JP3851751B2 - 処理システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウェハ上にレジスト膜を形成し、露光後のレジスト膜を現像する処理システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト工程では、例えば半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という。)等の表面に対してレジストを塗布してレジスト膜を形成し、パターンが露光された後のウェハに対して現像液を供給して現像処理している。かかる一連の処理を行うにあたっては、従来から塗布現像処理システムが使用されている。
【0003】
この塗布現像処理システムには、ウェハに対してレジストを供給するためのユニット及び露光された後のウェハに対して現像液を供給するためのユニットの他、ウェハを冷却するためのユニットや加熱するためのユニット等、各種のユニットが備えられ、更にこれらユニット間でウェハの受け渡しを行うための搬送装置が備えられている。
【0004】
ところで、このような塗布現像処理システム全体をコンパクト化するため、ウェハを上下方向及びθ方向に移送可能としたいわゆる垂直搬送型の搬送装置をシステムの中心に配置し、ユニットが多段に積み重ねられたユニット群をこの搬送装置の周囲を取り囲むように複数配置したシステム構成が具体化されている。
【0005】
しかしながら、上記の如く構成された塗布現像処理システムでは、ダイナミックなシステムの増減が行えない、という問題がある。即ち、かかるシステムにおいて、システムの増設を行う場合には、各ユニット群におけるユニットの段数を増設することや更にはユニット群の数を増やすことで対応可能であるが、例えば2倍、3倍といったダイナミックなシステムの増設は行えない。従って、従来、このようなダイナミックなシステムの増設を行う場合には、例えば塗布現像処理システムの台数を増やすことで対応していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなシステムの台数の増設では、次のような問題がある。即ち、上記構成の塗布現像処理システムでは、ユニット群及び搬送装置から構成される処理ステーションとの間でウェハを搬出入するための基板搬入出部(例えば、AGVとの間でウェハを多数収容したカセットが搬出入されるカセットステーション及び露光装置との間でウェハの受け渡しを行うためのインターフェイス部)が配置される。従って、システムの台数の増設を行うと、この基板搬入出部の数も増えることになるが、システム全体の処理能力は処理ステーションの処理能力に律束しているため、基板搬入出部の増設が無駄になる、という問題がある。
【0007】
また、上記構成の塗布現像処理システムでは、搬送装置の周囲にユニット群を取り囲むように配置しているため、搬送装置に対するメンテナンスが困難である、という問題もある。
【0008】
本発明の目的は、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができる処理システムを提供することにある。
【0009】
本発明の別の目的は、特に搬送系のメンテナンスが容易な処理システムを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、側面が相互に隣接するように連接された複数の処理ステーションと、これら連接された処理ステーションのうち両端の処理ステーションの側面に隣接するように配置され、該処理ステーションとの間で基板を搬出入するための基板搬入出部とを備え、各前記処理ステーションが、当該処理ステーションの一側面側に配置され、基板に少なくとも熱的処理を施す処理ユニットを含む複数の第1の処理ユニットが多段に配置された第1の処理ユニット群と、当該処理ステーションの他側面側に配置され、少なくとも隣接する処理ステーションとの間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台と、当該処理ステーションの前面側または背面側に配置され、基板に少なくとも所定の液を供給する処理ユニットを含む複数の第2の処理ユニットが多段に配置された第2の処理ユニット群と、前記第2の処理ユニット群の外側に配置され、第2の処理ユニット群における処理ユニットに対して前記所定の液を供給するための液供給部と、当該処理ステーションの中央に配置され、前記第1及び第2の処理ユニット並びに当該処理ステーション及び隣接する処理ステーションの前記基板受け渡し台との間で基板を搬送する搬送装置とを具備し、前記液供給部は、当該処理システムの外側に向けて開閉可能な扉を有し、該扉の内側に少なくとも前記所定の液を貯留する容器が載置されていることを特徴とする。
【0015】
本発明によれば、基板搬入出部間に同一構成の複数の処理ステーションを連接可能であるので、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができる。また、本発明では、搬送装置に対するアクセスが容易であるので、搬送系のメンテナンスが容易である。更に、本発明では、特に第2の処理ユニット群における処理ユニットに対して所定の液を供給するための液供給部が第2の処理ユニット群の外側に配置されているので、液供給部の容積を大きくすることができ、例えば液供給部における液の貯留量をより多くすることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【0017】
図1は本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図、図2は図1に示した塗布現像処理システムの構成を示す正面図、図3は図1に示した塗布現像処理システムの構成示す背面図である。
【0018】
これらの図に示す塗布現像処理システム1では、複数台、例えば3台の処理ステーション2a、2b、2cがこれらの側面が相互に隣接するように連接され一体化されている。これら連接された処理ステーション2a、2b、2cのうち一端の処理ステーション2aの一方の側面には、例えば25枚のウェハWをカセット単位で外部から塗布現像処理システム1内に搬入出したり、カセットCにウェハWを搬入出するカセットステーション3が配置されている。また、処理ステーション2a、2b、2cのうち他端の処理ステーション2cの一方の側面には、隣接する露光装置(図示を省略)との間でウェハWの受け渡しを行うインターフェイス部4が配置されている。
【0019】
カセットステーション3では、カセット載置台5上の位置決め突起6の位置に複数個、例えば5個のカセットCが、それぞれのウェハW出入口を処理ステーション側に向けてX方向に一列に載置されている。このカセットCの配列方向(X方向)及びカセットC内に収容されたウェハWの配列方向(Z方向;垂直方向)に移動可能な搬送装置7が、搬送路8に沿って移動自在であり、各カセットCに選択的にアクセスする。搬送装置7は、θ方向に回転自在に構成されており、後述するように処理ステーション2a側の多段処理ユニット群に属する一の処理ユニットに設けられた受け渡し台にもアクセスできるようになっている。
【0020】
インターフェイス部4には、搬送路9に沿ったX方向に移動自在でZ方向に移動自在で更にθ方向に回転自在な搬送装置10が配置され、更に搬送路9の一端には周辺露光装置11が配置されている。搬送装置10は、後述する処理ステーション2cの受け渡し台や隣接する露光装置、周辺露光装置11にもアクセスできるようになっている。
【0021】
処理ステーション2aの一側面側の後部には、第1の処理ユニットである加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12e、12g〜12j及び受け渡しユニット12f’が多段に、例えば10段に配置された処理ユニット群12が配置されている。また、処理ステーション2aの他側面側の中央部には、隣接する処理ステーション2bとの間でウェハWの受け渡しを行うための受け渡し台13が配置されている。更に、処理ステーション2aの前面側の上部には、ウェハWに対して反射防止膜用の塗布液を供給するための処理ユニット(BCT)14が上下に2段且つ左右に2列、合計4台配置されている。また、処理ステーション2aのほぼ中央には、Z方向に移動自在でθ方向に回転可能ないわゆる垂直搬送型の搬送装置15が配置されている。搬送装置15は、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j、受け渡し台13及び処理ユニット(BCT)14に対してアクセスできるようになっている。また、処理ステーション2aの前面側の下部、つまり処理ユニット(BCT)14の下方には、処理ユニット(BCT)14に対して塗布液を供給するための液供給部16が配置されている。液供給部16は、例えば処理液を貯留するタンク(図示を省略)やタンクから処理液を汲み上げて処理ユニット(BCT)14へ送り出すポンプ(図示を省略)等を装備する。
【0022】
処理ステーション2b、2cについても同様の配置構成となっている。
【0023】
即ち、処理ステーション2bの一側面側の後部には処理ユニット群12が配置され、他側面側の中央部には受け渡し台13が配置され、前面側の上部にはウェハWに対してレジスト液を供給するための処理ユニット(CT)17が4台配置され、ほぼ中央には搬送装置15が配置されている。処理ステーション2bの前面側の下部には、処理ユニット(CT)17に対してレジスト液を供給するための液供給部18が配置されている。液供給部18も液供給部16と同様に構成される。
【0024】
また、処理ステーション2cの一側面側の後部には処理ユニット群12が配置され、他側面側の中央部には受け渡し台13が配置され、前面側の上部にはウェハWに対して現像処理を行うための処理ユニット(DEV)19が4台配置され、ほぼ中央には搬送装置15が配置されている。処理ステーション2cの前面側の下部には、処理ユニット(DEV)19に対してレジスト液を供給するための液供給部20が配置されている。液供給部20も液供給部16や液供給部18と同様に構成される。
【0025】
図4は上記した加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12jの構成を示す概略側面図である。
【0026】
図4に示すように、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)の一方側(システムの後部側)には、ウェハWを加熱処理するための加熱処理板21が配置されている。この加熱処理板21の表面からは、ウェハWを支持するための例えば3本の支持ピン22が出没自在に配置されている。なお、この加熱処理板21の上方には、例えば昇降可能な蓋体(図示を省略)を配置するように構成してもよい。
【0027】
また、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)の他方側(システムの前部側)には、ウェハWを冷却処理するための冷却処理板23が配置されている。そして、上記構成と同様に、冷却処理板23の表面からは、ウェハWを支持するための例えば3本の支持ピン24が出没自在に配置されている。
【0028】
加熱処理板21と冷却処理板23との間には、これら加熱処理板21と冷却処理板23との間でウェハWの受け渡しを行うための、z方向に移動自在でθ方向に回転自在で加熱処理板21及び冷却処理板23に対してアクセスすることができる搬送装置25が配置されている。
【0029】
そして、まず冷却処理板23の表面から支持ピン24が突き出た状態で搬送装置15から支持ピン24にウェハWが受け渡される。その後、搬送装置25が支持ピン24からウェハWを受け取り、加熱却処理板21の表面から支持ピン22が突き出た状態で搬送装置25から支持ピン23にウェハWが受け渡される。そして、支持ピン22が下降して加熱却処理板21の表面から没することで、ウェハWが加熱処理板21上に載置され、ウェハWの加熱処理が行われる。その後、再び支持ピン22が上昇して加熱却処理板21の表面から突き出た状態となり、この状態で搬送装置25が支持ピン22からウェハWを受け取り、冷却処理板23の表面から支持ピン24が突き出た状態で搬送装置25から支持ピン24にウェハWが受け渡される。そして、支持ピン24が下降して冷却却処理板23の表面から没することで、ウェハWが冷却処理板23上に載置され、ウェハWの冷却処理が行われる。その後、再び支持ピン24が上昇して冷却処理板23の表面から突き出た状態となり、この状態で搬送装置15が支持ピン24からウェハWを受け取るようになっている。
【0030】
図5は上記した受け渡しユニット12f’の構成を示す概略側面図である。
【0031】
図5に示すように、受け渡しユニット12f’の一方側(システムの前部側)には、ウェハWの受け渡しを行うための受け渡し台26が上下に2台配置されている。各受け渡し台26には、ウェハWを保持するための保持ピン27が例えば3本配置されている。なお、受け渡し台26は、ウェハWの位置合わせの機能も有する。
【0032】
そして、カセットステーション3における搬送装置7がいずれかの受け渡し台26に対してアクセスしてウェハWを受け渡し、処理ステーション2aにおける搬送装置15が受け渡し台26からウェハWを受け取ることで、処理ステーションへのウェハWの搬入が行われる。また、処理ステーション2aにおける搬送装置15がいずれかの受け渡し台26に対してアクセスしてウェハWを受け渡し、カセットステーション3における搬送装置7が受け渡し台26からウェハWを受け取ることで、処理ステーションからウェハWの搬出が行われる。
【0033】
なお、図6に示すように、例えば加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)における冷却却処理板23の上方に受け渡し台26を配置することで、図5に示したような専用の受け渡しユニットを設ける必要をなくすことができる。
【0034】
図7は上記した受け渡し台13の概略構成を示す側面図である。
【0035】
図7に示すように、受け渡し台13は、上側載置台28と下側載置台29とを有しており、上側載置台28にはウェハWの裏面を支持する例えば3本の支持ピン30が設けられ、下側載置台29にはウェハWの裏面を支持する例えば3本の支持ピン31が設けられている。従って、受け渡し台13には、支持ピン30、31により、合計2枚のウェハWが上下に支持されるようになっている。
【0036】
図8は上記した処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17及び処理ユニット(DEV)19の概略的構成を示す図である。
【0037】
図8に示すように、これらユニットのほぼ中央部にはカップCPが配置され、カップCP内にはウェハWを回転可能保持するスピンチャック40が配置されている。スピンチャック40の上部には処理液をウェハWに対して供給するためのノズル41が配置されている。スピンチャック40は、昇降自在とされ、カップCPより上昇した状態で搬送装置15との間でウェハWの受け渡しを行いカップCP内に収容された状態でノズル41よりウェハWに対する処理液の供給が行われるようになっている。ノズル41よりウェハWに対して処理液を供給する際には、スピンチャック40が回転するようになっている。
【0038】
図9は上記した搬送装置15の概略構成を示す斜視図である。
【0039】
図9に示すように、搬送装置15は、上端及び下端で相互に接続され対向する一体の壁部32、32からなる筒状支持体34の内側に、上下方向(Z方向)に昇降自在なウェハ搬送手段35を備えている。筒状支持体34はモータ36の回転軸に接続されており、このモータ36の回転駆動力で、前記回転軸を中心としてウェハ搬送手段35と共に一体に回転する。従って、ウェハ搬送手段35はθ方向に回転自在となっている。
【0040】
ウェハ搬送手段35の搬送基台37上には、ウェハWを保持する2本のピンセット38、39が上下に備えられている。各ピンセット38、39は基本的には同一の構成を有しており、筒状支持体34の両壁部32、32間の側面開口部を通過自在な形態及び大きさを有している。また、ピンセット38、39は搬送基台37に内蔵されたモータ(図示を省略)により前後方向の移動が自在となっている。
【0041】
次に、このように構成された塗布現像処理システム1における処理工程を説明する。
【0042】
塗布現像処理システム1において、カセットC内に収容された未処理のウェハWはカセットステーション3の搬送装置7によって取り出された後、処理ステーション2aの受け渡しユニット12f’内に搬送され、位置合わせが行われる。
【0043】
次に、ウェハWは処理ステーション2aの搬送装置15によって処理ステーション2aの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の冷却処理板23上に載置され、冷却処理が行われる。
【0044】
次に、冷却処理されたウェハWは処理ステーション2aの搬送装置15によって処理ユニット(BCT)14内に搬送され、反射防止膜用の処理液が塗布される。
【0045】
次に、反射防止膜用の処理液が塗布されたウェハWは処理ステーション2aの搬送装置15によって処理ステーション2aの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の加熱処理板21上に載置され、加熱処理が行われる。なお、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12jには、低温タイプと高温タイプの2種類があり、まず低温タイプのユニットで加熱処理し、その後高温タイプのユニットで加熱処理を行っている。
【0046】
次に、加熱処理されたウェハWは処理ステーション2aの搬送装置15によって処理ステーション2aの受け渡し台13に搬送される。
【0047】
次に、処理ステーション2aの受け渡し台13に搬送されたウェハWは処理ステーション2bの搬送装置15によって処理ステーション2bの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の冷却処理板23上に載置され、冷却処理が行われる。
【0048】
次に、冷却処理されたウェハWは処理ステーション2bの搬送装置15によって処理ユニット(CT)17内に搬送され、レジスト液が塗布される。
【0049】
次に、レジスト液が塗布されたウェハWは処理ステーション2bの搬送装置15によって処理ステーション2bの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の加熱処理板21上に載置され、加熱処理が行われ、続けて冷却処理板23上に載置され、冷却処理が行われる。
【0050】
次に、冷却処理されたウェハWは処理ステーション2bの搬送装置15によって処理ステーション2bの受け渡し台13に搬送される。
【0051】
次に、処理ステーション2bの受け渡し台13に搬送されたウェハWは処理ステーション2cの搬送装置15によって処理ステーション2cの受け渡し台13に搬送される。
【0052】
次に、処理ステーション2cの受け渡し台13に載置されたウェハWはインターフェイス部4の搬送装置10によって周辺露光装置11に搬送され、周辺露光が行われる。
【0053】
次に、周辺露光が行われたウェハWはインターフェイス部4の搬送装置10によって露光装置(図示を省略)に受け渡される。
【0054】
次に、露光装置によって露光処理が行われたウェハWはインターフェイス部4の搬送装置10によって処理ステーション2cの受け渡し台13に搬送される。
【0055】
次に、処理ステーション2cの受け渡し台13に載置されたウェハWは処理ステーション2cの搬送装置15によって処理ステーション2cの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の加熱処理板21上に載置され、加熱処理が行われ、続けて冷却処理板23上に載置され、冷却処理が行われる。
【0056】
次に、冷却処理されたウェハWは処理ステーション2cの搬送装置15によって処理ステーション2cの処理ユニット(DEV)19に搬送され、現像処理が行われる。
【0057】
次に、現像処理されたウェハWは処理ステーション2cの搬送装置15によって処理ステーション2cの加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内に搬送され、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内の加熱処理板21上に載置され、加熱処理が行われる。
【0058】
次に、加熱処理が行われたウェハWは処理ステーション2cの搬送装置15によって処理ステーション2bの受け渡し台13に搬送される。
【0059】
次に、処理ステーション2bの受け渡し台13に搬送されたウェハWは処理ステーション2bの搬送装置15によって処理ステーション2aの受け渡し台13に搬送される。
【0060】
次に、処理ステーション2aの受け渡し台13に搬送されたウェハWは処理ステーション2aの搬送装置15によって処理ステーション2aの受け渡しユニット12f’に搬送される。
【0061】
次に、処理ステーション2aの受け渡しユニット12f’に搬送された処理済みのウェハWはカセットステーション3の搬送装置7によってカセットC内に収容される。
【0062】
ところで、このように構成された塗布現像処理システム1においては、同一構成の複数の処理ステーション2a、2b、2cを連接可能であるので、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができる。例えば、反射防止膜の形成が不要な場合には、図10に示すように、図1〜図3に示した塗布現像処理システム1から処理ステーション2aだけを除き、処理ステーション2bとカセットステーション3とを連接すればよい。また、例えば2倍の処理能力が必要な場合には、図11に示すように、処理ステーション2a、2b、2cをそれぞれ2台に増設し、例えばカセットステーション3−処理ステーション2a−処理ステーション2a−処理ステーション2b−処理ステーション2b−処理ステーション2c−処理ステーション2c−インターフェイス部4の順番で連接すればよい。
【0063】
また、本実施形態の塗布現像処理システム1の各処理ステーションにおいては、垂直搬送型の搬送装置15を囲むように処理ユニット(BCT)14、(CT)17、(DEV)19、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j及び受け渡し台13を配置する一方で、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12jを図中左側面後部に、受け渡し台13を図中右側面中央部にそれぞれ配置しているので、受け渡し台13の後部側に作業員が搬送装置15にアクセスするための空間が確保され、搬送系のメンテナンスが容易となる。
【0064】
更に、本実施形態の塗布現像処理システム1では、処理液の種類が異なる3つの処理ユニット(BCT)14と処理ユニット(CT)17と処理ユニット(DEV)19とをそれぞれ別個の処理ステーションに区分けして配置しているので、雰囲気制御が容易である。この場合、各処理ステーションには同一の処理ユニットが隣接するように配置されるので、例えば隣接する処理ユニット間で共通のノズルを用いることが可能である。これにより高価なノズルの数を削減することが可能となる。
【0065】
また、本実施形態の塗布現像処理システム1では、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12j内で、ウェハWを冷却処理するための冷却処理板23を有する冷却部が液処理系の処理ユニット14、17、19側に配置されているので、加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a〜12jから液処理系の処理ユニット側への熱的な悪影響を抑えることができる。また、冷却部から液処理系の処理ユニット14、17、19への搬送距離を短くできるので、熱的に良好な状態(ウェハWが所定の冷却温度に安定した状態)で液処理を行うことができる。
【0066】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。
【0067】
図12はこの実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図である。尚、最初に示した実施形態における要素と同一の要素には同一の部号を付している。
【0068】
図12に示すように、この塗布現像処理システム51は、連接された処理ステーション52a、52b、52cの構成が最初に示した実施形態におけるシステムと異なる。そして、これら処理ステーション52a、52b、52cは、これらの前面側の上部に配置された第2の処理ユニットとしての処理ユニット53、54、55の構成が最初に示した実施形態のものと異なる。
【0069】
図13はこれら処理ユニット53、54、55の概略構成を示す側面図である。
【0070】
図13に示すように、各処理ユニット53、54、55の一方側(搬送装置15側)には、ウェハWを冷却処理するための冷却処理板61が配置されている。そして、冷却処理板61の表面からは、ウェハWを支持するための例えば3本の支持ピン24が出没自在に配置されている。
【0071】
各処理ユニット53、54、55の他方側には、それぞれ処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19が2台並列に配置されている。
【0072】
そして、冷却処理板61と各処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19との間には、これら冷却処理板61と各処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19の間でウェハWの受け渡しを行うための、z方向に移動自在でθ方向に回転自在で冷却処理板61、各処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19に対してアクセスすることができる搬送装置62が配置されている。
【0073】
従って、本実施形態においては、ウェハWは搬送装置15→冷却処理板61→搬送装置62→処理ユニット(BCT)14(処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19)を経て処理ユニット(BCT)14における処理が行われ、処理されたウェハWは処理ユニット(BCT)14(処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19)→搬送装置62→冷却処理板61→搬送装置15を経て搬送装置15に戻されるようになっている。
【0074】
本実施形態においては、上述した実施形態と同様の作用効果に加え、冷却処理板61を各処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19と同一の環境におくことができるので、雰囲気制御及び温度制御が容易である。
【0075】
次に、本発明の更に別の実施形態について説明する。
【0076】
図14はこの実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図、図15はその正面図である。尚、最初に示した実施形態における要素と同一の要素には同一の部号を付している。
【0077】
図14及び図15に示すように、この塗布現像処理システム71は、連接された処理ステーション72a、72b、72cの構成が最初に示した実施形態におけるシステムと異なる。そして、これら処理ステーション72a、72b、72cでは、これらの前面側上部に、それぞれ処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19が例えば1列4段に配置され、処理ユニット群の外側には各処理ユニット(BCT)14、処理ユニット(CT)17、処理ユニット(DEV)19に対して処理液を供給するための液供給部73が配置されている。
【0078】
ここで、液供給部73は、外側に向けて開閉可能な扉74を有し、該扉74の内側に処理液を貯留するタンク75が載置されている。また、各液供給部73には、タンク75から処理液を汲み上げて各処理ユニットに対して送り込むためのポンプ(図示を省略)が装備されている。
【0079】
本実施形態においては、最初に示した実施形態と同様の作用効果に加え、液供給部73が処理ユニットの外側に配置されているので、液供給部73の容積を大きくすることができ、例えば液供給部73における液の貯留量をより多くすることができる。
【0080】
次に、本発明のまた別の実施形態について説明する。
【0081】
図16に示すように、この実施の形態に係るシステムでは、各処理ステーション2a,2b,2cが処理ステーション2a,2b,2c内を集中排気するための排気部81を有する。排気部81は、搬送装置15を挟んだ第2の処理ユニット(BCT,CT,DEV)14,17,19と対向する側の下部に排気口82を有する。排気口82には、排気ファン83が接続されている。排気ファン83により排気された気体は、各ブロック85に対応したフィルタ部84を介して各ブロック85の上部から清浄気体が供給されるようになっている。ここで、ブロック85とは、例えば処理ステーション2aについていうと、処理ステーション2a、処理装置15、処理ユニット14がそれぞれブロックを構成している。
【0082】
このように各処理ステーション2a,2b,2cにおいて、搬送装置15を挟んだ第2の処理ユニット(BCT,CT,DEV)14,17,19と対向する側の下部に設けられた排気口82を介してて集中排気することにより、各ブロック間の排気、特に液処理系のユニットと熱処理系のユニットの排気が相互に混合することはなくなり、相互間の熱的干渉や雰囲気的干渉(例えば薬液の雰囲気が他のユニットに流れ出ること)がなくなる。
【0083】
次に本発明のまた更に別の実施形態について説明する。
【0084】
このシステムでは、図17に示すように、各処理ステーション2a,2b,2cにおける各加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a’〜12j’がその一方側(システムの後部側)にウェハWを加熱処理するための加熱処理板21を有し、その他方側(システムの前部側)にウェハWを冷却処理するための冷却処理板23を有するが、搬送装置を持たない点が上述した実施形態と異なる。また、搬送装置15の下部には、各加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a’〜12j’の側面に沿って搬送装置15を移動させる移動機構91を有する。そして、搬送装置15が各加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a’〜12j’における加熱処理板21と冷却処理板23の両方にアクセスできるようになっている。本実施形態では、このような構成により加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a’〜12j’を小型化でき、システム全体を小型化することが可能である。上述した各加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)12a’〜12j’において、加熱処理板21と冷却処理板23との配置を逆にしてもよい。すなわち、冷却処理板23を第2の処理ユニット14,17,19側に配置してもよい。これにより、加熱処理板21が第2の処理ユニット14,17,19に対して与える熱的悪影響を低減することができる。
【0085】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の処理システムによれば、側面が相互に隣接するように連接された複数の処理ステーションと、これら連接された処理ステーションのうち両端の処理ステーションの側面に隣接するように配置され、該処理ステーションとの間で基板を搬出入するための基板搬入出部とを備え、前記各処理ステーションが、当該処理ステーションの一側面側に配置され、基板に少なくとも熱的処理を施す処理ユニットを含む複数の第1の処理ユニットが多段に配置された処理ユニット群と、当該処理ステーションの他側面側に配置され、少なくとも隣接する処理ステーションとの間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台と、当該処理ステーションの前面側または背面側に配置され、基板に少なくとも所定の液を供給する第2の処理ユニットと、当該処理ステーションのほぼ中央に配置され、前記第1及び第2の処理ユニット並びに当該処理ステーション及び隣接する処理ステーションの前記基板受け渡し台との間で基板を搬送する搬送装置とを具備するので、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができ、更に搬送系のメンテナンスが容易である。
【0086】
また、本発明の処理システムによれば、側面が相互に隣接するように連接された複数の処理ステーションと、これら連接された処理ステーションのうち両端の処理ステーションの側面に隣接するように配置され、該処理ステーションとの間で基板を搬出入するための基板搬入出部とを備え、前記各処理ステーションが、当該処理ステーションの一側面側に配置され、基板に少なくとも熱的処理を施す処理ユニットを含む複数の第1の処理ユニットが多段に配置された処理ユニット群と、当該処理ステーションの他側面側に配置され、少なくとも隣接する処理ステーションとの間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台と、当該処理ステーションの前面側または背面側に配置され、基板を冷却処理を施す冷却処理部と、基板に少なくとも所定の液を供給する処理ユニットと、当該処理ユニットと前記冷却処理部との間で基板の搬送を行うユニット内搬送装置とを備えた第2の処理ユニットと、当該処理ステーションのほぼ中央に配置され、前記第1の処理ユニット、前記第2の処理ユニットの冷却処理部、当該処理ステーションの前記基板受け渡し台及び隣接する処理ステーションの前記基板受け渡し台との間で基板を搬送する搬送装置とを具備するので、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができ、更に搬送系のメンテナンスが容易であり、加えて冷却処理部と処理ユニットとを同一の環境におくことができ、これにより例えば処理ユニットによって安定した処理を行うことができる。
【0087】
本発明の処理システムによれば、側面が相互に隣接するように連接された複数の処理ステーションと、これら連接された処理ステーションのうち両端の処理ステーションの側面に隣接するように配置され、該処理ステーションとの間で基板を搬出入するための基板搬入出部とを備え、前記各処理ステーションが、当該処理ステーションの一側面側に配置され、基板に少なくとも熱的処理を施す処理ユニットを含む複数の第1の処理ユニットが多段に配置された第1の処理ユニット群と、当該処理ステーションの他側面側に配置され、少なくとも隣接する処理ステーションとの間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台と、当該処理ステーションの前面側または背面側に配置され、基板に少なくとも所定の液を供給する処理ユニットを含む複数の第2の処理ユニットが多段に配置された第2の処理ユニット群と、前記第2の処理ユニット群の外側に配置され、第2の処理ユニット群における処理ユニットに対して前記所定の液を供給するための液供給部と、当該処理ステーションのほぼ中央に配置され、前記第1及び第2の処理ユニット並びに当該処理ステーション及び隣接する処理ステーションの前記基板受け渡し台との間で基板を搬送する搬送装置とを具備するので、システムの増減をダイナミックに且つ効率的に行うことができ、更に搬送系のメンテナンスが容易であり、加えて液供給部の容積を大きくすることができ、例えば液供給部における液の貯留量をより多くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図である。
【図2】 図1に示した塗布現像処理システムの構成を示す正面図である。
【図3】 図1に示した塗布現像処理システムの構成示す背面図である。
【図4】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムにおける加熱・冷却兼用処理ユニットの構成を示す概略側面図である。
【図5】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムにおける受け渡しユニットの構成を示す概略側面図である。
【図6】 受け渡しユニットの他の構成を示す概略側面図である。
【図7】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムにおける受け渡し台の概略構成を示す側面図である。
【図8】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムにおける処理ユニットの概略的構成を示す図。
【図9】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムにおける搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図10】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムの作用効果を説明するための図(その1)である。
【図11】 本発明の一実施形態に係る塗布現像処理システムの作用効果を説明するための図(その2)である。
【図12】 本発明の他の実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図である。
【図13】 本発明の他の実施形態に係る塗布現像処理システムにおける処理ユニットの概略構成を示す側面図である。
【図14】 本発明の更に別の実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す平面図である。
【図15】 図14に示した塗布現像処理システムの構成を示す正面図である。
【図16】 本発明のまた別の実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す一部平面図である。
【図17】 本発明のさらにまた別の実施形態に係る塗布現像処理システムの構成を示す一部平面図である。
【符号の説明】
1 塗布現像処理システム
2a〜2c 処理ステーション
3 カセットステーション
4 インターフェイス部
12 処理ユニット群
12a〜12j 加熱・冷却兼用処理ユニット(CHP)
13 受け渡し台
14、17、19 処理ユニット
15 搬送装置
Claims (5)
- 側面が相互に隣接するように連接された複数の処理ステーションと、これら連接された処理ステーションのうち両端の処理ステーションの側面に隣接するように配置され、該処理ステーションとの間で基板を搬出入するための基板搬入出部とを備え、
各前記処理ステーションが、
当該処理ステーションの一側面側に配置され、基板に少なくとも熱的処理を施す処理ユニットを含む複数の第1の処理ユニットが多段に配置された第1の処理ユニット群と、
当該処理ステーションの他側面側に配置され、少なくとも隣接する処理ステーションとの間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台と、
当該処理ステーションの前面側または背面側に配置され、基板に少なくとも所定の液を供給する処理ユニットを含む複数の第2の処理ユニットが多段に配置された第2の処理ユニット群と、
前記第2の処理ユニット群の外側に配置され、第2の処理ユニット群における処理ユニットに対して前記所定の液を供給するための液供給部と、
当該処理ステーションの中央に配置され、前記第1及び第2の処理ユニット並びに当該処理ステーション及び隣接する処理ステーションの前記基板受け渡し台との間で基板を搬送する搬送装置とを具備し、
前記液供給部は、当該処理システムの外側に向けて開閉可能な扉を有し、該扉の内側に少なくとも前記所定の液を貯留する容器が載置されていることを特徴とする処理システム。 - 請求項1に記載の処理システムにおいて、
前記基板搬入出部と隣接する前記第1の処理ユニット群は、当該基板搬入出部との間で基板の受け渡しを行うための基板受け渡し台を具備することを特徴とする処理システム。 - 請求項1に記載の処理システムにおいて、
基板に少なくとも熱的処理を施す前記の処理ユニットは、
前記搬送装置と対面するように配置され、基板に冷却処理を施す冷却処理部と、
基板に対して加熱処理を施す加熱処理部と、
前記冷却処理部と前記加熱処理部との間で基板を搬送するユニット内搬送装置と
を具備することを特徴とする処理システム。 - 請求項1に記載の処理システムにおいて、
前記第2の処理ユニットは、前記搬送装置に対して多段かつ並列に複数有することを特徴とする処理システム。 - 請求項4に記載の処理システムにおいて、各前記処理ステーションには、同一の処理を行う前記第2の処理ユニットが配置されていることを特徴とする処理システム。
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