KR20010082567A - 플렉시블 액정표시패널의 제조방법 및 그에 사용하는플렉시블 액정표시패널의 제조시스템 - Google Patents

Abstract

유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴을 형성할 때, 한 쌍의 기판중 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 상기 처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 상기 처리를 실시한다.

Description

플렉시블 액정표시패널의 제조방법 및 그에 사용하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템{FLEXIBLE LCD PANEL FABRICATION METHOD AND FLEXIBLE LCD PANEL FABRICATION SYSTEM USED FOR THE SAME}

본 발명은 기판에 유기재료가 사용되고 있는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법 및 그에 사용하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 관한 것이다.

도18에는, 기판재료로서 유리가 사용되고 있는 단순매트릭스형 액정표시패널의 단면도가 도시되어 있다. 이 단순매트릭스형 액정표시패널은, 세그먼트전극 배치측의 SEG 기판(101)과, 공통(common) 전극 배치측의 COM 기판(102)과, 이들 SEG 기판(101)과 COM 기판(102) 사이에 배치되어 있는 액정층(103)과, 이들 SEG 기판(101)과 COM 기판(102)을 접착하고 있는 시일재(104), 및 액정층(103)중에 분산되어 있는 스페이서(105)로 구성되어 있다.

상기 SEG 기판(101)은, 통상, 유리기판(106a)의 일방의 표면상에, 투명전극(107a)(세그먼트전극), 절연막(108), 및 배향막(109a)이 이 순서로 배치되고, 또한, 유리기판(106a)의 타방의 표면상에 위상차편광판(11Oa)이 배치되어 구성되어 있다.

한편, 상기 COM 기판(102)은, 통상, 유리기판(106b)의 일방의 표면상에, 칼라필터(111)와, 투명전극(107b)(공통 전극), 및 배향막(109b)이 이 순서로 배치되고, 또한, 유리기판(106b)의 타방의 표면상에 위상차편광판(11Ob)이 배치되어 구성되어 있다.

한 쌍으로 구성되는 COM 기판(102) 및 SEG 기판(101)을 제조할 때, 일방의 기판에만 배치되는 구성요소에 관한 프로세스는, 타방의 기판에 불필요한 프로세스로 된다. 이 경우, 일방의 기판에, 그 구성요소 형성을 위한 어떠한 처리가 실시되는 동안, 그 구성요소가 배치되지 않은 타방의 기판에 대해서는, 어떤 처리도 실시되지 않는 것이 보통이다.

도19 및 도20에는, 상기 액정표시패널제조를 위한 프로세스 플로우의 예가 도시되어 있다.

도19는 SEG 기판(101)에만 제공되는 절연막(108)형성 전후의 프로세스 플로우이다. SEG 기판(101)에는, 세정, 절연막인쇄 및 소성이, 절연막(108) 형성을 위한 처리로서 가해지지만, COM 기판(l02)에는 이들 처리는 가해지지 않는다. 그 후, SEG 기판(101) 및 COM 기판(102)의 양쪽에, 배향막형성을 위한 처리(세정, 배향막인쇄, 소성)이 실시된다. 즉, SEG 기판(101)에는, 상기 절연막(108) 형성 후, 배향막(109a) 형성을 위한, 도19에 도시한 처리(세정, 배향막인쇄, 소성)가 행하여진다. 한편, COM 기판(102)에는, 상기 COM 기판(102)에는 절연막이 형성되지 않기 때문에, 칼라필터(111) 및 투명전극(107b) 형성 후, 배향막(109b) 형성을 위한, 도19에 도시한 처리(세정, 배향막인쇄, 소성)가 행하여진다.

도20은 SEG 기판(101)과 COM 기판(102)의 접합 전후의 프로세스 플로우이다. SEG 기판(101)에는, 스페이서 산포의 처리가 실시된다. 한편, COM 기판(102)에는, 시일재인쇄 및 레벨링(가열)의 처리가 실시된다.

이상과 같이, 접합되기 전의 공정에서, SEG 기판(101)과 COM 기판(102)에서는, 각각 별도의 처리가 실시되게 된다. 그러나, 이와 같이, SEG 기판(101)과 COM 기판(102)에서, 서로 다른 처리가 실시되어도, 거의 비틀리지 않고 정밀도 유지가 가능한 유리를 기판재료로서 사용하기 때문에, 문제는 발생하지 않는다.

유리기판(106a,106b) 대신, 플라스틱 등의 유기재료로 이루어지는 가요성 기판을 사용하는 경우, 가열되어 다시 실온에서 냉각되는 열처리과정 동안, 기판의 비가역적인 수축이 일어나, 치수변화가 유발된다. 따라서, 전체공정을 거쳐 완성된 SEG 기판(101) 및 COM 기판(102)에서, 패턴치수가 상이한 사태가 발생하게 된다.

도l6의 그래프에는, 본원 발명자가, PES(폴리에테르 술폰)를 모재로 한 플라스틱 기판에 150℃×60분의 열처리를 실시하고, 그 후, 건조상태를 유지한 채로 이 플라스틱기판을 실온까지 냉각하는, 일련의 처리를 반복하여 행한 경우의 플라스틱기판의 치수변화가 도시되어 있다. 실온까지 냉각한 시점에서의 플라스틱기판의 치수변화에 착안하면, 상술한 바와 같은 일련의 처리의 회수가 증가함에 따라, 플라스틱기판이 수축하는 것을 알 수 있다.

또한, 플라스틱 등의 유기재료는, 유리와는 달리, 흡습에 의해 팽창하는 다른 문제를 갖고 있다. 따라서, 세정제로서 물을 사용하는 세정공정시에, 플라스틱기판의 치수변화(흡습에 의한 팽창)가 유발되어, 열처리를 행한 경우와 유사한 현상, 요컨대, 한 쌍의 기판(SEG 기판(101) 및 COM 기판(102))사이에서 패턴의 치수가 상이한 문제가 발생한다.

또한, 도17의 그래프에는, 참고를 위해 본원 발명자 등이 측정한, PES를 모재로 한 플라스틱기판의, 흡습에 의한 신장(팽창)과, 건조에 의한 수축이 도시되어 있다. 이 플라스틱기판을, 온도 25℃ 및 습도 65%의 환경하에 자연방치하는 경우와, 40℃의 온수에 침지한 경우에는 당연히 플라스틱기판의 흡습량이 다르기 때문에, 치수변화에 차이가 보인다. 이 경우의 치수변화는, 도16에 도시한 바와 같은 열처리를 실시한 경우와 거의 동일 레벨이다.

상기한 바와 같이, SEG 기판(101) 및 COM 기판(102)에 플라스틱기판을 사용한 경우, 열처리에 의한 수축이나, 방치 및 세정에 의한 흡습에 의해, 치수변화가 발생한다. 예컨대 길이 300 mm의 기판에서는, 0.1%의 치수변화는 0.3 mm의 치수변화가로 된다. 한 쌍의 기판의 일방에 이 정도의 치수변화가 유발된 경우, 양 기판을 패턴감합 정밀도가 양호하게 접합시키고, 이로부터 복수개의 액정표시패널을 고정밀도로 제조하는 것은 곤란하게 된다.

도21에는, SEG 기판(101)과 COM 기판(102)의 접합 후, 복수개의 액정표시패널을 잘라내는 패널분단의 프로세스 플로우가 도시되어 있다. 이 패널분단의 프로세스에서는, SEG 기판(101)과 COM 기판(102) 사이에 치수의 변동은 발생하지 않는다.

그러나, 상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 플라스틱기판을 사용한 경우, 상기 프로세스에서는, 분단대기중에 있어서의 실내환경 방치하에서의 플라스틱기판의 흡습에 의한 팽창으로, 절단치수가 정해지지 않는다고 하는 문제가 발생한다. 일반적으로, 액정표시패널의 제조공정은, 정전기의 발생을 억제하기 위해, 의도적인 가습환경(상대습도 60∼70%) 하에서 행하여지고 있다. 이 때문에, 상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 플라스틱기판을 사용한 경우, 분단대기중에 실내환경하에 방치되면, 플라스틱기판이 흡습하여 팽창하는 문제가 발생한다. 이 때문에, 상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 플라스틱기판을 사용하는 경우, 도17에 도시한 바와 같이, 흡습에 의한 치수변화의 영향을 무시할 수 없다.

이러한 문제점을 해결할 수단으로서, 다음과 같은 기술이 제안되어 있다. 일본국 공개특허공보인 64038/1995호(공개일 1995년 3월10일)에는, 플라스틱필름으로 이루어지는 대형의 기판으로부터, 복수개의 액정표시패널을 패턴 정밀도가 양호하게 제조하는 방법이 개시되어 있다. 이 방법에서는, 도22에 도시한 바와 같이, 2매의 기판중, 일방의 기판(122)에는, 강성을 갖는 기체(基體)(121)상에 플라스틱필름(123)이 형성된 것이 사용되고 있다. 그리고, 패널사이즈로 형성된 타방의 기판(l24)이, 상기 일방의 기판(122)의 패턴위치에 맞추어 접합된다. 도22에서, 부호 125는 투명전극, 126는 액정주입구, 127은 후의 공정에서 패널을 잘라내기 위한 절단(분단)선이다.

이러한 방법에서는, 2매의 기판의 치수감합 정밀도가, 대형의 기판(일방의 기판)의 치수 전체에서 합치할 필요는 없고, 패널사이즈의 소형 기판(타방의 기판)의 치수에 있어서의 허용범위내에서 합치하면 된다. 따라서, 패널사이즈의 소형 기판 각각을 대형 기판에 접합하는 단계에서 위치보정을 행할 수 있기 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 고정밀도로 제조할 수 있다.

그러나, 상기 공개특허공보 64038/1995호에 기재된 구성에서는, 대형의 기판으로부터 제조하는 패널의 취출 수가 많은 경우, 소형 기판의 접합 회수가 많아지기 때문에, 접합 프로세스의 처리시간이 증대한다. 또한, 장치 대수의 증가에 의한 비용증가도 고려된다. 또한, 접합 장치 1대당 능력이 패널사이즈에 의해 좌우된다. 이상과 같은 이유로, 생산라인의 효율이 저하하는 문제가 발생한다.

한편, 대형의 기판으로부터의 패널의 취출수가 적은 경우, 즉 대형의 패널을 제조하는 경우, 유리기판의 프로세스를 그대로 소형기판에 전용하는 경우의문제점(즉, 2개의 기판의 프로세스가 다르기 때문에 발생하는 치수변화)이 나타나, 소형 기판측의 치수오차가 허용범위를 초과하여, 소정의 패턴정밀도를 갖는 플렉시블 액정표시패널을 제조할 수 없는 문제가 발생한다.

즉, 상기 방법은, 대형의 기판으로부터 복수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 것을 전제로 한 것으로, 접합되는 양 기판의 치수신축(팽창/수축)에 의한 치수 변동을 근본적으로 해소하는 것이 아니라, 기판 전체에서의 치수정밀도를 향상시키지 못한다. 이 때문에, 상기 방법은, 대형의 기판으로부터의 패널의 취출 수가 적은 경우, 특히, 대형의 기판으로부터 1매의 대형 액정표시패널을 제조하는 경우에는 적당하지 않다.

본 발명의 목적은, 플라스틱 등의 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 갖는 플렉시블 액정표시패널을, 패턴정밀도가 양호하고, 또한 저비용으로 제조하는 것이다.

본 발명의 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 목적을 달성하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 상기 처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 상기 처리를 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.

일반적으로, 한 쌍의 기판이 접합되기 전의 공정에서는, 상기 한 쌍의 기판을 구성하는 일방의 기판과 타방의 기판은 각각 별도로 처리된다. 그리고, 상기 한 쌍의 기판을 제조할 때, 즉, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성할 때, 일방의 기판에만 배치되는 구성요소에 관계되는 프로세스는, 타방의 기판에 불필요한 프로세스로 된다. 이러한 경우, 일방의 기판에, 그 구성요소 형성을 위한 어떠한 처리가 실시되는 동안, 그 구성요소가 배치되지 않은 타방의 기판에 관해서는, 어떤 처리도 실시되지 않는 것이 보통이다. 상기 한 쌍의 기판에 있어서, 각각 형성되는 소정의 패턴은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 형성되기 때문에, 일방의 기판에만 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리가 실시된 경우, 일방의 기판만이, 상기 처리에 의해 팽창 또는 수축하여, 양 기판사이에서 치수정밀도의 차이가 발생하여, 이 결과, 패턴감합 정밀도가 양호하게 양 기판을 접합시킬 수 없다.

그러나, 상기 방법에 의하면, 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리가 실시되는 경우, 양 기판의 치수제어를 목적으로 타방의 기판에도 상기 처리를 실시함으로써, 일방의 기판만이, 팽창 또는 수축하는 일이 없고, 상기 처리에 따른 팽창수축에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 기판의 팽창수축거동 그 자체를 양 기판에서 정합할 수 있기 때문에, 기판전체의 치수변화율을 양 기판에서 정합할 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수, 예컨대 1매의 대형 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을, 단독으로 반송·가공하는 것을 기본으로 하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 각각의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로 하여 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 저비용으로 제조할 수 있다.

또, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리는, 처리 그 자체가, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리, 즉, 처리 그 자체가 기판의 흡습 또는 방습(放濕) 또는 변성을 수반하는 처리를 나타낸다. 구체적으로는, 열처리, 건조처리, 세정처리 등을 나타내며, 특히, 플렉시블 기판의 수축을 수반하는 열처리, 건조처리를 대상으로 한다. 또한, 상기 방법은, 열처리 중에서도, 소성 등, 기판에 비가역적인 수축을 수반하는, 패턴형성을 위한 열처리에 특히 바람직하다.

따라서, 본 발명의 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 목적을 달성하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 열처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 열처리를 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 방법에 의하면, 일방의 기판에 열처리를 실시하는 경우, 양 기판의 치수제어를 목적으로 타방의 기판에도 열처리를 실시함으로써, 상기 열처리에 의해, 일방의 기판만이 수축하는 일이 없다. 이 때문에, 상기 열처리에 의한 기판의 수축에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 기판의 열이력 그 자체를 양 기판에서 일치시킬 수 있기 때문에, 기판전체의 치수변화율을 양 기판에서 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수, 예컨대 1매의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 양 기판의 기판 구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을, 단독으로 반송·가공하는 것을 기본으로 하고 있기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 각각의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로서 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 저비용으로 제조할 수 있다.

또한, 본 발명의 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 목적을 달성하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 한 쌍의 기판을 접합하기 전에, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 실시하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 방법에 의하면, 상기 한 쌍의 기판을 접합하기 전에, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 실시함으로써, 상기 한 쌍의 기판을 접합하기 전에, 흡습의 작용에 의해 발생한 가역적인 기판의 팽창에 대하여, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 함께 건조시켜, 수축시킬 수 있기 때문에, 흡습에 의한 양 기판의 팽창의 영향을 경감하거나, 바람직하게는 제거할 수 있다. 그 결과, 양 기판 사이의 치수정밀도의 변동이 억제된 상태로 양 기판을 접합할 수 있다. 이 때문에, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 건조에 의해, 기판전체의 치수변화율을 양 기판에서 일치시킬 수 있기 때문에, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수, 예컨대 1매의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 방법에 의하면, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을, 단독으로 반송·가공하는 것을 기본으로 하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개개의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로서 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 종래보다 저비용으로 제조할 수 있다. 또, 상기 건조처리는, 예컨대, 가열에 의한건조라도 좋고, 진공건조 등, 감압에 의한 건조라도 좋다.

또한, 본 발명의 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 목적을 달성하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템으로, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송장치와, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 열처리를 행하는 장치와, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 행하는 장치를 구비하고, 상기 각 처리장치가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 구성에 의하면, 상기 각 처리장치가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치됨으로써, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 순차 처리를 행하는 것에 의해, 공정관리 및 각 처리장치간에 있어서의 상기 양 기판의 기판팽창의 시간적변화의 관리·제어가 용이하고, 양 기판의 기판치수의 시간 팩터에 의한 변동을 억제하여, 소망의 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다.

그리고, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 처리를 행하는 장치를 구비함으로써, 상기 양 기판에 함께 열처리를 실시할 수 있어, 일방의 기판만이 수축하는 것에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다. 그리고, 상기 구성에 의하면, 기판의 열이력 그 자체를 양 기판에서 일치시킬 수 있기 때문에, 기판 전체의 치수변화율을 양 기판에서 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수, 예컨대 1매의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 고수율로 제조할 수 있다.

또한, 상기 구성을 갖는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템을 사용하여 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조함으로써, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을, 단독으로 반송·가공하는 것이 가능하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개개의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로 하여 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 쓴 플렉시블 액정표시패널을 종래보다 저비용으로 제조할 수 있다.

또한, 본 발명의 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 목적을 달성하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템으로, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송장치와, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하는 장치와, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 행하는 장치를 구비하고, 상기 각 처리장치가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 구성에 의하면, 상기 각 처리장치가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치됨으로써, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 순차 처리를 행하는 것에 의해, 공정관리 및 각 처리장치에 있어서의 상기 양 기판의 기판 팽창의 시간적 변화의 관리·제어가 용이하고, 양 기판의 기판치수의 시간 팩터에 의한 변동을 억제하여, 소망의 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다.

그리고, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각건조처리를 행하는 장치를 구비함으로써, 상기 양 기판에 함께 건조처리를 실시할 수 있어, 흡습에 따른 기판팽창에 의한 치수정밀도의 불균일을 억제할 수 있다. 또한, 상기 구성에 의하면, 상기 양 기판에 건조처리를 실시함으로써, 기판전체의 치수변화율을 양 기판에서 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수, 예컨대 1매의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 고수율로 제조할 수 있다.

또한, 상기 구성을 갖는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템을 사용하여 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조함으로써, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을, 단독으로 반송·가공하는 것이 가능하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개개의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로 하여 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판을 쓴 플렉시블 액정표시패널을 종래보다 저비용으로 제조할 수 있다.

본 발명의 더욱 다른 목적, 특징 및 우수한 점은, 이하에 도시한 기재에 의해서 충분히 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 이점은 첨부도면을 참조한 다음 설명으로 명백하게 될 것이다.

도1은 본 발명의 1 실시예에 있어서의 플렉시블 액정표시패널의 제조방법을 사용하여 제조되는 액정표시패널의 구성을 도시한 단면도이다.

도2는 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 절연막 형성부터 배향막 형성 까지의 공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도3은 상기 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 PES 기판에 대해, 흡습 후에 가열한 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이다.

도4a 및 도4b는 가열장치의 구조의 차이에 의해 발생하는 기판의 온도 프로파일의 차이를 도시한 그래프로서, 도4a는 열풍순환식 오븐(heated air circulating oven)에서의 가열시에 있어서의 온도프로파일을 도시한 그래프이고, 도4b는 단일 기판 반송 소성로(single substrate transfer oven)에 의한 가열시에 있어서의 온도 프로파일을 도시한 그래프이다.

도5a 및 도5b는 상기 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 PES 기판에 대해, 다른 온도프로파일을 부여한 경우의 치수변화를 도시한 설명도로서, 도5a는 열풍순환식 오븐에서의 가열시에 있어서의 치수변화를 도시한 설명도이고, 도5b는 단일기판 반송 소성로에 의한 가열시에 있어서의 치수변화를 도시한 설명도이다.

도6은 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 러빙배향처리부터 기판접합까지의 공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도7은 상기 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 PES 기판에 대해, 다른 환경에서 흡습시킨 후, 동일조건의 건조처리를 실시한 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프로서, 도7a는 가열수단에 의한 건조처리를 행한 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이고, 도7b는 감압수단에 의한 건조처리를 행한 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이다.

도8은 절연막형성부터 기판접합까지의 모든 공정처리가 연속적으로 행하여지는 경우의 플렉시블 기판의 팽창수축거동을 도시한 설명도이다.

도9는 절연막형성으로부터 기판접합까지의 공정의 여러 곳에 처리대기 시간이 있는 경우의 플렉시블기판의 팽창수축거동을 도시한 설명도이다.

도10은 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 패널분단공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도11은 대기시간중의 환경에 의한 플렉시블기판의 팽창수축거동을 도시한 설명도이다.

도12는 본 발명의 1 실시예에 있어서의 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템의 구성을 도시한 사시도이다.

도13은 본 발명의 1 실시예에 있어서의 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템의 다른 구성을 도시한 사시도이다.

도14는 본 발명의 1 실시예에 있어서의 기판 반송제어에 관한 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템의 블록도이다.

도15는 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서의 기판 반송제어의 일례를 도시한 설명도이다.

도16은 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 PES 기판에 대해, 동일한 온도조건에서 반복하여 열처리를 실시한 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이다.

도17은 흡습 및 건조에 의한 PES 기판의 팽창수축거동을 도시한 그래프이다.

도18은 유리기판이 사용되고 있는 종래의 액정표시패널의 구성을 도시한 단면도이다.

도19는 상기 종래의 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 절연막형성부터 배향막형성까지의 공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도20은 상기 종래의 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 배향처리부터 기판접합까지의 공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도21은 상기 종래의 액정표시패널의 제조방법에 있어서의 패널분단공정을 도시한 플로우 챠트이다.

도22는 종래의 액정표시패널의 제조방법에 의해서 제조된 플라스틱필름기판의 개념도이다.

본 발명의 1 실시예에 대해 도1 내지 도17에 따라서 설명하면 이하와 같다.

도1에는, 본 실시예에 관한 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 의해 제조된, 단순매트릭스형 액정표시패널의 단면도가 도시되어 있다. 본 실시예에 있어서의 단순매트릭스형 액정표시패널은, 세그먼트전극 배치측의 SEG 기판(1)과, 공통 전극 배치측의 COM 기판(2)과, 이들 SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이에 배치되어 있는 액정층(3)과, 이들 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판을 접착하고 있는 시일재(4)와, 액정층(3)중에 분산되어 있는 스페이서(5)로 구성되어 있다.

상기 SEG 기판(1)은, PES(폴리에테르 술폰)등의 플라스틱(유기재료)으로 이루어지는 플라스틱기판(플렉시블 기판)(6a)의 일방의 표면상에, 소정의 패턴으로서, 투명전극(7a)(세그먼트전극)과, 절연막(8)과, 배향막(9a)이 이 순서로 배치되고, 또한, 플라스틱기판(6a)의 타방의 표면상에 위상차편광판(10a)이 배치되어 구성되어 있다.

한편, 상기 COM 기판(2)은, PES 등의 플라스틱로 이루어지는 플라스틱기판(플렉시블 기판)(6b)의 일방의 표면상에, 소정의 패턴으로서, 칼라필터(11)와, 투명전극(공통 전극)(7b)과, 배향막(9b)이 이 순서로 배치되고, 또한, 플라스틱기판(6b)의 타방의 표면상에 위상차편광판(10b)이 배치되어 구성되어 있다.

상기 투명전극(7a,7b)에는, ITO(Indium Tin 0xide)막이 사용되고, ITO 잉곳을 재료로 하여 스퍼터링증착법, 또는 IT(Indium Tin) 잉곳을 재료로 하는 반응성스퍼터링 증착법(증착중에 산소와 반응시킨다)으로 투명도전막이 성막된다. 막두께는 필요한 도전도로 결정되고, 500∼5000Å의 범위에서 선정된다. 성막후, 포토리소그라피법(감광제도포·노광·현상·에칭·박리)를 사용하여 패터닝이 행하여지는 것에 의해, 투명전극(7a,7b)이 형성된다.

상기 절연막(8)은, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)사이에 배치되는 액정층(3)에 금속 등의 도전성 이물질이 혼입한 경우, 상기 SEG 기판(1)에 있어서의 투명전극(7a)와 COM 기판(2)에 있어서의 투명전극(7b) 사이의 단락을 방지할 목적으로 형성된다. 상기 절연막(8)은, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 양쪽에 형성하는 것이 전기절연상의 효과는 높지만, 콘트라스트저하 등의 성능상의 저하 및 비용의 양면에서, 일방의 기판에만 형성하는 것이 일반적이다. 상기 절연막(8)에는, 내절연성과 막경도 및 형성비용의 관점에서, 인쇄법(인쇄·소성)으로 형성할수 있는 것을 전제로 하여, 재료로서 예컨대 유기규소(Si) 화합물에 티탄(Ti)등의 금속을 함유시킨 것 등이 쓰인다. 소성에 의해 유기분이 제거되어, 예컨대 산화 SiTi 막이 형성된다. 막두께는 500∼1000Å 정도로, 투명하다. 물론, 진공증착법으로 성막하는 것도 가능하다.

상기 배향막(9a,9b)에는 폴리이미드재료가 사용되고, 절연막(8)과 같이 인쇄법으로 형성된다. 막두께는 500Å 정도가 일반적이다.

상기 시일재(4)로는, 아크릴수지-에폭시수지계의 열경화형 수지가 주류이고, 150∼200℃ 정도에서 소성·경화하는 것이다.

상기 스페이서(5)에 사용되는 재료로서는, 플라스틱 비드, 유리 비드, 유리 섬유 등이 있지만, 셀 갭의 균일성능을 위해, 플라스틱 비드의 사용이 일반적이다. 스페이서(5)의 사이즈는 2∼10㎛로, 셀 갭에 의해 선정된다.

본 실시예에서는, 대형인 동일한 치수의 2매의 기판을 일괄하여 접합시키고, 이 대형의 기판으로부터, 상기한 바와 같은 복수개의 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 방법에 관해 설명한다. 여기서, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정중, 절연막(8)의 형성으로부터 배향막(9a,9b)의 형성까지의 공정플로우를 도2에 따라 설명한다.

SEG 기판(1)에만 배치되는 절연막(8)은, 투명전극(7a)이 형성된 플라스틱기판(6a)를 세정한 (세정)후, 투명전극(7a) 상에 절연막재료의 잉크를 인쇄법으로 전사하고 (절연막인쇄), 150℃ 이상으로 가열소성 하는(소성) 것에 의해 형성된다.

한편, COM 기판(2)에는, 절연막(8)은 형성되지 않지만, SEG 기판(1)의 절연막(8) 형성공정 사이에, COM 기판(2)의 플라스틱기판(6b)에, SEG 기판(1)과 같은 조건에서 세정 및 가열처리(열처리; 도2에서, 2중 테두리로 도시)가 실시된다.

그 후, 세정, 배향막인쇄, 및 소성의 각 공정을 거쳐, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에, 배향막(9a,9b)이 각각 형성된다.

만약, 절연막(8)의 형성공정시, COM 기판(2)에 가열처리가 실시되지 않으면, SEG 기판(1)측의 플라스틱기판(6a)에만 수축이 발생하게 된다. 즉, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 치수에 불일치가 발생한다.

여기서, 플라스틱기판(6a,6b)에 PES(폴리에테르 술폰)으로 이루어지는 기판(이하, "PES 기판"이라 칭한다)를 사용한 경우를 예로 들어, 흡습 및 가열건조에 의한 PES 기판의 치수변화를, 도3의 그래프에 따라 설명한다. 흡습 1은, 온도 25℃에서 습도 65%의 환경하에 PES 기판을 방치한 경우를 나타낸다. 또한, 흡습 2는, 40℃의 온수에 PES 기판을 침지시킨 경우를 나타낸다. 가열건조는, 50℃(실선으로 도시), 100℃(점선으로 도시), 150℃(일점쇄선으로 도시)에서 PES 기판을 건조시킨 경우를 나타낸다.

이상의 그래프로부터, 흡습에 의해 팽창한 PES 기판은, 50℃에서의 가열건조에서는 원래의 치수로 되돌아가지만, 100℃나 150℃에서의 가열(가열소성)이 실시되면, 일단 건조하여 원래의 치수로 되돌아가지만, 다시 가열을 계속하면 원래의 치수보다 수축하는 것을 알 수 있다.

이상의 결과로부터, 절연막재료를 인쇄하기 전에 수계 세정함으로써, SEG 기판(1)의 플라스틱기판(6a)은 흡습에 의해 팽창하지만, 인쇄후의 가열소성공정에서는, 150℃ 이상의 열이 SEG 기판(1)에 가해지기 때문에, 후에 실온까지 냉각될 때는 비가역적인 수축이 발생하여 원래의 치수보다도 수축하게 된다. 이와 같이, SEG 기판(1)에만 소성을 행하여, COM 기판(2)에 어떤 처리도 실시하지 않으면, SEG 기판(1)만이 가열에 의해 수축하게 된다. 이에 의해, SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이에, 치수의 변동이 유발된다.

따라서, 본 실시예에서는, 기판의 팽창수축에 의한 치수정밀도의 변동을 억제하기 위해, 상기 한 쌍의 기판중 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 상기 처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 상기 처리를 실시한다. 이 경우는, COM 기판(2)에도 SEG 기판(1)과 같이 열처리(가열소성)를 실시함으로써, COM 기판(2)에도 비가역적인 수축을 부여할 수 있어, SEG 기판(1)만이 수축하는 일이 없고, 절연막(8) 형성을 위한 소성에 의한, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 치수의 변동을 방지할 수 있다.

이와 같이, 상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 실시하는 경우, 양 기판의 치수제어를 목적으로 하여, 타방의 기판이 열처리를 필요로 하고 있지 않은 경우에도 타방의 기판에도 열처리를 실시함으로써, 상기 열처리에 의해, 일방의 기판만이 수축하는 일이 없고, 상기 열처리에 따른 수축에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 일방의 기판, 이 경우는 SEG 기판(1)에, 가열소성을 하는 경우, 타방의 기판인 COM 기판(2)에는, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)에실시되는 가열소성에 따른 양 기판의 치수의 변동이 소망의 범위내로 되도록 가열소성이 행하여진다.

즉, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)에 실시되는 열처리의 처리조건은, 상기 열처리, 이 경우는 가열소성에 따른 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 수축에 의한 양 기판의 치수의 변동이 소망의 범위내로 되도록 설정된다. 예컨대, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)에, 양 기판사이의 치수의 변동이 소망의 범위내로 되도록, 거의 동일한 열처리, 구체적으로는 일방의 기판의 승온시의 유지온도(정상온도)가 예컨대 100℃∼150℃일 때, 상기 유지온도 ±5℃의 범위내, 처리시간의 변동이 10% 이내로 되도록 한 열처리, 바람직하게는 동일한 열처리가 실시된다. 이를 위해, 예컨대, 상기 열처리를, 거의 동일, 바람직하게는 동일한 온도프로파일로 행한다. 이는, 상기 열처리를, 동일한 설정조건으로 행하는 것, 특히, 동일한 형의 장치를 사용하여 동일한 설정조건에서 열처리를 행함으로써 용이하게 실현할 수 있다.

또, 본 실시예에 있어서, 거의 동일한 온도프로파일은, 양 기판사이에서, 예컨대, 승온시의 온도, 승온시의 유지온도(정상온도(예컨대 l00℃∼150℃), 강온시의 온도가, ±10℃의 범위내, 바람직하게는 ±5℃의 범위내이고, 처리시간의 변동이 10%이내, 바람직하게는 5% 이내인 것을 나타낸다.

또, 소성 전의 세정에 의해 플라스틱기판은 흡습하여 팽창하지만, 소성 전의 기판의 상태에 차를 부여한 경우, 소성온도 등의 조건에서는, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 치수에 변동이 발생하는 경우가 있다.

따라서, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 치수의 변동을 확실히 방지하기 위해서는, COM 기판(2)에 대해서도, SEG 기판(1)과 같이 세정을 행한 후, 소성하는 것이 바람직하다.

특히, 본 실시예에 관한 액정표시패널의 제조방법에서는, 도2에 도시한 바와 같이, COM 기판(2)에도 SEG 기판(1)과 같은 조건에서 세정 및 가열처리를 실시하기때문에, 절연막(8) 형성 후, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 치수변화가 거의 같게 된다. 이에 의해, SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이에 치수의 변동이 거의 발생하지 않기 때문에, 후의 공정에서, 이들 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을, 패턴감합 정밀도가 양호하게 접합할 수 있다.

여기서, 가열방식이 다른 2개 형태의 가열수단으로서 구조가 상이한 가열장치를 사용하여 가열(열처리)를 행한 경우, 가열장치의 구조의 차이에 의해 발생하는 온도프로파일의 차이에 관해, 도4a 및 도4b 을 참조하여 이하에 설명한다.

도4a는, 카세트에 수납한 플렉시블 기판을, 열풍순환식 오븐(heated air circulating oven)에서 가열하였을 때의 온도 프로파일이다. 각 플렉시블 기판은, 상기 카세트내에, 상측으로부터 본 상태로 각 플렉시블 기판이 완전히 겹치도록 수평상태를 유지하여 수납되고, 열풍을, 횡방향으로부터 각 플렉시블 기판에 가하여, 각 플렉시블 기판 사이의 공간에 열풍을 통과시킴으로써 가열된다. 상기 카세트내에서의 플렉시블 기판의 수납매수는 20매이고, 각 플렉시블 기판은, 각 플렉시블 기판사이의 간격이 20 mm로 유지된 상태로 배치되어 있다. 상기 가열은, 150℃의 소성온도를 의도하여 행하여진다.

한편, 도4b는, 플렉시블 기판을 1매씩 단일로 연속적으로 반송하면서 가열하는 단일 기판 반송 소성로(single substrate transfer oven)에서 플렉시블 기판을 가열하였을 때의 온도프로파일이다. 단일 기판 반송 소성로에 있어서는, 각 플렉시블 기판의 양면에서 적외선을 복사함으로써 각 플렉시블 기판의 가열이 행하여지고, 이 경우에도, 상기 가열은, 150℃의 소성온도를 의도하여 행하여진다.

각 온도프로파일에 있어서는, 우선, 실온으로부터 150℃까지의 승온을 약 30분간 행하고, 150℃에서 60분간 유지한 후, 50분간 75℃까지 냉각한 후, 각 플렉시블 기판을, 각각, 열풍순환식 오븐 및 단일 기판 반송 소성로 밖으로 취출하고, 이후, 실온분위기하에 냉각을 행한다. 또, 상기 측정은, 플렉시블 기판으로서 PES 기판을 사용하여 행하였다.

도4a 및 도4b에 도시한 양 온도프로파일로부터 명백한 바와 같이, 열풍순환식 오븐을 사용한 경우보다도, 단일 기판 반송 소성로를 사용한 경우가, 플렉시블 기판끼리의, 승온 및 강온시의 온도의 변동이 적다. 이는, 단일 기판 반송 소성로 쪽이 열에너지의 공급의 균일성이 우수하기 때문이다.

다음, 도5a 및 도5b를 참조하여, 상기 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 각 플렉시블 기판에 있어서, 상기 두 가지의 가열장치를 사용하여 열처리를 행함으로써 각각 다른 온도프로파일을 부여한 경우의 치수변화율에 대해 비교한다. 또, 본 측정에 있어서도, 상기 플렉시블기판으로서 PES 기판을 사용하여 측정을 행하였다.

도17에 도시한 바와 같이, PES를 모재로 한 플라스틱기판을 상기 플렉시블 기판으로서 사용한 경우, 흡습에 의한 플렉시블 기판의 치수변화는, 흡습조건에 불구하고, 50 ℃의 건조처리에 의해 원래로 되돌릴 수 있다. 그리고, 상기 PES 기판은, 상기 도20 및 상기 도3에 도시한 바와 같이, 50 ℃에서 10시간의 가열처리를 행함으로써, 플렉시블 기판은 완전히 건조하여, 흡습의 영향을 갖지 않은 기판 치수로 된다. 이 후, 이 상태의 기판치수를 기판의 원래 치수로 기술한다.

도5a 및 도5b는, 플렉시블 기판에, 상기 원래 치수를 부여하는 50℃에서 10시간의 열처리에 대하여, 100 ℃에서 5시간, 150℃에서 1시간의 열처리를 행한 경우의 각 플렉시블 기판의 치수변화율을 도시한 설명도로서, 도5a는 열풍순환식 오븐으로 가열을 행한 경우의 치수변화율을 도시하고, 도5b는 단일 기판 반송 소성로에서 가열을 행한 경우의 치수변화율을 도시한다.

도5a 및 도5b로부터 알 수 있는 바와 같이, 온도프로파일의 변동이 큰 열풍순환식 오븐에 의해 열처리를 행한 경우의 플렉시블 기판사이의 치수변화의 변동은, 온도프로파일의 변동이 적은 단일 기판 반송 소성로에 의해 열처리를 행한 경우의 플렉시블 기판사이의 치수변화의 변동을 크게 상회하였다.

따라서, 상기 도5a 및 도5b로부터, 상기 SEG 기판(1)의 소성 및 COM 기판(2)의 가열처리에 상기 단일 기판 반송 소성로를 사용하는 것에 의해, 상기 SEG 기판(1)의 소성 및 COM 기판(2)의 가열처리에 열풍순환식 오븐을 사용한 경우와 비교하여, 플렉시블 기판마다 및 플렉시블 기판내에서의 치수변화의 변동, 즉, SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이의 치수변화의 변동이나 SEG 기판(1) 끼리 및 COM 기판(2)끼리의 치수변화의 변동 및, 각 SEG 기판(1)내 및 COM 기판(2)내에서의 치수변화의 변동을 억제할 수 있음을 알 수 있다.

예컨대, 각 플렉시블 기판에 대해, 150 ℃에서 1시간의 열처리를 행하는 경우, 열풍순환식 오븐에서는, 동일한 열처리를 실시한 양 기판사이에서, 치수변화율의 변동이, 약 0.05%(이는 300mm 방형기판에서 약 150μm의 치수오차에 상당)인 것에 대하여, 단일 기판 반송 소성로에서는 동일한 열처리를 실시한 양 기판사이에서, 약 0.015%(이는 300 mm 방형기판에서 약 45μm의 치수오차에 상당) 이다.

이는, 열처리시의 온도의 변동이 영향을 주기 때문이고, 승온시, 강온시의 온도의 변동을 포함하여, 플렉시블 기판에 인가된 총 열량의 차이가, 기판의 수축의 불균일을 발생하게 하고 있다. 따라서, 양 기판사이의 치수오차를 될 수 있는 한 작게 하여, 바람직하게는, 양 기판사이의 치수오차를 제거하기 위해서는, 양 기판사이의 열이력이 거의 동일, 보다 바람직하게는 동일하게 되도록 가열을 제어하는 것이 바람직하다.

이를 위해서는, 각 기판에 있어서의 열처리시에, 실제로 기판에 인가되는 온도프로파일을 한 쌍의 기판에서 맞추는 것이 바람직하고, 보다 구체적으로는, 동일한 설정조건, 바람직하게는, 같은 형의 가열장치(열처리장치) 또는 동일한 가열장치(열처리장치)를 사용하여, 동일한 설정조건에서 가열을 행하는 것이 바람직하다. 특히, 양 기판사이의 열이력을 일치시키기 위해서는, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 실시할 때, 타방의 기판에도 열처리를 실시하는 것이 바람직하고, 또한, 양 기판에 대하여, 상기 열처리를 거의 동시에, 바람직하게는 1분 이내, 보다 바람직하게는 동시에 행하는 것이 좋다. 이와 같이 양 기판사이의 열이력이 거의 동일, 바람직하게는 동일하게 되도록 가열을 제어함으로써, 양 기판의 감합정밀도를 유지할 수 있다. 또, 본 실시예에 있어서, 열이력은, 그 제조과정에서 어느정도의 온도를 어느 정도의 시간동안 받았는 지를 나타낸다.

상기 절연막(8)의 형성공정에서, 한 쌍의 기판중의 일방의 기판만(본 실시예에 있어서는 SEG 기판(1)만)에, 절연막(8)의 소성에 필요한 온도, 구체적으로는 150℃ 정도의 열처리를 가한 경우, 피열처리기판인 SEG 기판(1)에는, 도5a 및 도5b로부터, 열풍순환식 오븐을 사용한 경우는 물론, 단일 기판 반송 소성로를 사용한 경우에도, 300 mm 각의 사이즈의 기판(300 mm 방형기판)에서, 원래 치수에 대하여, 약 300μm 내지 450μm의 기판수축이 발생하게 되어, 한 쌍의 기판에서 투명전극패턴의 정합이 전혀 달성될 수 없다.

이에 대하여, 본 실시예와 같이, SEG 기판(1)에 가열처리를 실시하는 경우, COM 기판(2)에도 가열처리를 실시함으로써, SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이의 치수차를 억제할 수 있고, 또한, COM 기판(2)에 SEG 기판(1)과 동일한 조건에서 가열처리를 실시함으로써, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)사이의 치수차를, 이들 양 기판에 300 mm 방형기판을 사용한 경우에, 상기 가열장치로서 열풍순환식 오븐을 사용한 경우에는 최대 150μm, 단일 기판 반송 소성로를 사용한 경우에는 최대 45μm로 억제할 수 있다. 실제로는, 제조프로세스 중에서 수회의 열처리 프로세스가 있어, 도16에 도시한 바와 같이 총 열용량의 증가에 따라 열에 의한 기판수축량이 수렴하는 경향이 있는 동시에 평균화되어, 접합 공정에서는 최종적으로 각각 최대 100μm와 30μm 정도의 기판치수의 차이로 된다.

상기 플렉시블 액정표시패널이, SEG 기판(1)의 투명전극패턴과 COM 기판(2)의 투명전극패턴이 서로 직교하는 스트라이프 패턴인 액정표시패널인 경우, 100μm(±50μm) 정도의 접합 감합정밀도가 확보될 수 있으면 된다. 따라서, 상기 가열장치에서는, 단일 기판 반송 소성로를 사용하는 것이 바람직하지만, 온도분포 정밀도가 조악한 열풍순환식 오븐에 의한 열처리에서도 상기 정밀도를 확보할 수 있다.

단지, 화면을 상하 2분할로 표시하는 경우, 상하 분할부에서의 SEG 패턴과 COM 패턴의 중합은, 40μm(±20μm) 정도의 접합 감합 정밀도가 필요하다. 이 때문에, 열처리시의 승온, 강온시를 포함한 온도변동의 균일성이 중요해져, 상기 단일 기판 반송 소성로의 예로 나타낸 온도프로파일의 균일성이, 정밀도 확보를 위한 필수조건으로 된다.

이와 같이, 본 실시예에 있어서, 양 기판의 치수의 변동에 있어서의 소망의 범위는, 목적으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 용도나 소망의 구성, 즉, 상기 플렉시블 액정표시패널의 종류에 따라 적절히 설정된다.

다음, 본 실시예에 관한 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에서의, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 있어서의 러빙배향처리로부터, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 접합까지의 공정플로우를 도6에 도시한다.

본 실시예에서는, 도6에 도시한 바와 같이, 러빙배향처리에 이어서 러빙후 세정이 행하여진 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에, 건조처리가 실시된다(도6에서, 2중 테두리로 도시).

이와 같이, 러빙후 세정후에 건조처리를 실시하는 것에 의해, 러빙후 세정에 의해 흡습팽창된, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 치수를, 러빙 후 세정 전(러빙배향처리시)의 치수에 가까이 하거나 또는 원래 크기로 할 수 있다.

후술하는 레벨링 공정(COM 기판(2))에서의 가열에 의해, 러빙 후 세정에 의해서 흡습팽창한 COM 기판(2)을 건조시키는 것도 가능하지만, 레벨링 공정에서의 가열은 어디까지나 레벨링을 목적으로 하기 때문에, 건조를 위한 처리시간을 충분히 확보하는 것이 곤란하다. 또한, 건조를 위해 COM 기판(2)을 장시간 가열함으로써, 레벨링 전에 인쇄한 시일재의 경화가 진행하는 문제도 발생한다. 따라서, 레벨링에 의한 COM 기판(2)의 건조도는 불충분하기 때문에, 러빙 후 세정이 행하여진 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 상기 건조처리를 실시하는 경우와 비교하여 기판마다의 치수변동이 커진다.

이러한 문제에 대하여, 본 실시예에 있어서의 방법과 같이, 양 기판의 접합 전, 구체적으로는 러빙후 세정후에 건조처리를 실시하고, 바람직하게는, 일단, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)을, 러빙후 세정전의 치수로 되돌림으로써, 후 공정의 레벨링시의 가열에 의한 건조효과를, 러빙후 세정후의 시일재 인쇄까지의 대기시간중에 있어서의 주위환경으로부터의 흡습의 해소에 그칠 수 있다. 즉, 레벨링의 가열에 의한 COM 기판(2)의 수축효과와, 레벨링의 가열의 조건에 맞추어 SEG 기판(1)에 대하여 실시되는 가열처리에 의한 SEG 기판(1)의 수축효과를, 이들 양 기판의 치수를 맞춘다고 하는 목적에 한정시킬 수 있다.

상기 건조방법으로서는, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판에 대하여, 상기 열풍순환식 오븐 또는 단일 기판 반송 소성로 등의 가열장치를 사용하여 가열건조하는 방법을 사용해도 좋고, 진공건조기 등의 감압장치에 의해 이들 양 기판을 감압건조하는 방법을 사용해도 좋다.

여기서, 상기 플렉시블 액정표시패널에 사용되는 PES 기판에 관하여, 다른 환경에서 흡습시킨 후, 동일조건의 건조처리를 실시한 경우의, 팽창 및 수축에 관한 거동(팽창수축거동)에 관해, 도7a 및 도7b를 참조하여 이하에 설명한다.

도7a는 가열장치에 의해 건조처리를 행하는 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이고, 도7b는 감압장치에 의해 건조처리를 행하는 경우의 팽창수축거동을 도시한 그래프이다. 도7a 및 도7b는, 습도환경이 다른 조건하에 플렉시블 기판을 방치한 후, 건조처리를 행한 경우의 기판치수 변화의 거동을 각각 도시하고 있다.

또한, 도7a 및 도7b는, 각각, 흡습을 위한 방치 전에 100℃에서 5시간 열처리를 행하고, 그 기판치수를 기초로, 그 후의 치수변화를 추적한 것으로, 흡습을 위한 방치 전에 100℃에서 5시간 열처리를 행하였을 때의 치수를 기준 치수로 하고, 이 기준치수에 대한 치수변화율을 나타내고 있다.

상기 흡습시의 실온은 22℃∼24℃(도7a 및 도7b에 도시한 그래프에 있어서의 방치의 환경으로서, 실온은 22℃∼24℃로 통일하고 있다)이고, 도7a에 있어서는, 건조처리 방법으로서, 50℃의 가열을 행한 경우의 치수변화율을 나타내고, 도7b에서는, 6.6661×10²Pa 에서의 감압을 행한 경우의 치수변화율을 도시한다.

도7a 및 도7b로부터, 상기 플렉시블 기판은, 습도가 높을수록 흡습량이 증가하여 그 팽창이 커지는 것을 알 수 있다. 또한, 이 때의 기판치수의 변화는, 기판에 유지되어 있는 수분량이 다르기 때문에, 건조처리를 행한 경우의 치수변화의 시간경과가 다르고, 고습도의 환경에 놓인, 흡습량이 많은 기판일수록, 원래의 치수로 되돌아가는 시간이 길어지는 것을 알 수 있다. 50℃의 가열건조의 경우, 40%의 상대습도의 환경하에 방치된 기판에서 약 7시간, 80%의 상대습도의 환경하에 방치된 기판에서 약 10시간 동안, 원래의 치수로 되돌아가기까지의 시간이 필요하였다. 또한, 6.6661×10²Pa의 감압건조를 행한 경우, 40%의 상대습도의 환경하에 방치된 기판에서 약 5시간, 80%의 상대습도의 환경하에 방치된 기판에서 약 6.5시간 동안, 원래의 치수로 되돌아가기까지의 시간이 필요하였다. 이는, 상기 건조처리를 감압건조에 의해 행함으로써, 건조시간을 단축할 수 있는 것을 나타낸다.

상기 건조처리는, 바람직하게는, 일단, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판을 러빙 후 세정 전의 치수로 되돌리는 조건하에서 행하여지는 것이 바람직하나, 이들 양 기판에, 거의 동일한 열이력을 부여할 수 있으면, 반드시 러빙 후 세정전의 치수로 되돌릴 필요는 없고, 흡습에 의한 팽창상태가, 접합시에 있어서의 패턴감합정밀도가 유지될 수 있는 어느 레벨까지 일정하게 리세트되면 된다. 즉, 이들 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에, 거의 동일한 건조처리, 구체적으로는 일방의 기판의 승온시의 유지온도(정상온도)가 예컨대 50℃∼80℃일 때, 상기 유지온도± 5℃의 범위내, 처리시간의 변동이, 3∼5시간의 범위에서 5% 이내로 되도록 한 건조처리, 바람직하게는 동일한 건조처리를 실시하여, 거의 동일, 바람직하게는 동일한 열이력을 부여함으로써, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)간의 치수오차를 억제하여, 패턴정밀도가 양호하고, 또한 저비용으로 플렉시블 액정표시패널을 제조할 수 있다.

상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)을 러빙후 세정전의 치수로 되돌리는 방법으로서는, 도7a 및 도7b에 도시한 바와 같이, 예컨대, 이들 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에, 흡습에 의한 팽창전의 원래 치수보다도 수축하지 않도록 상기 플렉시블 기판에 사용되고 있는 유기재료의 종류에 따라 설정된, 특정 온도, 예컨대 50℃∼80 ℃에서, 일정시간 이상 건조처리를 행하는 방법, 또는, 특정한 감압조건하, 예컨대 1.33322×1O³Pa 이하의 감압조건하에, 일정시간 이상의 건조처리를 행하는 방법 등을 들 수 있다. 즉, 미리, 상기 플렉시블 기판이 상기 원래 치수로 되돌아가도록 상기 플렉시블 기판에 사용되고 있는 유기재료의 종류에 따라 설정된 시간 동안, 적어도 열처리함으로써, 용이하게 원래 치수로 되돌릴 수 있다.

상기 건조에 있어서는, 상기 어느 방법을 채용할 수 있으나, 예컨대 진공건조기등의 감압장치를 사용하여 감압건조를 행함으로써, 가열에 의한 상기 기판 자체의 수축(변성)이 생기지 않고, 흡습에 의한 팽창 전의 원래치수보다도 상기 기판이 수축하는 일이 없기 때문에, 상기 기판의 치수의 변화의 제어가 용이하고, 상기 양 기판을 용이하게 흡습에 의한 팽창전의 원래 치수로 되돌릴 수 있다.

또, 상기 온도보다도 높은 온도, 예컨대 상기한 바와 같이 100℃ 또는 150℃에서, 상기 플렉시블 기판이 원래 치수로 되돌아가도록 미리 설정된 시간, 건조처리를 행함으로써 상기 양 기판을 원래 치수로 되돌릴 수 있지만, 급격히 온도가 높아지면 급격히 수축이 일어나기 때문에, 제어가 용이한, 상술한 방법을 채용하는 것이 바람직하다.

이와 같이 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판을 러빙후 세정 전의 치수로 되돌리는 경우, 양 기판사이에서 다른 건조처리가 실시되어도 관계없다. 단, 제어가 용이한 것으로 하면, 양 기판에 대하여, 거의 동일한 건조처리, 바람직하게는 동일한 건조처리를 실시하는 것이 바람직하다.

또한, 양 기판의 패턴감합 정밀도를 향상시키기 위해서는, 상기 건조 처리는, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)과를 접합하기 전에 행하면 되나, 건조처리에 의한 기판수축의 시간팩터에 의한 변동, 및, 건조처리후의 흡습에 의한 기판팽창의 시간팩터에 의한 변동을 억제하기 위해, 상기 건조처리는, 상기 일방의 기판에 건조처리를 실시할 때 타방의 기판에 실시되는 것이 바람직하고, 상기 건조처리를, 양 기판에서, 거의 동시, 바람직하게는 1분 이내, 보다 바람직하게는 동시에 개시하는 것이 좋다. 기판의 접합 전의 시점에서의 원래 치수로의 리세트로 되는 상기 건조처리를, 양 기판에 거의 동시, 보다 바람직하게는 동시에 개시함으로써, 건조처리후의 흡습 등에 의한 기판의 팽창에 대하여, 거동의 스타트라인을 양 기판에서 정돈하여, 양 기판의 치수의 변동을 소망의 범위 내로 할 수 있다. 그 결과, 보다 고정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있어, 플렉시블 액정표시패널을 보다 패턴정밀도가 양호하게 제조할 수 있다.

도6에 도시한 바와 같이, 건조후의 처리공정은, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)과이 서로 다르다. COM 기판(2)은, 시일재의 인쇄후, 레벨링을 위해 80℃ 정도에서 가열된다. 한편, SEG 기판(1)은, 스페이서 산포가 행하여진 후, COM 기판(2)에 대하여 행하여진 레벨링을 위한 가열처리와 같은 조건의 가열처리가 실시된다 (도6에서, 2중 테두리로 도시).

이와 같이, 본 실시예에 관한 방법에서는, 종래 방법에 있어서 COM 기판(2)에 대하여만 행하여지는 가열처리를, SEG 기판(1)에 대하여도 행하도록 하고 있다. 이에 의해, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 열에 의한 수축의 정도를 맞추어, 이들 양 기판사이의 치수 변동을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시예에 관한 방법에서는, 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 접합시키기 전에 상기 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 양쪽에 건조처리를 행하고 있다. 이에 의해, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 흡습에 의한 기판팽창의 영향을 완화하고, 또한, 방습에 의한 양 기판의 수축의 정도를 맞추어, 이들 양 기판사이의 치수변동을 방지할 수 있다.

만약, 상기한 바와 같은 본 실시예에 관한 제조방법을 사용하지 않고, 종래와 같이, 도6에, 2중 테두리로 나타낸 건조처리 및 가열처리를 행하지 않은 방법을 사용한 경우, 다음과 같은 문제가 발생하게 된다.

종래 방법에서는, 러빙후 세정으로 흡습에 의해 팽창한 기판이 그대로 접합된 일방의 기판으로 된다(본 실시예에 있어서는 SEG 기판(1)). 이는, 타방의 기판(본 실시예에 있어서는 COM 기판(2))에는, 러빙후 세정후에 시일재 인쇄와, 레벨링을 위한 가열처리가 실시되기 때문에, 일단 러빙후 세정으로 흡습에 의해 팽창한 기판이 건조되어 수축하고, 러빙후 세정에 있어서의 흡습에 의한 팽창의 영향이 없기 때문이다. 단, 상기 타방의 기판이, 완전히 원래의 건조상태의 치수(러빙배향처리시의 치수)로 되돌아갈 지, 또는 가열에 의한 기판의 수축 때문에, 원래의 치수보다 수축할 지는, 가열 조건에 의해 다르다.

이 때문에, 종래 방법에서는, 일방의 기판은 흡습에 의해 팽창한 채로, 또한타방의 기판의 상태는, 가열조건에 의해, 수축 또는 원래 치수로 되돌아간 상태로 양 기판이 접합된다. 이 때문에, 이러한 다른 팽창수축상태에 있는 2개의 기판을 접합시키면, 각각의 전극패턴이 합치하지 않는 문제가 발생한다.

그러나, 상술한 바와 같은 본 실시예에 관한 플렉시블 액정표시패널의 제조방법을 사용함으로써, 이상과 같은 종래 방법의 문제점을 해소할 수 있다.

본 실시예에서는, SEG 기판(1)에 있어서의 스페이서 산포 및 가열처리와, COM 기판(2)에 있어서의 시일재 인쇄 및 레벨링이 종료한 후, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 접합, 프레스·소성처리가 행하여진다.

본 실시예에 있어서, 상기 모든 공정처리가 연속적으로 행하여지는 경우, 상기 건조처리는, 특정한 공정, 구체적으로는, 기판의 치수변화에 영향을 주는 러빙후 세정공정의 후에 행하여지나, 각 공정처리 사이에 처리대기 시간이 존재하는 경우, 각 처리대기 시간 사이에, 각각, 건조처리를 실시하는 것이 바람직하다.

도8 및 도9에, 액정표시패널의 제조를 위한 절연막형성으로부터 기판접합까지의 공정에서의 플렉시블 기판의 팽창수축거동(치수거동)을 도시한다. 도8은 상기 모든 공정처리가 연속적으로 행하여지는 경우의 플렉시블 기판의 팽창수축거동을 도시한 설명도이고, 도9는 상기 공정처리의 여러 개소에 처리대기 시간이 개재된, 현실의 공정 플로우에 가까운 경우의 플렉시블 기판의 팽창수축거동을 도시한 설명도이다.

우선, 도8에 기초하여, 플렉시블 기판의 치수거동을 설명한다. 여기서, 절연막형성 공정 전의 플렉시블 기판은 충분히 건조되어 있고, 그 기판의 원래 치수인 것으로 한다.

인쇄법에 의해 절연막(8)을 형성하는 경우, 통상, 기판세정, 인쇄, 소성의 각 공정처리가 행하여진다. 플렉시블 기판에 수계(水系)의 세정이 실시될 때, 상기플렉시블기판은 흡습하여 팽창한다. 이 팽창도는, 세정시간, 온도 등에 의해 여러 가지로 다르다. 이어서, 상기 플렉시블 기판표면에 남아 있는 물을 에어 나이프 등으로 제거한 후, 옵셋 인쇄법 등으로 절연막(8)의 재료를 상기 플렉시블 기판표면에 전사한다. 인쇄시 주위 환경은, 온도 23 ℃, 상대 습도 60% 이다. 세정에 의해 충분히 흡습한 플렉시블 기판은, 이 환경하에서는, 함유한 수분을 방출하고, 시간의 경과에 따라 수축한다. 즉, 인쇄처리 동안, 상기 플렉시블 기판은 약간이지만 수축한다. 그리고, 인쇄 후의 소성에서 상기 플렉시블 기판은 건조하는 동시에 열수축하고, 냉각후의 기판 치수의 측정에서는, 원래의 치수보다 수축하게 된다. 또, 수축량은, 소성온도·시간 등의 소성 조건, 플렉시블 기판의 재료에 따라 크게 다르다.

일반적으로, 절연막(8)의 형성은, 한 쌍의 플렉시블 기판의 일방에 행하면 충분히 그 효과가 얻어진다. 이 때문에, 종래는, 일방의 플렉시블 기판에만, 절연막(8) 형성을 위한 소성이 행하여진다. 그러나, 절연막(8) 형성처리를 완료한 시점에서의 기판치수는, 도8에 도시한 바와 같이, 소성 전, 즉, 절연막(8)형성 전의 기판치수보다도 작게 된다. 이 때문에, 본 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 절연막(8)을 형성하지 않은 다른 일방의 기판에 대해서도 소성처리를 행한다.

계속해서 행하는 배향막(9a,9b)의 형성처리는, 절연막(8)의 형성처리와는 스타트시점의 기판치수가 다르지만, 상기 절연막(8) 형성시와 같은 팽창수축거동(치수거동)을 나타낸다.

배향처리공정에서는, 러빙처리 후, 세정이 실시된다. 러빙의 개시시점에서는 플렉시블 기판은 건조상태에 있고, 러빙처리중은 흡습하여 팽창한다. 러빙처리 후의 세정이 수계 세정의 경우, 플렉시블 기판도 흡습하여, 팽창한다.

이 경우의 흡습량은 상기와 같이 처리조건 및 기판의 재료에 따라 다르지만, 흡습 또는 팽창 도중의 상태이고, 기판마다 변동이 크기 때문에, 건조처리를 실시하여 기판의 원래 치수에 가까이 하여, 변동을 작게 한다.

이상적으로는, 충분한 건조처리를 행하여, 현 시점에서의 상기 플렉시블 기판의 원래 치수로 되돌려, 기판치수의 변동을 최소화하면 좋다.

접합공정에서는, 상기 한 쌍의 플렉시블 기판의 일방에 접합 시일재를 인쇄 등의 방법으로 형성한다. 타방의 플렉시블 기판에는, 셀 갭 형성용의 스페이서를 산포하는 것이 일반적이다. 시일재 인쇄 및 스페이서 산포중은, 상기 플렉시블 기판은, 흡습하여 팽창한다. 이어서, 시일재 인쇄측의 플렉시블 기판(도1에 도시한 플렉시블 액정표시패널에 있어서는 COM 기판(2))에는, 인쇄막의 레벨링을 위해 가열처리가 실시되고, 상기 플렉시블 기판은 건조하여 수축한다. 본 실시예에서는, 양 플렉시블 기판 사이에서 기판치수를 일치시키기 때문에, 스페이서 산포측의 플렉시블 기판(도1에 도시한 플렉시블 액정표시패널에 있어서는 SEG 기판(1))에도 가열처리를 행한다.

그 후, 양 플렉시블 기판은 접합되어, 시일재를 경화시키기 위해 소성된다. 접합 중, 이들 플렉시블 기판은 흡습, 팽창하고, 경화를 위한 소성에서는 건조 및 열처리에 의해 수축한다. 절연막 형성공정에서 접합 공정까지의 사이에 이상과 같은 플렉시블 기판의 치수거동이 있다.

도9에는 일례로서, ① 절연막형성공정 후, 배향막형성 공정개시 까지의 사이, ② 배향막형성 공정중의 인쇄후, 소성처리 개시까지의 사이, ③ 배향막형성 공정 후, 배향처리 공정 개시까지의 사이, ④ 배향처리 공정후, 접합 공정 개시까지의 사이, 및 ⑤ 접합 공정중의 가열처리후, 접합 개시까지 사이의 5개소에 대기시간이 있는 경우의 플렉시블 기판의 치수거동을 도시한다.

상기 플렉시블 기판의 대기 전의 상태가 건조상태에 있으면, 대기시간 중, 플렉시블 기판은 팽창하고, 흡습상태에 있으면, 대기 시간중, 플렉시블 기판은 수축한다. 이 때문에, 각 공정의 사이에 대기시간이 존재하면, 도8에 나타낸 경우와 기판치수의 변화의 상태는 다르게 되어, 대기의 상태(대기의 환경 및 대기시간)에 따라, 양 플렉시블 기판의 치수가 달라지게 된다.

이 때문에, 상기 한 쌍의 플렉시블 기판 사이에서 그 치수차를 소정의 치수내로 하기 위해서는, 각 가공처리의 조건을 될 수 있는 한 정밀하게 합치시킬 뿐만아니라, 대기시간도 포함시켜 상기 한 쌍의 플렉시블 기판의 흐름을 관리해야 한다. 이를 위해서는, 각 가공처리를 행하는 타이밍을 한 쌍의 플렉시블 기판사이에서 맞추는 것이, 대단히 유효한 수단이며, 상기 플렉시블 액정표시패널제조를 위해 양 플렉시블 기판에 공통적으로 실시되는 각 처리를, 각각, 거의 동시, 바람직하게는 1분 이내, 보다 바람직하게는 동시에 개시하는 것이 특히 효과적이다.

또한, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 상술한 바와 같이 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기 동안, 일정한 건조상태로 유지된 환경하에, 바람직하게는 습도가 20% 이하로 유지된 환경하에 상기 양 플렉시블 기판을 보관하는 것도 대단히 유효한 수단이다. 제조프로세스의 도중에서, 체류 등으로 다음 공정대기로 되어있는 플렉시블 기판을, 일정한 건조상태에 유지된 환경하에 보관함으로써, 상기 양 플렉시블 기판이 처리대기중에 주변분위기로부터 흡습하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 흡습에 의한 플렉시블 기판의 팽창을 억제하여, 제조공정중에 있어서의 플렉시블 기판의 치수정밀도의 변동을 소망의 범위내로 유지할 수 있다. 또한, 이 경우, 예컨대 여분의 건조처리공정을 생략할 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 가공 프로세스의 각 처리에 의해 플렉시블 기판의 치수(즉, 투명전극패턴의 치수)의 변동을, 최대 30μm로 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 의하면, 양 플렉시블 기판의 각 처리 개시의 타이밍을 맞춤으로써, 각 플렉시블 기판의 흡습에 의한 치수변화를 일치시킬 수 있기 때문에, 접합 정밀도를 포함해서, 40μm(±20μm)의 패턴감합 정밀도를 만족하는 플렉시블 액정표시패널을 얻을 수 있다.

다음, 본 실시예에 관한 도1에 도시한 플렉시블 액정표시패널의 제조공정의 패널분단 공정에 대해 설명한다. 도10에, 상기 패널분단공정의 플로우가 도시되어 있다.

패널분단공정에서는, 우선, 패턴위치를 합하여 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 접합한 후, 프레스하면서 가열하여 시일재(4)를 소결시키고, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 접합을 완료한다.

그 후, 상기와 같이 접합된 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)을, 이들 양 기판이 접합된 상태로 소망의 패널사이즈로 분단하고(제1분단), 이들 양 기판 사이에 액정을 주입한다. 또한, 액정주입 후에도, 필요에 따라 제2분단이 행하여진다. 본 실시예의 방법에서는, 제1분단 전 및 제2분단 전의 대기 중 접합된, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판(이하, 설명의 편의상, "패널기판"이라 칭한다)를 건조고 내에 보관하여 흡습을 방지하여, 흡습에 의한 치수변화를 억제하고 있다.

만일, 본 실시예의 방법과 같이 분단 전의 패널기판을 건조고 내에서 보관하지 않은 경우, 분단 공정까지의 사이에, 주변환경의 습도에 의한 흡습으로 기판이 팽창하게 된다. 이러한 기판의 팽창은, 환경온도와 방치시간에 의해 결정되는 흡습의 상황에 따라 크게 변동된다. 패널기판의 분단위치는, 패턴치수를 측정하는 것에 의해 결정되기 때문에, 팽창의 정도가 각 패널기판마다 다르면, 패턴치수를 각 패널기판마다 측정하지 않으면 안된다. 이는, 생산효율의 악화의 원인으로 된다.

이에 대하여, 본 실시예에 있어서의 방법에서는, 패널기판을 분단 전에 건조고 내에 보관하기 때문에, 분단 전의 패널기판의 흡습을 방지하여 치수변화를 억제할 수 있다. 이에 의해, 모든 패널기판이 거의 같은, 바람직하게는 동일한 건조상태로 되어 있기 때문에, 분단되는 패널기판마다 패턴치수를 측정할 필요가 없게 된다. 즉, 본 제조방법을 사용하는 것에 의해, 패널기판의 분단위치를 용이하게 확정할 수 있어, 생산효율이 향상한다.

또한, 분단(cutting)전의 기판의 팽창을 방지하기 위한 방법으로서, 건조고내에 각 패널기판을 보관하는 이외에, 각 패널기판에 대해 건조처리를 행할 수 있다.

여기서, 처리를 기다릴 때, 즉, 대기시간중의 환경에 의한 플렉시블기판의 팽창수축거동(기판치수거동)을 도11에 나타낸다.

예컨대 소성등의 전처리 공정에 의해 플렉시블기판이 건조한 상태에서는, 대기로부터 흡습하여, 플렉시블기판이 팽창한다. 그 팽창의 정도는, 대기중의 주변환경에 의해 결정된다.

도11에는, 온도 23t, 상대습도 60%를 실내환경으로 하였을 때의 플렉시블기판의 치수거동에 대해, 상대습도 40%, 상대습도 20%, 및 흡습하지 않은 경우(흡습하지 않은 건조상태에 보관, 또는 대기시간이 제로인 경우)의 모델을 비교표시하였다.

대기시간 후의 후처리공정을 실내환경에서 행하면, 실내환경에서 대기한 플렉시블기판의 치수변동은, 그대로 계속하여 동일조건하에 있게 되면 동일하지만, 다른 환경하에서 보관된 플렉시블기판은, 후처리공정의 개시와 같이, 상대습도 60%의 실내환경하에서 기판치수의 변동을 일으킨다.

도11에서, 점선으로 나타낸 후처리공정 개시로부터의 시간(T)에서 그 공정처리에 있어서의 플렉시블기판의 치수정밀도가 결정되면, 대기시간 없이 처리된 플렉시블기판의 치수에 대해, 실내환경에 대기시간동안 보관된 플렉시블기판에서는, 치수 D1만 기판치수가 다른 것으로 된다. 이와 동일하게, 상대습도 40%에서의 보관은 치수 D2만, 상대습도 20%에서의 보관에서는 치수 D3만 기판치수가 다르다. 대기시간중, 건조한 환경에서 기판을 보관함으로써, 이 치수 D1·D2·D3 사이의 치수차를 감소시킬 수 있다.

이 결과, 도9에 나타낸 팽창/수축거동에서는, 대기시간중의 가습에 의한 팽창을 경감할 수 있기 때문에, 대기시간이 없는 경우의 치수거동에 근접하게 되어, 대기시간의 변동의 영향을 경감할 수 있다. 또한, 도10에 나타낸 분단(cutting), 및 액정주입공정에서는, 제 1 분단처리의 이전공정으로 패널 접합 공정에서의 소성처리(baking operation), 및 제 2 분단처리의 이전공정인 진공주입법에 의한 액정주입처리에 의해, 플렉시블기판이 거의 완전히 건조된다. 상기 플렉시블기판을, 각각의 분단처리의 대기시간중에 건조한 환경에 둠으로써, 플렉시블 기판의 팽창을 억제하여, 기판치수를 원하는 치수로 할 수 있다.

일반적인 분단정밀도로서, ±150㎛ 정도의 정밀도가 필요하지만, 상기한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 상기 분단정밀도를 충분히 만족시킬 수 있고, 한 쌍의 플렉시블기판의 치수를 일치시키는 일반적인 방법으로서, 양 플렉시블기판이 주위환경에 의해 조정되어 기판치수의 거동을 완전히 안정시키는 방법을 들 수 있지만, 이 경우, 각각의 공정처리전에 수일사이의 대기시간을 요하므로, 현실적이지 않다.

본 실시예에 의하면, 상기한 바와 같이, 양 플렉시블기판에, 거의 동일하고 바람직하게, 동일한 열처리나 건조처리를 적용하거나, 보다 바람직하게는 양 플렉시블기판의 처리타이밍을 일치시킴으로써, 습도 및 온도관리를 하기 쉽고, 종래의 공정프로세스, 장치, 생산수단을 사용하여, 양호한 패턴정밀도로, 또한 저비용으로 제조할 수 있다.

상기한 바와 같이, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 각각 제공되고 있는 플라스틱기판(6a,6b)의 열이력(heat histories)을 일치시키고 플라스틱기판(6a,6b)의 건조를 유지하는 것이, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2) 사이의 패턴감합 정밀도를 얻기 위해, 특히 바람직하다.

또한, 온도프로세스처리와 건조프로세스처리를, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 행함으로써, 적극적으로 이들 양 기판의 치수정밀도를 제어할 수 있다.

또한, 상기 설명에 있어서, 주로 절연막 형성공정 이후의 공정을 예로 들어 설명하였지만, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 절연막 형성공정 이후의 공정에만 적용되는 것이 아니라, 그 이전의 공정, 예컨대 칼라필터 형성공정이나 투명전극 형성공정에서도 적용된다.

예컨대, 도1에 나타낸 본 실시예에 따른 단순매트릭스형 액정표시패널에서는, COM 기판(2)에만 칼라필터(11)가 형성되어 있다. 상기 칼라필터(11)는, RGB의 각각의 색에 대응하는 칼라필터부 및, 상기 칼라필터부의 각 색의 패턴사이에 배치된 차광성의 블랙매트릭스부로 구성되어 있다. 이 경우, 예컨대, 플라스틱기판(6b)상에, 자외선을 흡수 또는 차광하는 각 색의 칼라필터부를 패턴화한 후, 이 칼라필터부가 형성된 플라스틱기판(6b)상에 블랙매트릭스부를 형성하도록, 감광성 수지조성물을 포함하는 감광성수지재료, 예컨대 감광성흑색 잉크등을 스크린 인쇄법등에 의해 배치한다. 그 후, 상기 플라스틱기판(6b)에 대해 프리베이킹(prebaking)(열처리)을 행함으로써, 흑색 잉크층을 형성한다.

이 경우, 상기 칼라필터(11)는 COM 기판(2)에만 형성되기 때문에, 상기 프리베이킹 동작은, SEG 기판(1)에 있어서는 불필요한 공정이다. 그러나, 상기한 바와 같이, 일방의 기판에만 기판의 수축의 원인이 되는 처리를 행하면, 양 기판 사이에 치수의 변동이 발생하여, 패턴감합 정밀도가 저하된다. 따라서, 절연막 형성공정보다 이전의 공정에서도, 절연막 형성공정 이후의 공정과 같이, 일방의 기판에 기판의 팽창 또는 수축의 원인이 되는 처리를 행하는 경우, 타방의 기판이 상기의 처리를 필요로 하는지 하지 않는지에 관계없이, 타방의 기판에도 상기 일방의 기판에 행하는 처리와 동일한 형태의 처리를 행하는 것이, 패턴감합 정밀도를 향상시키고, 양품율이 좋은 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 데 있어서 중요하다.

또한, 상기 설명에서는, 칼라필터(11)에 있어서의 블랙매트릭스부의 형성의 일부에 관해 설명하였지만, 칼라필터부를 예컨대 감광성 수지이용 안료분산법(photosensitive-resin-using pigment dispersion)이나 안료분산 필름전사법(pigment-dispersed-film transfer), 인쇄법 등을 이용하여 형성하는 경우에도 동일한 문제가 발생한다. 또한, 그 외에도, 예컨대, 상기 스페이서(5) 대신에, 예컨대 광경화성수지를 사용하여 벽모양 스페이서를 형성하는 경우 등에도 같은 문제가 발생한다. 따라서, 상기 처리는, 원하는 패턴에 따라, 패턴을 형성할 때, 일방의 기판에 기판의 팽창 또는 수축을 일으키는 처리를 행할 필요가 있는 경우, 타방의 기판에도 상기 일방의 기판에 행한 처리와 동일한 타입의 처리가 행해진다.

또한, 상기 패턴으로서, 상기 투명전극(7a,7b), 칼라필터(11), 절연막(8), 배향막(9a,9b) 이외에, 더미 칼라필터나, 막두께 단차조정막, 포토레지스트막, 투명도전막, 반도체막, 흡수필터, 금속도전막, 금속반사막, 다층반사막, 금속마스크, 미러(mirror)들, 가시광 차광막, 착색막, 투명막, 백색계 확산반사막, 하부피복막(undercoat film), 가스배리어막, 상부피복막(top coat film), 확산반사막, 벽모양 스페이서 등, 용도에 따라 바람직한 여러가지의 패턴으로 할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법을 이용하여 제조되는 도1에 나타낸 플렉시블 액정표시패널은, SEG 기판(1)에 절연막(8)을 제공하는 구조로 되어 있지만, COM 기판(2)에 절연막을 제공하는 구조로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 절연막 형성공정시에 있어서, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 처리내용이 반대로 된다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에서는, SEG 기판(1)에 스페이서를 산포하여, COM 기판(2)에 시일재 인쇄를 행하는 방법으로 되어 있지만, 이와 반대로, SEG 기판(1)에 시일재 인쇄를 행하여, COM 기판(2)에 스페이서를 산포하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 기판의 접합시의 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)의 제조공정이 반대로 된다.

또한, 본 실시예에 있어서는, 각 기판(SEG 기판(1), COM 기판(2))에 형성되는 패턴을 투명전극(7a,7b)이라고 하고 있지만, 이에 한정되지 않고, SEG 기판(1)및 COM 기판(2)의 양 기판에 형성되는 패턴의 조합이, 예컨대 투명전극패턴/칼라필터패턴이나, 액티브소자패턴(TFT 등)/칼라패턴 등일 수 있다.

또한, 상기의 설명에 있어서는, 주로, 단순매트릭스형 액정표시패널의 구성에 관해 설명하였지만, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널은, 단순매트릭스형 액정표시패널에 한정되는 것이 아니라, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널 전반, 즉, 패턴의 형성시에, 한 쌍의 기판중 일방의 기판에만 기판의 팽창 또는 수축을 일으키는 처리 동작을 행하는 경우, 기판의 치수에 변동이 발생하는 플렉시블 액정표시패널 전반의 제조에 적용할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에서는, 패턴화된 대형의 기판을 접합시킨 후 패널사이즈로 분단하는 방법에 본 발명을 적용하고 있지만, 패턴화된 대형의 기판을 접합시킴으로써, 한 매의 대형 패널을 제조할 때 본 발명을 적용시키는 것도 가능하다. 이 경우에도, 사이즈의 정확도가 높은 패널을 생산하는 동일한 효과를 얻을 수 있다.

다음, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템의 일례에 관해 설명한다.

도12는 접합 공정에서의 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템(생산라인)의 구성을 나타내고 있다. 이 생산라인에는, SEG 기판(1)용 라인(기판반송부)과 COM 기판(2)용 라인(기판반송부)이 서로 평행하게 연장하여 제공되고 있다. SEG 기판(1)용 라인에는, 탑재장치(21a), 스페이서 산포장치(22)(처리수단), 및 가열장치(23a)(열처리수단(처리수단))가 제공되고 있다. 또한, COM 기판(2)용 라인에는, 탑재장치(21b), 시일재 인쇄장치(24)(처리수단), 및 가열장치(23b)(열처리수단(처리수단))가 제공되고 있다. 이 생산라인에는, 탑재장치(21a)와 탑재장치(21b), 스페이서 산포장치(22)와 시일재 인쇄장치(24), 가열장치(23a)와 가열장치(23b)가, 각각 병렬로 배치되어 있다. 그리고, 가열장치(23a)에서의 처리후의 SEG 기판(1)과, 가열장치(23b)에서의 처리후의 COM 기판(2)이, 접합 장치(25)(처리수단)로 접합된다.

상기 제조시스템을 사용한 플렉시블 액정표시패널의 제조에 있어서는, 러빙후 세정을 종료한 후, 충분히 건조시켜 팽창을 없앤 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)을 이 생산라인에 투입한다. 이 때, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)은, 평행하게 배치된 2열의 라인으로 이동되기 때문에, 각 장치에 동일한 타이밍으로 투입되어, 동일한 습도환경하에서 각각의 처리들이 행해지고, 접합되기 전에 가열처리가 동시에 행해지게 된다. 이에 의해, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)에 있어서의 팽창수축의 시간팩터에 의한 변동을 억제할 수 있기 때문에, 보다 정밀도가 증가된 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판의 치수정밀도를 일치시킬 수 있어, 패턴감합 정밀도도 향상된다.

도13은 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템(생산라인)의 다른 구성을 나타내고 있다.

도13에 나타낸 제조시스템은, 가열처리후의 건조공정(가열 및 냉각이 자동화되고 생산라인에 통합된다. 이를 구현하기 위해, 도12에 나타낸 생산라인에 있어서의 스페이서 산포장치(22) 및 시일재 인쇄장치(24)의 앞에, 탑재장치(21a,21b) 대신에, 상류측에, 러빙후 세정장치(30)(처리수단), 가열장치(27)(건조처리수단(열처리수단, 처리수단)), 냉각장치(28)(건조처리수단(열처리수단, 처리수단)), 및 소팅(sorting)장치(29)가 배치되고, 가열장치(23a,23b)와 접합장치(25) 사이에, 냉각장치(26a,26b)(열처리수단, 처리수단)가 배치된 구성을 갖고 있다.

상기 생산라인에서는, 러빙후 세정액의 건조공정에 사용되는 건조처리수단(가열건조를 위한 건조처리수단)은, 가열장치(27)와 냉각장치(28)로 구성되어, 소팅 장치(29)를 사용하여 전후의 공정에 직접접속하고 있다. 또한, 접합공정에 있어서의 COM 기판(2)의 레벨링 및 SEG 기판(1)의 가열처리에 사용되는 열처리수단은, 가열장치(23a,23b)와 냉각장치(26a,26b)로 구성되어 있다.

러빙후, 세정을 종료한 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)은, 가열장치(27)에 의해 가열건조되고, 계속해서, 냉각장치(28)에 의해 소정의 온도까지 냉각된 후, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)과 소트되어, 스페이서 산포장치(22)와 시일재 인쇄장치(24)에 공급된다. 각각의 처리후, 가열장치(23a,23b)에 의해 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판에 가열처리가 행해지고, 그 후, 양 기판은 냉각장치(26a,26b)에 의해 소정의 온도까지 냉각되어, 동시에 접합장치(25)에 공급된다.

도13에 나타낸 제조시스템을 사용함으로써, 가열 및 건조의 타이밍을 일치시킬 뿐만 아니라, 러빙후의 세정으로부터 접합까지 한 쌍의 기판의 처리환경을 완전히 일치시킬 수 있어, 패턴치수 정밀도를 더욱 적극적으로 제어하는 것이 가능해진다.

또한, 도13에 있어서는, 설명의 편의상, 도6의 플로우 챠트와 대응시켜 러빙후 세정 및 세정후의 건조처리를 동일 제조 라인으로 하고, 건조후, SEG 기판(1)과COM 기판(2)을 소트하는 구성으로 하였지만, 러빙배향처리(도시 안함)를 포함시켜, 스페이서 산포, 시일재 인쇄 공정을 통해 각각 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 처리하는 2개의 라인을 제공할 수 있다. 이에 의해, 대기시간을 포함시킨 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 양 기판의 제조환경의 관리를 보다 용이하게 할 수 있다.

또한, 스페이서 산포의 처리 요령과 시일재 인쇄의 처리 요령이 일치하지 않는 경우, 각각의 처리장치의 하류측에, 일시기판을 저장하기 위한 버퍼장치(도시 안함)를 배치하여, 기판을 가열장치(23a,23b)에 동시에 투입하도록 기판반송제어를 행함으로써, 패턴치수 정밀도를 유지한 후, 생산장치로서의 대응성을 확장하는 것도 가능하다.

또한, 도13에서는, 러빙후 세정액의 건조공정에 사용되는 건조처리수단이 가열장치(27)와 냉각장치(28)로 구성되어 있지만, 가열장치(27) 및 냉각장치(28)에 대신, 상기한 바와 같이, 감압건조에 의한 건조용 장치, 예컨대 도시하지 않은 진공건조기등의 감압장치를 구비한 구성일 수도 있다. 이 경우에도, 상기 건조용 장치로서 소트장치(29)를 사용하여, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 스페이서 산포장치(22)와 시일재 인쇄장치(24)에 투입하도록 소정 온도로 냉각된 SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 소트한다. 또한, 각각 대응하는 2개의 라인에 평행하게 2개의 건조용 장치를 제공할 수 있다.

또한, 상기 도12 및 도13에 관해서는, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조시스템에 있어서의 러빙후 세정으로부터 접합 공정에서의 생산라인에 관해 도시하였지만, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조시스템의 구성은 이에한정되지 않는다.

또한, 가열장치 하류측의 처리장치에 기판을 반송하는 경우, 가열장치를 1개 제공하고, 소트장치 및 기판을 일시 저장하기 위한 버퍼장치를 배치하여, 하류측의 처리장치에 반입되는 기판의 타이밍을 일치시킨다. 따라서, 상기 한 가열장치(23a, 23b)로 대체하여 양 기판을 동시에 처리할 수 있는 대형 가열장치를 사용할 수 있다.

여기서, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서의 상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 기판반송제어의 일례를, 도14 및 도15를 참조하여 이하에 설명한다.

도14는 기판반송제어 따른 상기 제조시스템의 블록도이다.

SEG 기판(1)의 제조라인은, 기판탑재장치 또는 기판반송로를 구비한 반송장치(31,33)(기판반송수단, 제 1 기판반송부), 및 인라인화된 처리장치(32,34)로 구성되고, 각 처리장치(32,34)는 반송장치(31,33)에 의해 접속되어 있다. 반송장치(31)는 처리장치(32)에 SEG 기판(1)을 투입하고, 반송장치(33)는 처리장치(32)로부터 SEG 기판(1)을 취득한 후, 상기 SEG 기판(1)을 처리장치(34)에 투입한다.

반면, COM 기판(2)의 제조라인은, 기판탑재장치 또는 기판반송로를 구비한 반송장치(35,37)(기판반송수단, 제 2 기판반송부), 및 인라인화된 처리장치(36,38)로 구성되고, 각 처리장치(36,38)는 반송장치(35,37)에 의해 접속되어 있다. 반송장치(35)는 처리장치(36)에 COM 기판(2)을 투입하고, 반송장치(37)는 처리장치(36)로부터 COM 기판(2)을 취득한 후, 상기 COM 기판(2)을 처리장치(38)에 투입한다. 상기 처리장치(32,34,36,38)는, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따른 임의의 처리장치, 예컨대 가공처리장치, 가열장치, 냉각장치, 감압장치등을 나타낸다.

상기 각 처리장치(32,34,36,38) 및 반송장치(31,33,35,37)는 시퀀서(sequencer)등으로 이루어지는 제어장치로서 예컨대 PLC(programmable logic controller: 프로그램가능한 논리제어회로)(41∼48)를 갖고, SEG 기판 제조라인 및 COM 기판 제조라인에 있어서의 각 처리장치(32,34,36,38) 및 반송장치(31,33, 35,37)의 각각의 송수신 장치의 제어는, 각 PLC 사이의 신호(기판투입가능신호)를 송수신하는 것에 의해 행해진다.

이 때문에, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 평행하게 배치된 처리장치로 투입하는 타이밍, 예컨대, 처리장치(32)로의 SEG 기판(1)의 투입의 타이밍과 처리장치(36)로의 COM 기판(2)의 투입의 타이밍, 및, 처리장치(34)로의 SEG 기판(1)의 투입의 타이밍과 처리장치(38)로의 COM 기판(2)의 투입의 타이밍을 일치시키기 위해, 상기 제조시스템은, 반송장치(31)와 반송장치(35), 및, 반송장치(33)와 반송장치(37)를 신호선으로 접속하고, 기판투입을 위한 기판투입 가능신호를 각 반송장치(31,35) 사이, 및, 반송장치(33,37) 사이에서 송수신할 수 있는 구조이다.

이에 의해, 상기 SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)은, 상기 PLC(41∼48)의 제어하에서, 각 반송장치(31,33,35,37)에 의해, 각 처리장치(32,34,36,38)로의 투입의 타이밍이 일치하도록 제어된다.

도15는 상기 제조시스템에 있어서의 기판반송제어에 따른 플로우를 나타낸 설명도이고, 도14에 있어서의 각 처리장치(32,34,36,38)로서 가공처리를 행하는 경우를 예로 들어, SEG 기판 제조라인에 있어서의 처리장치(32)로부터 처리장치(34)로의 SEG 기판(1)의 반송과, COM 기판 제조라인에 있어서의 처리장치(36)로부터 처리장치(38)로의 COM 기판(2)의 반송과의 관계를 나타내고 있다.

SEG 기판(1)은, 공정(이하, 단지 S와 기재한다)1에서 처리장치(32)에 투입되어, S2의 상기 처리장치(32)에 의해 가공처리가 행해진 뒤, 후 공정을 위한 처리장치 (34)로 이동된다. 한편, COM 기판(2)은, S11에서, S1과 타이밍을 같이 하여 처리장치(36)에 투입되고, S12의 상기 처리장치(36)에서 가공처리가 행해진 뒤, 후 공정인 처리장치(38)에 이동된다.

S2에서 소정의 가공처리를 완료한 SEG 기판(1)은, S3에서, 처리장치(32)로부터 반송장치(33)에 의해 반출되어, 일시적으로 저장된다(S4). 한편, S12에서 소정의 가공처리를 완료한 COM 기판(2)은, S13에서, 처리장치(36)로부터 반송장치(37)에 의해 반출되어, 일시적으로 저장된다(S14).

반송장치(33)는, SEG 기판(1)이 저장상태에 있고, 또한, SEG 기판(1)반송 이전의 처리장치에 있는 처리장치(34)로부터의 수신가능신호를 수신하면, 처리장치(34)가 수신가능상태에 있다고 판단하여(S5), COM 기판 제조라인측의 반송장치(37)에, 처리장치(34)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 송신한다(S6). 한편, S5에서, SEG 기판(1)이 저장상태에 있고, 또한, SEG 기판(1)반송 이전의 처리장치에 있는 처리장치(34)로부터의 수신가능신호가 확인(수신)되지 않는 경우에는, S4로 되돌아가서, SEG 기판(1)의 저장과 처리장치(34)로부터의 수신가능신호가 확인될 때까지 SEG 기판(1)의 저장을 행한다.

이와 같이, 반송장치(37)는, COM 기판(2)이 저장상태에 있고, 또한, COM 기판반송 이전의 처리장치에 있는 처리장치(38)로부터의 수신가능신호를 수신하면, 처리장치(38)가 수신가능상태에 있다고 판단하여(S15), SEG 기판 제조라인측의 반송장치(33)에 대해, 처리장치(38)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 송신한다(S16). 한편, S15에서, COM 기판(2)이 저장상태에 있고, 또한, COM 기판(2)반송 이전의 처리장치에 있는 처리장치(38)로부터의 수신가능신호가 확인(수신)된 경우에는, S14에 되돌아가서, COM 기판(2)의 저장과 처리장치(38)로부터의 수신가능신호가 확인될 때까지 COM 기판(2)의 저장을 행한다.

반송장치(33)는, S6에서, 처리장치(34)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 송신하는 동시에, 반송장치(37)로부터 처리장치(38)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 수신하면, 처리장치(34,38)가 함께 기판투입 가능한 상태에 있다고 판단하여(S7), 처리장치(34)에 SEG 기판(1)을 투입하고(S8), 상기 처리장치(34)에서 가공처리를 행한다(S9).

한편, S6에서 처리장치(34)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호의 송신과, 반송장치(37)로부터 처리장치(38)로 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호의 수신중 어느 한쪽도 행해지고 있지 않은 경우는, S4로 되돌아가서, 처리장치(34,38)가 함께 기판투입 가능한 상태로 될 때까지 SEG 기판(1)의 저장을 행한다.

즉, 상기 반송장치(33)는, 처리장치(34)의 수신가능신호와 처리장치(38)로의 기판투입가능신호의 양 신호의 수신을 조건으로, 처리장치(34)에 SEG 기판(1)을 투입한다.

이와 같이, 반송장치(37)는, S16에서, 기판처리(38)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 송신하는 동시에, 반송장치(33)로부터 처리장치(34)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호를 수신하면, 처리장치(34,38)가 함께 기판투입 가능한 상태에 있다고 판단하고(S17), 처리장치(38)에 COM 기판(2)을 투입하여(S18), 상기 처리장치(38)로써 가공처리를 행한다(S19).

한편, S16에서 처리장치(38)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호의 송신과, 반송장치(33)로부터 처리장치(34)로의 기판투입이 가능한 것을 나타낸 기판투입가능신호의 수신중, 어느 한쪽도 행해지고 있지 않은 경우는, S14로 되돌아가서, 처리장치(34,38)가 함께 기판투입가능상태로 될 때까지 COM 기판(2)의 저장을 행한다.

즉, 상기 반송장치(37)는, 처리장치(38)의 수신가능신호와 처리장치(34)로의 기판투입가능신호의 양 신호의 수신을 조건으로서, 처리장치(38)에 COM 기판(2)을 투입한다. 이상의 제어에 의해, SEG 기판(1)과 COM 기판(2)을 동시에, 각각, 처리장치(34), 처리장치(38)에 투입할 수 있다.

이와 같이, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서는, 반송장치(31,33)에 의한 반송이 행해지는 SEG 기판제조라인, 및 반송장치(35,37)에의한 반송이 행해지는 COM 기판제조라인을 별도로 구비하며, 각각의 제조라인은 PLC (41,43,45,47)와 PLC(42,44,46,48)에 의해 독립적으로 제어가능하고, 상기 양 기판에 대응하는 처리, 예컨대 동일한 처리가 각각 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 타이밍에서 시작되도록, 상기 SEG 기판제조라인에 있어서의 각 처리장치(32,34)로의 반송의 타이밍과 COM 기판제조라인에 있어서의 각 처리장치(36,38)로의 반송의 타이밍이 각각 제어되기 때문에, SEG 기판(1) 및 COM 기판(2)의 치수의 변동을 용이하게 원하는 범위내로 한정할 수 있다.

또한, 상기 처리장치(32,34,36,38)에서는, 상기 도12 및 도13에 나타낸 바와 같이, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따른 배치라면, 상기 스페이서 산포장치(22), 시일재 인쇄장치(24), 가열장치(23a), 가열장치(23b), 냉각장치(26a), 냉각장치(26b)등의 어느 처리장치도 적용할 수 있다. 예컨대, 상기 처리장치(32)가 스페이서 산포장치(22)인 경우, 처리장치(34)로서는 가열장치(23a), 처리장치(36)로서는 시일재 인쇄장치(24), 처리장치(38)로서는 가열장치(23b)가 사용된다.

또한, 상기 처리장치(32,34,36,38)는, 도12 및 도13에 있어서의 생산라인의 상류측에 제공된 처리장치일 수 있고, 상기 처리장치(32,34,36,38)에서는, 예컨대, 칼라필터형성을 위한 장치, 투명전극형성을 위한 장치, 절연막 형성을 위한 장치, 배향막 형성을 위한 장치, 배향처리를 위한 장치등 여러가지의 처리장치(처리수단)를 적용할 수 있다.

또한, 상기의 생산라인에서는, 각 처리장치 및 반송장치가 신호의 송수신을 행하는 것으로 각각 별도의 제어장치에 의해 제어되고 있는 구성으로 하였지만, 예컨대 CPU(central processing unit:중앙연산처리장치)등의 제어장치에 의해, 모든 처리장치 및 반송장치가 일괄적으로 제어되는 구성일 수도 있다.

또한, 도12 및 도13에 나타낸 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서, 양 기판의 팽창수축거동에 크게 영향을 주는 가열 및 냉각처리에 관해서는 양 기판에 동일한 처리를 동시에 행하고, 양 기판에 가열을 하지 않는 처리를 행할 때에는, 대응하는 공정의 처리가 동시에 행해지는 구성으로 하였지만, 처리환경을 동일하게 하기 위해, 일방의 기판에만 행해지는 처리를 다른 일방의 기판에 행할 때에는, 타방의 기판에는, 상기 처리환경과 동일하게 설정된 처리환경하에서 동일하게 반송 및 대기가 행해지는 구성일 수 있다. 또한, 이 경우, 상기 시스템은, 처리실과 대기실을 구비하고, 상기 처리실과 대기실은, 일방의 기판에 대해 행해지는 처리가 타방의 기판에 대해서는 행해지지 않도록 일부 격절되는 동시에, 처리실과 대기실 사이에서 열의 이동이 가능한 연통부를 구비한 처리장치를 사용하여, 상기 처리장치에 양 기판을 각각 처리실과 대기실이 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 반송가능한 구성일 수 있다. 양 기판의 처리환경, 즉, 양 기판의 팽창수축거동을 거의 동일하게 설정할 수 있는 것이 중요하다. 단지, 이와 같은 처리를 행할 때는, 도12 및 13에 나타낸 바와 같이, 각각 필요한 처리를 동시에 행함으로써, 처리시간을 단축시킬 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시킨 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 패턴의 형성시에, 상기 한 쌍의 기판중 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 일으키는 처리를 행하는 경우, 타방의 기판이 상기의 처리를 필요로 하는지 아닌지에 관계없이, 타방의 기판에도 상기의 처리, 즉, 상기 일방의 기판에 행하는 처리와 동일한 처리를 행하는 방법이다.

또한, 기판의 팽창 또는 수축을 일으키는 처리는, 처리 그 자체가 기판의 팽창 또는 수축을 일으키는 처리, 즉, 처리 그 자체가 기판의 흡습 또는 방습 또는 변성을 일으키는 처리이다. 구체적으로, 열처리, 건조처리, 세정처리등을 나타내며, 특히, 플렉시블기판의 수축을 일으키는 열처리, 건조처리를 대상으로 한다. 또한, 상기의 방법은, 열처리 중에서도, 소성 등, 기판에 비가역적인 수축을 일으키는 패턴형성을 위한 열처리에 특히 바람직하고, 상기 일방의 기판에 비가역적인 수축을 일으키는 패턴형성을 위한 열처리, 예컨대 소성을 행하는 경우, 타방의 기판에도, 기판에 비가역적인 수축을 일으키는 소성으로서의 열처리, 즉, 건조를 위한 열처리보다 높은 온도에서의 열처리를 행함으로써, 타방의 기판에도 비가역적인 수축을 발생시킴으로써, 일방의 기판만이 수축하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 양 기판의 치수의 변동을 억제하고, 패턴감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

따라서, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 구체적으로는, 상기 패턴의 형성시에, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 행하는 경우, 타방의 기판이 열처리를 필요로 하는지 아닌지에 관계없이, 타방의 기판에도 열처리를 행하는 방법에 관한 것이다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 구체적으로, 치수정밀도가 요구되는 특정 처리공정에 앞서, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하는 방법에 관한 것이다. 치수정밀도가 요구되는 특정 처리공정은, 구체적으로는 접합공정을 나타낸다. 즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 플라스틱 등의 유기재료를 기판으로 하는 액정표시패널의 제조에 있어서, 2장의 기판에 동일한 건조처리를 행한 뒤, 양 기판을 접합시키는 방법에 관한 것이다.

상기 열처리로서는, 예컨대 소성이나 레벨링 또는 건조를 위한 열처리등, 가열을 필요로 하는 처리가 대상이 되지만, 예컨대 단순매트릭스형 액정표시패널에 있어서의 절연막 형성공정에 소성이나, 접합공정에 있어서의 시일재 인쇄후의 레벨링등과 같이, 통상, 일방의 기판만에 필요하고 비가역적인 수축을 발생시키는, 패턴형성을 목적으로 한 열처리를 행하는 경우에 특히 유효하다.

또한, 상기 건조처리는, 예컨대, 가열에 의한 건조일 수도 있고, 진공건조등 감압에 의한 건조일 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는, 생산프로세스의 조건상의 제약으로부터, 상기 건조처리를 접합하기 전의 시일재 인쇄공정도 또는 스페이서 산포공정의 전에 행하는 방법에 관해 설명하였지만, 생산 프로세스의 제약이 없으면, 접합공정 바로 직전에 건조를 행함으로써, 건조후의 주위환경으로부터의 흡습의 영향을 제거하여, 보다 패턴감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

상기 방법에 의하면, 기판의 팽창수축거동 그 자체를 양 기판에 일치시킬 수 있기 때문에, 기판전체의 치수변화율을 양 기판에 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수매, 예컨대 1장의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에 관계없이, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기의 방법에서는, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을, 단독으로 반송 및 가공하는 것을 기본으로 하고 있다. 즉, 정밀도를 유지할 수 있는 기체상에 플라스틱 필름등을 형성하고 나서, 반송 및 가공하는 것이 아니다. 이 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개별적인 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로서 확립된 설정, 장치등을 적용할 수 있고, 상기 제조라인을 구성하는 각 처리장치로서 유리기판용 제조장치가 적용가능하며, 신규의 프로세스개발, 장치개발이 불필요해진다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 패턴정확도가 만족스럽도록 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 저비용으로 제조할 수 있다.

본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 행해지는 열처리 또는 건조처리의 처리조건이, 양 기판의 치수의 변동이 원하는 범위내로 되도록 구성되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 양 기판사이에서의 치수정밀도의 변동을 억제하여, 상기 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 용이하게 일치시킬 수 있다.

유기재료로 이루어지는 플렉시블기판은, 상기 플렉시블기판에 주어지는 열의 양에 의해 팽창수축률이 결정된다. 즉, 시간의 팩터와 온도의 팩터가 기판치수에크게 영향을 준다. 이 때문에, 상기 열처리는, 상기 한 쌍의 기판에 대해, 최종적으로 거의 같은 양의 열이 주어지도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 목적을 위해, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시킨 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판과의 온도이력이 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하도록, 양 기판에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 열처리가 행해지는 방법인 것이 바람직하다.

상기 한 쌍의 기판은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을 갖고 있기 때문에, 열처리 공정시, 특히, 칼라필터 형성공정이나 절연막 형성공정, 접합공정등에서 소성등의 패턴형성을 목적으로 한 열처리를 행하는 경우, 상기 열처리공정에서 주어지는 열의 상태에 따라 수축하지만, 이 한 쌍의 기판에 대해 각각 가공처리를 행할 때 양쪽에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 열처리를 행함으로써, 한 쌍의 기판의 온도이력이 서로 동일하게 된다. 이 결과, 열처리공정에서의 양 기판의 수축도도 동일해지기 때문에, 기판의 접합시에, 기판사이에서 치수정밀도의 변동이 발생하지 않고, 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 용이하게 일치시킬 수 있다. 또한, 예컨대 상기 한 쌍의 기판이 대형의 기판이고, 양 대형의 기판을 접합시켜 각 액정표시패널로 분단하는 경우에도, 상기한 효과와 같이, 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 용이하게 일치시킬 수 있는 효과가 얻어진다. 즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 양 기판의 열이력이 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 되도록 양 기판에 대한 열처리를 제어하는 것이 바람직하고, 또한, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판의 팽창수축거동과 타방의 기판의 팽창수축거동이 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 되는 열처리를 상기 한 쌍의 기판에 대하여 행하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 상기 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 행해지는 열처리가, 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 온도 프로파일로서 행해지는 방법인 것이 바람직하다.

예컨대 절연막 형성공정, 접합공정등에 있어서, 상기 열처리시, 한 쌍의 기판에 인가되는 총 열량을 합하기 때문에, 열처리의 온도 프로파일을 거의 동일하게 하여, 양 기판의 치수 수축량을 합산함으로써, 양 기판의 감합정밀도를 유지할 수 있다.

양 기판에 행해지는 온도 프로파일을 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 하여, 양 기판에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 열처리를 행하는 간편한 방법으로서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에, 동일한 설정조건으로 열처리를 행하는 방법을 들 수 있다. 이 경우, 거의 동일한 종류, 바람직하게는 동일한 종류의 처리장치를 사용하여 동일한 설정조건으로 열처리를 행함으로써, 상기 일방의 기판의 온도 프로파일과 타방의 기판의 온도 프로파일을 보다 엄밀히 관리할 수 있다. 이결과, 상기 일방의 기판의 열이력과 타방의 기판의 열이력을 용이하게 거의 일치시킬 수 있고, 또한, 양 기판에 인가되는 총열량, 나아가서는 양 기판의 치수 수축량을 용이하게 일치시킬 수 있다. 이 때문에, 양 기판사이에서의 치수정밀도의 변동을 억제하여, 상기 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 용이하게 일치시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 행할 때, 타방의 기판에도 열처리를 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 열에 의한 기판수축의 시간팩터에 의한 변동을 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있기 때문에, 플렉시블 액정표시패널을, 보다 만족스러운 패턴정밀도로 제조할 수 있다. 특히, 상기 열처리, 그 중에서도 특히 기판의 비가역적인 수축원인이 되는 열처리를, 양 기판에 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 개시함으로써, 열처리후의 흡습등에 의한 기판의 팽창에 대해, 거동의 스타트라인을 양 기판에서 일치시켜, 양 기판의 치수의 변동을 용이하게 원하는 범위내에 둘 수 있다.

이 때문에, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 대해 행해지는 열처리가, 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 행해지는 것이 보다 바람직하다.

특히, 한 쌍의 기판에 대해 동시에 열처리를 행함으로써, 열에 의한 기판수축의 시간팩터에 의한 변동을 보다 엄밀히 억제할 수 있다. 따라서, 치수변화의 이력을 엄밀히 제어하고, 보다 개선된 정확성으로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 보다 개선된 패턴정밀도로 제조할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시킨 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 접합시키기 전에, 구체적으로는 접합시키기 전의 시일재 인쇄공정도 또는 스페이서 산포공정 전에, 상기 한 쌍의 기판의 양쪽에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 건조처리가 행해지는 방법인 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시킨 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서, 상기 각 기판에 대해 행해지는 각 처리공정 전에, 구체적으로는 투명전극 형성공정이나 절연막 형성공정, 배향막 형성공정, 접합공정 전에, 상기 한 쌍의 기판의 양쪽에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 건조처리가 행해지는 방법인 것이 보다 바람직하다.

특히, 예컨대 한 쌍의 기판을 접합시키는 처리공정 전에, 양 기판에 대해 동일한 건조처리를 행함으로써, 유기재료가 흡습함으로써 발생하는 플렉시블기판의 팽창을 방지할 수 있다. 따라서, 플렉시블기판의 건조상태를 유지한 채로, 즉, 치수변동이 없는 기판끼리 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 만족스러운 정밀도로 접합함으로써, 기판을 접합시킬 수 있다. 또한, 예컨대 상기 한 쌍의 기판이 대형의 기판이고, 양 대형의 기판을 접합시켜 각 액정표시패널로 분단하는 경우에도, 상기한 효과와 같이, 각 기판에 형성된 소정의 패턴을 만족스러운 정밀도로 접합하여, 기판을 접합시킬 수 있는 효과가 얻어진다.

상기 양 기판에 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 건조처리를 행하기 위해, 예컨대, 상기 건조처리를, 동일한 설정조건, 보다 바람직하게는 동일한 종류, 특히, 동일한 형의 장치를 사용하여 동일한 설정조건으로 건조처리를 하는 것이 바람직하다. 상기 한 쌍의 기판의 처리환경이 거의 같으면, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동일한 건조처리, 바람직하게는 동일한 건조처리를 행함으로써, 양 기판사이의 건조의 정도를 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 할 수 있다. 이 결과, 흡습에 의한 양 기판의 팽창의 영향을 경감하여, 양 기판사이의 치수정밀도의 변동이 억제된 상태로 양 기판을 접합시킬 수 있다.

또한, 상기 건조처리에 따른 기판의 수축에 의한 양 기판의 치수의 변동을 원하는 범위내로 감소시키기 위해, 예컨대, 상기 건조처리를, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 대해, 각각의 기판이 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌아가는 처리조건으로 행하는 방법을 들 수 있다.

즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 건조처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌아가는 처리조건하에서 행해지도록 구성될 수 있다. 이에 의해, 양 기판의 치수정밀도를 용이하게 거의 일치, 바람직하게는 일치시킬 수 있다.

상기 각 기판은, 상기 한 쌍의 기판에 사용되고 있는 플렉시블기판이, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수보다 수축하지 않도록 상기 플렉시블기판에 사용되고 있는 유기재료의 종류에 따라 설정된 온도로, 일정시간 이상동안, 즉, 미리, 상기 플렉시블기판이 상기 원래치수로 되돌아가도록 상기 플렉시블기판에 사용되고 있는유기재료의 종류에 따라 설정된 시간동안, 적어도 열처리를 행함으로써, 용이하게 원래치수로 되돌릴 수 있다. 또한, 상기 플렉시블기판은, 예컨대, 일정시간 이상동안 진공 상태에 둠으로써, 용이하게 건조 및 수축하여 원래치수로 되돌아간다.

즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 행해지는 건조처리가 가열에 의해 행해지고, 또한, 특정 온도조건하에서 일정시간이상 가열건조되는 방법일 수도 있다. 즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 비가역적인 수축을 가져오지 않는 온도조건하에서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌아갈 때까지 가열을 계속하는 방법일 수도 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 행해지는 건조처리가 감압에 의해 행해지고, 또한, 특정 압력조건하에서 일정시간이상, 감압건조되는 방법일 수도 있다. 즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌아갈 때까지, 상기 한 쌍의 기판을 감압환경하에 보관함으로써 건조처리가 행해지는 구성일 수 있다.

상기 방법들중 어느 것에 의해서도, 양 기판을 완전히 건조시킴으로써, 흡습 및 건조에 의해 변동하는 기판치수를 그 시점에서의 기판의 원래치수까지 수축시켜, 치수의 변동을 최소화할 수 있다. 또한, 처리시간은, 가열온도나 압력등, 처리환경에 따라 설정된다.

또한, 상기 건조처리가 감압에 의해 행해지기 때문에, 가열에 의한 기판자체의 수축(변성)이 발생하지 않고, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수보다 기판이 수축하지 않기 때문에, 기판의 치수의 변화의 제어가 용이하고, 상기 양 기판을 용이하게 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌릴 수 있다. 따라서, 양 기판사이의 치수의 변동을 용이하게 제거할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 건조처리를 행할 때, 타방의 기판에도 건조처리를 행하는 것이 바람직하다.

이에 의해, 건조처리에 의한 기판수축의 시간팩터에 의한 변동, 나아가서는, 건조처리후의 흡습에 의한 기판팽창의 시간팩터에 의한 변동을 억제하고, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 특히, 기판의 원래치수로 리세트되는 건조처리를 양 기판에 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 개시함으로써, 두 기판의 거동이 각 공정에서 동시에 개시될 수 있어, 양 기판의 치수의 변동을 원하는 범위내로 감소시킬 수 있다. 이 결과, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있고, 플렉시블 액정표시패널을 보다 만족스러운 패턴정밀도로 제조할 수 있다.

이 때문에, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 대해 행해지는 건조처리가, 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 행해지는 것이 보다 바람직하다.

특히, 한 쌍의 기판에 대해 동시에 건조처리를 행함으로써, 흡습에 의한 기판팽창의 시간팩터에 의한 변동을 보다 엄밀히 억제할 수 있다. 따라서, 치수변화의 이력을 엄밀히 제어하고, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 보다 만족스러운 패턴정밀도로 제조할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 플라스틱등의 유기재료를 기판으로 하는 액정표시패널의 제조과정에서 인가되는 열과 흡습에 의한 기판의 치수변화에 대응하고, 접합된 한 쌍의 기판의 패턴접합 정밀도를 유지하기 위해, 상기 한 쌍의 기판에 가열처리를 동일하게 하고, 또한, 동일한 건조처리를 제법프로세스에 도입하고 있다.

구체적으로, 도1에 나타낸 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서는, 상기한 바와 같이, 플렉시블기판인 플라스틱기판(6a,6b)에 인가되는 열프로세스에 의한 수축 및 흡습에 의한 팽창의 치수변화가, SEG 기판(1)과 COM 기판(2) 사이에서 동일하게 되도록, 이들 양 기판에 대한 열처리 및 건조처리를 동일하게 행하고 있다. 이 때문에, 대형의 기판을 사용한 복수의 플렉시블 액정표시패널, 및 대형의 플렉시블 액정표시패널을, 만족스러운 정밀도로 제조할 수 있다.

이 경우, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 상기 한 쌍의 기판에 대해 행해지는 열처리, 건조처리, 및 액정패널제조를 위한 가공처리(예컨대 러빙처리, 접합등)를, 설정된 시간내에 행하는 것이 바람직하다.

상기의 방법에 의하면, 한 쌍의 기판에 대해 행해지는 생산플로우상의 열처리, 건조처리, 및 액정패널제조를 위한 가공처리를 프로그램된 시간대로 행함으로써, 가열후의 냉각에 의한 기판축소의 시간적 변화, 및 건조후의 주위환경으로부터의 흡습에 의한 기판팽창의 시간적 변화도 항상 제어할 수 있고, 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 해소할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 기판의 치수정밀도를 항상 엄밀히 제어하고, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정패널의 제조방법은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 대기시간이 발생하는 경우, 대기시간동안, 일정한 건조상태가 유지된 환경하에서, 즉, 일정한 건조상태를 유지할 수 있는 환경하에서 보관되는 것이 바람직하고, 상기 양 기판은, 대기시간동안, 항상 일정한 건조상태가 유지된 환경하에서 보관되는 것이 보다 바람직하다.

이와 같이, 예컨대, 칼라필터 형성공정, 투명전극 형성공정, 절연막 형성공정, 배향막 형성공정, 배향처리공정, 접합공정, 제 1 분단공정, 액정주입/밀봉공정, 제 2 분단공정등, 체류등의 다음공정을 대기하고 있는 기판을, 일정한 건조상태가 유지된 환경하에서 보관하여, 흡습에 의한 기판의 팽창을 억제함으로써, 양 기판의 치수변동을 원하는 범위내로 감소시킬 수 있다.

상기의 방법에 의하면, 제조프로세스의 도중에, 체류등으로 다음공정을 대기하고 있는 기판을, 일정한 건조상태가 유지된 환경하에서, 구체적으로는 습도가 20% 이하로 유지된 환경하에서 보관함으로써, 상기 기판이 대기시간동안 주변환경으로부터 흡습하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 흡습에 의한 기판의 팽창을 억제하여, 제조공정중에 있는 기판의 치수정밀도의 변동을 원하는 범위내에 유지할 수있다. 이 때문에, 예컨대 여분의 건조처리공정을 생략할 수 있다.

또한, 예컨대, 상기 한 쌍의 기판이 대형의 기판이고, 양 기판을 접합시켜 각 액정표시패널로 분단하는 경우에도, 종래와 같이, 분단시에, 분단위치를 결정하기 위해 흡습의 차이를 고려하여, 접합된 기판마다 패턴치수를 측정할 필요가 없다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 보다 개선된 패턴정밀도로, 보다 생산성이 높게 제조할 수 있다.

특히, 양 기판을, 대기시간동안 항상 건조상태의 환경하에서 보관함으로써, 상기 양 기판이 대기시간동안 주변환경으로부터 흡습하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제조공정중에 있는 기판의 치수정밀도의 변동을 항상 허용범위내로 유지할 수 있기 때문에, 여분의 건조처리공정을 생략할 수 있다. 또한, 예컨대 상기 한 쌍의 기판이 대형의 기판이고, 양 대형기판을 접합시켜 각 액정표시패널로 분단하는 경우에도, 양 대형기판을 접합시킬 때에 양 대형기판 사이의 치수오차를 방지하거나, 또한, 분단시에, 분단위치를 결정하기 위해 흡습의 차이를 고려하여, 접합된 대형기판마다 패턴치수를 측정할 필요가 없게 된다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 보다 개선된 패턴정밀도로, 보다 생산효율이 높게 제조할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조방법은, 상기 플렉시블 액정표시패널제조를 위한 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 각 처리를, 각각, 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 시작하는 것이 바람직하다.

상기의 방법에 의하면, 상기 플렉시블 액정표시패널제조를 위한 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 각 처리, 예컨대, 상기 열처리나 건조처리 이외에, 세정처리나 배향막 형성처리 등의 가공처리, 특히, 상기 플렉시블 액정표시소자의 제조프로세스에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 기판의 치수변동에 따른 일련의 처리를, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동시에, 바람직하게는 1분 이내에, 보다 바람직하게는 동시에 개시함으로써, 거동의 스타트라인을 양 기판의 처리공정마다 일치시킬 수 있는 동시에, 열처리후의 기판의 시간적 변화, 예컨대 가열후의 냉각에 의한 기판축소의 시간적 변화나 건조후의 주위환경에서의 흡습에 의한 기판팽창의 시간적 변화를 항상 제어할 수 있어, 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 해소할 수 있다. 이 때문에, 제조프로세스중에 양 기판의 팽창수축거동을 관리 및 제어하기 쉽고, 치수정밀도를 항상 엄밀히 제어하고, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 행하는 경우, 타방의 기판이 열처리를 필요로 하는지 아닌지에 관계없이, 타방의 기판에도 열처리를 행하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송수단, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 열처리를 행하는 수단, 및 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판과 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 상기 이외의 처리를 행하는 수단(예컨대, 칼라필터형성을 위한 장치, 투명전극형성을 위한 장치, 절연막 형성을 위한 장치, 배향막 형성을 위한 장치, 배향처리를 위한 장치, 접합장치등)을 구비하고, 상기 각 처리수단은 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되어 있는 구성이다.

상기 각 처리수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판과의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되어 있기 때문에, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 순차 처리를 행함으로써, 각 처리수단 사이의 상기 양 기판의 기판팽창의 시간적 변화의 관리 및 제어가 용이하고, 양 기판의 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 억제하여, 원하는 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다.

그리고, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 열처리를 행하는 수단을 구비하고 있기 때문에, 상기 양 기판에 함께 열처리를 행할 수 있어, 일방의 기판만이 수축하는 것에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다. 그리고, 상기 구성에 의하면, 기판의 열이력 그 자체를 양 기판에서 일치시킬 수 있기 때문에, 기판전체의 치수변화율을 양 기판의 관점에서 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우에, 대형의 기판으로부터 소수매, 예컨대 1장의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에도, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 상기 구성을 갖는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템을 사용하여 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조함으로써, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을, 단독으로 반송 및 가공하는 것이 가능하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개별적인 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로서 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 만족스러운 패턴정밀도로 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 저비용으로 제조할 수 있다.

상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템은, 상기의 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하는 것이 바람직하고, 상기 제어수단은, 각 처리마다 미리 설정된 처리시간에 따라 상기의 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 동시에, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 거의 일치, 바람직하게는 일치시키도록 제어하고 있다.

예컨대, 상기 제어수단은, 양 기판에 동일한 처리를 각각 동일한 타이밍에서 행하도록 제어하고 있다. 또한, 예컨대, 상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템에 있어서는, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 열처리를 행하는 수단으로부터의 반송의 타이밍을 각각 일치시킴으로써, 열처리 개시로부터 기판처리 개시까지의 시간이, 양 기판에 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 되도록 제어된다.

상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하며, 상기 제어수단은 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어함으로써, 액정패널제조를 위한 가공처리를 프로그램된 시간대로 행하는 것이 가능하고, 공정관리 및 각 처리수단 사이에서의 상기 양 기판의 기판팽창의 시간적 변화의 관리 및 제어를 보다 용이하게 할 수 있다. 이 때문에, 양 기판의 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 억제하여, 원하는 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다. 특히, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 제어수단을 구비함으로써, 상기 플렉시블 액정표시소자의 제조프로세스에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 기판의 치수변동에 따른 일련의 처리를, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동시에 개시할 수 있어, 거동의 스타트라인을 양 기판의 처리공정마다 일치시킬 수 있다. 또한, 가열후의 냉각에 의한 기판축소의 시간적 변화나 건조후의 주위환경으로부터의 흡습에 의한 기판팽창의 시간적 변화를 항상 제어할 수 있어, 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 해소할 수 있다. 이 때문에, 제조프로세스중에 양 기판의 팽창수축거동을 관리 및 제어하기 쉽고, 치수정밀도를 항상 엄밀히 제어하고, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 상기 각 처리수단, 특히, 상기 열처리를 행하는 수단은, 상기 일방의 기판의 반송방향과 타방의 기판의 반송방향에 따라 평행하게 배치된 한 쌍의 장치일 수 있다. 또한, 양 기판에 대해 동시에 동일한 처리를 행하는 대형의 장치일 수도 있고, 소트에 의해 순차 처리를 행하는 동시에, 대기용 보관수단을 구비한 장치일 수 있다. 또한, 상기 반송수단은, 한 쌍의 반송부를 구비하여, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 각각 별도로 평행하게 이동시키는 구성일 수 있고, 상기 양 기판을 함께 반송하는 구성일 수도 있다.

특히, 상기 열처리를 행하는 수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 열처리를 행하는 열처리수단인 것이 바람직하다. 이 경우, 성능이 향상된 전용의 열처리장치를 개발할 필요가 없고, 또한 소트 장치등을 필요로 하지 않고 상기 열처리장치로서 기존의 열처리장치를 사용하여 상기 양 기판에 가열을 행할 수 있다.

또한, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판과 열처리를 행하는 적어도 한 쌍의 열처리수단, 상기 일방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 열처리 이외의 처리를 행하는 수단, 및 상기 타방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 열처리 이외의 처리를 행하는 수단을 구비하며, 연관된 처리 수단, 즉, 평행하게 진행하는 처리를 행하거나 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 동일한 처리를 행하는 수단이, 상기 일방의 기판의 반송방향과 타방의 기판의 반송방향으로 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라, 서로 연관된 처리수단끼리 대향하도록 각각 나란히 배치되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상기 플렉시블 액정표시패널 제조를 위해 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 각 처리를, 각각, 용이하게, 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 개시할 수 있다.

또한, 이 경우, 상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템은, 상기 기판반송수단이, 서로 평행하게 배치된 기판반송부(예컨대, 기판반송로 또는 기판탑재장치)를 구비하고, 상기 각 처리수단, 특히 열처리를 행하는 수단이 상기 양 기판반송부상의 대향위치에 각각 제공되는 구성일 수 있다. 이 경우, 상기 양 기판반송부를 독립적으로 제어하는 것이 가능하고, 양 기판에 다른 처리를 행하는 경우에도, 하류측의 처리장치로의 반입의 타이밍, 즉, 다음 공정의 처리의 개시의 타이밍을 용이하게 일치시킬 수 있다.

즉, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 기판반송수단이, 상기 일방의 기판을 반송하는 제 1 기판반송부 및 타방의 기판을 반송하는 제 2 기판반송부를 구비하며, 상기 제 1 기판반송부 및 제 2 기판반송부와는 각각 독립적으로 제어가능한 것이 바람직하다. 즉, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 구비하며, 상기 제어수단은 상기 제 1 기판반송부로부터의 기판반송방향과 상기 제 2 기판반송부로부터의 기판반송방향과 대향하게 배치된 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 각각 독립적으로 제어하는 것이 바람직하다. 그리고, 이 경우, 상기 양 기판으로 동일한 처리, 적어도 상기 열처리가, 각각 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 타이밍에서 시작되도록 상기 일방의 기판의 각 처리수단으로의 반송의 타이밍과 타방의 기판의 각 처리수단으로의 반송의 타이밍이 각각 제어되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제어수단은, 열처리 개시로부터 기판처리 개시까지의 시간이, 양 기판에 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 되도록 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 열처리수단은, 상기 양 기판반송부에 의해 반송되는 한 쌍의 기판에 대해 거의 동일한 조건, 바람직하게는 동일조건으로 열처리를 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 양 기판의 치수의 변동을 완화시켜, 패턴감합 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 한 쌍의 기판을 접합시키기 전에, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하기 위해, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송수단, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하는 수단, 및 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 상기 이외의 처리를 행하는 수단(예컨대, 칼라필터형성을 위한 장치, 투명전극형성을 위한 장치, 절연막 형성을 위한 장치, 배향막 형성을 위한 장치, 배향처리를 위한 장치, 접합장치 등이고, 여기에는, 상기 패턴의 형성을 위한 가열장치도 포함된다)을 구비하며, 상기 각 처리수단은 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되는 구성이다.

상기 각 처리수단은 상기 일방의 기판과 타방의 기판과의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치됨으로써, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 순차 처리를 행함으로써, 공정관리 및 각 처리수단사이에서의 상기 양 기판의 기판팽창의 시간적 변화의 관리 및 제어가 용이하고, 양 기판의 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 억제하여, 원하는 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다.

그리고, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하는 수단을 구비하고 있기 때문에, 상기 양 기판에 함께 건조처리를 행할 수 있어, 흡습에 따른 기판팽창에 의한 치수정밀도의 변동을 억제할 수 있다. 그리고, 상기 구성에 의하면, 상기 양 기판에 건조처리를 행함으로써, 기판 전체의 치수변화율을 양 기판에 일치시킬 수 있어, 대형의 기판으로부터 다수의 플렉시블 액정패널을 제조하는 경우 또는 대형의 기판으로부터 소수매, 예컨대 1매의 대형의 액정표시패널을 제조하는 경우에도, 양 기판의 치수감합 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 상기 구성을 갖는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템을 사용하여 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조함으로써, 양 기판의 기판구성을 변경할 필요가 없고, 또한, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을, 단독으로 반송 및 가공하는 것이 가능하기 때문에, 기본적인 처리의 흐름이나 개개의 처리에 관해서는 유리기판을 대상으로서 확립된 설정, 장치 등을 적용할 수 있다.

이 때문에, 플렉시블 액정표시패널을 만족스러운 패턴정밀도로 제조할 수 있는 동시에, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판을 사용한 플렉시블 액정표시패널을 저비용으로 제조할 수 있다.

상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템도 또한, 상기의 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하는 것이 바람직하고, 상기 제어수단은, 각 처리마다 미리 설정된 처리시간에 따라 상기의 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 동시에, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 거의 일치, 바람직하게는 일치시키도록 제어하고 있다.

예컨대, 상기 제어수단은, 양 기판으로 동일한 처리를 각각 동일한 타이밍으로 행하도록 제어하고 있다. 이 결과, 예컨대, 상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템에 있어서는, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 건조처리를 행하는 수단으로의 반송의 타이밍을 각각 일치시킴으로써, 기판처리개시로부터 건조처리개시까지의 시간이, 양 기판에서 거의 동일하게, 바람직하게는 동일하게 되도록 제어되어 있다.

상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하며, 상기 제어수단은 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어함으로써, 액정패널제조를 위한 가공처리를 프로그램된 시간대로 행하는 것이 가능하고, 공정관리 및 각 처리수단 사이에서의 상기 양 기판의 기판팽창의 시간적 변화의 관리 및 제어를 보다 용이하게 할 수 있다. 이 때문에, 양 기판의 기판치수의 시간팩터에 의한 변동을 억제하고, 원하는 치수정밀도를 유지하면서 상기 한 쌍의 기판을 가공처리할 수 있다. 특히, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템이 상기 제어수단을 구비함으로써, 상기 플렉시블 액정표시소자의 제조프로세스에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해진 기판의 치수변동에 따른 일련의 처리를, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 개시할 수 있어, 거동의 스타트라인을 양 기판에 처리공정마다 일치시킬 수 있다. 또한, 건조후의 주위환경에서의 흡습에 의한 기판팽창의 시간적 변화를 항상 제어할 수 있어, 기판치수의 시간팩터에 의한변동을 해소할 수 있다. 이 때문에, 제조프로세스중에 양 기판의 팽창수축거동을 관리 및 제어하기 쉽고, 치수정밀도를 항상 엄밀히 제어하여, 보다 만족스러운 정밀도로 양 기판을 접합시킬 수 있다. 이에 의해, 플렉시블 액정표시패널을, 용이하게, 또한 양품율이 양호하게 제조할 수 있다.

또한, 상기 각 처리수단, 특히, 상기 건조처리를 행하는 수단은, 상기 일방의 기판의 반송방향과 타방의 기판의 반송방향에 따라 평행하게 배치된 한 쌍의 장치일 수 있고, 양 기판에 대해 동시에 동일한 처리를 행하는 대형의 장치일 수도 있다. 또한, 소트에 의해 순차 처리를 행하는 동시에, 대기용의 보관수단을 구비한 장치일 수도 있다. 또한, 상기 반송수단은, 한 쌍의 반송부를 구비하여, 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 각각 따로따로 평행하게 이동시키는 구성을 가질 수 있다. 또한, 상기 양 기판을 함께 반송하는 구성일 수도 있다.

그 중에서도, 상기 건조처리를 행하는 수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 건조처리를 행하는 두 파트로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 경우, 성능이 향상된 전용의 건조처리장치를 개발할 필요가 없고, 또한 소트 장치 등을 필요로 하지 않고 상기 양 기판에 건조처리를 행할 수 있다.

또한, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판과 건조처리를 행하는 적어도 한 쌍의 건조처리수단, 상기 일방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 건조처리 이외의 처리를 행하는 수단, 및 상기 타방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한 건조처리 이외의 처리를 행하는 수단을 구비하며, 서로 연관된 상기 각 수단, 즉, 평행하게 진행하는 처리나상기 일방의 기판과 타방의 기판과 동일한 처리를 행하는 수단이, 상기 일방의 기판의 반송방향과 타방의 기판의 반송방향으로 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라, 서로 연관된 처리수단끼리 대향하도록 각각 나란히 배치되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상기 플렉시블 액정표시패널 제조를 위해 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통으로 행해지는 각 처리를, 각각, 용이하게, 거의 동시에, 바람직하게는 동시에 개시할 수 있다.

또한, 이 경우, 상기 플렉시블 액정패널의 제조시스템은, 상기 기판반송수단이, 서로 평행한 기판반송부(예컨대 기판반송로 또는 기판탑재장치)를 구비하며, 상기 각 처리수단, 특히 열처리수단이 상기 양 기판반송부상의 대향위치에 각각 제공되는 구성일 수 있다. 이 경우, 상기 양 기판반송부를 독립적으로 제어하는 것이 가능하고, 양 기판에 다른 처리를 행하는 경우에도, 하류측의 처리장치로의 반입의 타이밍, 즉, 다음공정의 처리의 개시의 타이밍을 용이하게 일치시킬 수 있다.

즉, 본 실시예에 따른 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 기판반송수단이, 상기 일방의 기판을 반송하는 제 1 기판반송부 및 타방의 기판을 반송하는 제 2 기판반송부를 구비하며, 상기 제 1 기판반송부와 제 2 기판반송부는 각각 독립적으로 제어가능한 것이 바람직하다. 또한, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 제어하는 제어수단을 구비하며, 상기 제어수단은 상기 제 1 기판반송부에서의 기판반송방향과 상기 제 2 기판반송부에서의 기판반송방향이 대향하게 배치된 각 처리수단으로의 기판의 반송의 타이밍을 각각 독립적으로 제어하는 것이 바람직하다. 그리고, 이 경우, 상기 양 기판으로 동일한 처리, 적어도 상기 건조처리가, 각각 거의 동일한, 바람직하게는 동일한 타이밍으로 시작되도록 상기 일방의 기판의 각 처리수단으로의 반송의 타이밍과 타방의 기판의 각 처리수단으로의 반송의 타이밍이 각각 제어되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 건조처리수단은, 상기 양 기판반송부에 의해 반송되는 한 쌍의 기판에 대해 거의 동일한 조건으로, 바람직하게는 동일조건으로 건조처리를 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 양 기판의 치수의 변동을 완화시켜, 패턴감합 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 상기 건조처리를 행하는 수단이, 감압에 의해 건조를 행하는 수단인 것이 바람직하다.

상기 건조처리를 감압에 의해 행함으로써, 가열에 의한 상기 기판자체의 수축(변성)이 발생하지 않고, 흡습에 의한 팽창전의 원래치수보다 상기 기판이 수축하지 않기 때문에, 상기 기판의 치수의 변화의 제어가 용이하고, 상기 양 기판을 용이하게 흡습에 의한 팽창전의 원래치수로 되돌릴 수 있다. 따라서, 상기의 구성에 의하면, 상기 기판의 치수의 변화의 제어가 용이하고, 양 기판사이의 치수의 변동을 용이하게 제거할 수 있는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템을 제공할 수 있다.

또한, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템은, 본 실시예에 나타낸 바와 같이, 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 대하여 거의 동일한, 바람직하게는 동일조건으로 가열을 행하는 가열수단, 상기 한 쌍의 기판에 대하여 건조를 행하는 건조수단, 및 상기 액정패널제조를 위한 가공처리수단을 구비한 구성을 가질 수 있다.

본 실시예에 있어서는, 소정의 프로세스에 따라 순차 처리를 행함으로써, 원하는 치수정밀도를 유지하면서 한 쌍의 플렉시블기판을 가공처리할 수 있다.

발명의 상세한 설명의 항에 있어서의 구체적인 실시양태 또는 실시예는, 어디까지나, 본 발명의 기술내용을 밝히는 것으로, 그와 같은 구체예로 한정하여 협의로 해석되는 것이 아니라, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 특허청구 범위내에서, 여러가지로 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (57)

1. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서,

   상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중 일방의 기판에, 기판의 팽창 또는 수축을 수반하는 처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 상기 처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 상기 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시 패널의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에, 동일한 설정조건에서 상기 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 일방의 기판에 상기 처리를 실시할 때 타방의 기판에 상기 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 거의 동시에 개시되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 플렉시블 액정표시패널 제조를 위해 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 공통적으로 실시되는 각 처리를, 각각, 거의 동시에 개시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기 동안, 일정한 건조상태에 유지된 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기시에, 항상, 건조상태의 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
8. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서,

   상기 패턴의 형성시, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 실시하는 경우, 타방의 기판이 열처리를 필요로 하는 지의 여부에 관계없이, 타방의 기판에도 열처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 실시되는 열처리의 처리조건이, 상기 열처리에 따른 기판의 수축에 의한 양 기판의 치수의 변동이 소망의 범위내로 되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
10. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 실시되는 열처리가, 거의 동일한 온도 프로파일로 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
11. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동일한 열처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
12. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 동일한 설정조건에서 열처리를 행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
13. 제12항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에, 동일한 형의 장치를 사용하여 동일한 설정조건에서 열처리를 행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 장치가 단일 기판 반송 소성로인 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
15. 제8항에 있어서, 상기 열처리가, 기판에 비가역적인 수축을 수반하는, 패턴형성을 위한 열처리인 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
16. 제8항에 있어서, 상기 한 쌍의 기판중, 일방의 기판에 열처리를 실시할 때, 타방의 기판에도 열처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 열처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 거의 동시에 개시되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
18. 제8항에 있어서, 상기 플렉시블 액정표시패널제조를 위해 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 공통적으로 실시되는 각 처리를, 각각, 거의 동시에 개시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
19. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기 동안, 일정한 건조상태로 유지된 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
20. 제8항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기시에, 항상, 건조상태의 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
21. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서,

    상기 한 쌍의 기판을 접합하기 전에, 상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
22. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 실시되는 건조처리의 처리조건이, 양 기판의 치수의 변동이 소망의 범위내로 되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
23. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 거의 동일한 건조처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
24. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에, 동일한 설정조건으로건조처리를 행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
25. 제24항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에, 동일한 형의 장치를 사용하여 동일한 설정조건에서 건조처리를 행하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
26. 제21항에 있어서, 상기 건조처리가 감압에 의해 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
27. 제21항에 있어서, 상기 건조처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래 치수로 되돌아가도록 한 처리조건으로 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
28. 제27항에 있어서, 상기 건조처리가, 상기 한 쌍의 기판에 비가역적인 수축을 수반하지 않는 온도조건하에, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래 치수로 되돌아갈 때까지 가열을 계속함으로써 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
29. 제28항에 있어서, 상기 유기재료가 폴리에테르 술폰이고, 상기 건조처리가, 50∼80℃의 범위내에서 상기 일방의 기판과 타방의 기판을 가열함으로써 행해지는것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
30. 제28항에 있어서, 상기 건조처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판이, 각각, 흡습에 의한 팽창전의 원래 치수로 되돌아갈 때까지, 상기 한 쌍의 기판을 감압환경하에 두어 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
31. 제30항에 있어서, 상기 유기재료가 폴리에테르 술폰이고, 상기 건조처리가, 1.33322 × 10³Pa 이하의 감압하에 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
32. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판에 건조처리를 실시할 때 타방의 기판에 건조처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
33. 제32항에 있어서, 상기 건조처리가, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 거의 동시에 개시되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
34. 제21항에 있어서, 상기 플렉시블 액정표시패널제조를 위해 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 공통적으로 실시되는 각 처리를, 각각, 거의 동시에 개시하는것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
35. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리 대기 동안, 일정한 건조상태에 유지된 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
36. 제21항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기시에, 항상, 건조상태의 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
37. 유기재료로 이루어지는 플렉시블기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합하여 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서,

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판의 온도이력이 동일하게 되도록, 양 기판에 동일한 열처리가 실시되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
38. 제37항에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 대하여 실시되는 열처리가 동시에 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
39. 제37항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기 동안, 일정한 건조상태로 유지된 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
40. 제37항에 있어서, 상기 한 쌍의 기판은, 처리대기시에, 항상, 건조상태의 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
41. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법에 있어서,

    상기 각 기판에 대하여 실시되는 각 처리공정 전에, 상기 한 쌍의 기판의 양쪽에 동일한 건조처리가 실시되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
42. 제41항에 있어서, 상기 한 쌍의 기판에 대하여 실시되는 건조처리가 동시에 행하여지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
43. 제41항에 있어서, 상기 일방의 기판과 타방의 기판은, 상기 플렉시블 액정표시패널을 제조하기 위한 각 처리를 행할 때, 처리대기 시간이 발생하는 경우, 처리대기 동안, 일정한 건조상태로 유지된 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
44. 제41항에 있어서, 상기 한 쌍의 기판은, 처리 대기시에, 항상, 건조상태의 환경하에 보관되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조방법.
45. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합시켜 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서,

    상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송수단;

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 열처리를 행하는 수단; 및

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 하는 수단을 구비하고,

    상기 각 처리수단이, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
46. 제45항에 있어서, 상기 각 처리수단에 대한 기판의 반송 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
47. 제45항에 있어서, 상기 기판 반송수단이, 상기 일방의 기판을 반송하는 제1 기판 반송부와 타방의 기판을 반송하는 제2 기판 반송부를 구비하고,

    상기 열처리를 행하는 수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 열처리를 행하는 적어도 한 쌍의 가열장치이고,

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 행하는 수단이, 상기 일방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 열처리이외의 처리를 행하는 장치와, 상기 타방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 열처리이외의 처리를 행하는 장치로 이루어지고,

    상기 제1 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향과 상기 제2 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향에, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라, 서로 대응하는 장치끼리 각각 대향하도록 병설되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
48. 제47항에 있어서, 상기 각 처리수단에 대한 기판의 반송 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 제1 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향과 상기 제2 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향에 대향하여 배치된 각처리수단으로의 기판의 반송 타이밍을 각각 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
49. 제48항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 동일한 처리가 각각 거의 동일한 타이밍으로 개시되도록 상기 일방의 기판의 각 처리수단으로의 반송 타이밍과 타방의 기판의 각 처리수단으로의 반송 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
50. 제48항에 있어서, 상기 제어수단은, 열처리 개시부터 기판처리 개시까지의 시간이, 양 기판에서 거의 동일하게 되도록 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
51. 제45항에 있어서, 상기 열처리를 행하는 수단이 단일 기판 반송 소성로인 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
52. 유기재료로 이루어지는 플렉시블 기판상에 소정의 패턴이 형성된 한 쌍의 기판을 접합하여 플렉시블 액정표시패널을 제조하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템에 있어서,

    상기 일방의 기판과 타방의 기판을 탑재하여 반송하는 반송수단;

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 하는 수단; 및

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 하는 수단을 구비하고,

    상기 각 처리수단이, 상기 일방의 기판과 타방의 기판의 반송방향으로, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
53. 제52항에 있어서, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
54. 제52항에 있어서, 상기 기판 반송수단이, 상기 일방의 기판을 반송하는 제1 기판 반송부와 타방의 기판을 반송하는 제2 기판 반송부를 구비하고,

    상기 건조처리를 하는 수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 건조처리를 행하는 적어도 한 쌍의 장치이고,

    상기 한 쌍의 기판에 있어서의 일방의 기판과 타방의 기판에 각각 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 상기 이외의 처리를 행하는 수단이, 상기 일방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 건조처리 이외의 처리를 행하는 장치와, 상기 타방의 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위해 필요한, 건조처리이외의 처리를 행하는 장치로 이루어지고,

    상기 제1 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향과 상기 제2 기판 반송부에있어서의 기판 반송방향에, 상기 플렉시블 액정표시패널의 제조공정에 따라, 서로 대응하는 장치끼리 각각 대향하도록 병설되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
55. 제54항에 있어서, 상기 각 처리수단으로의 기판의 반송 타이밍을 제어하는 제어수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 제1 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향과 상기 제2 기판 반송부에 있어서의 기판 반송방향에 대향하여 배치된 각 처리수단으로의 기판의 반송 타이밍을 각각 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조시스템.
56. 제55항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 일방의 기판과 타방의 기판에서 동일한 처리가 각각 거의 동일한 타이밍으로 개시되도록 상기 일방의 기판의 각 처리수단으로의 반송 타이밍과 타방의 기판의 각 처리수단으로의 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.
57. 제55항에 있어서, 상기 건조처리를 행하는 수단이, 감압에 의해 건조를 행하는 수단인 것을 특징으로 하는 플렉시블 액정표시패널의 제조시스템.