CN117630634A - 基板测试方法及测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电子设备测试技术领域，具体公开了基板测试方法及测试设备。该方法包括以下步骤，将检测头置于合格件的顶面；测试合格件的工作情况；判断合格件是否正常工作，若否，则更换检测头，然后重新检测；将合格件和置于合格件上的检测头作为一个探针卡，将若干探针卡安装于转盘装置上；利用传送装置将待测基板传送至测试位置，判断待测基板的类型，并利用转盘装置将对应的探针卡移动至拿取位置；先从位于拿取位置的探针卡上吸附检测头，再将检测头抵压于待测基板上，使检测头通信连接待测基板；判断待测基板是否正常工作，若是，则视为合格品，若否，则视为残次品；将待测基板传送出传送装置。该方法提高了测试效率和准确性，减少了工作量。

Description

基板测试方法及测试设备

技术领域

本发明涉及电子设备测试技术领域，尤其涉及基板测试方法及测试设备。

背景技术

在电子制造行业，基板是一种常见的电子元器件，如PCB(Printed CircuitBoard，印刷电路板)和IC(integrated circuit，集成电路)等。基板在生产过程中，需要进行测试，以确保其质量和性能满足要求。

目前，传统的测试方法为手动测试，这种方法效率低、成本高且易出错。在现代制造业中，基板测试设备已成为提高生产效率和质量的关键技术。它可以减少人为错误，提高测试的准确性和一致性，同时节省时间和成本。然而，需要注意的是，基板测试设备的选择和应用需要根据具体的生产需求和测试要求进行评估和选择。面对不同类型的基板和测试需求，需要应用不同的探针卡进行测试。然而，现有的基板测试设备的自动化程度低下，存在测试效率低和测试精度低等问题，且对于不同探针卡的切换操作较为繁琐，难以实现探针卡的高效精确切换。

在测试过程中，探针卡易因刚性碰撞而产生损伤故障，从而严重地影响测试的结果。而现有的基板测试设备同样无法对及时地检测探针卡，难以判断测试是否正常进行。

因此，亟需一种自动化基板测试方法，以提高基板测试的效率，减少测试的成本，提高测试结果的准确性。

发明内容

本发明的目的在于提供基板测试方法及测试设备，以提高基板测试的效率，减少测试的成本，提高测试结果的准确性。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

基板测试方法，用于测试待测基板，包括以下步骤：

S10：将检测头置于合格件的顶面，使所述检测头通信连接所述合格件；

S20：测试所述合格件的工作情况；

S30：判断所述合格件是否正常工作，若是，则进行S40，若否，则更换所述检测头，然后返回S20；

S40：将所述合格件和置于所述合格件上的所述检测头作为一个探针卡，将若干所述探针卡安装于转盘装置上；

S50：利用传送装置将所述待测基板传送至测试位置，判断所述待测基板的类型，并利用所述转盘装置将对应的所述探针卡移动至拿取位置；

S60：利用检测装置先从位于所述拿取位置的所述探针卡上吸附所述检测头，再将所述检测头抵压于所述待测基板上，使所述检测头通信连接所述待测基板；

S70：判断所述待测基板是否正常工作，若是，则将所述待测基板视为合格品，然后进行S80，若否，则将所述待测基板视为残次品，然后进行S80；

S80：利用传送装置将所述待测基板传送出所述传送装置。

基板测试设备，适用于上述的基板测试方法，所述基板测试设备包括所述转盘装置、所述检测装置和所述传送装置；所述转盘装置包括转盘底座、夹持组件和转盘本体，所述转盘本体转动连接于所述转盘底座，所述转盘本体上周向均布有若干安装位，所述探针卡可拆卸安装于所述安装位，所述转盘本体能绕自身轴线旋转，使每个所述探针卡均能经过所述拿取位置，所述夹持组件选择性夹持位于所述拿取位置的所述探针卡的所述合格件；所述检测装置选择性吸附并带动所述检测头；所述传送装置用于沿工作路径传送所述待测基板，所述工作路径经过所述测试位置。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述传送装置包括平台底板以及安装于所述平台底板上的顶升组件、止动组件和搬运组件，所述搬运组件用于带动置于所述搬运组件上的所述待测基板沿所述工作路径移动，所述平台底板上固接有若干三角定位块，所述止动组件能将所述待测基板止动于所述测试位置，所述顶升组件包括能相对所述平台底板升降的升降平台，所述待测基板能夹设于所述升降平台与所述三角定位块之间。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述止动组件包括止动驱动单元及固接于所述止动驱动单元输出端的定位柱，所述止动驱动单元用于带动所述定位柱在止动位置与避让位置之间移动，当所述定位柱位于所述避让位置时，所述定位柱与所述工作路径间隔设置；当所述定位柱位于所述止动位置时，沿所述工作路径移动的所述待测基板止动于所述待测基板与所述定位柱相抵靠。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述定位柱沿垂直于所述工作路径的方向延伸，所述定位柱远离所述止动驱动单元的一端设有倒角。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述搬运组件包括传送固定立板、活动板、调宽定位板、传送驱动模块和宽度调节模块，所述传送固定立板和所述调宽定位板正对设置且均固接于所述平台底板上，所述传送固定立板上设有第一同步带，所述活动板上设有第二同步带，所述第一同步带和所述第二同步带相互平行；所述传送驱动模块用于驱动转轴旋转，所述转轴同轴固接有第一传动轮，所述第一传动轮转动连接于所述传送固定立板，所述转轴上滑设有同轴的第二传动轮，所述第二传动轮转动连接于所述活动板，所述转轴通过所述第一传动轮带动所述第一同步带，所述转轴通过所述第二传动轮带动所述第二同步带，使所述第一同步带和所述第二同步带同步传送所述待测基板；所述宽度调节模块用于调节所述活动板靠近或远离所述传送固定立板。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述转盘装置还包括转盘驱动单元，所述转盘驱动单元的输出端同轴固接于所述转盘本体，所述转盘驱动单元用于驱动所述转盘本体绕所述转盘本体的轴线旋转。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述升降平台设于所述测试位置正下方，所述升降平台能相对所述平台底板在顶升位置与收回位置之间移动，所述升降平台所在的平面平行于所述待测基板所在的平面，当所述升降平台从所述收回位置移动至所述顶升位置的过程中，所述升降平台自下而上推动位于所述测试位置的所述待测基板，直至所述待测基板夹设于所述升降平台与所述三角定位块之间。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述检测装置包括Y轴模组、X轴模组、吸附单元和Z轴模组，所述吸附单元能吸附或释放所述检测头，所述X轴模组活动安装于所述Y轴模组上，所述X轴模组能相对所述Y轴模组沿第一方向移动，所述Z轴模组活动安装于所述X轴模组上，所述Z轴模组能相对所述X轴模组沿第二方向移动，所述吸附单元活动安装于所述Z轴模组上，所述吸附单元能相对所述Z轴模组沿第三方向移动；其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

作为基板测试设备的优选技术方案，所述检测装置还包括固接于所述Z轴模组上的测试摄像头，所述测试摄像头用于拍摄所述吸附单元以及所述吸附单元所吸附的所述检测头。

本发明的有益效果：

该基板测试方法通过对合格件的工作情况的测试，得以在对待测基板进行测试前，先对检测头进行测试，以确保结构脆弱的检测头在对待测基板进行测试之前都保持完好，从而提升了测试结果的准确性。借助转盘装置、检测装置和传送装置的配合，得以先使待测基板移动到位，再选取对应类型的探针卡，将探针卡上的检测头拆卸下来并通信连接于待测基板，进行测试并判断待测基板是否合格。以上测试保障了待测基板的准确到位，确保了检测头与待测基板的类型匹配，保障了对待测基板的测试能够顺利完成。以上流程达到了对待测基板的测试目的，提高了测试效率和准确性，降低了成本。同时，上述测试流程简单直接，意外情况少，便于借助设备自动完成，自动化程度的提高使得待测基板的测试流程方便快捷，从而有助于减少人工干预，降低操作人员误操作的风险。

该基板测试设备借助夹持组件选择性夹持合格件的设计，得以利用夹持组件完成对合格件的定位和释放动作，以上应用使得合格件在转盘本体上的定位更加牢固和稳定，降低了工作过程中探针卡产生位置偏差的风险。配合检测装置的设置，得以完成对检测头的选择性吸附动作，从而能够在测试时利用检测装置带动检测头到外部芯片的待测位置处。传送装置的设置满足了对检测头的位置调整需求，确保了基板测试设备的顺利运行，使得基板测试设备能够应用于多种不同的工作场景中。基板测试设备具有自动定位、快速切换、高效率和测试准确性等优点，提高了测试效率，降低了人工操作成本。相比传统的人工干预方式，上述设备能够提高测试的效率，同时确保测试的准确性和稳定性。

附图说明

图1是本发明实施例提供的基板测试设备的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的第一视角的升降机构的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的第二视角的升降机构的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的除平台底板外的升降机构的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的升降单元的爆炸图；

图6是本发明实施例提供的定位柱的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的检测装置的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的转盘装置的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的传送装置的结构示意图。

图中：

Y、第一方向；X、第二方向；Z、第三方向；

1、平台底板；2、升降平台；3、传送固定立板；4、升降转轴套；5、皮带；6、传送导条；7、第二同步带；8、第二传动轮；9、丝杠；10、止动组件；11、三角定位块；12、调宽定位板；13、转盘本体；14、锁扣槽；15、合格件；16、夹持组件；17、夹爪；18、转盘底座；19、Y轴模组；20、Y轴拖链支撑板；21、X轴驱动单元；22、吸附单元；23、检测头；24、测试摄像头；25、X轴模组；26、X轴拖链支撑板；27、模组驱动单元；28、Z轴模组；29、张紧轮；30、锁紧装置；31、锁紧孔；32、升降驱动单元；33、升降同步带轮；34、轴承；35、待测基板。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

如图1至图9所示，本实施例提供了基板测试方法，用于测试待测基板35，包括以下步骤：

步骤一：将检测头23置于合格件15的顶面，使检测头23通信连接合格件15。

步骤二：测试合格件15的工作情况。

步骤三：判断合格件15是否正常工作，若是，则进行步骤四，若否，则更换检测头23，然后返回步骤二。

步骤四：将合格件15和置于合格件15上的检测头23作为一个探针卡，将若干探针卡安装于转盘装置上。

步骤五：利用传送装置将待测基板35传送至测试位置，判断待测基板35的类型，并利用转盘装置将对应的探针卡移动至拿取位置。

步骤六：利用检测装置先从位于拿取位置的探针卡上吸附检测头23，再将检测头23抵压于待测基板35上，使检测头23通信连接待测基板35。

步骤七：判断待测基板35是否正常工作，若是，则将待测基板35视为合格品，然后进行步骤八，若否，则将待测基板35视为残次品，然后进行步骤八。

步骤八：利用传送装置将待测基板35传送出传送装置。

该基板测试方法通过对合格件15的工作情况的测试，得以在对待测基板35进行测试前，先对检测头23进行测试，以确保结构脆弱的检测头23在对待测基板35进行测试之前都保持完好，从而提升了测试结果的准确性。借助转盘装置、检测装置和传送装置的配合，得以先使待测基板35移动到位，再选取对应类型的探针卡，将探针卡上的检测头23拆卸下来并通信连接于待测基板35，进行测试并判断待测基板35是否合格。以上测试保障了待测基板35的准确到位，确保了检测头23与待测基板35的类型匹配，保障了对待测基板35的测试能够顺利完成。以上流程达到了对待测基板35的测试目的，提高了测试效率和准确性，降低了成本。同时，上述测试流程简单直接，意外情况少，便于借助设备自动完成，自动化程度的提高使得待测基板35的测试流程方便快捷，从而有助于减少人工干预，降低操作人员误操作的风险。

本实施例还提供了基板测试设备，适用于上述的基板测试方法，基板测试设备包括转盘装置、检测装置和传送装置；转盘装置包括转盘底座18、夹持组件16和转盘本体13，转盘本体13转动连接于转盘底座18，转盘本体13上周向均布有若干安装位，探针卡可拆卸安装于安装位，转盘本体13能绕自身轴线旋转，使每个探针卡均能经过拿取位置，夹持组件16选择性夹持位于拿取位置的探针卡的合格件15；检测装置选择性吸附并带动检测头23；传送装置用于沿工作路径传送待测基板35，工作路径经过测试位置。

该基板测试设备借助夹持组件16选择性夹持合格件15的设计，得以利用夹持组件16完成对合格件15的定位和释放动作，以上应用使得合格件15在转盘本体13上的定位更加牢固和稳定，降低了工作过程中探针卡产生位置偏差的风险。配合检测装置的设置，得以完成对检测头23的选择性吸附动作，从而能够在测试时利用检测装置带动检测头23到外部芯片的待测位置处。传送装置的设置满足了对检测头23的位置调整需求，确保了基板测试设备的顺利运行，使得基板测试设备能够应用于多种不同的工作场景中。基板测试设备具有自动定位、快速切换、高效率和测试准确性等优点，提高了测试效率，降低了人工操作成本。相比传统的人工干预方式，上述设备能够提高测试的效率，同时确保测试的准确性和稳定性。

具体地，基板测试设备自动定位的优点体现于，传送装置能够确保待测基板35在测试过程中的准确定位，从而避免了待测基板35的位置偏差对测试结果的影响；快速切换的优点体现于，转盘装置和检测装置的配合能够实现不同类型的探针卡的快速切换，从而能够迅速地更换与待测基板35对应的探针卡，节省了切换时间并提高了生产效率；高效率的优点体现于，传送装置的自动化操作和快速切换功能使得测试过程更加高效，能够节省时间和人力资源；测试准确性的优点体现于，传送装置的精确定位以及对检测头23的准确选择可以确保测试的准确性，提高了对待测基板35的质量控制。

基板测试设备可以根据待测基板35类型的不同，快速更换探针卡和相应构件结构；通过转盘装置与检测装置的配合，得以将对应的探针卡快速切换到拿取位置处，以完成对不同类型的待测基板35的测试，提高测试效率和测试精度，减少测试过程中的误差。

该基板测试设备适用于各种待测基板35的测试应用场景，包括但不限于电子产品制造、电路板测试和半导体封装测试等。

在本实施例中，传送装置包括平台底板1以及安装于平台底板1上的顶升组件、止动组件10和搬运组件，搬运组件用于带动置于搬运组件上的待测基板35沿工作路径移动，平台底板1上固接有若干三角定位块11，止动组件10能将待测基板35止动于测试位置，顶升组件包括能相对平台底板1升降的升降平台2，待测基板35能夹设于升降平台2与三角定位块11之间。

传送装置用于实现对待测基板35的平稳传送和准确定位。顶升组件、止动组件10和搬运组件的设置确保待测基板35能够沿工作路径顺利传送并在测试位置处选择性定位。通过带动置于搬运组件上的待测基板35的方式，能够保障待测基板35的顺利移动。利用止动组件10实现了待测基板35的止动，确保了待测基板35在顶升过程中不产生位置偏移。而升降平台2通过顶升待测基板35并最终将待测基板35夹设于升降平台2和三角定位块11之间的方式，得以使待测基板35的下板面暂时脱离搬运组件，以至于搬运组件不再驱动待测基板35，并最终在待测基板35抵压于三角定位块11上时，实现对待测基板35位置的精准确定，保证待测基板35在测试时不发生移动。而在测试完成后，升降平台2下降，使待测基板35的下板面重新接触搬运组件，之后再控制止动组件10避让待测基板35，能够使待测基板35在搬运组件的驱动下继续沿工作路径移动。

本实施例中，升降平台2的底端固接有丝杆，丝杆的长度方向垂直于平台底板1且丝杆的顶端可拆卸连接于升降平台2的下板面，丝杆上传动连接有丝杆轴套，丝杆轴套转动连接于平台底板1上，升降同步带轮33固接于丝杆轴套且升降同步带轮33与丝杆的轴线重合；皮带5套接于所有的升降同步带轮33上。

升降转轴套4穿接于平台底板1，丝杆轴套与轴承34的内圈转动配合，升降转轴套4与轴承34的外圈转动配合。升降平台2的下板面固接有锁紧装置30，锁紧装置30与丝杆的端部可拆卸锁紧连接。平台底板1上还安装有张紧板，张紧板能够在平行于平台底板1的平面内移动，张紧板上转动连接有至少一个张紧轮29，张紧轮29的轴线垂直于平台底板1，皮带5套接于所有的张紧轮29上。升降驱动单元32固接于平台底板1上，驱动同步带轮固接于升降驱动单元32的输出端，皮带5套接于驱动同步带轮上。锁紧装置30上设有锁紧盲孔和连通于锁紧盲孔的松紧槽，松紧螺栓能穿过锁紧孔31并螺接于松紧槽的两个侧壁上，松紧螺栓能够驱动松紧槽的两个侧壁相向变形，以使锁紧盲孔收缩。具体地，升降驱动单元32为电机。

本实施例中，夹持组件16包括夹持驱动单元和铰接于夹持驱动单元输出端的夹爪17，夹爪17用于夹持合格件15上凹设的锁扣槽14。具体地，夹持驱动单元为气缸。

进一步地，止动组件10包括止动驱动单元及固接于止动驱动单元输出端的定位柱，止动驱动单元用于带动定位柱在止动位置与避让位置之间移动，当定位柱位于避让位置时，定位柱与工作路径间隔设置；当定位柱位于止动位置时，沿工作路径移动的待测基板35止动于待测基板35与定位柱相抵靠。止动组件10的设置，满足了对待测基板35的止动要求，确保了待测基板35能够按照工作流程止动于测试位置处，并在之后继续移动。止动驱动单元和定位柱的结构简单可靠，通过止动驱动单元对定位柱的驱动，得以在待测基板35的移动方向上伸出和收回定位柱，以上设计简单可靠，传动单纯且占用空间小，有助于完成对待测基板35在测试位置处的选择性制动设计。

再进一步地，定位柱沿垂直于工作路径的方向延伸，定位柱远离止动驱动单元的一端设有倒角。倒角的设置保证了待测基板35在随着搬运组件移动的过程中，不会被定位柱顶起，由此确保了被夹设于升降平台2和三角定位块11之间的待测基板35不会产生位置的偏移，从而有效地降低了检测头23在待测基板35上抵压错位的风险，减少了测试无法完成的概率，保障了基板测试设备的工作效率。

在本实施例中，搬运组件包括传送固定立板3、活动板、调宽定位板12、传送驱动模块和宽度调节模块，传送固定立板3和调宽定位板12正对设置且均固接于平台底板1上，传送固定立板3上设有第一同步带，活动板上设有第二同步带7，第一同步带和第二同步带7相互平行；传送驱动模块用于驱动转轴旋转，转轴同轴固接有第一传动轮，第一传动轮转动连接于传送固定立板3，转轴上滑设有同轴的第二传动轮8，第二传动轮8转动连接于活动板，转轴通过第一传动轮带动第一同步带，转轴通过第二传动轮8带动第二同步带7，使第一同步带和第二同步带7同步传送待测基板35；宽度调节模块用于调节活动板靠近或远离传送固定立板3。

具体地，丝杠9的两端转动连接于传送固定立板3和调宽定位板12上，丝杠9与丝杠轴套转动配合，丝杠轴套穿接于活动板设置，以实现活动板靠近或远离传送固定立板3的移动。

借助活动板能够靠近或远离传送固定立板3移动的设计，实现了对第一同步带与第二同步带7之间间距的调整，进而使得搬运组件得以应用于多种不同尺寸的待测基板35的搬运工作中。第一传动轮与第二传动轮8的同轴设计，实现了第一同步带和第二同步带7对待测基板35的同步传送，保障了传送作业的效果，提升了传送的稳定性。应用上述结构的搬运组件具备调整结果准确、调整精度高、适用性好以及传送效率高的优点，有助于保障传送作业的顺利完成。

进一步地，传送固定立板3顶端固接有平行于第一同步带延伸的传送导条6，活动板的顶端固接有平行于第二同步带7延伸的传送导条6，若干三角定位块11可拆卸安装于传送导条6上。三角定位块11在传送导条6上的安装位置可调，三角定位块11的设置位置灵活多变，以便于对测试位置进行调整，使得传送装置能够适用于不同的待测基板35的测试流程之中。

示例性地，转盘装置还包括转盘驱动单元，转盘驱动单元的输出端同轴固接于转盘本体13，转盘驱动单元用于驱动转盘本体13绕转盘本体13的轴线旋转。具体地，转盘驱动单元为电机。

转盘驱动单元的设置使得转盘本体13的旋转动作得以自动完成，以上设计提升了转盘本体13旋转的精度，确保了探针卡能够准确地移动至拿取位置上，以便后续夹持组件16对合格件15的定位操作以及吸附单元22对检测头23的吸附操作能够准确的完成。以上设计提升了基板测试设备动作的准确性，同时还有助于提高基板测试设备的自动化程度，减少操作人员的工作量。

在本实施例中，升降平台2设于测试位置正下方，升降平台2能相对平台底板1在顶升位置与收回位置之间移动，升降平台2所在的平面平行于待测基板35所在的平面，当升降平台2从收回位置移动至顶升位置的过程中，升降平台2自下而上推动位于测试位置的待测基板35，直至待测基板35夹设于升降平台2与三角定位块11之间。

通过升降平台2能在顶升位置与收回位置之间移动的设计，得以确保升降平台2带动待测基板35升降的操作能够顺利地完成。以上设计设计简单可靠，传动单纯且占用空间小，得以使待测基板35顺利地脱离搬运组件并抵靠于三角定位块11上，且能够尽可能地减少外力造成待测基板35位置偏移的风险。

示例性地，检测装置包括Y轴模组19、X轴模组25、吸附单元22和Z轴模组28，吸附单元22能吸附或释放检测头23，X轴模组25活动安装于Y轴模组19上，X轴模组25能相对Y轴模组19沿第一方向Y移动，Z轴模组28活动安装于X轴模组25上，Z轴模组28能相对X轴模组25沿第二方向X移动，吸附单元22活动安装于Z轴模组28上，吸附单元22能相对Z轴模组28沿第三方向Z移动；其中，第一方向Y、第二方向X和第三方向Z两两垂直。

借助Y轴模组19、X轴模组25和Z轴模组28的设置，得以实现吸附单元22在三维空间内的位移，从而确保了吸附单元22能够与转盘装置和传送装置顺利交互，保障了基板测试设备的稳定运行。

本实施例中，Y轴模组19上固接有Y轴拖链支撑板20，Y轴模组19包括Y轴驱动单元和Y轴拖链，Y轴驱动单元用于带动Y轴拖链，使X轴模组25相对Y轴模组19沿第一方向Y移动，Y轴拖链支撑板20用于收纳Y轴拖链；X轴模组25上固接有X轴拖链支撑板26，X轴模组25包括X轴驱动单元21和X轴拖链，X轴驱动单元21用于带动X轴拖链，使Z轴模组28相对X轴模组25沿第二方向X移动，X轴拖链支撑板26用于收纳X轴拖链；Z轴模组28包括模组驱动单元27，吸附单元22固接于Z轴模组28的输出端，模组驱动单元27用于带动吸附单元22沿第三方向Z移动。具体地，Y轴驱动单元、X轴驱动单元21和模组驱动单元27均为电缸。

示例性地，检测装置还包括固接于Z轴模组28上的测试摄像头24，测试摄像头24用于拍摄吸附单元22以及吸附单元22所吸附的检测头23。借助测试摄像头24的设置，达到了对合格件15的位置识别目的，通过对待测基板35的位置进行定位识别，能够保证检测头23和待测基板35的接触位置相匹配。得以获取到吸附单元22处的影像资料，从而得以监测检测装置从位于拿取位置的探针卡上吸附检测头23，到将检测头23抵压于待测基板35的全过程，通过对以上流程的记录，得以对检测装置工作的全流程进行影像存档，以确保检测装置的运行情况能够被核实，同时还便于操作人员及时地发现检测装置、传送装置和转盘装置的运行问题，从而减少基板测试设备的无效测试时长，进一步地保障了基板测试设备的工作效率。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.基板测试方法，用于测试待测基板(35)，其特征在于，包括以下步骤：

S10：将检测头(23)置于合格件(15)的顶面，使所述检测头(23)通信连接所述合格件(15)；

S20：测试所述合格件(15)的工作情况；

S30：判断所述合格件(15)是否正常工作，若是，则进行S40，若否，则更换所述检测头(23)，然后返回S20；

S40：将所述合格件(15)和置于所述合格件(15)上的所述检测头(23)作为一个探针卡，将若干所述探针卡安装于转盘装置上；

S50：利用传送装置将所述待测基板(35)传送至测试位置，判断所述待测基板(35)的类型，并利用所述转盘装置将对应的所述探针卡移动至拿取位置；

S60：利用检测装置先从位于所述拿取位置的所述探针卡上吸附所述检测头(23)，再将所述检测头(23)抵压于所述待测基板(35)上，使所述检测头(23)通信连接所述待测基板(35)；

S70：判断所述待测基板(35)是否正常工作，若是，则将所述待测基板(35)视为合格品，然后进行S80，若否，则将所述待测基板(35)视为残次品，然后进行S80；

S80：利用传送装置将所述待测基板(35)传送出所述传送装置。

2.基板测试设备，适用于权利要求1所述的基板测试方法，其特征在于，所述基板测试设备包括所述转盘装置、所述检测装置和所述传送装置；所述转盘装置包括转盘底座(18)、夹持组件(16)和转盘本体(13)，所述转盘本体(13)转动连接于所述转盘底座(18)，所述转盘本体(13)上周向均布有若干安装位，所述探针卡可拆卸安装于所述安装位，所述转盘本体(13)能绕自身轴线旋转，使每个所述探针卡均能经过所述拿取位置，所述夹持组件(16)选择性夹持位于所述拿取位置的所述探针卡的所述合格件(15)；所述检测装置选择性吸附并带动所述检测头(23)；所述传送装置用于沿工作路径传送所述待测基板(35)，所述工作路径经过所述测试位置。

3.根据权利要求2所述的基板测试设备，其特征在于，所述传送装置包括平台底板(1)以及安装于所述平台底板(1)上的顶升组件、止动组件(10)和搬运组件，所述搬运组件用于带动置于所述搬运组件上的所述待测基板(35)沿所述工作路径移动，所述平台底板(1)上固接有若干三角定位块(11)，所述止动组件(10)能将所述待测基板(35)止动于所述测试位置，所述顶升组件包括能相对所述平台底板(1)升降的升降平台(2)，所述待测基板(35)能夹设于所述升降平台(2)与所述三角定位块(11)之间。

4.根据权利要求3所述的基板测试设备，其特征在于，所述止动组件(10)包括止动驱动单元及固接于所述止动驱动单元输出端的定位柱，所述止动驱动单元用于带动所述定位柱在止动位置与避让位置之间移动，当所述定位柱位于所述避让位置时，所述定位柱与所述工作路径间隔设置；当所述定位柱位于所述止动位置时，沿所述工作路径移动的所述待测基板(35)止动于所述待测基板(35)与所述定位柱相抵靠。

5.根据权利要求4所述的基板测试设备，其特征在于，所述定位柱沿垂直于所述工作路径的方向延伸，所述定位柱远离所述止动驱动单元的一端设有倒角。

6.根据权利要求3所述的基板测试设备，其特征在于，所述搬运组件包括传送固定立板(3)、活动板、调宽定位板(12)、传送驱动模块和宽度调节模块，所述传送固定立板(3)和所述调宽定位板(12)正对设置且均固接于所述平台底板(1)上，所述传送固定立板(3)上设有第一同步带，所述活动板上设有第二同步带(7)，所述第一同步带和所述第二同步带(7)相互平行；所述传送驱动模块用于驱动转轴旋转，所述转轴同轴固接有第一传动轮，所述第一传动轮转动连接于所述传送固定立板(3)，所述转轴上滑设有同轴的第二传动轮(8)，所述第二传动轮(8)转动连接于所述活动板，所述转轴通过所述第一传动轮带动所述第一同步带，所述转轴通过所述第二传动轮(8)带动所述第二同步带(7)，使所述第一同步带和所述第二同步带(7)同步传送所述待测基板(35)；所述宽度调节模块用于调节所述活动板靠近或远离所述传送固定立板(3)。

7.根据权利要求3所述的基板测试设备，其特征在于，所述转盘装置还包括转盘驱动单元，所述转盘驱动单元的输出端同轴固接于所述转盘本体(13)，所述转盘驱动单元用于驱动所述转盘本体(13)绕所述转盘本体(13)的轴线旋转。

8.根据权利要求3所述的基板测试设备，其特征在于，所述升降平台(2)设于所述测试位置正下方，所述升降平台(2)能相对所述平台底板(1)在顶升位置与收回位置之间移动，所述升降平台(2)所在的平面平行于所述待测基板(35)所在的平面，当所述升降平台(2)从所述收回位置移动至所述顶升位置的过程中，所述升降平台(2)自下而上推动位于所述测试位置的所述待测基板(35)，直至所述待测基板(35)夹设于所述升降平台(2)与所述三角定位块(11)之间。

9.根据权利要求2-8任一项所述的基板测试设备，其特征在于，所述检测装置包括Y轴模组(19)、X轴模组(25)、吸附单元(22)和Z轴模组(28)，所述吸附单元(22)能吸附或释放所述检测头(23)，所述X轴模组(25)活动安装于所述Y轴模组(19)上，所述X轴模组(25)能相对所述Y轴模组(19)沿第一方向(Y)移动，所述Z轴模组(28)活动安装于所述X轴模组(25)上，所述Z轴模组(28)能相对所述X轴模组(25)沿第二方向(X)移动，所述吸附单元(22)活动安装于所述Z轴模组(28)上，所述吸附单元(22)能相对所述Z轴模组(28)沿第三方向(Z)移动；其中，所述第一方向(Y)、所述第二方向(X)和所述第三方向(Z)两两垂直。

10.根据权利要求9所述的基板测试设备，其特征在于，所述检测装置还包括固接于所述Z轴模组(28)上的测试摄像头(24)，所述测试摄像头(24)用于拍摄所述吸附单元(22)以及所述吸附单元(22)所吸附的所述检测头(23)。