TWI293386B - - Google Patents

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1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（1) 本發明係有關一種於基板應用有機材料之可撓性液晶 顯示面板之製造方法以及使用其之可撓性液晶顯示面板之 製造系統。 於第1 8圖表示應用玻璃作爲基板材料的單純矩陣型 液晶顯示面板之斷面圖。此單純矩陣型液晶顯示面板係由 整流子片間電極配置側之S E G基板1 0 1、和C〇Μ電 極配置側之C Ο Μ基板1 0 2、和被配置在該些S E G基 板1 0 1與C〇Μ基板1 0 2之間的液晶層1 0 3、和接 合該些S E G基板1 0 1與C〇Μ基板1 0 2之密封材料 1 0 4、和分散在液晶層1 0 3中之間隔片1 〇 5所構成 〇 上述S EG基板1 0 1通常是按照透明電極1 0 7 a (整流子片間電極）、絕緣膜1 0 8、和定向膜1 0 9 a 的順序被配置在玻璃基板1 0 6 a之一方的表面上，更在 玻璃基板1 0 6 a之另一方的表面上配置相位差偏光板 1 1 0 a的構成。 另一方面，上述COM基板10 2，通常是按照彩色 濾光器1 1 1、透明電極1 0 7 b ( C〇Μ電極）、和定 向膜1 0 9 b的順序被配置在玻璃基板1 0 6 b之一方的 表面上，更在玻璃基板1 0 6 b之另一方的表面上配置相 位差偏光板1 1 0 b的構成。 於製作一對的C〇Μ基板1 〇 2及S E G基板1 〇 1 之際，有關於只配置一方的基板之構成要素的流程，是另 一方的基板所不需要的流程。此種情況下，欲在一方的基 ---------1-----------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ___B7 五、發明說明（2 ) 板施行形成構成要素的任何處理期間，就其不配置構成要 素的另一方基板而言，正常是不施行任何處理的。 於第1 9圖及第2 0圖表示欲製造上述液晶顯示面板 之流程圖例。 第1 9圖係爲僅設在S E G基板1 0 1的絕緣膜 1 0 8之形成前後的流程圖。對S E G基板1 0 1施行欲 形成絕緣膜1 0 8的洗滌、絕緣膜印刷、以及燒成處理， 但也可不對C Ο Μ基板1 0 2施行這些處理。然後對 S E G基板1 0 1及COM基板1 0 2兩者施行欲形成定 向膜之處理（洗滌、定向膜印刷、燒成）。總之對S E G 基板1 0 1而言，是在形成上述絕緣膜1 0 8後，施行欲 形成定向膜1 0 9 a之第1 9圖所示的處理（洗滌、定向 膜印刷、燒成）。另一方面，對C〇Μ基板1 〇 2而言， 是不在該COM基板102形成絕緣膜，而是在形成彩色 濾光器1 1 1及透明電極1 0 7 b後，施行欲形成定向膜 1 0 9 b之第1 9圖所示的處理（洗滌、定向膜印刷、燒 成）。 第2 0圖係爲SEG基板1 0 1與COM基板1 0 2 之貼合前後的流程圖。且對S E G基板1 0 1施行間隔片 散佈的處理。另一方面，並對C〇Μ基板1 〇 2施行密封 材料印刷及使其平直（加熱）的處理。 如以上般，於貼合前的工程，對S E G基板1 0 1與 C〇Μ基板1 0 2施行各種處理。但因在此種S E G基板 1 〇 1與COM基板1 〇 2施行互不相同的處理，是用難 -----*---1-----------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5- 1293386 A7 B7 五、發明說明（3) 以彎曲且可保持精度的玻璃作爲基板材料，所以不會發生 問題。 可是，取代玻璃基板1 0 6 a、1 0 6 b而應用由塑 膠等有機材料所製成的可撓性基板之情況下，會在加熱且 再次以室溫冷卻的熱處理過程期間，引起基板不可逆的收 縮，而引發尺寸變化。因而，會在經適所有工程而完成的 SEG基板10 1及COM基板10 2，發生圖案尺寸不 同的現象。 第1 6圖的座標圖係表示，本案發明人乃針對以 PES (聚醚磺基）爲母材的塑膠基板，施行150 °CX 6 0分的熱處理，然後維持乾燥狀態令此塑膠基板冷卻到 室溫爲止，經重複一連處理使塑膠基板發生尺寸變化。冷 卻到室溫的時候，若塑膠基板尺寸發生明顯變化，塑膠基 板就會隨著如上所述之一連處理的次數增加而愈加收縮。 甚至還有所謂塑膠等有機材料係不同於玻璃，而有因 吸濕而膨脹的問題。因而，對於以水爲洗滌劑的洗滌工程 之際，塑膠基板會引起尺寸變化（因吸濕膨脹），造成與 進行熱處理情況類似的現象，總之會在一對基板（S E G 基板1 0 1及COM基板1 〇 2 )間，發生圖案尺寸不同 的情形。 又，於第1 7圖之座標圖表示參考本發明人等所測定 之以P E S爲母材的塑膠基板因吸濕伸展（膨脹）與乾燥 收縮的情形。如果將此塑膠基板自然放置在溫度2 5 °C及 濕度6 5 %的環境下的話，加入4 0 °C溫水的情況下，當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----- 訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ___ B7 五、發明說明（4 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 然塑膠基板的吸濕量會不同的緣故，發現尺寸變化是不同 的。此時的尺寸變化是與施行第1 6圖所示的熱處理狀況 略相同的水準。 如上所述，在SEG基板101及COM基板102 使用塑膠基板的情況下，會因熱處理收縮、或因放置及洗 滌吸濕，發生尺寸變化。例如長度3 0 0 m m的基板，會 有0 · 1 %的尺寸變化，即0 · 3 m m的尺寸變化。於一 對基板的一方引發此種程度的尺寸變化時，令兩基板以優 良圖案核對精度貼合，並從底面以優良精度製造複數枚的 液晶顯示面板是很困難的。 於第2 1圖表示SEG基板1 〇 1與COM基板 1 0 2貼合後，切割成複數枚液晶顯示面板的面板分割流 程圖。 此面板分割流程並不會在S E G基板1 〇 1與C〇Μ 基板10 2之間產生尺寸不齊。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 但在上述S E G基板1及C ΟΜ基板2使用塑膠基板 的情況下，上述流程會發生分割待機中放置在室內環境下 的塑膠基板因吸濕而膨脹，無法確定切斷尺寸。一般液晶 顯示面板的製造工程，爲了抑制發生靜電，均企圖在加濕 環境（相對濕度6 0〜7 0 % )下進行。因此，對於在上 述S E G基板1及C Ο Μ基板2使用塑膠基板的情況下， 於分割待機中放置在室內環境下，塑膠基板會發生因吸濕 而膨脹的問題。因此，對於在上述S E G基板1及C〇Μ 基板2使用塑膠基板的情況下，如第1 7圖所示，並無視 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ___ B7 --—-*------- 五、發明說明（5 ) 於因吸濕影響尺寸變化的情形。 爲解決諸如此類之問題的手段，故提案一種如以下戶斤 述的技術。 乃於日本公開公報之特開平第7 - 6 4 0 3 8號公報 (公開日1 9 9 5年3月1 0日）揭示一種在由塑膠薄膜 製成的大張基板，以優良圖案精度製邊複數枚液晶顯示面 板之方法。此方法乃如第2 2圖所示，於2枚基板中，於 一方基板1 2 2在採用具有剛性的基體1 2 1上形成塑膠 薄膜1 2 3。且以面板尺寸所形成的另一方基板1 2 4配 合前述一方基板1 2 2的圖案位置予以貼合。再者，於第 2 2圖中，1 2 5爲透明電極，1 2 6爲液晶注入口， 1 2 7是爲於後面工程中切割面板的切斷（分斷）線。 以此種方法，2枚基板的尺寸核對精度不必完全吻合 大張基板（一方基板）的全體尺寸，就可完全吻合面板尺 寸爲小基板（另一方基板）尺寸的容許範圍內。因而，面 板尺寸爲小的基板，分別在貼合於大張基板的階段，進行 位置修正，即能精度優良的製造出可撓性液晶顯示面板。 但記載於上述特開平第7 - 6 4 0 3 8號公報的構成 ，要是由大張基板製造的面板成品數多的情況，小基板的 貼合次數就多，貼合流程的處理時間就會增加。甚至認爲 因裝置台數增加，成本也增加。又，相當於貼合裝置1的 能力，會被面板尺寸左右。根據以上的理由，會發生生產 線效率降低的問題。 另一方面，由大張基板製造出面板成品數少的情況， ------------------訂--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8- 1293386 A7 __B7_____ 五、發明說明（6) (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 亦即製造大型面板的情況，發現照樣以玻璃基板的流程轉 用至小基板時的問題點（總之，2個基板流程不同，發生 尺寸變化），小基板尺寸誤差超過容許範圍，會發生無法 製造出具有一定圖案精度的可撓性液晶顯示面板之問題。 總之，上述方法是以大張基板製造出複數枚可撓性液 晶面板爲前提的方法，貼合的兩基板#因尺寸伸縮（膨脹 /收縮），無法根本解決尺寸不齊，無法使基板全體提升 尺寸精度。因此，上述方法並不適合由大張基板製造出面 板成品數少的情況，特別是由大張基板製造出1枚大型液 晶顯示面板的情況。 本發明之目的在於將具有由塑膠等有機材料製成的可 撓性基板之可撓性液晶顯示面板，以優良圖案精度且低成 本來製造。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之可撓性液晶顯示面板的製造方法爲達成上述 目的，故針對在由有機材料製成的可撓性基板上，貼合形 成有一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示面板之 可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲：於形成上述 圖案之際，在上述一對基板之中的一方基板，施行造成基 板膨脹或收縮的處理情況下，不管另一方基板是否要施行 上述處理，亦對另一方基板施行上述處理。 一般是在一對基板貼合之前的工程，各別處理構成該 一對基板的一方基板和另一方基板。且於製造上述一對基 板之際，總之各別對上述一方基板與另一方基板形成一定 圖案之際，有關只配置在一方基板的構成要素之流程，是 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ____B7____ 五、發明說明（7 ) 另一方基板所不需要的流程。此種情況下，對一方基板施 行形成其構成要素的任何處理期間，對於不配置其構成要 素的另一方基板，一般情況下也是不施行任何的處理。各 別形成在上述一對基板的一定圖案，是欲形在由有機材料 製成的可撓性基板上，故只對一方基板施行造成基板膨脹 或收縮的處理之情況下，只一方基板#因上述處理的膨脹 或收縮而在兩基板間產生尺寸精度的誤差，此結果即無法 以優良的圖案核對精度來貼合兩基板。 但是按上述方法，即可對一方基板施行造成基板膨脹 或收縮的處理之情況下，以控制兩基板尺寸爲目的，也對 另一方基板施行上述處理，只有一方基板不膨脹或收縮， 就能因隨著上述處理的膨脹收縮，來抑制尺寸精度的誤差 〇 又，按上述方法，基板膨脹收縮舉動的那個基板，可 令兩基板合在一起，所以基板全體尺寸變化率會令兩基板 合在一起，不管是由大張基板製造多數個可撓性液晶面板 的狀況，或是由大張基板製造少數枚例如1枚大型液晶顯 示面板的情況，即能提升兩基板的尺寸核對精度。 又，按上述方法，即不必變更兩基板的基板構成，是 以能單獨搬送、加工之由有機材料製成的可撓性基板爲基 礎，就基本處理流程或個別處理而言，很適用以玻璃基板 爲對象所確立的設定、裝置等。 因此，能以優良的圖案精度來製造可撓性液晶顯示面 板的同時，還能以低成本製造出應用由有機材料製成的可 -----*---j-----------訂--------- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -10- 1293386 A7 ___Β7 五、發明說明（8 ) 撓性基板之可撓性液晶顯示面板。 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 再者，所謂造成基板膨脹或收縮的處理，是表示所處 理的那個基板要造成基板膨脹或收縮的處理，亦即，所處 理的那個基板是要造成基板吸濕或釋放濕氣或改性的處理 。具體而言是表示熱處理、乾燥處理、洗滌處理等，特別 是以造成可撓性基板收縮的熱處理、乾燥處理爲對象。又 ，上述方法特別適合熱處理尤其是燒成等，對基板造成不 可逆的收縮，欲形成圖案的熱處理。 於是，本發明之可撓性液晶顯示面板之製造方法，爲 達成上述目的，故在由有機材料製成的可撓性基板上，貼 合形成有一定圖案的一對基板，製造出可徺性液晶顯示面 板之可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲：於形成 上述圖案之際，對上述一對基板中之一方基板，施行熱處 理的情況下，不管另一方基板是否要施行熱處理，亦對另 一方基板施行熱處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若按上述方法對一方基板施行熱處理的情況下，也對 另一方基板施行達到兩基板之尺寸控制的熱處理，經由上 述熱處理就只有一方的基板沒有收縮。因此，能經由上述 熱處理來抑制因基板收縮的尺寸精度之誤差。 又，若按上述方法以兩基板來配合基板之熱效應的那 個基板，就能以兩基板來配合基板全體的尺寸變化率，不 管是由大張基板製造多數枚可撓性液晶面板的狀況，或是 由大張基板製造少數枚例如1枚大型液晶顯示面板的狀況 均能提高兩基板的尺寸核對精度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 - 1293386 A7 B7 五、發明說明（9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，按上述方法，即不必變更兩基板的基板構成，還 以單獨搬送、加工由有機材料製成的可撓性基板爲基本， 就基本的處理流程或各個處理而言，很適合以玻璃基板爲 對象所確立的設定、裝置等。 因此，能圖案精度優良的製造出可撓性液晶顯示面板 的同時，還可用低成本製造出應用由有機材料製成的可撓 性基板之可撓性液晶顯示面板。 又，本發明之可撓性液晶顯示面板之製造方法，爲達 成上述目的，故針對在由有機材料製成的可撓性基板上貼 合形成有一定圖案的一對基板，製造出可撓性液晶顯示面 板的可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲：於貼合 上述一對基板之前，對上述一對基板中之一方基板與另一 方基板，各別施行乾燥處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 按上述方法，即能在貼合上述一對基板之前，各別對 上述一對基板中之一方基板與另一方基板施行乾燥處理， 並能在貼合上述一對基板之前，針對因吸濕作用而產生可 逆之基板的膨脹，使上述一方基板與另一方基板一同乾燥 、收縮，對減輕因吸濕的兩基板之膨脹的影響並無不當。 此結果，能以抑制兩基板間之尺寸精度誤差的狀態來貼合 兩基板。因此，可令兩基板的尺寸核對精度提高。 又，按上述方法，即可藉由乾燥，以兩基板來配合基 板全體的尺寸變化率，不管是由大張基板製造多數枚可撓 性液晶面板的狀況，或是由大張基板製造少數枚例如1枚 大型液晶顯示面板的狀況，都能令兩基板的尺寸核對精度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ---- B7_^_— 五、發明說明（10) 提高。 又，按上述方法，即不必變更兩基板的基板構成，還 以單獨來搬送、加工由有機材料製成的可撓性基板爲基本 ，就基本的處理流程或是各個處理而言，都適用於以玻璃 基板爲對象所確立的設定、裝置等。 因此，能圖案精度優良的製造出可撓性液晶顯示面板 的同時，還能用低於習知成本製造出應用由有機材料製成 的可撓性基板之可撓性液晶顯示面板。再者，上述乾燥處 理例如可藉加熱乾燥，也可藉真空乾燥等、減壓乾燥。 又，本發明之可撓性液晶顯示面板之製造系統，爲達 成上述目的，故針對在由有機材料製成的可撓性基板上， 貼合形成有一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示 面板之可撓性液晶顯示面板之製造系統，其特徵爲具備有 :搭載、搬送上述一方基板與另一方基板之搬送裝置、和 對上述一對基板中之一方基板與另一方基板，各別進行熱 處理之裝置、和各別對上述一對基板中之一方基板與另一 方基板形成一定圖案，進行上述以外所需要的處理裝置， 上述各處理裝置是順著該可撓性液晶顯示面板之製造工程 被配置在上述一方基板與另一方基板的搬送方向。 按上述構成，上述各處理裝置是順著該可撓性液晶顯 示面板之製造工程配置在上述一方基板與另一方基板的搬 送方向，藉由按照該可撓性液晶顯示面板之製造工程，依 序進行處理，就很容易管理、控制工程管理及各處理裝置 間的上述兩基板之基板膨脹時間的變化，抑制兩基板的基 -----.---^--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（11) 板尺寸因時間因素的誤差，就能一面維持所希望的尺寸精 度一面加工處理上述一對基板。 而上述可撓性液晶顯示面板的製造系統乃具備有對上 述一對基板方面的一方基板與另一方基板施行各種熱處理 之裝置，還可同時對上述兩基板施行熱處理，藉由只一方 基板會收縮的情形，來抑制尺寸精度誤差。而按上述構成 ，因能以兩基板來配合基板的熱效應，所以就能以兩基板 來配合基板全體的尺寸變化率，不管是由大張基板製造多 數枚可撓性液晶面板的狀況，或是由大張基板製造少數枚 例如1枚大型液晶顯示面板的狀況，均可提高兩基板的尺 寸核對精度。藉此就很容易且良品率優良的製造可撓性液 晶顯示面板。 又，由於應用具有上述構成的可撓性液晶顯示面板之 製造系統，來製造上述可撓性液晶顯示面板，不必變更兩 基板的基板構成，還可以單獨搬送、加工由有機材料製成 的可撓性基板，故基本的處理流程或各個處理就適用以玻 璃基板爲對象而確立的設定、裝置等。 因此，可圖案精度優良的製造可撓性液晶顯示面板的 同時，還能以較習知低的成本來製造，應用由有機材料製 成的可撓性基板之可撓性液晶顯示面板。 又，本發明之可撓性液晶顯示面板的製造系統係爲達 成上述目的，屬於在由有機材料製成的可撓性基板上，貼 合形成有一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示面 板之可撓性液晶顯示面板之製造系統，其特徵爲具備有： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- --------------1----訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 A7 _____B7 五、發明說明（12 ) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 搭載搬送上述一方基板與另一方基板之搬送裝置、和對上 述一對基板方面的一方基板與另一方基板進行各種乾燥處 理之裝置、和對上述一對基板方面的一方基板與另一方基 板施行形成各種一定圖案所需要之上述以外的處理之裝置 •，上述各處理裝置是順著該可撓性液晶顯示面板的製造工 程配置在上述一方基板與另一方基板的搬送方向。 按上述構成，上述各處理裝置就可藉由順著該可撓性 液晶顯示面板的製造工程配置在上述一方基板與另一方基 板的搬送方向，且順著該可撓性液晶顯示面板的製造工程 依序進行處理的情況下，很容易管理、控制工程管理及各 處理裝置間的上述兩基板之基板膨脹的時間性變化，抑制 兩基板的基板尺寸因時間因素的誤差，一面維持所希望的 尺寸精度一面加工處理上述一對基板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 而上述可撓性液晶顯示面板的製造系統是具備有，對 上述一對基板方面的一方基板與另一方基板，施行各種乾 燥處理的裝置，同時對上述兩基板施行乾燥處理，即可抑 制隨著吸濕經基板膨脹的尺寸精度誤差。而按上述構成， 對上述兩基板施行乾燥處理，就能以兩基板來配合基板全 體的尺寸變化率，不管是由大張基板製造多數枚可撓性液 晶面板的狀況，或是由大張基板製造少數枚例如1枚大型 液晶顯示面板的狀況，就可提高兩基板的尺寸核對精度。 藉此就很容易且良品率優的製造出可撓性液晶顯示面板。 又，由於應用具有上述構成的可撓性液晶顯示面板之 製造系統，來製造上述可撓性液晶顯示面板，不必變更兩 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 __B7_^_ 五、發明說明（13 ) 基板的基板構成，還可以單獨搬送、加工由有機材料製成 的可撓性基板，故基本的處理流程或各個處理就適用以玻 璃基板爲對象而確立的設定、裝置等。 因此，可圖案精度優良的製造可撓性液晶顯示面板的 同時，還能以較習知低的成本來製造，應用由有機材料製 成的可撓性基板之可撓性液晶顯示面被。 根據以下所示的記載就能充分了解本發明之另一目的 、特徵及優點；又，參照所附圖面於以下說明即可明白本 發明之利益。 根據第1圖至第1 7圖來說明本發明之實施其中一形 態，如以下所示。 於第1圖表示利用有關本實施形態之可撓性液晶顯示 面板之製造方法所製造的單純矩陣型液晶顯示面板之斷面 圖。本實施形態方面的單純矩陣型液晶顯示面板是由整流 子片間電極配置側之S E G基板1、和C Ο Μ電極配置側 之COM基板2、和配置在這些SEG基板1與COM基 板2之間的液晶層3、和黏接這些S E G基板1及C〇Μ 基板2之兩基板的密封材料4、和被分散在液晶層3中之 間隔片5所構成的。 上述S E G基板1是按照透明電極7 a (整流子片間 電極）、和絕緣膜8、和定向膜9 a的順序配置在由 P E S (聚醯磺基）等塑膠（有機材料）製成的塑膠基板 (可撓性基板）6 a之一方表面上，作爲一定圖案，更在 塑膠基板6 a的另一方表面上，配置相位差偏光板1 〇 a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -16 - 1293386 A7 「- _B7___ 五、發明說明（14 ) 所構成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 另一方面，上述COM基板2是按照彩色濾光器11 、和透明電極（C〇Μ電極）7 b、和定向膜9 b的順序 配置在由P E S等塑膠製成的塑膠基板（可撓性基板） 6 b之一方表面上，作爲一定圖案，更在塑膠基板6 b的 另一方表面上配置相位差偏光板1 0 所構成。 上述透明電極7 a、7 b是使用I T〇（IndiumTin Oxide )膜，利用以I T 0晶錠爲材料的濺鍍蒸鍍法，或是 利用以I T ( Indium Tin )晶錠爲材料的反應性濺鍍蒸鍍 法（蒸鍍中與氧一起反應）來成膜透明導電膜。膜厚是以 所需要的導電度來決定，選定在500〜5000A的範 圍。成膜後藉由利用光刻法（感光劑塗佈、曝光、顯影、 蝕刻、剝離）進行圖案製作的情況下形成透明電極7 a、 7 b 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 形成上述絕緣膜8的目的是爲了對於被配置在上述 S E G基板1與C〇Μ基板2之間的液晶層3混入金屬等 導電性異物的狀況下，用來防止上述S E G基板1方面的 透明電極7 a與C〇Μ基板2方面的透明電極7 b之間短 路。就上述絕緣膜8形成在上述S E G基板1與C Ο Μ基 板2兩者來看，其電氣絕緣效果高，但就降低製造成本等 功能上之低下及成本的兩面來看，一般是只形成在一方的 基板。對於該絕緣膜8，由耐絕緣性、膜硬度、及形成成 本的觀點來看，其前提是要能以印刷法（印刷、燒成）來 形成，例如應用於有機矽（S i )化合物中含有鈦（T i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）71 '"""" 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 -------------B7_______ 五、發明說明（15 ) )等金屬作爲材料的絕緣膜等。經由燒成除去有機部分， 例如形成氧化S iT i膜。膜厚爲5〇〇〜1 000A左 右，並爲透明的。當然也可用真空蒸鍍法來成膜。 於上述定向膜9 a，9 b使用聚醯亞胺材料，且與絕 緣膜8同樣用印刷法形成。膜厚一般爲5 〇 〇 A左右。 上述密封材料4是以丙烯樹脂—環‘氧樹脂系的熱硬化 型樹脂爲主流，並以1 5 0〜2 0 0 °C左右來燒成、硬化 〇 作爲上述間隔片5的材料有塑膠粒、玻璃珠、玻璃纖 維等，但爲了單元空隙之均一性能的關係，一般是使用塑 膠粒。間隔片5的尺寸爲2〜1 0 // m，並根據單元空隙 來選定。 本實施形態是針對一槪貼合大張同尺寸的2枚基板， 由該大張基板如上述般製造複數枚可撓性液晶顯示面板之 方法做說明。此例是根據第2圖來說明上述可撓性液晶顯 示面板之製造工程中，從形成絕緣膜8到形成定向膜9 a 、9 b的工程流程。 只在S E G基板1配置的絕緣膜8是藉由洗滌（洗滌 )過形成有透明電極7 a的塑膠基板6 a後，用印刷法將 絕緣膜材料的油墨轉印（絕緣膜印刷）到透明電極7 a上 ，以1 5 0 °C以上加熱燒成（燒成）的情況下形成的。 另一方面，不在C〇Μ基板2形成絕緣膜8，但在形 成S E G基板1之絕緣膜8工程的期間，對C〇,Μ基板2 的塑膠基板6 b施行與S E G基板1同樣條件的洗滌及加 -----,---h-----------訂--------- (請先閱讀背面之注音3事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18- 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（16) 熱處理（熱處理；第2圖中以二層框表示）。 然後經過洗滌、定向膜印刷、及燒成之各工程，就會 分別在SEG基板1及COM基板2形成定向膜9a、 9 b ° 如果必須於形成絕緣膜8的工程，對C 0 Μ基板2施 行加熱處理的話，就只有S E G基板f側的塑膠基板6 a 會發生收縮。亦即，SEG基板1與COM基板2的尺寸 發生偏差。 此例是以在塑膠基板6a、6b應用以PES (聚醯 磺基）製成基板（以下稱P E S基板）的狀況爲例，根據 第3圖的座標圖來說明因吸濕及加熱乾燥的P E S基板之 尺寸變化。吸濕1係表示溫度2 5 °C、濕度6 5 %的環境 下，放置P E S基板的狀況。又，吸濕2係表示於4 0 °C 的溫水中浸泡P E S基板的狀況。加熱乾燥係表示以5 0 °C (以實線表示）、1 〇 〇 °C (以虛線表示）、1 5 0 °C (以中心線表示）來乾燥P E S基板的狀況。 自以上座標圖得知，因吸濕膨脹的P E S基板，以 5 0 °C施行加熱乾燥會回到原尺寸，但以1 〇 〇 °C或 1 5 0 °C施行加熱（加熱燒成），一旦乾燥就回到原尺寸 ，甚至繼續加熱，原尺寸會更爲收縮。 由以上的結果，因於印刷絕緣膜材料之前進行水系洗 滌，所以S E G基板1的塑膠基板6 a會因吸濕膨脹，但 印刷後的加熱燒成工程，會令S E G基板1受到1 5 0 t 以上的熱，然後冷卻到室溫之際，即發生不可逆的收縮， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 A7 __ B7 五、發明說明（17 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 原尺寸會更爲收縮。如此一來，只對S E G基板1進行燒 成，不對C Ο Μ基板2進行任何處理，僅S E G基板1會 因加熱收縮。藉此就會在S E G基板1與C 0Μ基板2之 間，引發尺寸不齊。 於是，本實施形態爲抑制基板因膨脹收縮的尺寸精度 誤差，故於上述一對基板中的一方基板，施行造成基板膨 脹或收縮處理的情況下，不管另一方基板是否要進行上述 處理，亦對另一方基板進行上述處理。此情況下，也對 C〇Μ基板2施行與S E G基板1相同的熱處理（加熱燒 成），也可使C〇Μ基板2受到不可逆的收縮，僅S E G 基板1不收縮，即可藉由欲形成絕緣膜8的燒成，防止 S E G基板1與COM基板2的尺寸不齊。 如此一來，形成上述圖案之際，於上述一對基板當中 的一方基板施行熱處理的情況，其目的在於控制兩基板尺 寸，即使另一方基板不必熱處理的情況下，也在另一方基 板施行熱處理，經上述熱處理，僅一方基板不收縮，就能 抑制因隨著上述熱處理收縮的尺寸精度誤差。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於本實施形態中，上述一方的基板此時是對S E G基 板1進行加熱燒成的情況，對另一方基板的C〇Μ基板2 ，要以隨著施行於上述S E G基板1與C〇Μ基板2的力口 熱燒成之兩基板的尺寸之誤差是在所希望的範圍內進行力口 熱燒成。 亦即，施行於上述S E G基板1與C 0 Μ基板2的熱 處理之處理條件，是設定成上述熱處理此時隨著加熱燒成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（18) 的S E G基板1及C 0M基板2的收縮之兩基板的尺寸之 誤差是在所希望的範圍內。例如對於S E G基板1與 COM基板2，兩基板間的尺寸誤差要在所希望的範圍內 ，進行略同一的熱處理，具體而言是當一方基板昇溫時的 保持溫度（定常溫度）例如爲1 0 0 °C〜1 5 0 °C時，該 保持溫度爲土 5 C的章b圍內、處理時間的誤差爲1 Q %以 內的熱處理，就很適合施行相同的熱處理。因此，例如上 述熱處是用略相同，最好是相同的溫度斷面圖來進行的。 此爲用相同設定條件進行上述熱處理，特別是應用同型裝 置，就很容易實現以相同設定條件進行熱處理。 再者，於本實施形態中，略同一溫度斷面圖觀察是表 示在兩基板間，例如昇溫時的溫度、昇溫時的保持溫度（ 定常溫度（例如1 0 0 °C〜1 5 0 °C ))、降溫時的溫度 範圍爲± 1 〇 °C內，適當範圍爲土 5 °C內，處理時間的誤 差是10%以內，最合適爲5%以內。 再者，經過燒成前的洗滌，塑膠基板會吸濕膨脹，但 受到燒成前基板狀態差異的情況，是燒成溫度等條件逐漸 使S E G基板1與C Ο Μ基板2的尺寸，發生不齊的情況 〇 因此，爲確實防止SEG基板1與COM基板2的尺 寸不齊，就連COM基板2也希望與SEG基板1 一樣進 行洗滌後，被燒成。 特別是有關本實施形態的液晶顯示面板之製造方法， 乃如第2圖所示，也對C Ο Μ基板2，施行與S E G基板 I----:!·裝---------：tr· — ^------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 21 - 1293386 A7 B7 五、發明說明（19) (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 1同樣條件的洗滌及加熱處理，形成絕緣膜8後，S E G 基板1與C〇Μ基板2的尺寸變化大致相同。藉此幾乎不 會在SEG基板1與COM基板2之間發生尺寸偏差，就 可在後面的工程，以圖案核對精度優良的貼合這些S E G 基板1與COM基板2。 此例是就應用構造不同的加熱裝鲁作爲兩種不同類型 的加熱方式之加熱手段來進行加熱（熱處理)的狀況，因 加熱裝置構造不同所發生的溫度斷面圖觀察差異，參照第 4圖（a )及第4圖（b )於以下做說明。 第4圖（a )係爲將收納於晶圓匣的可撓性基板，用 熱風循環式烤爐加熱之際的溫度斷面圖觀察。各可撓性基 板是以由上方觀看的狀態，各可撓性基板爲完全重疊，保 持水平狀態被收納於上述晶圓匣內，熱風會從橫方向吹送 到各可撓性基板，藉由熱風通過各可撓性基板間的空間被 加熱的。上述晶圓匣內的可撓性基板收納枚數爲2 0枚， 各可撓性基板是以各可撓性基板間的間隔保持2 0 m m的 狀態被配置的。意圖以1 5 0 °C的燒成溫度進行上述加熱 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 另一方面，第4圖（b )係爲利用邊一枚枚單體連續 搬送邊加熱可撓性基板的單片搬送焚化爐來加熱可撓性基 板之際的溫度斷面圖觀察。就單片搬送焚化爐而言，是藉 由從各可撓性基板兩面輻射紅外線的情形進行各可撓性基 板的加熱，於此情況下也意圖以1 5 0 t的燒成溫度進行 上述加熱。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明說明（2Q) 就各溫度斷面圖觀察來看，是先從室溫昇溫到1 5 0 °C，大約以3 0分鐘來完成，以1 5 0 °C保持6 0分鐘， 然後花5 0分鐘冷卻到7 5 °C後，將各可撓性基板取出至 各個熱風循環式烤爐及單片搬送焚化爐外，以後在室溫氣 氛下完成冷卻。再者，用P E S基板作爲可撓性基板來完 成上述測定。 由第4圖（a )及第4圖（b )所示的兩溫度斷面圖 觀察即可明白，使用熱風循環式烤爐的狀況，其可撓性基 板彼此間的昇溫時及降溫時的溫度誤差會較使用單片搬送 焚化爐的狀況小。這是單片搬送焚化爐之供給熱能一致性 優的緣故。 其次，根據第5圖（a )及第5圖（b)，就有關應 用在上述可撓性液晶顯示面板的各可撓性基板，藉由應用 上述2種加熱裝置進行熱處理的情況，針對獲得各不相同 的溫度斷面圖觀察狀況的尺寸變化率做一比較。再者，連 本測定也是用P E S基板作爲上述可撓性基板來進行測定 0 如第1 7圖所示，以P E S爲母材的塑膠基板作爲上 述可撓性基板使用的狀況下，因吸濕的可撓性基板之尺寸 變化，並不受限於吸濕條件，能經由5 0 °C的乾燥處理回 復到原來狀態。而上述P E S基板乃如上述第2 0圖及前 述第3圖所示，以5 0 °C、1 0小時進行加熱處理，可撓 性基板就會完全乾燥，不受吸濕影響的基板尺寸。以後， 即與基板的原尺寸一同記載此狀態的基板尺寸。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝--------訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -Γ - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 ___ B7____ 五、發明說明（21 ) 第5圖（a )及第5圖（b )係表示對可撓性基板， 相對於可獲得此原尺寸以5 0 °C 1 0小時的熱處理，而進 行以1 0 0 t：、5小時、以1 5 0 t：、1小時的熱處理狀 況之各可撓性基板的尺寸變化率之說明圖；第5圖（a ) 係表示利用熱風循環式烤爐進行加熱狀況的尺寸變化率， 第5圖（b )係表示利用單片搬送焚也爐進行加熱狀況的 尺寸變化率。 如第5圖（a )及第5圖（b )所做的判斷，利用溫 度斷面圖觀察誤差大的熱風循環式烤爐進行熱處理狀況的 可撓性基板間之尺寸變化誤差，超過利用溫度斷面圖觀察 誤差小的單片搬送焚化爐進行熱處理狀況的可撓性基板間 之尺寸變化誤差，會變大。 因而，由上述第5圖（a)及第5圖（b)即知，藉 由將上述單片搬送焚化爐應用於上述S E G基板1的燒成 及C〇Μ基板2的加熱處理狀況，與將熱風循環式烤爐應 用用上述S E G基板1的燒成及C〇Μ基板2的加熱處理 狀況做比較，判斷能夠抑制每一可撓性基板及可撓性基板 內的尺寸變化之誤差，總之就是S E G基板1與C〇Μ基 板2之間的尺寸變化之誤差，或是S E G基板1彼此間以 及C〇Μ基板2彼此間的尺寸變化之誤差、和各S E G基 板1內與C〇Μ基板2內的尺寸變化之誤差。 例如，針對各可撓性基板，以1 5 0 °C施行1小時熱 處理的狀況下，相對於在利用熱風循環式烤爐施行相同熱 處理的兩基板間，尺寸變化率的誤差大約爲〇 · 〇 5 % ( -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24 - 1293386 A7 B7 五、發明說明（22) 此爲3 0 0 m m角基板，大約相當於1 5 0 // m的尺寸誤 差），而在利用單片搬送焚化爐施行相同熱處理的兩基板 間，則大約爲0 · 0 1 5 % (此爲3 0 0 m m角基板，大 約相當於4 5 // m的尺寸誤差）。 此爲熱處理之際溫度誤差受到影響，包括昇溫時、降 溫時的溫度誤差，施加於可撓性基板的總熱量差異，會發 生基板收縮的誤差。因而，儘量減小兩基板間的尺寸誤差 ，最理想是兩基板間沒有尺寸誤差，兩基板間的熱效應略 爲相同，更理想是希望將加熱控制到相同。 因此，各基板熱處理之際，實際上是希望施加於基板 的溫度斷面圖觀察可符合一對基板，更具體是用同設定條 件，理想是用同型的加熱裝置（熱處理裝置）或是相同的 加熱裝置（熱處理裝置），用相同設定條件來進行加熱。 特別是爲了符合兩基板間的熱效應，當對上述一對基板中 之一方基板施加熱處理時，最好也對另一方基板施加熱處 理，進而對兩基板而言，更理想是將上述熱處理，略爲同 時，最好是1分鐘以內，更好是同時進行。如此略爲相同 ，最好是將兩基板間的熱效應控制爲相同的加熱，就能維 持兩基板的核對精度。再者，本實施形態中，所謂熱效應 是表示其製造過程中，任何的溫度能承受多少的時間。 在上述絕緣膜8形成工程對一對基板中的一方基板（ 本實施形態只針對S E G基板1 )施加燒成絕緣膜8所需 要的溫度，具體而言是1 5 0 °C左右的熱處理時，對於被 熱處理基板的SEG基板1，由第5圖（a)及第5圖（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · ! ! I I I 訂·！ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 1293386 第89125505號專利申請案 中文說明書修正頁 A7民國96年7月2日修正 ___ _B7__ 五、發明説明（23 ) b )無論是使用熱風循環式烤爐的情形，還是使用單片搬 送焚化爐的情形，都是用3 〇 〇mni之角形尺寸的基板（ 3OOmm之角形基板），而就原尺寸而言，基板大約會 發生3 0 0 //111至45 〇 /zm的收縮，故而一對基板並無 法完全配合透明電極圖案。 對此’如本實施形態，對S E G基板1施行加熱處理 的狀況下’也對C Ο Μ基板2施行加熱處理，就能抑制 S EG基板1與COM基板2之間的尺寸差，又，對 C Ο Μ基板2施行與S E G基板1同樣條件的加熱處理， 而S E G基板1與COM基板2之間的尺寸差，在該兩基 板使用3 0 Omm角基板的狀況、及使用熱風循環式烤爐 作爲上述加熱裝置的狀況，最大爲1 5 0 //m，使用板片 搬送燒成爐的狀況下，最大可抑制到4 5 //m。實際上在 製造流程中有數次的熱處理流程，如第1 6圖所示，隨著 總熱容量增加，基板收縮量因有熱收歛的傾向，同時還會 使之平均化，貼合工程中最終的各個基板尺寸之誤差最大 爲1 0 0//m與3 0//m左右。 上述可撓性液晶顯示面板，只要S E G基板1的透明 電極圖案與C OM基板2的透明電極圖案均爲互相垂直的 條帶圖案之液晶顯示面板的狀況下，就可確保1〇〇μπι (±50μηι)左右的貼合核對精度。因而，最好是用板片搬送燒 成爐作爲上述加熱裝置，但連經由溫度分布精度粗的熱風循 環式烤爐之熱處理，也可確保上述精度。 但將畫面分割爲上下兩個畫面來表示的狀況下’在上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Ρ -26- 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（24) 下分割部，與s E G圖案和C Ο Μ圖案重合，必須有4 0 //m (土 2 0 //m)左右的貼合核對精度。因此，包括熱 處理時的昇溫、降溫時的溫度誤差的均一性是很重要的， 上述單片搬送焚化爐之實例所示的溫度斷面圖的均一性是 確保精度的必須條件。 如此於本實施形態中，就兩基板之尺寸的誤差之所希 望的範圍，是爲達到可撓性液晶顯示面板之用途或所希望 的構成，亦即對應上述可撓性液晶顯示面板的種類而適當 設定的。 其次，有關本實施形態的可撓性液晶顯示面板之製造 工程方面，於第6圖表示從SEG基板1及COM基板2 方面的硏磨定向處理到貼合S E G基板1和C〇Μ基板2 的工程流程。 本實施形態乃如第6圖所示，對硏磨定向處理之後接 著進行硏磨後洗滌的S E G基板1及C Ο Μ基板2施行乾 燥處理（第6圖中以二層框表示的）。 像這樣藉由於硏磨後洗滌後施行乾燥處理的情形，經 硏磨後洗滌吸濕膨脹的S E G基板1及C Ο Μ基板2的尺 寸，就可接近或回復到硏磨後洗滌前（硏磨定向處理時） 的尺寸。 經由在後述之使其平直工程（C〇Μ基板2 )的加熱 ，可令因硏磨後洗滌而吸濕膨脹的C Ο Μ基板2乾燥，但 在使其平直工程的加熱始終是以使其平直爲目的，欲充分 確保進行乾燥的處理時間是很難的。又，爲了乾燥就要長 ------—^—#裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 1293386 A7 B7 五、發明説明（25 ) 時間加熱C Ο Μ基板2，對於使其平直前所印刷的密封材 料進行硬化也發生問題。因而，經使其平直的C 〇 Μ基板 2之乾燥度並不充分，與對進行硏磨後洗滌的S E G基板 1及C 0Μ基板2施行上述乾燥處理的狀況比較，每一基 板的尺寸之誤差大。 對於此類的問題，如本實施形態的方法，對兩基板貼 合前，具體而言是對硏磨後洗滌後施行乾燥處理，理想是 一旦S E G基板1及C 0Μ基板2回到硏磨後洗滌前的尺 寸，就能因後面工程之使其平直時加熱的乾燥效果，解決 停止自硏磨、洗滌後到密封材料印刷爲止之待機時間中吸 收周圍環境的濕氣。亦即，可根據使其平直的加熱之 C〇Μ基板2的收縮效果、和根據配合使其平直的加熱條 件而對S E G基板1所施行的加熱處理之S E G基板1的 收縮效果，目的僅限於配合該兩基板的尺寸。 上述乾燥方法可採用針對S E G基板1及C Ο Μ基板 2的兩基板，應用前述熱風循環式烤爐或是板片搬送燒成 爐等加熱裝置來加熱乾燥之方法，也可採用經由真空乾燥機 等減壓裝置來減壓乾燥這些兩基板之方法。 此例是針對有關應用在上述可撓性液晶顯示面板的 P E S基板，在不同環境吸濕後，關於施行同一條件的乾 燥處理狀況的膨脹及收縮舉動（膨脹收縮舉動），參照第 7圖（a )及第7圖（b )於以下做說明。 第7圖（a )係表示經由加熱裝置進行乾燥處理狀況 下的膨脹收縮舉動之座標圖，第7圖（b )係表示經由減 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -28- 1293386 A7 __B7 ___ 五、發明說明（26 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 壓裝置進行乾燥處理狀況下的膨脹收縮舉動之座標圖，第 7圖（a )及第7圖（b )係分別表示在根本就不相同的 濕度環境放置可撓性基板後，進行乾燥處理狀況下的基板 尺寸變化舉動。 又，第7圖（a)及第7圖（b)係爲各個欲吸濕之 放置前，以1 0 0 °C進行5小時熱處理乂且以其基板尺寸 爲基礎來追蹤其後的尺寸變化，表示欲吸濕之放置前，以 1 0 0 °C進行5小時熱處理時的尺寸爲基準尺寸，相對於 此基準尺寸的尺寸變化率。 上述吸濕之際的室溫爲2 2〜2 4 °C (以第7圖（a )及第7圖（b)所示的座標圖之放置環境爲室溫下，是 統一在2 2〜2 4 °C )，於第7圖（a )中表示以乾燥處 理方法進行5 0 °C的加熱狀況之尺寸變化率，於第7圖（ b)表示進行6 · 6661xl02Pa之減壓狀況的尺寸 變化率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由第7圖（a )及第7圖（b )判斷上述可撓性基板 ，其濕度愈高吸濕量愈增加，其膨脹也愈大。又，此時的 基板之尺寸變化，會因保持在基板中的水量而異，故進行 乾燥處理狀況下的尺寸變化之時間經過不同，即判斷放置 在高濕度環境下，吸濕量多的基板回到原尺寸的時間會很 長。5 0 °C加熱乾燥的狀況下，放置在相對濕度4 0 %之 環境下的基板回到原尺寸爲止的時間大約需要7小時，而 用放置在相對濕度8 0 %之環境下的基板回到原尺寸爲止 的時間大約需要1 0小時間。而進行6 . 6 6 6 1 X 1 0 2

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱)9Q 1293386 A7 B7 五、發明說明（27) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) P a之減壓乾燥的狀況下，用放置在相對濕度4 0 %之環 境下的基板，回到原尺寸爲止的時間大約需要5小時，而 用放置在相對濕度8 0 %之環境下的基板回到原尺寸爲止 的大約需要6 . 5小時。由此判斷經過減壓乾燥進行上述 乾燥處理，可縮短乾燥時間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述乾燥處理，理想是一旦S E G‘基板1及C Ο Μ基 板2兩基板，是以回到硏磨後洗滌前的尺寸之條件下來進 行爲佳，但只要這些兩基板能獲得略相同的熱效應，就不 必回到硏磨後洗滌前的尺寸，只要因吸濕的膨脹狀態是一 定的設定在能令貼合時維持圖案核對精度之準位即可。亦 即，對這些S E G基板1及C Ο Μ基板2，施行略相同的 乾燥處理，具體而言是當一方基板昇溫時的保持溫度（定 常溫度）例如爲5 0 °C〜8 0 °C時，該保特溫度± 5 °C之 範圍內的處理時間誤差，在3〜5小時的範菌爲5 %以內 的乾燥處理，理想是施行相同的乾燥處理，略爲相同，理 想是獲得相同的熱效應，來抑制S E G基板1與C〇Μ基 板2之間的尺寸誤差，製造圖案精度優良且低成本的可撓 性液晶顯示面板。 令上述S E G基板1及C 0Μ基板2回到硏磨後洗滌 前的尺寸之方法，舉例如第7圖（a )及第7圖（b )所 示，不會使這些SEG基板1及COM基板2,比因吸濕 膨脹前的原尺寸更爲收縮，被設定在對應使用該可撓性基 板的有機材料種類，能以特定溫度例如爲5 0 t〜8 0 t 進行一定時間以上的乾燥處理之方法，或是在特定減壓條 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 Α7 Β7 五、發明說明（28) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 件下例如爲1 . 3 3 3 2 2 X 1 0 3 P a以下的減壓條件下 進行一定時間以上的乾燥處理之方法等。也就是說事先令 該可撓性基板回到上述原尺寸的方式，對應使用在該可撓 性基板的有機材料之種類而被設定的時間，至少熱處理很 容易回到原尺寸。 欲進行上述乾燥之際，可採用上述任何一種方法，但 例如用真空乾燥機等減壓裝置進行減壓乾燥，是不會發生 因加熱而收縮（改性）上述基板本體，上述基板不會因吸 濕更爲收縮膨脹前的原尺寸，很容易就能控制上述基板的 尺寸變化，上述兩基板則很容易因吸濕回到膨脹前的原尺 寸。 再者，以較上述溫度更高的溫度，例如前述般1 0 0 °C或是1 5 0 °C，事先設定令該可撓性基板回到上述原尺 寸的時間，進行乾燥處理，即可令上述兩基板回到原尺寸 ，但溫度急激昇高，會引起急收縮，若就控制容易度來看 ，採用上述方法是較佳的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 像這將S E G基板1及C〇Μ基板2兩基板回到硏磨 後洗滌前尺寸的狀況，可在兩基板間施行不同的乾燥處理 。但就控制容易度來看，希望對兩基板施行略相同的乾燥 處理，理想是相同的乾燥處理。 又，爲提升兩基板的圖案核對精度，上述乾燥處理只 要在貼合上述S E G基板1與C 0Μ基板2之前進行即可 ，但爲抑制因乾燥處理基板的收縮經過時間因素的誤差， 甚至是抑制乾燥處理後因吸濕基板膨脹經過時間因素的誤 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ΤΛ " " 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 -—-____B7 五、發明說明（29 ) 差，故上述乾燥處理是希望當對上述一方基板施行乾燥處 理時，也對另一方基板施行乾燥處理，在兩基板大致上同 時，理想是1分鐘以內，更理想是同時開始上述乾燥處理 更佳。對兩基板大致上同時，更理想是同時開始在基板貼 合前的時點針對原尺寸設定的上述乾燥處理，乾燥處理後 因吸濕等對基板的膨脹，會令兩基板的舉動起點一致，並 令兩基板尺寸的誤差統一在所希望的範圍內。 此結果即可以精度更優良的貼合兩基板，製造圖案精 度更優良的可撓性液晶顯示面板。 如第6圖所示，乾燥後的處理工程，在S E G基板1 與COM基板2是互不相同的。COM基板2是在密封材 料印刷後，爲了使其平直而以8 0 °C左右加熱。另一方面 ，S E G基板1是在間隔片散佈完成後，施行與欲對 C 0 Μ基板2進行使其平直之加熱處理相同條件的加熱處 理（第6圖中以二層框所表示的）。 如此以有關本實施形態的方法是將習知法只對C〇Μ 基板2施行的加熱處理，也對S E G基板1來施行。 藉此即可配合S E G基板1與C 0Μ基板2因熱收縮 的程度，來防止這些兩基板間的尺寸偏差。 又，以有關本實施形態的方法，於貼合上述S E G基 板1與COM基板2之前，對上述SEG基板1與COM 基板2兩方施行乾燥處理。藉此緩和S E G基板1與 C〇Μ基板2因吸濕基板膨脹的影響，還可配合因釋放濕 氣收縮兩基板的程度，來防止兩基板間的尺寸錯開。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !!?-------|訂._:——豢 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • 32 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 Α7 ______Β7______ — 五、發明說明（30 ) 如果不採用有關於如上述般的本實施形態之製造方法 ，就會如習知般，採用施行第6圖中以二層框所示的乾燥 處理及加熱處理方法的狀況下會發生以下的問題。 以習知方法，於硏磨後洗滌因吸濕膨脹的基板，會照 舊貼合於一方基板（本實施形態爲S E G基板1)。這是 因對另一方基板（本實施形態爲C〇Μ基板2 )，硏磨後 洗滌後施行密封材料印刷、和欲使其平直的加熱處理，所 以一旦硏磨後洗滌因吸濕膨脹的基板會乾燥收縮，不會受 到硏磨後洗滌因吸濕膨脹的影響。但上述另一方基板完全 回到原乾燥狀態的尺寸（硏磨定向處理時的尺寸），或是 因加熱收縮基板的緣故，原尺寸更爲收縮會因加熱條件而 〇 因此，以習知方法，一方基板仍會因吸濕膨脹，且另 一方基板的狀態會根據加熱條件，以回到收縮或原尺寸的 狀態來貼合兩基板。因此，即使在如此不同的膨脹收縮狀 態貼合2個基板，各電極圖案還是會發生無法吻合的問題 但是採用如上所述之有關本實施形態的可撓性液晶顯 示面板之製造方法，即可解決如以上一般的習知方法之問 題點。 本實施形態是在結束s E G基板1方面的間隔片散佈 及加熱處理、和C〇Μ基板2方面的密封材料印刷及使其 平直後，對S E G基板1與C Ο Μ基板2施行貼合、壓制 、燒成處理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 33- ------------裝-----I--訂------I-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 A7 _B7 五、發明說明（31 ) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 於本實施形態中，連續完成上述所有工程處理的狀況 下，上述乾燥處理是於特定工程，具體而言是受到基板尺 寸變化的影響，於硏磨後洗滌工程後施行的，但於各工程 處理間存在處理等待時間（待機時間）的狀況下，希望在 各處理等待時間（待機時間）的期間，施行各程乾燥處理 〇 於第8圖及第9圖表示從形成欲製造液晶顯示面板的 絕緣膜到基板貼合的工程之可撓性基板的膨脹收縮舉動（ 尺寸舉動）。第8圖係表示連續完成上述所有工程處理的 狀況下，可撓性基板膨脹收縮舉動的說明圖，第9圖係表 示在每個上述工程處理存在處理等待時間（待機時間）， 接近現實工程流程的狀況下，可撓性基板膨脹收縮舉動的 說明圖。 先根據第8圖來說明可撓性基板的尺寸舉動。此例中 ，絕緣膜形成工程前的可撓性基板會被充分乾燥，而成爲 其基板的原尺寸。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經印刷法形成絕緣膜8的狀況，通常是施行基板洗滌 、印刷、燒成的各工程處理。對可撓性基板施行水系洗滌 之際，該可撓性基板會因吸濕膨脹。該膨脹度會因洗滌時 間、溫度等有各種差異。其次，以氣刀等除去殘留在上述 可撓性基板表面的水滴後，用膠版印刷法等令絕緣膜8的 材料轉印到上述可撓性基板表面。印刷之際的周圍環境爲 溫度2 3 °C、相對濕度6 0 %。經洗滌充分吸濕的可撓性 基板，在此環境下，會釋放出所含的水份，並隨著時間經 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明說明（32) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 過而收縮。亦即，印刷處理期間，上述可撓性基板會稍微 收縮。而印刷後因燒成，上述可撓性基板乾燥的同時還會 熱收縮，冷卻後所測定的基板尺寸，會比原尺寸更加收縮 。再者，收縮量會因燒成溫度、時間等燒成條件、可撓性 基板材料而有更大的差別。 一般形成絕緣膜8，若是對一對可撓性基板的一方施 行，即可充分獲得其效果。因此，習知只在一方可撓性基 板，施行欲形成絕緣膜8的燒成。但是在完成絕緣膜8形 成處理的時點上，基板尺寸乃如第8圖所示，小於燒成前 ，也就是絕緣膜8形成前的基板尺寸。因此，本實施形態 中，乃如前所述，就連不形成絕緣膜8的另一方基板也施 行燒成處理。 接著所進行的定向膜9 a、9 b之形成處理係表示與 所謂絕緣膜8之形成處理在出發點的基板尺寸相異，但膨 脹收縮舉動（尺寸舉動）與上述絕緣膜8形成時相同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 定向處理工程是在硏磨處理後施行洗滌。在硏磨開始 的時點上，可撓性基板爲乾燥狀態，硏磨處理中會因吸濕 而膨脹。硏磨處理後的洗滌爲水系洗滌的狀況下，可撓性 基板仍然會吸濕、膨脹。 此狀況下的吸濕量乃與上述相同，會因處理條件及基 板的材料而異，對於在吸濕或膨脹途中的狀態，每一個基 板誤差大的關係，故以施行乾燥處理來接近基板原尺寸， 以減少誤差。 理想是施行充分的乾燥處理，並在當時的時點上，回 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） - 35- 1293386 Α7 Β7 五、發明說明（33) 到上述可撓性基板的原尺寸，基板尺寸的誤差就會是最小 化的程度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 貼合工程一般是以印刷等方法在上述一對可撓性基板 的一方形成貼合密封材料。在另一方可撓性基板散佈單元 空隙形成用間隔片。密封材料印刷及間隔片散佈中，上述 可撓性基板會因吸濕而膨脹。接次，對‘密封材料印刷側的 可撓性基板（就第1圖所示的可撓性液晶顯示面板來看是 C〇Μ基板2 )，施行印刷膜欲使其平直的加熱處理，上 述可撓性基板會因乾燥而收縮。本實施形態是在兩可撓性 基板間對照基板尺寸的關係，所以也會對間隔片散佈側的 可撓性基板（就第1圖所示的可撓性液晶顯示面板來看是 S E G基板1 )施行加熱處理。 其後，兩可撓性基板會被貼合，爲硬化密封材料所以 被燒成。貼合中，這些可撓性基板會吸濕、膨脹，欲硬化 的燒成是經由乾燥及熱處理而收縮的。從絕緣膜形成工程 到貼合工程的期間，會有如以上一般的可撓性基板之尺寸 舉動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 於第9圖表示其中一例，①絕緣膜形成工程後至定向 膜形成工程開始的期間、②定向膜形成工程中印刷後至燒 成處理開始的期間、③定向膜形成工程後至定向處理工程 開始的期間、④定向處理工程後至貼合工程開始的期間、 以及⑤貼合工程中加熱處理後至貼合開始的期間之5個時 段，是有待機時間狀況的可撓性基板之尺寸舉動。 上述可撓性基板待機前的狀態，若爲乾燥狀態，待機 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明説明（34 ) 時間中，可撓性基板會膨脹，若爲吸濕狀態，待機時間中 ，可撓性基板會收縮。因此，若於各工程期間，存在待機 時間的話，第8圖所示的狀況與基板尺寸的變化狀態會有 不同，兩可撓性基板尺寸會因待機狀態（待機環境及待機 時間）而異。 因此，欲在上述一對可撓性基板間令其尺寸差收縮到 一定尺寸內，各加工處理條件就要儘可能的精密配合，管 理上述一對可撓性基板的流程也須包含待機時間。因此， 進行各加工處理的時序，要對照一對可撓性基板間，但是 非常有效的手段，欲製造該可撓性液晶顯示面板是共同於 兩可撓性基板施行各項處理，是各別略爲同時，理想是1 分鐘以內，更理想是同時開始，會特別的有效。 又，施行欲製造該可撓性液晶顯示面板的各處理之際 ，如上述發生處理等待時間的情況，處理等待期間保持一 定乾燥狀態的環境下，理想是濕度保持在2 0 %以下的環 境下，保管上述兩可撓性基板是非常有效的手段。在製造 流程途中，因滯留等，等待下次工程的可撓性基板，要以 保持在一定乾燥狀態的環境下被保管，上述兩可撓性基板 要能防止處理等待中來自周邊氣氛的吸濕。因而，要抑制 因吸濕的可撓性基板膨脹’製造工程中的可撓性基板尺寸 精度誤差，要保持在所希望的範圍內。又，此情況，也可 省略例如多餘的乾燥處理工程。 如前述般，若按照本實施形態，經過加工流程的各處 理，即可將可撓性基板的尺寸（亦即，透明電極圖案的尺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 1293386 A7 B7 五、發明説明（35 ) 寸）誤差，最大抑制在3 0 // m。因而’若按照本實施形 態，對照兩可撓性基板各處理開始的時序’可對照各可撓 性基板因吸濕的尺寸變化之關係，包括貼合精度都可獲得 滿足4 0 // ηι ( ί 2 0 # m )的圖案核對精度之可擦性液晶 顯示面板。 其次，針對表示於有關本實施形態之第1圖的可撓性 液晶顯示面板之製造工程的面板分斷工程進行說明。於第 1 0圖表示該面板分斷工程流程。 就面板分斷工程而言，是先對照圖案位置，來貼合 S E G基板1和C Ο Μ基板2後，邊壓制邊加熱來燒結密 封材料，SEG基板1與COM基板2即告貼合完成。 然後將如以上所貼合的S E G基板1及C〇Μ基板2 ，以該兩基板爲貼合的狀態，分斷爲所期望的面板尺寸（ 第1分斷），且對該兩基板間注入液晶。又，連液晶注入 後，也要對應需求進行第2分斷。本實施形態的方法是將 第1分斷前及第2分斷前之待機中被貼合的S E G基板1 及COM基板2之兩基板（以下爲方便說明故稱之爲面板 基板），保管在乾燥庫內防止吸濕，以抑制因吸濕的尺寸 變化。 如果不按照本實施形態的方法將分斷前的面板基板保 管在乾燥庫內的狀況下，基板到分斷工程爲止的期間，會 因周邊環境濕度的吸濕而膨脹。此種基板的膨脹是根據環 境溫度與放置時間決定的，因吸濕狀況會有大誤差。面板 基板的分斷位置是依據所測定到的圖案尺寸決定的，膨脹 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

P 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •38- 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（36) 程度因每個面板基板而不同的話，就須對每個面板基板測 定圖案尺寸。此即爲生產效率惡化的原因。 對此，本實施形態方面的方法是將面板基板於分斷前 保管在乾燥庫內，防止分斷前面板基板吸濕，來抑制尺寸 變化。藉此所有的面板基板大致是相同的，理想爲相同乾 燥狀態，不必對分斷的每一面板基板測/定圖案尺寸。亦即 ，藉由應用本製造方法，就很容易確定面板基板的分斷位 置，生產效率提高。 再者，防止分斷前基板膨脹的方法，除了在乾燥庫內 保管各面板基板以外，還可以針對各面板基板施行乾燥處 理。 此例，於第1 1圖表示經由等待處理，亦即待機時間 中的環境，使可撓性基板發生膨脹收縮舉動（基板尺寸舉 動）。 例如可撓性基板經由燒成等前處理工程來乾燥的狀態 中，會於待機中吸收濕氣，可撓性基板會膨脹。其膨脹程 度是依據待機中的周邊環境來決定。 於第1 1圖比較表示針對以溫度2 3 °C、相對濕度 6 0 %爲室內環境之際的可撓性基板尺寸舉動，且相對濕 度4 0 %、相對濕度2 0 %、以及未吸濕狀況下（保管於 未吸濕的乾燥狀態，或零待機時間的狀況）的模式。 以待機時間後的後處理工程爲室內環境，待機在室內 環境中的可撓性基板，照樣會繼續在同一條件下，改變基 板尺寸，在其他環境下所保管的可撓性基板，會與後處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（37) 工程開始的同時，在相對濕度6 0 %的室內環境下引起基 板尺寸變動。 第1 1圖中以虛線所示之從後處理工程開始的時間T 來決定其工程處理中的可撓性基板尺寸精度，對於無待機 時間所處理的可撓性基板尺寸而言，待機在室內環境中， 被保管的可撓性基板，只有尺寸D i不商於基板尺寸。同樣 的以相對濕度4 0 %保管，只有尺寸D 2不同於基板尺寸， 而以相對濕度2 0 %保管，只有尺寸D 3不同於基板尺寸。 待機時間中，以乾燥環境保管，可小於該尺寸D i、D 2、 D 3間的尺寸差。 此結果，第9圖所示的膨脹收縮舉動，能減輕待機中 因加濕的膨脹，即可更接近無待機時間狀況的尺寸舉動， 以減輕待機時間受誤差的影響。又，第1 0圖所示的分斷 以及液晶注入工程中，可在第1分斷處理之前工程的貼合 工程之燒成處理、以及第2分斷處理之前工程的真空注入 法之液晶注入處理，令可撓性基板略爲完全的加以乾燥。 將上述可撓性基板放置在各分斷處理之待機時間中加以乾 燥的環境中，抑制可撓性基板膨脹，就能令基板尺寸整理 成所期望的尺寸內。 一般的分斷精度必需要有± 1 5 0 //m左右的精度， 但如前所述，按本實施形態，即可充分滿足上述分斷精度 0 再者，對照一對可撓性基板尺寸的一般手法，舉例有 ，兩可撓性基板適應周圍環境，使基板尺寸舉動完全安定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -40- 1293386 A7 B7 五、發明説明（38) 的方法，但此狀況下，對於在各工程處理前，需要數天的 待機時間，無法現實。 若按本實施形態，如上述般，於兩可撓性基板施行略 同，理想是相同的熱處理或乾燥處理，就更適合對照兩可 撓性基板的處理時序，濕度管理、溫度管理就很容易，還 可活用習知的工程流程、裝置、生產手段，尙且還能以圖 案精度優良、且低成本來製造。 如上，對照分別設在S E G基板1及C 0M基板2的 塑膠基板6 a、6 b的熱效應情形，以及維持塑膠基板 6 a、6 b的乾燥情形，是特別適合於欲獲得S E G基板 1及C〇Μ基板2間的圖案核對精度。 進而，藉由將溫度流程處理與乾燥流程處理，在 SEG基板1及COM基板2，以略爲同時，理想是同時 施行的情形，就可積極的控制這些兩基板的尺寸精度。 再者，於上述說明中，主要是舉例說明絕緣膜形成工 程以後的工程，但本可撓性液晶顯示面板之製造方法，不 但適用於絕緣膜形成工程以後的工程，也適用於在這之前 的工程，例如彩色濾光器形成工程或透明電極形成工程。 例如就第1圖所示之有關本實施形態的單純矩陣型液 晶顯示面板來看，只在C 0 Μ基板2形成彩色濾光器1 1 。該彩色濾光器1 1是根據對應R G Β各種顏色的顏色濾 光部、和配置在該顏色濾光部各色之圖案間的遮光性黑色 矩陣部所構成的。此狀況下，例如在塑膠基板6 b上，以 圖案化形成吸收或遮住紫外線之各色的顏色濾光部後，於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 1293386

五、發明說明（39) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 形成有此顏色濾光部部的塑膠基板6 b上，形成黑色矩陣 咅B，含感光性樹脂組成物的感光性樹脂材料，例如利用玻 璃版印刷法等來配置感光性黑色顏料等，接著針對上述塑 膠基板6 b施行預烘（熱處理），形成黑色顏料層。 此狀況下，上述彩色濾光器1 1只形成在C〇Μ基板 2的關係，所以上述預烘對SEG基被1來看，是不需要 的工程。但是，如上述般，只是對一方基板施行隨著基板 收縮的處理的話，會在兩基板間發生尺寸誤差，圖案核對 精度就很差。因而，就連絕緣膜形成工程更前面的工程， 也與絕緣膜形成工程以後的工程相同，對一方基板施行造 成基板膨脹或收縮的處理狀況下，不管另一方基板是否需 要施行上述的處理，也對另一方基板施行與上述--方基板 所施的處理相同類型的處理，但就提高圖案核對精度，製 造良品率優良的可撓性液晶顯示面板而言是很重要的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，上述說明是就彩色濾光器1 1方面，形成黑色 矩陣部的一部份所做的說明，但例如應用感光性樹脂利用 顏料分散法或顏料分散薄膜轉印法、印刷法等來形成顏色 濾光部的情況也會發生同樣的問題。又，其他也會發生例 如取代前述間隔片5，應用例如光硬化性樹脂形成壁狀間 隔片的情況等同樣的問題。因而，上述處理是在對應所希 望的圖案，於形成圖案之際，必須對一方基板施行造成基 板膨脹或收縮的處理之狀況下，也對另一方基板施行與上 述一方基板所施之處理相同類型的處理。 再者，上述圖案是種除了前述透明電極7a、7b、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -42- 1293386 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（4G) 彩色濾光器1 1、絕緣膜8、定向膜9 a、9 b以外，可 對應虛彩色濾光器、膜厚段差調整膜、光阻膜、透明導電 膜、半導體膜、吸收濾光器、金屬導電膜、金屬反射膜、 多層反射膜、金屬光罩、凸透鏡、可視光遮光膜、著色膜 、透明膜、白色系擴散反射膜、下塗佈膜、氣體遮蔽膜、 上塗佈膜、擴散反射膜、壁狀間隔片#用途所希望的各種 圖案。 又，應用有關本實施形態的可撓性液晶顯示面板之製 造方法所製造之第1圖所示的可撓性液晶顯示面板，是爲 在S E G基板1設有絕緣膜8的構造，但也可爲在C〇Μ 基板2設有絕緣膜的構造。此狀況下，於絕緣膜形成工程 時，S E G基板1與C Ο Μ基板2的處理內容是相反的。 而就有關本實施形態的可撓性液晶顯示面板之製造方 法來看，是種在S E G基板1散佈間隔片，對C〇Μ基板 2施行密封材料印刷的方法，但與此相反的，也可對 S E G基板1施行密封材料印刷，於C〇Μ基板2散佈間 隔片。此狀況下，基板之貼合工程時的S E G基板1與 C〇Μ基板2的製造工程是相反的。 而就本實施形態來看，是以形成在各基板（S E G基 板1、C〇Μ基板2 )的圖案作爲透明電極7 a、7 b， 但並不限於此，形成在SEG基板1及COM基板2兩基 板的圖案組合，例如可爲透明電極圖案/彩色濾光器圖案 或動態元件圖案（T F T等）/彩色圖案等。 進而，於上述說明中，主要是針對單純矩陣型液晶顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -43- -----------•裝--------訂------------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（41) 示面板的構成做說明，但有關本實施形態之可撓性液晶顯 示面板，並不限定爲單純矩陣型液晶顯示面板，應用由有 機材料製成的可撓性基板之可撓性液晶顯示面板全體，也 就是說在形成圖案之際，只在一對基板中的一方基板，完 成施行造成基板膨脹或收縮的處理適於基板尺寸發生誤差 的可撓性液晶顯示面板全體之製造。^ 進而，就有關本實施形態的可撓性液晶顯示面板之製 造方法來看，本發明適用於貼合形成有圖案的大張基板後 ，來分斷面板尺寸之方法，但貼合形成有圖案的大張基板 ，來製造一枚大張面板之際，也適用本發明。該狀況下也 能獲得形成尺寸精度優良的同樣效果。 其次，針對有關本實施形態的可撓性液晶顯示面板之 製造系統的其中一例，於以下說明。 第1 2圖係表示貼合工程方面的可撓性液晶顯示面板 之製造系統（生產線）的構成。在此生產線並行設置 S E G基板1用之生產線（基板搬送部）與C Ο Μ基板2 用之生產線（基板搬送部）。在S E G基板1用之生產線 設有搭載裝置2 1 a、和間隔片散佈裝置2 2 (處理手段 )、和加熱裝置2 3 a (熱處理手段（處理手段））。又 ，在C〇Μ基板2用之生產線設有搭載裝置2 1 b、和密 封材料印刷裝置2 4 (處理手段）、和加熱裝置2 3 b ( 熱處理手段（處理手段））。在此生產線分別並列配置（ 並設）有搭載裝置2 1 a與搭載裝置2 1 b、間隔片散佈 裝置2 2與密封材料印刷裝置2 4、加熱裝置2 3 a與加 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -44- -----,—·—•裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1293386 A7 B7 五、發明説明（42) 熱裝置23b。而從加熱裝置23a流出的SEG基板1 、和從加熱裝置2 3 b流出的C Ο Μ基板2，是用貼合裝 置2 5 (處理手段）貼合的。 就應用上述製造系統的可撓性液晶顯示面板之製造來 看，是將硏磨後洗滌之後充分乾燥無膨脹的S E G基板1 及COM基板2，投入此生產線。此時，SEG基板1與 C〇Μ基板2，是成對並行的流出2列生產線，以同一時 序被投入各裝置，在同一濕度環境下，且同時施行同一加 熱處理來貼合。藉此，即能抑制S E G基板1及C 0 Μ基 板2方面因膨脹收縮的時間因素之誤差，即能精度更優良 的符合S E G基板1及C 0Μ基板2兩基板的尺寸精度， 圖案核對精度也會提升。 第1 3圖係表示有關本實施形態的可撓性液晶顯示面 板之製造系統（生產線）的其他構成。 第1 3圖所示的製造系統也是配合加熱處理後的乾燥 工程（加熱及冷卻）來自動化、生產線化，第1 2圖所示 之生產線方面的間隔片散佈裝置2 2及密封材料印刷裝置 2 4之前，配置在取代搭載裝置2 1 a、2 1 b，從上流 側開始有硏磨後洗滌裝置3 0 (處理手段）、加熱裝置 2 7 (乾燥處理手段（熱處理手段、處理手段））、冷卻 裝置2 8 (乾燥處理手段（熱處理手段、處理手段））、 振盪裝置29，在加熱裝置23a、23b與貼合裝置 2 5之間，則有配置冷卻裝置2 6 a、2 6 b (熱處理手 段、處理手段））的構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公襲） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

P 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -45- 1293386 at B7 五、發明説明（43 ) 上述生產線中是以加熱裝置2 7與冷卻裝置2 8來構 成應用於硏磨後洗滌液的乾燥工程之乾燥處理手段（欲加 熱乾燥之乾燥處理手段），使用振盪裝置2 9直接接在前 後的工程。又，於貼合工程中的C Ο Μ基板2之使其平直 以及應用在S E G基板1之加熱處理的熱處理手段，是以 加熱裝置23a、23b和冷卻裝置26a、26b所構 成的。 硏磨後，洗滌結束的SEG基板1及COM基板2， 要用加熱裝置2 7加熱乾燥，接著用冷卻裝置2 8冷卻到 一定溫度後，要振盪SEG基板1與COM基板2，並供 給到間隔片散佈裝置2 2與密封材料印刷裝置2 4。各種 處理後，經過加熱裝置2 3 a、2 3 b，對S E G基板1 及C 0 Μ基板2兩基板施行加熱處理，其後兩基板會經由 冷卻裝置2 6 a、2 6 b被冷卻到一定溫度，同時被供給 到貼合裝置2 5。 應用第1 3圖所示的製造系統，不但可對照加熱、乾 燥的時序’從硏磨後的洗滌到貼合的期間，一對基板的處理 環境均完全一致，且還可更積極的控制圖案尺寸精度。 再者’於第1 3圖方面，除說明方便外，對應第6圖 的流程圖’用一條生產線來施行硏磨後的洗滌及以洗滌後 的乾燥處理，並且振盪乾燥後的S E G基板1與C 0 Μ基 板2的構成，是包括圖未表示的硏磨定向處理，到間隔片 散佈、密封材料印刷爲止的工程也可以是對S E G基板1 與C 0 Μ基板2，以各種對應的2條生產線來施行的構成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f 訂

P 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -46 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1293386 A7 _B7_ 五、發明説明（44 ) 。藉此，更容易完成管理包括待機時間的s E G基板1及 C〇Μ基板2兩基板之製造環境。 又，間隔片散佈的處理節奏與密封材料印刷的處理節 奏不一致的情況，在各處理裝置下流側，配置欲暫時儲備 基板之圖未表示的緩衝裝置，執行令投入加熱裝置2 3 a 、2 3 b的時序一致之基板搬送控制，除維持圖案尺寸精 度外，也可擴張作爲生產裝置的對應性。 又，第1 3圖係硏磨後洗滌液乾燥工程用乾燥處理手 段加熱裝置2 7與冷卻裝置2 8構成的構成，但取代加熱 裝置2 7及冷卻裝置2 8，如前蜂般，可以具有裝備因減 壓乾燥的乾燥用裝置，例如圖未示的真空乾燥機等減壓裝 置之構成。此情況也用作爲振盪裝置2 9上述乾燥用裝置 ，可於間隔片散佈裝置2 2與密封材料印刷裝置2 4振盪 SEG基板1與COM基板2的構成，也可由各別對應 S E G基板1與C〇Μ基板2的2條生產線之各並設的一 對乾燥用裝置所構成的。 又，於上述第1 2圖及第1 3圖中，以圖表示有關本 實施形態的可撓性液晶面板之製造系統方面從硏磨後洗滌 到貼合的工程方面之生產線圖，但有關本實施形態的可撓 性液晶面板之製造系統的構成並不限於此。 又，將基板搬送到加熱裝置下流側的處理裝置的情況 ，只設一個加熱裝置，配置振盪裝置及暫時儲備基板的緩 衝裝置，令搬入下流側之處理裝置的基板時序一致，取代 上述之加熱裝置23a 、23b ，可以使用同時處理兩基 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -47- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1293386 A7 B7 五、發明說明（45) 板的大型加熱裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此例，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造 系統方面的上述S E G基板1及C 0M基板2的基板搬送 控制之其中一例，參照第1 4圖及第1 5圖於以下做說明 〇 第1 4圖係爲基板搬送控制有關的上述製造系統之方 塊圖。 S E G基板1之製造生產線係由具備有基板搭載裝置 或是基板搬送路之搬送裝置3 1、3 3 (基板搬送手段、 第1基板搬送部）、和被內生產線化之處理裝置3 2、 3 4所構，各處理裝置3 2、3 4係經由搬送裝置3 1、 3 3被連接。搬送裝置3 1係施行向處理裝置3 2投入 SEG基板1(搬入），搬送裝置33是從處理裝置32 取出S E G基板1，將該S E G基板1投入處理裝置3 4 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一*方面，C 0M基板2之製造生產線是由具備有基 板搭載裝置或是基板搬送路之搬送裝置3 5、3 7 (基板 搬送手段、第2基板搬送部）、和被內生產線化之處理裝 置36、38所構，各處理裝置36、38係經由搬送裝 置3 5、3 7被連接。搬送裝置3 5是施行向處理裝置 3 6投入C〇Μ基板2，搬送裝置3 7是從處理裝置3 6 取出COM基板2，將該COM基板2投入處理裝置3 8 。上述處理裝置32、34、36、38係表示順著上述 可撓性液晶顯示面板之製造工程的任意處理裝置，例如力口 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 Α7 Β7 五、發明説明（46 ) 工處理裝置、加熱裝置、冷卻裝置、減壓裝置等。 上述各處理裝置32、34、36、38及搬送裝置 3 1、33、35、37是由有因感應器等製成的控制裝 置，例如 P L C (programable logic controller:程式邏輯 控制電路）4 1〜48，於SEG基板製造生產線及 C〇Μ基板製造生產線方面的各處理裝置3 2、3 4、 36、38及搬送裝置31、33、35、37之各取貨 裝置的控制，是經由在各P L C間接收信號（可投入基板 信號）完成的。 因此，爲了對照在SEG基板1與COM基板2向並 列的處理裝置投入的時序，例如向處理裝置3 2投入 S E G基板1的時序與向處理裝置3 6投入C 0M基板2 的時序，以及向處理裝置3 4投入S E G基板1的時序與 向處理裝置3 8投入C 0M基板2的時序，上述製造系統 要是一種可將搬送裝置3 1、搬送裝置3 5以及搬送裝置 3 3與搬送裝置3 7以信號線連結，欲投入基板的可投入 基板信號，在各搬送裝置3 1、3 5間以及搬送裝置3 3 、3 7間收發的構造。 藉此，上述S E G基板1及C 0 Μ基板2係被控制成 上述PLC41〜48的控制，經由各搬送裝置31、 3 3、35、37 向各處理裝置 32、34、36、38 投入的時序一致。第1 5圖係舉例表示上述製造系統方面 的基板搬送控制有關的流程之說明圖，用第1 4圖中的各 處理裝置3 2、3 4、3 6、3 8施行加工處理情況的實 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、1Τ ρ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -49- 1293386 at Β7 五、發明説明（47 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例，從S E G基板製造生產線方面的處理裝置3 2向處理 裝置34搬送SEG基板1、和從COM基板製造生產線 方面的處理裝置3 6向處理裝置3 8搬送C 0M基板2的 關係。 S E G基板1是在步驟（以下簡記爲S ) 1被投入處 理裝置3 2 ，在S 2用該處理裝置3 2施行加工處理後， 送到在後面工程的處理裝置3 4。另一方面，COM基板 2是在S 1 1與S 1時序相同被投入到處理裝置3 6，在 S 1 2用該處理裝置3 6完成加工處理後，被送到在後面 工程的處理裝置3 8。 在S2完成一定的加工處理之SEG基板1，是在 S 3從處理裝置3 2經由搬送裝置3 3被搬出去，暫時儲 備起來（S4)。另一方面，在S12完成一定的加工處 理之COM基板2，是在S 1 3從處理裝置3 6經由搬送 裝置37被搬出去，暫時儲備起來（S14)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 搬送裝置3 3是判斷S E G基板1爲儲備狀態，且從 S E G基板1先搬送的處理裝置的處理裝置3 4發送可接 受信號、和處理裝置3 4是在可接受狀態（S 5 )，對 C〇Μ基板製造生產線側的搬送裝置3 7，發生表示可向 處理裝置3 4投入基板的可投入基板信號（S 6)。另一 方面，不確定在S 5，S E G基板1爲儲備狀態，且從 S E G基板1先搬送的處理裝置之處理裝置3 4的可接受 信號（收訊）的情況，回到S 4，直到確認儲備S E G基 板1和來自處理裝置3 4的可接受信號，來儲備S E G基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -50- 1293386 A7 B7 五、發明說明（48) 板1。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 同樣地，搬送裝置3 7是判斷C〇Μ基板2爲儲備狀 態，且來自C〇Μ基板搬送先的處理裝置之處理裝置3 8 接收可接受信號、和處理裝置3 8爲可接受狀態（S 1 5 )，對S E G基板製造生產線側的搬送裝置3 3，發送表 示可向處理裝置3 8投入基板的可投入基板信號（S 1 6 )。另一方面，在S 15，不確認COM基板2爲儲備狀 態，且來自COM基板2搬送前的處理裝置之處理裝置 3 8的可接受信號（收訊）會回到S 1 4，直到確認儲備 COM基板2與來自處理裝置38的可接受信號，來完成 儲備C〇Μ基板2。 搬送裝置3 3是在S 6發送表示可向處理裝置3 4投 入基板的基板可投入信號之同時，接收到來自搬送裝置 3 7的基板可向處理裝置3 8投入基板的可投入信號，判 斷處理裝置3 4、3 8可同時投入基板的狀態（S 7 )， 對處理裝置34投入SEG基板1 (S8)，在該處理裝 置3 4施行加工處理（s 9 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一^方面，在S 6表不可向處理裝置3 4搬入基板之 基板可投入信號之傳送信號、和表示可投入來自搬送裝置 3 7的基板處理裝置3 8之基板的可投入信號之收訊信號 中的任何一方均不執行的狀況下，即回到S 4，直到處理 裝置3 4、3 8可同時投入基板狀態爲止，完成儲備 S E G基板1。 也就是說，上述搬送裝置3 3是以處理裝置3 4可接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）_ 51 _ 1293386 A7 B7 五、發明說明（49) 收信號與可向處理裝置3 8投入基板的信號來傳送兩信號 爲條件，對處理裝置3 4投入S E G基板1。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 同樣地，搬送裝置3 7是判斷在S 1 6發送表示可向 處理裝置3 8投入基板的基板可投入信號之同時，接收表 示來自搬送裝置3 3的基板可投入處理裝置3 4的基板可 投入信號、和處理裝置3 4、3 8可_時投入基板的狀態 (S 1 7 )、對處理裝置38投入COM基板2 (S18 )、在該處理裝置3 8施行加工處理（S 1 9 )。 另一方面，在表示可在S 1 6向處理裝置3 8搬入基 板之基板可投入信號之傳送信號、和表示來自搬送裝置 3 3的基板可投入處理裝置3 4之基板可投入信號之收訊 信號中的任何一方均不執行的狀況下，即回到S 1 4，直 到處理裝置3 4、3 8可同時投入基板的狀態爲止，完成 儲備C〇Μ基板2。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 也就是說，上述搬送裝置3 7是以處理裝置3 8可接 收的信號與可向處理裝置3 4投入基板的信號傳送兩信號 爲條件，對處理裝置3 8投入C 0 Μ基板2。根據以上的 控制，可同時對各處理裝置3 4，處理裝置3 8投入 SEG基板1與COM基板2。 像這樣，於上述可撓性液晶顯示面板之製造系統中分 別具備有，經由搬送裝置3 1、3 3進行搬送之S E G基 板製造生產線、和經由搬送裝置3 5、3 7進行搬送之 C〇Μ基板製造生產線，各製造生產線可根據P L C 4 1 、43、45、47I^PLC42、44、46、48ft -52- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明説明（5〇 )

各別獨立的控制，在上述兩基板所對應的處理，例如同樣 的處理，以各別大致相同，理想是相同的時序開始的方式 ，各別控制向上述S E G基板製造生產線方面的各處理裝 置3 2、3 4搬送的時序與向COM基板製造生產線方面 的各處理裝置36、38搬送的時序，就很容易將SEG 基板1及C Ο Μ基板2的尺寸誤差抑制在所希望的範圍內 〇 再者，上述處理裝置32、34、36、38只要如 前述第1 2圖或是第1 3圖所示，順著該可撓性液晶顯示 面板的製造工程配置，也適用前述間隔片散佈裝置2 2、 密封材料印刷裝置2 4、加熱裝置2 3 a、加熱裝置 2 3 b、冷卻裝置2 6 a、冷卻裝置2 6 b等任何的處理 裝置。例如上述處理裝置3 2爲間隔片散佈裝置2 2的狀 況下，加熱裝置2 3 a用作爲處理裝置3 4，密封材料印 刷裝置2 4用作爲處理裝置3 6，加熱裝置2 3 b用作爲 處理裝置3 8。 又，設在第1 2圖或第1 3圖方面的生產線之更上流 側的處理裝置可用作爲上述處理裝置32、34、36、 3 8，例如欲形成彩色濾光器的裝置、欲形成透明電極的 裝置、欲形成絕緣膜的裝置、欲形成定向膜的裝置、欲定 向處理的裝置等各種處理裝置（處理手段）很適合作爲上 述處理裝置32、34、36、38。 再者’在上述生產線，各處理裝置及搬送裝置是經由 各別的控制裝置來控制傳送、收發信號的構成，例如可以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -53- 1293386 A7 B7 五、發明說明（51) 經由C P U ( central processing unit :中央演算處理裝置 )等控制裝置，總括來控制所有處理裝置及搬送裝置的構 成。 又，第1 2圖及第1 3圖所示的可撓性液晶顯示面板 之製造系統中，大受兩基板膨脹收縮舉動影響的加熱、冷 卻處理，同時對兩基板施行相同處理/在兩基板施行隨著 加熱不同的處理之際，對應的工程處理彼此間爲同時進行 的構成，但爲了是相同處理環境，只一方基板進行的處理 ，對一方基板施行之際，另一方基板，設定與該處理環境 相同的處理環境下，相同的進行搬送、待機的構成即可。 又，此情況，上述系統具備有處理室與待機室，該處理室 與待機室會對一方基板施行處理，而不施行的另一方基板 會被部份隔絕，同時使用具備有可在處理室與待機室之間 熱移動的連通部之處理裝置，於該處理裝置具有可對兩基 板略同時，理想是同時送到各處理室與待機室的構成，只 要兩基板的處理環境可略相同的設定也就是兩基板的膨脹 收縮舉動即可。但施行此種處理之際，如第1 2圖、第 1 3圖所示，同時進行各必要的處理，就能達到縮短處理 時間。 如以上，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製 造方法，是在由有機材料製成的可撓性基板上，貼合形成 有一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示面板的可 撓性液晶顯示面板之製造方法中，於形成上述圖案之際， 於上述一對基板中的一方基板，施行造成基板膨脹或收縮 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 裝 _1_ ------訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -54- 1293386 A7 B7 第89125505號專利申請案 中文說明書修正頁 民國93年7月8曰

五、發明説明（L 的處理情況，不管另一方基板是否需要上述處理，也對另 〜方基板施行上述處理，亦即對上述一方基板施的處理同 類型處理之方法。 再者，造成基板膨脹或收縮的處理，是表示處理那個 基板會造成基板膨脹或收縮的處理，亦即處理的那個基板 會造成基板吸濕或放濕或改性的處理。具體而言是表示熱 處理、乾燥處理、洗滌處理等，特別是以造成可撓性基板 收縮的熱處理、乾燥處理爲對象。又，上述方法，連熱處 理中，燒成等特別適合對造成不可逆的收縮，欲形成圖案 的熱處理，對上述一方基板施行造成基板不可逆的收縮， 欲形成圖案的熱處理，例如燒成的情況，也對另一方基板 施行造成基板不可逆的收縮，作爲燒成的熱處理，亦即用 欲乾燥的熱處理更高的溫度來施行熱處理，也使另一方基 板獲得不可逆的收縮，防止只有一方基板收縮，抑制兩基 板的尺寸誤差，提高圖案核對精度。 因而，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造 方法，具體而言是有關於形成上述圖案之際，對上述一對 基板中的一方基板施行熱處理的情況，不管另一方基板是 否要施行熱處理，也對另一方基板施行熱處理的方法。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方 法，具體而言是有關於要求尺寸精度的特定處理工程前， 對上述一對基板方面的一方基板與另一方基板施行各種乾 燥處理的方法。要求尺寸精度的特定處理工程，具體而言 是表示貼合工程。也就是本實施形態有關可撓性液晶顯示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 -55- 1293386 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（53) 面板之製造方法是有關針對以塑膠等有機材料爲基板的液 晶顯示面板之製造方面，對2枚基板施行同一乾燥處理後 ，貼合兩基板的方法。 上述熱處理是以例如燒成、使其平直或欲乾燥之熱處 理等，加熱必要的處理爲對象，但例如單純矩陣型液晶顯 示面板方面的絕緣膜形成工程中之燒成、貼合工程方面的 密封材料印刷後之使其平直等，通常只需對一方的基板， 隨著不可逆的收縮，施行以圖案形成爲目的之熱處理情況 特別有效。 又，上述乾燥處理可以是例如經由加熱的乾燥，也可 以是經由真空乾燥等、減壓的乾燥。再者，本實施形態是 由生產流程條件上的限制，於貼合前的密封材料印刷工程 或是間隔片散佈工程前施行上述乾燥處理的方法做說明， 但必須是生產流程上的限制，儘可能對貼合工程間際（之 前）施行乾燥，沒有來自乾燥後的周圍環境之吸濕影響， 更爲提高圖案核對精度。 上述方法，基板膨脹收縮舉動的那個基板，在兩基板 對照，所以能在兩基板對照基板全體的尺寸變化率，不管 是由大張基板製造多數可撓性液晶面板的狀況，或是由大 張基板製造少數枚例如1枚大型液晶顯示面板的狀況，均 能提高兩基板的尺寸核對精度。 又，上述方法不必變更兩基板的基板構成，又，以由 有機材料製成的可撓性基板以單獨搬送、加工爲基本，也 就是對可可保持精度的基體上形成塑膠薄膜等之後，不予 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝 ----訂---------- Γ, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -56- 1293386 A7 B7 五、發明說明（54) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 搬送、加工者。因此，基本的處理流程或各個處理，是適 用以玻璃基板爲對象而確立的設定、裝置等，構成上述製 造生產線的各處理裝置，可轉用作既設的玻璃用製造裝置 ，不需要新規定的流程開發、裝置開發自體。 因此，可圖案精度優良製造可撓性液晶顯示面板之同 時，還可以低成本製造出應用由有機#料製成的可撓性基 板之可撓性液晶顯示面板。 本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方法， 上述一方基板與另一方基板施行的熱處理或乾燥處理之處 理條件，希望兩基板尺寸誤差是設定在所希望的範圍內。 藉此，抑制兩基板間的尺寸精度誤差，易令形成在上述各 基板的一定圖案吻合。 由有機材料製成的可撓性基板，是根據該可撓性基板 獲得的熱來決定膨脹收縮率。也就是說時間因素與溫度因 素會大大影響基板尺寸。因此，上述熱處理是希望對上述 一對基板，最後能以獲得略相同的熱，來施行加熱。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法 ，是對於在由有機材料製成的可撓性基板上，貼合形成一 定圖案的一對基板來製造可撓性液晶顯示面板之可撓性液 晶顯示面板之製造方法方面，希望上述一對基板方面的一 方基板與另一方基板的溫度履歷是略相同，理想是上相同 的對兩基板施行略相同，理想是同一的熱處理之方法 上述一對基板是具有由有機材料製成的可撓性基板的 關係，熱處理工程時，特別是施行彩色濾光器形成工程或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -57- 1293386 A7 B7 五、發明說明（55) 絕緣膜形成工程、貼合工程等方面燒成等以形成圖案爲目 的的情況，對應在該熱處理工程所獲得的熱狀態而收縮， 但對於此一對基板而言，是藉由於各種加工處理之際，對 兩方施行略相同，理想是相同熱處理的情形下，一對基板 的溫度效應就會互相相同。此結果，熱處理工程方面的兩 基板收縮度也是相等的，所以在基板姑合之際，不會在基 板間發生尺寸精度誤差，形成在各基板的一定圖案很容易 吻合。又，例如上述一對基板是大張基板，連貼合兩大張 基板後，分斷各液晶顯示面板的情況，也與上述效果相同 ，可得到令形成在各基板的一定圖案很容易吻合的效果。 換言之，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方 法，是令兩基板的熱效應最好控制的略爲相同，理想上是 相同的對兩基板做熱處理，上述一對基板中的一方基板之 膨脹收縮舉動與另一方基板的膨脹收縮舉動最好是略爲相 同，理想上是相同的熱處理，對上述一對基板來施行。 又，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法， 乃針對在由上述有機材料製造的可撓性基板上，貼合形成 一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示面板之可撓 性液晶顯不面板之製造方法，是希望對上述一對基板中的 一方基板與另一方基板施行的熱處理，是略爲相同，理想 是以同一溫度斷面圖觀察來完成之方法。 例如對絕緣膜形成工程、貼合工程等而言，是於上述 熱處理之際，對照施加在一對基板的總熱量，令熱處理的 溫度斷面圖觀察略爲相同，就能對照兩基板的尺寸收縮量 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝--------訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -58- 1293386 A7 Γ__________Β7 五、發明說明（56) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，來維持兩基板的核對精度。於兩基板施行的溫度斷面圖 觀察是略爲相同，理想是相同的，對兩基板施行略爲相同 ，理想是相同的熱處理之簡便的方法，舉例而言是對上述 一方基板與另一方基板，以同設定條件施行熱處理的方法 。此情況下用同種類，理想是同型的處理裝置，以同設定 條件來施行熱處理，可更加嚴格的管_上述一對基板的溫 度斷面圖觀察與另一方基板的溫度斷面圖觀察。此結果， 會令上述一方基板的熱效應與另一方基板的熱效應，很容 易就略呈一致，而施加在兩基板的總熱量更容易對照兩基 板的尺寸收縮量。因此，可抑制兩基板間的尺寸精度誤差 ，很容易吻合形成在上述各基板的一定圖案。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方法 ，最好是當對上述一對基板中之一方基板施行熱處理時， 也對另一方基板施行熱處理。藉此，即可抑制因熱之基板 收縮的時間因素之誤差。此結果，可精度更優良的貼合兩 基板，製造圖案精度更優良的可撓性液晶顯示面板。特別 是連上述熱處理當中尤其是造成基板不可逆的收縮原因之 熱處理，可對兩基板略同時，理想是同時開始處理，來對 熱處理後因吸濕等基板膨脹，在兩基板使舉動起跑線一致 ，就很容易令兩基板的尺寸誤差統一在所希望的範圍內。 因此，更希望本實施形態有關的可撓性液晶面板之製 造方法，對上述一對基板所施行的熱處理，能略同時，理 想是同時的進行處理。 特別是藉由對一對基板同時施行熱處理，能更嚴格的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明說明（57) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 抑制因熱之基板收縮的時間因素之誤差。因而，能嚴格地 控制尺寸變化的效應，以更優良的精度來貼合兩基板。藉 此製造圖案精度更優良的可撓性液晶顯示面板。 又，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法， 乃屬於在由有機材料製成的可撓性基板上，貼合形成一定 圖案的一對基板，來製造可撓性液晶融示面板的可撓性液 晶顯示面板之製造方法，是希望在貼合前，具體而言是在 貼合前施行密封材料印刷工程或是間隔片散佈工程之前， 對上述一對基板兩方，施行略相同，理想是相同的乾燥處 理之方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進而，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法 ，乃屬於在由有機材料製成的可撓性基板上，貼合形成一 定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示面板的可撓性 液晶顯示面板之製造方法，是更希望在對上述各基板施行 各處理工程之前，具體而言是在施行透明電極形成工程或 絕緣膜形成工程、定向膜形成工程、貼合工程之前，對上 述一對基板兩方施行略相同，理想是相同的乾燥處理之方 法。 特別是在貼合例如一對基板的處理工程之前，藉由對 兩基板施行相同的乾燥處理，來防止有機材料因吸濕產生 可撓性基板膨脹。因而，可撓性基板依仍保持乾燥狀態， 也就是說，可令基板彼此沒有尺寸誤差的貼合。就可精度 優良的對照形成在各基板的一定圖案，來貼合基板。又， 就連例如上述一對基板爲大張基板，並在貼合兩大張基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 ____B7___ 五、發明說明（58) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 之後分斷各液晶顯示面板的狀況下，與上述效果相同，會g 獲得精度優良的對照形成在各基板的一定圖案，來貼合基 板的效果。 爲了對上述兩基板施行略相同，理想是相同的乾燥處 理，例如只要能令上述乾燥處理，應用相同設定條件，更 理想是同類，尤其是同型的裝置，以Νι設定條件來施行乾 燥處理即可。上述一對基板的處理環境略爲相同，就能對 上述一方基板與另一方基板，施行略相同的乾燥處理，理 想是相同的乾燥處理，使兩基板間乾燥的程度略相同，理 想是相同的。此結果，可減輕因吸濕使兩基板受到膨脹的 影響，以抑制兩基板間尺寸精度誤差的狀態來貼合兩基板 〇 又，爲了令經由隨著上述乾燥處理的基板收縮之兩基 板尺寸誤差要在所希望的範圍內，舉例有例如令上述乾燥 處理，對上述一方基板與另一方基板，以各基板回到因吸 濕膨脹前的原尺寸之處理條件來施行之方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造 方法，是以上述乾燥處理可各自回到上述一方基板與另一 方基板因吸濕膨脹前的原尺寸之處理條件來施行之方法。 藉此，即可令兩基板的尺寸精度很容易略爲一致，理想是 一致的。 上述各基板是種應用在上述一對基板的可撓性基板不 會比因吸濕膨脹前的原尺寸更爲收縮的方式，來配合應用 在該可撓性基板的有機材料種類所設定的溫度，一定時間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -61 - 1293386 A7 _____ ____ 五、發明說明（59) 以上，也就是先令該可撓性基板回到上述原尺寸之配合應 用在該可撓性基板的有機材料種類所設定的時間，至少進 行熱處理，就很容易回到原尺寸。又，上述可撓性基板， 例如會在一定時間以上減壓，很容易乾燥、收縮到原尺寸 〇 亦即，本實施形態有關的可撓性被晶顯示面板之製造 方法，可對上述一對基板方面的一方基板與另一方基板所 施行的乾燥處理，經加熱完成，且在特定溫度條件下施行 一定時間以上的加熱乾燥之方法。換言之，本實施形態有 關的可撓性液晶顯示面板之製造方法，是以不會對上述一 對基板造成不可逆的收縮之溫度條件下，令上述一方基板 與另一方基板，各自繼續加熱至回到因吸濕膨脹前的原尺 寸之方法。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方 法，對上述一對基板方面的一方基板與另一方基板所施行 的乾燥處理，是經減壓完成的，且在特定減壓條件下施行 一定時間以上的減壓乾燥之方法。換言之，本實施形態有 關的可撓性液晶顯示面板之製造方法，是以上述一方基板 與另一方基板可各自回到因吸濕膨脹前的原尺寸，令上述 一對基板處在減壓環境下（保管）之方法。 無論上述任何方法，都能令兩基板完全乾燥，並因吸 濕、乾燥而改變的基板尺寸，在此時點上收縮到基板原尺 寸，即能令尺寸誤差最小化。再者，處理時間是配合加熱 溫度或壓力等、處理環境而設定的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -----訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -62- 1293386 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6Q) 又，上述乾燥處理是經減壓完成的，基板自體不會產 生因加熱的收縮（改性），基板就不會比因吸濕膨脹前的 原尺寸更收縮，基板尺寸變化的控制就很容易，上述兩基 板很容易回到因吸濕膨脹前的原尺寸。因而，兩基板間不 容易有尺寸誤差。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方 法，是當對上述一對基板中之一方基板施行乾燥處理時， 也對另一方基板施行乾燥處理爲佳。 藉此可抑制根據因乾燥處理的基板收縮時間因素的誤 差，進而抑制根據因乾燥處理後吸濕的基板膨脹時間因素 的誤差，就能以更優良的精度來貼合兩基板。特別是對基 板原尺寸所設定的乾燥處理，是對兩基板略同時，理想是 同時開始的，可針對乾燥處理後因吸濕等使基板膨脹，且 在兩基板使舉動起跑線一致，令兩基板尺寸的誤差統一在 所希望的範圍內。此結果，可精度更優良的貼合兩基板， 製造圖案精度更優良的可撓性液晶顯示面板。 因此，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法 ，是更希望對上述一對基板所施行的乾燥處理，會略同時 ，理想是同時完成的。 尤其是藉由針對一對基板同時施行乾燥處理，即可更 嚴格的抑制因吸濕的基板膨脹之時間因素的誤差。因而可 嚴格地控制尺寸變化的效應，精度更優良的貼合兩基板。 藉此，製造圖案精度更優良的可撓性液晶顯示面板。 又，本實施形態是配置在以塑膠等有機材料作爲基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -63- 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 1293386 A7 B7 五、發明說明（61) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 的液晶顯示面板製造過程因所施加的熱與吸濕的基板尺寸 變化，來維持所貼合的一對基板圖案核對精度的關係，對 上述一對基板的加熱處理爲相同的，且令同一乾燥處理組 合在製法流程中。 具體而言，就第1圖所示的可撓性液晶顯示面板之製 造方法來看，乃如前所述，可在SE0基板1與COM基 板2之間，使得施加在可撓性基板的塑膠基板6 a、6 b ，因熱流程收縮及吸濕膨脹的尺寸變化一致，而對這兩基 板施行相同的熱處理及乾燥處理。因此，可使用大張基板 取得製造出精度優良的多數枚可撓性液晶顯示面板，以及 大型尺寸的可撓性液晶顯示面板。 此狀況是希望有關本實施形態的可撓性液晶面板之製 造方法，是按照設定針對上述一對基板所施行之熱處理、 乾燥處理以及欲製造液晶面板的加工處理（例如硏磨處理 、貼合等）的時間完成的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 只要按照上述的方法，即可藉由按照計畫針對一對基 板所施行的生產流程上的熱處理、乾燥處理以及欲製造液 晶面板的加工處理之時間來施行，加熱後因冷卻使基板縮 小的時間變化，以及乾燥後因來自周圍環境吸濕的基板膨 脹時間的變化，也會經常受到控制，解決基板尺寸經過時 間因素的誤差。因而，會經常嚴格地控制一對基板的尺寸 精度，精度更優良的貼合兩基板。藉此，即可很容易且良 品率優良的製造可撓性液晶顯示面板。 又，本實施形態有關的可撓性液晶面板之製造方法， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -64- 1293386 A7 B7 五、發明說明（62) 是當上述一方基板與另一方基板，欲製造該可撓性液晶顯 示面板，施行各處理之際，發生處理等待時間的狀況下， 希望於處理等待期間，保持一定乾燥狀態的環境下，亦即 ，維持一定乾燥狀態的環境下被保管，更希望上述兩基板 於處理等待之際，能以經常保持在一定乾燥狀態的環境下 被保管。 > 像這樣，於製造流程途上，例如彩色濾光器形成工程 或透明電極形成工程、絕緣膜形成工程、定向膜形成工程 、定向處理工程、貼合工程、第1分斷工程、液晶注入、 密封工程、第2分斷工程等、滯留等，等待下次工程的基 板，在保持一定乾燥狀態的環境下來保管，就能抑制基板 因吸濕膨脹，令兩基板的尺寸誤差統一在所希望的範圍內 0 若按照上述方法，在製造流程途中，令滯留等等待下 次工程的基板，保持在一定乾燥狀態的環境下，具體而言 是保持在濕度爲20%以下的環境下來保管，防止上述基 板於處理等待中，吸收來自周邊氣氛的濕氣。因而，抑制 基板因吸濕膨脹，令製造工程中的基板尺寸精度誤差，統 一在所希望的範圍內。因此，例如可省略多餘的乾燥處理 工程。 進而，例如上述一對基板爲大張基板，並且連貼合兩 基板後，分斷各液晶顯示面板的狀況下，如習知般，於分 斷之際，不必考慮欲決定分斷位置的吸濕差別，對貼合的 每一個基板進行圖案尺寸的測定。藉此，即可令可撓性液 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -65- 1293386 A7 B7 五、發明說明（63) 晶顯示面板的圖案精度更優良，且製造生產效率優良。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 尤其是藉由令兩基板，於處理等待中，經常在乾燥狀 態環境下來保管，即可止上述兩基板於處理等待中，吸收 來自周邊氣氛的濕氣。因而，可令製造工程中的基板尺寸 精度誤差，經常保持在容許範圍內，省略多餘的乾燥處理 工程。進而，例如上述一對基板爲大镇基板，而且連貼合 兩大張基板後，分斷各液晶顯示面板的狀況下，於貼合兩 大張基板之際，防止兩大張基板間的尺寸誤差，又，於分 斷之際，不必考慮欲決定分斷位置的吸濕差別，對貼合的 每一枚大張基板測定圖案尺寸。藉此，就可令可撓性液晶 顯示面板的圖案精度更優良，且製造生產效率優良。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造方 法，最好能令欲製造該可撓性液晶顯示面板，共同施行於 上述一方基板與另一方基板的各處理，各自略同時，理想 是同時開始的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若按照上述方法，就欲製造該可撓性液晶顯示面板， 共同施行於上述一方基板與另一方基板的各處理，例如除 了上述熱處理或乾燥處理以外之洗滌處理或定向膜形成處 理等加工處理，尤其是該可撓性液晶顯示元件之製造流程 方面，共同施行於上述一方基板與另一方基板，隨著基板 尺寸變動的一連處理，可在上述一方基板與另一方基板， 略同時，理想是1分鐘以內，更理想是同時開始，並在兩 基使每一處理工程舉動的起跑線一致的同時，還可經常控 制熱處理後基板的時間變化，例如加熱後因冷卻縮小基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（64) 的時間變化或乾燥後因吸收來自周圍環境的濕氣，令基板 膨脹的時間變化，觸決基板尺寸因時間因素的誤差。因此 ，易於管理、控制製造流程中的兩基板膨脹收縮舉動，經 常嚴格地控制尺寸精度，精度更優良的貼合兩基板。藉此 ，即可很容易且製造良品率優良的可撓性液晶顯示面板。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造系 統，是在上述圖案形成之際，對上述一對基板中之一方基 板施行熱處理的狀況下，不管另一方基板是否要熱處理， 均對另一方基板施行熱處理的關係，故對於在由有機材料 製成的可撓性基板上，貼合形成一定圖案的一對基板，來 製造可撓性液晶顯示面板之可撓性液晶顯示面板之製造系 統方面，是具備有，搭載、搬送上述一方基板與另一方基 板之搬送手段、和對上述一對基板方面的一方基板與另一 方基板，各別施行熱處理之手段、和對上述一對基板方面 的一方基板與另一方基板，各別施行欲形成一定圖案所需 要之上述以外的處理之手段（例如欲形成彩色濾光器之裝 置、欲形成透明電極之裝置、欲形成絕緣膜之裝置、欲形 成定向膜之裝置、欲定向處理之裝置、貼合裝置等）；上 述各處理手段是種在上述一方基板與另一方基板的搬送方 向，順著該可撓性液晶顯示面板之製造工程來配置的構成 〇 上述各處理手段是在上述一方基板與另一方基板的搬 送方向，順著該可撓性液晶顯示面板之製造工程來配置的 ，沿著該可撓性液晶顯示面板之製造工程，依序施行處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -67- —-------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 1293386 A7 B7 五、發明説明（65 ) ，藉此管理、控制工程管理及各處理手段間的上述兩基板 基板膨脹的時間變化是很容易的’抑制兩基板基板尺寸因 時間因素的誤差，一面維持在所希望的尺寸精度、一面加 工處理上述一對基板。 而上述可撓性液晶顯示面板之製造系統是爲在上述一 對基板方面的一方基板與另一方基板’各別具備有施行熱 處理之手段；可共同對上述兩基板施行熱處理’只一方基 板會收縮，可藉由抑制尺寸精度的誤差。而且若按照上述 構成，就能在兩基板對照基板的熱效應，還可在兩基板對 照基板全體的尺寸變化率，不管是由大張基板製造多數枚 可撓性液晶面板的狀況，或是由大張基板製造少數枚例如 1枚大型液晶顯示面板的狀況，都能提高兩基板的尺寸核 對精度，藉此可很容易且良品率優良的製造可撓性液晶顯 示面板。 又，應用具有上述構成的可撓性液晶顯示面板之製造 系統，來製造上述可撓性液晶顯示面板，並不需要變更兩 基板構成，還可單獨搬送、加工由有機材料製成的可撓性 基板的關係，對基板的處理流程或各個處理而言，很適合 以玻璃基板爲對象而確立的設定、裝置等。 因此，可圖案精度優良的製造可撓性液晶顯示面板的 同時，還可用低成本來製造應用由有機材料製成的可撓性 基板之可撓性液晶顯示面板。 希望上述可撓性液晶面板之製造系統更具備有，控制 向上述各處理手段搬送基板之時序的控制手段，上述控制 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -68- 1293386 A7 B7 五、發明説明（66 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 手段是根據預先設在每個處理的處理時間，來控制向上述 各處理手段搬送基板之時序的同時，向上述各處理手段搬 送基板的時序，控制成略爲一致，理想是一致的時序。 例如，上述控制手段是控制成在兩基板各別以同一時 序來施行同一處理。又，例如對上述可撓性液晶面板之製 造系統而言，各別對照來自在上述一方基板與另一方基板 施行熱處理之手段的搬送時序，使得從熱處理開始到基板 處理開始的時間，控制兩基板爲略同一，理想是同一的時 序。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述可撓性液晶顯示面板之製造系統更具備有欲控制 向上述各處理手段搬送基板的時序之控制手段，上述控制 手段是用來控制向上述各處理手段搬送基板的時序，可按 照計畫欲製造液晶面板的加工處理之時間來施行，就更容 易完成工程管理以及各處理手段期間，述兩基板膨脹的時 間變化之管理、控制。因此可抑制兩基板的基板尺寸因時 間因素的誤差，——面維持所希望的尺寸精度、一面加工處 理上述一對基板。尤其是上述可撓性液晶顯示面板之製造 系統係具備有上述控制手段，可於該可撓性液晶顯示元件 之製造流程中，使得共同施行於上述一方基板與另一方基 板，隨著基板尺寸變動的一連處理，在上述一方基板與另 一方基板，略同時開始處理，在兩基板使每個處理工程的 舉動起跑線一致。又可經常地控制加熱後因冷卻基板縮小 的時間變化或乾燥後因吸收來自周圍環境的濕氣，使基板 膨脹的時間變化，就可解決基板尺寸因時間因素的誤差。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -69- 1293386 A7 B7 五、發明説明（67) 因此，易於管理、控制製造流程中的兩基板膨脹收縮舉動 ，經常嚴格地控制尺寸精度，精度更優良的貼合兩基板。 藉此，即可很容易且製造良品率優良的可撓性液晶顯示面 板。 再者，上述各處理手段，尤其是施行上述熱處理的手 段，可以是沿著上述一方基板搬送方向與另一方基板搬送 方向而並設的一對裝置，也可以是針對兩基板同時施行同 一處理的大型裝置，也可以是具備有經由振盪與依序進行 順序處理一同待機用的保管手段之裝置。又，上述搬送手 段係具備有一對搬送部，可以是具有各別並送上述一方基 板與另一方基板的構成，也可以是具有共同搬送上述兩基 板的構成。 連這當中，施行上述熱處理的手段，最好是對上述一 方基板與另一方基板施行熱處理的一對熱處理手段。此狀 況下，就不必開發專用大型的熱處理裝置，而也不必振盪 裝置等，以既存的熱處理裝置作爲上述熱處理裝置，對上 述兩基板施行加熱。 又，上述可撓性液晶顯示面板之製造系統係具備有， 對上述一方基板與另一方基板進行熱處理之至少一對熱處 理手段、和施行欲在上述一方基板形成一定圖案所需要之 熱處理以外的處理之手段、和欲對上述另一方基板形成一 定圖案所需要之熱處理以外的處理之手段；互相對應的上 述各手段，也就是並行進行的處理或是對上述一方基板與 另一方基板施行同一處理之手段，是對上述一方基板搬送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -70- 1293386 A7 B7 五、發明説明（68) 方向與另一方基板搬送方向，於該可撓性液晶顯示面板之 製造工程中，互相對應的處理手段希當彼此是相對各自並 設的。藉此，欲製造該可撓性液晶顯示面板，共同施行於 上述一方基板與另一方基板的各處理，就各自很容易略同 時，理想是同時開始的。 又，此狀況下，上述可撓性液晶面板之製造系統係具 備有上述基板搬送手段爲一對並行的基板搬送部（例如基 板搬送路或是基板搭載裝置），上述各處理手段，尤其是 施行熱處理的手段，可以是自各設在上述兩基板搬送部上 之相對位置的構成。此狀況下，可獨立控制上述兩基板搬 送部，就連對兩基板施行不同的處理狀況，也很容易對照 向下流側的處理裝置搬入的時序，亦即，開始處理下次工 程的時序。 亦即、本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造 系統係爲上述基板搬送手段具備有搬送上述一方基板之第 1基板搬送部與搬送另一方基板之第2基板搬送部，上述 第1基板搬送部與第2基板搬送部，最好可各別獨立控制 。也就是說，上述可撓性液晶顯示面板之製造系統係具備 有控制向上述各處理手段搬送基板的時序之控制手段；上 述控制手段最好是向相對配置在上述第1基板搬送部的基 板搬送方向與上述第2基板搬送部的基板搬送方向的各處 理手段搬送基板，各自獨立控制時序的情形。而此狀況下 ’在上述兩基板施行同一處理，至少上述熱處理是各自相 同’理想是以相同的時序來開始各自控制上述一方基板向 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -71 - 1293386 A7 B7 五、發明説明（69 ) 各處理手段搬送的時序與另一方基板向各處理手段搬送的 時序爲佳。又，上述控制手段從熱處理開始到基板處理開 始的時間，最好是控制成在兩基板以略爲相同，理想是相 同的時序向上述各處理手段搬送基板。 又，上述熱處理手段是針對經由上述兩基板搬送部搬 送的一對基板，以略相同的條件，理想是同一條件來施行 熱處理爲佳。藉此，即可抑制兩基板尺寸的誤差，提高圖 案的核對精度。 又，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造系 統，乃針對在貼合上述一對基板之前，欲對上述一對基板 中的一方基板與另一方基板各自施行乾燥處理，而在由有 機材料製成的可撓性基板上，貼合形成一定圖案的一對基 板，來製造可撓性液晶顯示面板之可撓性液晶顯示面板之 製造系統，其具備：搭載、搬送上述一方基板與另一方基 板之搬送手段、和對上述一對基板中的一方基板與另一方 基板，各自施行乾燥處理之手段、和欲在上述一對基板中 的一方基板與另一方基板，各自施行形成一定圖案所需要 之上述以外的處理之手段（例如欲形成彩色濾光器之裝置 、欲形成透明電極之裝置、欲形成絕緣膜之裝置、欲形成 定向膜之裝置、欲定向處理之裝置、貼合裝置等，這當中 也包括欲形成上述圖案之加熱裝置）：上述各處理手段是 爲在上述一方基板與另一方基板的搬送方向，沿著該可撓 性液晶顯示面板之製造工程而配置的構成。 上述各處理手段是在上述一方基板與另一方基板的搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

P 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -72- 1293386 A7 __B7 五、發明說明（7〇) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 送方向，沿著該可撓性液晶顯示面板之製造工程而配置的 ，藉由沿著該可撓性液晶顯示面板之製造工程依序施行處 理，就易於管理、控制工程管理以及各處理手段間之上述 兩基板基板膨脹的時間變化，就能抑制兩基板基板尺寸因 時間因素的誤差，一面維持所希望的尺寸精度、一面加工 處理上述一對基板。 ‘ 而且上述可撓性液晶顯示面板之製造系統還具備有， 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板，各自施行乾 燥處理之手段，可同時對上述兩基板施行乾燥處理，還可 抑制因隨著吸濕使基板膨脹的尺寸精度誤差。若按照上述 構成，對上述兩基板施行乾燥處理，即可在兩基板對照基 板全體的尺寸變化率，不管是由大張基板製造多數枚可撓 性液晶面板的狀況，或是由大張基板製造少數枚例如1枚 大型液晶顯示面板的狀況，都可提高兩基板的尺寸核對精 度。藉此就可以很容易且良品率優良的製造可撓性液晶顯 示面板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，應用具有上述構成的可撓性液晶顯示面板之製造 系統，來製造上述可撓性液晶顯示面板，不必改變兩基板 的基板構成，又，可單獨搬送、加工由有機材料製成的可 撓性基板的關係，就基本處理流程或各個處理而言，很適 用以玻璃基板爲對象而確立的設定、裝置等。 因此，可圖案精度優良製造可撓性液晶顯示面板的同 時，還能用低成本來製造應用由有機材料製成的可撓性基 板之可撓性液晶顯示面板。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -73- 1293386 A7 _ B7___ 五、發明説明（71 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述可撓性液晶面板之製造系統亦希望更具備有，控 制向上述各處理手段搬送基板的時序之控制手段，上述控 制手段是根據事先對每個處理所設定的處理時間，來控制 向上述各處理手段搬送基板的時序之同時，還以略一致，理 想是一致的時序來控制向上述各處理手段搬送基板。 例如上述控制手段是控制在兩基板各自以同一時序來 施行同一處理。此結果，例如就上述可撓性液晶面板之製 造系統來看，是在上述一方基板與另一方基板，各自對照 時序向施行乾燥處理的手段來搬送，從基板處理開始到乾 燥處理開始的時間，在兩基板控制爲略相同，理想是相同 的時間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述可撓性液晶顯示面板之製造系統更具備有，控制 向上述各處理手段搬送基板的時序之控制手段，上述控制 手段是控制向上述各處理手段搬送基板的時序，就可按照 計畫欲製造液晶面板的加工處理之時間來施行，更容易完 成工程管理以及各處理手段間的上述兩基板之基板膨脹的 時間變化之管理、控制。因此，可抑制兩基板基板尺寸因 時間因素的誤差，一面維持所希望的尺寸精度、一面加工 處理上述一對基板。尤其上述可撓性液晶顯示面板之製造 系統係具備有上述控制手段，就該可撓性液晶顯示元件之 製造流程而Η，是共同對上述一方基板與另一方基板施行 隨著基板尺寸變動的一連處理，可在述一方基板與另一方 基板，略同時，理想是同時開始的，還可使兩基板的每一 處理工程之舉動起跑線一致。又，可經常控制因乾燥後吸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） •74- 1293386 A7 B7 五、發明說明（72) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 收來自周圍環境的濕氣，使基板膨脹的時間變化，觸決基 板尺寸因時間因素的誤差。因此，易管理、控制製造流程 中的兩基板膨脹收縮舉動，經常嚴格地控制尺寸精度，精 度更優良的貼合兩基板。藉此，就可容易且良品率優良的 製造可撓性液晶顯示面板。 再者，上述各處理手段，尤其是：i行上述乾燥處理的 手段，可以是沿著上述一方基板的搬送方向與另一方基板 的搬送方向而並設的一對裝置，也可以是針對兩基板同時 施行相同處理的大型裝置，也可以是經振盪依序施行處理 的同時，具備有待機用保管手段的裝置。又，上述搬送手 段係具備有一對搬送部，可以是具有各別並送上述一方基 板與另一方基板的構成，也可以是具有共同搬送上述兩基 板的構成。 連這當中，施行上述乾燥處理的手段，最好是對上述 一方基板與另一方基板施行乾燥處理的一對乾燥處理手段 。此狀況下，就不必開發專用的大型乾燥處理裝置，且不 需要振盪裝置等，就可對上述兩基板施行乾燥處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，上述可撓性液晶顯示面板之製造系統係具備有， 對上述一方基板與另一方基板施行乾燥處理之至少一對乾 燥處理手段、和欲在上述一方基板形成一定圖案施行所需 要之乾燥處理以外的處理之手段、和欲在上述另一方基板 形成一定圖案施行所需要之乾燥處理以外的處理之手段； 互相對應的上述各手段，也就是完成一倂所進行的處理， 或是對上述一方基板與另一方基板施行相同處理之手段， 75- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 _B7___ 五、發明説明（73 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 希望沿著該可撓性液晶顯示面板之製造工程，使互相對應 的處理手段彼此相對地各自並設在上述一方基板的搬送方 向與另一方基板的搬送方向。藉此很容易就可以各自略爲 同時，理想是同時開始，欲製造該可撓性液晶顯示面板， 共同施行於上述一方基板與另一方基板的各處理。 又，此狀況下，上述可撓性液晶面板之製造系統係具 備有上述基板搬送手段爲一對並行的基板搬送部（例如基 板搬送路或是基板搭載裝置），上述各處理手段，尤其是 熱處理手段可以是各自設在上述兩基板搬送部上的相對位 置之構成。此狀況下，可獨立控制上述兩基板搬送部，連 對兩基板施行不同處理的狀況下，仍可輕易地對照向下流 側的處理裝置搬入的時序，亦即下次工程處理開始的時序 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，本實施形態有關的上述可撓性液晶顯示面板之 製造系統係爲上述基板搬送手段具備有搬送上述一方基板 之第1基板搬送部與搬送另一方基板之第2基板搬送部， 上述第1基板搬送部與第2基板搬送部最好可以各自獨立 控制。也就是說，上述可撓性液晶顯示面板之製造系統係 具備有控制向上述各處理手段搬送基板的時序之控制手段 ，上述控制手段最好是各自獨立控制向著相對於·配置在上 述第1基板搬送部方面的基板搬送方向與上述第2基板搬 送部方面的基板搬送方向的各處理手段搬送基板的時序。 而此狀況下，在上述兩基板的同一處理，至少上述乾燥處 理，是各自以略相同，理想是同一時序來開始各自控制上 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -76- 1293386 A7 _B7_ 五、發明説明（74 ) 述一方基板向各處理手段搬送的時序與另一方基板向各處 理手段搬送的時序。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，上述乾燥處理手段最好是以略同一條件，理想是 同一條件來對經由上述兩基板搬送部搬送一對基板施行乾 燥處理。藉此，就可抑制兩基板的尺寸誤差，提高圖案核 對精度。 進而，本實施形態有關的可撓性液晶顯示面板之製造 系統，其施行上述乾燥處理的手段，最好經由減壓完成乾 燥的手段。 經由減壓完成上述乾燥處理，上述基板自體就不會因 加熱產生收縮（改性），上述基板不會比因吸濕膨脹前的 原尺寸更加的收縮，上述基板的尺寸變化控制就很容易， 上述兩基板很容易就會回到因吸濕之膨脹前的原尺寸。因 而，若按照上述構成，就可提供一上述基板的尺寸變化很 容易控制，兩基板間很容易就沒有尺寸誤差之可撓性液晶 顯示面板之製造系統。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，上述可撓性液晶顯示面板之製造系統，乃如本實 施形態方面所示，對於在由有機材料製成的可撓性基板上 ，貼合形成一定圖案的一對基板，來製造可撓性液晶顯示 面板的可撓性液晶顯示面板之製造系統中，可設有具備有 對上述一對基板施行略同一，理想是以同一條件加熱的加 熱手段、和對上述一對基板施行乾燥的乾燥手段、和欲製 造上述液晶面板的加工處理手段之構成。 本實施形態方面，是順著一定流程依序完成處理，一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐] ~ -77- 1293386 A7 B7 五、發明說明（75) 面維持所希望的尺寸精度內、一面加熱處理一對可撓性基 板。 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 發明詳細說明項目方面之具體的實施形態或實施例， 是欲徹底明白本發明之技術內容的實施例，並不限於是如 此具體例的狹義解釋，只要是在本發明精神之次下所記載 的申請專利範圍內，均可做各種變更賣施。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係表示應用本發明之一實施形態方面的可撓性 液晶顯示面板之製造方法所製造的液晶顯示面板構成之斷 面圖。 第2圖係表示從上述可撓性液晶顯示面板之製造方法 方面絕緣膜形成到定向膜形成的工程之流程圖。 第3圖係表示有關應用在上述可撓性液晶顯示面板的 P E S基板，於吸濕後加熱情況的膨脹收縮舉動之座標圖 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第4圖（a )及第4圖（b )係表示因加熱裝置構造 不同所產生基板溫度斷面圖觀察差異之座標圖，第4圖（ a)係表示用熱風循環式烤爐的加熱時方面之溫度斷面圖 的座標圖，第4圖（b )係表示用單片搬送燒成爐的加熱 時方面的溫度斷面圖觀察之座標圖。 第5圖（a )及第5圖（b )係表示有關應用在上述 可撓性液晶顯示面板之P E S基板，得到不同溫度斷面圖 觀察情況的尺寸變化之說明圖，第5圖（a )表示用熱風 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -78- 1293386 A7 A7 B7 五、發明説明（7β ) /0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 循環式烤爐的加熱時方面尺寸變化之說明圖，第5圖（b )係表示用板片搬送燒成爐的加熱時方面尺寸變化之說明 圖。 第6圖係表示上述可撓性液晶顯示面板之製造方法方 面，從硏磨定向處理到基板貼合的工程之流程圖。 第7圖係表示有關應用在上述可撓性液晶顯示面板的 P E S基板，因不同環境吸濕後，施行同一條件乾燥處理 情況的膨脹收縮舉動之座標圖，第7圖（a )係表示因加 熱手段施行乾燥處理情況膨脹收縮舉動座標圖，第7圖（ b )係表示因減壓手段施行乾燥處理情況的膨脹收縮舉動 之座標圖。 第8圖係表示從絕緣膜形成到基板貼合的全部工程處 理是連續進行的情況，可撓性基板膨脹收縮舉動之說明圖 〇 第9圖係表示從絕緣膜形成到基板貼合的全部工程處 理等待時間的情況，可撓性基板膨脹收縮舉動之說明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 0圖係表示上述可撓性液晶顯示面板之製造方法 方面，面板分斷工程之流程圖。 第1 1圖係表示因待機時間中因環境的可撓性基板之 膨脹收縮舉動之說明圖。 第1 2圖係表示本發明之一實施形態方面的可撓性液 晶顯示面板之製造系統構成之立體圖。 第1 3圖係表示本發明之一實施形態方面，可撓性液 晶顯示面板之製造系統的其他構成之立體圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -79- 1293386 A7 B7 五、發明說明（77) 第1 4圖係爲本發明之一實施形態方面，基板搬送控 制有關的可撓性液晶顯示面板之製造系統方塊圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 5圖係表示上述可撓性液晶顯示面板之製造系統 方面，基板搬送控制之一例的說明圖。 第1 6圖係表示有關應用在可撓性液晶顯示面板之 P E S基板，以同溫度條件重複施行熱處理情況的膨脹收 縮舉動之座標圖。 第1 7圖係表示因吸濕及乾燥的P E S基板膨脹收縮 舉動之座標圖。 第1 8圖係表示應用玻璃基板的習知液晶顯示面板構 成之斷面圖。 第1 9圖係表示上述習知液晶顯示面板之製造方法方 面從絕緣膜形成到定向膜形成工程之流程圖。 第2 0圖係表示上述習知液晶顯示面板之製造方法方 面，從定向處理到基板貼合工程之流程圖。 第2 1圖係表示上述習知液晶顯示面板之製造方法方 面，面板分斷工程之流程圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2 2圖係爲經由習知液晶顯示面板之製造方法所製 造的塑膠薄膜基板之槪念圖。 【符號之說明】 1 · SEG基板（基板） 2 · COM基板（基板） 6 a :塑膠基板（可撓性基板） 80 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1293386 A7 B7 五、發明說明（78) 6 b :塑膠基板（可撓性基板） 7 a :透明電極（圖案） 7 b :透明電極（圖案） 8 :絕緣膜（圖案） 9 a :定向膜（圖案） 9 b :定向膜（圖案） ‘ 1 1 :彩色濾光器（圖案） 2 1 a :搭載裝置 2 1 b :搭載裝置 2 2 :間隔片散佈裝置（處理手段） 2 3 a :加熱裝置（熱處理手段、處理手段） 2 3 b :加熱裝置（熱處理手段、處理手段） 2 4 :密封材料印刷裝置（處理手段） 2 5 :貼合裝置（處理手段） 2 6 a .冷卻裝置（熱處理手段、處理手段） 2 6 b :冷卻裝置（熱處理手段、處理手段） 2 7 :加熱裝置（乾燥處理手段、熱處理手段、處理 手段） 2 8 :冷卻裝置（乾燥處理手段、熱處理手段、處理 手段） 2 9 :振盪裝置 3 0 :硏磨後洗滌裝置（處理手段） 3 1 :搬送裝置（基板搬送手段） 3 3 :搬送裝置（基板搬送手段） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -裝--------訂----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -81 1293386 A7 B7 五、發明說明（79 5 7 2 4 6 8 1 3 3 3 3 3 3 4 段段 段 手手 } } } } 手 送送段段段段制 搬 搬手手 手手控 板 板理理 理理彳 基基處處處處 C Γ\ /ι\ κίν /fv rv L 置置置置置置 ρ 裝裝裝裝裝裝： 送送理理理理 8 搬搬處處處處 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 82-

Claims (1)

1293386 第89 1 25505號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國96年10月30日修正 1 · 一種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板施以 熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處理 ’也對另一方基板施以熱處理；對上述一方基板與另一方 基板施行的熱處理之處理條件，是設定爲：因隨著上述熱 處理的基板收縮，使兩基板的尺寸誤差在所希望的範圍內 〇 2 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板施以 熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處理 ，也對另一方基板施以熱處理；對上述一方基板與另一方 基板施行熱處理，是用略同一溫度數據圖表（profile)施行 的。 3 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 1293386 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板施以 熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處理 ，也對另一方基板施以熱處理；對上述一方基板與另一方 基板施彳了略同一的熱處理。 4 · 一種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板施以 熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處理 ，也對另一方基板施以熱處理；對上述一方基板與另一方 基板，以同一設定條件來施行熱處理。 5 ·如申請專利範圍第4項所述之可撓性液晶顯示面 板之製造方法，其中： 對上述一方基板與另一方基板，用同一型裝置，以同 一設定條件來施行熱處理。 6 ·如申請專利範圍第5項所述之可撓性液晶顯示面 板之製造方法，其中： 上述裝置是板片搬送燒成爐。 7 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 -2- 1293386 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板，施 以熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處 理，也對另一方基板施以熱處理；上述熱處理是造成基板 不可逆的收縮，欲形成圖案的熱處理。 8 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有機 材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同構 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板，施 以熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處 理’也封另一方基板施以熱處理；對上述一對基板中之一* 方基板施行熱處理時，也對另一方基板施行熱處理。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之可撓性液晶顯示面 板之製造方法，其中： 上述熱處理是在上述一方基板與另一方基板略同時開 始的。 1 0 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有 機材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同 構成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之 可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板，施 以熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處 理，也對另一方基板施以熱處理；對欲製造該可撓性液晶 -3- 1293386 顯示面板的上述一方基板與另一方基板，共同施行的各處 理，各別略同時開始。 1 1 . 一種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有 機材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同 構成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之 可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板，施 以熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處 理，也對另一方基板施以熱處理；上述一方基板與另一方 基板，是在施行欲製造該可撓性液晶顯示面板的各處理之 際，發生處理等待時間的情況，在處理等待之間，保管在 保持一定乾燥狀態的環境下。 1 2 · —種可撓性液晶顯示面板之製造方法，把由有 機材料製成的可撓性基板上、形成一定的圖案之相互不同 構成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之 可撓性液晶顯示面板之製造方法，其特徵爲： 上述圖案形成之際，對上述一對基板之一方基板，施 以熱處理的情況下，不管另一方基板是否有必要進行熱處 理，也對另一方基板施以熱處理；上述一方基板與另一方 基板，是在施行欲製造該可撓性液晶顯示面板之各處理之 際，發生處理等待時間的情況，於處理等待之際，保管在 經常保持在乾燥狀態的環境下。 1 3 · —種可撓性液晶顯示面板之製造裝置，把由有 機材料製成的可撓性基板上、形成一定圖案之相互不同構 1293386 成一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之可 撓性液晶顯示面板之製造系統’其特徵爲： 具備有： 搭載上述一方基板與另一方基板並進行搬送之搬送手 段、和 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板’施行各 種熱處理之手段、和 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板’施行欲 形成各種一定圖案所需要之上述以外的處理之手段； 上述各處理手段，是在上述一方基板與另一方基板的 搬送方向上，順著該可撓性液晶顯示面板的製造工程’來 進行配置。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 更具備有欲控制對上述各處理手段搬送基板時序之控 制手段。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 上述基板搬送手段，是具備有搬送上述一方基板之第 1基板搬送部與搬送另一方基板之第2基板搬送部； 進行上述熱處理的手段，是對上述一方基板與另一方 基板，施行各種熱處理之至少一對的加熱裝置； 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板、施行欲 形成各種一定圖案所需要之上述以外的處理之手段，是由 -5- 1293386 對上述一方基板施行欲形成一 的處理之裝置、和欲對上述另 要之熱處理以外的處理之裝置 在上述第1基板搬送部中 基板搬送部中的基板搬送方向 面板之製造工程，彼此互相對 並設。 1 6 ·如申請專利範圍第 示面板之製造裝置，其中： 更具備有欲控制對上述各 制手段；上述控制手段是各別 搬送部方面的基板搬送方向與 基板搬送方向，做相對配置的 〇 1 7 ·如申請專利範圍第 示面板之製造裝置，其中： 上述控制手段，是在上述 各別略相同的時序來開始同一 方基板的各處理手段搬送時序 段搬送時序。 1 8 ·如申請專利範圍第 示面板之製造裝置，其中： 上述控制手段，是從熱處 間，在兩基板爲略相同的方式 定圖案所需要之熱處理以外 一方基板形成一定圖案所需 ，所成的； 的基板搬送方向與上述第2 上，順著該可撓性液晶顯示 應的裝置，是各別呈相對且 1 5項所述之可撓性液晶顯 處理手段搬送基板時序的控 獨立控制：對上述第1基板 上述第2基板搬送部方面的 各處理手段搬送基板的時序 1 6項所述之可撓性液晶顯 一方基板與另一方基板，以 處理的方式，控制對上述一 、與另一方基板的各處理手 1 6項所述之可撓性液晶顯 理開始到基板處理開始的時 ，控制向上述各處理手段搬 -6- 1293386 送基板的時序。 1 9 ·如申請專利範圍第1 3項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 施行上述熱處理的手段是板片搬送燒成爐。 2 0 · —種可撓性液晶顯示面板之製造裝置，把由有 機材料製成的可撓性基板上、形成一定圖案之相互不同構 成之一對基板，予以貼合，以製造可撓性液晶顯示面板之 可撓性液晶顯示面板之製造系統，其特徵爲： 具備有： 搭載上述一方基板與另一方基板並進行搬送之搬送手 段、和 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板，施行各 種乾燥處理之手段、和 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板，施行欲 形成各種一定圖案所需要之上述以外的處理之手段； 上述各處理手段’是在上述一方基板與另一方基板的 搬送方向上，順著該可撓性液晶顯示面板的製造工程，來 進行配置。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 更具備有控制向上述各處理手段搬送基板的時序之控 制手段。 2 2 .如申請專利範圍第2 0項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 1293386 上述基板搬送手段，是具備有搬送上述一方基板之第 1基板搬送部與搬送另一方基板之第2基板搬送部； 施行上述乾燥處理的手段，是對上述一方基板與另一 方基板施行各種乾燥處理之至少一對裝置； 對上述一對基板中的一方基板與另一方基板各別施行 欲在形成一定圖案所需要之上述以外的處理之手段，是由 欲對上述一方基板形成一定圖案所需要之乾燥處理以外的 處理之裝置、和欲對上述另一方基板形成一定圖案所需要 之乾燥處理以外的處理之裝置，所成的； 在上述第1基板搬送部方面的基板搬送方向與上述第 2基板搬送部方面的基板搬送方向上，順著該可撓性液晶 顯示面板之製造工程，彼此互相對應的裝置，是各別呈相 對且並設。 2 3 .如申請專利範圍第2 2項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 更具備有控制向上述各處理手段搬送基板的時序之控 制手段；上述控制手段，是各別獨立控制：對於上述第1 基板搬送部方面的基板搬送方向與上述第2基板搬送部方 面的基板搬送方向，做相對配置之至各處理手段搬送基板 的時序。 2 4 .如申請專利範圍第2 3項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中·· 上述控制手段，是在上述一方基板與另一方基板以各 別略相同一的時序來開始同一的處理的方式，控制上述一 -8- 1293386 方基板向各處理手段搬送的時序、與控制另一方基板向各 處理手段搬送的時序。 2 5 ·如申請專利範圍第2 3項所述之可撓性液晶顯 示面板之製造裝置，其中： 施行上述乾燥處理的手段，是經由減壓來進行乾燥的 手段。