KR101121256B1 - 수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임 - Google Patents

수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임 Download PDF

Info

Publication number
KR101121256B1
KR101121256B1 KR1020050065987A KR20050065987A KR101121256B1 KR 101121256 B1 KR101121256 B1 KR 101121256B1 KR 1020050065987 A KR1020050065987 A KR 1020050065987A KR 20050065987 A KR20050065987 A KR 20050065987A KR 101121256 B1 KR101121256 B1 KR 101121256B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead frame
platform
support platform
slot
clamping
Prior art date
Application number
KR1020050065987A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060053957A (ko
Inventor
데이비드 프루이트
Original Assignee
리니어 테크놀러지 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 리니어 테크놀러지 코포레이션 filed Critical 리니어 테크놀러지 코포레이션
Publication of KR20060053957A publication Critical patent/KR20060053957A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101121256B1 publication Critical patent/KR101121256B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49503Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4821Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
    • H01L21/4842Mechanical treatment, e.g. punching, cutting, deforming, cold welding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

플래시를 제거하는 싱귤레이션 장치에서 사용되는 리드 프레임이 구성된다. 다이 패드는 타이 바 및 외주부에 의해 프레임의 측면에 부착된다. 외주부는 리드 프레임 세그먼트에 의해 브리지되는 개구부를 정의하는 컷아웃 부분을 포함한다. 장치는 리드 프레임 세그먼트에 대해 하향으로 힘을 인가하고, 하향으로 인가된 힘을 타이 바에 인가된 수평방향 힘으로 변환한다. 싱귤레이션 프로세스는 리드 프레임 금속의 이동을 리드 프레임의 플레인 내로 제한한다.
리드 프레임, 반도체 패키지, 타이 바, 플래시, 싱귤레이션

Description

수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임{FLASHLESS LEAD FRAME WITH HORIZONTAL SINGULATION}
도1은 IC 패키지를 위한 통상적인 리드 프레임의 일부의 사시도.
도2는 본 발명에 따른 리드 프레임의 일부의 사시도.
도3은 투명하게 도시된 캡슐화 패키지를 갖는 도2의 리드 프레임 부분의 사시도.
도4는 리드가 리드 프레임으로부터 분리된 후의 도2의 리드 프레임 부분의 사시도.
도5는 본 발명에 따른 싱귤레이션 장치의 사시도.
도6은 도5의 장치의 지지 플랫폼 구성요소의 사시도.
도7은 본 발명에 따른 리드 프레임이 배치된 도6의 지지 플랫폼의 사시도.
도8은 도5의 장치의 부분 사시도.
도9는 도5의 장치의 하부구조의 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10: 리드 프레임 14: 다이 패드
16: 리드 18: 외주부
19: 내주부 20: 타이 바
22: 노치 24: 리드 프레임의 양측면
26: 개구부 28: 리드 프레임 세그먼트
본 발명은 반도체 패키지를 위한 리드 프레임에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공통 리드 프레임으로부터 하나 또는 그 이상의 이러한 패키지를 분리하는 것에 관한 것이다.
집적 회로의 통상적인 처리는, 다이 상에 배치된 본드 패드로부터 캡슐화된 패키지로부터 외부로 확장되는 각각의 리드까지 접속된 본드 와이어(bond wire)를 갖는 캡슐화된 패키지를 생성하고, 이 캡슐화된 패키지 내에 IC 다이가 다이 패드에 의해 지지된다. 패터닝된 개구부를 갖는 대체로 평탄한 금속 스트립은, 그 상부에 몇개의 IC 패키지가 제조된 후, 리드 프레임으로부터 분리되는 리드 프레임으로 사용된다. 도1은 패키지의 형성 이전에 하나의 IC 패키지를 위한 통상적인 리드 프레임(10)의 일부의 사시도이다. 점선 블록(12)은, 다이 패드(14) 및 개별 리드(16)를 포함하며, 프로세스의 완료 이후에 패키지의 부분이 되는 금속 스트립의 일부를 한정한다. 다이 패드는 노치(22)를 포함하는 타이 바(tie bar)(20)에 의해 리드 프 레임의 외주에 부착되는 것으로 도시된다. IC 패키지는, 다이를 다이 패드에 접착하여 장착하고, 다이 상의 개별 본드 패드와 각각의 리드(16) 사이에 본딩 접촉을 형성하고, 실질적으로 블록(12)에 의해 정의된 영역 내부의 리드, 본드 와이어 및 다이 패드를 캡슐화하도록 몰딩 화합물을 도포함으로써 제조된다. 그 후, 리드는 리드 프레임과의 공통 접속(common connection)으로부터 떼어지고, 소정의 리드 구성을 획득하기 위해 추가 처리된다. 이 단계에서, 캡슐화된 패키지는 타이 바(20)에 의해 리드 프레임 외주에 부착된 채로 남게 된다.
표준 방법론에 따르면, 일반적으로 "싱귤레이션(singulation)"으로 언급되는, 리드 프레임으로부터의 캡슐화된 반도체 패키지의 분리는 패키지에 직접 부하를 인가하는 툴을 사용하여 달성된다. 리드 프레임 외주는 클램핑되고, 펀치의 가압(thrust)에 의해 패키지로부터 강제적으로 분리된다. 펀치는 지지 부재의 플레인(plane)으로부터 패키지를 밀어내는 경향이 있고, 그에 따라 접속 타이 바에 장력이 가해진다. 변형된 금속은, 노치(22)에 브레이크(break)가 발생될 때까지 그 최종 강도에 도달한다. 패키지에 인가된 힘은 힘의 인가에 직접 관련된 모멘트(moment)를 생성한다. 이 모멘트는 몰딩된 유닛을 열화시켜, 실리콘 다이 크래킹 및/또는 플라스틱 패키지 크래킹을 야기한다.
종래의 싱귤레이션 기술이 직면한 부가적인 문제점은 "플래시(flash)"의 형성이다. 플래시는 플라스틱 몰딩 작업의 결과이다. 툴링 허용오차(tooling tolerance)로 인해, 리드 프레임은 몰딩된 유닛의 에지로부터 싱귤레이션 페어링 라인(singulation paring line)까지 거리를 유지하여야 한다. 플래시는 리드 프레 임의 분리 영역 주위에서 트랩된(trapped) 플라스틱 물질이다. 플라스틱 몰딩 물질은 거리의 가변 정도를 갖는 패키지 종단으로부터 발생된다. 통상적인 전달 방법은 "테이프 및 릴(tape and reel)" 전달 및 "튜브(tube)" 전달을 포함한다. 테이프 및 릴 전달에 따르면, 유닛은 테이프에 의해 실(seal)되는 포켓 내에 배치된다. 포켓의 크기는 모든 몰딩된 유닛 패키지를 수용하도록 선택되어야 한다. 플래시는 임의 방식으로 변화하는 경향이 있기 때문에, 큰 포켓이 제공되어야 한다. 튜브 전달 시스템은 각 튜브 내에 복수의 IC 패키지를 전달한다. "싱글링(shingling)" 문제점은 종종 인접 패키지들 사이의 플래시 상호작용의 결과로서 발생하는데, 여기서 유닛은 튜브 내의 적소에 쐐기고정된다(wedged). 튜브로부터의 패키지의 안전하고 적절한 제거가 어려워진다.
따라서, 반도체 패키지의 손상을 방지하고, 플래시를 제거하는 싱귤레이션 방법 및 장치에 대한 필요성 및 이러한 방법 및 장치와 호환하는 개선된 리드 프레임에 대한 필요성이 존재한다.
본 발명은 종래의 싱귤레이션 기술에 일어나기 쉬운 휨 모멘트 힘(bending moment force)을 방지함으로써 적어도 부분적으로 전술한 종래 기술의 필요성을 만족시킨다. 리드 프레임은 본 발명의 장치에 사용하기 위해 또한 플래시의 제거를 위해 적절하게 구성된다. 다이 패드는 외주부 및 타이 바에 의해 프레임의 측면에 부착된다. 외주부는 리드 프레임 세그먼트에 의해 브리지되는 개구부를 정의하는 컷아웃(cutout) 부분을 갖는다. 장치는 싱귤레이션 중에 패키지로부터 타이 바의 분리를 위해 리드 프레임 세그먼트에 대해 적절하게 힘을 인가하는 한편, 리드 프레임 금속의 이동을 리드 프레임의 플레인 내로 제한한다.
장치는, 리드 프레임 및 반도체 패키지가 플랫폼의 표면 상에 배치될 때, 캡슐화된 반도체 패키지의 일부분을 수용하기 위해 리세스된(recessed) 공동을 갖는 대체로 평탄한 지지 플랫폼(supporting platform)을 포함하는 것이 유리하다. 지지 플랫폼 내의 슬롯은 플랫폼의 중간부에 의해 공동으로부터 분리된다. 리드 프레임 외주와 반도체 패키지 사이에 접속된 리드 프레임 세그먼트는 중간부와 슬롯을 오버레이한다. 그 자신을 통해 연장되는 수직 슬롯을 갖는 클램핑 플랫폼은, 클램핑 플랫폼이 리드 프레임을 갖고 그것 사이에 위치된 반도체 패키지가 부착된 지지 플랫폼 상에 적절하게 위치될 때 지지 플랫폼 내의 슬롯과 정렬된다. 지지 플랫폼과 결합되는 클램핑 플랫폼의 표면은 지지 플랫폼 내의 공동에 대체로 합치 및 정렬된 리세스를 포함하여, 캡슐화된 패키지가 클램핑 플랫폼 리세스 및 지지 플랫폼 공동에 의해 생성된 공간 내부에 포함된다. 리세스와 슬롯 사이의 클램핑 플랫폼의 부분은 표면으로부터 보다 작은 정도로 리세스된다.
장착 플랫폼 내의 슬롯과 합치되도록 구성된 펀치 기구는 반도체 패키지로부터 리드 프레임 세그먼트를 분리하기 위해 하향으로 가압될 수 있다. 펀치 기구는 리드 프레임의 플레인에 수직인 방향으로 클램핑과 슬라이딩가능하게 맞물릴 수 있는 가압 플랫폼(thrusting platform)과 결합되는 것이 바람직하다. 지지 플랫폼 내의 슬롯은 공동의 측벽, 반도체 패키지로부터 분리될 리드 프레임 세그먼트를 지지 하기 위해 리브를 그 사이에 형성하는 중간부 표면과 대체로 평행하다. 유사한 슬롯이 반도체 패키지의 타측 상에 리드 프레임 세그먼트를 분리하기 위한 공동의 대향 측벽에 평행하게 또한 인접하여 제공될 수도 있다. 클램핑 및 가압 플랫폼은 유사한 방식으로 제2 슬롯에 대하여 공급되고, 이러한 배치는 리드 프레임에 접속되는 복수의 반도체 디바이스를 수용하도록 반복될 수 있다. 따라서, 지지 플랫폼은, 복수의 공동, 각 공동에 인접한 한 쌍의 슬롯, 지지 플랫폼 내의 슬롯과 정렬을 위한 복수의 슬롯을 갖는 장착 플랫폼, 및 복수의 펀치를 갖는 가압 플랫폼을 포함할 수도 있고, 그에 따라 복수의 반도체 패키지는 동시에 단일 리드 프레임으로부터 분리된다. 공동은 로우(row)의 어레이로 지지 플랫폼 내에 구성되고, 각 로우는 복수의 공동을 포함하는 것이 바람직하다. 지지 플랫폼이 제거 가능하게 배치될 수 있는 하부구조는 지지 플랫폼 내의 공동의 로우와 각각 정렬되는 리세스의 로우로 구성된다. 리드 프레임으로부터 분리되는 반도체 패키지는 하부구조의 대응 리세스 내에 배치된다.
본 발명의 부가적인 이점은 다음의 상세한 설명을 통해 당업자에게 명백하게 이해될 수 있으며, 여기서, 본 발명을 수행하는 최적 모드를 설명하는 방식으로 본 발명의 바람직한 실시예만을 설명한다. 또한, 본 발명은 다른 실시예 및 상이한 실시예를 수용할 수 있고, 본 발명을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형될 수 있다. 따라서, 도면 및 설명은 사실상 예시로서 간주되어야 하며, 제한으로 간주되지는 않는다.
도2에 본 발명에 따른 리드 프레임(10)이 도시되어 있다. 단일 반도체 패키지 프레임 일부만이 도시되어 있지만, 그 구성은 후술되는 바와 같이 복수의 반도체 패키지를 수용하기 위해 단일 금속 스트립 상에서 반복된다. 다이 패드(14)는 외주부를 통해 타이 바(20)에 의해 리드 프레임의 양측면(24)에 부착된다. 각 외주부는 컷아웃 부분 또는 개구부(26)와, 외주부(18)와 내주부(19) 사이의 개구부를 브리지하는 리드 프레임 세그먼트(28)를 포함한다. 리드 프레임 세그먼트는 실질적으로 타이 바와 정렬되고, 내주부(19)에 의해 그로부터 분리된다. 리드가 분리 처리되기 전에 형성되는 반도체 캡슐화는 도3에서 투명하게 도시된 바와 같이 바운딩된다. 캡슐화된 패키지(32)는 실질적으로 동일 거리만큼 리드 프레임 상하로 연장된다. 도4는 리드(16)가 분리 및 처리된 후의 리드 프레임을 도시한다. 리드 프레임 외에, 캡슐화된 패키지는 설명을 명백하게 하기 위해 삭제되었다.
이 단계에서, 패키지는 노치 타이 바(20)에 의해서만 리드 프레임에 부착되고, 패키지 프로세스를 완료하기 위해서는 싱귤레이션만이 필요하다. 본 발명에 따른 싱귤레이션을 실행하기 위한 장치는 도5의 3차원 사시도로 도시된다. 장치는 하측 부분(40) 및 상측 부분(60)을 포함한다. 하측 부분의 지지 플랫폼(42)은 도시된 위치에서 하부구조(52)와 제거가능하게 결합되어 있다. 복수의 캡슐화된 패키지가 부착되는 리드 프레임(10)은 지지 플랫폼에 의해 지지되는데, 이는 도6에 보다 상세하게 도시되어 있다. 도9에 하부구조(52)가 보다 상세하게 도시되어 있다.
상측 부분(60)에서, 클램핑 플랫폼(62)은 스프링 부하형 가이드(spring loaded guides) 수단(64)에 의해 가압 플랫폼(80)과 슬라이딩 가능하게 맞물린다. 도8에 도시된 바와 같이, 복수의 수직 지향 슬롯(vertically oriented slot)(66)은 클램핑 플랫폼(62)의 상측 표면(68)으로부터 하측 표면(70)으로 연장된다. 가압 플랫폼으로부터의 하향으로 연장하는 것은 슬롯(66)의 수와 동일한 수의 복수의 펀치 기구이다. 펀치 기구는 수직으로 슬롯(66)과 정렬되고, 클램핑 플랫폼(62)과 완전히 맞물리기 위해 하측 가압 플랫폼이 하향 이동될 때 슬롯 내에서 피팅되도록 구성되며, 슬롯을 넘어 연장된다.
도6에 도시된 지지 플랫폼(42)은 대체로 평탄한 상측 표면(43)을 갖는다. 슬롯(44)의 어레이와 공동(46)은 6개의 캡슐화된 IC 패키지가 부착된 리드 프레임을 지지하기 위해 제공된다. 각 공동(46)은 리드 프레임의 캡슐화된 패키지 중 하나를 수용하기 위해 중간 지지부(48)에 의해 양측면 상에서 슬롯(44)으로부터 분리된다. 중간부의 상측 표면은 표면(43)의 플레인 내에 있다. 홀(hole)(50)은 상측 부분(60)의 클램핑 플랫폼(62) 및 리드 프레임과, 하측 부분(40)의 지지 플랫폼(42)을 정렬하기 위해 제공된다.
클램핑 플랫폼(62)의 하측 표면(70)은 도8에서 볼 수 있다. 6개의 리세스(72)는 지지 플랫폼 내의 대응 공동(46)과 외주 길이에서 합치되고, 그와 정렬된다. 리세스는 리드 프레임 플레인보다 위에 있는 캡슐화된 패키지의 부분을 포위하는데 충분한 공간을 제공할 정도로 충분히 깊다. 리세스와 슬롯 사이에 있는 클램핑 플랫폼의 부분(74)도 표면(70)으로부터 리세스된다. 하부구조(52)는, 도9에서 보다 명확하게 도시된 바와 같이, 3개의 채널(54)을 포함한다. 각 채널은 지지 플 랫폼 내의 한 쌍의 공동(46)과 정렬되고, 싱귤레이션이 완료된 후에 IC 패키지를 위한 리포지토리(repository)의 역할을 한다.
싱귤레이션 작업에서, 도7에 도시된 바와 같이, 캡슐화된 IC 패키지가 부착된 리드 프레임(10)은 지지 플랫폼(42) 상에 배치된다. 각 캡슐화된 패키지(32) 및 그 연관된 리드(16)는 지지 플랫폼의 표면(43)과의 접촉 없이 공동(46)을 오버레이한다. 리드 프레임의 하측 표면의 플레인보다 아래에 있는 각 캡슐화 패키지의 대부분은 각 공동으로 연장된다. 리드 프레임은 슬롯(44)을 오버레이하는 리드 프레임 세그먼트(28)를 제외하고는 지지 플랫폼과 접촉하고 있다. 각 패키지의 양측면 상의 타이 바(20)는 지지 플랫폼의 중간부(48)와 접촉하고 있고, 그에 의해 지지된다.
다음으로, 지지 플랫폼 상에 상측 부분(upper section)(60)이 장착되고, 슬롯(66)이 슬롯(44)을 오버레이하고, 리세스(72)가 공동(46)을 오버레이하도록 이들과 정렬된다. 리드 프레임은 상측 부분의 플랫폼(62)과 지지 플랫폼(42) 사이에서 클램핑된다. 그런 다음, 플랫폼(80)은 클램핑 플랫폼(62) 내의 정렬된 슬롯(66)을 통해 펀치 기구(82)를 하방으로 구동하도록 가압하여, 패키지 양측면 상의 리드 프레임 부분(20) 상에 하향 힘(downward force)을 부가한다. 타이 바가 지지 플랫폼의 중간부(48)에 의해 지지되기 때문에, 하향 힘은 타이 바 상에서 수평 힘을 생성하는데, 이 힘 노치(22)에서 캡슐화된 패키지로부터 타이 바의 분리를 가능하게 하기에 충분하다. 타이 바의 수평 이동은 표면(70) 내의 리세스(74)로 인해 클램핑 플랫폼에 의해 방해받지 않는다. 그런 다음, 패키지는 리드 프레임으로부터 완전히 분리되고, 하부구조(52)의 채널(54) 내에 개별적으로 배치된다.
손상을 야기할 수 있는 패키지 상의 벤딩 힘(bending force)의 부가없이 싱귤레이션이 달성되었다. 패키지 종단으로부터의 몰딩 물질의 돌출이 없기 때문에, 플래시가 제거되었다.
본 명세서에서는 본 발명의 바람직한 실시예만을 제시하여 설명하고, 그 몇몇의 변형예는 설명하지 않았다. 그러나 본 발명은 다양한 다른 결합 및 환경에서 사용가능하고, 본 명세서에서 설명한 바와 같은 요지 내에서 수정 또는 변경이 이루어질 수 있다는 것을 이해해야 한다.
본 발명에 따르면, 반도체 패키지의 손상을 방지하고, 플래시를 제거할 수 있는 개선된 리드 프레임을 제공할 수 있다.

Claims (15)

  1. 타이 바(tie bar)에 의해 리드 프레임에 부착된 반도체 패키지를 상기 리드 프레임으로부터 분리하기 위한 장치에 있어서,
    상기 리드 프레임 및 상기 반도체 패키지가 플랫폼의 표면 상에 배치될 때, 상기 리드 프레임을 지지하기 위해, 공동(cavity)과, 플랫폼의 중간부에 의해 상기 공동으로부터 분리된 슬롯을 갖는 평탄한 지지 플랫폼 - 여기서, 상기 공동은 상기 반도체 패키지를 포위하도록 치수가 정해지고, 리드 프레임 세그먼트가 상기 슬롯을 오버레이함 - ;
    상기 지지 플랫폼에 상기 리드 프레임을 클램핑(clamping)하기 위한 클램핑 플랫폼 - 여기서, 상기 리드 프레임은 상기 클램핑 플랫폼 및 상기 지지 플랫폼 사이에 클램프되고, 상기 클램핑 플랫폼은 상기 지지 플랫폼 내의 슬롯과 정렬되는, 그 자신을 통과하는 슬롯을 가짐 - ; 및
    상기 클램핑 플랫폼을 통해 하방으로 상기 리드 프레임을 가압함으로써, 상기 지지 플랫폼의 표면에 평행한 방향으로 상기 반도체 패키지로부터 상기 타이 바를 분리하는 디바이스
    를 포함하는 장치.
  2. 타이 바에 의해 리드 프레임에 부착된 반도체 패키지를 상기 리드 프레임으로부터 분리하기 위한 장치에 있어서,
    상기 리드 프레임 및 상기 반도체 패키지가 플랫폼의 표면 상에 배치될 때, 상기 리드 프레임을 지지하기 위해, 공동과, 플랫폼의 중간부에 의해 상기 공동으로부터 분리된 슬롯을 갖는 평탄한 지지 플랫폼 - 여기서, 상기 공동은 상기 반도체 패키지를 포위하도록 치수가 정해지고, 리드 프레임 세그먼트가 상기 슬롯을 오버레이함 - ;
    상기 지지 플랫폼에 상기 리드 프레임을 클램핑하기 위한 클램핑 플랫폼 - 여기서, 상기 리드 프레임은 상기 클램핑 플랫폼 및 상기 지지 플랫폼 사이에 클램프되고, 상기 클램핑 플랫폼은 상기 지지 플랫폼 내의 슬롯과 정렬되는, 그 자신을 통과하는 슬롯을 가짐 - ; 및
    상기 클램핑 플랫폼을 통해 하방으로 상기 리드 프레임을 가압하기 위해, 상기 클램핑 플랫폼과 슬라이딩 가능하게 맞물림 가능한 가압 플랫폼(thrusting plating)
    을 포함하는 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼의 표면에 평행한 방향으로 상기 반도체 패키지로부터 상기 타이 바를 분리하기 위해 상기 가압 플랫폼에 부착된 펀치
    를 더 포함하는 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼 내의 상기 슬롯은 상기 공동의 제1 측벽에 평행하고, 상기 지지 플랫폼은 상기 공동의 제2 측벽에 평행한 제2 슬롯
    을 더 포함하는 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 클램핑 플랫폼은, 상기 클램핑 플랫폼이 상기 지지 플랫폼 상에 장착될 때, 상기 지지 플랫폼 내의 상기 제2 슬롯과 정렬되는 제2 슬롯을 더 포함하고, 상기 가압 플랫폼은 상기 클램핑 부분 내의 상기 제2 슬롯과 합치(conforming)되도록 구성된 제2 펀치를 포함하는
    장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 클램핑 플랫폼은 상기 지지 플랫폼 내의 상기 공동과 합치되고, 정렬되는 리세스를 더 포함하는
    장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼은 복수의 상기 공동 및 상기 각 공동에 인접한 한 쌍의 슬롯을 포함하고, 상기 클램핑 플랫폼은 상기 지지 플랫폼 내의 상기 슬롯과의 정렬을 위한 복수의 슬롯을 포함하고, 상기 가압 플랫폼은 복수의 펀치를 포함하며, 그에 따라 복수의 반도체 패키지가 단일 리드 프레임으로부터 동시에 싱귤레이트(singulate)될 수 있는
    장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 공동은 로우(row)의 어레이로 상기 지지 플랫폼 내에 구성되고, 각 로우는 복수의 공동을 포함하며,
    상기 장치는 상기 지지 플랫폼이 그 상부에서 제거가능하게 결합되는 하부구조(substructure)를 더 포함하고,
    상기 하부구조는 상기 지지 플랫폼 내의 상기 공동의 상기 로우와 각각 정렬되는 채널을 포함하며, 그에 따라 상기 리드 프레임으로부터 분리되는 상기 반도체 패키지는 상기 하부구조의 리세스 내에 증착(deposite)되는
    장치.
  9. 타이 바에 의해 리드 프레임에 부착된 캡슐화된 반도체 패키지를 상기 리드 프레임으로부터 분리하기 위한 방법에 있어서,
    2개의 평탄한 표면 사이에 상기 리드 프레임을 클램핑하는 단계;
    상기 캡슐화된 반도체 패키지에, 미리 결정된 거리 이내의 위치에 상기 타이 바를 지지시키는 단계; 및
    상기 표면의 플레인(plane)에 수직인 방향으로 외주 리드 프레임 세그먼트에 가압력(thrust force)을 인가하고, 그에 따라 상기 표면의 플레인에 평행한 방향으로 상기 반도체 패키지로부터 상기 타이 바를 분리하는 단계
    를 포함하는 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 클램핑 단계는,
    상기 반도체 패키지의 일부분을 포함하기 위한 공동을 갖는 지지 플랫폼 상에 반도체 패키지가 부착된 상기 리드 프레임을 배치하는 단계 - 여기서, 상기 외주 리드 프레임 세그먼트는 상기 지지 플랫폼 내의 슬롯 상에 위치되고, 상기 타이 바는 상기 공동에 근접한 상기 지지 프레임의 중간부 상에 위치됨 - ; 및
    슬롯화된(slotted) 플랫폼 내의 슬롯이 상기 지지 플랫폼 내의 슬롯과 정렬되도록, 상기 슬롯화된 플랫폼을 상기 리드 프레임과 상기 지지 플랫폼 상에 장착하는 단계를 포함하는
    방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 인가 단계는,
    상기 슬롯화된 플랫폼 내의 슬롯 내로 펀치 기구를 삽입하는 단계; 및
    상기 리드 프레임 세그먼트을 통해 상기 지지 플랫폼 내의 슬롯 내로 상기 펀치 기구를 강제로 전진(advancing)시키는 단계를 포함하는
    방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼은 분리될 상기 반도체 패키지의 제1 및 제2 측면 상의 리드 프레임 세그먼트의 위치에 대응하는 상기 공동의 각 측벽에 인접한 한 쌍의 슬롯을 포함하고,
    상기 인가 단계는 상기 슬롯화된 플랫폼 내의 슬롯 내의 복수의 펀치 기구를 상기 리드 프레임 세그먼트로 동시에 강제로 전진시키는 단계를 포함하는
    방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 펀치 기구는 공통 부재(common member) 상에 장착되고,
    상기 강제로 전진시키는 단계는 상기 공통 부재를 상기 슬롯화된 플랫폼과 짝지우는(mating) 단계를 포함하는
    방법.
  14. 집적 회로 패키지에 사용하기 위한 리드 프레임에 있어서,
    정방향 외주의 내측에 패터닝된 개구를 갖는 평탄한 금속 스트립;
    상기 프레임의 양측면(oppsite sides)에 부착된 복수의 리드; 및
    타이 바 및 외주부에 의해 상기 양측면에 직교하는 상기 프레임의 측면에 부착된 다이 패드 - 여기서, 상기 외주부는 컷아웃 부분(cutout section)을 포함하고, 상기 컷아웃 부분은 개구 및 상기 개구를 브리지(bridge)하는 리드 프레임 세그먼트를 포함함 -
    를 포함하는 리드 프레임.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 리드 프레임 세그먼트는 상기 양측면에 평행한 방향으로 상기 타이 바와 실질적으로 정렬되는
    리드 프레임.
KR1020050065987A 2004-07-21 2005-07-20 수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임 KR101121256B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/895,095 US7154165B2 (en) 2004-07-21 2004-07-21 Flashless lead frame with horizontal singulation
US10/895,095 2004-07-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060053957A KR20060053957A (ko) 2006-05-22
KR101121256B1 true KR101121256B1 (ko) 2012-03-23

Family

ID=35656260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050065987A KR101121256B1 (ko) 2004-07-21 2005-07-20 수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7154165B2 (ko)
KR (1) KR101121256B1 (ko)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100795965B1 (ko) * 2006-12-01 2008-01-21 한미반도체 주식회사 반도체 패키지 싱귤레이션장치
US7960845B2 (en) * 2008-01-03 2011-06-14 Linear Technology Corporation Flexible contactless wire bonding structure and methodology for semiconductor device
US7902665B2 (en) * 2008-09-02 2011-03-08 Linear Technology Corporation Semiconductor device having a suspended isolating interconnect
CN105084400A (zh) * 2015-09-18 2015-11-25 东北大学 一种制备活性氧化铝的装置及方法
JP6677922B2 (ja) * 2015-10-08 2020-04-08 株式会社リコー 画像形成装置の製造方法
US9741643B2 (en) * 2016-01-22 2017-08-22 Texas Instruments Incorporated Leadframe strip with vertically offset die attach pads between adjacent vertical leadframe columns
CN107993942B (zh) * 2017-11-24 2019-12-24 中山复盛机电有限公司 引线框架的制造工艺
CN111863626B (zh) * 2020-06-28 2021-12-07 珠海越亚半导体股份有限公司 支撑框架结构及其制作方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010089357A (ko) * 1998-10-26 2001-10-06 추후기재 반도체 다이 캐리어 제작 장치 및 그 제작 방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4429559A (en) * 1982-01-26 1984-02-07 Depuglia Gaston D Strip processing apparatus
US5272800A (en) * 1991-07-01 1993-12-28 Olin Corporation Method and apparatus for forming and positioning a preform on a workpiece
US5197183A (en) * 1991-11-05 1993-03-30 Lsi Logic Corporation Modified lead frame for reducing wire wash in transfer molding of IC packages
US6269723B1 (en) * 1997-10-20 2001-08-07 Integrated Packaging Assembly Corporation Method and apparatus for enhancement of a punch guide/receptor tool in a dambar removal system
US5979510A (en) * 1998-02-18 1999-11-09 Micron Technology, Inc. Forming tool and method
US6281568B1 (en) * 1998-10-21 2001-08-28 Amkor Technology, Inc. Plastic integrated circuit device package and leadframe having partially undercut leads and die pad
US6251568B1 (en) * 1999-02-09 2001-06-26 Conexant Systems Inc. Methods and apparatus for stripping photoresist and polymer layers from a semiconductor stack in a non-corrosive environment
KR100355796B1 (ko) * 1999-10-15 2002-10-19 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지용 리드프레임 및 이를 봉지하기 위한 금형 구조
US6720786B2 (en) * 2001-07-25 2004-04-13 Integrated Device Technology, Inc. Lead formation, assembly strip test, and singulation system
JP4611579B2 (ja) * 2001-07-30 2011-01-12 ルネサスエレクトロニクス株式会社 リードフレーム、半導体装置およびその樹脂封止法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010089357A (ko) * 1998-10-26 2001-10-06 추후기재 반도체 다이 캐리어 제작 장치 및 그 제작 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060053957A (ko) 2006-05-22
US7414302B2 (en) 2008-08-19
US20060267163A1 (en) 2006-11-30
US20060017140A1 (en) 2006-01-26
US7154165B2 (en) 2006-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101121256B1 (ko) 수평 싱귤레이션을 갖는 플래시리스 리드 프레임
US5070039A (en) Method of making an integrated circuit using a pre-served dam bar to reduce mold flash and to facilitate flash removal
KR100244966B1 (ko) 공기 유입구가 형성된 절단 펀치를 포함하는 게이트 잔여물절단 장치
JP2009088412A (ja) 半導体装置の製造方法
US6858474B1 (en) Wire bond package and packaging method
US6114190A (en) Method of forming heat sink and semiconductor chip assemblies
JP3911361B2 (ja) マトリクス状基板のディゲート方法
KR100795965B1 (ko) 반도체 패키지 싱귤레이션장치
KR100567129B1 (ko) 반도체 패키지 제조용 몰딩 금형 및 이것을 이용한 반도체패키지 몰딩방법
JP3296574B2 (ja) 電子部品のリード加工方法及び装置
US8794952B2 (en) Apparatus for molding electronic components
JP4303482B2 (ja) 半導体装置の樹脂封止後におけるゲート残り・タイバーの除去装置、および半導体装置の製造方法
JP2678227B2 (ja) リードフレームのディゲート方法及びリードフレームのディゲート装置
JPH0287561A (ja) リード成形金型
KR200292097Y1 (ko) 몰딩금형장치
JP2636778B2 (ja) 半導体装置製造用金型
JPH0620794B2 (ja) 電子装置の樹脂モ−ルド装置
JP2007505491A (ja) 可撓性圧力素子を用いて電子部品をカプセル封入する方法および装置
KR100220867B1 (ko) 반도체패키지용 트리밍 방법 및 트리밍 장치구조
US20040187544A1 (en) Method and apparatus for removing a carrier part from a carrier with a single operation, and a product removed from a carrier
JPH06132336A (ja) トランスファモールド装置
KR100456082B1 (ko) 반도체패키지의제조방법
KR20030088297A (ko) 반도체 패키지용 테이프 제거 장치
JPH09121014A (ja) リードフレーム
KR20090035301A (ko) 반도체 패키지 제조용 싱귤레이션 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150205

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160205

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180212

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190207

Year of fee payment: 8