KR101394203B1 - 적층형 반도체 패키지 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 서로 다른 크기를 가지는 반도체 칩이 적층된 적층형 반도체 패키지를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 적층형 반도체 패키지는, 제1 반도체 칩; 상기 제1 반도체 칩을 둘러싸는 제1 몰드층; 및 상기 제1 몰드층을 관통하고 상기 제1 반도체 칩과 전기적으로 연결된 제1 관통 전극;을 포함하는 제1 반도체 칩 구조체; 및 상기 제1 반도체 칩 구조체에 대하여 수직으로 적층되고, 제2 반도체 칩; 및 상기 제1 관통 전극과 전기적으로 연결된 제2 관통 전극;을 포함하는 상기 제2 반도체 칩 구조체; 를 포함하고, 상기 제1 반도체 칩 구조체와 상기 제2 반도체 칩 구조체는 서로 동일한 크기를 가진다.

Description

적층형 반도체 패키지 및 그 제조 방법{Stacked semiconductor package and method of manufacturing the same}
본 발명의 기술적 사상은 반도체 패키지에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 다른 크기를 가지는 반도체 칩을 적층한 적층형 반도체 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 반도체 소자는 공정 기술의 미세화 및 기능의 다양화로 인해 칩 사이즈는 감소하고 입출력 단자들의 갯수는 증가함에 따라 전극 패드 피치는 점점 미세화되고 있으며, 다양한 기능의 융합화가 가속됨에 따라 여러 소자를 하나의 패키지 내에 집적하는 시스템 레벨 패키징 기술이 대두되고 있다. 또한 시스템 레벨 패키징 기술은 동작 간 노이즈를 최소화하고 신호 속도를 향상시키기 위하여 짧은 신호 거리를 유지할 수 있는 3차원 적층 기술 형태로 변화되고 있다. 한편 이러한 기술 개선요구와 더불어 제품 가격 상승을 제어하기 위하여 생산성이 높고 제조 원가를 절감하기 위하여, 복수의 반도체 칩을 적층하여 구성된 적층형 패키지를 도입하고 있다.
적층형 패키지를 구현하기 위하여, 하나의 패키지 내에 적층되는 반도체 칩들은 동일한 크기를 가지는 것이 바람직하다. 적층되는 반도체 칩들이 다른 크기를 가지는 경우에는, 특히 하측에 위치하는 반도체 칩이 상측에 위치하는 반도체 칩에 비하여 작은 크기인 경우에는, 반도체 칩들의 적층이 용이하지 않다. 한국공개특허 제2005-0048323호 (2005.05.24. 공개)에는, 다른 크기를 가지는 반도체 칩들이 적층된 반도체 패키지를 개시하고 있다. 상기 특허에서는, 상대적으로 작은 크기를 가지는 반도체 칩에 주변 영역을 추가하여, 상대적으로 큰 크기를 가지는 반도체 칩과 동일한 크기로 조정한다. 그러나, 상기 주변 영역은 반도체 칩을 형성하는 웨이퍼에 의하여 제공되므로, 웨이퍼 당 반도체 칩의 수율을 감소시킬 수 있고, 다양한 크기의 반도체 칩에 적용하기 어려운 한계가 있다.
1. 한국공개특허 제2005-0048323호 (2005.05.24. 공개)
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제는 다른 크기의 반도체 칩들을 용이하게 적층할 수 있는 적층형 반도체 패키지를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 적층형 반도체 패키지의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 적층형 반도체 패키지는, 제1 반도체 칩; 상기 제1 반도체 칩을 둘러싸는 제1 몰드층; 및 상기 제1 몰드층을 관통하고 상기 제1 반도체 칩과 전기적으로 연결된 제1 관통 전극;을 포함하는 제1 반도체 칩 구조체; 및 상기 제1 반도체 칩 구조체에 대하여 수직으로 적층되고, 제2 반도체 칩; 및 상기 제1 관통 전극과 전기적으로 연결된 제2 관통 전극;을 포함하는 상기 제2 반도체 칩 구조체; 를 포함하고, 상기 제1 반도체 칩 구조체와 상기 제2 반도체 칩 구조체는 서로 동일한 크기를 가진다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 적층형 반도체 패키지의 제조 방법은, 제1 반도체 칩을 둘러싸는 제1 몰드층을 형성하는 단계; 상기 제1 몰드층을 관통하는 제1 관통 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 몰드층 상에 상기 제1 관통 전극과 상기 제1 칩 패드를 전기적으로 연결하는 재배선 패턴을 형성하여 제1 반도체 칩 구조체를 형성하는 단계; 상기 제1 반도체 칩 구조체 상에 제2 반도체 칩과 제2 관통 전극을 가지는 제2 반도체 칩 구조체를 적층하는 단계; 및 상기 제1 반도체 칩 구조체의 상기 제1 관통 전극과 상기 제2 반도체 칩 구조체의 상기 제2 관통 전극을 전기적으로 연결하는 단계;를 포함하고, 상기 제1 반도체 칩 구조체와 상기 제2 반도체 칩 구조체는 서로 동일한 크기를 가진다.
본 발명의 기술적 사상에 따른 적층형 반도체 패키지는, 작은 크기의 반도체 칩을 둘러싸는 몰드 층을 형성하여 큰 크기의 반도체 칩과 동일한 크기를 가지는 반도체 칩 구조체를 형성함으로써, 적층되는 반도체 칩들을 동일한 크기로 조정할 수 있다. 또한, 상기 몰드 층은 개별화된 반도체 칩에 적용되므로, 다양한 크기를 가지는 반도체 칩들의 크기를 용이하여 조정할 수 있다. 또한, 크기가 다른 이종 소자에 대한 웨이퍼 설계를 변경하지 않고, 그대로 이용하여 적층형 반도체 패키지를 구현할 수 있으므로 다양한 어플리케이션의 반도체 소자 사이의 융합이 가능하다. 또한, 웨이퍼 레벨로 구현이 가능하여 생산성 향상 및 제조 비용 절감할 수 있다. 칩의 소자 상부 또는 하부 적층면의 방향에 대한 설계 자유도가 있어 패키지 적용 분야에 따라 고 신뢰성 적층 구조의 구현이 가능하다. 칩 재배열을 통한 패널(또는 기판)형태를 인터포저(매개체) 기판으로 사용하여 이종 소자가 적층이 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지를 도시하는 단면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 적층형 반도체 패키지에 포함된 제1 반도체 칩 구조체와 제2 반도체 칩 구조체의 상면도들이다.
도 4 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지들을 도시하는 단면도들이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지들을 도시하는 단면도들이다.
도 16 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 적층형 반도체 패키지를 제조하는 제조 방법을 공정 단계에 따라 도시하는 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 기술적 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 동일한 부호는 시종 동일한 요소를 의미한다. 나아가, 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지(100)를 도시하는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(100)는 기판(10) 및 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)를 포함한다.
기판(10)은, 예를 들어, 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB), 플렉서블 기판, 테이프 기판 등을 포함할 수 있다. 기판(10)은, 유리(glass), 세라믹(ceramic), 플라스틱(plastic), 또는 폴리머(polymer)를 포함할 수 있다. 기판(10)은 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)가 전기적으로 연결되는 기판 패드(12)를 더 포함할 수 있다. 또한, 기판(10)은 제1 반도체 칩 구조체(20) 및 제2 반도체 칩 구조체(30)를 외부와 전기적으로 연결하는 외측 연결 부재(14)를 더 포함할 수 있다. 외측 연결 부재(14)는 기판 패드(12)와 전기적으로 연결될 수 있다. 외측 연결 부재(14)는, 예를 들어 솔더볼일 수 있다.
제1 반도체 칩 구조체(20)는, 제1 반도체 칩(21), 제1 반도체 칩(21)을 둘러싸는 제1 몰드층(22), 및 제1 몰드층(22)을 관통하고 제1 반도체 칩(21)과 전기적으로 연결된 제1 관통 전극(23)을 포함할 수 있다.
제2 반도체 칩 구조체(30)는 제2 반도체 칩(31), 및 제1 관통 전극(23)과 전기적으로 연결된 제2 관통 전극(33)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는, 제2 반도체 칩 구조체(30)가 제2 반도체 칩(31)으로 구성되어 있고, 제2 관통 전극(33)은 제2 반도체 칩(31)을 관통하도록 구성되어 있다.
제2 반도체 칩 구조체(30)는 제1 반도체 칩 구조체(20)에 대하여 수직으로 적층될 수 있다. 본 실시예에서는, 제2 반도체 칩 구조체(30)는 제1 반도체 칩 구조체(20)의 상측에 적층되어 있다. 또한, 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)는 동일한 크기를 가질 수 있다. 이에 대하여는, 도 2 및 도 3을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
제1 반도체 칩(21)과 제2 반도체 칩(31)은 동종 제품들이거나 또는 이종 제품들일 수 있다. 예를 들어, 제1 반도체 칩(21)과 제2 반도체 칩(31)은 메모리 칩이거나 또는 로직 칩일 수 있다. 이러한 메모리 칩은, 예를 들어 디램(DRAM), 에스램(SRAM), 플래시(flash), 피램(PRAM), 알이램(ReRAM), 에프이램(FeRAM) 또는 엠램(MRAM)을 포함할 수 있다. 이러한 로직 칩은 메모리칩들을 제어하는 제어기일 수 있다. 예를 들어, 제1 반도체 칩(21)은 로직회로를 포함하는 로직칩일 수 있고 제2 반도체 칩(31)은 메모리칩일 수 있고, 또는 이와 반대일 수 있다. 적층형 반도체 패키지(100)는 SOC(system on chip) 또는 SIP(system in package)일 수 있다.
제1 몰드층(22)은 제1 반도체 칩(21)을 둘러쌀 수 있다. 제1 몰드층(22)은 절연물을 포함할 수 있고, 예를 들어 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy mold compound, EMC)를 포함할 수 있다. 제1 반도체 칩(21)은 제1 몰드층(22)으로부터 노출되고, 소자들(미도시)이 형성된 활성면(21a)과 제1 몰드층(22) 내에 매립된 비활성면(21b) 및 측면(21c)을 포함할 수 있다. 대안적으로, 제1 몰드층(22)은 제1 반도체 칩(21)의 측면(21c)을 둘러싸고, 활성면(21a)과 비활성면(21b)을 노출할 수 있다. 적층형 반도체 패키지(100)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업(face-up) 구조를 가질 수 있다. 제1 반도체 칩(21)의 활성면(21a)은 제2 반도체 칩(31)과 대면하도록(facing) 위치할 수 있다.
제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a) 상에 제1 칩 패드(24)를 가질 수 있다. 제1 칩 패드(24)는 제1 반도체 칩(21)에 형성된 소자들(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 칩 패드(24)는 제1 몰드층(22) 상에 위치하는 제1 재배선 패턴(25)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 재배선 패턴(25)은 도전물을 포함할 수 있고, 예를 들어 금속을 포함할 수 있고, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 또는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다. 제1 재배선 패턴(25)은 패드(26)를 통하여 제1 관통 전극(23)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 재배선 패턴(25)은 제1 칩 패드(24)와 제1 관통 전극(23)을 전기적으로 연결할 수 있다. 이에 따라, 제1 반도체 칩(21)은 제1 칩 패드(24), 제1 재배선 패턴(25), 패드(26) 및 제1 관통 전극(23)을 통하여 기판(10)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 관통 전극(23)과 기판(10)은 패드(26)와 범프(80)를 통하여 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 반도체 칩(21)이 제1 재배선 패턴(25)에 연결됨으로써, 제2 반도체 칩 구조체(20)는 팬-아웃 구조를 가질 수 있다.
제2 반도체 칩 구조체(30)는 제2 칩 패드(34)와 범프(80)를 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제2 반도체 칩(31)은 제2 칩 패드(34)와 범프(80)를 통하여 패드(26)에 연결될 수 있고, 이어서 제1 관통 전극(23), 패드(26), 범프(80)를 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 제2 반도체 칩 구조체(30)는 제2 칩 패드(34)와 범프(80)를 통하여 제1 반도체 칩 구조체(20)에 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 제2 반도체 칩(31)은 제2 칩 패드(34)와 범프(80)를 통하여 패드(26)에 연결될 수 있고, 이어서 제1 칩 패드(24)를 통하여 제1 반도체 칩(21)에 전기적으로 연결될 수 있다.
제2 반도체 칩(31)은 서로 반대인 제1 면(31a)과 제2 면(31b)을 가질 수 있다. 제2 반도체 칩(31)의 제1 면(31a)이 활성면인 경우에는, 상술한 바와 같은 전기적 연결 관계를 가질 수 있다. 반면, 제2 반도체 칩(31)의 제2 면(31b)이 활성면인 경우에는, 상기 활성면 상에 형성된 소자들(미도시)은 제2 관통 전극(33)을 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 관통 전극(23)과 제2 관통 전극(33)은 범프(80)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, 이를 위하여 서로 동일한 위치에 위치할 수 있다. 여기에서 서로 동일한 위치는, 기판(10)을 기준으로 하나의 수직선에 제1 관통 전극(23)과 제2 관통 전극(33)이 배치되는 것을 의미하며, 평면적으로 동일한 좌표에 위치함을 의미한다. 즉, 제1 관통 전극(23)과 제2 관통 전극(33)의 풋프린트(foot print)가 동일하다.
선택적으로(optionally), 적층형 반도체 패키지(100)는 제1 반도체 칩 구조체(20) 및 제2 반도체 칩 구조체(30)를 밀봉하는 외측 밀봉 부재(90)를 더 포함할 수 있다. 외측 밀봉 부재(90)는 절연물을 포함할 수 있고, 예를 들어 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있다. 외측 밀봉 부재(90)는 제1 몰드층(22)과 동일한 물질을 포함하거나 다른 물질을 포함할 수 있다.
또한, 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 복수의 제2 반도체 칩 구조체(30)가 적층된 경우도 본 발명의 기술적 사상에 포함된다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)에 포함된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 상면도들이다.
도 2를 참조하면, 제1 반도체 칩 구조체(20)의 제1 몰드층(22)의 적어도 일 측의 크기는 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적어도 일 측의 크기와 동일할 수 있다.
제1 반도체 칩 구조체(20)는 제1 반도체 칩(21)의 제1 칩 패드(24)는 제1 재배선 패턴(25)을 통하여 제1 몰드층(22) 상의 패드(26)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 반도체 칩(21)은 길이(L1)와 폭(W1)을 가질 수 있다. 길이(L1)와 폭(W1)은 동일하거나 또는 다를 수 있다.
제1 몰드층(22)은 제1 반도체 칩(21)을 둘러쌀 수 있다. 제1 몰드층(22)은 제1 반도체 칩(21)의 길이(L1)에 비하여 큰 길이(L2)와 제1 반도체 칩(21)의 폭(W1)에 비하여 큰 폭(W2)을 가질 수 있다. 길이(L2)와 폭(W2)은 동일하거나 또는 다를 수 있다.
제2 반도체 칩 구조체(30)는 길이(L3)와 폭(W3)을 가질 수 있다. 길이(L3)와 폭(W3)은 동일하거나 또는 다를 수 있다. 본 실시예에서는, 제2 반도체 칩 구조체(30)가 제2 반도체 칩(31)으로 구성되는 경우이다.
제1 몰드층(22)의 길이(L2)는 제2 반도체 칩 구조체(30)의 길이(L3)와 동일할 수 있고, 제1 몰드층(22)의 폭(W2)은 제2 반도체 칩 구조체(30)의 폭(W3)과 동일할 수 있다. 이에 따라, 제1 반도체 칩 구조체(20)은 제2 반도체 칩 구조체(30)과 동일한 크기를 가질 수 있다. 즉, 제1 반도체 칩(21)이 제2 반도체 칩(31)에 비하여 작은 크기를 가지는 경우에, 제1 반도체 칩(21)을 둘러싸는 제1 몰드층(22)을 형성하여, 결과적으로 서로 적층되는 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)를 동일한 크기로 구성할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제1 반도체 칩(21)의 일 측의 크기는 제2 반도체 칩(31)의 일 측의 크기와 동일할 수 있다. 또한, 제1 반도체 칩 구조체(20)의 제1 몰드층(22)의 일 측의 크기는 제2 반도체 칩 구조체(30)의 타 측의 크기와 동일할 수 있다.
제1 반도체 칩 구조체(20)는 길이(L1)를 가지는 제1 반도체 칩(21)과 길이(L1)에 비하여 큰 길이(L2)를 가지는 제1 몰드층(22)을 포함할 수 있다. 반면, 제1 반도체 칩(21)과 제1 몰드층(22)의 폭(W2)은 동일할 수 있다. 또한, 제2 반도체 칩 구조체(30)는 길이(L3)와 폭(W3)을 가질 수 있다. 제1 몰드층(22)의 길이(L2)는 제2 반도체 칩 구조체(30)의 길이(L3)와 동일할 수 있고, 제1 몰드층(22)의 폭(W2)은 제2 반도체 칩 구조체(30)의 폭(W3)과 동일할 수 있다.
도 4 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지들(200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)을 도시하는 단면도들이다. 본 실시예들에 따른 적층형 반도체 패키지들(200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)은 상술한 실시예의 적층형 반도체 패키지에서 일부 구성을 변형한 것이고, 따라서 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(200)는 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제1 반도체 칩 구조체(20)과 제2 반도체 칩 구조체(30)을 포함한다. 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)와 비교하면, 적층형 반도체 패키지(200)는 제1 반도체 칩(21)이 뒤집힌 경우이다. 적층형 반도체 패키지(200)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운(face-down) 구조를 가질 수 있다. 제1 반도체 칩(21)의 활성면(21a)은 제2 반도체 칩(31)과 대향하도록(opposite) 위치할 수 있다. 또한, 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 복수의 제2 반도체 칩 구조체(30)가 적층된 경우도 본 발명의 기술적 사상에 포함된다.
도 5를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(300)는 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제2 반도체 칩 구조체(30)와 제1 반도체 칩 구조체(20)를 포함한다. 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)와 비교하면, 적층형 반도체 패키지(300)는 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적층 순서가 반대로 된 경우이다. 즉, 제1 반도체 칩 구조체(20)는 제2 반도체 칩 구조체(30)의 상측에 위치할 수 있다. 적층형 반도체 패키지(300)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업 구조를 가질 수 있다. 제1 반도체 칩(21)의 활성면(21a)은 제2 반도체 칩(31)과 대향하도록(opposite) 위치할 수 있다.
도 6을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(400)는 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)를 포함한다. 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)와 비교하면, 적층형 반도체 패키지(400)는 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적층 순서가 반대로 되고, 제1 반도체 칩(21)이 뒤집힌 경우이다. 적층형 반도체 패키지(400)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운(face-down) 구조를 가질 수 있다. 제1 반도체 칩(21)의 활성면(21a)은 제2 반도체 칩(31)과 대향하도록(opposite) 위치할 수 있다
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지(500)를 도시하는 단면도들이다. 본 실시예들에 따른 적층형 반도체 패키지(500)는 상술한 실시예의 적층형 반도체 패키지에서 일부 구성을 변형한 것이고, 따라서 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 7을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(500)는 제1 반도체 칩 구조체(20) 및 제2 반도체 칩 구조체(30a)를 포함한다. 제1 반도체 칩 구조체(20)는 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)에서 설명된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 동일할 수 있다.
제2 반도체 칩 구조체(30a)는 제2 반도체 칩(31aa)과 제2 반도체 칩(31aa)을 둘러싸는 제2 몰드층(32)을 포함할 수 있다. 제2 몰드층(32)이 제2 반도체 칩(31aa)을 둘러싸고, 제1 몰드층(22)이 제1 반도체 칩(21)을 둘러쌈에 의하여, 제2 반도체 칩 구조체(30a)는 제1 반도체 칩 구조체(20)와 동일한 크기를 가질 수 있다.
제2 몰드층(32)은 절연물을 포함할 수 있고, 예를 들어 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy mold compound, EMC)를 포함할 수 있다. 제2 몰드층(32)은 제1 몰드층(22)과 동일한 물질을 포함하거나 또는 다른 물질을 포함할 수 있다.
제2 반도체 칩(31aa)은 제2 칩 패드(34a)를 가질 수 있다. 제2 칩 패드(34a)는 제2 반도체 칩(31aa)에 형성된 소자들(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 칩 패드(34a)는 제2 몰드층(32) 상에 위치하는 제2 재배선 패턴(35a)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 재배선 패턴(35a)은 도전물을 포함할 수 있고, 예를 들어 금속을 포함할 수 있고, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 또는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다. 제2 재배선 패턴(35a)은 패드(36)를 통하여 제2 관통 전극(33)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제2 재배선 패턴(35a)은 제2 칩 패드(34a)와 제2 관통 전극(33)을 전기적으로 연결할 수 있다. 제2 관통 전극(33)은 제1 관통 전극(23)과 범프(80)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, 이를 위하여 서로 동일한 위치에 위치할 수 있다. . 제2 반도체 칩(31aa)이 제2 재배선 패턴(35a)에 연결됨으로써, 제2 반도체 칩 구조체(30a)는 팬-아웃 구조를 가질 수 있다.
상술한 바와 유사하게, 제1 반도체 칩(21)과 제2 반도체 칩(31aa)의 활성면의 방향은 다양하게 변화시킬 수 있다.
도 8을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(600)는 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제2 반도체 칩 구조체(30), 제1 반도체 칩 구조체(20), 및 제2 반도체 칩 구조체(30)을 포함한다. 즉, 도 5의 적층형 반도체 패키지(300)에서 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 제2 반도체 칩 구조체(30)가 더 적층된 경우이다. 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 적층된 제2 반도체 칩 구조체(30)는 제1 반도체 칩 구조체(20)의 제1 관통 전극(23)을 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 9를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(700)는 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제2 반도체 칩 구조체(30), 제1 반도체 칩 구조체(20), 및 제2 반도체 칩 구조체(30)을 포함한다. 즉, 도 6의 적층형 반도체 패키지(400)에서 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 제2 반도체 칩 구조체(30)가 더 적층된 경우이다. 제1 반도체 칩 구조체(20) 상에 적층된 제2 반도체 칩 구조체(30)는 제1 반도체 칩 구조체(20)의 제1 관통 전극(23)을 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 10을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(800)는 제1 반도체 칩 구조체(20), 제2 반도체 칩 구조체(30), 및 제1 반도체 칩 구조체(20)의 상측에 수직으로 적층된 제3 반도체 칩 구조체(50)를 포함한다. 제3 반도체 칩 구조체(50)는 제1 반도체 칩 구조체(20) 및 제2 반도체 칩 구조체(30) 중의 적어도 어느 하나와 동일한 크기를 가질 수 있다.
제3 반도체 칩 구조체(50)는 제3 반도체 칩(51), 제3 반도체 칩(51)을 둘러싸는 제3 몰드층(52), 및 제3 몰드층(52)을 관통하고 제3 반도체 칩(51)과 전기적으로 연결된 제3 관통 전극(53)을 포함할 수 있다.
제3 반도체 칩(51)은 메모리 칩이거나 또는 로직 칩일 수 있다. 제3 반도체 칩(51)은 제1 반도체 칩(21) 또는 제2 반도체 칩(31)은 동종 제품들이거나 또는 이종 제품들일 수 있다. 제3 반도체 칩(51)은 제1 반도체 칩(21)에 비하여 크거나, 작거나 또는 동일한 크기일 수 있다. 또는, 제3 반도체 칩(51)은 제2 반도체 칩(31)에 비하여 크거나, 작거나 또는 동일한 크기일 수 있다.
제3 몰드층(52)은 제3 반도체 칩(51)을 둘러쌀 수 있다. 제3 몰드층(52)은 절연물을 포함할 수 있고, 예를 들어 에폭시 몰딩 컴파운드(epoxy mold compound, EMC)를 포함할 수 있다. 제3 몰드층(52)은 제1 몰드층(22)과 동일한 물질을 포함하거나 다른 물질을 포함할 수 있다.
제3 반도체 칩(51)은 제3 칩 패드(54)를 가질 수 있다. 제3 칩 패드(54)는 제3 반도체 칩(51)에 형성된 소자들(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩 패드(54)는 제3 몰드층(52) 상에 위치하는 제3 재배선 패턴(55)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 재배선 패턴(55)은 도전물을 포함할 수 있고, 예를 들어 금속을 포함할 수 있고, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 또는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다. 제3 재배선 패턴(55)은 패드(56)를 통하여 제3 관통 전극(53)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제3 재배선 패턴(55)은 제3 칩 패드(54)와 제3 관통 전극(53)을 전기적으로 연결할 수 있다. 제3 관통 전극(53)은 제1 관통 전극(23)과 범프(80)에 의하여 전기적으로 연결될 수 있고, 이를 위하여 동일한 위치에 위치할 수 있다. 제3 반도체 칩(51)이 제3 재배선 패턴(55)에 연결됨으로써, 제3 반도체 칩 구조체(50)는 팬-아웃 구조를 가질 수 있다.
적층형 반도체 패키지(800)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업 구조를 가지고, 제3 반도체 칩(51)은 활성면(51a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업 구조를 가진다.
도 11 내지 도 13은 도 10의 적층형 반도체 패키지(800)에 대하여 제1 반도체 칩(21)과 제3 반도체 칩(51)의 활성면의 방향을 달리하는 실시예들을 나타낸다.
도 11를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(900)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운 구조를 가지고, 제3 반도체 칩(51)은 활성면(51a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운 구조를 가진다.
도 12를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(1000)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운 구조를 가지고, 제3 반도체 칩(51)은 활성면(51a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업 구조를 가진다.
도 13을 참조하면, 적층형 반도체 패키지(1100)에 있어서, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 상측을 향하여 노출되는 페이스-업 구조를 가지고, 제3 반도체 칩(51)은 활성면(51a)이 하측을 향하여 노출되는 페이스-다운 구조를 가진다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 반도체 패키지들(1200, 1300)을 도시하는 단면도들이다. 본 실시예들에 따른 적층형 반도체 패키지들(1200, 1300)은 상술한 실시예의 적층형 반도체 패키지에서 일부 구성을 변형한 것이고, 따라서 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 14를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(1200)는 기판(10) 및 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)를 포함한다. 제1 반도체 칩 구조체(20)는 제4 몰드층(62)을 포함할 수 있다. 따라서, 제1 반도체 칩(21)은 제4 몰드층(62) 내에 삽입될 수 있다. 제4 몰드층(62)은 미리 형성된 기판일 수 있고, 예를 들어 인터포저(interposer)일 수 있다.
제4 몰드층(62)은 내부에 제4 관통 전극(67)을 가질 수 있고, 제4 관통 전극(67)은 제1 반도체 칩(21)의 제1 칩 패드(24)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제4 관통 전극(67)은 제4 재배선 패턴(65)에 전기적으로 연결될 수 있고, 제4 재배선 패턴(65)은 제4 패드(66)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제4 재배선 패턴(65)은 도전물을 포함할 수 있고, 예를 들어 금속을 포함할 수 있고, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 또는 알루미늄 합금을 포함할 수 있다. 이에 따라, 제1 반도체 칩(21)은 제4 관통 전극(67), 제4 재배선 패턴(65), 및 제4 패드(66)를 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제5 관통 전극(63)은 도 1의 제2 관통 전극(33)의 기능을 수행할 수 있고, 이에 따라 제2 반도체 칩 구조체(30)의 제2 반도체 칩(31)은 제5 관통 전극(63)을 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 실시예는, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 하측을 향하고 제4 관통 전극(67)에 연결되는 페이스-다운 구조를 가질 수 있다. 제4 몰드층(62)과 제1 반도체 칩(21)의 최상면은 동일 평면일 수 있고, 또는 동일 평면이 아닐 수 있다.
대안적으로, 제1 반도체 칩(21)은 더미 칩(dummy chip)일 수 있다. 또한, 제4 몰드층(62)은 제2 반도체 칩 구조체(30)를 재배선하는 기능을 수행할 수 있다.
도 15를 참조하면, 적층형 반도체 패키지(1300)는 기판(10) 및 기판(10) 상에 순차적으로 적층된 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)를 포함한다. 제1 반도체 칩 구조체(20)는 제4 몰드층(62)을 포함할 수 있다. 따라서, 제1 반도체 칩(21)은 제4 몰드층(62) 내에 삽입될 수 있다. 제4 몰드층(62)은 미리 형성된 기판일 수 있고, 예를 들어 인터포저(interposer)일 수 있다.
제4 몰드층(62)은 내부에 제4 관통 전극(67)을 가질 수 있고, 제4 관통 전극(67)은 제1 반도체 칩(21)의 제1 칩 패드(24)에 전기적으로 연결될 수 있다. 여기에서, 제1 반도체 칩(21)은 제4 관통 전극(67)과 제1 칩 패드(24)를 전기적으로 연결하는 제6 관통 전극(68)을 가질 수 있다. 제1 반도체 칩(21)은 제6 관통 전극(68), 제4 관통 전극(67), 제4 재배선 패턴(65), 및 제4 패드(66)를 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제5 관통 전극(63)은 도 1의 제2 관통 전극(33)의 기능을 수행할 수 있고, 이에 따라 제2 반도체 칩 구조체(30)의 제2 반도체 칩(31)은 제5 관통 전극(63)을 통하여 기판(10)에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 실시예는, 제1 반도체 칩(21)은 활성면(21a)이 상측을 향하고 제4 관통 전극(67)에 연결되는 페이스-업 구조를 가질 수 있다. 제4 몰드층(62)과 제1 반도체 칩(21)의 최상면은 동일 평면일 수 있고, 또는 동일 평면이 아닐 수 있다.
대안적으로, 제1 반도체 칩(21)은 더미 칩(dummy chip)일 수 있다. 또한, 제4 몰드층(62)은 제2 반도체 칩 구조체(30)를 재배선하는 기능을 수행할 수 있다.
도 1 내지 도 15에 도시된 적층형 반도체 패키지들에서는 두 개 또는 세 개의 반도체 칩 구조체가 적층된 구조를 도시하고 있으나, 이는 예시적이며 네 개 또는 더 많은 수의 반도체 칩 구조체가 적층되는 경우도 본 발명의 기술적 사상에 포함된다.
도 16 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)를 제조하는 제조 방법을 공정 단계에 따라 도시하는 단면도들이다.
도 16을 참조하면, 복수의 제1 반도체 칩(21)을 각각 둘러싸는 제1 몰드층(22)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 제1 반도체 칩(21)을 제1 몰드층(22)이 둘러싸서 구성되는 개별적인 제1 반도체 칩 구조체(20, 도 19 참조)의 크기가 개별적인 제2 반도체 칩 구조체(30, 도 19 참조)의 크기와 동일하도록, 제1 반도체 칩(21)을 배치함에 유의한다.
도 17을 참조하면, 제1 몰드층(22)을 관통하는 제1 관통 전극(23)을 형성한다. 본 단계에서는 제1 몰드층(22)을 관통하는 개구부를 형성한 후에 상기 개구부를 도전물로 채워서 제1 관통 전극(23)을 형성할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 관통 전극(23)은, 제2 반도체 칩 구조체(30, 도 19 참조)의 제2 관통 전극(33, 도 19 참조)과 서로 동일한 위치에 위치하도록, 형성함에 유의한다.
도 18을 참조하면, 제1 몰드층(22)상에 제1 반도체 칩(21)과 제1 관통 전극(23)을 전기적으로 연결하는 제1 재배선 패턴(25) 및 패드(26)를 형성한다. 제1 재배선 패턴(25) 및 패드(26)는 증착, 도금, 등 다양한 방법을 이용하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 복수의 제1 반도체 칩(21)을 가지는 제1 반도체 칩 구조체(20)를 형성할 수 있다.
도 19를 참조하면, 제1 몰드층(22) 상에 제2 반도체 칩(31)과 제2 관통 전극(33)을 가지는 제2 반도체 칩 구조체(30)를 적층한다. 또한, 제1 반도체 칩 구조체(20)의 제1 관통 전극(23)과 제2 반도체 칩 구조체(30)의 제2 관통 전극(33)을 전기적으로 연결한다. 제1 관통 전극(23)과 제2 관통 전극(33)의 연결은 리플로우 공정을 이용하여 구현될 수 있다. 제1 관통 전극(23)과 제2 관통 전극(33)은 서로 동일한 위치에 위치한다. 이에 따라, 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)는 수직으로 적층될 수 있고, 제1 반도체 칩(21)과 제2 반도체 칩(31)은 일대일 대응되어 적층될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적층 순서가 반대인 경우도 본 발명의 기술적 사상에 포함된다.
제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적층은 웨이퍼 자체로 서로 적층되는 웨이퍼 레벨(wafer level) 방식으로 구현될 수 있다.
도 20을 참조하면, 제1 반도체 칩 구조체(20)와 제2 반도체 칩 구조체(30)의 적층물을 개별화한다.
도 21을 참조하면, 제1 반도체 칩 구조체(20)의 하측에 기판(10)을 부착하고, 제1 반도체 칩 구조체(20)과 기판(10)을 전기적으로 연결한다. 이어서, 선택적으로(optionally), 제1 반도체 칩 구조체(20) 및 제2 반도체 칩 구조체(30)를 밀봉하는 외측 밀봉 부재(90) 형성하여 도 1의 적층형 반도체 패키지(100)를 완성한다.
이상에서 설명한 본 발명의 기술적 사상이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명의 기술적 사상이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100, 1200, 1300: 적층형 반도체 패키지, 10: 기판, 12: 기판 패드, 14: 외측 연결 부재,
20: 제1 반도체 칩 구조체, 21a: 활성면, 21b: 비활성면, 21: 제1 반도체 칩,
21c: 측면, 22: 제1 몰드층, 23: 제1 관통 전극, 24: 제1 칩 패드,
25: 제1 재배선 패턴, 26: 패드, 30, 30a: 제2 반도체 칩 구조체,
31a: 제1 면, 31b: 제2 면, 31, 31aa: 제2 반도체 칩, 32: 제2 몰드층,
33: 제2 관통 전극, 34, 34a: 제2 칩 패드, 35a: 제2 재배선 패턴, 36: 패드,
50: 제3 반도체 칩 구조체, 51: 제3 반도체 칩, 51a: 활성면, 52: 제3 몰드층,
53: 제3 관통 전극, 54: 제3 칩 패드, 55: 제3 재배선 패턴, 56: 패드,
62: 제4 몰드층, 63: 제5 관통 전극, 65: 제4 재배선 패턴, 66: 제4 패드,
67: 제4 관통 전극, 68: 제5 관통 전극, 80: 범프, 90: 외측 밀봉 부재,

Claims (14)

  1. 제1 반도체 칩; 상기 제1 반도체 칩을 둘러싸는 제4 몰드층; 및 상기 제1 반도체 칩을 사이에 두고 상기 제4 몰드층을 관통하도록 형성된 제5 관통 전극들; 상기 제1 반도체 칩의 하면에 형성되어 상기 제4 몰드층을 관통하도록 형성되고 상기 제1 반도체 칩과 전기적으로 연결되어 있는 제4 관통전극; 및 상기 제4 몰드층의 하면에 형성되며 상기 제4 관통전극을 재배선하여 기판에 전기적으로 연결되는 제4 재배선 패턴을 포함하는 제1 반도체 칩 구조체; 및
    상기 제1 반도체 칩 구조체의 상부에 수직으로 적층되고, 상기 제1 반도체 칩보다 크기가 큰 제2 반도체 칩, 상기 제2 반도체 칩과 전기적으로 연결되고 상기 제5 관통전극들과 동일한 위치에 위치하고 상기 제5 관통전극들을 통하여 제2 반도체 칩과 상기 기판을 전기적으로 연결시키는 제2 관통 전극들을 포함하는 제2 반도체 칩 구조체를 포함하고,
    상기 제1 반도체 칩 구조체와 상기 제2 반도체 칩 구조체는 서로 동일한 크기를 가지는 적층형 반도체 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제4 몰드층의 적어도 일 측의 크기는 상기 제2 반도체 칩 구조체의 적어도 일 측의 크기와 동일한 것을 특징으로 하는 적층형 반도체 패키지.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 반도체 칩의 활성면은 상기 제2 반도체 칩과 대면하도록(facing) 위치하는 것을 특징으로 하는 적층형 반도체 패키지.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 반도체 칩의 활성면은 상기 제2 반도체 칩과 대향하도록(opposite) 위치하는 것을 특징으로 하는 적층형 반도체 패키지.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 반도체 칩은 제4 패드를 포함하고,
    상기 제4 관통전극은 상기 제4 패드의 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 적층형 반도체 패키지.
  10. 삭제
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