KR102649083B1 - 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법 - Google Patents

검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102649083B1
KR102649083B1 KR1020217023517A KR20217023517A KR102649083B1 KR 102649083 B1 KR102649083 B1 KR 102649083B1 KR 1020217023517 A KR1020217023517 A KR 1020217023517A KR 20217023517 A KR20217023517 A KR 20217023517A KR 102649083 B1 KR102649083 B1 KR 102649083B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
jig
inspection
clamping
inspection device
clamper
Prior art date
Application number
KR1020217023517A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210099157A (ko
Inventor
강명
황강조
정충민
Original Assignee
주식회사 고영테크놀러지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 고영테크놀러지 filed Critical 주식회사 고영테크놀러지
Publication of KR20210099157A publication Critical patent/KR20210099157A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102649083B1 publication Critical patent/KR102649083B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
    • G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H7/00—Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members
    • F16H7/18—Means for guiding or supporting belts, ropes, or chains
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/167—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by projecting a pattern on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/08—Testing mechanical properties
    • G01M11/081—Testing mechanical properties by using a contact-less detection method, i.e. with a camera
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08C—TRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C17/00—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link
    • G08C17/02—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link using a radio link
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B9/00—Housing or supporting of instruments or other apparatus
    • G12B9/08—Supports; Devices for carrying
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638—Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 개시의 실시예에 따른 검사 장치는 지그가 인입 및 인출 가능하고 상기 지그에 안착된 검사 대상물을 검사하도록 구성된다. 상기 검사 장치는, 상기 지그를 이동시키도록 구성된 이송부; 및 상기 지그에 접촉 및 가압 가능하게 구성되고, 클램핑 방향 및 상기 클랭핑 방향의 반대 방향인 언클램핑 방향으로 이동 가능하게 구성된 가압부를 포함하는 클램핑 구동부를 포함한다.

Description

검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법
본 개시는 대상물을 검사하는 장치, 대상물이 안착되는 지그, 대상물을 검사하는 검사 세트 및 대상물을 검사하는 방법에 관한 것이다.
각종 물품들을 제조하여 그대로 유통하거나 다른 물품과의 조립을 하는 경우에 있어서 물품(대상물)의 제조상태 또는 조립상태에 대한 검사를 수행하는 것은 제품의 신뢰성을 높이기 위해 필수적인 공정이다. 종래 물품의 검사는 육안으로 검사되어 왔으나, 최근 검사 장비를 이용하여 정밀도를 향상시키고 작업 속도를 높이는 기술이 개발되고 있다.
대상물의 종류, 형태 및 크기는 다양할 수 있다. 예를 들어, 인쇄 회로 기판(PCB, Printed Circuit Board) 등의 기판이 대상물이 될 수 있다. 기판에는 다수의 소자가 배치될 수 있다. 핀 삽입 장치가 기판 상에 형성된 복수의 홀에 복수의 핀을 삽입할 수 있다. 삽입된 핀을 통해 기판은 다른 부품과 전기적으로 연결될 수 있다.
본 개시의 실시예들은 대상물을 효율적으로 검사하는 장치 및 방법을 제공한다.
종래에는 지그가 이송 시스템(예를 들어, 볼 스크류나 벨트)에 부착되어 움직이는 구성이기 때문에, 지그를 교체할 경우 해당 지그를 검사 장치로부터 분리하는 데 상당한 노력이 소요되는 문제가 있다. 본 개시의 실시예들은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결한다.
종래에는 수작업으로 대상물을 교체하는 대상물 검사 장치에 있어서, 대상물을 정위치에 두고 대상물을 클래핑(clamping)하는 작업을 위해서, 많은 노력이 따르는 문제가 있다. 본 개시의 실시예들은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결한다.
종래에는 수작업으로 대상물을 교체하는 대상물 검사 장치에 있어서, 작업자의 안전성이 떨어지는 문제가 있다. 예를 들어, 지그가 서보모터(servomotor)에 의해 구동되는 볼 스크류(ball screw)에 올려져 이송되어, 지그 이동 시 작업자가 실수로 손 등을 지그에 부딪칠 경우 작업자가 치명상을 당할 우려가 있는 문제가 있다. 본 개시의 실시예들은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결한다.
본 개시의 일 측면은 검사 세트의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 검사 세트는, 검사 대상물이 안착 가능하도록 구성되는 지그; 및 상기 지그가 인입 및 인출 가능하고 상기 대상물을 검사하도록 구성되는 검사 장치를 포함한다. 상기 지그는, 상기 대상물이 상기 지그에 클램핑되는 클램핑(clamping) 방향으로 이동 가능하고, 상기 클램핑 방향의 반대 방향인 언클램핑(un-clamping) 방향으로 이동 가능한 클램퍼(clamper)를 하나 이상 포함한다. 상기 검사 장치는, 상기 지그를 이동시키도록 구성된 이송부; 및 상기 클램퍼에 접촉 및 가압 가능하게 구성된 클램핑 구동부를 하나 이상 포함한다.
실시예들에 있어서, 상기 지그는, 상기 클램퍼를 상기 클램핑 방향으로 가압시키는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다. 상기 클램핑 구동부는, 상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압하도록 구성된 가압부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 가압부가 상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압함으로써 상기 탄성 부재는 탄성 변형되도록 구성될 수 있다. 상기 가압부가 상기 클램핑 방향으로 이동함으로써 상기 가압부는 상기 클램퍼로부터 이격되도록 구성될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 클램핑 구동부는, 상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압하도록 구성된 가압부를 포함할 수 있다. 상기 클램퍼는, 상기 가압부와 접촉 가능한 상기 클램핑 방향의 표면을 포함하는 구동 접촉부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 지그가 상기 검사 장치에 대해 소정의 위치에 배치된 상태에서, 상기 가압부 및 상기 구동 접촉부는 서로 마주보게 구성될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 하나 이상의 클램퍼는 한 쌍의 클램퍼를 포함하고, 상기 하나 이상의 클램핑 구동부는 상기 한 쌍의 클램퍼에 대응하는 한 쌍의 클램핑 구동부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치에, 상기 지그가 상기 클램핑 방향의 수직 방향으로 인입 및 인출 가능하게 구성될 수 있다.
본 개시의 다른 측면은 검사 장치의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 검사 장치는, 지그가 인입 및 인출 가능하고 상기 지그에 안착된 검사 대상물을 검사하도록 구성된다. 상기 검사 장치는, 상기 지그를 이동시키도록 구성된 이송부; 및 상기 지그에 접촉 및 가압 가능하게 구성되고, 클램핑 방향 및 상기 클랭핑 방향의 반대 방향인 언클램핑 방향으로 이동 가능하게 구성된 가압부를 포함하는 클램핑 구동부를 포함한다.
실시예들에 있어서, 상기 이송부는 상기 지그를 상기 클램핑 방향의 수직 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 이송부는 상기 지그를 슬립 가능하게 전후 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 이송부는, 상기 지그를 지지하며 상기 지그를 후방 또는 전방으로 이동시키는 이송 벨트를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치는, 상기 이송부에 의해 상기 지그가 후방으로 이동 할 때 상기 지그의 후단에 접촉 가능하게 구성되는 스토퍼를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치는, 상기 지그가 소정 위치에 배치될 때 상기 지그를 감지하는 적어도 하나의 센서를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치는, 각각 상기 이송부를 구비하고 상기 지그의 좌우 양측의 단부가 지지되도록 구성된 한 쌍의 이송 기구; 상기 한 쌍의 이송 기구 중 적어도 어느 하나의 좌우 방향으로의 이동을 안내하는 프레임 가이드; 및 상기 적어도 어느 하나의 이송 기구의 좌우 방향으로의 이동을 위한 구동력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치는, 상기 대상물의 배치 여부를 감지하는 센서를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 검사 장치는, 상기 대상물에 삽입된 핀의 삽입 불량 여부를 검사하도록 구성될 수 있다.
본 개시의 또 다른 측면은 검사 장치용 지그의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 검사 장치용 지그는, 검사 대상물이 안착 가능하도록 구성되고, 상기 대상물을 검사하는 검사 장치에 인입 및 인출 가능하다. 상기 지그는, 상기 대상물이 클램핑되는 클램핑 방향으로 이동 가능하고, 상기 클램핑 방향의 반대 방향인 언클램핑 방향으로 이동 가능한 클램퍼; 및 상기 클램퍼의 이동 방향을 안내하는 클램핑 가이드를 포함한다. 상기 클램퍼는, 상기 대상물에 접촉 가능하게 구성되는 대상물 접촉부; 및 상기 클램퍼가 이동하기 위한 구동력을 전달 받도록 상기 검사 장치에 접촉 가능하게 구성되는 구동 접촉부를 포함한다.
실시예들에 있어서, 상기 지그는, 상기 클램퍼를 상기 클램핑 방향으로 가압시키는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 지그는, 상기 대상물의 측면에 접촉 가능하도록 구성된 가이드 월; 및 상기 대상물의 홈 또는 홀에 삽입되도록 구성된 가이드 핀을 포함할 수 있다.
본 개시의 또 다른 측면은 상기 검사 세트를 이용하는 대상물 검사 방법의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 대상물 검사 방법은, 상기 클램퍼가 상기 클램핑 방향으로 이동하여 상기 지그에 안착된 대상물이 상기 지그에 클램핑되는 클램핑 단계: 상기 이송부에 의해 상기 지그가 이동하는 제1 이동 단계; 상기 대상물을 검사하여 불량 여부를 판단하는 검사 단계; 상기 이송부에 의해 상기 지그가 이동하는 제2 이동 단계; 및 상기 클램퍼가 상기 언클램핑 방향으로 이동하여 상기 대상물이 상기 지그에 대해 언클램핑되는 언클램핑 단계를 포함한다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 대상물을 효율적이고 정확하게 검사할 수 있다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 대상물을 지그에 정위치(locating)시키는 동작과 고정(clamping)시키는 동작을 한번에 수행하여, 대상물의 로딩 작업이 원스텝(one step)으로 완료될 수 있다. 이에 따라, 대상물의 정위치 배치 및 고정 작업을 편리하게 수행할 수 있고, 대상물을 편리하게 교체할 수 있다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 서로 다른 규격의 대상물을 하나의 장치로 편리하게 검사할 수 있다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 서로 다른 규격의 지그를 하나의 장치에서 편리하게 이용할 수 있다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 지그가 이송 벨트(예를 들어, 컨베이어 벨트) 상에 올려져 이송 되어, 작업자가 실수로 지그에 부딪쳐도 지그와 이송 벨트 사이에 슬립(slip)이 발생하여 안전 사고 발생을 방지할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 대상물을 검사하는 검사 세트(1, J)의 사시도이다.
도 2는 도 1의 케이스(10) 내부의 구조를 보여주는 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 이송 기구(100A, 100B) 및 지그(J)의 사시도들이다.
도 5는 도 4의 제1 이송 기구(100A) 및 제2 이송 기구(100B) 사이의 간격이 변경된 상태의 사시도이다.
도 6은 도 4의 이송 기구(100A, 100B)에 지그(J)가 인입되기 전 상태를 보여주는 일부 사시도이다.
도 7은 도 6의 이송 기구(100A, 100B)에 지그(J)가 인입되고, 지그(J)에 대상물(B)이 안착되기 전 상태를 보여주는 일부 사시도이다.
도 8은 도 7의 이송 기구(100A, 100B)에 인입된 지그(J)에 대상물(B)이 안착된 상태를 보여주는 일부 사시도이다.
도 9는 도 8의 지그(J)의 사시도이다.
도 10 및 도 11은 도 9의 지그(J)의 분해 사시도들이다.
도 12a 및 도 12b는 도 8의 이송 기구(100), 지그(J) 및 대상물(B)을 라인 S1-S1'를 따라 자른 부분 단면도로서, 도 12a는 대상물(B)이 클램핑(clamping)된 상태를 보여주고, 도 12b는 대상물(B)이 언클램핑(unclamping)된 상태를 보여준다.
도 13 내지 도 19는 도 3의 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 중 하나(100A)를 기준으로, 한 사이클(cycle)의 검사 과정 중 기구의 동작을 보여주는 사시도들이다.
도 20은 본 개시의 일 실시예에 따른 대상물 검사 방법의 흐름도이다.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서 사용되는 "~에 기초하여"라는 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 기술되는, 결정, 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되며, 이 표현은 결정, 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 추가적인 인자를 배제하지 않는다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "전(F)", "후(R)", "좌(Le)", "우(Ri)", "상(U)", "하(D)" 등의 방향을 지칭하는 표현은 도면에 표시된 바에 따라 정의한다. 각 방향에 대한 표현은 어디까지나 본 개시가 명확하게 이해될 수 있도록 설명하기 위한 것이며, 기준을 어디에 두느냐에 따라 각 방향들을 다르게 정의할 수도 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 개시의 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 대상물을 검사하는 검사 세트(1, J)의 사시도이다. 도 2는 도 1의 케이스(10) 내부의 구조를 보여주는 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참고하여, 대상물 검사 세트(1, J)는 대상물 검사 장치(1) 및 지그(J)를 포함한다. 검사 장치(1)는 대상물을 검사하도록 구성된다. 지그(J)는 상기 대상물이 안착 가능하도록 구성된다. 검사 장치(1)는 지그(J)에 안착된 상기 대상물을 검사한다.
본 실시예에서, 검사 장치(1)는 상기 대상물에 삽입된 핀의 삽입 불량 여부를 검사한다. 이 경우, 상기 대상물은 기판(substrate)일 수 있다. 예를 들어, 상기 불량은 상기 대상물 상에 삽입되는 핀의 특성, 핀 삽입 장치의 설정 오류, 핀 삽입 장치의 기계적 유격, 결함, 대상물의 비평탄성 등으로 인하여 발생할 수 있다.
예를 들어, 외부의 핀 삽입 장치(미도시)가 대상물인 기판에 복수의 핀 삽입 공정을 수행하고, 복수의 핀이 삽입된 기판(대상물)이 검사 장치(1)로 이송될 수 있다. 검사 장치(1)는 기판에 삽입된 복수의 핀 각각의 삽입 상태를 검사할 수 있다. 검사 장치(1)는 기판에 패턴광을 조사하고, 기판에 삽입된 복수의 핀 각각으로부터 반사된 패턴광을 수신할 수 있다. 검사 장치(1)는 수신된 패턴광을 이용하여, 복수의 핀 각각의 높이, 삽입 위치 등을 측정하고, 측정 정보를 이용하여 복수의 핀 각각의 삽입 상태를 검사할 수 있다. 검사 장치(1)는 패턴광을 통해 측정된 정보를 이용하여, 상기 대상물에 삽입된 복수의 핀의 삽입 상태를 신속하고 정확하게 검사할 수 있다. 다른 실시예에서, 검사 장치(1)는 대상물의 표면을 검사하거나, 대상물에 안착된 소자의 위치를 검사하거나, 대상물에 프린팅된 도전체의 불량 여부 등을 검사할 수 있다.
지그(J)에 상기 대상물이 안착 및 분리 가능하다. 예를 들어, 검사 세트(1, J)는 대상물의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading) 등의 작업에 있어서 작업자의 핸들링(handling)이 필요한 매뉴얼(manual) 라인용 장비일 수 있다. 상기 대상물은 검사를 받기 위해 지그(J)에 안착(로딩)되고, 상기 대상물이 검사를 받은 후 지그(J)로부터 분리(언로딩)될 수 있다. 상기 대상물은 지그(J)에 클램핑될 수 있다. 상기 대상물은 지그(J)로부터 언클램핑될 수 있다.
검사 장치(1)에 지그(J)가 인입 및 인출 가능하게 구성된다. 상기 대상물의 종류나 규격 등이 달라진 경우, 지그(J)를 검사 장치(1)로부터 인출하고 달라진 대상물이 안착 가능한 다른 종류의 지그를 검사 장치(1)에 인입할 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)를 이동시킨다. 검사 장치(1)는 이송 기구(100)를 포함한다. 이송 기구(100)는 지그(J)를 이동시키도록 구성된 이송부(110)를 포함한다. 이송부(110)에 지그(J)가 올려질 수 있다.
검사 장치(1)에는 검사 전의 상기 대상물이 인입되는 투입구가 형성된다. 검사 장치(1)에는 검사 후의 상기 대상물이 배출되는 배출구가 형성된다. 본 실시예에서 상기 투입구 및 상기 배출구는 하나의 위치에 형성되나, 다른 실시예에서 상기 투입구 및 상기 배출구는 서로 다른 위치에 형성될 수 있다. 상기 투입구 및/또는 상기 배출구를 통해 지그(J)가 검사 장치(1)에 인입되거나 검사 장치(1)로부터 인출될 수 있다.
검사 장치(1)는 외관을 형성하는 케이스(10)와, 각종 정보들을 출력하는 출력부(20)와, 각종 정보들을 입력하는 입력부(30)를 포함할 수 있다. 검사 장치(1)는 통신 회로(미도시), 메모리(미도시), 광원(미도시), 이미지 센서(미도시) 및 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 검사 장치(1)에 포함된 각 구성 요소들은 서로 전기적으로 연결되어, 신호, 데이터 등을 송수신할 수 있다.
상기 통신 회로는 외부 전자 장치 또는 외부 서버와 통신을 수행할 수 있다. 상기 통신 회로는 무선 통신 또는 유선 통신을 통해서 네트워크와 연결되어 외부 전자 장치 또는 외부 서버와 통신할 수 있다. 다른 예로, 상기 통신 회로는 외부 전자 장치와 유선으로 연결되어 통신을 수행할 수도 있다.
무선 통신은, 예를 들면, 셀룰러 통신(예: LTE, LTE-A(LTE Advance), CDMA(Code Division Multiple Access), WCDMA(Wideband CDMA), UMTS(Universal Mobile Telecommunications System), WiBro(Wireless Broadband) 등)을 포함할 수 있다. 또한, 무선 통신은, 근거리 무선 통신(예: WiFi(Wireless Fidelity), LiFi(Light Fidelity), 블루투스, 블루투스 저전력(BLE), 지그비(Zigbee), NFC(Near Field Communication) 등)을 포함할 수 있다.
출력부(20)는 상기 대상물의 검사 결과 정보를 출력할 수 있다. 출력부(20)는 상기 대상물의 검사 결과 불량이라고 판단될 경우, 불량 여부를 작업자가 직접 판단할 수 있도록 불량 부분에 대한 정보를 출력할 수 있다. 상기 불량 부분에 대한 정보는, 불량 부분의 2차원 이미지, 3차원 이미지 및/또는 불량 부분의 각종 치수 정보를 포함할 수 있다.
출력부(20)는 디스플레이를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 디스플레이는 액정 디스플레이(LCD), 발광 다이오드(LED) 디스플레이, 유기 발광 다이오드(OLED) 디스플레이 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 디스플레이는 사용자에게 각종 콘텐츠(예: 텍스트, 이미지, 비디오, 아이콘, 및/또는 심볼 등)를 표시할 수 있다. 상기 디스플레이는, 터치 스크린을 포함할 수 있으며, 예를 들면, 전자 펜 또는 사용자의 신체의 일부를 이용한 터치, 제스쳐, 근접, 또는 호버링 입력 등을 수신할 수 있다.
입력부(30)는 상기 대상물이 지그(J)에 올려진 상태에서 한 사이클의 대상물 검사 과정이 시작되게 하는 시작 입력부(31)를 포함한다. 예를 들어, 시작 입력부(31)는 버튼을 포함할 수 있으나, 다이얼, 키보드, 마우스, 터치 스크린 등 알려진 다양한 방식 중 어느 한 방식으로 시작 입력부(31)가 구성될 수 있다. 입력부(30)는 키보드(32) 및 마우스(33)를 더 포함할 수 있다.
상기 한 사이클의 대상물 검사 과정은, 상기 대상물이 로딩(loading)되는 과정, 상기 대상물의 이동 및 검사 과정, 상기 대상물이 언로딩(unloading)되는 과정을 포함할 수 있다. 상기 한 사이클의 대상물 검사 과정은 상기 로딩되는 과정 후에 지그(J)에 대한 상기 대상물의 클램핑 과정을 더 포함할 수 있다. 상기 한 사이클의 대상물 검사 과정은 상기 로딩되는 과정 전에 지그(J)에 대한 상기 대상물의 언클램핑 과정을 더 포함할 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.
상기 제어부는 컴퓨터 등의 프로세서를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 프로세서는 CPU, 마이크로컨트롤러(MCU) 등을 포함할 수 있다. 상기 제어부는 입력부(30)를 통해 입력된 정보를 기초로 검사 장치(1)를 작동시킬 수 있다. 상기 제어부는 각종 센서를 통해 감지된 정보를 기초로 검사 장치(1)를 작동시킬 수 있다. 상기 제어부는 후술하는 이미지 센서를 통해 감지된 정보를 기초로 검사 장치(1)를 작동시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 대상물의 검사와 관련된 프로그램을 처리할 수 있다. 상기 제어부는 처리된 각종 정보가 출력되도록 출력부(20)를 제어할 수 있다. 상기 제어부는 후술하는 모터나 공압 실린더 등의 각종 구동부를 동작하게 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 광원은 상기 대상물에 패턴광을 조사할 수 있다. 상기 광원은 상기 대상물 전체에 패턴광을 조사하거나, 상기 대상물에 포함된 적어도 하나의 객체에 패턴광을 조사할 수 있다. 예를 들어, 상기 적어도 하나의 객체는 기판에 삽입된 핀(B2) 등이 될 수 있다(도 8 참고). 상기 광원은 복수의 핀이 삽입된 기판에 패턴광을 조사할 수 있다.
일 예로, 상기 광원은 격자(미도시), 격자 이송장치(미도시) 및 투영 렌즈부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 격자는 상기 광원에서 조사된 광을 패턴광으로 변환시킬 수 있다. 상기 격자는 위상천이된 패턴광을 발생시키기 위해, PZT(piezo actuator)와 같은 격자 이송 기구를 통해 이송될 수 있다. 상기 투영 렌즈부는 격자에 의해 생성된 패턴광을 상기 대상물에 조사되도록 할 수 있다.
다른 예로, 상기 광원은 DLP(Digital Light Processing) 또는 LCoS(Liquid Crystal On Silicon)를 포함할 수 있다. DLP 또는 LCoS는 상기 광원에서 조사된 광을 패턴광으로 변환시켜 상기 대상물에 조사되도록 할 수 있다.
상기 패턴광은 상기 대상물에 대한 3차원 형상을 측정하기 위하여 조사되는, 일정한 또는 특정 주기의 패턴을 갖는 광일 수 있다. 상기 광원은 줄무늬의 밝기가 사인파 형태를 띠는 패턴광, 밝은 부분과 어두운 부분이 반복되어 표시되는 온-오프(on-off) 형태의 패턴광 또는 밝기의 변화가 삼각형 파형인 삼각파 패턴광 등을 조사할 수 있다. 다만 이에 제한되는 것은 아니며, 상기 광원은 밝기의 변화가 일정 또는 특정한 주기로 반복되는 다양한 형태의 패턴의 광을 조사할 수 있다.
상기 광원은 상기 대상물에 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 조사할 수도 있다. 상기 광원은 상기 대상물 전체 또는 상기 대상물에 포함된 적어도 하나의 객체에 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 조사할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 광원은 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 순차적으로 조사하거나 적어도 두 개의 광을 동시에 조사할 수 있다. 예를 들어, 제1 파장의 광은 적색 광이고, 제2 파장의 광은 녹색 광이고, 제3 파장의 광은 청색 광일 수 있다. 다만 이에 제한되는 것은 아니며, 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광은 서로 다른 파장을 가지는 광일 수 있다.
상기 이미지 센서로서 알려진 다양한 이미지 센서 중 어느 하나가 이용될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 이미지 센서는 상기 대상물에 삽입된 복수의 핀 각각으로부터 반사된 패턴광을 수신할 수 있다. 예를 들어, 상기 이미지 센서는 상기 대상물에 삽입된 복수의 핀 각각으로부터 반사된 패턴광을 수신하고, 수신된 패턴광을 이용하여 복수의 핀 각각에 대한 이미지(예를 들어, 3차원 이미지)를 생성할 수 있다.
또한, 상기 이미지 센서는 상기 대상물에 삽입된 복수의 핀 각각으로부터 반사된 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 수신할 수 있다. 예를 들어, 상기 광원에서 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광이 상기 대상물에 조사된 경우, 상기 이미지 센서는 상기 대상물에 삽입된 복수의 핀 각각으로부터 반사된 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 수신하고, 수신된 제1 파장의 광, 제2 파장의 광 및 제3 파장의 광을 이용하여 복수의 핀 각각에 대한 이미지(예를 들어, 2차원 이미지)를 생성할 수 있다. 상기 이미지 센서는 생성된 복수의 핀 각각에 대한 이미지를 상기 제어부로 전달할 수 있다. 또한, 복수 개의 이미지 센서가 동일 또는 다른 방향에서 광을 수신할 수 있다. 예를 들어, 상기 이미지 센서는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,) 카메라 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 메모리는 검사 장치(1)의 적어도 하나의 다른 구성 요소에 관계된 명령 또는 데이터를 저장할 수 있다. 또한, 상기 메모리는 소프트웨어 및/또는 프로그램을 저장할 수 있다. 예를 들어, 상기 메모리는 내장 메모리 또는 외장 메모리를 포함할 수 있다. 내장 메모리는, 휘발성 메모리(예: DRAM, SRAM 또는 SDRAM 등), 비휘발성 메모리(예: 플래시 메모리, 하드 드라이브, 또는 솔리드 스테이트 드라이브 (SSD)) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 외장 메모리는 다양한 인터페이스를 통하여 검사 장치(1)와 기능적으로 또는 물리적으로 연결될 수 있다.
상기 메모리는 상기 제어부를 동작하도록 하는 명령들을 저장할 수 있다. 예를 들어, 상기 메모리는 상기 제어부가 검사 장치(1)의 다른 구성 요소들을 제어하고, 외부 전자 장치 또는 서버와 연동하도록 하는 명령들을 저장할 수 있다. 상기 제어부는 상기 메모리에 저장된 명령들에 기초하여 검사 장치(1)의 다른 구성 요소들을 제어하고, 외부 전자 장치 또는 서버와 연동할 수 있다. 또한, 각 구성 요소들에 의한 동작을 수행하도록 하는 명령들이 상기 메모리에 저장될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 메모리는 상기 대상물에 삽입되는 복수의 핀 각각에 대해 설정된 기준 높이와 기준 위치를 나타내는 핀 삽입 기준 정보를 저장할 수 있다. 복수의 핀 각각에 대해 설정된 기준 높이와 기준 위치는, 복수의 핀 각각의 삽입 불량을 판단하기 위해 이용될 수 있다. 핀 삽입 기준 정보는 상기 대상물의 설계 정보 또는 사용자의 입력에 따라 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 메모리는 상기 핀 삽입 장치의 핀 삽입 공정과 관련된 복수의 공정 파라미터에 대한 정보 및 상기 핀 삽입 장치가 상기 대상물에 수행한 핀 삽입 공정에서 사용한 복수의 공정 파라미터의 값에 대한 정보를 저장할 수 있다. 복수의 공정 파라미터에 대한 정보 및 복수의 공정 파라미터의 값에 대한 정보는 상기 핀 삽입 장치로부터 수신되어 상기 메모리에 저장되거나, 사용자의 입력에 의해 생성되어 상기 메모리에 저장될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 공정 파라미터에 대한 정보는, 복수의 공정 파라미터 각각을 통해, 핀이 삽입되는 위치, 핀의 휘어짐, 삽입된 핀의 높이, 삽입된 핀의 핀 숄더 평탄도(coplanarity), 핀 삽입 각도 등에 영향을 줄 수 있는 지 여부를 나타내는 정보를 포함할 수 있다.
상기 제어부는 운영 체제 또는 응용 프로그램을 구동하여, 검사 장치(1)의 적어도 하나의 다른 구성 요소를 제어할 수 있고, 각종 데이터 처리 및 연산 등을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 제어부는 중앙처리장치 등을 포함할 수 있고, SoC(System on Chip)으로 구현될 수도 있다.
도 2를 참고하여, 검사 장치(1)는 프레임(60)을 포함한다. 프레임(60)은 이송 기구(100)를 지지한다. 프레임(60)은 케이스(10)를 지지한다. 프레임(60)은 이미지 센서 이동 장치(70)를 지지한다. 프레임(60)은 그 밖에 프레임(60)에 직접 배치되거나 다른 구성을 매개로 배치된 각종 부품들을 지지한다.
검사 장치(1)는 상기 이미지 센서를 이동시키는 이미지 센서 이동 장치(70)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 상기 이미지 센서를 전후 방향, 좌우 방향 및/또는 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
이미지 센서 이동 장치(70)는 프레임(60)에 고정된 가이드 레일(61)을 따라 전후 방향으로 슬라이딩(sliding) 가능하게 구성된 제1 슬라이더(71)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 제1 슬라이더(71)를 전후 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 모터 등의 구동부(77)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 제1 슬라이더(71)에 고정되고 좌우 방향으로 연장된 가이드 레일(74)과, 가이드 레일(74)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩(sliding) 가능하게 구성된 제2 슬라이더(75)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 제2 슬라이더(75)를 좌우 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 모터 등의 구동부(72)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 제2 슬라이더(75)에 고정되고 상하 방향으로 연장된 가이드 레일(78)과, 가이드 레일(78)을 따라 상하 방향으로 슬라이딩(sliding) 가능하게 구성된 제3 슬라이더(79)를 포함한다. 이미지 센서 이동 장치(70)는 제3 슬라이더(79)를 상하 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 모터 등의 구동부(76)를 포함한다. 제3 슬라이더(79)에 상기 이미지 센서가 고정될 수 있다. 상기 이미지 센서는 하측 방향으로 광을 감지하도록 배치될 수 있다.
이미지 센서 이동 장치(70)는 각각의 모터 등의 구동부로부터 대응하는 슬라이더에 구동력을 전달하는 구동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 구동력 전달부는 모터에 의해 회전하는 리드 스크류(lead screw) 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 모터(72)에 의해 리드 스크류(73)가 회전하면, 리드 스크류(73)를 따라 제2 슬라이더(75)가 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 같은 방식으로, 모터(77) 및 모터(76)에 의해 회전하는 각각의 리드 스크류가 구비될 수 있다. 다만 이는 구동부에 의해 슬라이드들(71, 75, 79)이 작동하는 하나의 실시예일 뿐, 이에 제한되지 않는다.
검사 장치(1)는 프레임(60)에 지지되는 이송 기구(100)를 포함한다. 검사 장치(1)는 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)는 지그(J)의 좌우 양측의 단부가 지지되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 지그(J)의 좌우 양측의 단부가 각각 제1 이송 기구(100A) 및 제2 이송 기구(100B)에 의해 지지되어, 지그(J)가 이동할 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 2의 이송 기구(100A, 100B) 및 지그(J)의 사시도들이다. 도 5는 도 4의 제1 이송 기구(100A) 및 제2 이송 기구(100B) 사이의 간격이 변경된 상태의 사시도이다. 도 3 내지 도 5를 참고하여, 검사 장치(1)는 지그(J)를 이동시키도록 구성된 이송부(110)를 포함한다. 이송부(110)는 이송 벨트(110)를 포함할 수도 있고, 지그(J)를 이송시키는 볼 스크류 등을 포함할 수도 있으며, 지그(J)를 이송하는 로봇 암 등을 포함할 수도 있다. 지그(J)가 이동함으로써, 지그(J)에 안착된 상기 대상물이 지그(J)와 일체로 이동할 수 있다.
이송부(110)는 지그(J)를 슬립(slip) 가능하게 전후 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 이송부(110)는 지그(J)를 지지할 수 있다. 이송부(110)는 지그(J)를 지지하여 후방 또는 전방으로 이동시키는 이송 벨트(110)를 포함할 수 있다. 지그(J)가 올려진 상기 이송 벨트와 지그(J) 사이의 마찰력에 의해 지그(J)를 전후 방향으로 이동시킬 수 있고, 지그(J)에 충격 등이 발생하여 정지 마찰력 이상의 하중이 가해질 경우, 지그(J)는 상기 이송 벨트에 대해 미끄러질 수 있다. 이송 벨트(110)를 작동시키기 위한 풀리(121), 벨트(122) 및/또는 기어 등이 구비되어, 모터(M10)의 회전력을 이송 벨트(110)에 전달할 수 있다. 도면들에는 이송 벨트(110)에 회전력을 전달하는 복수의 풀리(121) 및 벨트(122)의 한 예시가 도시되나, 이에 제한되지 않는다.
한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)는 각각 이송부(110)를 구비한다. 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)에 구비된 한 쌍의 이송부(110)는 좌우 대칭되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)는 전체적으로 좌우 대칭되게 구성될 수도 있고, 일부 구성은 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 중 어느 하나에만 구비될 수도 있다. 이하 이송 기구(100)에 대한 설명은 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 각각에 대한 설명으로 이해될 수 있다.
이송 기구(100)는 지그(J)를 지지하여 상하 방향으로 이동시키는 승강부(130)를 포함한다. 승강부(130)는 이송부(110)에 의해 후방으로 이동하는 지그(J)를 지지하는 지지부(131)를 포함한다. 지지부(131)는 이송부(110)에 의해 지그(J)가 지지되도록 지그(J)를 전방으로 이동시킬 수 있다. 지지부(131)는 지그(J)를 지지하며 후방 또는 전방으로 이동시키는 이송 벨트(131)를 포함할 수 있다. 이송 벨트(131)를 작동시키기 위한 풀리(132), 벨트 및/또는 기어 등이 구비되어, 모터(M3)의 회전력을 이송 벨트(131)에 전달할 수 있다. 도면들에는 이송 벨트(131)에 회전력을 전달하는 복수의 풀리(132)의 한 예시가 도시되나, 이에 제한되지 않는다.
지지부(131), 복수의 풀리(132) 및 모터(M3)는 승강부(130)에 지지된다. 지지부(131)는 승강부(130)와 함께 상하로 이동할 수 있다. 지지부(131)에 지지되는 상기 대상물은 승강부(130)와 함께 상하로 이동할 수 있다.
승강부(130)는 지그(J)의 측면(좌측면 또는 우측면)에 접촉하여 지그(J)의 좌우 방향으로의 위치를 안내하는 측면 가이드(135)를 포함한다. 측면 가이드(135)는 상측으로 돌출되고 서로 전후 방향으로 이격되는 복수의 돌기부를 포함한다. 승강부(130)가 승강 운동 시, 측면 가이드(135)의 상기 복수의 돌기부는 복수의 상단 걸림부(145)의 사이에 삽입되어, 상하 방향으로 이동할 수 있다.
이송 기구(100)는 이송부(110)를 지지하는 지지 프레임(141)을 포함한다. 지지 프레임(141)은 풀리(121), 벨트(122) 및 모터(M10)를 지지한다. 지지 프레임(141)은 승강부(130)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 지지 프레임(141)은 승강부(130)의 상하 방향 이동을 안내한다.
지지 프레임(141)은 프레임(60)에 지지된다. 지지 프레임(141)은 전체적으로 좌우 방향으로 두께를 가진 플레이트 형상일 수 있다. 지지 프레임(141)은 전체적으로 전후 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.
이송 기구(100)는 승강부(130)의 하측으로의 최대 위치를 설정하는 하단 스토퍼(142)를 포함한다. 하단 스토퍼(142)는 지지 프레임(141)에 고정될 수 있다. 승강부(130)가 하측으로 이동 시 승강부(130)가 하단 스토퍼(142)에 접촉될 수 있다.
이송 기구(100)는 지그(J)의 상측면에 접촉 가능한 하측면을 가진 상단 걸림부(145)를 포함한다. 상단 걸림부(145)는 지지 프레임(141)에 고정될 수 있다. 상단 걸림부(145)는 측방(좌측방향 또는 우측방향)으로 돌출되고 서로 전후 방향으로 이격되어 배치되는 복수의 돌출부를 포함한다. 승강부(130)가 상승 운동 시, 상단 걸림부(145)의 상기 복수의 돌출부의 사이의 틈에 측면 가이드(135)의 상기 복수의 돌기부가 삽입된다.
검사 장치(1)는 이송 기구(100)에 고정된 모터나 실린더 등의 구동부들(M10, M3, M5, N1)을 포함한다. 이송 기구(100)는 상기 구동부들(M10, M3, M5, N1)로부터 각각에 대응하는 작동 구성에 구동력을 전달하는 예컨대 벨트나 풀리 등의 구동력 전달부를 포함할 수 있다.
모터(M10)는 이송부(110)에 구동력을 제공한다. 모터(M10)가 회전하면 이송 벨트(110)가 작동할 수 있다. 모터(M10)는 지지 프레임(141)에 지지된다.
모터(M3)는 지지부(131)에 구동력을 제공한다. 모터(M3)가 회전하면 이송 벨트(131)가 작동할 수 있다. 모터(M3)는 승강부(130)에 지지된다. 모터(M3)는 승강부(130)와 함께 상하로 이동한다.
폭 조절용 모터(M5)는 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)의 좌우 방향 사이의 간격을 변경시키도록 구동력을 제공한다. 폭 조절용 모터(M5)는 프레임(60)에 지지된다.
승강 구동부(N1)는 승강부(130)의 상하 방향 운동의 구동력을 제공한다. 승강 구동부(N1)는 지지 프레임(141)에 지지된다. 예를 들어, 승강 구동부(N1)는 공압 실린더(N1a)와 공압 실린더(N1a)에 의해 상하 방향으로 운동하는 실린더 로드(N1b)를 포함할 수 있다. 실린더 로드(N1b)에는 승강 타겟(N1c)이 고정될 수 있다. 실린더 로드(N1b)가 기설정된 상한의 위치까지 이동한 상태에서, 승강 센서(e2)는 승강 타겟(N1c)을 감지하여, 상기 제어부는 승강부(130)가 기설정된 상한의 위치까지 이동한 것으로 인식할 수 있다. 실린더 로드(N1b)가 기설정된 소정의 위치(상기 상한의 위치보다 하측에 배치된 위치)까지 이동한 상태에서, 승강 센서(e3)는 승강 타겟(N1c)을 감지하여, 상기 제어부는 승강부(130)가 기설정된 소정의 위치로 이동한 것으로 인식할 수 있다. 상기 소정의 위치는, 이송부(110)의 상측면 및 지지부(131)의 상측면이 같은 레벨이 되어, 지그(J)가 이송부(110) 및 지지부(131) 중 어느 하나로부터 다른 하나로 이동할 수 있는 상태가 되는 위치로 설정될 수 있다.
도 4 및 도 5를 참고하여, 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B)의 좌우 방향의 폭 조절 구동 기구를 설명하면 다음과 같다. 검사 장치(1)는 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 중 적어도 어느 하나의 좌우 방향으로의 이동을 안내하는 프레임 가이드(90)를 포함한다. 프레임 가이드(90)는 프레임(60)에 고정될 수 있다. 검사 장치(1)는 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 중 적어도 어느 하나(100B)의 좌우 방향으로의 이동을 위한 구동력을 제공하는 구동부(M5)를 포함한다. 구동부(M5)는 상술한 폭 조절용 모터(M5)일 수 있다. 본 실시예에서는 제2 이송 기구(100B)가 좌우 방향으로 이동 가능하게 구성되나, 이에 제한될 필요는 없다.
상기 적어도 하나의 이송 기구는 프레임 가이드(90)를 따라 슬라이딩되는 슬라이더(190)를 포함한다. 상기 폭 조절 구동 기구는 구동부(M5)의 구동력을 상기 적어도 하나의 이송 기구에 전달하는 풀리, 벨트, 기어 및/또는 리드 스크류 등을 포함하는 구동력 전달부를 포함한다. 일 예로, 모터(M5)의 회전에 의해 벨트(181) 및 풀리(186)가 회전하고, 풀리(186)의 회전에 의해 리드 스크류(189)가 회전한다. 리드 스크류(189)가 회전하면, 리드 스크류(189)를 따라 어느 한 이송 기구(100B)가 좌우 방향으로 이동한다. 도 4는 제2 이송 기구(100B)가 우측방향으로 최대한 이동 완료한 상태를 보여주고, 도 5는 제2 이송 기구(100B)가 좌측방향(Le)으로 이동한 상태를 보여준다.
도 5를 참고하여, 검사 장치(1)는 지그(J)가 소정 위치에 배치될 때 지그(J)를 감지하는 적어도 하나의 센서(Se12, Se13, Se14, Se15, Se16, Se17)를 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 센서는 이송 기구(100)에 고정될 수 있다. 복수의 센서(Se12, Se13, Se14, Se15, Se16, Se17)가 구비될 수 있다. 상기 적어도 하나의 센서는 특정 위치에 배치되어, 센서의 센싱 방향에 지그(J)가 배치된 경우 지그(J)를 감지할 수 있다. 상기 센싱 방향은 상측 방향일 수 있다.
상기 적어도 하나의 센서는 지그(J)가 이송부(110) 상에서 전방으로의 최대 이동 위치에 배치될 때 지그(J)를 감지하는 센서(Se12)를 포함한다. 상기 제어부는 센서(Se12)의 감지 결과를 기초로 하여 대상물(B)의 클램핑 및 언클램핑 동작의 수행 여부를 결정할 수 있다. 센서(Se12)는 이송 기구(100)의 전단부에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)가 후방으로부터 전방으로 이동할 때 지그(J)가 스토퍼(St11)에 접촉하기 전에 지그(J)를 감지하는 센서(Se13)를 포함한다. 상기 제어부는 센서(Se13)의 감지 결과를 기초로 하여 지그(J)가 스토퍼(St11)에 접촉하기 전에 지그(J)의 전방으로의 이동 속도를 감속시킬 수 있다. 센서(Se13)는 센서(Se12)의 위치보다 후방측의 위치에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)가 스토퍼(St12)의 전방부에 접촉할 때 지그(J)를 감지하는 센서(Se14)를 포함한다. 상기 제어부는 센서(Se14)의 감지 결과를 기초로 하여 지그(J)가 이송부(110)로부터 승강부(130)로 이동할 준비가 완료되었음을 인지할 수 있다. 센서(Se14)는 스토퍼(St12)의 위치보다 전방측의 위치에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)가 이송부(110)와 지지부(131)의 전후 방향의 경계 상에 걸쳐서 배치될 때 지그(J)를 감지하는 센서(Se15)를 포함한다. 상기 제어부는 센서(Se15)의 감지 결과를 기초로 하여 지그(J)가 이송부(110)와 승강부(130) 사이에 걸쳐있는지 여부를 인지할 수 있다. 센서(Se15)는 승강부(130)의 전단부에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)가 지지부(131) 상에서 후방으로의 최대 이동위치에 배치될 때 지그(J)를 감지하는 센서(Se17)를 포함한다. 센서(Se17)는 지그(J)가 후단 스토퍼(St13)에 접촉한 상태에서 지그(J)를 감지할 수 있다. 상기 제어부는 센서(Se17)의 감지 결과를 기초로 하여 승강부(130)의 승강 동작의 수행 여부를 결정할 수 있다. 센서(Se17)는 승강부(130)의 후단부에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)가 전방으로부터 후방으로 이동할 때 지그(J)가 후단 스토퍼(St13)에 접촉하기 전에 지그(J)를 감지하는 센서(Se16)를 포함한다. 상기 제어부는 센서(Se16)의 감지 결과를 기초로 하여 지그(J)가 후단 스토퍼(St13)에 접촉하기 전에 지그(J)의 후방으로의 이동 속도를 감속시킬 수 있다. 여기서, 이송 벨트(131)의 회전 속도를 줄임으로써, 지그(J)의 후방으로의 이동 속도를 감속시킬 수 있다. 센서(Se16)는 센서(Se17)의 위치보다 전방측의 위치에 배치될 수 있다.
검사 장치(1)는 지지부(131)를 따라 후방으로 이동하는 지그(J)의 후방으로의 최대 이동위치를 제한하는 후단 스토퍼(St13)를 포함한다. 후단 스토퍼(St13)는 승강부(130)에 고정되어, 승강부(130)와 함께 상하 방향으로 이동할 수 있다.
검사 장치(1)는 지그(J)의 전방으로의 최대 이동 가능 위치를 제한하는 스토퍼(St11)를 포함한다. 스토퍼(St11)는 이송부(110)에 의해 지그(J)가 전방으로 이동 할 때 지그(J)의 전단에 접촉 가능하게 구성된다. 스토퍼(St11)는 이송 기구(100)에 지지된다. 스토퍼(St11)는 소정의 방향(G1, G2)으로 이동 가능하게 구성된다.
검사 장치(1)는 스토퍼(St11)를 걸림 방향(G1) 및 해제 방향(G2)으로 이동시키는 스토퍼 구동부(P11)를 포함한다. 본 실시예에서 스토퍼 구동부(P11)는 공압 실린더를 포함하나. 스토퍼 구동부(P11)는 모터 등을 포함할 수도 있다.
스토퍼(St11)가 걸림 방향(G1)으로 이동 완료한 상태에서, 스토퍼(St11)의 후방면에 지그(J)의 전단이 접촉될 수 있다. 스토퍼(St11)가 해제 방향(G2)으로 이동 완료한 상태에서, 스토퍼(St11)의 후방면은 지그(J)의 전방에서 측방으로 벗어나, 지그(J)가 스토퍼(St11)의 간섭없이 전방으로 이동할 수 있다. 스토퍼(St11)를 해제 방향(G2)으로 이동 완료한 상태에서, 지그(J)를 이송 기구(100)로부터 인출하거나 이송 기구(100)로 인입할 수 있다(도 6 참고). 이를 통해, 검사 장치에 대한 지그의 교체가 편리해진다.
검사 장치(1)는 이송부(110)에 의해 지그(J)가 후방으로 이동 할 때 지그(J)의 후단에 접촉 가능하게 구성되는 스토퍼(St12)를 포함한다. 스토퍼(St12)는 이송 벨트 등의 지지부(131)에 의해 지그(J)가 전방으로 이동할 때 지그(J)의 전단에 접촉 가능하게 구성된다. 스토퍼(St12)는 이송부(110)와 지지부(131)의 전후 방향의 경계에 배치될 수 있다. 스토퍼(St12)는 이송 기구(100)에 지지된다. 스토퍼(St12)는 소정의 방향(G1, G2)으로 이동 가능하게 구성된다.
검사 장치(1)는 스토퍼(St12)를 걸림 방향(G1) 및 해제 방향(G2)으로 이동시키는 스토퍼 구동부(P12)를 포함한다. 본 실시예에서 스토퍼 구동부(P12)는 공압 실린더를 포함하나. 스토퍼 구동부(P12)는 모터 등을 포함할 수도 있다.
스토퍼(St12)가 걸림 방향(G1)으로 이동 완료한 상태에서, 스토퍼(St12)의 전방면에 지그(J)의 후단이 접촉될 수 있다. 스토퍼(St12)가 걸림 방향(G1)으로 이동 완료한 상태에서, 스토퍼(St12)의 후방면에 지그(J)의 전단이 접촉될 수 있다. 스토퍼(St12)가 해제 방향(G2)으로 이동 완료한 상태에서, 스토퍼(St12)는 지그(J)의 이동 경로 상에서 측방으로 벗어나, 지그(J)가 스토퍼(St12)의 간섭없이 전방 또는 후방으로 이동할 수 있다.
도 6은 도 4의 이송 기구(100A, 100B)에 지그(J)가 인입되기 전 상태를 보여주는 일부 사시도이다. 도 7은 도 6의 이송 기구(100A, 100B)에 지그(J)가 인입되고, 지그(J)에 대상물(B)이 안착되기 전 상태를 보여주는 일부 사시도이다. 도 8은 도 7의 이송 기구(100A, 100B)에 인입된 지그(J)에 대상물(B)이 안착된 상태를 보여주는 일부 사시도이다.
도 6 내지 도 8을 참고하여, 검사 장치(1)는 대상물(B)의 배치 여부를 감지하는 센서(Se11)를 포함한다. 센서(Se11)의 센싱 방향은 상측 방향일 수 있다. 센서(Se11)는 지그(J)로부터 하측으로 이격된 위치에 배치된다. 센서(Se11)는 이송 기구(100) 또는 프레임(60)에 고정될 수 있다. 도 8의 상태에서 센서(Se11)는 대상물(B)을 감지할 수 있다.
지그(J)가 전방으로 최대 이동 위치에 배치된 상태를 기준으로, 센서(Se11)의 센싱 방향으로 지그(J)에는 센싱용 개구부(Jh)가 형성된다. 지그(J)는 대상물(B)의 측면(예를 들어, 후측면)에 접촉 가능하도록 구성된 가이드 월(J1)을 포함한다. 지그(J)는 대상물(B)의 홈 또는 홀(B1a, B1b)에 삽입되도록 구성된 가이드 핀(J2)을 포함한다. 지그(J)는 복수의 가이드 핀(J2a, J2b)을 포함할 수 있다. 지그(J)는 대상물(B)의 하측면에 접촉 가능하도록 구성된 가이드 단(J3)을 포함한다.
예를 들어, 대상물(B)의 정위치는 가이드 월(J1) 및 가이드 핀(J2)에 의해 설정될 수 있다. 가이드 월(J1)은 지그(J)의 후측부에 위치하여 대상물(B)의 1차 진입방향(후방)으로의 위치를 설정할 수 있다. 대상물(B)의 홈 또는 홀(B1a, B1b)에 삽입되는 가이드 핀(J2)에 의해 대상물(B)의 지그에 대한 최종적인 정위치가 설정될 수 있다.
도 7 및 도 8을 참고하여, 본 실시예에서 대상물(B)은 인쇄 회로 기판(PCB, Printed Circuit Board) 등의 기판이나, 다른 실시예에서 대상물은 여러가지 다른 부품이나 제조품일 수 있다. 핀의 삽입 방식에 의해 기판에 커넥터가 부착될 수 있다. 검사 장치(1)는 이러한 기판에 삽입된 핀의 삽입 상태를 검사할 수 있다. 예를 들어, 대상물(B) 중 일 부분이 검사의 대상 부분(B2)일 수 있다.
도 9는 도 8의 지그(J)의 사시도이다. 도 10 및 도 11은 도 9의 지그(J)의 분해 사시도들이다. 도 12a 및 도 12b는 도 8의 이송 기구(100), 지그(J) 및 대상물(B)을 라인 S1-S1'를 따라 자른 부분 단면도로서, 도 12a는 대상물(B)이 클램핑(clamping)된 상태를 보여주고, 도 12b는 대상물(B)이 언클램핑(unclamping)된 상태를 보여준다. 도 9 내지 도 12b를 참고하여, 지그(J)는 대상물(B)을 클램핑하는 클램퍼(clamper)(J10)를 하나 이상 포함한다. 상기 하나 이상의 클램퍼(J10)는 한 쌍의 클램퍼(J10a, J10b)를 포함할 수 있다. 지그(J)는 클램퍼(J10)의 이동 방향으로 안내하는 클램핑 가이드(J30)를 포함한다. 지그(J)는 클램퍼(J10)를 클램핑 방향(H1)으로 가압시키는 탄성력을 제공하는 탄성 부재(J20)를 포함한다. 지그(J)는 이송 기구(100)에 의해 지지되도록 구성되는 서포터(supporter)(J40)를 포함한다. 지그(J)는 서포터(J40)에 고정되는 하측 커버(J50)를 포함한다.
검사 장치(1)는 클램퍼를 이동시키는 클램핑 구동부(80)를 하나 이상 포함한다. 상기 하나 이상의 클램핑 구동부(80)는 한 쌍의 클램퍼(J10)에 대응하는 한 쌍의 클램핑 구동부(80A, 80B)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서 클램핑 구동부(80)는 이송 기구(100)에 지지되나, 다른 실시예에서 클램핑 구동부(80)는 프레임(60)에 직접 지지될 수도 있다. 예를 들어, 지지 프레임(141)에 고정된 보조 프레임(149)에 클램핑 구동부(80)가 배치될 수 있다.
클램퍼(J10)는 대상물(B)이 지그(J)에 클램핑되는 클램핑(clamping) 방향(H1)으로 이동 가능하다. 클램퍼(J10)는 클램핑 방향(H1)의 반대 방향인 언클램핑(un-clamping) 방향(H2)으로 이동 가능하다. 클램퍼(J10)가 클램핑 방향(H1)으로 이동할 때 대상물(B)이 지그(J)에 클램핑되도록, 클램핑 방향(H1)이 기설정된다. 복수의 클램퍼(J10a, J10b)의 각각의 클램핑 방향(H1)은 서로 동일하지 않을 수 있다. 본 실시예에서, 제1 클램퍼(J10a)의 클램핑 방향(H1)과 제2 클램퍼(J10b)의 클램핑 방향은 서로 반대이다. 본 실시예에서, 클램핑 방향(H1)은 좌측 방향 또는 우측 방향이다.
클램퍼(J10)는 대상물(B)에 접촉 가능하게 구성되는 대상물 접촉부(J11)를 포함한다. 대상물 접촉부(J11)는 클램핑 방향(H1)으로 대상물(B)에 접촉되는 표면을 형성할 수 있다. 대상물 접촉부(J11)는 상측으로 돌출된 부분을 포함하고, 상기 돌출된 부분의 클램핑 방향(H1)으로 대상물(B)에 접촉되는 표면을 형성할 수 있다. 대상물 접촉부(J11)의 클램핑 방향(H1)의 표면은 함몰된 부분을 포함하고, 상기 표면의 함몰된 부분에 대상물(B)이 접촉하여 클램핑될 수 있다.
클램퍼(J10)는 클램퍼(J10)가 이동하기 위한 구동력을 전달 받도록 검사 장치(1)에 접촉 가능하게 구성되는 구동 접촉부(J13)를 포함한다. 구동 접촉부(J13)는 검사 장치(1)의 가압부(87)와 접촉 가능한 클램핑 방향(H1)의 표면을 포함할 수 있다. 구동 접촉부(J13)는 하측으로 돌출될 수 있다. 구동 접촉부(J13)는 슬라이더(J12)로부터 하측으로 돌출되어 형성될 수 있다.
클램퍼(J10)는 클램퍼(J10)의 이동 방향을 안내 받는 슬라이더(J12)를 포함한다. 슬라이더(J12)는 클램핑 방향(H1) 및 언클램핑 방향으로 이동 가능하게 가이드부(J33)에 배치될 수 있다. 슬라이더(J12)는 가이드부(J33)가 삽입되고 클램핑 방향(H1)으로 길게 연장된 가이드 홈을 형성할 수 있다. 슬라이더(J12)는 언클램핑 방향(H2)으로 돌출되게 형성될 수 있다.
클램퍼(J10)는 슬라이더(J12)는 클램핑 가이드(J30)의 가이드 홀(J30h)을 통과하는 관통부(J15)를 포함할 수 있다. 관통부(J15)의 클램핑 방향(H1)에 구동 접촉부(J13)가 연결될 수 있다. 관통부(J15)로부터 언클램핑 방향(H2)으로 슬라이더(J12)가 돌출될 수 있다.
클램핑 가이드(J30)는 슬라이더(J12)의 이동을 안내하는 가이드부(J33)를 포함한다. 가이드부(J33)는 하측으로 돌출되고 클램핑 방향(H1)으로 연장될 수 있다. 클램핑 가이드(J30)는 서포터(J40)에 고정된다. 클램핑 가이드(J30)는 클랭핑 방향(H1)으로 관통하는 가이드 홀(J30h)을 형성할 수 있다. 가이드 홀(J30h)은 가이드부(J33)의 클램핑 방향(H1)에 위치할 수 있다.
클램퍼(J10)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동할 때 탄성 부재(J20)는 탄성 변형되고, 클램퍼(J10)가 클램핑 방향(H1)으로 이동할 때 탄성 부재(J20)는 탄성 복원된다. 도 12a를 참고하여, 가압부(87)가 클램퍼(J10)를 언클램핑 방향(H2)으로 가압함으로써 탄성 부재(J20)는 탄성 변형되도록 구성된다. 도 12b를 참고하여, 가압부(87)가 클램핑 방향(H1)으로 이동함으로써 가압부(87)는 클램퍼(J10)로부터 이격되도록 구성된다. 가압부(87)가 클램핑 방향(H1)으로 이동함에 따라 클램퍼(J10)는 클램핑 방향(H1)으로 이동하고, 클램퍼(J10)가 대상물(B)에 접촉한 후에도 가압부(87)는 클램핑 방향(H1)으로 계속 이동하여 클램퍼(J10)로부터 이격될 수 있다.
하나의 클램퍼(J10)에 복수의 탄성 부재(J20)가 지지될 수 있다. 탄성 부재(J20)의 일단은 클램핑 가이드(J30)에 지지되고 타단은 클램퍼(J10)에 지지될 수 있다. 클램핑 가이드(J30)의 제1 안착부(J16)는 탄성 부재(J20)의 일단이 삽입되는 홈을 형성할 수 있다. 클램퍼(J10)의 제2 안착부(J36)는 탄성 부재(J20)의 타단이 삽입되는 홈을 형성할 수 있다.
탄성 부재(J20)는 탄성력을 발휘하는 알려진 다양한 방식 중 하나를 이용할 수 있다. 예를 들어, 탄성 부재(J20)는 압축 스프링, 인장 스프링, 토크 스프링 등 다양한 방식의 부재를 포함할 수도 있고, 고무 등의 재질로 탄성 압축되게 구성된 부재를 포함할 수도 있다. 본 실시예에서 탄성 부재(J20)는 압축 스프링이다.
예를 들어, 대상물(B)의 고정 작업은 탄성 부재(J20)의 탄성력에 의해 이루어질 수 있다. 탄성 부재(J20)의 탄성력에 의해 클램퍼(J10)가 대상물(B)을 클램핑할 수 있고, 검사 장치(1)에 배치된 공압 실린더 등을 포함하는 클램핑 구동부(80)에 의해 클램퍼(J10)를 이동시켜 대상물(B)을 언클램핑할 수 있다. 대상물(B)의 검사 완료 후, 대상물(B)을 언클램핑하는 작업이 자동으로 완료되게 설정함으로써, 작업자의 대상물(B) 언로딩 작업을 원 스텝(One step)으로 완료시킬 수 있다.
하측 커버(J50)는 대상물(B)의 하측부의 적어도 일부를 덮어주도록 배치된다. 하측 커버(J50)는 하측면을 형성하는 하측부(J51)를 포함한다. 하측 커버(J50)는 하측부(J51)의 가장자리에서 상측으로 연장되어 서포터(J40)에 결합되는 사이드부(J52)를 포함한다. 가이드 단(J3)은 하측 커버(J50)의 상측에 배치될 수 있다. 센싱용 개구부(Jh)는 하측부(J51)에 형성될 수 있다.
서포터(J40)는 클램퍼(J10)를 지지한다. 서포터(J40)는 클램핑 가이드(J30) 및 하측 커버(J50)를 지지한다. 서포터(J40)는 이송 기구(100)에 지지되는 이송 지지부(J41)를 포함한다. 이송 지지부(J41)의 하측면에 이송부(110)가 접촉할 수 있다. 이송 지지부(J41)의 좌측단 또는 우측단은 측단 가이드부(147a)에 의해 안내될 수 있다. 이송 지지부(J41)의 상측면은 상단 가이드부(147b)에 의해 안내될 수 있다. 이송 지지부(J41)는 서포터(J40)의 일측 단부에 형성될 수 있다. 서포터(J40)의 좌우 양단에 한 쌍의 이송 지지부(J41)가 형성될 수 있다.
도 12a 및 도 12b를 참고하여, 이송 기구(100)는 지그(J)의 이동 방향을 안내하는 가이드(147)를 포함할 수 있다. 가이드(147)는 지지 프레임(141)의 상단에 고정될 수 있다. 가이드(147)는 지그(J)의 좌측단 또는 우측단을 바라보는 표면을 구비하는 측단 가이드부(147a)를 포함할 수 있다. 가이드(147)는 지그(J)의 상측면을 바라보는 표면을 구비하는 상단 가이드부(147b)를 포함할 수 있다. 측단 가이드부(147a)의 상단에 상단 가이드부(147b)가 연결될 수 있다.
또한, 이송 기구(100)는 이송 벨트(110)의 하측면을 지지하는 벨트 지지부(148)를 포함할 수 있다. 벨트 지지부(148)는 지지 프레임(141)에서 측방으로 돌출되고 전후 방향으로 연장될 수 있다. 이를 통해, 이송 벨트(110)가 지그(J)의 하중에 의해 하측으로 처지지 않도록 할 수 있다.
클램핑 구동부(80)는 클램퍼(J10)를 작동시키는 구동력을 제공한다. 클램핑 구동부(80)는 지그에 접촉 및 가압 가능하게 구성된다. 클램핑 구동부(80)는 지그(J)의 클램퍼(J10)에 접촉 및 가압 가능하게 구성된다.
클램핑 구동부(80)는 클램핑 방향(H1) 및 언클램핑 방향(H2)으로 이동 가능하게 구성된 가압부(87)를 포함한다. 가압부(87)는 클램퍼(J10)를 언클램핑 방향(H2)으로 가압하도록 구성된다.
도 12a를 참고하여, 가압부(87)가 클램핑 방향(H1)으로 이동할 때, 가압부(87)는 구동 접촉부(J13)와 이격될 수 있다. 여기서, 탄성 부재(J20)는 탄성 복원되며 클램퍼(J10)를 클램핑 방향(H1)으로 밀어준다. 클램퍼(J10)는 대상물(B)에 접촉하여, 대상물(B)이 지그(J)에 클램핑된다.
도 12b를 참고하여, 가압부(87)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동할 때, 가압부(87)는 지그(J)의 구동 접촉부(J13)에 접촉하여 밀어준다. 여기서, 탄성 부재(J20)는 탄성 변형된다. 클램퍼(J10)는 대상물(B)에 이격되어, 대상물(B)이 지그(J)로부터 언클램핑된다.
클램핑 구동부(80)는 가압부(87)를 이동시키는 구동력을 제공하는 모터나 공압 실린더 등의 구동부(81)를 포함할 수 있다. 예를 들여, 공압 실린더(81)에 의해 실린더 로드(83)가 클램핑 방향(H1) 또는 언클램핑 방향(H2)으로 이동함으로써, 실린더 로드(83)에 고정된 가압부(87)가 이동할 수 있다.
지그(J)가 검사 장치(1)에 대해 소정의 위치에 배치된 상태에서, 가압부(87) 및 구동 접촉부(J13)는 서로 마주보게 구성될 수 있다. 상기 지그(J)의 검사 장치(1)에 대한 소정의 위치는 지그(J)에 대상물(B)이 로딩되는 위치로 기설정될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 소정의 위치는 지그(J)의 이송부(110)의 전단에 배치되는 위치이다. 구동 접촉부(J13)는 지그(J)의 일부로서 이송부(110)에 의해 이동할 수 있다. 지그(J)가 상기 소정의 위치에 배치된 상태에서 가압부(87)는 구동 접촉부(J13)를 마주볼 수 있다. 가압부(87)는 구동 접촉부(J13)를 마주본 상태에서, 가압부(87)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동하여 구동 접촉부(J13)를 가압할 수 있다.
검사 장치(1)에 지그(J)가 클램핑 방향(H1)의 수직 방향으로 인입 및 인출 가능하게 구성될 수 있다. 이를 통해, 가압부(87) 및 구동 접촉부(J13)가 서로 간섭되지 않는 상태에서, 지그(J)를 검사 장치(1)에 인입 또는 인출할 수 있다. 본 실시예에서, 지그(J)는 후방으로 이동하며 검사 장치(1)에 인입할 수 있고, 지그(J)는 전방으로 이동하며 검사 장치(1)로부터 인출할 수 있다.
이송부(110)는 지그(J)를 클램핑 방향(H1)의 수직 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 이를 통해, 가압부(87) 및 구동 접촉부(J13)가 서로 간섭되지 않는 상태에서, 지그(J)가 이송부(110)에 의해 이동할 수 있다. 본 실시예에서, 지그(J)는 이송부(110)에 의해 전후 방향으로 이동할 수 있다.
도 13 내지 도 19는 도 3의 한 쌍의 이송 기구(100A, 100B) 중 하나(100A)를 기준으로, 한 사이클(cycle)의 검사 과정 중 기구의 동작을 보여주는 사시도들이다. 도 16 내지 도 18에는, 일 부분을 확대한 시시도(E1) 및 일 부분을 우측방향으로부터 바라본 입면도(E2)가 도시된다. 도 20은 본 개시의 일 실시예에 따른 대상물 검사 방법의 흐름도이다. 도 13 내지 도 20을 참고하여, 대상물의 검사 방법 및 각 단계에서의 기구의 동작을 설명하면 다음과 같다. 검사 방법 및 기구의 동작은 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다. 대상물 검사 방법은 상기 검사 세트를 이용할 수 있다.
프로세스 단계들, 방법 단계들, 알고리즘들 등이 순차적인 순서로 설명되었지만, 그러한 프로세스들, 방법들 및 알고리즘들은 임의의 적합한 순서로 작동하도록 구성될 수 있다. 다시 말하면, 본 개시의 다양한 실시예들에서 설명되는 프로세스들, 방법들 및 알고리즘들의 단계들이 본 개시에서 기술된 순서로 수행될 필요는 없다. 또한, 일부 단계들이 비동시적으로 수행되는 것으로서 설명되더라도, 다른 실시예에서는 이러한 일부 단계들이 동시에 수행될 수 있다. 또한, 도면에서의 묘사에 의한 프로세스의 예시는 예시된 프로세스가 그에 대한 다른 변화들 및 수정들을 제외하는 것을 의미하지 않으며, 예시된 프로세스 또는 그의 단계들 중 임의의 것이 본 개시의 다양한 실시예들 중 하나 이상에 필수적임을 의미하지 않으며, 예시된 프로세스가 바람직하다는 것을 의미하지 않는다.
도 13을 참고하여, 상기 검사 방법은 대상물(B)이 지그(J)에 안착되어 고정되는 단계(S1)를 포함한다. 단계(S1)는 클램퍼(J10)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동 완료한 상태에서 대상물(B)이 지그(J)에 안착되는 로딩 단계(S10)를 포함한다. 로딩 단계(S10)는 작업자 또는 기계에 의해서 수행될 수 있다. 단계(S1)는 로딩 단계(S10) 후, 클램퍼(J10)는 클램핑 방향(H1)으로 이동하여 지그(J)에 대상물(B)이 클램핑되는 클램핑 단계(S20)를 포함한다. 클램핑 단계(S20)는 상기 제어부가 시작 입력부(31)로부터 입력 신호를 수신하면 수행될 수 있다.
도 14 내지 도 16을 참고하여, 상기 검사 방법은 지그(J)를 후방(R)으로 이동시키는 후방 이동 단계를 포함한다. 제1 이동 단계(S30)는 상기 후방 이동 단계를 포함할 수 있다. 도 14를 참고하여, 이송부(110)에 올려진 지그(J)는 이송부(110)가 작동함에따라 후방(R)으로 이동하고, 스토퍼(St12)에 걸림된다. 도 15를 참고하여, 스토퍼(St12)는 해제 방향(G2)으로 이동한다. 도 16을 참고하여, 지그(J)는 후방(R)으로 이동하여 지지부(131) 위에 올려진다. 여기서, 지그(J)는 후단 스토퍼(St13)에 접촉된다.
도 17을 참고하여, 상기 검사 방법은 제1 이동 단계(S30) 후 지그(J)를 상측(U)으로 이동시키는 상승 이동 단계를 더 포함할 수 있다. 승강부(130)가 상승하여 지그(J)가 함께 상승하고, 지그(J)의 상단이 상단 걸림부(145)의 하측면에 접촉된다. 여기서, 측면 가이드(135)의 상기 복수의 돌기부의 상단이 복수의 상단 걸림부(145)의 사이에 삽입될 수 있다.
상기 검사 방법은 제1 이동 단계(S30) 후 상기 이미지 센서가 대상물(B)을 검사하는 검사 단계(S40)를 포함한다. 검사 단계(S40)는 상기 상승 이동 단계 후 진행될 수 있다. 검사 단계(S40)에서 상기 이미지 센서는 이미지 센서 이동 장치(70)에 의해 이동할 수 있다. 검사 단계(S40)는 지그(J)의 상단이 상단 걸림부(145)의 하측면에 접촉된 상태에서 진행될 수 있다.
상기 제어부는 상기 이미지 센서의 감지 신호에 기초하여 대상물(B)의 불량 여부를 판단할 수 있다. 상기 제어부는 검사 결과에 따라 출력부(20)가 소정의 정보를 출력하게 제어할 수 있다. 상기 제어부는 상기 이미지 센서의 감지 신호에 기초하여 불량이라고 판단하면, 불량 여부를 작업자가 직접 판단할 수 있도록 출력부(20)가 불량 부분에 대한 정보를 출력하도록 제어할 수 있다. 상기 제어부는 상기 이미지 센서의 감지 신호에 기초하여 정상이라고 판단하면, 아래의 다음 과정이 진행될 수 있다.
도 18을 참고하여, 상기 검사 방법은 검사 단계(S40) 후 지그(J)를 하측방향(D)으로 이동시키는 하강 이동 단계를 포함할 수 있다. 제2 이동 단계(S50)는 상기 하강 이동 단계를 포함한다. 상기 하강 이동 단계에서 지지부(131)의 상측면이 이송부(110)의 상측면과 같은 레벨(level)이 되도록, 승강부(130)가 하강한다. 여기서, 승강부(130)는 하단 스토퍼(142)에 접촉한다. 여기서, 측면 가이드(135)의 상기 복수의 돌기부의 상단이 복수의 상단 걸림부(145)의 사이로부터 빠져 나온다.
도 19를 참고하여, 상기 검사 방법은 지그(J)를 전방(F)으로 이동시키는 전방 이동 단계를 포함한다. 제2 이동 단계(S50)는 상기 전방 이동 단계를 포함할 수 있다. 제2 이동 단계(S50)는 검사 단계(S40) 후 진행된다. 상기 검사 방법은 제2 이동 단계(S50) 전에 진행되는 상기 하강 이동 단계를 더 포함할 수 있다. 도시되지 않은 다른 실시예에서, 제1 이동 단계(S30) 후 상기 상승 이동 단계 없이 검사 단계(S40)가 진행되고, 검사 단계(S40) 후 상기 하강 이동 단계 없이 제2 이동 단계(S50)가 진행될 수도 있다.
제2 이동 단계(S50)에서, 지그(J)는 지지부(131)로부터 이송부(110)로 이동할 수 있다. 제2 이동 단계(S50)에서, 지그(J)는 전방으로 이동하여 스토퍼(St11)에 걸림된다.
상기 검사 방법은, 제2 이동 단계(S50) 후, 대상물(B)이 지그(J)로부터 언클램핑되고 분리되는 단계(S9)를 포함한다. 단계(S9)는 지그(J)는 전방으로 이동 완료한 상태에서 클램퍼(J10)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동하는 언클램핑 단계(S60)를 포함한다. 언클램핑 단계(S60)에서 지그(J)에 대해 대상물(B)이 언클램핑된다. 단계(S9)는 언클램핑 단계(S60) 후, 대상물(B)이 지그(J)로부터 분리되는 언로딩 단계(S70)를 포함한다. 언로딩 단계(S70)는 작업자 또는 기계에 의해서 수행될 수 있다.
도 20을 참고하여, 상기 검사 방법은, 클램퍼(J10)가 클램핑 방향(H1)으로 이동하여 지그(J)에 안착된 대상물(B)이 지그(J)에 클램핑되는 클램핑 단계(S20)를 포함한다. 상기 검사 방법은 클램핑 단계(S20) 전에 수행되는 로딩 단계(S10)를 포함할 수 있다.
상기 검사 방법은 이송부(110)에 의해 지그(J)가 이동하는 제1 이동 단계(S30)를 포함한다. 제1 이동 단계(S30)에서 지그(J)는 후방으로 이동할 수 있다. 상기 검사 방법은 제1 이동 단계(S30) 후에 진행되는 상기 상승 이동 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 검사 방법은 대상물(B)을 검사하여 불량 여부를 판단하는 검사 단계(S40)를 포함한다. 상기 검사 방법은 이송부(110)에 의해 지그(J)가 이동하는 제2 이동 단계(S50)를 포함한다. 제2 이동 단계(S50)에서 지그(J)는 전방으로 이동할 수 있다. 상기 상승 이동 단계를 포함하는 검사 방법의 실시예에서, 검사 단계(S40) 후 제2 이동 단계(S50) 전 상기 하강 이동 단계가 진행될 수 있다.
상기 검사 방법은 클램퍼(J10)가 언클램핑 방향(H2)으로 이동하여 대상물(B)이 지그(J)에 대해 언클램핑되는 언클램핑 단계(S60)를 포함한다. 상기 검사 방법은 언클램핑 단계(S60) 후에 수행되는 언로딩 단계(S70)를 포함할 수 있다.
상기 방법은 특정 실시예들을 통하여 설명되었지만, 상기 방법은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광데이터 저장장치 등을 포함할 수 있다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. 그리고, 상기 실시예들을 구현하기 위한 기능적인(functional) 프로그램, 코드 및 코드 세그먼트들은 본 개시가 속하는 기술분야의 프로그래머들에 의해 용이하게 추론될 수 있다.
이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

Claims (20)

  1. 검사 대상물이 안착 가능하도록 구성되는 지그; 및
    상기 지그가 인입 및 인출 가능하고 상기 대상물을 검사하도록 구성되는 검사 장치를 포함하고,
    상기 지그는,
    상기 대상물이 상기 지그에 클램핑되는 클램핑(clamping) 방향으로 이동 가능하고, 상기 클램핑 방향의 반대 방향인 언클램핑(un-clamping) 방향으로 이동 가능한 클램퍼(clamper)를 하나 이상 포함하고,
    상기 검사 장치는,
    상기 지그를 이동시키도록 구성된 이송부; 및
    상기 클램퍼에 접촉 및 가압 가능하게 구성된 클램핑 구동부를 하나 이상 포함하고,
    상기 검사 장치에 상기 지그가 상기 클램핑 방향의 수직 방향으로 인입 및 인출 가능하게 구성되는,
    검사 세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지그는,
    상기 클램퍼를 상기 클램핑 방향으로 가압시키는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는,
    상기 클램핑 구동부는,
    상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압하도록 구성된 가압부를 포함하는,
    검사 세트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압부가 상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압함으로써 상기 탄성 부재는 탄성 변형되도록 구성되고,
    상기 가압부가 상기 클램핑 방향으로 이동함으로써 상기 가압부는 상기 클램퍼로부터 이격되도록 구성되는,
    검사 세트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑 구동부는,
    상기 클램퍼를 상기 언클램핑 방향으로 가압하도록 구성된 가압부를 포함하고,
    상기 클램퍼는,
    상기 가압부와 접촉 가능한 상기 클램핑 방향의 표면을 포함하는 구동 접촉부를 포함하는,
    검사 세트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지그가 상기 검사 장치에 대해 소정의 위치에 배치된 상태에서, 상기 가압부 및 상기 구동 접촉부는 서로 마주보게 구성되는,
    검사 세트.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하나 이상의 클램퍼는 한 쌍의 클램퍼를 포함하고,
    상기 하나 이상의 클램핑 구동부는 상기 한 쌍의 클램퍼에 대응하는 한 쌍의 클램핑 구동부를 포함하는,
    검사 세트.
  7. 삭제
  8. 지그가 인입 및 인출 가능하고 상기 지그에 안착된 검사 대상물을 검사하도록 구성되고,
    상기 지그를 이동시키도록 구성된 이송부; 및
    상기 지그에 접촉 및 가압 가능하게 구성되고, 클램핑 방향 및 상기 클랭핑 방향의 반대 방향인 언클램핑 방향으로 이동 가능하게 구성된 가압부를 포함하는 클램핑 구동부를 포함하고,
    상기 지그가 상기 클램핑 방향의 수직 방향으로 인입 및 인출 가능하게 구성되는,
    검사 장치.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 지그를 슬립 가능하게 전후 방향으로 이동시키도록 구성되는,
    검사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 지그를 지지하며 상기 지그를 후방 또는 전방으로 이동시키는 이송 벨트를 포함하는,
    검사 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 이송부에 의해 상기 지그가 후방으로 이동 할 때 상기 지그의 후단에 접촉 가능하게 구성되는 스토퍼를 포함하는,
    검사 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 지그가 소정 위치에 배치될 때 상기 지그를 감지하는 적어도 하나의 센서를 포함하는,
    검사 장치.
  14. 제8항에 있어서,
    각각 상기 이송부를 구비하고 상기 지그의 좌우 양측의 단부가 지지되도록 구성된 한 쌍의 이송 기구;
    상기 한 쌍의 이송 기구 중 적어도 어느 하나의 좌우 방향으로의 이동을 안내하는 프레임 가이드; 및
    상기 적어도 어느 하나의 이송 기구의 좌우 방향으로의 이동을 위한 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는,
    검사 장치.
  15. 제8항에 있어서,
    상기 대상물의 배치 여부를 감지하는 센서를 포함하는,
    검사 장치.
  16. 제8항에 있어서,
    상기 대상물에 삽입된 핀의 삽입 불량 여부를 검사하도록 구성되는,
    검사 장치.
  17. 검사 대상물이 안착 가능하도록 구성되고, 상기 대상물을 검사하는 검사 장치에 인입 및 인출 가능하며,
    상기 대상물이 클램핑되는 클램핑 방향으로 이동 가능하고, 상기 클램핑 방향의 반대 방향인 언클램핑 방향으로 이동 가능한 클램퍼; 및
    상기 클램퍼의 이동 방향을 안내하는 클램핑 가이드를 포함하고,
    상기 클램퍼는,
    상기 대상물에 접촉 가능하게 구성되는 대상물 접촉부; 및
    상기 클램퍼가 이동하기 위한 구동력을 전달 받도록 상기 검사 장치에 접촉 가능하게 구성되는 구동 접촉부를 포함하고,
    상기 검사 장치에 대해 상기 클램핑 방향의 수직 방향으로 인입 및 인출 가능하게 구성되는,
    검사 장치용 지그.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 지그는,
    상기 클램퍼를 상기 클램핑 방향으로 가압시키는 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는,
    검사 장치용 지그.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 지그는,
    상기 대상물의 측면에 접촉 가능하도록 구성된 가이드 월; 및
    상기 대상물의 홈 또는 홀에 삽입되도록 구성된 가이드 핀을 포함하는,
    검사 장치용 지그.
  20. 제1항의 검사 세트를 이용하는 대상물 검사 방법이며,
    상기 클램퍼가 상기 클램핑 방향으로 이동하여 상기 지그에 안착된 대상물이 상기 지그에 클램핑되는 클램핑 단계:
    상기 이송부에 의해 상기 지그가 이동하는 제1 이동 단계;
    상기 대상물을 검사하여 불량 여부를 판단하는 검사 단계;
    상기 이송부에 의해 상기 지그가 이동하는 제2 이동 단계; 및
    상기 클램퍼가 상기 언클램핑 방향으로 이동하여 상기 대상물이 상기 지그에 대해 언클램핑되는 언클램핑 단계를 포함하는,
    대상물 검사 방법.
KR1020217023517A 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법 KR102649083B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20190009391 2019-01-24
KR1020190009391 2019-01-24
PCT/KR2020/001073 WO2020153741A1 (ko) 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210099157A KR20210099157A (ko) 2021-08-11
KR102649083B1 true KR102649083B1 (ko) 2024-03-20

Family

ID=71735592

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217023518A KR102655029B1 (ko) 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 이송 기구, 검사 장치, 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법
KR1020217023517A KR102649083B1 (ko) 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217023518A KR102655029B1 (ko) 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 이송 기구, 검사 장치, 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법

Country Status (6)

Country Link
US (2) US11867747B2 (ko)
EP (2) EP3916340A4 (ko)
JP (2) JP7246497B2 (ko)
KR (2) KR102655029B1 (ko)
CN (2) CN113330273B (ko)
WO (2) WO2020153741A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114590564B (zh) * 2022-05-11 2022-07-19 广东福能东方技术研发有限公司 一种pcb板检测装置及其检测方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000338164A (ja) * 1999-05-28 2000-12-08 Nidec-Read Corp 基板検査装置
JP2006138808A (ja) * 2004-11-15 2006-06-01 Mitsubishi Electric Corp 基板検査装置
KR200420972Y1 (ko) * 2006-04-25 2006-07-07 차봉열 간소화된 클램프 구조를 가진 인쇄회로기판 검사기
JP2007311497A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd プリント基板保持装置
KR101557783B1 (ko) * 2014-06-19 2015-10-07 주식회사 미르기술 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2758748B2 (ja) 1991-10-15 1998-05-28 富山日本電気株式会社 電子回路基板における布線検査装置
JP3310026B2 (ja) 1992-09-28 2002-07-29 株式会社日立国際電気 フライトデータ記録方法及びボイス・フライト・データレコーダ
TW401008U (en) 1993-04-21 2000-08-01 Omron Tateisi Electronics Co Visual inspection support device and substrate inspection device
JP3691146B2 (ja) 1996-02-06 2005-08-31 東芝機械株式会社 Ｘｙステージ及び平板状の被検査物の検査方法
JPH10221058A (ja) 1997-02-12 1998-08-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ガラス基板の異物検査装置
JP2001044693A (ja) 1999-07-30 2001-02-16 Yamaha Motor Co Ltd 表面実装装置
JP2004003944A (ja) 2002-04-08 2004-01-08 Hoya Corp 眼鏡枠形状測定装置
KR100582695B1 (ko) 2002-11-21 2006-05-23 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 기판의 위치 결정 방법 및 이 방법을 이용한 검사 장치
JP4546066B2 (ja) 2002-11-21 2010-09-15 株式会社日立国際電気 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置
AU2003241973A1 (en) * 2003-05-30 2005-01-21 Advantest Corporation Electronic component test instrument
JP4161272B2 (ja) 2003-12-16 2008-10-08 株式会社ダイフク 搬送装置
JP5265099B2 (ja) 2006-09-11 2013-08-14 オリンパス株式会社 基板検査装置
TWI347469B (en) 2007-04-27 2011-08-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Fixation device and method for controlling thereof
EP1995602B1 (en) 2007-05-23 2013-08-14 RRo Holding B.V. Probe board, test fixture, method for making a probe board, and method for testing a printed circuit board
KR20090008736A (ko) 2007-07-18 2009-01-22 제일모직주식회사 아자보라페난스린 또는 옥사보라페난스린 유도체 및 이를이용한 유기전자소자
KR20090088736A (ko) * 2008-02-15 2009-08-20 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 이송장치
US20100210386A1 (en) * 2009-02-13 2010-08-19 Long Jr Thomas F Torque limiter arrangement for a horizontal grinder
JP5442366B2 (ja) 2009-09-10 2014-03-12 日置電機株式会社 クランプ機構、基板固定装置および基板検査装置
CN201672910U (zh) * 2010-05-31 2010-12-15 东莞市奥普特自动化科技有限公司 一种离线锡膏测厚仪
JP5498289B2 (ja) 2010-07-13 2014-05-21 富士通テレコムネットワークス株式会社 薄型二次電池用充放電試験装置のチャック機構
CN102621019A (zh) 2011-01-30 2012-08-01 纬创资通股份有限公司 夹持治具及具有该夹持治具的摩擦测试装置和方法
CN202066796U (zh) 2011-03-15 2011-12-07 上海赫立电子科技有限公司 自动夹板装置及包括该装置的自动光学检测装置
JP5803015B2 (ja) 2011-08-31 2015-11-04 Ｊｕｋｉオートメーションシステムズ株式会社 搬送装置、処理装置及び搬送方法
KR101952447B1 (ko) 2011-09-21 2019-02-26 가부시키가이샤 니데크 안경테 형상 측정 장치
KR101444909B1 (ko) 2013-01-28 2014-10-02 김기훈 화물 이송장치
JP2015061049A (ja) 2013-09-20 2015-03-30 日本電産リード株式会社 処理対象物搬送システム、及び基板検査システム
CN105659719B (zh) 2013-10-21 2019-10-18 株式会社富士 电子元件装配装置
CN104505485B (zh) 2014-10-23 2017-01-18 苏州三屹晨光自动化科技有限公司 电池极耳自动检测机
KR20160048549A (ko) 2014-10-24 2016-05-04 삼성전기주식회사 기판 검사 장치
JP6744316B2 (ja) 2015-08-20 2020-08-19 株式会社Ｆｕｊｉ 部品実装装置
KR101682012B1 (ko) 2015-08-25 2016-12-02 (주) 암시스 브레이크 디스크 액슬 어셈블리에서의 브레이크 디스크 검사장치
KR102396294B1 (ko) 2015-10-16 2022-05-11 삼성디스플레이 주식회사 클램핑 장치
KR101736269B1 (ko) 2015-10-30 2017-05-16 주식회사 고영테크놀러지 물품 이송 장치 및 물품 검사 장치
KR101743479B1 (ko) 2015-12-29 2017-06-07 (주)진성이엔지 디스플레이 글라스 비전검사 공정방법
KR101614706B1 (ko) 2016-02-02 2016-04-22 박희정 박판용접용 정밀 클램프 지그
WO2017154719A1 (ja) 2016-03-07 2017-09-14 三菱電機株式会社 物品移送装置
CN205384112U (zh) 2016-03-11 2016-07-13 河北工业大学 一种smt印刷钢网自动检测机
JP2017207329A (ja) 2016-05-17 2017-11-24 Juki株式会社 照明装置及び検査装置
CN105752635B (zh) 2016-05-18 2019-06-18 广州超音速自动化科技股份有限公司 电路板输送流水线
US9878861B1 (en) 2016-09-08 2018-01-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Sheet supplying apparatus, image forming apparatus
CN106443041A (zh) 2016-09-29 2017-02-22 嘉兴御创电力科技有限公司 一种用于电路板的智能检测机
TWI615342B (zh) * 2017-03-21 2018-02-21 德律科技股份有限公司 電路板測試系統、電路板測試方法及電路板安裝裝置
CN207335610U (zh) 2017-08-23 2018-05-08 昆山市亚明磊电子科技有限公司 一种检测pcb板平整度的夹具
CN107738919A (zh) 2017-10-11 2018-02-27 李贺满 一种电子线路板自动化检测设备
CN208091375U (zh) 2018-04-19 2018-11-13 广东莱亿机械科技有限公司 一种手机壳长宽和段差深度连续检测装置
CN108663011B (zh) 2018-05-16 2020-04-10 广州隆控机电设备有限公司 一种轴承装配平面跳动检测装置
CN109202778A (zh) 2018-11-21 2019-01-15 阳普医疗（湖南）有限公司 自锁夹具

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000338164A (ja) * 1999-05-28 2000-12-08 Nidec-Read Corp 基板検査装置
JP2006138808A (ja) * 2004-11-15 2006-06-01 Mitsubishi Electric Corp 基板検査装置
KR200420972Y1 (ko) * 2006-04-25 2006-07-07 차봉열 간소화된 클램프 구조를 가진 인쇄회로기판 검사기
JP2007311497A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd プリント基板保持装置
KR101557783B1 (ko) * 2014-06-19 2015-10-07 주식회사 미르기술 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN113330272B (zh) 2023-11-28
CN113330272A (zh) 2021-08-31
WO2020153742A1 (ko) 2020-07-30
JP7206401B2 (ja) 2023-01-17
US20220091180A1 (en) 2022-03-24
EP3916340A1 (en) 2021-12-01
WO2020153741A1 (ko) 2020-07-30
JP2022518542A (ja) 2022-03-15
KR102655029B1 (ko) 2024-04-08
CN113330273A (zh) 2021-08-31
US11867747B2 (en) 2024-01-09
CN113330273B (zh) 2023-11-21
EP3916340A4 (en) 2022-03-23
EP3916341A4 (en) 2022-03-23
KR20210099157A (ko) 2021-08-11
US20220091179A1 (en) 2022-03-24
US11921151B2 (en) 2024-03-05
EP3916341A1 (en) 2021-12-01
JP2022519482A (ja) 2022-03-24
KR20210099158A (ko) 2021-08-11
JP7246497B2 (ja) 2023-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6574036B2 (ja) 回路基板実装装置
KR100750868B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치
KR101696682B1 (ko) 전자부품 핸들링 장치 및 전자부품 시험장치
KR101063774B1 (ko) 멀티 프로브 유니트
TW201315973A (zh) 發光元件之檢查裝置及檢查方法
WO2008056418A1 (en) Tcp handling device, and method for positional alignment of connecting terminals in the device
KR102649083B1 (ko) 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법
KR101839214B1 (ko) 프로브 카드 반송 장치, 프로브 카드 반송 방법 및 프로브 장치
KR100802436B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치
TW201843095A (zh) 電子元件載具及其應用之作業分類設備
CN111474598A (zh) 电子部件装载状态检测装置
TWI548026B (zh) Electronic components handling unit and its application equipment
CN212988284U (zh) 非接触式检测设备
KR100940457B1 (ko) 에스에스디(ｓｓｄ) 테스트 핸들러의 푸싱장치
JP6782001B2 (ja) 電気検査装置
KR102013320B1 (ko) 디스플레이 패널 제조장치
KR102052180B1 (ko) 발광 다이오드 패키지 테스트 장치
KR20220020752A (ko) 카메라 모듈 결합장치
KR20170092034A (ko) 운송 설비
CN116794039A (zh) 一种电路板外观检测设备
CN117630634A (zh) 基板测试方法及测试设备
KR20200065208A (ko) 기판 반송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right