CN103715136A - 柔性显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开柔性显示装置的制造方法。公开的柔性显示装置的制造方法包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的基板组装体的柔性基板上形成显示单元；分离柔性基板和载体基板。根据这种制造方式，在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行，据此可提高生产率，还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。

Description

柔性显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及柔性显示装置的制造方法，尤其涉及能够防止基板的弯曲变形的柔性显示装置的制造方法。
背景技术
如同有机发光显示装置的显示装置在驱动特性上能够实现薄型化以及柔性化，因此对这种显示装置进行着诸多研究。
最近，显示单元形成于柔软的柔性基板上的柔性显示装置逐渐受到关注。
在制造这种柔性显示装置时，通常通过如下方式进行制造：在坚硬的载体基板上涂布诸如聚酰亚胺的柔性材料而形成柔性基板，并在该柔性基板上形成显示单元之后，最后分离载体基板和柔性基板。
然而，如此地分离出载体基板和柔性基板时，薄的柔性基板受到压缩应力而不能平坦地舒展，因此导致频繁地发生柔性基板弯曲的情况。这样一来，在后续工序中将会难以取放产品，因此要求提供对此的解决方案。
发明内容
本发明的实施例提供一种被改善为分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象的柔性显示装置的制造方法。
本发明的实施例提供的柔性显示装置的制造方法包括如下步骤：准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内；对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元；分离所述柔性基板和所述载体基板。
在进行所述热处理的步骤中，所述热风可沿着层叠于各层的所述基板组装体的柔性基板的板面形成层流而经过。
在进行所述热处理的步骤中，可分阶段地提高所述热风的温度。
所述热风的温度可按照小于150℃的第一阶段和150℃以上且小于300℃的第二阶段以及300℃以上的第三阶段来分阶段地上升。
所述柔性基板可包括聚酰亚胺材料，所述载体基板可包括玻璃材料。
还可包括在分离柔性基板和载体基板之后，对所述柔性基板进行再加热的后处理步骤。
所述后处理步骤可包括将热源直接接触到所述柔性基板的直接加热步骤和将所述柔性基板在高温氛围下放置预定时间的间接加热步骤中的任意一个。
在所述直接加热步骤中，可以将柔性基板放置到被加热至50～150℃的热板上且放置1～10分钟。
在所述间接加热步骤中，可以将所述柔性基板放置于温度维持在50～150℃的烤箱内且放置1～5分钟。
在分离出所述载体基板和所述柔性基板之后确认到所述柔性基板的弯曲时，选择进行所述后处理步骤。
如上所述，根据本发明的柔性显示装置的制造方法，在分离载体基板和柔性基板之后也能够抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行，据此可提高生产率，还可以降低在处理过程中可能发生的产品被损伤的危险。
附图说明
图1为示出利用本发明的实施例提供的制造方法制造的柔性显示装置的剖面图。
图2a至图2g为示出图1所示的柔性显示装置的制造过程的图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施例。
图1示出利用本发明的一实施例提供的制造方法制造的柔性显示装置。
如图所示，本实施例的柔性显示装置由依次层叠有聚酰亚胺材料的柔性基板11和呈现图像的显示单元20以及密封所述显示单元20的包封基板30的结构构成。即，实现了使用极薄的聚酰亚胺材料的柔性基板11和由薄膜构成的包封基板30来代替以往的又厚又硬的玻璃基板而密封显示单元20的柔性结构。
因此，与用厚的玻璃基板来上下包围显示单元20的以往的典型的结构相比，柔软性得到了极大的提高，而且在屏幕被弯曲的状态下也能够进行显示。
但是，这种柔性基板11由于其柔软的特性，不容易操控，因此在制造过程中与玻璃材料的坚硬的载体基板12形成基板组装体10而一同被移送，最终形成至包封基板30之后才使其相互分离。
所述显示单元20为包括薄膜晶体管（未图示）和发光层（未图示）等而呈现图像的单元，在此简单地表示为显示单元20。
而且，所述包封基板30为具有防止水分从外部渗透的防水性的层，例如可以由Sio/SiN的多层膜和透明聚酰亚胺层叠的薄膜层构成，而且由于是薄膜层，因此其厚度不过才1～10μm。
如上所述的结构的柔性显示装置可通过如下工艺制造。
首先，准备玻璃材料的玻璃基板12，并在其上表面涂布聚酰亚胺，以形成柔性基板11。这样一来，如图2a所示，形成柔性基板11粘贴于载体基板12之上的基板组装体10。
然后，将如此地形成的多个基板组装体10在如图2b所示的加热炉100内层叠为多个层。在该加热炉100内，被热风机110加热的热风H形成循环。即，从热风机110排出的热风H一边通过热风喷射管120和热风流入管130喷射而流入，一边循环，此时，热风H在层叠于各个层的基板组装体10的平面上形成层流的同时流过该平面。因此，位于各个层的单个基板组装体10的各个部位也可以形成均匀的热处理，且各个层可以进行均匀的热处理。如果不是形成这种层流，而是变成形成对流的状态，则单个基板组装体10的各个部位也有可能无法较好地形成均匀的热处理，而且每个层被加热的程度会发生较大的偏差。但是，如同本方式那样，对位于各层的每个基板组装体10使热风H形成层流而加热时，如上所述，在单个基板组装体10上各个部位也能够形成均匀的热处理，且各个层也能够进行均匀的热处理。如此地在加热炉100内执行热处理时，各个基板组装体10的柔性基盘11的热膨胀系数也会在各个部位上变得均匀，且位于各层的若干柔性基板之间的热膨胀系数的偏差也会被缩小。据此，通过均匀的热处理，使得内部应力减小，于是最后分离出载体基板12之后，柔性基板11被弯曲的现象也会减少，而且，使得整体上所有的基板组装体10的柔性基板11具备几乎近似的热膨胀系数，因此也将有利于设定分离作业的条件，以避免最后容易发生弯曲。
此时，如果突然喷射非常高的温度的热风，则聚酰亚胺材料的柔性基板11有可能产生气泡，因此优选为分阶段地提高热风的温度。例如优选为以如下方式调节热风温度：首先喷吹温度小于150℃的热风，以使涂布聚酰亚胺时被包含进去的溶媒蒸发（第一阶段加热），然后喷吹温度为150℃以上且小于300℃的热风，使聚酰亚胺完全干燥（第二阶段加热），最后喷吹温度为300℃以上的热风，使聚酰亚胺形成热稳定，且具备均匀的热膨胀系数（第三阶段加热）。其中，优选地，第一阶段加热（小于150℃）执行100～150分钟，第二阶段加热（150℃以上且小于300℃）执行100～150分钟，第三阶段加热（300℃以上）执行90～120分钟，但本发明并不局限于此。
如此地完成热处理之后，如图2c所示，在柔性基板11上形成显示单元20。
然后，如图2d所示，继续在显示单元20上形成包封基板30而密封显示单元20。
接着，如图2e所示，分离载体基板12和柔性基板11，此时例如从载体基板12侧向整个面照射紫外线激光时，在玻璃材料的载体基板12和聚酰亚胺材料的柔性基板11之间的临界面将会根据两个层之间的热分解而发生分离。据此，如图所示，载体基板12被分离，柔性基板11保留为基底基板。此时，柔性基板11变成为内部应力根据前述的热处理而被消除的状态，且变成各个部位以及各个单体的热膨胀系数变得均匀的状态，因此，将大幅减少分离出载体基板12之后柔性基板11因应力而变弯曲的现象。而且，由于经热处理的所有的基板组装体10的状态变得均匀，因此也容易设定紫外线激光的照射条件，以使分离作业进行得顺畅。
但是，即便进行过如此的热风热处理，在分离出载体基板12之后也有可能发生轻微的弯曲。如果该弯曲的程度属于在之后的工序中对于操控基板11并不会成为问题的程度，则无关紧要，但是如果超过该程度，则进行追加的后处理步骤。
所述后处理步骤可在将热源直接接触到柔性基板11的直接加热步骤和将柔性基板11在高温氛围下放置预定时间的间接加热步骤中选择任意一个步骤而进行。
所述直接加热步骤为如图2f所示地将柔性基板放置到被加热的热板200上进行加热以消除应力的步骤，将热板200加热至约50～150℃之后将柔性基板11放置在该热板上，且放置1～10分钟。这样，弯曲的柔性基板11的内部应力被消除的同时柔性基板11也能够舒展为平坦的状态。
所述间接加热步骤为如图2g所示地将柔性基板11放置于温度维持在约50～150℃的烤箱300内且放置1～5分钟的步骤，同样地，据此，弯曲的柔性基板11的内部应力被消除的同时柔性基板11也能够舒展为平坦的状态。
通过如此的制造方式，可以实现被柔软的柔性基板11和包封基板30包围的柔性显示装置。
并且，如上所示，通过利用了加热炉100和热板200以及烤箱300的热处理而消除了柔性基板11的内部应力，从而可以解决在分离出载体基板12之后柔性基板11发生弯曲等问题，据此使得在操控柔性基板11的过程中发生产品不良的可能性也大幅减少。
因此，如果利用以上说明的制造方法，在分离载体基板和柔性基板之后，也可以抑制柔性基板发生弯曲的现象，因此可以使后续工序顺畅地进行。据此可提高生产率，还可以降低在操控过程中可能发生的产品被损伤的危险。
本发明将附图中图示的一实施例作为参考进行了说明，但这仅仅是示例，对于本领域中具有通常的知识的技术人员而言，应当知道由此可以得出各种变形和等同的其他实施例。因此，本发明的真正的保护范围应当根据权利要求书来确定。

Claims (10)

1.一种柔性显示装置的制造方法，包括如下步骤：
准备柔性基板形成于载体基板的基板组装体；
将准备的多个所述基板组装体分为多层装载至加热炉内；
对于在所述加热炉内层叠为所述多层的各个基板组装体，沿水平方向喷吹热风而进行热处理；
在经热处理的所述基板组装体的所述柔性基板上形成显示单元；
分离所述柔性基板和所述载体基板。
2.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其中，在进行所述热处理的步骤中，所述热风沿着层叠于各层的所述基板组装体的柔性基板的板面形成层流而经过。
3.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其中，在进行所述热处理的步骤中，分阶段地提高所述热风的温度。
4.如权利要求3所述的柔性显示装置的制造方法，其中，所述热风的温度按照小于150℃的第一阶段和150℃以上且小于300℃的第二阶段以及300℃以上的第三阶段来分阶段地上升。
5.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其中，所述柔性基板包括聚酰亚胺材料，所述载体基板包括玻璃材料。
6.如权利要求1所述的柔性显示装置的制造方法，其中，还包括在分离柔性基板和载体基板之后，对所述柔性基板进行再加热的后处理步骤。
7.如权利要求6所述的柔性显示装置的制造方法，其中，所述后处理步骤包括将热源直接接触到所述柔性基板的直接加热步骤和将所述柔性基板在高温氛围下放置预定时间的间接加热步骤中的任意一个。
8.如权利要求7所述的柔性显示装置的制造方法，其中，在所述直接加热步骤中，将柔性基板放置到被加热至50～150℃的热板上且放置1～10分钟。
9.如权利要求7所述的柔性显示装置的制造方法，其中，在所述间接加热步骤中，将所述柔性基板放置于温度维持在50～150℃的烤箱内且放置1～5分钟。
10.如权利要求6所述的柔性显示装置的制造方法，其中，在分离出所述载体基板和所述柔性基板之后确认到所述柔性基板的弯曲时，选择进行所述后处理步骤。
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