CN1314606A - 柔性液晶显示板的制造方法及其制造系统 - Google Patents

Abstract

在由有机材料形成的柔性基板上形成规定图案时,在对一对基板中的其中一块基板进行造成基板的膨胀或收缩的处理的场合,无论另一块基板是否必须进行上述的处理,也对该另一块基板进行上述的处理。

Description

柔性液晶显示板的制造方法及其制造系统

本发明涉及基板采用有机材料的柔性液晶显示板的制造方法和该采用方法的柔性液晶显示板的制造系统。

图18表示基板材料采用玻璃的简单矩阵型液晶显示板的剖视图。该简单矩阵型液晶显示板由节段电极设置侧的SEG基板101，设置于共用电极设置侧的COM基板102，设置于该SEG基板101与COM基板102之间的液晶层103，将该SEG基板101与COM基板102连接的密封材料104，分散于液晶层103中的间隔件105构成。

通常，上述SEG基板101按照下述方式构成，该方式为：在玻璃基板106a的其中一个薄膜上，依次设置有透明电极107a(节段电极)，绝缘膜108，定向膜109a，另外在玻璃基板106a的另一表面上，设置有相位差偏振片110a。

另一方面，上述COM基板102通常按照下述方式构成，该方式为：在玻璃基板106b的其中一个表面上，依次设置有滤色片111，透明电极107b(共用电极)，定向膜109b，另外在玻璃基板106b的另一表面上，设置有相位差偏振片110b。

在制造成对的COM基板102和SEG基板101时，与仅仅设置于其中一块基板上的结构部件有关的工艺对于另一块基板是不需要的。在这样的场合，一般在其中一块基板上进行该结构部件形成用的某项处理的期间，不对不设置该结构部件的另一块基板进行任何的处理。

图19和图20表示上述柔性液晶显示板制造用的工艺流程的实例。

图19为仅仅设置于SEG基板1上的绝缘膜108形成前后的工艺流程。在SEG基板101上，清洗、绝缘膜印刷、以及烘焙是作为绝缘膜108形成用的处理而进行的，这些处理不对COM基板102进行。此后，对SEG基板101和COM基板102这两者进行定向膜形成用的处理(清洗、定向膜印刷、烘焙)。即，在SEG基板101上，在上述绝缘膜108形成后，进行定向膜109a形成用的图19所示的处理(清洗，定向膜印刷，烘焙)。在COM基板102上，由于在该COM基板102上未形成绝缘膜，在滤色片111和透明电极107b形成之后，进行定向膜109b形成用的图19所示的处理(清洗，定向膜印刷，烘焙)。

图20为SEG基板101与COM基板102之间贴合前后的工艺流程。对SEG基板101进行间隔件散布处理。对COM基板102进行密封材料印刷和整平(加热)的处理。

按照上述方式，在贴合前的工序中，对SEG基板101与COM基板102分别进行相应的处理。但是，按照上述方式，在SEG基板101与COM基板102中，即使在进行相互不同的处理的情况下，由于采用可在难于弯曲的情况下保持精度的玻璃用作基板材料，故不会产生问题。

但是，在采用由塑料等的有机材料形成的柔性基板来代替玻璃基板106a，106b的场合，在经加热，再次在室温下冷却的热处理过程期间，基板产生不可逆的收缩，造成尺寸变化。于是，产生下述情况，即在经全部工序而形成的SEG基板101和COM基板102中，图案尺寸是不同的。

图16中的曲线图表示下述场合的塑料基板的尺寸变化，该场合指本申请的发明人对以PES(polyether sulfon，聚醚砜)为主材而形成的塑料基板进行150℃×60分钟的热处理，之后，在保持干燥的状态的情况下，对该塑料基板进行冷却，直至到达室温，反复进行这样的一系列的处理。如果关注冷却到室温的时刻的塑料基板的尺寸变化，则知道，随着上述这样的一系列的处理次数的增加，塑料基板便产生收缩。

另外，塑料等的有机材料与玻璃不同，其具有因吸湿而膨胀的另一个问题。于是，在清洗剂采用水的清洗工序时，便产生导致塑料基板的尺寸变化(吸湿造成的膨胀)、与进行热处理的场合类似的现象，即产生在一对基板(SEG基板101与COM基板102)之间图案尺寸不同的情况。

此外，图17的曲线图表示为了进行参考、本申请的发明人所测定的以PES为母材的塑料基板的吸湿造成的伸长(膨胀)与干燥造成的收缩。在将该塑料基板自然地放置于温度为25℃、湿度为65％的环境下的场合，与放置于40℃的热水中的场合，由于塑料基板的吸湿量显然不同，故尺寸变化便出现差异。此场合的尺寸变化为基本上与进行图16所示的热处理的场合相同的值。

按照上述的方式，在SEG基板101和COM基板102采用塑料基板的场合，由于热处理造成的收缩或放置与清洗造成的吸湿，便产生尺寸变化。比如，在长度为300mm的基板中，0.1％的尺寸变化指0.3mm的尺寸变化。在一对基板中的一块基板中导致此程度的尺寸变化的场合，下述方面是困难的，该方面指以较高的图案核对精度使两块基板贴合，由此，以较高的精度制造多块液晶显示板。

图21表示在SEG基板101和COM基板102贴合之后，将多块液晶显示板切出的板切割的工艺流程。在该板切割的工艺中，在SEG基板101与COM基板2之间，不产生尺寸差异。

但是，在上述SEG基板1与COM基板1采用塑料基板的场合，在上述工艺中，产生下述情况，该情况指由于切割等待中的室内环境放置下的塑料基板的因吸湿造成的膨胀，无法确定切断尺寸。一般，为了抑制静电的发生，液晶显示板的制造工序在人为的加湿环境(相对湿度在60～70％)下进行。为此，如果在上述SEG基板1和COM基板2采用塑料基板的场合，在切割等待中，将其放置于室内环境下，则产生塑料基板吸湿而膨胀的问题。由此，在上述SEG基板1和COM基板2采用塑料基板的场合，不能够忽视图17所示的吸湿造成的尺寸变化的影响。

作为解决这样的问题的方案，人们提出有下述的技术方案。

在作为日本公开公报的特开平7--64038号文献(公开日为1995年3月10日)中，公开有下述方法，该方法采用由塑料薄膜形成的大尺寸的基板，以较高的图案精度制造多块液晶显示板。在该方法中，如图22所示，两块基板中的其中一块基板122采用下述基板，该基板在具有刚性的基体121上，形成有塑料薄膜123。之后，将按照显示板尺寸形成的另一块基板124对应于上述的其中一块基板122中的图案位置进行贴合。另外，在图22中，标号125透明电极，标号126表示液晶注入口，标号127表示下一工序中的切出显示板用的切断(切割)线。

在这样的方法中，两块基板的尺寸核对精度不必在大尺寸的基板(其中一块基板)的整个尺寸保持一致，可在显示板尺寸的小基板(另一块基板)的尺寸的允许范围内保持一致。于是，由于可在将显示板尺寸的小基板分别与大尺寸的基板贴合的阶段进行位置修正，故可以较高的精度制造柔性液晶显示板。但是，在JP特开平7--64038号文献中所描述的结构中，在采用大尺寸的基板制造的板的数量较多的场合，由于小基板的贴合次数较多，故贴合工艺的处理时间增加。另外，还要考虑装置数量增加而造成的成本增加。此外，每台贴合装置的能力由显示板尺寸确定。由于以上的原因，便产生生产线的效率降低的问题。

另一方面，在采用大尺寸的基板形成的显示板的数量较少的场合，即在制造大型的显示板的场合，便产生按照原样将玻璃基板的工艺转用于小基板的问题(即，由于两块基板的工艺不同而产生的尺寸变化)，产生小基板侧的尺寸误差超过允许范围、无法制造保持规定图案精度的柔性液晶显示板的问题。

即，上述的方法以采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板为前提，该方法无法从根本上消除贴合在一起的两块基板的尺寸伸缩(膨胀/收缩)造成的尺寸差异，也无法使整个基板的尺寸精度提高。由此，上述方法不适合采用大尺寸的基板形成的板的数量较少的场合，特别是不适合采用大尺寸的基板、制造1块大型液晶显示板的场合。

本发明的目的在于以高图案精度、并且以低成本制造具有由塑料等的有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

为了实现上述目的，本发明的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述的柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，其特征在于在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的场合，无论另一块基板是否必须进行上述处理，也对该另一块基板进行上述处理。

一般，在一对基板贴合之前的工序中，分别对构成该对基板的其中一块基板与另一块基板进行处理。另外，在制造上述一对基板时，即在上述其中一块基板与另一块基板上，分别形成规定图案时，涉及仅仅设置于其中一块基板上的结构部件的工艺对于另一块基板是不需要的。在这样的场合，在对其中一块基板进行该结构部件形成用的某项处理期间，一般不对不设置该结构部件的另一块基板进行任何的处理。由于在上述一对基板中，分别形成的规定图案形成于由有机材料形成的柔性基板上，故在仅仅对其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的场合，仅仅其中一块基板因上述的处理而膨胀或收缩，在两块基板之间产生尺寸精度的误差，其结果是，不能够实现下述情况，该情况指图案核对精度良好，使两块基板贴合。

但是，按照上述方法，在对其中一块基板进行造成基板的膨胀或收缩的场合，由于以两块基板的尺寸控制为目的，还对另一块基板进行上述的处理，故不发生仅仅其中一块基板膨胀或收缩的情况，可抑制伴随上述处理的膨胀收缩造成的尺寸精度的误差。

另外，按照上述的方法，由于可在两块基板中使基板的膨胀收缩情况保持一致，故可在两块基板中使整个基板的尺寸变化率保持一致，无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量比如1块的大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。此外，按照上述的方法，由于以不必改变两块基板的基板结构，另外单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送加工为基本内容，故对于基本的处理的流程或相应的处理，可采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以较低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

造成基板膨胀或收缩的处理中的处理本身指造成基板的膨胀或收缩的处理，即处理本身指造成基板的吸湿、放湿或变性的处理。具体来说，指热处理，干燥处理，清洗处理等，特别是以造成柔性基板的收缩的热处理、干燥处理为对象。另外，上述方法特别适合于热处理中的烘焙等，对基板造成不可逆的收缩的图案形成用的热处理。

于是，为了实现上述目的，本发明的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述的柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，其特征在于在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理的场合，无论另一块基板是否必须进行热处理，也对该另一块基板进行热处理。

按照上述方法，在对其中一块基板进行热处理的场合，由于以两块基板的尺寸控制为目的，还对另一块基板进行热处理，故不会产生因上述的热处理仅仅其中一块基板产生收缩的情况。由此，可抑制因上述热处理造成的基板的收缩而产生的尺寸精度的误差。

另外，按照上述的方法，由于可在两块基板中，使基板的热处理过程本身保持一致，故可在两块基板中使整个基板的尺寸变化率保持一致，故无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。

此外，按照上述方法，由于以不必改变两块基板的基板结构，另外单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送与加工为基本内容，故对于基本的处理的流程或相应的处理，可采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以较低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

还有，为了实现上述目的，本发明的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，其特征在于在使上述一对基板贴合之前，分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理。

按照上述的方法，由于在使上述一对基板贴合之前，对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板分别进行干燥处理，在使上述一对基板贴合之前，可相对因吸湿作用而产生的可逆的基板的膨胀，使上述其中一块基板与另一块基板一起干燥、收缩，由此，可使吸湿造成的两块基板的膨胀的影响减轻，最好是消除该影响。其结果是，可在两块基板之间的尺寸精度受到抑制的状态下，使两块基板贴合。由此，可使两块基板的尺寸核对精度提高。

另外，按照上述的方法，由于通过干燥，可在两块基板中使整个基板的尺寸变化率保持一致，故无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。

此外，按照上述的方法，由于以不必改变两块基板的基板结构，另外单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送和加工为基本内容，故对于基本的处理的流程或相应的处理，可采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度，制造柔性液晶显示板，并且可以比过去低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。另外，上述干燥处理即可为比如通过加热的干燥，也可为真空干燥等，通过减压的干燥。

还有，为了实现上述目的，本发明的柔性液晶显示板的制造系统涉及下述柔性液晶显示板的制造系统，该系统在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，其特征在于该系统包括传送机构，该传送机构以承载方式传送上述其中一块基板与另一块基板；处理机构，该机构分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行热处理；进行上述以外的处理的机构，该上述以外的处理对在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案是必需的；上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置。

按照上述的结构，由于上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置，故通过依次沿该柔性液晶显示板的制造工序进行处理，可容易地对工程管理和各处理装置之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理、控制，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。

另外，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行热处理的装置，故可共同地对上述两块基板进行热处理，可抑制因仅仅其中一块基板产生收缩而造成的尺寸精度的误差。此外，按照上述结构，由于可在两块基板中，使基板的热处理过程本身保持一致，故可在两块基板中使整个基板的尺寸变化率保持一致，无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

此外，由于采用具有上述结构的柔性液晶显示板的制造系统制造上述柔性液晶显示板，不必改变两块基板的基板结构，另外可单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送与加工，故对于基本的处理的流程或相应的处理，可采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度，制造柔性液晶显示板，并且可以比过去低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

还有，本发明的柔性液晶显示板的制造系统涉及下述柔性液晶显示板的制造系统，该系统在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，其特征在于该系统包括传送机构，该传送机构以承载方式传送上述其中一块基板与另一块基板；处理机构，该机构分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理；进行上述以外的处理的机构，该上述以外的处理对在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案是必需的；上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置。

按照上述结构，由于上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置，故通过依次沿该柔性液晶显示板的制造工序进行处理，可容易地对工程管理和各处理装置之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理、控制，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。

另外，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理的装置，故可共同地对上述两块基板进行干燥处理，可抑制伴随吸湿的基板膨胀造成的尺寸精度的误差。此外，按照上述结构，由于在两块基板中进行干燥处理，可在两块基板中使整个基板的尺寸变化率保持一致，故无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

此外，由于采用具有上述结构的柔性液晶显示板的制造系统，制造上述柔性液晶显示板，不必改变两块基板的基板结构，另外可单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送与加工，故对于基本的处理的流程或相应的处理，可采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以比过去低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

根据下面的描述，便会充分地了解本发明的其它的目的、特征和优点。另外，通过参照附图的下面的描述，便会明白本发明的效果。

图1为表示采用本发明的一个实施例的柔性液晶显示板的制造方法制造的液晶显示板的结构的剖视图；

图2为表示上述柔性液晶显示板的制造方法中的从绝缘膜形成到定向膜形成的工序的流程图；

图3为与上述柔性液晶显示板中所采用的PES基板有关的、在吸湿后加热的场合的膨胀收缩情况的曲线图；

图4(a)和图4(b)为表示因加热装置的结构的不同而造成的基板的温度分布图的差异的曲线图，图4(a)为表示在热风循环式烘箱中进行加热时的温度分布的曲线图，图4(b)表示在单块板传送烘焙炉中的加热时的温度分布的曲线图；

图5(a)和图5(b)为表示与上述柔性液晶显示板中所采用的PES基板有关的、提供不同的温度分布的场合的尺寸变化的说明图，图5(a)为表示在热风循环式中的加热时的尺寸变化的说明图，图5(b)为在单张纸烘焙炉中进行加热时的尺寸变化的说明图；

图6为表示上述柔性液晶显示板的制造方法中的从研磨定向处理到基板贴合的工序的流程图；

图7为表示与上述柔性液晶显示板中所采用的PES基板有关的、不同的环境中进行吸湿后进行同一条件的干燥处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图，图7(a)为表示通过加热机构进行干燥处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图，图7(b)为表示通过减压机构进行干燥处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图；

图8为表示从绝缘膜形成到基板贴合的整个工程处理连续地进行的场合的柔性基板的膨胀收缩情况的说明图；

图9为表示从绝缘膜形成到基板贴合的相应工序中具有处理等待时间的场合柔性基板的膨胀收缩情况的说明图；

图10为表示柔性液晶显示板的制造方法中的板切割工序的流程图；

图11为表示等待时间中的环境下的柔性基板的膨胀收缩情况的说明图；

图12为表示本发明的一个实施例的柔性液晶显示板的制造系统的结构的透视图；

图13为表示本发明的一个实施例的柔性液晶显示板的制造系统的另一结构的透视图；

图14为本发明的一个实施例中的基板传送控制的柔性液晶显示板的制造系统的方框图；

图15为表示上述柔性液晶显示板的制造系统中的基板传送控制的一个实例的说明图；

图16为表示与柔性液晶显示板中所采用的PES基板有关的、在相同温度条件下进行反复的热处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图；

图17为表示吸湿和干燥的PES基板的膨胀收缩情况的曲线图；

图18为表示采用玻璃基板的已有液晶显示板的结构的剖视图；

图19为表示上述已有的液晶显示板的制造方法中的从绝缘膜形成到定向膜形成的工序的流程图；

图20为表示上述已有的液晶显示板的制造方法中的从定向处理到基板贴合的工序的流程图；

图21为表示上述已有的液晶显示板的制造方法中的板切割工序的流程图；

图22为通过已有的液晶显示板的制造方法制造的塑料薄膜基板的示意图。

下面根据图1～17对本发明的一个实施例进行描述。

图1表示通过该实施例的柔性液晶显示板的制造方法制造的简单矩阵型液晶显示板的剖视图。本实施例的简单矩阵型液晶显示板由节段电极设置侧的SEG基板1，共用电极设置侧的COM基板2，设置于该SEG基板1与COM基板2之间的液晶层3，将该SEG基板1和CMO基板2这两块基板粘接的密封材料4，分散于液晶层3中的间隔件5构成。

上述SEG基板1在由PES(polyether sulfon，聚醚砜)等的塑料(有机材料)形成的塑料基板(柔性基板)6a的其中一个表面上形成规定的图案，依次设置透明电极7a(节段电极)，绝缘膜8与定向膜9a，此外，在塑料基板6a的另一个表面上设置有相位差偏振片10a。

另一方面，上述COM基板2在由PES等的塑料形成的塑料基板(柔性基板)6b的其中一个表面上形成规定图案，依次设置有滤色片11，透明电极(共用电极)7b与定向膜9b。另外在塑料基板6b的另一个表面上，设置有相位差偏振片10b。

上述透明电极7a与7b采用ITO(Indium Tin Oxide)膜，以ITO坯料作为材料，通过溅射蒸镀法或IT(Indium Tin)坯料作为材料的反应性溅射蒸镀法(在蒸镀中，与氧发生反应)，形成透明导电膜。该膜的厚度根据必要的导电度确定，其选定在500～5000的范围内。在成膜后，通过采用光刻法(感光剂涂敷，曝光，显影，腐蚀，剥离)，制作布线图案，形成透明电极7a和7b。

上述绝缘膜8的形成目的在于在设置于上述SEG基板1与COM基板2之间的液晶层3中混入金属等的导电性异物的场合，防止上述SEG基板1中的透明电极7a与COM基板2中的透明电极7b之间发生短路。在上述绝缘膜8形成于上述SEG基板1与COM基板2两者上的场合，电绝缘的效果较高，但是从对比度等的性能降低和成本这两个方面，一般该绝缘膜8仅仅形成于其中一个基板上。该绝缘膜8采用下述的类型等，在该类型中，从耐绝缘性与膜硬度以及成形成本的观点，可通过印刷法(印刷与烘焙)形成，以此为前提，作为材料在比如有机硅(Si)化合物中，包含钛(Ti)等的金属。通过烘焙去除有机成分，形成比如氧化SiTi膜。该膜的厚度在500～1000的范围内是透明的。显然，还可通过真空蒸镀法形成膜。

上述定向膜9a,9b采用聚酰亚胺材料，与绝缘膜8相同通过印刷法形成。该膜的厚度一般为500。

上述密封材料4多数为丙烯酸树脂-环氧树脂系的热硬化型树脂，其在150～200℃的温度下进行烘焙、硬化。

作为上述间隔件5所采用的材料，包括有塑料垫珠、玻璃垫珠、玻璃纤维等，但是为了核间隙的均匀性能，一般采用塑料垫珠。间隔件5的尺寸在2～10μm的范围内，根据核间隙选定。

在本实施例中对下述方法进行了描述，在该方法中，将大尺寸的相同尺寸的2块基板一起贴合，采用该尺寸的基板，制造上述的多块柔性液晶显示板。在这里，根据图2对上述柔性液晶显示板的制造工序中的从绝缘膜8的形成到定向膜9a,9b的形成的工序流程进行描述。

仅仅设置于SEG基板1上的绝缘膜8通过下述方式形成，该方式为：在清洗了(清洗)形成有透明电极7a的塑料基板6a之后，通过印刷法将绝缘膜材料的墨转印到透明电极7a上(绝缘膜印刷)，在150℃以上的温度对其进行加热烘焙(烘焙)。

另一方面，在COM基板2上未形成绝缘膜8，但是在SEG基板1的绝缘膜8形成工序期间，在与SEG基板1的相同条件下，对COM基板2的塑料基板6b进行清洗和加热处理(热处理；图2中以双重框表示)。

此后，经过清洗，定向膜印刷，以及烘焙的各工序，分别在SEG基板1和COM基板2上形成定向膜9a,9b。

如果在绝缘膜8的形成工序时，对COM基板2进行加热处理，则仅仅在SEG基板一侧的塑料基板6a上发生收缩。即，SEG基板1与COM基板2的尺寸产生差别。

在这里，根据图3以塑料基板6a,6b采用由PES(polyether sulfon，聚醚砜)形成的基板(下面称为“PES基板)的场合为实例，对吸湿和加热干燥造成的PES基板的尺寸变化进行描述。吸湿1表示在温度为25℃、湿度为65％的环境下，放置PES基板的场合。另外，吸湿2表示将PES基板浸泡于40℃的热水下的场合。加热干燥表示50℃(实线表示)，100℃(虚线表示)，150℃(点划线表示)，使PES基板干燥的场合。

根据以上的曲线图知道，通过吸湿而膨胀的PES基板在50℃的加热干燥下返回到原始尺寸，但是如果进行100℃或150℃的加热，则一旦进行干燥，便返回到原始尺寸，而通过进一步的连续加热，相对原始的尺寸实现收缩。

根据上述的结果，通过在印刷之前对绝缘材料进行水系清洗，SEG基板1中的塑料基板6a因吸收而发生膨胀，但是由于在印刷后的加热烘焙工序中，150℃以上的热量供给SEG基板1，故在之后冷却到室温时，产生不可逆的收缩，相对原始的尺寸产生收缩。如果按照上述方式，仅仅对SEG基板1进行烘焙处理，不对COM基板2进行任何的处理，则仅仅SEG基板1因加热而收缩。由此，在SEG基板1与COM基板2之间产生尺寸差异。

于是，在本实施例中，为了抑制基板的膨胀收缩造成的尺寸精度的误差，在对上述一对基板中的其中一块基板进行造成基板的膨胀或收缩的处理的场合，无论另一基板是否必需进行上述的处理，也对该另一基板进行上述的处理。在此场合，与SEG基板1相同，也对COM基板进行热处理(加热烘焙)，从而可也使COM基板2发生不可逆的收缩，不仅仅SEG基板1收缩，从而可防止用于形成绝缘膜8的烘焙造成的SEG基板1与COM基板2的尺寸差异。

按照上述方式，在上述图案形成时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理的场合，以两块基板的尺寸控制为目的，即使在不必对另一基板进行热处理的情况下，也对该另一基板进行热处理，由此不产生因上述的热处理仅仅其中一块基板产生收缩的情况，可抑制伴随上述热处理的收缩而造成的尺寸精度的误差。

在本实施例中，在对上述其中一块基板(在此场合，对SEG基板1)进行加热烘焙的场合，可按照下述方式，对作为另一基板的COM基板2，进行加热烘焙，该方式为：伴随对上述SEG基板1与COM基板2所进行的加热烘焙而产生的两块基板的尺寸误差在所需的范围内。

因此，对上述SEG基板1与COM基板2进行的热处理的处理条件按照下述方式设定，该方式为：伴随上述热处理，在此场合为加热烘焙的SEG基板1和COM基板2的收缩造成的两块基板的尺寸误差在所需的范围内。比如当在SEG基板1与COM基板2中，两块基板之间的尺寸误差在所需的范围内的基本相同的热处理，具体来说，其中一块基板的上升温度时的保持温度(正常温度)在比如100℃～150℃的范围内时，进行该保持温度在±5℃的范围内、处理时间的误差在10％以内的热处理，最好是相同的热处理。为此，比如上述热处理按照基本相同的、最好相同的温度分布图进行。这样可容易实现下述情况，该情况指以相同的设定条件进行上述的热处理，特别是采用相同类型的装置，通过相同的设定条件下进行热处理。

此外，在本实施例中，基本相同的温度分布图指在两块基板之间，比如升温时的温度，升温时的保持温度(稳定温度(比如100℃～150℃))，降温时的温度在±10℃的范围内，最好在±5℃的范围内，处理时间的误差在10％以内，最好在5％以内。

还有，通过烘焙前的清洗，塑料基板吸湿、膨胀，但是在烘焙前的基板的状态发生差别的场合，由于烘焙温度等的条件的逐渐变化，具有SEG基板1与COM基板2的尺寸产生差异的情况。

因此，为了确实防止SEG基板1与COM基板2的尺寸差异，同样对于COM基板2，最好在与SEG基板1相同进行清洗之后，进行烘焙处理。

特别是，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，如图2所示，在与SEG基板1相同的条件下，也对COM基板2进行清洗和加热处理，在绝缘膜8形成之后，SEG基板1与COM基板2的尺寸变化基本上相同。由此，SEG基板1与COM基板2之间几乎不产生尺寸变化，这样在后面的工序中，可将SEG基板1与COM基板2良好地按照图案核对精度贴合。

下面参照图4(a)和图4(b)，对在采用作为加热方式不同的两种加热机构的结构不同的加热装置、进行加热(热处理)的场合，对因加热装置的结构的不同造成的温度分布图的差异进行描述。

图4(a)为通过热风循环式烘箱对接纳于盒内的柔性基板进行加热时的温度分布图。各柔性基板按照在从上方看到的状态、各柔性基板全部重叠的方式，保持水平状态而接纳于上述盒内，通过下述方式加热，该方式为：热风从横向与各柔性基板接触，使热风通过各柔性基板的空间。上述盒内的柔性基板的接纳个数为20块，各柔性基板按照各柔性基板之间的间距保持在20mm的方式设置。上述加热是针对150℃的烘焙温度的目标进行的。

图4(b)为借助在对柔性基板逐块地、单体连续地进行传送的同时，对该柔性基板进行加热的单块板传送烘焙炉，对柔性基板进行加热时的温度分布图。在单块板传送烘焙炉中，通过从各柔性基板的两个面辐射红外线，对各柔性基板进行加热，同样在此场合，上述加热是针对150℃的烘焙温度的目标进行的。

在各温度分布图中，首先，从室温到150℃的升温过程进行约3分钟，在150℃的温度下保持60分钟，此后，在经50分钟冷却到75℃之后，分别将各柔性基板从热风循环式烘箱和单块板传送烘焙炉外中取出，然后，在室温气氛下进行冷却。此外，上述的测定采用作为柔性基板的PES基板进行。

从图4(a)和图(b)所示的两个温度分布图知道，相对采用热风循环式烘箱的场合，采用单块板传送烘焙炉的场合中的柔性基板之间的升温和降温时的温度误差较小。这是因为采用单块板传送烘焙炉的场合的热能供给的均匀性优良。

下面根据图5(a)和图5(b)，对与上述柔性液晶显示板中所采用的各柔性基板有关的、通过采用上述的两种加热装置进行热处理，提供相应的不同温度分布图的场合的尺寸变化率进行比较。另外，同样在该测定中，是采用作为上述柔性基板的PES基板而进行测定的。

如图17所示，在将以PES为母材的塑料基板用作上述柔性基板的场合，无论吸收条件怎样，吸收造成的柔性基板的尺寸变化可通过50℃的干燥处理返回原始值。另外，如上述的图20和上述的图3所示，上述PES基板在50℃的温度下加热10个小时，因此该柔性基板完全干燥，形成不受吸湿影响的基板尺寸。然后，将此状态的基板尺寸记作基板的原始尺寸。

图5(a)和图5(b)为表示在柔性基板中相对提供该原始尺寸的50℃温度下的10个小时的热处理、在100℃的温度下进行5个小时、在150℃的温度下进行10个小时的热处理的场合的各柔性基板的尺寸变化率的说明图，图5(a)表示通过热风循环式烘箱进行加热的场合的尺寸变化率，图5(b)表示通过单块板传送烘焙炉进行加热的场合的尺寸变化率。

从图5(a)和图5(b)可知，通过温度分布图的误差较大的热风循环式烘箱炉进行热处理的场合的柔性基板之间的尺寸变化的误差超过下述场合的柔性基板之间的尺寸变化的误差而较大，该下述场合指通过温度分布图的误差较小的单块板传送烘焙炉进行热处理。

因此，根据上述图5(a)和5(b)可知道，由于在上述SEG基板1的烘焙和COM基板2的加热处理中采用上述单块板传送烘焙炉，故与上述SEG基板1的烘焙和COM基板2的加热处理采用热风循环式烘箱的场合相比较，可抑制柔性基板和柔性基板内的尺寸变化的误差，即SEG基板1与COM基板2之间的尺寸变化的误差，与SEG基板1之间和COM基板2之间的尺寸变化的误差，以及各SEG基板1内的和COM基板2内的尺寸变化的误差。

比如，在相对各柔性基板、在150℃的温度下进行1个小时的热处理的场合，通过热风循环烘箱，在进行了相同的热处理的两块基板之间，尺寸变化率的误差约为0.05％(这相当于在300mm方形基板中，约150μm的尺寸误差)，与该情况相对，在通过单块板传送烘焙炉进行相同的热处理的两块基板之间，尺寸变化率的误差约为0.015％(这相当于在300mm方形基板中，约45μm的尺寸误差)。

这是因为热处理时的温度的误差产生影响，包含升温时、降温时的温度的误差，施加于柔性基板上的总热量的差异造成基板的收缩的误差。于是，最好尽可能地将减小两块基板之间的尺寸误差，为了消除两块基板之间的尺寸误差，特别是最好按照两块基板之间的热处理过程基本相同、更特别是最好该热处理过程相同的方式对加热进行控制。

为此，最好在对各基板进行热处理时，实际施加于基板上的温度分布图在一对基板中保持一致，更具体地说，采用相同设定条件，最好采用相同类型的加热装置(热处理装置)或相同的加热装置(热处理装置)，以相同的设定条件进行加热。特别是，为了使两块基板的热处理过程保持一致，最好当对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理时，还对另一块基板进行热处理，此外，基本上同时对该两块基板进行上述的热处理，特别是最好在1分钟以内，更特别是最好同时地进行上述的热处理。按照上述方式，由于按照两块基板之间的热处理过程基本上相同、最好是相同的方式对加热进行控制，故可使两块基板保持核对精度。再有，在本实施例中，热处理过程指在制造过程中在何温度下进行了多长时间。

在上述绝缘膜8的形成工序中，在仅仅对一对基板中的其中一块基板中(在本实施例中，仅仅SEG基板1)，施加绝缘膜8的烘焙所必需的温度，具体来说为150℃的热处理的场合，在作为被热处理基板的SEG基板1中，从图5(a)和图5(b)知道，在采用热风循环式烘箱的情况下，在采用单块板传送烘焙炉的情况下，300mm方形尺寸的基板(300mm方形基板)，相对原始尺寸，产生约300～450μm的基板收缩，在该一对基板中，透明电极布线图案完全不一致。

与此相对，由于按照本实施例的方式，在对SEG基板1进行加热处理的场合，还对COM基板2进行加热处理，由此，可抑制SEG基板1与COM基板2之间的尺寸差，另外，由于按照与SEG基板1相同的条件下，对COM基板2进行热处理，由此可在这两块基板采用300mm的方形基板的场合，将SEG基板1与COM基板2之间的尺寸差的最大值在上述加热装置采用热风循环烘箱的情况下控制在150μm，在加热采用单块板传送烘焙炉的情况下，将上述尺寸差的最大值控制在45μm。实际上，在制造过程中，具有多次的热处理过程，如图16所示，随着总热容量的增加，加热造成的基板收缩量具有减小的倾向，并且保持均匀，由此在贴合工序中，最终形成相应的最大值为100μm与30μm的基板尺寸的误差。

在上述柔性液晶显示板为作为SEG基板1中的透明电极布线图案与COM基板2的透明电极布线图案相互垂直的条纹图案的液晶显示板的场合，可确保100μm(±50μm)的贴合核对精度。于是，作为上述的加热装置，最好采用单块板传送烘焙炉，但是即使在借助温度分布精度较粗的热风循环式烘箱的热处理中，仍可确保上述精度。

但是，在沿上下将画面分为两块而进行显示的场合，上下划分部的SEG图案与COM图案的重合必须要求40μm(±20μm)的贴合核对精度。为此，包含热处理时的升温，降温时的温度误差的均匀性是重要的，在上述的单块板传送烘焙炉的实例中给出的温度分布图的均匀性是用于确保精度的必要条件。

按照上述方式，在本实施例中，两块基板的尺寸误差的所需范围根据作为目标的柔性液晶显示板的用途或所需结构，即上述柔性液晶显示板的种类而适当地设定。

图6表示本实施例的柔性液晶显示板的制造工序中的从SEG基板1和COM基板的研磨定向处理、到SEG基板1和COM基板2的贴合的工序的流程。在本实施例中，如图6所示，对研磨定向处理之后进行了清洗的SEG基板和COM基板2进行干燥处理(在图6中，通过双重框表示)。

按照上述方式，通过在研磨后的清洗之后进行干燥处理，可使通过研磨后的清洗而吸收膨胀了的SEG基板1和COM基板2的尺寸接近或返回到研磨后的清洗前(研磨定向处理时)的尺寸。

通过在后面描述的整平工序(COM基板2)中的加热，还可使通过研磨后的清洗而吸湿膨胀了的COM基板2干燥，但是由于整平工序中的加热完全以整平为目的，故难于充分地确保干燥用的处理时间。另外，由于为了干燥，长时间地对COM基板2进行加热，故还具有在整平之前印刷的密封材料发生硬化的问题。于是，由于整平造成的COM基板2的干燥度是不充分的，故与对进行了研磨后的清洗的SEG基板1和COM基板进行上述干燥处理的场合相比较，每块基板的尺寸误差较大。

相对这样的问题，按照本实施例的方法的方式，在两块基板贴合之前，具体来说在研磨后的清洗之后，进行干燥处理，最好一旦通过使SEG基板1和COM基板2返回到研磨后清洗前的尺寸，可将借助后面工序的整平时的加热的干燥效果，限于直至研磨后的清洗之后的密封材料印刷的等待时间中的周围环境产生的吸湿的消除。于是，可将借助整平的加热的COM基板2的收缩效果，以及对应于整平的加热条件，相对SEG基板1进行的加热处理造成的SEG基板1的收缩效果限于使这两块基板的尺寸保持一致的目的。

作为上述的干燥方法，即可采用相对SEG基板1和COM基板2的两块基板、通过上述热风循环式烘箱或单块板传送烘焙炉等的加热装置而进行加热干燥的方法，也可采用借助真空干燥机等的减压装置、对这两块基板进行减压干燥的方法。

下面参照图7(a)和7(b)，对与上述柔性液晶显示板中所采用的PES基板有关的、在不同的环境中吸湿后，进行相同条件的干燥处理的场合的和膨胀和收缩相关的情况(膨胀收缩情况)进行描述。

图7(a)为表示通过加热装置进行干燥处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图，图7(b)为表示通过减压装置进行干燥处理的场合的膨胀收缩情况的曲线图，图7(a)和图7(b)分别表示在于不同的湿度环境的基础中，放置柔性基板之后，进行了干燥处理的场合的基板尺寸变化的情况。

另外，图7(a)和图7(b)分别为在吸湿用的放置之前、在100℃的温度下进行5个小时的热处理，跟踪该基板尺寸以及此后的尺寸变化的图，该图分别表示以在吸湿用的放置之前，在100℃的温度下进行5个小时的热处理时的尺寸作为参考尺寸，相对该参考尺寸的尺寸变化率。

上述吸湿时的室温在22～24℃(作为图7(a)和图7(b)所示的曲线图的放置环境，室温均在22～24℃的范围内)的范围内，图7(a)表示作为干燥处理方法，进行50℃的加热的场合的尺寸变化率，图7(b)表示在6.6661×10²Pa下的减压的场合的尺寸变化率。

从图7(a)和图7(b)知道，湿度越高，上述柔性基板的吸湿量越大，其膨胀越大。另外，对于此时的基板的尺寸变化，由于保持于基板上的水分量是不同的，故进行了干燥处理的场合的尺寸变化的经历时间是不同的，越是放置于高湿度的环境中的吸湿量较多的基板，返回到原始尺寸的时间越长。在温度为50℃的加热干燥的场合，对于放置在40％的相对湿度的环境下的基板，必须要求约7个小时，对于放置在80％的相对湿度的环境下的基板，必须要求约10个小时，即返回到原始尺寸的时间。另外，在进行6.6661×10²Pa下的减压干燥的场合，对于放置在40％的相对湿度的环境下的基板，必须要求约5个小时，对于放置80％的相对湿度的环境下的基板，必须要求约6.5个小时，即返回到原始尺寸的时间。由此知道，通过借助减压干燥进行上述干燥处理，可缩短干燥时间。

最好，上述干燥处理在SEG基板1和COM基板2这两块基板返回到研磨后清洗前的尺寸的条件下进行，但是如果使这两块基板具有基本相同的热处理过程，则不必返回到研磨后清洗前的尺寸，吸湿造成的膨胀状态可重新设定在保持贴合时的图案核对精度的值，而保持恒定。由此，对于该SEG基板1和COM基板2，当基本相同的干燥处理，具体来说，其中一个的基板的升温时的保持温度(正常温度)比如在50℃～80℃的范围内时，进行该保持温度在±5℃的范围内、处理时间的误差在3～5个小时范围内、5％以内的干燥处理，最好进行相同的干燥处理，使它们具有基本相同的、最好相同的热处理过程，这样便可抑制SEG基板1与COM基板2之间的尺寸误差，可以制造图案精度良好、并且低成本的柔性液晶显示板。

作为使上述SEG基板1和COM基板2返回到研磨后清洗前的尺寸的方法，如图7(a)和图7(b)所示，例举有比如对SEG基板1和COM基板2在下述特定温度，比如50℃～80℃的范围内，按照一定时间以上进行干燥处理的方法，该特定温度是按照相对吸湿造成的膨胀前的原始尺寸不发生收缩的方式，该柔性基板中所采用的有机材料的种类设定的或者例举有在特定的减压条件下，比如1.33322×10³Pa以下的减压条件下，进行一定时间以上的干燥处理的方法等。即，该柔性基板预先通过下述方式，可容易地返回到原始尺寸，该方式为：按照返回到上述原始尺寸的方式，以对应于该柔性基板中所采用的有机材料的种类而设定的时间，至少进行热处理。

在进行上述干燥时，还可采用上述任何的方法，但是由于通过采用比如真空干燥机等的减压装置，进行减压干燥，不产生加热造成的上述基板本身的收缩(变性)，相对吸湿造成的膨胀前的原始尺寸，上述基板不收缩，故上述基板的尺寸变化的控制容易，可容易地将上述两块基板返回到吸湿造成的膨胀前的原始尺寸。

此外，还可通过在高于上述温度的温度，比如象上述那样在100℃或150℃的温度下，该柔性基板以按返回到上述原始尺寸的方式预先设定的时间进行干燥处理，可使上述两块基板返回到原始尺寸，但是如果温度急剧增加，由于急剧地产生收缩，从容易控制的方面来说，最好采用上述的方法。

按照上述方式，在SEG基板1和COM2基板这两块基板返回到研磨后清洗前的尺寸的场合，显然在两块基板之间进行了不同的干燥处理。但是，从容易控制的方面来说，最好相对两块基板进行基本相同的干燥处理，特别是最好进行相同的干燥处理。

还有，为了提高两块基板的图案核对精度，上述干燥处理可在将上述SEG基板1和COM基板2贴合之前进行，但是为了抑制干燥处理造成的基板收缩的时间因素造成的误差，进而干燥处理后的吸湿造成的基板膨胀的时间因素导致的误差，对于上述干燥处理，最好在对上述其中一块基板进行干燥处理时，对另一块基板进行干燥处理，上述干燥处理在两块基板中基本上同时开始，最好在1分钟以内，特别是最好同时开始。形成在基板的贴合前的时刻的朝向原始尺寸的恢复的上述干燥处理在两块基板中基本上同时开始，特别是最好同时开始，由此相对干燥处理后的吸湿等造成的基板的膨胀，在两块基板中，膨胀的起始线是一致的，可将两块基板的尺寸的误差控制在所需的范围内。其结果是，可以更高的精度将两块基板贴合，并可以高图案精度制造柔性液晶显示板。

如图6所示，干燥后的处理工序在SEG基板1和COM基板2中是不同的。COM基板2在密封材料的印刷后，由于整平，按照80℃的温度进行加热。在进行间隔件散布后，对SEG基板1进行下述条件的加热处理，该条件与对COM基板2进行的整平用的加热处理的相同(在图6中，由双重框表示)。

按照上述方式，在本实施例的方法中，在过去的方法中仅仅对COM基板2进行的加热处理也针对SEG基板1进行。由此，可对应于热量造成的SEG基板1与COM基板2的收缩程度，防止该两块基板的尺寸差异。

另外，在本实施例的方法中，在上述SEG基板1和COM基板2贴合之前，对上述SEG基板1和COM基板2这两者进行干燥处理。由此，减缓SEG基板1和COM基板2的吸湿造成的基板膨胀的影响，此外，可对应于通过放湿的两块基板的收缩程度，防止该两块基板之间的尺寸差异。

在不采用上述的本实施例的制造方法，而是按照已有方式，采用进行图6中的通过双重框表示的干燥处理和加热处理的方法的场合，便产生下述的问题。

在已有的方法中，在研磨后清洗中，因吸湿而膨胀的基板形成照原样贴合的其中一块基板(本实施例中的SEG基板1)。其原因在于由于在研磨后的清洗之后，对另一块基板(本实施例中的COM基板2)进行密封材料印刷、以及用于整平的加热处理，故一旦在整平后的清洗中，因吸湿而膨胀的基板干燥而收缩，没有研磨后的清洗中的吸湿造成的膨胀影响。但是，上述另一块基板完全返回到原始的干燥状态的尺寸(研磨定向处理时的尺寸)，或因加热造成的基板的收缩，相对原始尺寸收缩，其情况根据加热的条件而不同。

为此，在已有的方法中，在其中一块基板因吸湿而膨胀的状态下，并且另一块基板根据加热的条件，处于实现收缩或返回到原始尺寸的状态，将两块基板实现贴合。由此，将处于这样的不同的膨胀收缩状态的两块基板贴合、产生相应的电极布线图案不一致的问题。

但是，由于采用上述的本实施例的柔性液晶显示板的制造方法，可消除以上的已有方法的问题。

在本实施例中，在SEG基板1的间隔件散布和加热处理、COM基板2的密封材料印刷和整平结束之后，对SEG基板1和COM基板2进行贴合、压制和烘焙处理。

在本实施例中，在上述全部工序处理连续地进行的场合，上述干燥处理是在特定的工序，具体来说，是在不对基板的尺寸变化造成影响的研磨后的清洗工序之后进行，但是，在各工序处理之间具有处理等待时间(等待时间)的场合，最好在各项处理等待时间(等待时间)之间，分别进行干燥处理。

图8和图9表示从柔性液晶显示板的制造用的绝缘膜形成到基板贴合为止的工序中的柔性基板的膨胀收缩情况(尺寸情况)。图8为表示上述全部工序处理连续地进行的场合的柔性基板的膨胀收缩情况的说明图，图9为表示上述的相应工序处理中具有处理等待时间(等待时间)的接近实际的工序流程的场合的柔性基板的膨胀收缩情况的说明图。

首先，根据图8对柔性基板的尺寸情况进行描述。在这里，绝缘膜形成工序前的柔性基板得到充分地干燥，达到该基板的原始尺寸。

在通过印刷法形成绝缘膜8的场合，通常进行基板的清洗，印刷，烘焙的各工序处理。在对柔性基板进行水的清洗时，该柔性基板吸湿而膨胀。其膨胀度随清洗时间温度等而各不相同。接着，在通过气刀等去除残留于上述柔性基板表面上的水之后，通过胶版印刷法等将绝缘膜8的材料转印到上述柔性基板表面上。印刷时的周围环境是这样的，温度为23℃，相对湿度为60％。通过清洗而充分吸湿的柔性基板在该环境下，放出所包含的水分，随着时间的推移而发生收缩。即，在印刷处理期间，上述柔性基板稍稍收缩。之后，在印刷后的烘焙中，上述柔性基板干燥，并且发生热收缩，在冷却后的基板尺寸的测定中，相对原始尺寸收缩。此外，收缩量随烘焙温度与时间等的烘焙条件、柔性基板的材料而大不相同。

一般，如果绝缘膜8的形成在一对柔性基板中的一块中进行，则获得充分的效果。为此，在过去，仅仅对其中一块柔性基板进行绝缘膜8形成用的烘焙处理。但是，绝缘膜8形成处理结束的时刻的基板尺寸小于如图8所示的烘焙前、即绝缘膜8形成前的基板尺寸。为此，在本实施例中，按照前述的方式，还对未形成绝缘膜8的另一块基板进行烘焙处理。

连续进行的定向膜9a,9b的形成处理与绝缘膜8的形成处理的不同点在于起始时刻的基板尺寸，但是该定向膜呈现与上述绝缘膜8形成时相同的膨胀收缩情况(尺寸情况)。

在定向处理工序中，在研磨处理后进行清洗。在研磨开始时刻，柔性基板处于干燥状态，在研磨处理中，该柔性基板吸湿而发生膨胀。在研磨处理后的清洗为水清洗的场合，柔性基板仍然吸湿、膨胀。

此场合的吸湿量随与上述相同的处理条件和基板的材料而不同，但是其处于吸湿或膨胀过程中的状态，由于每块基板中的误差较大，故进行干燥处理，接近基板的原始尺寸，使误差减小。

作为理想方式，进行充分的干燥处理，恢复到当前时刻的上述柔性基板的原始尺寸，可使基板尺寸的误差达到最小。

在贴合工序中，通过印刷等的方法，在上述一对柔性基板的其中一块上形成贴合密封材料。一般，在另一块基板上，散布核间隙形成用的间隔件。在密封材料印刷和间隔件散布过程中，上述柔性基板吸湿而膨胀。接着，在密封材料印刷侧的柔性基板(图1所示的柔性液晶显示板中的COM基板2)中，为了对印刷膜进行整平，进行加热处理，上述柔性基板干燥而收缩。在本实施例中，为了使两块柔性基板之间的基板尺寸保持一致，还对间隔件散布侧的柔性基板(图1所示的柔性液晶显示板中的SEG基板1)进行加热处理。

此后，将两块柔性基板贴合，对它们进行烘焙，以便使密封材料硬化。在贴合过程中，这些柔性基板吸湿、膨胀，在硬化用的烘焙中，因干燥和热处理而收缩。在从绝缘膜形成工序到贴合工序的期间，具有以上这样的柔性基板的尺寸情况。

图9作为一个实例，表示在①从绝缘膜形成工序后、到定向膜形成工序开始前的期间，②从定向膜形成工序中的印刷后，到烘焙处理开始前的期间，③从定向膜形成工序后、到定向膜处理工序开始前的期间，④从定向处理工序后、到贴合工序开始前的期间，以及⑤从贴合工序中的加热处理后，到贴合开始前的期间的这5个位置，具有等待时间的场合的柔性基板的尺寸情况。

如果上述柔性基板的等待前的状态处于干燥状态，则在等待时间中，柔性基板发生膨胀，如果处于吸湿状态，在等待时间中，柔性基板收缩。由此，如果在各工序之间，具有等待时间，则图8所示的场合与基板尺寸的变化状态是不同的，两块柔性基板的尺寸随等待的状态(等待的环境和等待时间)而不同。由此，为了将上述一对柔性基板之间的尺寸差异控制在规定的尺寸内，不仅尽可能地以精密的方式使各加工处理的条件保持一致，而且必须对还包含等待时间的上述一对柔性基板的流程进行控制。为此，进行各加工处理的时刻在一对柔性基板之间保持一致是非常有效的措施，为了制造该柔性液晶显示板，对两块柔性基板共同地进行的各项处理几乎同时开始，最好在1分钟以内开始，特别是最好同时开始，这样是特别有效的。

另外，在进行制造该柔性液晶显示板用的各项处理时，在按照上述方式发生处理等待时间的场合，处理等待的期间，在保持在一定的干燥状态的环境下，最好是保持在湿度小于20％的环境下，保管上述两块柔性基板，该方式也是非常有效的措施。在制造处理的过程中，因滞留等而形成下一工序等待的柔性基板在保持在一定的干燥状态的环境下保管，由此可防止上述两块柔性基板在处理等待中，从周边气氛中吸湿。于是，可抑制吸湿造成的柔性基板的膨胀，可将制造过程中的柔性基板的尺寸精度的误差保持在所需的范围内。另外，在此场合，还可省略比如多余的干燥处理工序。

如果按照前述的方式，采用本实施例，可将因加工过程中的各项处理、柔性基板的尺寸(即，透明电极布线图案的尺寸)的误差的最大值控制在30μm。于是，按照本实施例，由于可通过使两块柔性基板的各项处理的开始时刻保持一致，使各柔性基板的吸湿造成的尺寸变化保持一致，故可获得下述柔性液晶显示板，该柔性液晶显示板满足包含贴合精度的，40μm(±20μm)的图案核对精度。

下面对本实施例的图1所示的柔性液晶显示板的制造工序中的显示板切割工序进行描述。图10表示该显示板切割工序的流程。

在显示板切割工序中，首先对应于图案位置，将SEG基板1与COM基板2贴合，之后在加压的同时进行加热，对密封材料4进行烧结，完成SEG基板1和COM基板2的贴合。

此后，将按照上述方式贴合的SEG基板1和COM基板2在这两块基板贴合的状态下，以所需的尺寸进行切割(第1次切割)，将液晶注入这两块基板之间。另外，还在液晶注入之后，根据需要进行第2次切割。在本实施例的方法中，第1次切割前和第2次切割前的等待中，将贴合在一起的SEG基板1和COM基板这两块基板(在下面，为了便于说明，将其称为“显示板基板”)保管于干燥库内，防止吸湿，控制吸湿造成的尺寸变化。

在按照本实施例的方法的方式、将切割前的显示板基板保管于干燥库内的场合，在切割的工序之前的期间，因周边环境的湿度造成的吸湿，基板发生膨胀。这样的基板的膨胀随因环境温度和放置时间确定的吸湿状况而产生较大误差。由于显示板基板的切割位置根据对图案尺寸的测定而确定，故如果对于每块显示板基板膨胀程度不同，则必须针对每块显示基板测定图案尺寸。这是生产效率变差的原因。

与此相对，在本实施例的方法中，由于在切割前将显示板基板保管于干燥库内，故可防止显示板前的显示板基板的吸湿，可控制尺寸变化。由此，由于全部的显示板基板处于基本上相同、特别是相同的干燥状态，故不必针对每个打算切割的显示板基板，测定图案尺寸。于是，由于采用本制造方法，可容易地确定显示板基板的切割位置，生产效率提高。

另外，作为防止切割前的基板的膨胀的方法，除了将显示板基板保管于干燥库内以外，还可对各显示板基板进行干燥处理。

在这里，图11表示处理等待时，即等待时间中的环境造成的柔性基板的膨胀收缩情况(基板尺寸情况)。

在比如因烘焙等的前处理工序、柔性基板处于干燥的状态，在等待过程中发生吸湿，柔性基板膨胀。该膨胀的程度由等待中的周边环境确定。

图11以比较方式表示温度为23℃、室内环境为60％的相对湿度时的柔性基板的尺寸情况，40％的相对湿度、20％的相对湿度、以及不吸湿的场合(在不吸湿的干燥状态下保管或等待时间为零的场合)的模式。

如果室内环境为等待时间后的后处理工序，在室内环境中等待的柔性基板连续地保持其状态，造成同一条件下的基板尺寸变化，但是在其它的环境下保管的柔性基板开始后处理工序，并且造成60％的相对湿度的室内环境下的基板尺寸变化。

在图11中，如果由虚线表示的按照从后处理工序开始的时间T，确定该工序处理的柔性基板的尺寸精度，则相对按照没有等待时间而处理的柔性基板的尺寸，室内环境中等待中的，所保管的柔性基板的基板尺寸的差别为尺寸D1。同样，在40％的相对湿度下的保管的基板尺寸差别为尺寸D₂，在20％的相对湿度下的保管的基板尺寸差别为尺寸D₃。由于在等待过程中，在干燥的环境下进行保管，故可使该尺寸D₁,D₂与D₃的之间的尺寸差减小。

其结果是，由于图9所示的膨胀收缩情况，可减轻等待中的加湿造成的膨胀，形成接近没有等待时间的场合的尺寸情况的状态，可减轻等待时间的误差的影响。另外，在图10所示的切割、以及液晶注入工序中，借助作为第1次切割处理的前工序的贴合工序中的烘焙处理，和作为第2次切割处理的前工序的采用真空注入法的液晶注入处理，柔性基板基本上完全干燥。通过将上述柔性基板放置于在相应的分断处理的等待时间中干燥的环境中，可抑制柔性基板的膨胀，可将基板尺寸控制在所需的尺寸内。

作为一般的切割精度，必须要求±150μm的精度，但是如果按照前述的方式，采用本实施例，可充分地满足上述切割精度。

此外，作为使一对柔性基板的尺寸保持一致的一般的措施，例举有两块柔性基板适应周围环境、使基板尺寸的情况完全稳定的方法，在此场合，在相应的工序处理之前，要求数天的等待时间，这是不现实的。

如果采用本实施例，按照上述方式，通过对两块柔性基板进行基本上相同的、最好是相同的热处理或干燥处理，特别是最好使两块柔性基板的处理时刻保持一致，则湿度管理、温度管理容易，可灵活使用已有的工序处理、装置、生产机构，并且可以高图案精度、低成本进行制造。

按照上述方式，特别是最好采用下述方式，该方式为：使分别设置于SEG基板1和COM基板2上的柔性基板6a,6b的热处理过程保持一致，并且保持柔性基板6a,6b的干燥，以便获得SEG基板1和COM基板2之间的图案核对精度。

此外，温度过程处理和干燥过程处理在SEG基板1和COM基板2中基本上同时、最好是同时进行，由此可主动地控制两块基板的尺寸精度。

还有，在上述说明中，以举例的方式主要对绝缘膜形成工序以后的工序进行了描述，但是本柔性液晶显示板的制造方法不仅适合于绝缘膜形成工序之后的工序，而且还适合于其之前的工序，比如滤色片形成工序或透明电极形成工序。

比如，在图1所示的本实施例的简单矩阵型液晶显示板中，仅仅在COM基板2上形成滤色片11。该滤色片11由对应于RGB的各种颜色的滤色部、设置于该滤色部中的各种颜色的图案之间的遮光性的黑色矩阵部构成。在此场合，比如在塑料基板6b上，在吸收或遮挡紫外线的各种颜色的滤色部上制作图案，之后在形成有该滤色部的塑料基板6b上，通过丝网印刷法等方式，设置构成黑色矩阵部的包含感光性树脂组成物的感光性树脂材料，比如感光性黑色墨等，接着对上述塑料基板6b进行预烘焙(热处理)，形成黑色墨层。

在此场合，由于上述滤色片11仅仅形成于COM基板2上，故上述预烘焙为对于SEG基板1来说不是必要的工序。但是，按照上述的方式，如果仅仅对其中一个基板进行伴随有基板的收缩的处理，则在两块基板之间产生尺寸误差，图案核对精度变差。于是，同样在绝缘膜形成工序之前的工序中，在与绝缘膜形成工序之后的工序相同，对其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的场合，无论另一块基板是否必须进行上述的处理，还对该另一块基板进行与对上述其中一块基板所进行的处理相同类型的处理，此情况在提高图案核对精度，制造优质品率高的柔性液晶显示板的方面是重要的。

此外，在上述说明中，对滤色片11中的黑色矩阵的形成的一部分进行了说明，但是在采用比如感光性树脂利用颜料分散法或颜料分散膜转印法、印刷法等，形成滤色部的场合，也产生相同的问题。还有，除了上述场合之外，在采用比如光硬化性树脂形成壁状的间隔件，以代替上述间隔件5的场合，也产生相同的问题。于是，在上述处理中，对应于所需的图案，在形成图案时，在必须对其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的的场合，也对另一块基板进行与对上述其中一块基板所进行的处理相同类型的处理。

还有，作为上述图案，除了形成上述的透明电极7a,7b，滤色片11，绝缘膜8，定向膜9a,9b以外，还可形成虚滤色片，膜厚度高差调节膜，光刻膜，透明导电膜，半导体膜，吸收过滤层，金属导电膜，金属反射膜，多层反射膜，金属掩模，反射层，可视光遮光膜，着色膜，透明膜，白色系扩散反射膜，底涂膜，气体阻挡膜，罩面膜，扩散反射膜，壁状间隔件等的对应于用途的所需的各种图案。

再有，采用本实施例的柔性液晶显示板的制造方法而制造的图1所示的柔性液晶显示板为在SEG基板1上设置绝缘膜8的结构，但是也可为在COM基板2上设置绝缘膜的结构。在此场合，在绝缘膜形成工序时，SEG基板1与COM基板2的处理内容是相反的。

另外，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，采用将间隔件散布于SEG基板1中、在COM基板2上进行密封材料的印刷的方式，但是也可与此相反，在SEG基板1上进行密封材料的印刷、将间隔件散布于COM基板2中。在此场合，基板的贴合工序时的SEG基板1与COM基板2的制造工序是相反的。

此外，在本实施例中，形成于各基板(SEG基板1,COM基板2)上的图案作为透明电极7a,7b，但是显然并不限于此情况，形成于SEG基板1和COM基板2这两块基板上的图案的组合也可为比如透明电极布线图案/滤色图案或有源元件图案(TFT等)/彩色图案等。

还有，在上述的说明中，主要对简单矩阵型液晶显示板的结构进行了描述，但是本实施例的柔性液晶显示板不限于简单矩阵型液晶显示板，其可适合用于下述柔性液晶显示板的全部制造，在该柔性液晶显示板中，在采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板的全部、即图案的形成时，仅仅对一对基板中的其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理，基板的尺寸产生误差。

另外，就本实施例的柔性液晶显示板的制造方法来说，本发明适合用于将形成有图案的大尺寸的基板贴合之后按照显示板尺寸切割的方法，但是本发明也可适合用于将形成有图案的大尺寸的基板贴合、在制造一块大尺寸的显示板的场合。同样在此场合，可获得与以高尺寸精度形成的相同的效果。

下面对本实施例的柔性液晶显示板的制造系统的一个实例进行描述。

图12表示贴合工序中的柔性液晶显示板的制造系统(生产线)。在该生产线上，并排地设置有SEG基板1用的线(基板传送部)与COM基板2用的线(基板传送部)。在SEG基板1用的线上设置有承载装置21a，间隔件散布装置22(处理机构)，加热装置23a(热处理机构(处理机构))。另外，在COM基板2用的线上设置有承载装置21b，密封材料印刷装置24(处理机构)，加热装置23b(热处理机构(处理机构))。在该生产线上分别并排地设置(并设)承载装置21a与承载装置21b，间隔件散布装置22与密封材料印刷装置24，加热装置23a与加热装置23b。另外，相对加热装置23a行走的SEG基板1，与相对加热装置23b行走的COM基板2通过贴合装置25(处理机构)贴合。

在采用上述制造系统的柔性液晶显示板的制造中，在研磨后的清洗之后，将经充分地干燥而没有膨胀的SEG基板1和COM基板2送到该生产线上。此时，由于SEG基板1与COM基板2在相对的并排的两列线上行走，故它们按照同一时刻送到各装置上，在同一湿度环境下，并且同时进行相同的加热处理，实现贴合。由此，由于可控制SEG基板1与COM基板2的膨胀收缩的时间因素造成的误差，故可以更高的精度使SEG基板1与COM基板2这两块基板的尺寸精度保持一致，另外图案核对精度也提高。

图13表示本实施例的柔性液晶显示板的制造系统(生产线)的另一种结构。

图13所示的制造系统具有下述结构，在该结构中，加热处理后的干燥工序(加热和冷却)也保持一致，实现自动化、生产线化，在图12所示的生产线的间隔件的散布装置22和密封材料印刷装置24的前面，从上游侧设置有研磨后清洗装置30(处理机构)，加热装置27(干燥处理机构(热处理机构，处理机构))，冷却装置28(干燥处理机构(热处理机构，处理机构))，分配装置29，以代替承载装置21a,21b，在加热装置23a,23b与贴合装置25之间设置有冷却装置26a,26b(热处理机构，处理机构)。

在上述生产线中，研磨后的清洗液的干燥工序中所采用的干燥处理机构(加热干燥用的干燥处理机构)由加热装置27与冷却装置28构成，采用分配装置29，将前后的工序直接连接。另外，贴合工序中的COM基板2的整平和SEG基板1的加热处理中所采用的热处理机构由加热装置23a,23b与冷却装置26a，26b构成。

在研磨后，清洗完毕的SEG基板1和COM基板2通过加热装置27进行加热干燥，接着，通过冷却装置28冷却到规定的温度，之后将SEG基板1和COM基板2分开，将它们供给间隔件散布装置22与密封材料印刷装置24。在相应的处理后，通过加热装置23a,23b，对SEG基板1和COM基板2这两块基板进行加热处理，然后，两块基板通过冷却装置26a,26b冷却到规定的温度，同时供给贴合装置25。

由于采用图13所示的制造系统，不仅使加热、干燥的时刻保持一致，而且可使从研磨后的清洗到贴合的期间的一对基板的处理环境完全保持一致，可进一步主动地对图案尺寸精度进行控制。

另外，在图13中，从便于描述的方面来说，形成了下述结构，在该结构中，对应于图6的流程图，通过一条生产线进行研磨后的清洗和清洗后的干燥处理，在干燥之后，将SEG基板1和COM基板2分开，但是显然也可形成下述结构，在该结构中，包含图中未示出的研磨定向处理、直到间隔件散布、密封材料印刷之前的工序也通过分别对应于SEG基板1和COM基板2的2条生产线进行。由此，可更加容易地对包含等待时间的SEG基板1和COM基板2的两块基板的制造环境进行管理。

此外，在间隔件散布的处理节拍与密封材料印刷的处理节拍不保持一致的场合，在相应的处理装置的下游侧，设置有暂时存储基板用的图中未示出的暂存装置，通过进行使加热装置23a,23b的送入时刻保持一致的基板传送控制，可保持图案尺寸精度，并且还可提高生产装置的对应性。

还有，在图13中，形成下述结构，在该结构中，研磨后的清洗液的干燥工序中所采用的干燥处理机构由加热装置27与冷却装置28构成，但是按照前述的方式，也可包括下述结构，在该结构中，具有减压干燥的干燥用装置，比如图中未示出的真空干燥机等的减压装置，以代替加热装置27和冷却装置28。同样在该场合，也可形成下述结构，在该结构中，作为上述干燥用装置，采用分配装置29，将SEG基板1与COM基板2分配给间隔件散布装置22与密封材料印刷装置24，还可形成下述结构，该结构由并排设置于分别与SEG基板1和COM基板2相对应的2条生产线上的一对干燥用装置构成。

再有，上述的图12和图13表示本实施例的柔性液晶显示板的制造系统中的从研磨后的清洗到贴合的工序的生产线，但是本实施例的柔性液晶显示板的制造系统的结构不限于此情况。

另外，在将基板传送给加热装置下游侧的处理装置的场合，仅仅设置有1个加热装置，设置分配装置和用于暂时存储基板的暂存装置，也可使送入下游侧的处理装置的基板的时刻保持一致，还可采用可同时处理两块基板的大型的加热装置，以代替上述的加热装置23a,23b。

下面参照图14和图15，对本实施例的柔性液晶显示板的制造系统中的上述SEG基板1和COM基板2的基板传送控制的一个实例进行描述。

图14为基板传送控制的上述制造系统的方框图。

SEG基板1的制造线由基板承载装置或具有基板传送通路的传送装置31，33(基板传送机构，第1基板传送部)，以及串联的处理装置32,34构成，各处理装置32,34通过传送装置31,33连接。该传送装置31将SEG基板1投入(送入)处理装置32，传送装置33从处理装置32取出SEG基板1，将该SEG基板1送入处理装置34。

COM基板2的制造线由基板承载装置或具有基板传送通路的传送装置35，37(基板传送机构，第2基板传送部)，以及串联的处理装置36,38构成，各处理装置36,38通过传送装置35,37连接。传送装置35将COM基板2送入处理装置36，传送装置37从处理装置36取出COM基板2，将COM基板2送入处理装置38。该处理装置32,34,36,38表示沿上述柔性液晶显示板的制造工序的任意的处理装置，比如加工处理装置，加热装置，冷却装置，减压装置等。

上述各处理装置32,34,36,38和传送装置31,33,35,37包括作为由程序装置等形成的控制装置，比如PLC(programmable logic controller：可编程逻辑控制器)41～48,SEG基板制造线和COM基板制造线中的各处理装置32,34,36,38与传送装置31,33,35,37中的相应的接收装置的控制通过在各PLC之间接收信号(基板送入可能信号)而进行。

为此，在SEG基板1和COM基板2中，为了使送入并排的处理装置的时刻，比如将SEG基板1送入处理装置32的时刻与将COM基板2投入处理装置36的时刻，以及将SEG基板1送入处理装置34的时刻与将COM基板2送入处理装置38的时刻保持一致，上述制造系统形成下述的结构，在该结构中，通过信号线连接传送装置31与传送装置35，以及传送装置33与传送装置37，在各传送装置31,35之间，并且在传送装置33,37之间可接收基板送入用的基板送入可能信号。

由此，上述SEG基板1和COM基板2根据上述PLC41～48的控制，通过各传送装置31,33,35,37，按照送入各处理装置32,34,36,38的时刻保持一致的方式控制。

图15为表示上述制造系统中的基板传送控制的流程的说明图，该图15以通过图14的各处理装置32,34,36,38进行加工处理的场合为例，表示从SEG基板制造线中的处理装置朝向处理装置34的SEG基板1的传送，以及从COM基板制造线中的处理装置36朝向处理装置38的COM基板2的传送之间的关系。

SEG基板1在步骤(下面简称为“S”)1，送入处理装置32，在S2通过处理装置32进行加工处理，之后排放给作为下一工序的处理装置34。COM基板2在S11，与S1的时刻相同，送入处理装置36，在S12，通过该处理装置36进行加工处理，之后排放给作为下一工序的处理装置38。

在S2经规定的加工处理的SEG基板1在S3通过传送装置33从处理装置32中送出，暂时地存储(S4)。另一方面，在S2经规定的加工处理的COM基板2在S13通过传送装置37，从处理装置36中送出，暂时地存储(S14)。

如果在传送装置33中，SEG基板1处于存储状态，并且接收可从作为SEG基板1的传送前面的处理装置的处理装置34接纳的信号，则判定处理34处于可接纳状态(S5)，相对COM基板制造线一侧的传送装置37，发送表示可向处理装置34送入基板的可送入基板信号(S6)。在S5,SEG基板1处于存储状态，并且未确认可从作为SEG基板1传送前面的处理装置的处理装置34接纳的信号的场合，返回到S4，进行SEG基板1的存储，直至确认SEG基板1的存储，以及可从处理装置34接纳的信号。

同样，如果在传送装置37中，COM基板2处于存储状态，并且接收可从作为COM基板传送前面的处理装置38接纳的信号，则判定处理装置38处于可接纳状态(S15)，相对SEG基板制造线一侧的传送装置33，发送表示可向处理装置38送入基板的可送入基板信号(S16)。在S15，在COM基板2处于存储状态，并且未确认(接收)可从作为COM基板2传送前面的处理装置的处理装置38接收的信号的场合，返回到S14，进行COM基板2的存储，直至确认COM基板2的存储与可从处理装置38接纳的信号。

如果传送装置33在S6发送表示可将基板送入处理装置34的可送入基板信号，并且接收表示来自传送装置37的可向处理装置38送入基板的可送入基板信号，则判定处理装置34,38均处与可送入基板的状态(S7)，向处理装置34送入SEG基板1(S8)，通过该处理装置34进行加工处理(S9)。

另一方面，在S6表示可向处理装置34送入基板的可送入基板信号的发送，以及表示来自传送装置37的可向处理装置38送入基板的可送入基板信号的接收中的任何一个均未进行的场合，返回到S4，进行SEG基板1的存储，直至处理装置34,38均处于可送入基板的状态。

即，上述传送装置33以处理装置34的可接纳的信号与处理装置38的可送入基板的信号这两个信号的接收为条件，将SEG基板1送入处理装置34。

同样，如果传送装置37在S16发送表示可向处理装置38送入基板的可送入基板的信号，并且接收来自传送装置33的可向处理装置34送入基板的可送入基板的信号，则判定处理装置34,38均处于可送入基板的状态(S17)，将COM基板2送入处理装置38(S18)，通过该处理装置38进行加工处理(S19)。

另一方面，在S16，表示可向处理装置38送入基板的可送入基板信号的发送，以及表示来自传送装置33的可向处理装置34送入基板的可送入基板信号的接收中的任何一个均未进行的场合，返回到S14，进行COM基板2的存储，直至处理装置34,38均处于可送入基板的状态。

即，上述传送装置37以处理装置38的可接纳的信号与处理装置34的可送入基板的信号这两个信号的接收为条件，将COM基板2送入处理装置38。通过以上的控制，可同时地将SEG基板1和COM基板2分别送入处理装置34、处理装置38。

按照上述方式，在上述的柔性液晶显示板的制造系统中，分别具有通过传送装置31,33进行的传送的SEG基板制造线，与通过传送装置35进行的传送的COM基板2制造线，按照相应的制造线可通过PLC41,43,45,47与PLC42,44,46,48分别独立地进行控制，在上述两块基板中相对应的处理，比如相同的处理分别在基本上相同的、最好是相同的时刻开始的方式，分别对朝向上述SEG基板制造线中的各处理装置32,34的传送时刻，以及对COM基板制造线中的各项处理36,38的传送时刻进行控制，由此可容易地将SEG基板1和COM基板2的尺寸误差控制在所需的范围内。

另外，作为上述处理装置32,34,36,38，如前面的图12或图13所示，上述间隔件散布装置22，密封材料印刷装置24，加热装置23a，加热装置23b，冷却装置26a，冷却装置26b等的，任何一种处理装置均可采用。比如，在上述处理装置32为间隔件散布装置22的场合，作为处理装置34采用加热装置23a，作为处理装置36采用密封材料印刷装置24，作为处理装置38采用加热装置23b。

此外，作为上述处理装置32,34,36,38，也可为设置于图12或图13中的生产线的上游侧的处理装置，作为上述处理装置32,34,36,38，可采用比如滤色片形成用的装置，透明电极形成用的装置，绝缘膜形成用的装置，定向膜形成用的装置，定向处理用的装置等的，各种处理装置(处理机构)。

还有，在上述生产线中，各处理装置和传送装置为通过进行信号的发送接收、分别通过相应的控制装置进行控制的结构，但是，也可为下述结构，在该结构中，通过比如CPU(central processing unit：中央运算处理单元)等的控制装置，从总体上对全部处理装置和传送装置进行控制。

再有，在图12和图13所示的柔性液晶显示板的制造系统中，对于对两块基板的膨胀收缩情况有较大影响的加热与冷却处理，采用下述的结构，在该结构中，同时对两块基板进行相同的处理，进行在两块基板中不伴随有加热的不同的处理，此时相对应的工序处理同时进行，但是为了使处理环境相同，也可采用下述结构，在该结构中，在对其中一块基板进行仅仅在其中一块基板上进行的处理时，对另一块基板，在与该处理环境相同的方式设定的处理环境下，相同地进行传送与等待处理。此外，在此场合，上述系统采用下述处理装置，该处理装置包括处理室与等待室，该处理室与等待室按照下述方式局部地隔绝，该方式为：相对其中一块基板进行的处理不针对另一块基板进行，并且在处理室与等待室之间具有可实现热移动的连通部，该处理装置还可具有下述结构，在该结构中，两块基板可在处理室和等待室中、基本上同时地、最好是同时地传送，可基本上相同地设定两块基板的处理环境，即两块基板的膨胀收缩情况。但是，在进行这样的处理时，如图12与图13所示，通过同时进行相应的必要的处理，可缩短处理时间。

按照上述方式，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述的柔性液晶显示板的制造方法，在该方法中，在由有机材料形成柔性基板上将形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的场合，无论另一块基板是否必须进行上述的处理，还对该另一块基板进行上述的处理，即进行与对上述其中一块基板所进行的处理相同类型的处理。

另外，作为对基板造成膨胀或收缩的处理，处理本身指对基板造成膨胀或收缩的处理，即处理本身指对基板造成吸湿、放湿或变性的处理。具体来说，指热处理，干燥处理，清洗处理等，特别以造成柔性基板收缩的热处理、干燥处理为对象。另外，上述方法特别适合于热处理中的烘焙等，对基板造成不可逆的收缩，形成图案用的处理。在对上述的其中一块基板进行对基板造成不可逆的收缩、形成图案用的热处理，比如烘焙处理的场合，同样对另一块基板进行对基板造成不可逆的收缩，作为烘焙的热处理，即在高于干燥用的热处理的温度下的热处理，由此，也使另一块基板产生不可逆的收缩，可防止仅仅一块基板收缩，这样便抑制两块基板的尺寸的误差，可使图案核对精度提高。

因此，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法具体来说涉及下述方法，在该方法中，在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理的场合，无论另一块基板是否必须进行热处理，仍对该另一块基板进行热处理。

另外，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法具体来说涉及下述方法，在该方法中，在要求尺寸精度的特定处理工序之前，对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板，分别进行干燥处理。要求尺寸精度的特定处理工序具体指贴合工序。即，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述方法，在该方法中，在制造以塑料等的有机材料为基板的液晶显示板中，在对两块基板进行相同的干燥处理后，将两块基板贴合。

作为上述热处理，比如烘焙，整平或干燥用的热处理等以必须进行加热的处理为对象，但是比如象简单矩阵型液晶显示板中的绝缘膜形成工序的烘焙或贴合工序中的密封材料印刷后的整平等那样，通常在进行以仅仅在其中一块基板上必须进行的、但是伴随有不可逆的收缩的图案形成为目的的热处理的场合，是特别有效的。

此外，上述干燥处理即可为比如通过加热的干燥，也可为真空干燥等的通过减压的干燥。此外，在本实施例中，由于生产工艺中的条件上的限制，对在贴合前的密封材料印刷工序或间隔件散布工序前进行上述干燥处理的方法进行了描述，但是如果没有生产工艺上的限制，通过尽可能地在贴合工序期间(快进行之前)进行干燥，没有干燥后的周围环境产生的吸湿的影响，可使图案核对精度进一步提高。

按照上述方法，由于可在两块基板中使基板的膨胀收缩情况保持一致，故可在两块基板中使基板整体的尺寸变化保持一致，无论采用大尺寸的基板制造多个柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量的比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。

还有，在上述方法中，不必改变两块基板的基板结构，另外，以单独地对由有机材料形成的柔性基板进行传送加工为基本内容。即，不属于在可保持精度的基体上形成塑料薄膜等之后、进行传送加工的方法。为此，可适合采用针对基本的处理的流程或相应的处理，以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等，作为构成上述制造线的各处理装置，可转用已有设计的玻璃用制造装置，无需新的工艺开发、装置开发。

为此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以较低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好对上述其中一块基板与另一块基板所进行的热处理或干燥处理的处理条件按照两块基板的尺寸误差位于所需的范围内的方式设定。由此，可抑制两块基板之间的尺寸精度的误差，可容易地使形成于上述各基板上的规定图案保持一致。

由有机材料形成的柔性基板的膨胀收缩率由供给该柔性基板的热量确定。即，时间的因素与温度的因素对基板尺寸造成较大影响。由此，最好上述热处理对上述一对基板，按照最终提供基本上相同的热量的设定进行加热。

因此，本收缩率的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述柔性液晶显示板的制造方法，在该方法中，在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定的图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，最好按照上述一对基板中的一块基板与另一基板的温度处理过程基本上相同、最好相同的方式，对两块基板进行基本上相同的、最好相同的热处理。

由于上述一对基板包括由有机材料形成的柔性基板，故在热处理工序时，特别是在进行以滤色片形成工序，绝缘膜形成工序，贴合工序等中的烘焙等的图案形成为目的的热处理的场合，该对基板对应于由该热处理工序提供的热的状态而收缩，但是由于在分别对该对基板进行加工处理时，对两者进行基本上相同、最好是相同的热处理，故该对基板的温度处理过程是相同的。其结果是，由于热处理工序中的两块基板的收缩度均相同，故在基板贴合时，在基板之间不产生尺寸精度的误差，可容易地使形成于各基板上的规定图案保持一致。此外，即使在比如上述一对基板为大尺寸的基板，使两块大尺寸基板贴合，之后将其切割为各液晶显示板的情况下，与上述的效果相同，获得可容易地使形成于各基板上的规定的图案保持一致的效果。

换言之，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好按照两块基板的热处理过程基本上相同、最好相同的方式，进行对两块基板的热处理控制，另外，最好对上述一对基板进行下述热处理，在该热处理中，上述一对基板中的其中一块基板的膨胀收缩情况与另一块基板的膨胀收缩情况基本上相同、最好相同。

此外，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述柔性液晶显示板的制造方法，在该方法中，在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，最好对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行的热处理按照基本上相同、最好是相同的温度分布图进行。

由于在比如绝缘膜形成工序、贴合工序等中，在进行上述热处理时，使施加于一对基板上的总热量保持一致，使热处理的温度分布图基本上相同，使两块基板的尺寸收缩量保持一致，由此可保持两块基板的核对精度。

作为使两块基板的温度分布图基本上相同、最好相同，对两块基板进行基本上相同、最好相同的热处理的简便方法，例举有对上述其中一块基板与另一块基板，按照相同的设定条件进行热处理方法。在此场合，通过采用相同种类的、最好相同类型的处理装置，以相同的设定具体进行热处理，可更加严格地对上述其中一块基板的温度分布图与另一块基板的温度分布图进行管理。其结果是，可容易地使上述其中一块基板的热处理过程与另一块基板的热处理过程基本上保持一致，另外，可容易地使施加到两块基板上的总热量，进而使两块基板的尺寸收缩量保持一致。由此，可抑制两块基板之间的尺寸精度误差，可容易地使形成于上述各基板上的规定图案保持一致。

还有，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理时，还对另一块基板进行热处理。由此，可抑制因热造成的基板收缩的时间因素而形成的误差。其结果是，可以较高的精度使两块基板贴合，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板。特别是，由于上述热处理，其中特别是造成基板的不可逆的收缩原因的热处理对两块基板基本同时、最好同时开始，故可相对热处理后的吸湿等造成的基板的膨胀，对于两块基板，膨胀收缩情况的起始线对齐，可容易地将两块基板的尺寸的误差控制在所需的范围内。

因此，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，特别是最好针对上述一对基板进行的热处理基本上同时、最好同时进行。

特别是，通过对一对基板同时进行热处理，可更加严格地抑制因热造成的基板收缩的时间因素而产生的误差。于是，严格地控制尺寸变化的过程，可以更高的精度使两块基板贴合。由此，可以更加高的图案精度制造柔性液晶显示板。

再有，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述柔性液晶显示板的制造方法，在该方法中，在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，最好在贴合之前，具体来说，在贴合前的密封材料印刷工序或间隔件散布工序之前，对上述一对基板这两者进行基本上相同的、最好相同的干燥处理。

另外，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法涉及下述柔性液晶显示板的制造方法，在该方法中，在由有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，特别是最好在对上述各基板进行的各项处理工序之前，具体来说在透明电极形成工序，绝缘膜形成工序，定向膜形成工序，贴合工序之前，对上述一对基板这两者进行基本上相同的、最好相同的干燥处理。

特别是，在比如使一对基板贴合的处理工序之前，通过对两块基板进行相同的干燥处理，可防止由有机材料吸湿而产生的柔性基板的膨胀。于是，在保持柔性基板的干燥状态下，可使在尺寸上没有误差的基板之间贴合。由此，可以较高的精度使形成于各基板上的规定图案保持一致，将基板贴合。另外，即使在比如上述一对基板为大尺寸的基板，使两块大尺寸的基板贴合，之后将其切割为各液晶显示板的情况下，与上述的效果相同，获得可以较高的精度使形成于各基板上的规定图案保持一致、使基板贴合的效果。

为了对上述两块基板，进行基本上相同的的干燥处理，比如在上述干燥处理中，最好采用相同的设定条件，特别最好相同种类的、尤其是相同类型的装置，以相同的设定条件进行干燥处理。如果上述一对基板的处理环境基本上相同，由于对上述其中一块基板与另一块基板进行基本上相同的干燥处理、最好相同的干燥处理，故可使两块基板之间的干燥程度基本上相同、最好相同。其结果是，可减轻吸湿造成的两块基板的膨胀影响，可在两块基板的尺寸精度的误差受到抑制的状态下，使两块基板贴合。

此外，为了将伴随上述干燥处理的基板的收缩造成的两块基板的尺寸的误差控制在所需范围内，例举有下述方法，在该方法中，比如上述干燥处理，针对上述其中一块基板与另一块基板，在各基板返回到吸收造成的膨胀之前的原始尺寸的处理条件下进行。

因此，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法也可为下述方法，在该方法中，上述干燥处理在下述处理条件下进行，该处理条件指上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀前的原始尺寸的处理条件。由此，可容易地使两块基板的尺寸精度基本上保持一致、最好保持一致。

上述各基板可通过下述方式容易返回到原始尺寸，该方式为：上述一对基板中所采用的柔性基板在下述温度下，至少进行热处理达一定时间以上，即达下述时间，该温度指相对按照吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸不收缩的方式，对应于该柔性基板中所采用的有机材料的种类而设定的温度，该时间指按照预先该柔性基板返回到原始尺寸的方式，对应于该柔性基板中所采用的有机材料的种类而设定的时间。另外，上述柔性基板，比如通过处于减压状态达一定时间以上，容易干燥、收缩，而返回原始尺寸。

因此，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法也可为下述方法，在该方法中，对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行的干燥处理是通过加热进行的，并且在特定的温度条件下，进行加热干燥达一定时间以上。换言之，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法也可为下述方法，在该方法中，在不对上述一对基板造成不可逆的的温度条件下，连续进行加热直至上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。

还有，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法也可为下述方法，在该方法中，对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行的干燥处理通过减压的方式进行，并且在特定的减压条件下，进行减压干燥达一定时间以上。换言之，本实施例的柔性液晶显示板的制造方法也可为下述方法，在该方法中，使上述一对基板处于(保管)减压环境下，直至上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。

对于上述的任何一种方法，均可通过对两块基板进行完全干燥的方式，使吸湿、干燥而发生变化的基板尺寸收缩到此刻的基板的原始尺寸，可使尺寸的误差达到最小。另外，处理时间根据加热温度或压力等的处理环境设定。

再有，由于通过减压进行上述的干燥处理，不产生加热造成的基板本身的收缩(变性)，相对吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸，基板不收缩，故容易对基板的尺寸变化进行控制，可容易地使上述两块基板返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。于是，可容易地消除两块基板之间的误差。

另外，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好当对上述一对基板中的其中一块基板进行干燥处理时，还对另一块基板进行干燥处理。

由此，可抑制因干燥处理造成的基板收缩的时间因素而产生的误差，进而抑制因干燥处理后的吸湿造成基板膨胀的时间因素而产生的误差，可以更高的精度使两块基板贴合。特别是，由于使造成基板的原始尺寸的恢复的干燥处理在两块基板上基本上同时，最好同时开始，故可相对干燥处理后的吸湿等造成的基板的膨胀，在两块基板中，将膨胀收缩情况的起始线对齐，可将两块基板的尺寸误差控制在所需的范围内。其结果是，可以更高的精度，使两块基板贴合，可以更高的图案精度，制造柔性液晶显示板。

由此，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，特别是最好对上述一对基板进行的干燥处理基本上同时、最好同时进行。

特别是，通过对一对基板同时地进行干燥处理，可更加严格地抑制因吸湿造成的基板膨胀的时间因素而产生的误差。于是，可严格地控制尺寸变化的过程，可以更高的精度使两块基板贴合。由此，可以更高的图案精度制造柔性液晶显示板。

此外，在本实施例中，由于对应于在以塑料等的有机材料作为基板的液晶显示板的制造过程中所施加的热与吸湿造成的基板的尺寸变化，保持贴合的一对基板的图案核对精度，故使上述一对基板进行的加热处理相同，并且将相同的干燥处理与制造工艺组合。

具体来说，在图1所示的柔性液晶显示板的制造方法中，象前述那样，按照施加到作为柔性基板的塑料基板6a,6b上的热处理造成的收缩和吸湿造成的膨胀的尺寸变化在SEG基板1与COM基板2之间一致的方式，相同地对这两块基板进行热处理和干燥处理。由此，可以较高的精度，制造采用大尺寸的基板的获得多块的柔性液晶显示板，以及大型尺寸的柔性液晶显示板。

在此场合，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好按照设定的时间，进行对上述一对基板进行的热处理，干燥处理，以及液晶板制造用的加工处理(比如研磨处理，贴合等)。

按照上述方法，通过按照程序控制的时间，进行对一对基板所进行的生产流程上的热处理，干燥处理，以及液晶板制造用的加工处理，还可经常控制加热后的冷却造成的基板缩小的时间变化，以及干燥后的周围环境下的吸湿造成的基板膨胀的时间变化，可消除基板尺寸的时间因素造成的误差。于是，可经常严格地对一对基板的尺寸进行控制，可以更高的精度对两块基板进行控制。由此，可容易地并且以良好的优质品率制造柔性液晶显示板。

还有，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好在进行制造该柔性液晶显示板用的各项处理时，在发生处理等待时间的场合，在处理等待期间、在保持在一定干燥状态的环境下，即在可保持一定的干燥状态的环境下保管上述其中一块基板与另一块基板，特别是最好在处理等待时，在经常保持在一定的干燥状态的环境下，保管上述两块基板。

按照上述方式，通过下述方式，可将两块基板的尺寸误差控制在所需的范围内，该方式为：将因制造过程中，比如在滤色片形成工序，透明电极形成工序，绝缘膜形成工序，定向膜形成工序，定向处理工序，贴合工序，第1次切割工序，液晶注入密封工序，第2次切割工序等、滞留等因素而等待下一工序的基板，保管于保持在一定的干燥状态的环境下，抑制吸湿造成的基板的膨胀。

按照上述的方法，通过下述方式，可防止上述基板于处理等待中从周边气氛吸湿，该方式为：在制造过程中，因滞留等因素而等待下一工序的基板保管于保持在一定的干燥状态的环境下，具体来说保管于保持在湿度小于20％的环境下。于是，可抑制吸湿造成的基板的膨胀，可将制造过程中的基板的尺寸精度的误差保持在所需的范围内。由此，可省略比如多余的干燥处理工序。

还有，在比如上述一对基板为大尺寸的基板，使两块基板贴合，之后将其切割为各液晶显示板的情况下，也不必按照已有的方式，在进行切割时，为了确定切割位置，考虑吸湿的差异，针对所贴合的每块基板测定图案尺寸。由此，可以较高的图案精度，较高的生产率，制造柔性液晶显示板。

特别是，通过在处理等待中，经常将两块基板保管于干燥状态的环境下，可防止上述两块基板在处理等待中，从周边气氛中吸湿。于是，由于可将制造工序中的基板的尺寸误差经常保持在允许范围内，故可省略多余的干燥处理工序。另外，即使在比如上述一对基板为大尺寸的基板，使两块大尺寸的基板贴合，之后将其切割成各液晶显示板的情况下，可防止在使两块大尺寸的基板贴合时，两块大尺寸的基板之间的尺寸误差，另外也不必在进行切割时，为了确定切割位置，而考虑吸湿的差异，针对所贴合的每块大尺寸的基板，测定图案尺寸。由此，可以更高的图案精度，较高的生产效率，制造柔性液晶显示板。

再有，在本实施例的柔性液晶显示板的制造方法中，最好为了制造柔性液晶显示板，对上述其中一块基板与另一块基板共同地进行的各种处理分别基本上同时、特别是最好同时开始。

按照上述方法，为了制造该柔性液晶显示板，在共同地对上述其中一块基板与另一块基板进行的各项处理，比如上述热处理或干燥处理，以及清洗处理，定向膜形成处理等的加工处理，特别是在柔性液晶显示板的制造过程中，共同地对上述其中一块基板与另一块基板进行的、伴随有基板的尺寸变化的一系列的处理在上述其中一块基板与另一块基板中基本上同时、最好在1分钟内、特别是最好同时开始，由此，可在两块基板中，针对每个处理工序，使膨胀收缩情况的起始线对齐，并且可经常对热处理后的基板的时间变化，比如加热后的冷却造成的基板的缩小的时间变化或干燥后的周围环境的吸湿造成的基板膨胀的时间变化进行控制，可消除基板尺寸的时间因素造成的误差。由此，容易对制造过程中的两块基板的膨胀收缩情况进行管理、控制，经常严格地对尺寸精度进行控制，可以更高的精度使两块基板贴合。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

另外，本实施例的柔性液晶显示板的的制造系统涉及下述柔性液晶显示板的制造系统，在该系统中，为了在上述图案形成时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理的场合，无论是否必须对另一块基板进行热处理，还对该另一块基板进行热处理，则在由有机材料形成的柔性基板上，形成有规定的图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，该制造系统形成下述结构，该结构包括传送机构，该传送机构以承载的方式传送上述其中一块基板与另一块基板；处理机构，该处理机构对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板分别进行热处理；进行上述以外的处理的机构(比如滤色片形成用的装置，透明电极形成用的装置，绝缘膜形成用的装置，定向膜形成用的装置，定向处理用的装置，贴合装置等)，该上述以外的处理对于分别在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上形成图案来说是必需的，上述各种处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置。

由于上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向按照该柔性液晶显示板的制造工序配置，故便通过沿柔性液晶显示板的制造工序依次进行处理，容易对工程管理和各种处理机构之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理与控制，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。此外，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行热处理的机构，故可共同地对上述两块基板进行热处理，可抑制因仅仅其中一块基板发生收缩而造成的尺寸精度的误差。另外，按照上述结构，由于可在两块基板中，使基板的热处理过程保持一致，故可在两块基板中，使基板整体的尺寸变化保持一致，无论采用大尺寸的基板、制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量的比如1块的大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

还有，由于采用具有上述结构的柔性液晶显示板的制造系统，制造上述柔性液晶显示板，故不必改变两块基板的基板结构，另外，由于可单独地传送加工由有机材料形成的柔性基板，故基本的处理流程或相应的处理可适合采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

为此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以较低的成本制造采用由有机材料形成的柔性基板的柔性液晶显示板。

最好上述柔性液晶显示板的制造系统还包括控制机构，该控制机构对朝向上述各种处理机构的基板传送的时刻进行控制，上述控制机构根据针对每个处理而设定的处理时间，对朝向上述各种处理机构的基板传送的时刻进行控制，并且按照基本上一致、最好一致的方式，对朝向上述各种处理机构的基板传送的时刻进行控制。

比如，上述控制机构按照分别在相同的时刻进行的方式，对两块基板进行相同的处理。另外，比如在上述柔性液晶显示板的制造系统中，通过分别使对上述其中一块基板与另一块基板进行的热处理的机构的传送时刻保持一致，按照在两块基板中基本上相同，最好相同的方式，对从热处理开始到基板处理开始的时间进行控制。

上述柔性液晶显示板的制造系统还包括下述控制机构，该控制机构对朝向上述各处理机构进行的基板传送的时刻进行控制，上述控制机构通过对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，可按照程序控制的时间进行液晶板制造的加工处理，可更加容易地对工程管理和各处理机构之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理、控制。由此，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。特别是，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括上述控制机构，故在该柔性液晶显示元件的制造过程中，共同地对上述其中一块基板与另一块基板进行的伴随有基板尺寸变化的一系列的处理可在上述其中一块基板与另一块基板中，基本上同时开始，可在两块基板中，针对每个处理工序使膨胀收缩情况的起始线对齐。另外，可经常对加热后的冷却造成的基板缩小的时间变化或干燥后的周围环境的吸湿造成基板膨胀的时间变化进行控制，可消除基板尺寸的时间因素造成的误差。由此，可容易地管理、控制制造过程中的两块基板的膨胀收缩情况，可经常严格地控制尺寸精度，可以更高的精度使两块基板贴合。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

再有，上述各处理机构、特别是作为进行上述热处理的机构，即可为沿上述其中一块基板的传送方向与另一块基板的传送方向并排设置的一对装置，也可为对两块基板同时进行的相同处理的大型装置，还可为通过分配依次进行处理、并且具有等待用的保管机构的装置。另外，上述传送机构即可为具有一对传送部、分别并排传送上述其中一块基板与另一块基板的结构，也可为共同地传送上述两块基板的结构。

其中，最好进行上述处理的机构为对上述其中一块基板与另一块基板进行热处理的热处理机构。在此场合，不必开发专用的大型的热处理装置，另外不必要求分配装置，上述热处理装置采用已有的热处理装置，可对上述两块基板进行加热。

另外，最好上述柔性液晶显示板的制造系统包括一对热处理机构，该对热处理机构至少对上述其中一块基板与另一块基板进行热处理；进行在上述其中一块基板上形成规定的图案所必需的、热处理以外的处理的机构；进行在上述另一块基板上形成规定的图案所必需的、热处理以外的处理的机构，相对应的上述各机构、即进行并行的处理或对上述其中一块基板与另一块基板进行相同处理的机构沿上述其中一块基板的传送方向与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序，按照相互对应的处理机构相对的方式分别并排设置。由此，为了制造柔性液晶显示板，而对上述其中一块基板与另一块基板共同地进行的各种处理可容易地、基本上同时、最好同时开始。

此外，在此场合，上述柔性液晶显示板的制造系统也可为下述结构，在该结构中，上述基板传送机构包括成对地并行的基板传送部(比如，基板传送通路或基板承载装置)，上述各处理机构，特别是进行热处理的机构分别设置于上述两块基板的传送部上的相对的位置。在此场合，可对上述两块基板的传送部分别进行控制，即使在对两块基板进行不同的处理的情况下，仍可使朝向下游侧的处理装置送入的时刻，即下一工序的处理的开始的时刻容易保持一致。

因此，在本实施例的柔性液晶显示板的制造系统中，最好上述基板传送机构包括传送上述其中一块基板的第1基板传送部，以及传送另一块基板的第2基板传送部，上述第1基板传送部与第2基板传送部可分别单独地控制。即，最好上述柔性液晶显示板的制造系统包括控制机构，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，该控制机构分别单独地对下述时刻进行控制，该时刻指朝向相对上述第1基板传送部的基板传送方向与上述第2基板传送部的基板传送方向、设置的各处理机构的基板传送时刻。另外，在此场合，最好按照在上述两块基板中相同的处理，至少上述热处理分别在基本上相同、最好相同的时刻开始的方式，分别对上述其中一块基板朝向各处理机构的传送时刻、与另一块基板朝向各处理机构的传送时刻进行控制。另外，最好上述控制机构按照下述方式，对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，该方式为：从热处理开始到基板处理开始的时间在两块基板中，基本上相同、最好相同。

还有，最好上述热处理机构以基本上相同的条件、最好相同的条件，对通过上述两块基板传送部传送的一对基板进行热处理。由此，可抑制两块基板的尺寸误差，可使图案核对精度提高。

再有，本实施例的柔性液晶显示板的制造系统涉及下述的柔性液晶显示板的制造系统，在该柔性液晶显示板的制造系统中，在将上述一对基板贴合之前，为了分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理，在由有机材料形成的柔性基板上使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，该制造系统包括传送机构，该传送机构以承载的方式传送上述其中一块基板与另一块基板，对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板分别进行干燥处理的机构；进行上述以外的处理的机构(比如滤色片形成用的装置，透明电极形成用的装置，绝缘膜形成用的装置，定向膜形成用的装置，定向处理用的装置贴合装置等，其中，还包括上述图案形成用的加热装置)，该上述以外的处理是在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成图案所必需，上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向、按照柔性液晶显示板的制造工序配置。

由于上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向、按照柔性液晶显示板的制造工序配置，故通过沿该柔性液晶显示板的制造工序依次进行处理，容易对工程管理、以及各处理机构之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理、控制，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。

另外，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括下述机构，该机构对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板分别进行干燥处理，故可共同地对上述两块基板进行干燥处理，可抑制伴随吸湿的基板膨胀造成的尺寸精度的误差。此外，按照上述结构，由于对上述两块基板进行干燥处理，故可在两块基板中，使基板整个的尺寸变化率保持一致，无论采用大尺寸的基板制造多块柔性液晶显示板的场合，或采用大尺寸的基板制造少量的比如1块大型的液晶显示板的场合，均可使两块基板的尺寸核对精度提高。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

此外，由于采用具有上述结构的柔性液晶显示板的制造系统制造上述柔性液晶显示板，故不必改变两块基板的基板结构，另外由于可单独地传送、加工由有机材料形成的柔性基板，故对于基本处理的流程或相应的处理，可适合采用以玻璃基板为对象而确定的设定条件、装置等。

由此，可以较高的图案精度制造柔性液晶显示板，并且可以较低的成本制造采用由有机材料形成柔性主板的柔性液晶显示板。

最好上述柔性液晶显示板的制造系统还包括下述控制机构，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，上述控制机构根据针对各项处理而预先设定的处理时间，对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，并且可按照基本上一致、最好一致的方式对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制。

比如，上述控制机构按照分别以相同的时刻，在两块基板上进行相同的处理的方式进行控制。其结果是，比如对于上述柔性液晶显示板的制造系统，提高分别使在上述其中一块基板与另一块基板中进行干燥处理的机构的传送时刻保持一致，从基板处理开始到干燥处理开始的时间按照在两块基板中，基本上相同、最好相同的的方式进行控制。

上述柔性液晶显示板的制造系统还包括下述控制机构，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送时刻进行控制，由于上述控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，故可按照程序控制的时间进行液晶板制造用的加工处理，可更加容易地对工程管理以及各处理机构之间的上述两块基板的基板膨胀的时间变化进行管理、控制。由此，可抑制两块基板的基板尺寸的时间因素造成的误差，可在保持所需的尺寸精度的同时，对上述一对基板进行加工处理。特别是，由于上述柔性液晶显示板的制造系统包括上述控制机构，故在该柔性液晶显示板的制造过程中，可使对上述其中一块基板与另一块基板共同进行的、伴随有基板的尺寸变化的一系列的处理，在上述其中一块基板与另一块基板中，按照基本上同时、最好同时的方式开始，可在两块基板中，针对每个处理工序，使膨胀收缩情况的起始线对齐。另外，可经常对干燥后的周围环境的吸湿造成的基板膨胀的时间变化进行控制，可消除基板尺寸的时间因素造成的误差。由此，容易管理、控制制造过程中的两块基板的膨胀收缩情况，经常严格地控制尺寸精度，可以更高的精度使两块基板贴合。由此，可容易地、并且以较高的优质品率制造柔性液晶显示板。

还有，作为上述各处理机构、特别是进行上述干燥处理的机构，即可为沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向并排设置的一对装置，也可为对两块基板同时地进行相同的处理的大型装置，还可为通过分配依次进行处理、并且具有等待用的保管机构的装置。另外，上述传送机构即可具有包括一对传送部、分别并排传送上述其中一块基板与另一块基板的结构，也可包括共同传送上述两块基板的结构。

其中，进行上述干燥处理的机构为对上述其中一块基板与另一块基板进行干燥处理的成对的干燥处理机构。在此场合，不必开发专用的大型的干燥处理装置，另外不必要求分配装置等，可对上述两块基板进行干燥处理。再有，最好上述柔性液晶显示板的制造系统包括至少一对干燥处理机构，该对干燥处理机构对上述其中一块基板与另一块基板进行干燥处理；进行干燥处理以外的处理的机构，该干燥处理以外的处理是在上述其中一块基板上形成规定图案所必需的；进行干燥处理以外的处理的机构，该干燥处理以外的处理是在上述另一块基板上形成规定图案所必需的相对应的上述各机构，即进行并行的处理的或对上述其中一块基板与另一块基板进行相同的处理的机构沿上述其中一块基板的传送方向与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序，按照相对应的处理机构相对的方式分别并排设置。由此，为了制造该柔性液晶显示板而对上述其中一块与另一块基板共同进行的各项处理可容易地按照基本上同时、最好同时地开始。

另外，在此场合，上述柔性液晶显示板的制造系统也可为下述结构，在该结构中，上述基板传送机构包括成对的、并行的基板传送部(比如基板传送通路或基板承载装置)，上述各处理机构，特别是热处理机构分别设置于上述两块基板传送部上的相对位置。在此场合，在可对上述两块基板传送部进行单独的控制、对两块基板进行不同的处理的情况下，仍可容易地使朝向下游侧的处理装置的送入的时刻、即下一工序的处理的开始时刻保持一致。

因此，在本实施例的柔性液晶显示板的制造系统中，最好上述基板传送机构包括传送上述其中一块基板的第1基板传送部与传送另一块基板的第2基板传送部，上述第1基板传送部与第2基板传送部可分别单独地控制。即，在上述柔性液晶显示板的制造系统中包括下述控制机构，该控制机构对朝向各处理机构的基板的传送时刻进行控制，最好上述控制机构分别单独地对下述时刻进行控制，该时刻指朝向按照与上述第1基板传送部的基板传送方向和上述第2基板传送部的基板传送方向相对的方式设置的各处理机构的基板传送时刻。另外，最好在此场合，按照对上述两块基板进行的相同处理，至少上述干燥处理分别在基本上相同、最好相同的时刻开始的方式，分别对朝向上述其中一块基板的各处理机构的传送时刻与朝向另一块基板的各处理机构的传送时刻进行控制。

此外，最好上述干燥处理机构对通过上述两块基板传送部传送的一对基板，在基本上相同的条件、最好相同的条件下进行干燥处理。由此，可抑制两块基板的尺寸误差，可使图案核对精度提高。

还有，在本实施例的柔性液晶显示板的制造系统中，最好进行上述干燥处理的机构为通过减压方式进行干燥的机构。

由于通过减压进行上述干燥处理，不产生加热造成的上述基板本身的收缩(变性)，相对吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸，上述基板不收缩，故容易对上述基板的尺寸变化进行控制，可容易地使上述两块基板返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。于是，按照上述结构，可提供下述柔性液晶显示板的制造系统，该系统容易对上述基板的尺寸变化进行控制，可容易消除两块基板之间的尺寸误差。

再有，上述柔性液晶显示板的制造系统也可包括下述结构，该结构涉及下述柔性液晶显示板的制造系统，在该系统中，按照本实施例中给出的方式，在有机材料形成的柔性基板上，使形成有规定图案的一对基板贴合而制造柔性液晶显示板，该结构包括加热机构，该加热机构在基本上相同、最好相同的条件下对上述一对基板进行加热；对上述一对基板进行干燥的干燥机构；上述液晶板制造用的加工处理机构。

在本实施例中，由于沿规定的过程依次进行处理，故可在保持所需的尺寸精度内，对一对柔性基板进行加工处理。

本发明的具体描述部分中给出的具体的实施形式或实施例用于了解本发明的内容，其不应仅仅限于这样的具体实例而进行狭义解释，在本本发明的实质和后面所述的权利要求书的范围内，可按照各种变换的方式进行实施。

Claims (47)

1．一种柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行造成基板膨胀或收缩的处理的场合，无论另一块基板是否必须进行上述处理，也对该另一块基板进行上述的处理。

2．根据权利要求1所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在相同的设定条件下对上述其中一块基板与另一块基板进行上述的处理。

3．根据权利要求1所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在对上述其中一块基板进行上述的处理时，对另一块基板进行上述的处理。

4．根据权利要求3所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述的处理在上述其中一块基板与另一块基板上基本上同时开始。

5．一种柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，在形成上述图案时，在对上述一对基板中的其中一块基板进行热处理的场合，无论另一块基板是否必须进行热处理，也对该另一块基板进行热处理。

6．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述其中一块基板与另一块基板进行的热处理的处理条件按照伴随上述热处理的基板的膨胀造成的两块基板的尺寸误差在所需的范围内的方式设定。

7．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述其中一块基板与另一块基板进行的热处理按照基本上相同的温度分布图进行。

8．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述其中一块基板与另一块基板进行基本上相同的热处理。

9．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在相同的设定条件下对上述其中一块基板与另一块基板进行热处理。

10．根据权利要求9所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，采用相同类型的装置(23a,23b,26a,26a,27,28,32,34,36,38)，在相同的设定条件下对上述其中一块基板与另一块基板进行热处理。

11．根据权利要求10所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述装置为单块板传送烘焙炉。

12．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述热处理为用于对基板造成不可逆的收缩而形成图案的热处理。

13．根据权利要求5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，当对一对基板中的其中一块基板进行热处理时，还对另一块基板进行热处理。

14．根据权利要求1～13中的任何一项所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述热处理在上述其中一块基板与另一块基板中基本上同时开始。

15．一种柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，在使上述一对基板贴合之前，分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理。

16．根据权利要求15所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述其中一块基板与另一块基板进行的干燥处理的处理条件按照两块基板的尺寸误差在所需的范围内的方式设定。

17．根据权利要求15所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述其中一块基板与另一块基板进行基本上相同的干燥处理。

18．根据权利要求15所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在相同的设定条件下对上述其中一块基板与另一块基板进行干燥处理。

19．根据权利要求18所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，采用相同类型的装置(27,28,32,34,36,38)，在相同的设定条件下对上述其中一块基板与另一块基板进行干燥处理。

20．根据权利要求1 5所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述干燥处理通过减压方式进行。

21．根据权利要求15所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述干燥处理在上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸的处理条件下进行。

22．根据权利要求21所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述干燥处理在不对上述一对基板造成不可逆的收缩的温度条件下，连续进行加热，直至上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。

23．根据权利要求22所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述有机材料为聚醚砜，上述干燥处理按照在50～80℃的范围内对上述其中一块基板与另一块基板进行加热的方式进行。

24．根据权利要求21所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述干燥处理通过下述方式进行，该方式为：将上述一对基板置于减压环境下，直至上述其中一块基板与另一块基板分别返回到吸湿造成的膨胀之前的原始尺寸。

25．根据权利要求24所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述有机材料为聚醚砜，上述干燥处理在1.33322×10³Pa以下的减压下进行。

26．根据权利要求15所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，当对上述其中一块基板进行干燥处理时，对另一块基板进行干燥处理。

27．根据权利要求1～26中的任何一项所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，上述干燥处理在上述其中一块基板与另一块基板中基本上同时开始。

28．根据权利要求1,5,15中的任何一项所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，为了制造该柔性液晶显示板而对上述其中一块基板与另一块基板共同进行的各项处理分别基本上同时开始。

29．一种柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，按照上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板的温度处理过程相同的方式对两块基板进行相同的热处理。

30．根据权利要求29所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述一对基板所进行的热处理同时进行。

31．一种柔性液晶显示板的制造方法，其中在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，在对上述各基板所进行的各项处理工序之前，对上述一对基板两者进行相同的干燥处理。

32．根据权利要求31所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，对上述一对基板所进行的干燥处理同时进行。

33．根据权利要求1,5,15,29,31中的任何一项所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在进行用于制造上述柔性液晶显示板的各项处理时，在产生处理等待时间的场合，上述其中一块基板与另一块基板保管于保持在一定的干燥状态的环境下。

34．根据权利要求1,5,15,29,31中的任何一项所述的柔性液晶显示板的制造方法，其特征在于，在进行用于制造上述柔性液晶显示板的各项处理时，在产生处理等待时间的场合，上述其中一块基板与另一块基板经常保管于干燥状态的环境下。

35．一种柔性液晶显示板的制造系统，该系统在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，该系统包括：

传送机构(31,33,35,37)，该传送机构以承载方式传送上述其中一块基板与另一块基板；

处理机构(23a,23b,26a,26b,27,28,32,34,36,38)，该机构分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行热处理；

进行上述以外的处理的机构(22,24,25,30,32,34,36,38)，该上述以外的处理对在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案是必需的；

上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置。

36．根据权利要求35所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，其还包括下述控制机构(41～48)，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制。

37．根据权利要求35所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，

上述基板传送机构包括传送上述其中一块基板的第1基板传送部与传送另一块基板的第2基板传送部；

进行上述热处理的机构为分别对上述其中一块基板与另一块基板进行热处理的至少一对加热装置；

进行在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案所必需的上述以外的处理的机构由下述装置构成，该装置包括进行对在上述其中一块基板上形成规定图案所必需的热处理以外的处理的装置，以及进行对在上述另一块基板上形成规定图案所必需的热处理以外的处理的装置；

沿上述第1基板传送部的基板传送方向与上述第2基板传送部中的基板传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序相对应的装置按照分别相对的方式并排设置。

38．根据权利要求37所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，其还包括下述控制机构(41～48)，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，上述控制机构分别单独地对下述时刻进行控制，该时刻指朝向与上述第1基板传送部中的基板传送方向和上述第2基板传送部的基板传送方向相对设置的各处理机构的基板传送时刻。

39．根据权利要求38所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，上述控制机构按照下述方式对朝向上述其中一块基板的各处理机构的传送时刻、以及朝向另一块基板的各处理机构的传送时刻进行控制，该方式为：在上述其中一块基板与另一块基板中，在基本上相同的时刻开始相同的处理。

40．根据权利要求38所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，上述控制机构按照下述方式对朝向上述各项处理的基板传送的时刻进行控制，该方式为：从热处理开始到基板处理开始的时间在两块基板中基本上是相同的。

41．根据权利要求35所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，进行上述热处理的机构为单块板传送烘焙炉。

42．一种柔性液晶显示板的制造系统，该系统在由有机材料形成的柔性基板(6a,6b)上，使形成有规定图案(7a,7b,8,9a,9b)的一对基板(1,2)贴合而制造柔性液晶显示板；

其特征在于，该系统包括：

传送机构(31,33,35,37)，该传送机构以承载方式传送上述其中一块基板与另一块基板；

处理机构(27,28,32,34,36,38)，该机构分别对上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板进行干燥处理；

进行上述以外的处理的机构(22,23a,23b,24,25,26a,26b,30,32,34,36,38)，该上述以外的处理对在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案是必需的；

上述各处理机构沿上述其中一块基板与另一块基板的传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序配置。

43．根据权利要求42所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，该系统还包括下述控制机构(41～48)，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制。

44．根据权利要求42所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，

上述基板传送机构包括传送上述其中一块基板的第1基板传送部与传送另一块基板的第2基板传送部；

进行上述干燥处理的机构为分别对上述其中一块基板与另一块基板进行干燥处理的至少一对装置；

进行对在上述一对基板中的其中一块基板与另一块基板上分别形成规定图案所必需的上述以外的处理的机构由下述装置构成，该装置包括进行对在上述其中一块基板上形成规定图案所必需的干燥处理以外的处理的装置，以及进行对在上述另一块基板上形成规定图案所必需的干燥处理以外的处理的装置；

沿上述第1基板传送部的基板传送方向与上述第2基板传送部中的基板传送方向，按照该柔性液晶显示板的制造工序相对应的装置按照分别相对的方式并排设置。

45．根据权利要求44所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，该系统还包括下述控制机构(41～48)，该控制机构对朝向上述各处理机构的基板传送的时刻进行控制，上述控制机构分别单独地对下述时刻进行控制，该时刻指朝向与上述第1基板传送部中的基板传送方向和上述第2基板传送部的基板传送方向相对设置的各处理机构的基板传送时刻。

46．根据权利要求45所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，上述控制机构按照下述方式对朝向上述其中一块基板的各处理机构的传送时刻、以及朝向另一块基板的各处理机构的传送时刻进行控制，该方式为：在上述其中一块基板与另一块基板中，在基本上相同的时刻开始相同的处理。

47．根据权利要求42所述的柔性液晶显示板的制造系统，其特征在于，进行上述干燥处理的机构为通过减压方式进行干燥的机构。

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