부재(500)로부터 제거될 수도 있고, 로봇 어셈블리(600)에 의해서 제품 캐리지(1224)상의 포켓(1226)으로 위치되어질 수도 있다.
바람직하게는, 제품 캐리지(1224)는 모터(1222)(도 32 참조)에 의해 구동되는 무한 벨트 구조(도시되어 있지 않음)에 의해서 컨베이어 레일(1202)을 따라 이동되어 질수 있다. 제품 캐리지(1224)의 이동은 정지 어셈블리(1218, 1220)에 의해서 제한되어 진다. 초기에, 빈 제품 캐리지(1224)는 삽입 영역으로 이동되는데 여기서 상기 캐리지(1224)는 정지 어셈블리(1218)와 접촉한다. 제작공정 동안에, 마감된 기판(250)은 제품 캐리지(1224)의 포켓(1226)으로 삽입되어진다. 제품 캐리지(1224)가 채워지게 된면, 제품 캐리지가 리이드선 삽입 기계(10)로부터 픽업 위치로 제품 캐리지가 이동되어진다.
상기 컨베이어 어셈블리(1200)는 또한 제품 캐리지(1224)의 최소한의 수동 조정만을 허용한다. 도 32를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 컨베이어 어셈블리(1200)의 다양한 부품이 도시되어 있다. 컨베이어 레일(1202)은 자신을 관통하는 홀(1206)을 가지고 있다. 각각의 레일(1202)의 외측에는 삽입되어질 결속 부재용의 홀(1208)을 갖는 스페이서(1204)가 위치되어 있다. 레일(1202)의 양단부에는 상부 플레이트(1210)과 하부 플레이트(1214)가 위치되어 있다. 상부플레이트(1210)는 레일(1202)의 홀(1206)을 통하여 삽입된 결속부재를 수용하는 설치 홀(1240)을 가지고 있다.
도 33에는 제품 캐리지(1224)의 실시예가 도시되어 있다. 제품 캐리지(1224)는 외벽(1230)과 벽(1228)에 의해 한정되는 포켓(1226)을 포함하고 있다. 마감된 기판(250)은 도 34의 포켓내에 도시되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 삽입 공정은 아래에 보다 상세하게 기술되어질 것이다. 이러한 공정은 도 36a 및 36b의 순서도에서 개략적으로 도시되어 있다.
초기에, 튜브(202)는 기판 피더 어셈블리(200)로 위치되어진다. 릴(802, 804)과 그 위에 권선된 리이드선 공급 라인(300)은 디릴러 어셈블리(800)의 상부 프렘임상에 위치되어진다. 인터립(312)은 당겨져서 테이크-업 릴(808)에 걸리는데, 여기서 상기 인터립(312)은 인터립 클램프에 의해서 조여지게 된다. 상기 스크랩 용기(118)은 비워지고 필요한 경우에 도어(106, 108)와 쉴드는 폐쇄되어진다.
운전자는 소프트웨어 제어 어셈블리의 터치 스크린(1302)으로 가서 셋업 메뉴를 선택하게 된다. 운전자가 셋업 메뉴에서 제품(즉, 패키지의 크기 및 리이드선의 수)의 종류를 포함하는 운전 조건을 선택하고 난 후에, 운전자는 운전 메뉴를 사용하여 공정에 대한 조건을 마무리한다.
이후, 컨베이어 어셈블리(1200)는 제품 캐리지(1224)를 삽입 영역으로 전진시키게 된다. 기판(250)은 이후 튜브(202)로부터 분배되고, 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)에 근접한 픽업 위치로 이동하게 된다. 롯봇 아암(620)의 단부에 위치된 카메라는 기판(250)을 관찰하고, 기판(250)의 이미지를 제어 시스템을 되보내서 기판의 방향을 결정한다 기판의 방향에 기초하여, 로봇 아암(620)은 조정되고, 하강되어 기판(250)과 결합된다. 선단 작동체(650)는 기판(250)을 픽업하고 지지부재(500)상에 기판(250)을 위치시킨다. 지지부재(500)는 이후 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)의 사이에 있는 삽입 영역으로 이동되어진다.
이후, 권선된 인터립(312)에 상응하는 캐리어(302)의 부분은 스플리터 어셈블리(900)으로 공급되어 진다. 캐리어(302)는 분할된 후 캐리어(302)를 잡아당겨서 펀징을 위해 리이드선(310)을 위치시키는 리이드선 삽입 부품(1002, 1004)으로 전진되어진다. 상기 리이드선(310)을 바르게 위치시킨후, 펀칭 부재(1020)는 이동하여 리이드선(310)을 펀칭하여 리이드선을 리이드선 푸셔(1102)로 밀어넣는다. 리이드선 푸셔(1102)는 전진하여 리이드선(310)을 기판(250)으로 삽입시키고, 상기 기판(250)은 수직 방향으로 승강된 후, 상기 푸셔(1102)는 후퇴되어진다. 따라서, 패키지의 양측에는 2열의 리이드선이 삽입되어진다. 상기 지지부재(500)는 캐리지(412)를 따라서 전진하여 측벽(252)상에 후속하는 빈 통로와 삽입되어질 리이드선(310)을 정렬시킨다. 이러한 이와같이 기판(250)의 측벽(252)이 채워지게 되면, 지지부재(500)와 기판(250)은 승강되고, 90도 회전된다. 리이드선(310) 삽입 및 지지부재(500)의 전진 공정은 4개의 측벽상에 위치한 통로(254)가 채워질때까지 반복되어진다. 리이드선(310)을 기판(250)으로 삽입하는 리이드선(310) 삽입이 마무리되면, 지지부재(500)는 하적 위치(unload location)로 이동하게 되고, 여기서 로봇 어셈블리(600)는 기판(250)을 픽업하여, 제품 캐리지(1224)상에 위치시키게 된다.
상기 공정이 운전되는 공안에, 로봇 어셈블리(600)는 다른 기판(250)을 다른 지지부재(500)상에 적재시키게 된다. 이는 리이드선 삽입 기계(10)의 일말의 가동 휴지 시간을 제거하게 된다. 또한, 이미 상기한 바와 같이, 완성된 기판(250)이 제품 캐리지(1224)로 이동되어지는 동안에, 리이드선(250)은 다른 기판으로 삽입되어진다.
기판에 동시에 삽입되어지는 전도성 리이드선의 수는 리이드선 푸셔가 충분한수의 해당 글루브를 가지고 있는한 변화되어질 수가 있다. 전도성 리이드선은 주어진 시간에 기판의 양측에 있는 통로의 모든 또는 몇몇 열으로 삽입되어질 수가 있다. 게다가, 전도성 리이드선은 기판의 측벽상에 계단 위치에 상응하게 다른 길이를 가질수도 있다. 부가적으로, 본 발명은 2개 또는 4개의 리이드선 삽입 부품과 함께 사용되어질 수가 있다. 기판에서 리이드선 통로의 수는 삽입되어질 리이드선의 수량에 따라서 다향화될 수가 있다 게다가, 캐리어의 설계에 따라서, 리이드선은 상기 기판의 단지 일측벽에 있는 통로에만 삽입되어질 수가 있고, 측벽의 양측에 삽입되어질 수도 있으며, 측벽의 다른면들에도 삽입되어질 수가 있다.
본 발명의 범위 또는 정신을 벗어나지 않고 다양한 변형 실시예와 변화예가 만들어질 수 있음은 본 발명의 기술 분양의 숙련자에게 있어서 명백할 것이다. 본 발명의 다른 실시예는 명세서를 고려하고 개시된 발명을 실시함으로서 본 발명의 기술분야에 있는 숙련자에게 명백할 것이다. 예를 들면, 리이드선 삽입 기계는 전체적으로 또는 부분적적로 유압 부품에 의해서 동작되어질 수가 있다. 게다가, 리이드선 삽입 기계는 기판을 고정하는 다양한 수의 튜브와, 삽입되어질 리이드선과, 리이드선 삽입기계의 부품 배열을 포함할 수도 있다는 사실은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 여겨져야 한다. 리이드선 삽입 기계의 다른 실시예는 리이드선이 삽입된 이후에 축받이와 기판을 기준으로 리이드선 푸션의 수직 이동에 대해 고려할 수도 있다. 다시 말해서, 리이드선 푸셔의 글루브로부터 리이드선을 제거하기 위해한 축받이를 들어올리는 대신에, 리이드선 푸셔가 승강되어진다. 리이드선 푸셔의 형상은 리이드선을 기판의 측벽상에 있는 리이드선 통로의 다른 배열에 밀어넣을 수 있도록 다양화 될 수도 있다. 본 명세서와 실시예는 하기 청구범에서 지적된 본 발명의 진정한 범위 및 정신과 함께 예시적인 것으로만 간주되어야 하는 것으로 의도되어졌다.
Claims (53)
- 적어도 하나의 전도성 리이드선을 기판 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 일측벽을 통과하는 리이드선 통로와,적어도 하나의 전도성 리이드선을 상기 기판의 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 타측벽을 통과하는 리이드선 통로에 동시에 삽입시키는 단계를 구비한 복수의 측벽을 갖는 기판을 포함하는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:전도성 리이드선 열을 기판 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 일측벽을 통과하는 리이드선 통로와,다른 전도성 리이드선 열을 상기 기판 내부에 유지하기 위해 상기 기판의 타측벽을 통과하는 리이드선 통로에 동시에 삽입시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 전도성 리이드선은 각각의 열에서 다른 길이를 갖는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:적어도 하나의 전도성 리이드선을 리이드선 푸셔에 형성된 거의 L형 글루브에 고정시키는 단계와,상기 적어도 하나의 전도성 리이드선을 상기 기판의 측벽을 통과하는 리이드선 통로에 삽입할 수 있도록 리이드선 푸셔를 신장시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 4 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:상기 리이드선 푸셔의 글루브로부터 적어도 하나의 전도성 리이드선을 배출할 수 있도록 직각 방향으로 리이드선 푸셔를 이동시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 4 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:상기 리이드선 푸셔로부터 적어도 하나의 전도성 리이드선을 배출할 수 있도록 상기 기판을 이동시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 기판의 측벽상에 형성된 빈 리이드선 통로와 상기 리이드선 푸셔를 정렬시킬 수 있도록 상기 기판을 이동시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 리이드선을 상기 기판의 다른 측부로 삽입하는 것을 허용하도록 상기 기판을 회전시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:적어도 하나의 전도성 리이드선을 스트립 형태로 공급하는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 9 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:상기 스트립으로부터 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선의 글루브에 리이드선을 삽입할 수 있도록 펀치를 전진시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:스트립 형태의 전도성 리이드선을 공급하는 단계와;상기 스트립으로부터 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선을 상기 리이드선 푸셔의 대향측에 형성된 글루브에 리이드선을 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔의 양측으로 펀치를 전진시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 1 항에 있어서,적어도 하나의 리이드선을 동시에 삽입시키는 상기 단계는:다수의 전도성 리이드선 열을 일측벽 내부에 유지하기 위해 상기 일측벽에 형성된 리이드선 통로와,다수의 전도성 리이드선 열을 타측벽 내부에 유지하기 위해 상기 타측벽에 형성된 리이드선 통로에 동시에 삽입시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 리이드선 푸셔에 형성된 거의 L형 글루브에 전도성 리이드선을 고정시키는 단계와;상기 전도성 리이드선을 기판의 측벽상에 형성된 리이드선 통로에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔를 신장시키는 단계를 구비한 복수개의 측벽을 갖는 기판을 포함하는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 전도성 리이드선을 상기 리이드선 푸셔에 형성된 글루브로부터 배출하도록 상기 기판을 이동시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔의 글루브로부터 상기 전도성 리이드선을 배출할 수 있도록 거의 직각방향으로 리이드선 푸셔를 이동시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 기판의 측벽상에 형성된 빈 리이드선 통로와 상기 리이드선 푸셔를 정렬할 수 있도록 상기 기판을 이동시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 리이드선을 상기 기판의 다른 측부로 삽입하는 것을 허용하도록 상기 기판을 회전시키는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔에 형성된 L형 글루브에 삽입하기 위해 스트립 형태의 리이드선을 공급하는 단계를 더 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 리이드선 공급 단계는 상기 스트립으로부터 적어도 하나의 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선을 상기 리이드선 푸셔의 글루브에 형성된 글루브에 삽입할수 있도록 펀치를 전진시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔는 다수의 거의 L형 글루브를 포함하고, 이들 각각의 글루브는 상기 기판 삽입용 전도성 리이드선을 고정하는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 리이드선 공급 단계는 상기 스트립으로부터 다수의 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선을 상기 리이드선 푸셔의 글루브에 형성된 글루브에 삽입할수 있도록 펀치를 전진시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 리이드선 공급 단계는:스트립 형태의 상기 전도성 리이드선을 공급하는 단계와;상기 스트립으로부터 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선을 상기 리이드선 푸셔에 형성된 글루브에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔의 양측으로에 펀치를 전진시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔는 상기 푸셔의 제1측에 다수의 거의 L형 글루브와, 상기 리이드선 푸셔의 제1측의 반대인 상기 리이드선 푸셔의 제2측에 다수의 거의 L형 글루브를 포함하고, 이들 각각의 글루브는 상기 기판 삽입용 전도성 리이드선을 고정하는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 23 항에 있어서,스트립 형태로 상기 전도성 리이드선을 공급하는 단계와;상기 스트립으로부터 전도성 리이드선을 분리하고, 상기 리이드선을 상기 리이드션 푸셔의 글루브에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔의 양측으로 펀치를 전진시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 고정 단계는 상기 리이드선 푸셔로서 다수의 전도성 리이드선을 고정하는 단계를 구비하고, 상기 신장 단계는 다수의 상기 전도성 리이드선을 일측벽을 통과하는 리이드선의 열에 상기 다수의 리이드선을 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔를 신장시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 25 항에 있어서,상기 신장 단계는 상기 다수의 전도성 리이드선을 일측벽을 통과하는 다수의 리이드선 열에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔를 신장시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 전도성 리이드선을 부가적인 리이드선 푸셔에 형성된 거의 L형 글루브에 고정하는 단계와;상기 전도성 리이드선을 상기 기판의 타측벽을 통과하는 리이드선 통로로 삽입할 수 있도록 상기 부가적인 푸셔를 더 신장시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 27 항에 있어서,상기 푸셔를 신장시키는 단계와 상기 부가적인 푸셔를 신장시키는 단계는 동시에 수행되는 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔와 상기 부가적인 리이드선 푸셔 각각은 다수의 전도성 리이드선을 고정하고;상기 리이드선 푸셔를 신장시키는 단계는 다수의 전도성 리이드선을 상기 기판의 일측벽을 관통하는 리이드선 통로로 삽입할 수 있도록 연장시키는 단계를 구비하고 있고;상기 부가적인 리이드션 푸셔를 시장시키는 단계는 다수의 전도성 리이드선을 상기 기판의 타측벽을 관통하는 리이드선 통로로 삽입할 수 있도록 신장시키는 단계를 구비한 반도체 다이 캐리어 제작 방법.
- 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하고, 상기 하우징은 상기 하우징의 외면을 한정하는 복수개의 측벽을 갖으며, 상기 측벽 각각은 상기 측벽에 형성된 복수개의 리이드선 통로를 갖는 장치에 있어서:전도성의 리이드선을 상기 하우징의 측부에 형성된 리이드선 통로로 삽입하고, 상기 리이드선 삽입중에 상기 전도성 리이드선을 고정하는 글루브를 포함하는 리이드선 푸셔를 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 30 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔는 복수개의 전도성 리이드선을 상기 하우징에 동시에 삽입하는 복수의 글루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 31 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔는 제1측에 복수개의 글루브와 상기 제1측의 반대인 제2측에 복수개의 글루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 31 항에 있어서,전도성 리이드선 삽입중에 상기 하우징을 고정하는 맨드릴을 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 33 항에 있어서,전도성 리이드선을 스트립으로부터 제거하고 전도성 리이드선을 상기 리이드선 푸셔의 글루브로 위치시키는 펀치를 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 34 항에 있어서,전도성 리이드선을 하우징에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔를 신장및 후퇴시키는 구동체와;모니터링 시스템과;상기 모니터링 시스템으로부터 수신된 신호에 따라 상기 구동체를 제어하는 컨트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 30 항에 있어서,리이드선을 상기 하우징의 제2측부에 형성된 리이드선 통로에 삽입하고, 리이드선 삽입중에 상기 전도성 리이드선을 고정하는 글루브를 포함하는 제2리이드선 푸셔를 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 36 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔와 상기 제2리이드선 푸셔는 각각 복수개의 전도선 리이드선을 하우징에 동시에 삽입하는 복수의 글루브를 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 37 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔와 상기 제2리이드선 푸셔는 각각 다수 열의 전도성 리이드선을 상기 하우징에 동시에 삽입하는 복수의 글루브를 포함한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 37 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔와 상기 제2리이드선 푸셔는 전도성 리이드선을 하우징에 동시에 삽입한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 37 항에 있어서,전도성 리이드선을 삽입하는 도중에 상기 하우징을 고정하기 위한 맨드릴을 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 40 항에 있어서,제1스트립으로부터 전도성 리이드선을 형성하고 상기 리이드선을 상기 리이드선 푸셔의 글루브로 위치시키는 제1펀치와;제2스트립으로부터 전도성 리이드선을 형성하고 상기 리이드선을 상??제2리이드선 푸셔의 글루브로 위치시키는 제2펀치를 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 41 항에 있어서,상기 리이드선 푸셔를 신장 및 후퇴시키는 제1구동체와;상기 리이드선 푸셔를 신장 및 후퇴시키는 제2구동체와;모니터링 시스템과;상기 모니터링 시스템으로부터 수신된 신호에 따라 상기 제1, 2구동체를 제어하는 컨트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 전도성 리이드선을 반도체 다이를 고정하기 위해 기판에 삽입하고, 상기 기판은 그 외면을 한정하는 복수개의 절연 측벽을 갖으며, 상기 측벽 각각은 복수개의 수직으로 이격된 열이 통과하는 형태로 형성된 복수개의 리이드선 통로를 갖는 장치에 있어서:복수개의 L형 전도성 리이드선을 상기 기판에 삽입하기 위한 수단과;삽입된 전도성의 리이드선이 내부로 삽입되도록 하는 개개의 기판을 공급하는 수단과;L형 전도성 리이드선을 상기 기판의 일측벽에 적어도 2개의 수직으로 이격된 열이 통과하는 형태로 형성된 리이드선 통로로 동시에 삽입하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 반도체 다이 캐리어 하우징을 고정하는 맨드릴과;개개의 전도성 리이드선을 이동 매체로부터 제거하는 펀치와;전도성 리이드선의 공급원을 수용하고 전도성 리이드선을 상기 반도체 다이 캐리어 하우징에 형성된 리이드선 통로로 삽입하는 리이드선 푸셔를 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 캐리어 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 44 항에 있어서,상기 리이드선 삽입후에 상기 반도체 다이 캐리어 하우징을 수용하기 위한 제품 캐리지를 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 45 항에 있어서,상기 리이드선을 삽입하기전에 개개의 하우징을 맨드릴로 이동시키며, 상기 리이드선을 삽입한 후에 상기 맨드릴로부터 상기 개개의 하우징을 제품 캐리지로 이동시키도록 구성된 로봇 아암을 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 44 항에 있어서,상기 펀치는 L형 전도성 리이드선을 이동 매체로부터 제거하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 44 항에 있어서,싱기 이동 수단은 복수개의 전도성 리이드선을 포함하는 거의 연속적인 스트립을 구비하고 있고, 상기 펀치는 상기 전도성 리이드선을 상기 거의 연속적인 스트립으로부터 제거하는 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 44 항에 있어서,복수개의 반도체 다이 캐리어 하우징을 내부에 고정하는 튜브와, 한번에 하나의 하우징을 상기 튜브로부터 제거하는 튜브에 결합된 방출 장치를 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 49 항에 있어서,개개의 하우징을 상기 배출 장치로부터 상기 맨드릴로 이동시키도록 구성된 로봇 아암을 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 44 항에 있어서,상기 전도성 리이드선을 상기 반도체 다이 캐리어 하우징에 형성된 리이드선 통로에 삽입하는 제2리이드선 푸셔를 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 51 항에 있어서,상기 전도성 리이드선을 상기 반도체 다이 캐리어 하우징을 통과하는 통로로 동시에 삽입할 수 있도록 상기 리이드선 푸셔와 상기 제2리이드선 푸셔를 동시에 구동시키기 위한 리이드선 푸셔 구동체를 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
- 제 52 항에 있어서,상기 반도체 다이 캐리어내로 상기 전도성 리이드선리 삽입되는 깊이를 제어하기 위해 상기 리이드선 푸셔 구동체를 제어하는 구동체 컨트롤러를 더 구비한 전도성 리이드선을 반도체 다이 패키지 하우징에 삽입하기 위한 장치.
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