KR101075733B1 - 도포·현상 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 캐리어블럭과 처리블럭과 노광장치에 접속가능하게 구성된 인터페이스 블럭을 구비한 도포· 현상장치로서 상기 캐리어블럭에 캐리어에 의해 반입된 기판을 상기 처리블럭에 수수하고 상기 처리블럭으로 레지스트막을 포함하는 도포막을 기판에 형성하고 상기 인터페이스 블럭을 개재하여 상기 노광장치로 기판에 송출하고 상기 인터페이스 블럭을 개재하여 돌아온 노광 후의 기판을 상기 처리 블럭에서 현상하고 그리고 기판을 상기 캐리어 블럭에 수수하도록 구성된 도포·현상 장치에 있어서,a) 상기 처리 블럭은 복수의 단위 블럭을 구비하고 있고 각 단위 블럭은 약액을 기판에 도포하기 위한 액처리 유니트와 기판을 가열하는 가열 유니트와 기판을 냉각하는 냉각 유니트와 이들 유니트간에 기판을 반송하는 단위 블럭용의 반송기를 가짐과 동시에 각 단위 블럭에 상기 캐리어 블럭의 옆으로부터 상기 인터페이스 블럭측에 향하여 늘어나는 반송로가 형성되고 있고,b) 상기 처리 블럭에 복수의 상기 단위 블럭을 적층하여 이루어지는 제 1의 단위 블럭 적층체와 복수의 상기 단위 블럭을 적층하여 이루어지는 제 2의 단위 블럭 적층체가 설치되고 상기 제 1의 단위 블럭 적층체는 상기 캐리어블럭측에 배치되는 것과 동시에 상기 제 2의 단위 블럭 적층체는 상기 인터페이스 블럭의 측에 배치되고,c) 상기 제 1의 단위 블럭 적층체와 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 사이 에 있어서 대응하는 높이 위치에 있는 단위 블럭의 사이에 이들 단위 블럭간에 기판을 수수하기 위한 중간 스테이지가 각각 설치되고 있고,d) 상기 제 1의 단위 블럭 적층체는 레지스트액을 도포하기 전의 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한 액처리 유니트를 포함한 저부 반사 방지막용의 단위 블럭과 기판에 레지스트액을 도포하기 위한 액처리 유니트를 포함한 레지스트막용의 단위 블럭과 노광 후의 기판에 대해서 현상액을 도포하여 현상을 행하기 위한 액처리 유니트를 포함한 현상용의 단위 블럭을 구비하고,e) 상기 제 2의 단위 블럭 적층체는 기판에 레지스트액을 도포하기 위한 액처리 유니트를 포함한 레지스트막용의 단위 블럭과 레지스트액을 도포한 후의 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한 액처리 유니트를 포함한 상부 반사 방지막용의 단위 블럭과 노광 후의 기판에 대해서 현상액을 도포하여 현상을 행하기 위한 액처리 유니트를 포함한 현상용의 단위 블럭을 구비하고,f) 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위 블럭은 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 저부 반사 방지막용의 단위 블럭에 대응하는 높이 위치에 설치되고 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 상부 반사 방지막용의 단위 블럭은 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위 블럭에 대응하는 높이 위치에 설치되고 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭은 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭에 대응하는 높이 위치에 설치되고,g) 상기 기판의 처리 모드를 지정하는 제어부를 구비하고, 상기 처리 모드로서는,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 저부 반사 방지막용의 단위 블럭에서 기판에 반사 방지막을 형성하고 상기 단위 블럭에 대응하는 중간 스테이지를 개입시켜 기판을 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위 블럭에 반송하고 상기 단위 블럭에서 기판에 레지스트막을 형성하는 공정을 포함한 제 1의 처리 모드와,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위 블럭에서 기판에 레지스트막을 형성하고 상기 단위 블럭에 대응하는 중간 스테이지를 개입시켜 기판을 제 2의 단위 블럭 적층체의 상부 반사 방지막용의 단위 블럭에 반송하고 상기 단위 블럭에서 기판에 상부 반사 방지막을 형성하는 공정을 포함한 제 2의 처리 모드를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭 및 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭의 한쪽이, 기판의 표면을 검사하는 검사 유니트 및 검사 유니트와 중간 스테이지의 사이에 기판을 반송하는 단위 블럭용의 반송기를 구비한 검사용의 단위 블럭으로 치환되는 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위블럭과 상부 반사방지막용의 단위 블럭의 사이에서 기판의 수수를 행하기 위한 승강자유로운 반송장치를 구비하고,상기 처리 모드로서, 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 저부반사방지막용의 단위블럭으로 기판에 반사방지막을 형성하고 상기 단위 블럭에 대응하는 중간스테이지를 개재하여 기판을 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위블럭에 반송하고 상기 단위블럭으로 기판에 레지스트막을 형성하고 상기 레지스트막용의 단위블럭으로부터 상기 승강자유로운 반송장치를 개재하여 기판을 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 상부 반사 방지막용의 단위 블럭에 반송하고 상기 단위 블럭에서 기판에 상부 반사 방지막을 형성하는 공정을 포함한 제 3의 처리 모드를 더 구비한 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭 및 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭의 한쪽이, 기판의 표면을 검사하는 검사 유니트 및 검사 유니트와 중간 스테이지의 사이에 기판을 반송하는 단위 블럭용의 반송기를 구비한 검사용의 단위 블럭으로 치환되는 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 저부 반사 방지막용의 단위 블럭과 레지스트막용의 단위 블럭의 사이에 기판의 수수를 행하기 위한 승강 자유로운 반송 장치를 구비하고,상기 처리 모드로서, 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 저부 반사 방지막용의 단위 블럭에서 기판에 반사 방지막을 형성하고 상기 단위 블럭으로부터 상기 승강 자유로운 반송 장치를 개입시켜 기판을 상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 레지스트막용의 단위 블럭에 반송하고 상기 단위 블럭에서 기판에 레지스트막을 형성하고 상기 레지스트막용의 단위 블럭에 대응하는 중간 스테이지를 개입시켜 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 상부 반사 방지막용의 단위 블럭에 반송하고 상기 단위 블럭에서 기판에 상부 반사 방지막을 형성하는 공정을 포함한 제 4의 처리 모드를 더 구비한 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
- 청구항 5에 있어서,상기 제 1의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭 및 상기 제 2의 단위 블럭 적층체의 현상용의 단위 블럭의 한쪽이, 기판의 표면을 검사하는 검사 유니트 및 검사 유니트와 중간 스테이지의 사이에 기판을 반송하는 단위 블럭용의 반송기를 구비한 검사용의 단위 블럭으로 치환되는 것을 특징으로 하는 도포·현상 장치.
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