KR20010017250A - 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치 - Google Patents

공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치 Download PDF

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KR20010017250A
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이정준
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구본준
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Abstract

본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치는 공정장비(33) 안으로 투입될 기판을 적재한 카세트(CST1,CST2,CST3)가 위치하는 기판 투입용 카세트 안착부(100)와; 공정장비(33)로부터 취출되는 기판을 받아들이는 카세트(CST6,CST7)가 위치하는 기판 취출용 카세트 안착부(300)와; 기판 투입용 카세트 안착부(100)와 기판 취출용 카세트 안착부(300) 사이에 위치하도록 설치되어, 기판 투입을 완료한 빈 카세트(CST4,CST5)를 기판 취출용 카세트 안착부(300)로 전달시키는 카세트 전달 장치(200)를 포함하여 이루어진다. 기판 투입용 카세트 안착부(100)에서 사용한 빈 카세트를, 종래기술과 달리 카세트 반송차로 취출하지 않고, 인라인(in-line)화 하여 기판 취출용 카세트 안착부(300)에서 활용토록 하는 것이 본 발명의 특징이며, 따라서, 카세트 반송차의 카세트 반송 회수가 감소하여, 카세트 반송차의 부하율이 감소하고, 장비의 택트시간(tact time)이 감소하며, 생산성이 향상된다.

Description

공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치{IN-LINE APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING A GLASS SUBSTRATE WITH RESPECT TO AN EQUIPMENT}
본 발명은 기판에 특정공정을 수행하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 기판을 공정장비에 투입하고 취출하는 장치에 관한 것이다.
노트북 컴퓨터 및 휴대용 텔레비전 등에 평판형 표시장치로서 널리 이용되는 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 및 다른 여러 장치를 생산하는 공정에서 유리기판과 같은 기판이 이용되며, 기판을 공정장비에 투입하거나 취출하는 장치가 필요하다. 그 일례로서 박막트랜지스터 액정표시장치의 생산라인을 설명하면 다음과 같다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 스토커(stocker)(7,8)에 저장된 기판이 담겨진 실 카세트 또는 비어있는 공 카세트를 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle, AGV)와 같은 카세트 반송차(cassette Transfer Vehicle, CTV)(9)가 전달 받아, 각 단위 공정장비별로 공정이 끝난 기판 투입부 또는 취출부(glass loading or unloading port)로부터 받은 신호의 순서대로 필요한 카세트를 공급한다. 도면에 나타낸 바와 같이, 공정의 흐름을 살펴보면, 스토커(7)에서 카세트 반송차(9)에 의해 반출된 실 카세트는 제1 및 제2공정장비(1,2)로 투입되고, 제1 및 제2공정장비(1,2)에서 공정이 끝난 공 카세트는 선로(10) 위를 달리는 카세트 반송차(9)에 의해 각각 제3 및 제4공정장비(3,4)로 투입되어 다음 공정을 시작하게 되고, 제3공정장비(3)에서 공정이 끝난 카세트는 제5공정장비(5)로 이송되며, 제4공정장비(4)에서 공정이 끝난 카세트는 제6공정장비(6)로 카세트 반송차(9)에 의해 이송된다. 제5 및 제6공정장비(5,6)에서 공정이 끝나면 다시 카세트 반송차(9)에 의해 스토커(8)로 이동하여 단위 라인의 공정을 마치고 다음 단위 라인으로 공급되어 진다.
공정장비 별로 카세트의 반송경로를 살펴보면 도 2에 나타낸 바와 같이 구성되어져 있다. 카세트 반송차(9)에 의해 기판 투입용 카세트 안착부(15)의 각 기판 투입부(glass loading port)로 투입된 실 카세트(CST1,CST2)는 안착된 후 기판 투입용 로봇에 의해 카세트(CST1,CST2) 상에 위치한 기판(22)을 낱장으로 공정장비의 투입구로 투입하게 된다. 카세트(11)에 저장된 기판이 모두 투입되어 공 카세트가 되면 카세트 반송차(CTV)의 제어장치로 신호를 보내 가장 가까이 있는 카세트 반송차(CTV)가 기판 투입부 상에 남아 있는 공 카세트(11)를 취출하고 새로운 실 카세트(CST1,CST2)를 안착시키도록 구성되어져 있다.
기판 취출용 카세트 안착부(16)도 마찬가지로 카세트 반송차(CTV)에 의해 투입된 공 카세트(CST3,CST4)가 안착되고 공정을 거친 낱장의 기판(23)이 공정의 끝부분에 오면 기판 취출용 로봇에 의해 취출되어, 기판 취출부(glass unloading port)에 안착된 공 카세트(CST3,CST4)에 낱장으로 공급되어 진다.
하나의 카세트에 기판(23)이 모두 공급되어 지면 카세트 반송차(CTV)의 제어장치로 신호를 보내 가장 가까이 있는 카세트 반송차(CTV)가 각 기판 취출부상에 남아 있는 실 카세트(CST3,CST4)를 취출하고 새로운 공 카세트를 안착시키도록 구성되어져 있다.
이러한 종래의 공정장비로의 기판 투입 및 취출 장치는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 각 안착부의 포트(port) 별로 카세트의 투입 및 취출이 각각 개별적으로 이루어짐으로 인해 제한된 공간에 있는 카세트 반송차용 동선의 배치가 복잡해진다.
둘째, 관리하는 포트의 증가로 카세트 반송차의 부하율이 증가하여 생산성 향상에 한계가 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 극복하기 위한 것으로, 카세트 반송차의 카세트 반송 회수가 감소하여, 카세트 반송차의 부하율이 감소하고, 장비의 택트시간(tact time)이 감소함으로서, 생산성이 향상된 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치는 공정장비 안으로 투입될 기판을 적재한 카세트가 위치하는 기판 투입용 카세트 안착부와, 상기 공정장비로부터 취출되는 기판을 받아들이는 카세트가 위치하는 기판 취출용 카세트 안착부와, 상기 기판 투입용 카세트 안착부와 상기 기판 취출용 카세트 안착부 사이에 위치하도록 설치되어, 기판 투입을 완료한 상기 기판 투입용 카세트 안착부에 있는 빈 카세트를 상기 기판 취출용 카세트 안착부로 전달시키는 카세트 전달 장치를 포함하여 이루어진다.
본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치는 상기 기판 투입용 카세트 안착부에서 사용한 빈 카세트를, 종래기술과 달리 카세트 반송차로 취출하지 않고, 인라인(in-line)화 하여 상기 기판 취출용 카세트 안착부에서 활용토록 한다. 따라서, 카세트 반송차의 카세트 반송 회수가 감소하여, 카세트 반송차의 부하율이 감소하고, 장비의 택트시간(tact time)이 감소하며, 생산성이 향상된다.
도 1은 종래의 박막트랜지스터 액정표시장치의 생산라인을 나타낸 개략도이다.
도 2는 도 1의 공정장비별로 나타낸 도면으로서, 카세트의 반송과 기판이 공정장비에 투입되고 취출되는 과정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 공정장비에 대한 기판의 투입 및 취출을 위한 인라인 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치의 전체 구성을 나타낸 평면도 및 단면도이다.
도 5는 본 발명의 기판 투입용 카세트 안착부를 상세히 나타낸 측 단면도이다.
도 6은 본 발명의 기판 취출용 카세트 안착부를 상세히 나타낸 측 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치의 전체 개념도이다. 도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치는 공정장비(33)의 기판 투입구(31) 앞에 위치하며, 투입구(31)를 통해 공정장비(33) 안으로 투입될 기판을 적재한 카세트(CST1, CST2, CST3)가 안착되는 기판 투입용 카세트 안착부(100)와; 기판 취출구(32) 앞에 위치하며 취출구(32)를 통해 공정장비(33)로부터 취출되는 기판을 받아들이는 카세트(CST6, CST7)가 안착되는 기판 취출용 카세트 안착부(300)와; 기판 투입용 카세트 안착부(100)와 기판 취출용 카세트 안착부(300) 사이에 위치하며 기판 투입을 완료한 기판 투입용 카세트 안착부(100)에 있는 빈 카세트(CST4, CST5)를 기판 취출용 카세트 안착부(300)로 전달시키는, 콘베이어와 같은, 카세트 전달 장치(200)로 구성된다.
기판 투입용 카세트 안착부(100)는 카세트 투입부(A)와, 카세트 버퍼부(B)와, 기판 투입부(C)로 나뉘며, 카세트 전달장치(200)는 기판 투입용 카세트 안착부(100) 쪽의 제1 카세트 전달부(D)와 기판 취출용 카세트 안착부(300) 쪽의 제2 카세트 전달부(E)로 나뉘고, 기판 취출용 카세트 안착부(300)는 기판 취출부(F)와, 카세트 취출부(G)로 나뉜다.
무인 반송차와 같은 카세트 반송차(cassette transfer vehicle, CTV)는, 선로(40)를 따라 이동하면서 기판이 채워진 실 카세트(CST1)를 기판 투입용 카세트 안착부(100)의 카세트 투입부(A)로 투입하며, 기판 취출용 카세트 안착부(300)의 카세트 취출부(G)로부터 빈 카세트(CST7)를 취출한다. 기판이 채워진 실 카세트(CST1)가 카세트 투입부(A)에 투입되면, 아래에 설명될 카세트 이동장치에 의해 카세트 버퍼부(B)를 거쳐 기판 투입부(C)로 이동한다. 실 카세트(CST3)가 기판 투입부(C)에 안착되면, 공정장비(33)로의 기판 투입이 시작되고, 기판 투입이 완료되어 빈 카세트가 되면, 종래기술과 달리, 카세트 반송차(CTV)로 취출되지 않고 카세트 전달장치(200)에 의해 기판 취출용 카세트 안착부(300)의 기판 취출부(F)로 전달된다. 기판 취출부(F)에 안착된 빈 카세트(CST6)는 공정이 끝난 기판을 공정장비(33)로부터 받아들여 기판으로 완전히 채워지면 카세트 취출부(G)로 이동한 후 카세트 반송차(CTV)에 의해 취출되게 된다.
본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치는 기판 투입용 카세트 안착부(100)에서 사용한 빈 카세트를, 종래기술과 달리 카세트 반송차(CTV)로 취출하지 않고, 인라인(in-line)화 하여 기판 취출용 카세트 안착부(300)에서 활용토록 한다. 따라서, 카세트 반송차의 카세트 반송 회수가 감소하여, 카세트 반송차의 부하율이 감소하고, 장비의 택트시간(tact time)이 감소하며, 생산성이 향상된다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인장치의 전체 구성을 나타낸 평면도 및 단면도이고, 도 5는 기판 투입용 카세트 안착부(100)를 상세히 나타낸 측 단면도이며, 도 6은 기판 취출용 카세트 안착부(300)를 상세히 나타낸 측 단면도이다.
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 투입용 카세트 안착부(100)는 기본틀(40)과, 기본틀(40)에 고정된 직선형 안내부(41)와, 기본틀(40)에 고정된 모터(42)와, 모터(42)와 축결합된 안내나사(lead or guide screw)(43)와, 안내나사(43)의 회전에 따라 안내나사(43)의 축방향으로 움직일 수 있도록 설치된 투입부 카세트 이동장치(44)로 구성된다.
투입부 카세트 이동장치(44)는 안내나사(43)와 연결되어 안내나사(43)의 회전에 의해 안내나사(43)의 축방향에 평행한 방향으로 움직이는 안내나사 연결부(45)와, 안내나사 연결부(45)에 의해 지지되는 평판형 이동 받침대(46)와, 평판형 이동 받침대(46) 위에 설치되는 공기실린더(47,47') 및 부시(bush)(48,48')와, 공기실린더(47)에 의해 상하로 움직일 수 있도록 설치된 제1 및 제2 카세트 받침대(51,52)와, 평판형 이동 받침대(46)와 직선형 안내부(41)를 연결하는 안내연결부(49)와, 카세트 받침대(51,52) 위에 각각 설치되는 카세트 위치 결정 핀(53,53')으로 구성된다. 또한, 카세트를 카세트 투입부(A), 카세트 버퍼부(B), 및 기판 투입부(C) 각각에 고정시키는 제1, 제2, 및 제3 카세트 고정부(61,62,63)가 기본틀(40)에 고정되도록 설치되며, 각 카세트 고정부(61,62,63)는 카세트 밑면의 네 모서리에 대응하도록 네 개씩 형성된다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 취출용 카세트 안착부(300)는 기본틀(70)과, 기본틀(70)에 고정된 직선형 안내부(71)와, 기본틀(70)에 고정된 모터(72)와, 모터(72)와 축결합된 안내나사(lead or guide screw)(73)와, 안내나사(73)의 회전에 따라 안내나사(73)의 축방향으로 움직일 수 있도록 설치된 취출부 카세트 이동장치(74)로 구성된다.
취출부 카세트 이동장치(74)는 안내나사(73)와 연결되어 안내나사(73)의 회전에 의해 안내나사(73)의 축방향에 평행한 방향으로 움직이는 안내나사 연결부(75)와, 안내나사 연결부(75)에 의해 지지되는 평판형 이동 받침대(76)와, 평판형 이동 받침대(76) 위에 설치되는 공기실린더(77) 및 부시(78)와, 공기실린더(77)에 의해 상하로 움직일 수 있도록 설치된 카세트 받침대(81)와, 평판형 이동 받침대(74)와 직선형 안내부(71)를 연결하는 안내연결부(79)와, 카세트 받침대(82) 위에 설치되는 카세트 위치 결정 핀(83)으로 구성된다. 또한, 카세트를 카세트 취출부(F) 및 기판 취출부(G) 각각에 고정시키는 제4 및 제5 카세트 고정부(91,92)가 기본틀(70)에 고정되도록 설치되며, 각 카세트 고정부(91,92)는 카세트 밑면의 네 모서리에 대응하도록 네 개씩 형성된다.
본 발명의 동작을 이전의 도면과 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 카세트 검출기(도면에 나타내지 않음)에 의해 카세트 투입부(A)에 카세트가 있는지 여부가 확인(S1)되며, 없을 경우(아니오)에 기판으로 채워진 카세트(CST1)가 카세트 반송차(CTV)로부터 카세트 투입부(A)로 투입되며(S2), 카세트 투입부(A)에 있는 제1 카세트 고정부(61) 위에 안착되어진다.
이어서, 카세트 검출기에 의해 카세트 버퍼부(B)에 카세트(CST2)가 있는지 여부가 확인되고(S3), 카세트가 없을 경우(아니오), 카세트 투입부(A)에 있는 카세트(CST1)가 카세트 이동장치(44)에 의해 카세트 버퍼부(B)로 옮겨지며(S4), 그 세부동작은 다음과 같이 이루어진다. 우선, 모터(42)가 회전되고, 이에 따라 안내나사(43)가 회전하게 되어, 카세트 이동장치(44)가 도면상 왼쪽으로 이동하게 된다. 이에 따라, 카세트 이동장치(44)의 제1 카세트 받침대(51)가 카세트 투입부(A)에 완전히 위치하게 되면, 제1 카세트 받침대(51)와 연결된 공기실린더(47)가 상승하게 되고, 카세트 위치 결정핀(53)이 카세트(CST1)의 밑부분에 삽입된 상태로 카세트(CST1)의 밑면과 제1 카세트 받침대(51)의 상면이 접하게 되고, 이 접한 상태로, 카세트(CST1)의 밑면이 제1 카세트 고정부(61)의 상면 보다 높아질 때까지 공기 실린더(47)가 계속 상승한다. 그 상태에서, 즉, 카세트(CST1)가 좌우로 움직일 수 있는 위치까지 카세트(CST1)가 상승한 상태에서, 모터(42)의 회전에 의해 카세트 이동장치(44)가 도면상 오른쪽으로 움직이게 된다. 카세트(CST2)가 카세트 버퍼부(B)에 완전히 위치하게 되면, 공기 실린더(47)가 하강되고, 이에 따라 카세트 받침대(51)와 카세트(CST2)가 함께 하강하며, 카세트(CST2)가 제2 카세트 고정부(62)에 접하여 안착되고, 그 시점부터, 제1 카세트 받침대(51)가 카세트(CST2)로부터 분리된 상태로 원래의 위치까지 하강하게 된다.
이어서, 카세트 검출기에 의해 카세트 버퍼부(B)에 카세트(CST2)가 있는 것이 확인되고(S5), 기판 투입부(C)에 카세트(CST3)가 있는지 여부가 확인되며(S6), 없을 경우(아니오), 카세트 버퍼부(B)에 있는 카세트(CST2)가 카세트 이동장치(44)에 의해 기판 투입부(C)로 옮겨지며(S7), 그 세부동작은 다음과 같이 이루어진다. 우선, 제1 카세트 받침대(51)와 연결된 공기실린더(47)가 상승하게 되고, 카세트 위치 결정핀(53)이 카세트(CST2)의 밑부분에 삽입된 상태로 카세트의 밑면과 제1 카세트 받침대(51)의 상면이 접하게 되고, 이 접한 상태로, 카세트(CST2)의 밑면이 카세트 고정부(62)의 상면 보다 높아질 때까지 공기 실린더(47)가 계속 상승한다. 그 상태에서, 즉, 카세트(CST2)가 좌우로 움직일 수 있는 위치까지 카세트(CST2)가 상승한 상태에서, 모터(42)의 회전과, 그에 따른 안내 나사(43)의 회전에 의해 카세트 이동장치(44)가 도면상 오른쪽으로 움직이게 된다. 카세트(CST3)가 기판 투입부(C)에 완전히 위치하게 되면, 공기 실린더(47)가 하강되고, 이에 따라 카세트 받침대(51)와 카세트(CST3)가 함께 하강하며, 카세트(CST3)가 카세트 고정부(63)에 접하여 안착되고, 그 시점부터, 제1 카세트 받침대(51)가 카세트(CST3)로부터 분리된 상태로 원래의 위치까지 하강하게 된다. 이번 단계(S7)에서 카세트가 제1 카세트 받침대(51)에 의해 카세트버퍼부(B)에서 기판 투입부(C)로 이동되었지만, 제2 카세트 받침대(52)에 의해 이동되는 것도 물론 가능하다.
이어서, 카세트(CST3)가 기판 투입부(C)에 있는 것이 카세트 검출기에 의해 확인되며(S8), 카세트(CST3)가 기판 투입부(C)의 카세트 고정부(63)에 안착되어 위치가 결정이 되면(S9), 도 4a에 나타낸 기판 투입 로봇(98)에 의해, 카세트(CST3)로부터 도 3에 나타낸 공정장비(33) 안으로 기판이 하나씩 투입되게 된다(S10). 기판의 투입이 완료되어(S11), 기판 투입부(C)에 있는 카세트(CST3)가 비게 되면, 카세트 검출기에 의해 제1 카세트 전달부(D)에 카세트가 있는지 여부가 확인되며(S12), 없을 경우(아니오), 기판 투입부(C)에 있는 카세트(CST3)가 카세트 이동장치(44)에 의해 카세트 전달장치(200)의 제1 카세트 전달부(D)로 이동되며(S13), 그 세부동작은 다음과 같이 이루어진다. 우선, 모터(42) 및 안내나사(43)의 회전에 의해 카세트 이동장치(44)를 동작시켜, 제2 카세트 받침대(52)가 기판 투입부(C)에 위치하도록 한다. 이어서, 제2 카세트 받침대(52)와 연결된 공기실린더(47')가 상승하게 되고, 카세트 위치 결정핀(53')이 카세트(CST3)의 밑부분에 삽입된 상태로 카세트(CST3)의 밑면과 제2 카세트 받침대(52)의 상면이 접하게 되고, 이 접한 상태로, 카세트(CST3)의 밑면이 카세트 고정부(63)의 상면 보다 높아질 때까지 공기 실린더(47')가 계속 상승한다. 그 상태에서, 즉, 카세트(CST3)가 좌우로 움직일 수 있는 위치까지 카세트(CST3)가 상승한 상태에서, 모터(42)의 회전과, 그에 따른 안내 나사(43)의 회전에 의해 카세트 이동장치(44)가 도면상 오른쪽으로 움직이게 된다. 카세트(CST)가 제1 카세트 전달부(D)에 완전히 위치하게 되면, 공기 실린더(47')가 하강되고, 이에 따라 카세트 받침대(52)와 카세트(CST4)가 함께 하강하며, 카세트(CST4)가 카세트 전달장치(200)의 제1카세트 전달부(D)에 안착되고, 그 시점부터, 제2 카세트 받침대(52)가 카세트(CST4)로부터 분리된 상태로 원래의 위치까지 하강하게 된다.
이어서, 카세트 검출기에 의해, 카세트(CST4)가 제1 카세트 전달부(D)에 위치된 것이 확인되고(S14), 제2카세트 전달부(E)에 카세트(CST5)가 있는지 여부가 확인되며(S15), 없을 경우, 카세트 전달장치(200)에 의해 빈 카세트(CST4)가 제1 카세트 전달부(D)에서 제2 카세트 전달부(E)로 이동한다(S16).
이어서, 카세트 검출기에 의해 카세트(CST5)가 제2 카세트 전달부(E)에 완전히 위치한 것이 확인되면(S17), 카세트 검출기에 의해 기판 취출부(F)에 카세트(CST6)가 있는지 여부가 확인되며(S18), 없을 경우, 기판 투입용 카세트 안착부(100)에서의 카세트 이동장치(54)에 의한 카세트의 이동과 마찬가지로, 카세트 이동장치(74)에 의해 제2 카세트 전달부(E)에 있는 카세트(CST5)가 기판 취출부(F)로 옮겨진다(S19). 빈 카세트(CST6)가 기판 취출부(F)의 카세트 고정부(91)에 안착된 것이 확인되고(S20), 카세트(CST6)의 위치가 결정되면(S21), 도 3에 나타낸 기판 취출용 로봇(99)에 의해 공정장비(33)로부터 하나씩 취출된 기판이 카세트(CST6)에 투입되게 된다(S22).
기판이 카세트(CST6)에 모두 채워지면(S23), 카세트 검출기에 의해 카세트 취출부(G)에 카세트(CST7)가 있는지 여부가 확인되며(S24), 없을 경우, 전술한 방법과 마찬가지로, 카세트 이동장치(74)에 의해 기판으로 채워진 카세트(CST6)가 기판 취출부(F)로부터 카세트 취출부(G)로 이동한다(S25).
이어서, 카세트 검출기에 의해 카세트(CST7)가 카세트 취출부(G)에 있는 것이 확인되면(S26), 카세트(CST7)를 카세트 취출부(G)로부터 카세트 반송차(CTV)로 취출된다(S27).
위에서 설명한 본 발명의 동작은 특정 예에 불과하며, 다른 동작도 가능하다. 그 예로, 카세트 버퍼부(B)에 카세트가 있지 않을 경우, 카세트 이동장치(44)에 의해 카세트 버퍼부(B)를 거치지 않고 카세트 투입부(A)로부터 기판 투입부(C)로 직접 이동할 수 있으며, 제1 및 제2 카세트 받침대(51,52) 각각에 카세트를 모두 실은 상태에서 카세트를 이동할 수도 있다.
본 발명에 따른 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치는 기판 투입용 카세트 안착부(100)에서 사용한 빈 카세트를, 종래기술과 달리 카세트 반송차(CTV)로 취출하지 않고, 인라인(in-line)화 하여 기판 취출용 카세트 안착부(300)에서 활용토록 한다. 따라서, 카세트 반송차의 카세트 반송 회수가 감소하여, 카세트 반송차의 부하율이 감소하고, 장비의 택트시간(tact time)이 감소하며, 생산성이 향상된다.

Claims (10)

  1. 공정장비 안으로 투입될 기판을 적재한 카세트가 위치하는 기판 투입용 카세트 안착부와,
    상기 공정장비로부터 취출되는 기판을 받아들이는 카세트가 위치하는 기판 취출용 카세트 안착부와,
    상기 기판 투입용 카세트 안착부와 상기 기판 취출용 카세트 안착부 사이에 위치하도록 설치되어, 기판 투입을 완료한 상기 기판 투입용 카세트 안착부에 있는 빈 카세트를 상기 기판 취출용 카세트 안착부로 전달시키는 카세트 전달 장치를
    포함하여 이루어진 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 투입용 카세트 안착부가
    카세트 반송차에 의해 투입된 카세트가 안착되는 카세트 투입부와,
    상기 공정장비의 투입구로 기판이 투입되는 카세트가 안착되는 기판 투입부와,
    상기 카세트 투입부와 상기 기판 투입부 사이에 위치하는 카세트 버퍼부로 나뉘는 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 카세트 전달장치가
    상기 기판 투입용 카세트 안착부 쪽의 제1 카세트 전달부와,
    상기 기판 취출용 카세트 안착부 쪽의 제2 카세트 전달부로 나뉘는 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 카세트 전달장치가 콘베이어인 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판 취출용 카세트 안착부가
    상기 공정장비로부터 취출되는 기판을 받아들이는 카세트가 안착되는 기판 취출부와,
    카세트 반송차로 취출되는 카세트가 안착되는 카세트 취출부로 나뉘는 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판 투입용 카세트 안착부가
    기본틀과,
    상기 기본틀에 고정된 직선형 안내부와,
    상기 기본틀에 고정된 모터와,
    상기 모터와 축결합된 안내나사(lead or guide screw)와,
    상기 안내나사의 회전에 따라 그 축방향으로 움직일 수 있도록 설치된 카세트 이동장치로 구성된 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 카세트 이동장치가
    상기 안내나사와 연결되어 상기 안내나사의 회전에 의해 그 축방향에 평행한 방향으로 움직이는 안내나사 연결부와,
    상기 안내나사 연결부에 의해 지지되는 평판형 이동 받침대와,
    상기 평판형 이동 받침대 위에 설치되는 제1 및 제2 공기실린더 및 제1 및 제2 부시와,
    상기 제1 및 제2 공기실린더에 의해 상하로 움직일 수 있도록 설치된 제1 및 제2 카세트 받침대와,
    상기 평판형 이동 받침대와 상기 직선형 안내부를 연결하는 안내연결부와,
    상기 두 카세트 받침대 위에 각각 설치되는 카세트 위치 결정 핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기판 취출용 카세트 안착부가
    기본틀과,
    상기 기본틀에 고정된 직선형 안내부와,
    상기 기본틀에 고정된 모터와,
    상기 모터와 축결합된 안내나사와,
    상기 안내나사의 회전에 따라 그 축방향으로 움직일 수 있도록 설치된 카세트 이동장치로 구성된 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 카세트 이동장치가
    상기 안내나사와 연결되어 상기 안내나사의 회전에 의해 그 축방향에 평행한 방향으로 움직이는 안내나사 연결부와,
    상기 안내나사 연결부에 의해 지지되는 평판형 이동 받침대와,
    상기 평판형 이동 받침대 위에 설치되는 공기실린더 및 부시와,
    상기 공기실린더에 의해 상하로 움직일 수 있도록 설치된 카세트 받침대와,
    상기 평판형 이동 받침대와 상기 직선형 안내부를 연결하는 안내연결부와,
    상기 카세트 받침대 위에 설치되는 카세트 위치 결정 핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
  10. 제2항 또는 제5항에 있어서, 상기 카세트 투입부, 카세트 버퍼부, 기판 투입부, 기판 취출부, 및 카세트 취출부 각각에 카세트를 고정시키는 카세트 고정부가 설치된 것을 특징으로 하는 공정장비에 대한 기판 투입 및 취출을 위한 인라인 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100445081B1 (ko) * 1999-12-02 2004-08-21 샤프 가부시키가이샤 플렉시블 액정표시패널의 제조방법 및 그에 사용하는플렉시블 액정표시패널의 제조시스템
KR101229669B1 (ko) * 2006-03-03 2013-02-04 황창훈 대면적 유기소자 기판의 자동로딩 및 언로딩장치

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