CN107589572A - 用于彩膜烘烤机的承载台、彩膜烘烤机 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于彩膜烘烤机的承载台，所述承载台包括多个加热区，所述多个加热区按照预定规则进行排列，所述多个加热区彼此独立地被控制加热温度，且每个加热区在被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。本发明还提供了一种具有该承载台的彩膜烘烤机。本发明的承载台的各加热区的温度能够被单独控制，从而对玻璃基板的加热会更加均匀，并且由于每个加热区的温差不超过3℃，从而可以满足高精细面板产品的要求。

Description

用于彩膜烘烤机的承载台、彩膜烘烤机

技术领域

本发明属于机械设备技术领域，具体地讲，涉及一种用于彩膜烘烤机的承载台、彩膜烘烤机。

背景技术

彩膜烘烤机是用于液晶面板的彩膜基板的制程中各生产线经由涂布机涂布光阻后的烘烤制程中的，其主要目的是利用加热的方式将经过涂布后的光阻内残留的溶剂(Solvent)去除，从而增加光阻与基板之间的附着力。

随着液晶面板行业的日趋发展，玻璃基板越来越薄、越来越大且越来越精细，为满足生产需求，对设备的各方面的性能也要求越来越高。

高精细面板产品在生产过程中对CD(线宽)、膜厚、位置精度等特性值要求都非常高。彩膜烘烤机在加热涂布有光阻的玻璃基板时，必须保证玻璃基板所有位置的温度的均一性，避免不同位置温差较大，而现有技术的彩膜烘烤机无法保证玻璃基板所有位置的温度的均一性，从而难以满足高精细面板产品的要求。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够满足高精细面板产品要求的彩膜烘烤机及其承载台。

根据本发明的一方面，提供了一种用于彩膜烘烤机的承载台，所述承载台包括多个加热区，所述多个加热区按照预定规则进行排列，所述多个加热区彼此独立地被控制加热温度，且每个加热区在被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。

进一步地，所述多个加热区包括多个第一加热区、多个第二加热区以及多个第三加热区；所述多个第一加热区和所述多个第二加热区沿同一方向排列，所述多个第三加热区阵列排布在所述多个第一加热区和所述多个第二加热区之间，所述第三加热区的面积小于所述第一加热区的面积和所述第二加热区的面积。

进一步地，所述第一加热区的面积与所述第二加热区的面积相同。

进一步地，当所述加热区被加热到预定温度时，所述加热区保持所述预定温度的时间不少于40秒。

根据本发明的另一方面，还提供了一种彩膜烘烤机，所述彩膜烘烤机包括：上述的承载台以及加热组件，所述加热组件用于对每个加热区进行独立地加热。

进一步地，所述加热组件包括控制器和多个加热器，每个加热器与对应的一个加热区相对，所述控制器用于独立地控制每个加热器，以使每个加热器独立地对其相应的加热区进行加热。

进一步地，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的温度差不超过3℃。

进一步地，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的保持时间不少于40秒。

进一步地，所述彩膜烘烤机还包括具有容置空间的腔体，所述承载台以及所述加热组件容置于所述容置空间内。

本发明的有益效果：本发明的承载台的各加热区的温度能够被单独控制，从而对玻璃基板的加热会更加均匀，并且由于每个加热区的温差不超过3℃，从而可以满足高精细面板产品的要求。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1是根据本发明的实施例的彩膜烘烤机的结构示意图；

图2是根据本发明的实施例的承载台的俯视图；

图3是根据本发明的实施例的加热组件的结构示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在说明书和附图中始终用于表示相同或相近的元件。

图1是根据本发明的实施例的彩膜烘烤机的结构示意图。

参照图1，根据本发明的实施例的彩膜烘烤机包括腔体10、承载台20和加热组件30。需要说明的是，根据本发明的实施例的彩膜烘烤机还可以包括其他必要的部件。

腔体10具有中空的结构，其包括至少一容置空间，该容置空间用于容置承载台20、加热部件30以及其他必要的部件。

承载台20和加热组件30容置于该容置空间内。图2是根据本发明的实施例的承载台的俯视图。

一并结合参照图2，承载台20包括多个加热区，这些加热区按照预定规则进行排列，并且每个加热区被独立地加热，从而每个加热区独立地被控制加热温度，并且每个加热区被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。

这里，每个加热区被加热到预定温度时的温度差指的是：每个加热区被加热到预定温度时，每个加热区的实际温度会在预定温度处进行波动(实际温度大于或小于预定温度)，而最大的实际温度和最小的实际温度之间的差值就是所述温度差。例如，每个加热区被加热到的预定温度是120℃，但每个加热区的实际温度会在120℃上下波动，此时向上波动的最大实际温度和向下波动的最小实际温度之间的差值不超过3℃。

进一步地，作为本发明的一实施方式，所述多个加热区包括多个第一加热区21、多个第二加热区22以及多个第三加热区23。多个第一加热区21、多个第二加热区22沿同一方向排列，即多个第一加热区21沿行方向排列成一行，而多个第二加热区22沿行方向排列成一行，并且排列成一行的多个第一加热区21与排列成一行的多个第二加热区22彼此平行。

多个第三加热区23阵列排布在多个第一加热区21和多个第二加热区22之间，并且所述第三加热区23的面积小于所述第一加热区21的面积和所述第二加热区22的面积。

通过上述加热区的分布，可以使承载台20对其承载的玻璃基板的加热更加均匀，并且由于每个加热区的温差不超过3℃，从而可以满足高精细面板产品的要求。

进一步地，第一加热区21和第二加热区22的面积相等。如此，可以简化承载台的制作过程，从而能够节省成本。

此外，所述加热区(即第一加热区21、第二加热区22和第三加热区23)被加热到预定温度时，所述加热区保持所述预定温度的时间不少于40秒。这样，能够保证光阻内的溶剂被有效地加热挥发掉。

图3是根据本发明的实施例的加热组件的结构示意图。

一并结合参照图3，根据本发明的实施例的加热组件30包括控制器31以及多个加热器32。每个加热器32与相应的一个加热区相对设置，即每个第一加热区21对应一个加热器32，每个第二加热区22对应一个加热器32，每个第三加热区23对应一个加热器32。

这里，示出了各个加热器32由一个控制器31进行控制，但本发明并不限制于此，例如也可以是一个加热器32由对应的一个控制器控制。

在彩膜烘烤机工作过程中，控制器31用于独立地控制每个加热器32，以使每个加热器32独立地对其相应的加热区进行加热。这样，可以实现每个加热区独立地被加热。

进一步地，控制器31还用于在加热器32将其相应的加热区加热到预定温度时控制加热器32的加热温度的温度差不超过3℃。这样，可以实现每个加热区被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。

此外，在加热器32将其相应的加热区加热到预定温度时，控制器31还用于控制加热器32的加热温度的保持时间不少于40秒。这样，可以实现加热区(即第一加热区21、第二加热区22和第三加热区23)被加热到预定温度时，加热区保持所述预定温度的时间不少于40秒。

综上所述，根据本发明的实施例，承载台的各加热区的温度能够被单独控制，从而对玻璃基板的加热会更加均匀，并且由于每个加热区的温差不超过3℃，从而可以满足高精细面板产品的要求。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (9)

1.一种用于彩膜烘烤机的承载台，其特征在于，所述承载台包括多个加热区，所述多个加热区按照预定规则进行排列，所述多个加热区彼此独立地被控制加热温度，且每个加热区在被加热到预定温度时的温度差不超过3℃。

2.根据权利要求1所述的用于彩膜烘烤机的承载台，其特征在于，所述多个加热区包括多个第一加热区、多个第二加热区以及多个第三加热区；所述多个第一加热区和所述多个第二加热区沿同一方向排列，所述多个第三加热区阵列排布在所述多个第一加热区和所述多个第二加热区之间，所述第三加热区的面积小于所述第一加热区的面积和所述第二加热区的面积。

3.根据权利要求2所述的用于彩膜烘烤机的承载台，其特征在于，所述第一加热区的面积与所述第二加热区的面积相同。

4.根据权利要求1所述的用于彩膜烘烤机的承载台，其特征在于，当所述加热区被加热到预定温度时，所述加热区保持所述预定温度的时间不少于40秒。

5.一种彩膜烘烤机，其特征在于，所述彩膜烘烤机包括：权利要求1至4任一项所述的承载台以及加热组件，所述加热组件用于对每个加热区进行独立地加热。

6.根据权利要求5所述的彩膜烘烤机，其特征在于，所述加热组件包括控制器和多个加热器，每个加热器与对应的一个加热区相对，所述控制器用于独立地控制每个加热器，以使每个加热器独立地对其相应的加热区进行加热。

7.根据权利要求6所述的彩膜烘烤机，其特征在于，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的温度差不超过3℃。

8.根据权利要求6或7所述的彩膜烘烤机，其特征在于，所述控制器还用于在所述加热器将其相应的加热区加热到预定温度时控制所述加热器的加热温度的保持时间不少于40秒。

9.根据权利要求5所述的彩膜烘烤机，其特征在于，所述彩膜烘烤机还包括具有容置空间的腔体，所述承载台以及所述加热组件容置于所述容置空间内。