KR101062601B1 - 피가공물 분리유닛 및 진동식 반송장치 - Google Patents

Abstract

안정되고 또한 고속으로 피가공물을 분리한다.
본 발명의 피가공물 분리 유닛은, 한쪽 단부에 피가공물 도입구(15b)를 구비한 피가공물 이송로(15a)와, 피가공물 도입구 측의 제1의 영역(15X)에서 피가공물 이송로에 개구하는 개구부(16a)를 구비하는 동시에, 급기 시에서 제1의 영역에 대하여 피가공물 도입구와는 반대 측에 있는 제2의 영역(15Y)으로 향하여 개구부로부터 흘러나오는 경사 기류를 발생하도록 구성된 통기 구조를 구비한 분리용 통기구멍(16)과, 분리용 통기구멍을 배기함으로써 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 분리용 배기수단(E1)과, 제2의 영역에서 피가공물을 검출하는 피가공물 검출수단(S1)과, 분리용 통기구멍에 급기함으로써 개구부로부터 흘러나오는 기류를 발생시키는 통기구멍 급기 수단(A1)과, 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 검출시에는 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 통기구멍 급기 수단을 정지시키고, 또 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 비검출시에는 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 통기구멍 급기 수단을 동작시키는 제어수단(C)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

피가공물 분리유닛 및 진동식 반송장치{WORKPIECE SEPARATION UNIT AND VIBRATORY CONVEYING APPARATUS}

본 발명은 피가공물 분리유닛 및 진동식 반송장치에 관한 것이며, 특히 진동 피더(vibrating feeder)로부터 피가공물을 송출하기 위한 이송부분으로서 매우 적합한 구조에 관한 것이다.

일반적으로 미세한 전자 부품 등의 피가공물을 파츠 피더(parts-feeder)에 의해 하류 측에 설치된 피가공물 검사장치나 피가공물 실장장치 등의 각종 처리장치에 공급하는 경우에는, 반송된 피가공물을 정확히 하류 측의 각종 처리장치에 검출하기 위해 여러 가지의 구성이 이용된다. 예를 들면, 아래의 특허문헌 1 내지 3에서는 선두의 피가공물을 후속의 피가공물과는 분리하여 특정한 장소에 위치 결정하고, 이 위치결정된 피가공물을 회전 인덱서(rotary indexer)나 로봇 핸드 등에 의해 반출하고 있다.

또 아래의 특허문헌 1, 2 및 4에서는 선두의 피가공물을 후속의 피가공물로부터 분리시키기 위하여, 후속의 피가공물을 진공흡인(흡착)하여 일시적으로 정지시켜서 그 장소에 보호 유지하거나, 선두의 피가공물의 이동속도를 흡인수단에 의해 높이거나, 후속의 피가공물의 이동속도를 분리용 회전 롤러의 회전속도를 조정하는 것에 의해 저하시킨다고 하는 각종 피가공물 분리수단이 이용되고 있다.

일본국 특개 평 2-269744호 공보 일본국 특개2004-148278호 공보 일본국 특개2000-302230호 공보 일본국 특개 평 6-246236호 공보

그러나 진동식 파츠 피더(parts-feeder) 등의 진동식 반송장치를 이용하는 경우에는, 상기의 특정한 장소를 반송로의 반송 단말부에 그대로 설치하면, 반출되어야 할 피가공물은 상기의 특정한 장소에서 위치 결정되었다고 하여도 반송로와 함께 진동하고 있기 때문에, 이 진동에 의해 반송수단과의 위치 어긋남이 생겨서 반출 미스나 반출위치의 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 또 반송로가 진동하고 있기 때문에 피가공물을 위치 결정할 때에 스토퍼 면에 대한 피가공물의 반동이 생기고, 이것에 의하여 피가공물이 본래의 정지위치에서 벗어난 위치에 위치결정되어 버리는 경우도 있다. 더욱이, 상기의 특정한 장소가 진동하고 있기 때문에 반출시에 피가공물의 바닥면이 마찰하여 손상을 입을 우려도 있다.

한편, 상기 특허문헌 1의 구성에서는, 피더(4)로부터 복수의 피가공물이 연이어 반송되어 온 경우에는, 칩 이송 제어부(chip transfer control section, 5) 위에서 칩 흡착구(chip suction port , 14)에 의해 다음의 피가공물을 일시적으로 흡착하여 보호유지하는 것으로 선두의 피가공물을 분리하도록 하고 있지만, 상기의 일시적으로 보호유지된 다음의 피가공물의 배후에서 다른 후속의 피가공물이 반송되어 오지 않을 경우에는, 상기 다음의 피가공물은 일단 정지상태가 되어 있기 때문에, 흡기구(3, 7)에 의한 흡기만으로는 이 피가공물을 휠(wheel, 1)의 칩 지지부(chip support portion, 2)로 신속하게 이송할 수 없게 된다. 따라서, 상기 특정한 장소로의 피가공물의 위치결정 타이밍이 피더(4)에 의한 피가공물의 반송상황에 의해 크게 변동하는 동시에, 일단 보호 유지된 피가공물은 흡인력만으로 이송되기 때문에 이송의 안정성이 불충분한 동시에 반출 동작의 고속화가 어렵고, 피가공물의 공급량이 저하한다고 하는 문제가 있다.

또 상기 특허문헌 2의 구성에서는, 직진 피더(F2)로부터 복수의 피가공물이 연이어 반송되어 온 경우에는, 후속의 피가공물에 밀리게 됨으로써 분리용 회전롤러(SR) 위에서 다음의 피가공물의 이동속도를 충분히 저하할 수 없는 것으로 선두의 피가공물을 분리할 수 없게 되는 경우가 고려된다. 즉, 후속의 피가공물의 반송 상태에 의해 피가공물의 분리가 불충분하게 될 우려가 있다. 또 이 구성에서도 피가공물은 흡인력만으로 이송되기 때문에 이송의 안정성이 불충분한 동시에 반송동작의 고속화가 어렵고, 피가공물의 공급량이 저하된다고 하는 문제가 있다.

그래서 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이며, 그 과제는 피가공물의 반송상태의 여하에 관계없이 안정되고, 또한 고속으로 피가공물을 분리할 수 있는 피가공물 분리유닛 및 이것을 구비한 진동식 반송장치를 제공하는 것에 있다.

이러한 실정에 비추어 본 발명의 피가공물 분리유닛은, 한쪽 단부(端部)에 피가공물 도입구를 구비한 피가공물 이송로와, 상기 피가공물 도입구 측의 제1의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비하는 동시에, 급기(級氣) 시에서 상기 제1의 영역에 대하여 상기 피가공물 도입구와는 반대 측에 있는 제2의 영역으로 향하여 상기 개구부로부터 흘러나오는 경사 기류를 생기도록 구성된 통기 구조를 구비한 분리용 통기구멍과, 상기 분리용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 생기게 하는 피가공물 분리용 배기 수단과, 상기 제2의 영역에서 피가공물을 검출하는 피가공물 검출 수단과, 상기 분리용 통기구멍에 급기함으로써 상기 개구부로부터 흘러나오는 기류를 생기게 하는 통기구멍 급기 수단과, 상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 상기 통기구멍 급기 수단을 정지시키고, 또 상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 비검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 상기 통기구멍 급기 수단을 동작시키는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 제2의 영역에 피가공물이 존재하지 않을 때(피가공물 비검출시)에는, 제어수단이 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 통기구멍 급기 수단을 동작시키므로, 선두의 피가공물은 제1의 영역에서 흡인되지 않고, 통기구멍 급기 수단의 기류에 의해 제2의 영역을 향하여 이송된다. 한편, 제2의 영역에 선행하는 피가공물이 존재하고 있을 때(피가공물 검출시)에는 제어수단이 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 통기구멍 급기 수단을 정지시키므로, 다음의 피가공물은 제1의 영역에서 상기 개구부에 의하여 흡인되기 때문에 선두의 피가공물과 다음의 피가공물이 분리된다. 그 후, 선행하는 피가공물이 제2의 영역으로부터 반출되면 피가공물이 다시 검출되지 않게 되므로, 피가공물 분리용 배기수단이 정지하는 동시에 통기구멍 급기 수단이 동작하기 때문에 다음의 피가공물에 대한 흡인력이 소실되는 동시에 분리용 통기구멍의 개구부로부터 기류가 제2의 영역을 향하여 비스듬하게 흘러나오는 것으로 다음의 피가공물이 이송방향으로 밀려나온다.

따라서, 분리용 통기구멍에 대해 피가공물 분리용 배기수단에 의한 배기를 실행하는 것으로 피가공물을 흡인 보호유지하여 분리할 수 있는 동시에, 분리용 통기구멍에 대해 통기구멍 급기 수단에 의한 급기를 실행하는 것으로 피가공물에 대한 흡인력을 해제하는 동시에 기류에 의해 피가공물을 제2의 영역으로 향하여 밀어낼 수 있기 때문에, 반송용의 진동 등을 부여하지 않아도 피가공물을 이송하는 것이 가능해진다. 또 피가공물 분리용 배기수단과 통기구멍 급기 수단이 공통의 분리용 통기구멍을 배기 및 급기를 실행함으로써, 통기 구조를 간이화할 수 있는 동시에, 분리용 통기구멍 위에 배치되어 있는 피가공물을 확실히 이송 방향으로 밀어낼 수 있다. 특히 제1의 영역에서 피가공물 분리용 배기수단에 의해 분리용 통기구멍의 개구부에 흡인된 피가공물에 대하여, 그 흡인된 동일한 개구부로부터 통기구멍 급기 수단에 의해 확실히 기류를 작용시킬 수 있기 때문에, 더욱 안정되고, 또한, 확실하게 제2의 영역으로 향하여 피가공물을 이송할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과, 상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 생기게 하는 피가공물 위치결정용 배기수단과, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단의 흡인력에 의해 상기 개구부에 위치결정된 피가공물을 검출하는 피가공물 위치결정 검출수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 검출시에 상기 피가공물 위치 결정용 배기수단을 정지시키고, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 비검출 시에 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 동작시키는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 피가공물 위치 결정용 배기수단에 의해 위치결정용 통기구멍의 개구부에서 피가공물을 흡인함으로써, 피가공물을 제2의 영역에서 위치 결정하는 것이 가능해진다. 여기서, 피가공물이 위치결정되고 있을 때(위치결정 검출시)에는 제어수단이 피가공물 위치결정용 배기수단을 정지시키기 때문에, 이 위치결정된 피가공물의 이동이 한층 더 별도 설치된 피가공물 반출수단 등에 의해 가능해진다. 한편, 피가공물이 위치 결정되어 있지 않을 때(위치결정 비검출시)에는 제어수단이 피가공물 위치결정용 배기수단을 동작시키기 때문에, 제2의 영역에 진입해온 피가공물을 위치결정 가능한 상태가 된다.

본 발명에서, 상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과, 상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단을 더 구비하고, 상기 통기구멍 급기 수단과, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단이 병행하여 동작하는 기간을 갖는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 분리용 통기구멍의 개구부로부터 제2의 영역으로 향하여 경사지게 발생한 기류가, 제2의 영역에 있는 위치결정용 통기구멍의 개구부로부터의 배기작용에 의해 흡인되므로, 상기 기류의 방향이 피가공물의 이송방향에 근접하게 되는 동시에 피가공물에 부여하는 추진력을 증강할 수 있기 때문에, 피가공물을 안정되고, 또한 확실하게 제2의 영역으로 향하여 이송할 수 있다.

이들의 경우에 있어서, 상기 위치결정용 통기구멍은 배기시에서 상기 제1의 영역 측에서 상기 개구부로 흘러들어오는 경사 기류를 발생시키는 통기 구조를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 위치결정용 통기구멍이 흡인시에서 제1의 영역 측으로부터 개구부로 흘러들어오는 경사 기류가 발생하는 통기 구조를 가짐으로써, 피가공물 위치결정용 배기수단에 의한 위치결정용 통기구멍을 통한 배기에 의해 개구부로 경사지게 흘러들어오는 기류가 통기구멍 급기 수단에 의해 분리용 통기구멍의 개구부로부터 흘러나오는 기류와 합류하므로, 기류의 흐름 방향이 이송방향으로 근접하는 것으로 피가공물의 이송상태를 더욱 안정시킬 수 있는 동시에, 기류가 강해지기 때문에 피가공물의 이송속도를 높이는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 상기 피가공물 이송로에 대하여 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 상기 제2의 영역으로 향하여 기류를 발생시키는 대향 측 급기 수단을 더 구비하는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측으로부터 이송방향으로 기류를 발생시킴으로써, 피가공물 및 분리용 통기구멍의 개구부로부터 흘러나오는 기류를 대향하는 측에서 억제하여 정지하고, 이 기류에 의해 피가공물의 이송방향이나 자세를 안정시킬 수 있는 동시에, 전체로서 이송방향으로 향하는 기류량을 증대시킬 수 있기 때문에, 더욱 확실하고 또한 고속으로 피가공물을 이송시킬 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 피가공물 이송로는 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 배치되는 피복 부재에 의하여 피복되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 분리용 통기구멍의 개구부로부터 흘러나오는 경사 대향 측을 향한 기류에 의해 피가공물이 비스듬하게 대향 측으로 밀려나온 경우, 피복 부재에 의해 피가공물이 튀어오름이 억제되는 동시에, 상기 기류도 피복 부재에 의해 이송방향으로 유도되므로, 피가공물을 더욱 스무드하게 전방으로 이송하는 것이 가능해진다. 이 경우에 있어서, 피복 부재의 선단부가 상기 개구부의 대향 측 또는 이송방향을 향하여 경사 대향 측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 피가공물의 이송처에서 피가공물 이송로의 대향 측을 개방할 수 있기 때문에, 피가공물의 반출 등에 지장을 초래하지 않게 된다. 또 피가공물 분리유닛을 진동식 반송장치의 반송체의 반송 말단부에 극간을 통하여 인접시키고, 피가공물 도입구를 반송 말단부의 피가공물 도출구에 대향 배치시키는 경우에는 상기 피복 부재를 반송체에 고정하는 것이 고려된다. 이것에 의하면, 피복 부재는 반송체와 함께 반송 방향으로 진동하므로 피가공물이 피복 부재에 대하여 개구부 측에서 접촉하였을 때에 마찰력에 의해 피복 부재가 피가공물을 이송방향으로 밀어내는 작용도 기대할 수 있다. 또한, 피복 부재는 피가공물 분리유닛에 고정하여도 된다. 또 상기 대향 측 배기수단에 의한 급기에 의하여 기류를 분출하는 분출구를 피복 부재의 선단 테두리에 설치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기의 피가공물 분리유닛은, 상기 피가공물 도입구를 여러가지 피가공물 반송수단의 피가공물 도출구에 접속시킨 상태에서 이용할 수 있다. 여기서, 피가공물 반송수단의 피가공물 도출구와 피가공물 분리유닛의 피가공물 도입구와의 접속 형태는, 물리적, 기계적으로 접속(연결)되어 있는 경우에 한정하지 않고, 극간(피가공물의 길이보다도 좁은 간격)을 피가공물 도출구와 피가공물 도입구가 접촉하지 않고 대향 배치되는 상태인 경우도 포함한다. 특히 피가공물 반송수단이 진동식 반송수단인 경우에는 후자의 형태가 바람직하다. 그러나 본 발명은, 예를 들면, 진동식 반송장치의 반송 단말부에 피가공물 분리유닛이 일체로 구성되는 경우도 포함된다. 이 경우에는 피가공물 반송로의 단말부에 피가공물 이송로가 일체로 접속되고, 이 피가공물 이송로로서 구성되는 부분의 상류단(피가공물 반송로에 접속되는 부분)이 피가공물 도입구에 해당하게 된다. 상기 피가공물 반송수단으로서는, 후술하는 진동식 반송장치에 한정하지 않고, 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어 등의 여러가지 반송 장치에 이용되는 반송 기구를 이용할 수 있다. 또 상기의 피가공물 분리유닛은, 피가공물 반송수단에 대해 부착되는 것으로 반송장치의 일부로서 구성되는 경우가 고려되지만, 반송장치와는 독립하여 지지가 되는 경우, 또는 피가공물 검사장치나 피가공물 실장장치 등이라고 한 피가공물 반송수단의 하류 측에 설치되는 각종의 피가공물 처리장치에 부착되는 경우, 또한 이들의 처리장치 등으로의 반출 동작을 실행하는 반출기구에 부착되는 경우도 상정할 수 있다.

본 발명의 진동식 반송장치는, 반송 단말부에 피가공물 도출구를 구비한 피가공물 반송로를 가지는 반송체와, 이 반송체를 진동시키는 진동 기구와, 상기 피가공물 도출구와 간극(間隙)을 통하여 배치되어 이루어지는 피가공물 분리유닛을 구비하고, 상기 피가공물 분리유닛은 상기 피가공물 도출구와 대향하는 피가공물 도입구를 구비한 피가공물 이송로와, 상기 피가공물 이송로에서의 상기 피가공물 도입구 측의 제1의 영역에서 개구하는 개구부를 구비한 분리용 통기구멍과, 상기 분리용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 분리용 배기수단과, 상기 피가공물 이송로에서의 상기 제1의 영역보다도 상기 피가공물 도입구와는 반대 측에 있는 제2의 영역에서 피가공물을 검출하는 피가공물 검출 수단과, 상기 제1의 영역에서 상기 제2의 영역을 향하여 기류를 발생시키는 피가공물 이송용 급기 수단과, 상기 피가공물 검출 수단에 의한 피가공물 검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 상기 피가공물 이송용 급기 수단을 정지시키고, 또 상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 비검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 상기 피가공물 이송용 급기 수단을 동작시키는 제어수단을 가지는 것을 특징으로 한다. 여기서 상기 피가공물 분리유닛은, 상기 진동 기구로부터 진동을 받지 않도록 상기 반송체와는 독립하여 지지되는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과, 상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단과, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단의 흡인력에 의해 위치결정된 피가공물을 검출하는 피가공물 위치결정 검출수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 검출시에는 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 정지시키며, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 비검출시에는 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 동작시키는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과, 상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단을 더 구비하고, 상기 피가공물 이송용 급기 수단과, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단이 병행하여 동작하는 기간을 가지는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 상기 분리용 통기구멍은 급기시에서 상기 제2의 영역으로 향하여 상기 개구부로부터 흘러나오는 경사 기류가 생기도록 구성된 통기 구조를 구비하고, 상기 피가공물 이송용 급기 수단은 상기 분리용 통기구멍에 급기함으로써 상기 개구부로부터 상기 기류를 발생시키는 통기구멍 급기 수단을 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 상기 피가공물 이송용 급기 수단은 상기 피가공물 이송로에 대하여 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 상기 제2의 영역으로 향하여 기류를 발생시키는 대향 측 급기 수단을 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 상기 위치결정용 통기구멍은, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단에 의한 배기시에서 상기 제1의 영역 측으로부터 상기 개구부로 흘러들어오는 경사 기류를 발생시키는 통기 구조를 구비하는 것이 바람직하다.

도 1은, 실시형태의 진동식 반송장치의 주요부분의 좌측면도이다.
도 2는, 실시형태의 진동식 반송장치의 주요부분의 정면도이다.
도 3은, 실시형태의 진동식 반송장치의 주요부분의 우측면도이다.
도 4는, 실시형태의 진동식 반송장치의 사시도이다.
도 5는, 실시형태의 진동식 반송장치의 반송 단말부를 확대하여 예시하는 확대평면도이다.
도 6은, 실시형태의 진동식 반송장치의 반송 단말부를 확대하여 예시하는 확대 종단면도이다.
도 7a 및 도 7b는, 실시형태의 피가공물 분리유닛 및 피가공물의 위치를 예시하는 설명도이다.
도 8은, 실시형태의 제어계의 동작 예를 예시하는 타이밍 차트이다.
도 9a 및 도 9b는, 실시형태의 피가공물 분리유닛 및 피가공물의 위치를 예시하는 설명도이다.
도 10은, 실시형태의 제어계의 다른 동작 예를 예시하는 타이밍 차트이다.

다음에, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 피가공물 분리유닛 및 진동식 반송장치의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태의 진동식 반송장치의 주요부분을 예시하는 좌측면도, 도 2는 동 정면도, 도 3은 동 우측면도, 도 4는 진동식 반송장치의 사시도이다.

진동식 반송장치(10)는, 위쪽에 배치된 직선형의 오목 홈으로 이루어지는 피가공물 반송로(11a)를 구비한 반송체(11)와, 이 반송체(11)의 아래쪽에 배치되고, 반송체(11)에 진동을 부여하는 진동 기구(12)를 가진다. 진동 기구(12)는 지지대(10a) 위에 고정되고, 이 지지대(10a)는 도 4에 예시하는 부착대(10b)에 고정된다. 또한, 부착대(10b)는 반송장치(10) 이외의 다른 반송 장치 등도 탑재 가능한 방진 구조체를 구성하는 지지반(10c) 및 설치반(10d) 위에 고정되어 있다.

반송체(11)는, 상기 진동 기구(12)에 직접 부착된 부착 블록(111)과, 이 부착 블록(111)에 고정되는 동시에 피가공물 반송로(11a)가 형성되어 이루어지는 반송 블록(112)과, 이 반송 블록(112)에 대하여 소정의 위치 관계가 되도록 상기 부착 블록(111) 또는 반송 블록(112)에 부착된 각종의 부가 부품(피가공물 반송로(11a)를 피복하는 피복판이나 피가공물의 흐름을 제어하는 스토퍼 등의 각종 피가공물 제어부품, 광센서 등의 각종 검출기, 에어 공급용이나 진공 흡인용의 통기로 구성부품 등)을 구비하고 있다.

또 진동 기구(12)는, 하단이 지지 베이스(10a)에 연결된 압전 구동체(12a)와, 이 압전 구동체(12a)의 상단과 상기 반송체(11)(의 부착 블록(111))와의 사이에 연결된 구동 스프링(12b)을 포함한다. 압전 구동체(12a)와 구동 스프링(12b)의 직렬 접속 구조는 반송체(11)의 반송 방향(F)을 따라서 서로 이간(離間)한 전후 위치에 각각 설치되고, 전후의 각 위치에서 반송체(11)를 지지하고 있다. 또 도시 예의 경우, 압전 구동체(12a)와 구동 스프링(12b)은 모두 반송 방향(F)으로 향하여 경사진 위쪽을 향한 판 면(板面)을 가지는 판상 탄성체로 구성된다. 또한, 본 실시 형태에서는 진동 기구(12)의 진동 발생원으로서 압전 구동체(12a)를 이용하고 있지만, 본 발명에서는, 진동 발생원으로서는 전자 구동체(솔레노이드)를 이용하여도 되는 등, 특히 한정되는 것이 아니다. 도시 예의 경우, 진동 기구(12)는 반송 방향(F)을 따른 경사진 상하 방향으로 왕복하는 진동을 반송체(11)에 부여하고, 이 진동에 의해 피가공물 반송로(11a) 위의 피가공물(도시 생략)이 반송 방향(F)으로 이동한다.

지지 베이스(10a)에는 측판(Side plates , 12c)과 (12d)가 좌우에 부착되고, 이들의 측판(12c) 및 (12d)는 상기 진동 기구(12)의 압전 구동체(12a) 및 구동 스프링(12b)을 피복하고 있다. 측판(12c)의 상부에는 반송 방향(F)을 따라서 상기 피가공물 반송로(11a)의 반송 단말부의 옆쪽으로 튀어나온 지지 연장부(12e)가 설치되어 있다. 이 지지 연장부(12e)는 L자형의 접속 부재(13)를 통하여 피가공물 분리 유닛(15)을 지지하고 있다. 이것에 의해, 피가공물 분리 유닛(15)은, 진동 기구(12)에 의한 진동이 부여되는 반송체(11)와는 독립하여(분리된 상태로), 진동 기구(12)에 의한 진동을 받지 않는 상태에서 지지 고정된다. 또한, 도시 예의 경우, 측판(12c)은, 피가공물 분리유닛(15)의 지지 강성을 확보하기 위하여 측판(12d)보다도 두껍게 구성된다.

도 5 및 도 6은, 상기 반송체(11)의 반송 단말부 및 이 반송 단말부에 인접하여 배치된 피가공물 분리 유닛(15)을 확대하여 예시하는 확대 평면도 및 확대 종단면도이다. 이 반송 단말부에는, 상기 반송체(11)에 형성된 피가공물 반송로(11a)의 종단(終端)에 피가공물 도입구(11b)가 형성되어 있다. 피가공물 도출구(11b)는 피가공물 반송로(11a)가 피가공물 분리유닛(15)을 향하여 개구한 부분이다.

반송 단말부에는, 피가공물 반송로(11a)를 위쪽에서 피복하는 피복판(113, 114)이 배치되고, 이 피복판(113, 114)에 의해 피가공물 반송로(11a))를 따른 피가공물의 통과 경로가 폐쇄된 단면 형상을 갖도록 구성된다. 이와 같이 반송 단말부에서의 피가공물의 통과경로를 폐쇄된 단면 형상으로 한 것은, 피가공물이 피가공물 분리유닛(15) 내에서 일시적으로 정지하고, 이것에 의해 후속의 복수의 피가공물이 반송체(11)의 반송 단말부에서 앞쪽으로 밀어냄으로써 상호 중첩되어 버리는 것을 방지하기 때문이다.

도시 예에서는, 상기 피복판(114)의 선단부는 피가공물 분리유닛(15)의 피가공물 도입구(15)를 넘어서 튀어나와 있다. 이것에 의해 반송체(11)와 피가공물 분리 유닛(15) 사이의 경계 부분에서도 전후의 피가공물의 중첩이 발생하지 않도록 할 수 있다. 더욱 구체적으로는 피가공물 분리 유닛(15)에서 그 피가공물 이송로(15a)의 제1의 영역(다음의 피가공물 대기위치, 후술함)에 배치된 피가공물과, 이 피가공물의 뒤쪽(피가공물 도출구(11b)와 피가공물 도입구(15b)의 간극 근방)에 배치된 피가공물이 서로 중첩되지 않도록, 피복판(114)은 상기 제1의 영역에 있는 피가공물의 위쪽에까지 최소한 부분적으로 튀어나오도록 구성되어 있다. 또 피복판(114)의 튀어나온 부분은, 상기 제1의 영역에 보호 유지된 피가공물이 후술하는 분리용 통기구멍에 대한 급기(진공파괴)에 의해 경사진 위쪽으로 향하여 밀려나왔을 때에 피가공물이 위쪽으로 튀어오르지 않도록 억제하는 기능이 있다.

한편, 피가공물 분리유닛(15)에는, 상기 피가공물 도출구(11b)에 대하여 간극을 통해 대향하는 피가공물 도입구(15b)를 구비한 오목 홈 형상의 피가공물 이송로(15a)가 형성되어 있다. 이 피가공물 이송로(15a)는, 피가공물 반송로(11a)의 연장선상을 따라서 연장하고 있다. 즉, 도시 예의 경우에는, 피가공물 반송로(11a)에 의한 피가공물의 반송 방향(F)과, 피가공물 이송로(15a)에 의한 피가공물의 이송방향(T)이 일치하고 있다. 단, 본 발명은 도면에서 예시한 바와 같이 양쪽 방향(F)과 (T)가 완전히 일치하는 형태로 한정되는 것이 아니다. 또 피가공물 이송로(15a)는 피가공물 반송로(11a)와 기본적으로 같은 단면 형상을 구비한 오목 홈으로 구성된다. 피가공물 이송로(15a)의 상기 피가공물 도입구(15b)에서는, 이것과 대향하는 피가공물 도출구(11b) 측을 향하여 열리도록 기울어져 형성된 경사 측면(15c)(도 7 및 도 9 참조)이 폭 방향 양쪽에 설치되어 있다. 또 피가공물 이송로(15a)의 상기 도입구(15b)와는 반대 측의 단부는 종단면(15d)에 의해 폐쇄되어 있다.

피가공물 분리유닛(15)은, 상기 접속 부재(13) 위에 고정된 스페이서(151)와, 이 스페이서(151) 위에 고정된 오목형상(정면으로 볼 때를 기준으로 함)의 홀더(152)와, 홀더(152)에 부착된 베이스 블록(153)과, 이 베이스 블록(base block, 153) 위에 부착된 단말 블록(terminal block , 154) 및 부가 블록(155)을 갖는다.

상기 피가공물 이송로(15a)는, 베이스 블록(153) 및 단말 블록(154)에 의해 구성된다. 베이스 블록(153)은 피가공물 이송로(15a)의 피가공물 도입구(15b) 측 부분(이하, 간단하게 「도입구」라고 한다)의 오목 홈 구조 및 피가공물 도입구(15b)와는 반대 측의 부분(이하, 간단하게 「단말부」라고 한다)의 바닥면 및 폭 방향 한쪽의 내측면을 구성하고, 단말 블록(154)은 피가공물 이송로(15a)의 단말부 폭 방향의 다른 쪽 측면 및 상기 종단면(terminal end surface, 15d)을 구성한다.

도 5에 있어서, 본 실시 형태에 대응하는 피가공물(P1) 및 이 피가공물(P1)이 피가공물 이송로(15a) 위에 배치되어 있는 상태를 예시하는 확대 평면도 및 확대 측면도를 도시하고 있다. 이 피가공물(P1)은 도면에서 예시하는 점선으로 도시하는 바와 같이 피가공물 밑면 위에 폭 방향 중앙으로 전극(EL)이 거의 돌출하여 형성되어 있다. 한편, 피가공물 이송로(15a)의 바닥면(베이스 블록(153)에 의해 구성된다.)에는, 피가공물 이송로(15a)의 폭보다도 작은(피가공물(P1)의 폭보다 작은) 폭의 오목 홈(15e)이 폭 방향 양측에 각각 간격을 두고 설치되어 있다. 이 오목 홈(15e)은 도 5에서 예시하는 피가공물(P1) 밑면의 전극(EL)을 수용가능한 폭 및 깊이를 가지고 있다. 이 오목 홈(15e)은 피가공물 이송로(15a)의 전체에 걸쳐서 형성되어 있으므로, 이송 방향(T)을 따라서 단차(段差)를 구성하지 않고, 이것에 의해 피가공물이 도중에 걸리는 일이 없다. 또한, 개구부(16a)는 오목 홈(15e) 내에 개구하고 있다.

피가공물(P1)이 피가공물 이송로(15a) 위에 배치된 때에는, 상기 전극(EL)이 오목 홈(15e) 내에 수용되는 동시에, 피가공물에서의 전극(EL)의 폭 방향 양측에 있는 밑면 부분이 오목 홈(15e)의 폭 방향 양측에 있는 피가공물 이송로(15a)의 바닥면 부분에 밀접한 상태가 된다. 따라서, 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)에 피가공물이 흡착 보호 유지된 때에, 피가공물 밑면에 돌출하는 전극(EL)의 두께에 의해 발생하는 공기 누출(air leak)을 절감할 수 있다. 즉, 공기 누출에 의해 피가공물의 보호 유지력이 부족해지고, 후속의 피가공물에 의해 흡착 보호 유지되어 있는 피가공물이 밀려나 버린다고 하는 일을 방지할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 피가공물 이송로(15a)에서 개구부(16a)에 의해 피가공물이 흡인 보호 유지되고 있는 경우에, 피가공물 반송로(11a) 위에서 진행해 오는 후속의 피가공물이 상기의 흡인 보호 유지되고 있는 피가공물에 후방으로부터 충돌하고, 이 충돌은 진동에 의해 반복발생한다. 이 때문에 피가공물의 흡인 보호유지력이 부족해지면, 피가공물이 전방으로 밀려날 우려가 있다. 그러나 상기와 같이 오목 홈(15e)을 설치하는 것으로 후술하는 제1의 영역에서의 피가공물의 흡인 보호 유지력을 증대시킬 수 있기 때문에, 후속의 피가공물에 충돌되는 것에 의한 흡인 보호 유지된 피가공물의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

단말 블록(154)에는 단말부의 주위에 낮은 표면을 구비한 평면시(平面視) L자형의 단차부(step portion , 154a)를 구비하고 있다. 이 단차부(154a)는 후술하는 피가공물 반출 수단의 간섭을 회피하기 위한 것이다. 또한, 단말 블록(154)의 상기 도입부의 측면을 구성하는 내측면의 단부에는 상기 경사 측면(15c)과 같은 구조 및 목적으로 경사측면(154c)이 형성되어 있다.

베이스 블록(153)의 윗면에는 피가공물 이송로(15a)의 단말부에서 폭 방향의 한쪽으로 뻗는 검출 홈(153a, 153b)이 형성되어 있다. 또 단말 블록(154)의 밑면에는 단말부로부터 폭 방향의 다른 쪽으로 뻗는 검출 홈(154a, 154b)이 형성되어 있다. 검출 홈(153a)와 (154a)는 후술하는 제1의 검출기(S1)의 검출 라인(L1)을 구성한다. 또 검출 홈(153b)와 (1534b)는 후술하는 제2의 검출기(S2)의 검출 라인(L2)을 구성한다.

피가공물 분리유닛(15)에는, 도입부 측에 분리용 통기구멍(16)이 형성되고, 이것보다도 단말부 측에 위치결정용 통기구멍(17)이 형성되어 있다. 피가공물 이송로(15a)의 바닥면에는, 도입부 측에 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16 a)(도시 예에서는 평면시로 직사각형의 개구)가 형성되고, 단말부 측에 위치결정용 통기구멍의 개구부(17a)(도시 예에서는 평면시로 직사각형의 개구)가 형성되어 있다. 개구부(16a)와 개구부(17a)는 이송 방향(T)을 따라서 이간하여 형성되어 있다.

분리용 통기구멍(16)의 말단 부분은 개구부(16a)를 향하고 단말부 측을 향하여 비스듬하게 경사지도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 분리용 통기구멍(16)의 통기 구조는, 이 분리용 통기구멍(16)으로의 급기 시에서의 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류의 방향이 단말부 측을 향하여 경사진 위쪽이 되도록 구성된다. 이 말단 부분의 이송 방향(T)에 대한 경사 각도는 예각(銳角)(90도 미만)이면 되지만, 상기 기류의 이송 방향(T)의 성분을 크게 해서 기류에 의한 피가공물의 추진력을 높이기 위해서는 45도 이상인 것이 바람직하고, 통기구멍의 형성을 용이하게 하기 위해, 또는 개구부(16a)의 크기에 비해 말단 부분의 통기 단면적을 지나치게 작게 구성하지 않으면서 통기 저항을 작게 하기 위해서는 15도 이상인 것이 바람직하다.

또 위치결정용 통기구멍(17)의 말단 부분은 개구부(17a)를 향하여 도입부 측에 비스듬하게 경사지도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 위치결정용 통기구멍(17)의 통기 구조는, 이 위치결정용 통기구멍(17)의 배기시에서의 개구부(17a)에 흘러들어가는 기류의 방향이 도입부 측으로부터 경사진 아래쪽이 되도록 구성된다. 이 말단 부분의 이송방향(T)에 대한 경사 각도도 예각(90도 미만)이면 되지만, 상기 r기류의 이송 방향(T)의 성분을 크게 하여 기류에 의한 피가공물의 추진력을 높이기 위해서는 45도 이하인 것이 바람직하고, 통기구멍의 형성을 용이하게 하기 위해, 또는 개구부(16a)의 크기에 비해 말단 부분의 통기 단면적을 지나치게 작게 구성하지 않고도 통기 저항을 적게 하기 위해서는 15도 이상인 것이 바람직하다.

또한, 상기의 분리용 통기구멍(16)과 위치 결정용 통기구멍(17)의 통기 구조는, 모두 특히 상기의 형태에 한정되는 것이 아니고, 결과로서 각 통기 구멍을 통하여 배기 또는 급기가 이루어진 때에 개구부(16a, 17a)의 외측에서 이송 방향(T)으로 유속 성분을 가지는 경사 기류가 발생하도록 구성되어 있으면 된다. 예를 들면, 상기 각 말단 부분이 경사 되어 있지 않고, 단차 형으로 구성되어 있어도 된다.

위치결정용 통기구멍(17)의 개구부(17a)는 평면시로 종단면(15d)까지 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또 개구부(17a)의 이송방향(T)에 따른 개구 범위는 피가공물의 이송방향(T) 길이의 1/2 이하 1/5 이상인 것이 바람직하고, 또한, 1/3 이하 1/4 이상인 것이 더욱 바람직하다. 이것보다 넓은 개구 범위를 가지는 경우에는 피가공물이 종단면(15d)에 도달하기 전에 정지할 우려가 있으며, 이것보다 좁은 개구 범위를 가지는 경우에는 피가공물의 위치결정력이 부족하여 종단면(15d)에 접촉한 후에 튀어오를 우려가 있기 때문이다.

피가공물 분리유닛(15)에서는, 상기 피가공물 이송로(15a)의 단말부에 존재하는 피가공물(P1)을 검출하는 피가공물 검출수단 및 피가공물 위치결정 검출수단이 홀더(152)에 부착된 검출부(157) 및 (158)에 설치된다. 피가공물 검출수단은, 피가공물(P1)이 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)가 형성되어 있는 영역(후술하는 제1의 영역)으로부터 벗어나서, 이 영역보다도 단말부 측의 다른 영역(후술하는 제2의 영역)에 들어간 것(또는 그 타이밍)을 검출하는 것이다. 구체적으로는, 이 피가공물 검출수단은 피가공물(P1)의 선단부가 상기 검사 홈(153a, 154a)을 통과하는 검출라인(L1)을 교차할 때에 출력이 변화하는 광센서 등으로 이루어지는 제1의 검출기(S1)로 구성된다. 검출라인(L1)은, 상기 종단면(15d)보다도 피가공물 도입구(15b) 측에 이간 된 위치로서, 피가공물(P1)이 개구부(16a)에서의 흡인력에 의한 영향을 실질적으로 받지 않게 되는 범위에 도달한 때의 피가공물(P1)의 선단부 위치에 일치하도록 설정된다.

또 피가공물 위치결정 검출수단은, 피가공물(P1)의 선단부가 종단면(15d)에 도달하고, 피가공물(P1)이 위치결정 상태에 있는 것(또는 그 타이밍)을 검출하는 것이다. 구체적으로는, 피가공물 위치결정 검출수단은, 피가공물(P1)의 선단부가 상기 검사 홈(153b, 154b)을 통과하는 검출라인(L2)을 가로지른 때에 출력이 변화하는 광센서 등으로 이루어지는 제2의 검출기(S2)로 구성된다. 검출라인(L2)은, 상기 종단면(15d)에 인접한 위치, 즉, 종단면(15d)에 접촉하여 위치결정된 때의 피가공물(P1)의 선단부 위치에 설정된다.

피복판(114)에는, 피가공물 이송로(15a)의 상부를 따라서 이송 방향(T)을 향한(바람직하게는 수평 방향의) 기류를 발생시키기 위한 대향 측 급기부(18)가 설치되어 있다. 이 대향 측 급기부(18)는, 피복판(114)에 설치된 이송 방향(T)(수평 방향)으로 연장하는 통기로(18a)를 가진다. 이 통기로(18a)는, 피복판(114)의 선단부(단 테두리부(end edge portion))에 분출구(18b)를 가지는 동시에 피복판(114) 위에 급기구(18c)를 구비하고, 급기구(18c)를 도면에서 예시하지 않은 급기 장치에 접속하면, 분출구(18b)로부터 기류를 분출시킬 수 있게 되어 있다. 분출구(18b)는 피가공물 이송로(15a)의 위쪽에 배치된다. 분출구(18b)(더욱 바람직하게는 통기로(18a)도)는 폭 방향으로 편평한 형상인 것이 바람직하고, 특히 피가공물 이송로(15a)의 폭 방향 전체의 위쪽 범위에 걸쳐서 개구하고 있는 것이 바람직하다.

도면에서 예시한 경우, 피복판(113)과 (114)의 대향 테두리부는 피가공물 반송로(11a) 및 피가공물 이송로(15a)를 따라서 그 위쪽에 배치된다. 이것은, 피가공물 반송로(11a) 및 피가공물 이송로(15a)의 메인테넌스를 용이하게 한다.

도 6에 예시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 상기 분리용 통기구멍(16)을 배기함으로써 개구부(16a)에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 분리용 배기수단을 구비하고 있다. 피가공물 분리용 배기수단은, 분리용 통기구멍(16)에 접속된 배관, 개폐 밸브 등의 제어기, 및 배기 장치를 포함하는 배기 구조(E1)를 가진다. 또 상기 위치결정용 통기구멍(17)을 배기함으로써 개구부(17a)에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 위치결정용 배기수단을 구비하고 있다. 피가공물 위치결정용 배기수단은, 위치결정용 통기구멍(17P)에 접속된 배관, 개폐 밸브 등의 제어기, 및 배기 장치를 포함하는 배기 구조(E2)를 가진다. 여기서 배기 구조(E1)와 (E2)를 각 제어기 보다도 앞에 있는 배관 및 배기 장치가 공유되는 구성으로 하여도 된다.

또 본 실시 형태에서는, 피가공물 이송로(15a)에서 이송 방향(T)을 향하는 기류를 발생시키기 위한 피가공물 이송용 급기 수단을 구비하고 있다. 이 피가공물 이송용 급기 수단은 상기 분리용 통기구멍(16)에 급기함으로써 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류를 피가공물 이송로(15a) 위에 발생하게 하기 위한 배관, 및 개폐 밸브 등의 제어기를 포함하는 급기 구조(A1)에 의해 구성되는 통기구멍 급기 수단을 포함한다. 또 피가공물 이송용 급기 수단은, 상기 대향 측 급기부(18)를 이용하여 통기로(18a)의 분출구(18b)로부터 기류를 분출시켜서 피가공물 이송로(15a)의 상부를 따라 수평 방향의 기류를 발생시키기 위한 배관, 개폐 밸브 등의 제어기, 및 급기 장치를 포함하는 급기 구조(A2)에 의해 구성되는 대향 측 급기 수단을 포함한다.

여기서 급기 구조(A1)는 배기 구조(E1)에 의하여 감압된 분리용 통기구멍(16) 내부를 대기압으로 복원하는 것으로 기류의 관성에 의해 결과로서 기류가 발생하는 진공 파괴(감압 해제) 수단이다. 또 급기 구조(A2)는 에어 컴프레서 등의 급기 장치를 이용하여 대기압보다도 높은 압력으로 가압하는 것으로 기류를 발생시키는 가압기체 공급수단이다.

단, 피가공물 이송용 급기 수단은, 상기 급기 구조(A1)와 (A2)의 조합에 한정되지 않고, 상기 급기 구조(A1)과 (A2) 중 어느 한쪽만으로 구성되어 있어도 되며, 또는 상기 급기 구조(A1)를 급기 구조(A2)와 같은 가압기체 공급수단으로 구성한 것이어도 된다.

상기 급기 구조(A1)는, 피가공물에 대하여 피가공물 이송로(15a)의 바닥면 위의 개구부(16a)로부터 이송 방향(T)을 따라서 경사진 위쪽의 기류를 발생시킨다. 한편, 상기 급기 구조(A2)는, 피가공물 이송로(15a)의 상부를 따라서 이송 방향(T)(수평 방향)을 향한 기류를 발생시킨다. 그리고 급기 구조(A1)에 의해 발생하는 기류가 흘러나오는 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)와, 급기 구조(A2)에 의하여 발생하는 기류가 분출하는 분출구(18b)는, 피가공물 이송로(15a)의 양쪽에 대향하여 배치되기 때문에, 피가공물의 상하 양측(대향하는 양측)에서 기류를 이송 방향(T)을 향하여 발생시킨 수 있는 것으로부터, 피가공물을 안정된 자세로 확실하게 피가공물 이송로(15a)를 따라서 이송할 수 있다. 예를 들면, 개구부(16a)로부터의 기류만을 부여하였을 때에 피가공물이 위쪽으로 날아오르거나, 분출구(18b)로부터의 기류만을 부여한 때에 피가공물이 피가공물 이송로(15a)의 바닥면에 달라붙어서 이동하지 않게 되는 것을 방지할 수 있다.

상기 급기 구조(A1)는, 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)로부터 경사진 위쪽으로 흘러나오는 기류를 발생시키므로, 피가공물 이송로(15a)의 바닥면에 개구한 개구부(16a) 위에 배치되어 있는 피가공물을 확실하게 이송 방향(T)으로 향하여 밀어낼 수 있기 때문에, 피가공물의 이송을 확실히 실행할 수 있다고 하는 이점이 있다. 특히, 피가공물 분리용 배기수단인 상기 배기 구조(E1)의 배기에 의해 흡인 보호 유지되고 있던 피가공물에 대해서는 더욱 확실하게 이송 방향(T)으로 밀어낼 수 있다.

상기 급기 구조(A2)는, 피가공물 이송로(15a)의 상부(분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)와 대향하는 측)에서 이송 방향(T)을 따라서 기류를 발생시키므로, 상기 급기 구조(A1)에 의해 발생한 경사진 위쪽으로 향하는 기류를 이송 방향(T)(수평 방향)으로 유도하는 동시에, 이 기류에 의해 경사진 위쪽으로 밀어 올리는 피가공물을 누르면서 이송 방향(T)(수평 방향)으로 유도할 수 있다. 따라서, 피가공물의 이송을 더욱 고속으로 실행할 수 있는 동시에 피가공물의 이송자세도 안정시킬 수 있다.

도 6에서 예시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서는 상기 위치결정용 통기구멍(17)에 의한 흡인 작용으로 선단부가 종단면(15d)에 접촉한 상태에서 위치결정된 피가공물(P1)을 반출하기 위한 피가공물 반출수단(D)이 이용된다. 이 피가공물 반출수단(D)으로서는, 예로서 하류 측의 피가공물 검사장치나 피가공물 실장장치 등이라고 하는 각종의 피가공물 처리 장치의 일부인 로봇 핸드, 픽 엔드 플레이스 유닛(Pick and place unit), 회전 인덱서(rotary indexer)를 들 수 있다. 도시 예에서는 2점 쇄선으로 로봇 핸드나 픽 엔드 플레이스 유닛의 일부(머니퓰레이터 (manipulator))를 예시하고 있다.

도 5에 예시하는 제1의 검출기(S1)가 출력하는 제1의 검출신호(PHS1)와 제2의 검출기(S2)가 출력하는 제2의 검출신호(PHS2)는, 도 6에 예시하는 제어부(C)에 송출되고, 제어부(C)는 상기 검출신호(PHS1, PHS2)에 따라서 상기 배기 구조(E1)의 제어기(예를 들면, 전자 밸브, 이하 동일)에 제어 신호(SOL1)를 출력하며, 상기 배기 구조(E2)의 제어기에 제어 신호(SOL4)를 출력하고, 상기 급기 구조(A1)의 제어기에 제어 신호(SOL2)를 출력하며, 상기 급기 구조(A2)의 제어기에 제어 신호(SOL3)를 출력한다. 또 제어부(C)는 상기 검출 신호(PHS2)에 따라서 도면에서 예시하지 않은 상기 각종의 피가공물 처리장치의 제어부에 피가공물의 반출 타이밍을 지시하는 제어 신호(PUP)를 출력한다.

도 7a 및 도 7b, 도 9a 및 도 9b는, 본 실시 형태에서의 피가공물 분리 유닛(15) 내의 피가공물의 이송형태를 순차적으로 각각 평면도의 형태에서 예시하는 설명도이다. 또 도 8은, 제1 실시형태의 각 부분의 신호를 예시하는 타이밍 차트이다. 또한, 도 7 및 도 9는 모식도이고, 피가공물 이송로(15a)를 구성하는 상기 각 블록의 구성은 생략하여 예시하고 있다.

도 7에 예시하는 바와 같이, 피가공물 이송로(15a) 위에는, 피가공물 도입구(15b) 측에 제1의 영역(15X)이 설정되고, 또 이 제1의 영역(15X)의 피가공물 도입구(15b)와는 반대 측에 제2의 영역(15Y)이 확보된다. 이때 제1의 영역(15X) 내에는 상기 분리용 통기구멍(16)이 형성되고, 제2의 영역(15Y) 내에는 위치결정용 통기구멍(17)이 형성된다. 여기서 제2의 영역(15Y)은, 최소한 하나의 피가공물을 수용할 수 있는 범위보다 커진다. 또 제1의 영역(15X)은 최소한 하나의 피가공물을 수용할 수 있는 범위가 되는 것이 바람직하다.

또 제1의 영역(15X)과 제2의 영역(15Y)의 경계 위치는, 도 9a에 예시하는 바와 같이 피가공물(P1)의 후단부가 상기 분리용 통기구멍(16)보다도 이송 방향(T)으로 이동하고, 피가공물(P1)이 분리용 통기구멍(16)으로부터의 흡인작용에 의한 영향을 받지 않는 위치에 왔을 때에, 피가공물(P1)의 후단부가 제1의 영역(15X)으로부터 이탈하여 피가공물(P1)의 전체가 제2의 영역(15Y)에 들어가도록 설정된다. 그리고 이 위치에 있을 때의 피가공물(P1)의 선단부가 정확히 검출 라인(L1)에 도달하도록 이루어져 있다. 즉, 피가공물(P1)이 제1의 검출기(S1)에서 검출되는 최초의 위치는, 피가공물(P1)의 후단부가 제1의 영역(15X)으로부터 이탈하여 피가공물(P1)의 전체가 제2의 영역(15Y)에 처음 들어간 때의 위치가 된다.

도 7a에 예시하는 바와 같이, 이미 피가공물 이송로(15a)의 종단면(15d)에 접촉하여 정지하고, 위치결정용 통기구멍(17)의 개구부(17a)를 통하여 상기 배기구조(E2)에 의해 흡인되는 것으로 일단 위치결정된 피가공물(P0)(도면에서 예시한 2점 쇄선)이 있고, 이 피가공물(P0)에 대한 상기 배기구조(E2)에 의한 흡인상태가 해제된 후에 상기 피가공물 배출수단(D)에 의해 배출되었다. 이때 피가공물 이송로(15a) 위의 제1의 영역(15X)에 다음의 피가공물(P1)이 존재하는 경우에는, 피가공물(P1)은 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)를 통하여 상기 배기 구조(E1)에 의해 흡인되어 정지하고 있다. 또 피가공물 반송로(11a) 위에는 후속의 피가공물(P2, P3)이 배치되어 있다.

피가공물(P0)이 반출되면, 도 8에 예시하는 바와 같이, 제1의 검출신호(PHS1) 및 제2의 검출신호(PHS2)는 모두 ON에서 OFF로 변화(또는, 반전, 이하 동일)하고, 이것에 의해 제어 신호(SOL1)는 ON에서 OFF로 변화하는 동시에 제어신호(SOL2)는 OFF에서 ON으로 변화하므로, 분리용 통기구멍(16)을 통한 상기 배기 구조(E2)의 배기에 의한 개구부(16a)에서의 흡인 작용은 정지하며, 또 상기 급기 구조(A1)가 동작하여 분리용 통기구멍(16)의 진공 파괴가 실행된다. 이것에 의해, 기류가 개구부(16a)로부터 이송 방향(T)을 향하여 경사 진 위쪽으로 흘러나오므로, 도 7b에 예시하는 바와 같이, 피가공물(P1)은 이송 방향(T)을 향하여 경사진 위쪽으로 밀려나온다.

이때 급기 구조(A1)는, 동작 개시로부터 기간(t1)만큼 급기동작(진공 파괴동작)을 실행한 후에 정지한다. 또한, 상기 기간(t1)은 피가공물(P1)의 선단부가 검출라인(L1)에 도달하는 시간보다 짧게 설정되지만, 타성(惰性)이나 위치결정용 통기구멍(17)의 개구부(17a)를 통한 흡인 작용에 의해 피가공물(P1)의 선단부가 검출라인(L1)을 통과하여 최종적으로 종단면(15d)에 도달하기 때문에 시간상으로 충분한 기간이 된다.

상기와 같이 빨리 급기 구조(A1)의 급기를 정지하는 것으로, 분리용 통기구멍(16)을 통한 상기 급기 구조(A1)에 의한 기류는 상기 배기 구조(E1)에 의한 배기가 개시되기 직전까지 발생하여 급기에서 배기로의 전환이 신속하게 실행되지 않고, 다음의 피가공물(P2)의 흡인 보호유지 타이밍이 지연되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 다음의 피가공물(P2)을 확실하게 포착할 수 있다.

또 상기와 같이 제1의 검출신호(PHS1) 및 제2의 검출신호(PHS2)가 모두(어느 한쪽이어도 된다) ON에서 OFF로 변화하면 제어 신호(SOL4)도 OFF에서 ON으로 변화하고, 상기 배기 구조(E2)에 의한 위치결정용 통기구멍(17)의 배기에 의해 개구부(17a)에서 흡인이 실행된다. 이것에 의해, 도입부 측에서 경사진 아래쪽을 향한 기류가 개구부(17a)에 흘러들어간다. 이 기류는 흡인 작용에 의해 피가공물(P1)의 이송을 포착하는 동시에, 상기 급기 구조(A1) 및 (A2)에 의한 기류를 끌어들이는 작용도 생기므로, 모든 기류에 의한 피가공물에 대한 추진력이 증강되는 동시에, 그 추진력을 이송방향(T)으로 정확하게 향할 수 있다고 하는 효과를 가진다.

또한, 제어 신호(SOL3)는 기본적으로 상시 ON이 되기 때문에, 상기 급기 구조(A2)의 동작에 의해 분출구(18b)로부터 기류가 상시 이송방향(T)을 향하여 분출하고 있다. 이와 같이 하면, 피가공물 이송로(15a)의 상부에는 항상 기류가 이송방향(T)으로 바로(피가공물 이송로(15a)와 평행하게) 흐르기 때문에, 상기 급기 구조(A1)에 의해 피가공물이 경사진 위쪽으로 밀려나왔을 때에는 신속하게 피가공물의 이송 자세의 안정화나 기류에 의한 이송방향(T)으로의 피가공물에 대한 추진력의 증대를 도모할 수 있다. 단, 이것에 의해 피가공물이 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)에서 흡인 보호유지되어 있는 경우라도 상기 급기구조(A2)는 동작을 행하여 분출구(18b)로부터 기류가 흘러나오게 된다. 그러나 이 피가공물은 피가공물 이송로(15a)의 바닥면 위에 배치되기 때문에, 피가공물 이송로(15a)의 상부에서 발생하는 상기 기류에 의한 영향은 작은 동시에, 본 실시 형태에서는 분출구(18b)가 개구부(16a)상위의 피가공물 위, 또는 이 피가공물 보다 더 단말부 측에 배치되므로, 이 피가공물에 상기 기류가 영향을 주는 일은 거의 없다.

단, 제어신호(SOL3)를 상시 ON으로 하지 않고, 도 8에서 파선으로 예시하는 바와 같이, 예를 들면, 제1의 검출신호(PHS1) 또는 제2의 검출신호(PHS2)가 ON이 되었을 때(도시 예에서는 PHS2가 ON이 되었을 때)에 제어신호(SOL3)를 ON으로 하고, 소정 기간(t2) 후에 OFF 하여도 된다. 여기서 기간(t2)의 전후에 걸치는 동시에, 기간(t1)보다 긴 기간인 것이 바람직하다.

그 후 도 9a에 예시하는 바와 같이 피가공물(P1)의 선단부가 검출라인(L1)에 도달하면(피가공물(P1)의 전체가 제2의 영역(15Y)에 들어가면), 도 8에 예시하는 바와 같이 제1의 검출기(S1)로부터 출력되는 제1의 검출신호(PHS1)가 OFF에서 ON로 변화하고, 이것에 의해 제어부(C)로부터 송출되는 제어신호(SOL1)가 OFF에서 ON으로 변화하므로, 상기 배기구조(E1)가 동작하고, 이것에 의해 제1의 영역(15X)에 들어간 다음의 피가공물(P2)이 존재하는 경우에는 이 피가공물(P2)이 개구부(16a)를 통하여 상기 배기구조(E1)에 의해 흡인작용을 받는다.

그 후 피가공물(P1)은 위치결정용 통기구멍(17)을 통하여 상기 배기 구조(E2)에 의해 개구부(17a)에서 흡인되고, 도 9b에 예시하는 바와 같이, 최종적으로 피가공물(P1)의 선단부가 종단면(15d)에 접촉한 상태에서 흡인력에 의해 위치결정된다. 또 다음의 피가공물(P2)은 분리용 통기구멍(16)을 통한 상기 배기구조(E1)의 배기 동작으로 개구부(16a)에서 발생하는 흡인력에 의해 제1의 영역(15X)에서 보호 유지된다.

이때 피가공물(P1)의 선단부가 검출라인(L1)에 도달한 시점에서 분리용 통기구멍(16)을 통한 상기 배기구조(E1)의 배기동작에 의한 흡인작용이 개구부(16a)에서 일어나서 다음의 피가공물(P2)의 이동을 방해하므로, 선두의 피가공물(P1)과 다음의 피가공물(P2)과의 사이에는 검출라인(L1)과 종단면(15d)과의 거리에 대응하는 소정 간격이 확보된다.

선두의 피가공물(P1)의 선단부가 위에서 설명한 바와 같이 종단면(15d)에 도달하면, 도 8에 예시하는 바와 같이 제2의 검출신호(PHS2)는 OFF에서 ON으로 변화하므로, 제어부(C)로부터 출력되는 제어신호(SOL4)는 ON에서 OFF로 변화한다. 이것에 의해 상기 배기구조(E2)가 정지하고, 위치결정용 통기구멍(17)의 개구부(17a)를 통한 흡인작용이 정지한다.

또 위에서 설명한 바와 같이 제2의 검출신호(PHS2)가 OFF에서 ON으로 변화하면, 도면에서 예시하지 않은 피가공물 처리장치의 제어부에 대해 송출되는 제어신호(PUP)가 도 8에 예시하는 바와 같이 OFF에서 ON으로 변화하고, 이것에 의해 상기 피가공물 처리장치의 피가공물 반출수단(D)이 동작하여 피가공물(P1)을 피가공물 분리유닛(15)으로부터 반출한다.

본 실시 형태에서는, 피가공물 분리유닛(15) 내에서, 상기 급기 구조(A1) 및 (A2)에 의해 발생하는 기류가 피가공물 이송로(15a)에서 이송 방향(T)으로 흐르기 때문에, 피가공물 분리유닛(15)을 도시 예에서와 같이 반송체(11)로부터 이간시키는 동시에 진동 기구(12)에 의한 진동이 실질적으로 전달되지 않도록 지지한 경우(피가공물 분리유닛(15)에 진동에 의한 반송력을 부여하지 않는 경우)라도 피가공물에 이송 방향(5)을 향한 추진력을 부여할 수 있다.

특히 본 실시 형태에서는, 제2의 영역(15Y)에 배치된 피가공물(P0)이 존재하는 경우에 다음의 피가공물(P1)을 피가공물(P0)로부터 이간시켜서 보호유지하기 위한 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)에 의한 흡인 상태를 상기 급기구조(A1)에 의해 해제(진공 파괴)함으로써 상기 기류가 발생하기 때문에, 분리용 통기구멍(16)을 피가공물 분리용의 보호유지작용과, 피가공물의 이송작용으로 공용(共用)할 수 있기 때문에 통기 구조를 간이화할 수 있다. 또 상기 배기구조(A1)에 의한 흡인작용으로 일단 개구부(16a) 위에 보호유지한 피가공물(P1)을 그대로 동일 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류에 의해 이송하도록 하고 있으므로, 안정된 상태에서 확실하게 이송할 수 있다고 하는 이점이 있다. 또한, 이 경우에 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류량이나 유속을 크게 하기 위해, 상기 급기구조(A1)를 단순한 진공파괴(감압 해제) 수단으로서 구성하지 않고, 급기구조(A2)와 동일한 가압기체 공급수단으로서 구성하여도 된다.

또 본 실시 형태에서는, 피가공물 이송로(15a)를 협지하여 개구부(16a)와 대향하는 측의 분출구(18b)로부터 피가공물 이송로(15a)의 상부를 따라서 분출하는 기류를 상기 급기구조(A2)에 의해 형성함으로써, 피가공물 이송로(15a)의 상부에 에어 커튼이 형성된다. 이것에 의해 피가공물 및 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류를 피가공물 이송로(15a)보다도 위쪽에 일탈하지 않도록 가두는 작용이 생기고, 특히 피가공물의 반송자세를 안정시킬 수 있다. 또 이와 같이 피가공물 이송로(15a) 내에 가두어진 기류는 고속으로 이송방향(T)으로 흐르고, 개구부(17a)로부터 효율적으로 배출되므로, 피가공물의 이송속도를 큰 폭으로 높일 수 있다. 또한, 상기 분출구(18b)로부터 분출하는 기류의 방향은 피가공물의 튀어오름을 방지하고 피가공물의 추진력을 높이기 위해, 피가공물 이송로(15a)를 향하여 약간 경사 시켜도 된다. 예를 들면, 5 내지 10도 정도 아래쪽으로 경사시키는 것으로 피가공물의 반송력을 확실하게 강화시킬 수 있다.

본 실시 형태의 진동식 반송장치(10)를 실제로 시험 제작(試作)하여 반송 방향(F)을 따른 길이 5.65㎜, 두께 0.9㎜, 폭 3.0㎜의 도 5에 예시하는 피가공물을 반송했을 때, 500개/분 정도의 고속의 피가공물 반출이 가능해지는 것이 확인되었다. 이때 이 고속동작을 고속도 카메라로 촬영하였다. 이것을 저속으로 재생하면 피가공물은 개구부(16a)에 흡인 보호유지된 상태에서 진공파괴가 일어났을 때에는 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류에 의해 순간적으로 피가공물 이송로(15a) 위로부터 경사진 앞쪽으로 부상(浮上)하고, 후속의 피가공물로부터 떨어져서 단말부 측으로 고속으로 이동하며, 당초는 다소 상하로 흔들거리면서 경사진 위쪽을 밀어올리게 되지만, 바로 분출구(18b)로부터 분출하는 기류에 의해 자세가 안정되게 이송 방향(T)으로 더욱 가속하면서 이송되는 것이 판명되었다.

또 상기 급기구조(A2)를 완전히 정지시킨 경우라도 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류에 의해 피가공물은 확실하게 이송되는 것이 확인되었다. 단, 급기구조(A2)를 이용하지 않는 경우에는 피가공물 반출속도는 거의 저하되었다. 단, 이 경우에 대해서도 종래 방법과 비교하면 상당히 높은 반출속도가 얻어지고, 반출 미스나 피가공물의 손상도 큰 폭으로 저하되어 있다. 본 실시 형태에서는, 개구부(16a) 위에 흡착되어 있던 피가공물이 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류에 의해 피가공물 이송로(15a)의 바닥면으로부터 부상하고, 이 부상한 상태에서 기류에 의해 더 이동하므로 피가공물 이송로(15a)의 바닥면과의 사이의 마찰 등의 영향도 없으며, 순간적으로 가속하여 고속으로 이동할 수 있는 것이라고 생각된다.

본 실시 형태에서, 피가공물 이송로(15a)는, 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)의 위쪽에 배치되는(튀어나오는) 피복판(114)에 의해 피복된다. 이 때문에 분리용 통기구멍(16)의 개구부(16a)로부터 흘러나오는 경사진 위쪽을 향한 기류에 의해 피가공물이 경사진 위쪽으로 밀려난 경우, 피복판(114)에 의해 피가공물의 튀어오름이 억제되는 동시에 자세가 흐트러져도 교정되고, 상기 기류도 피복판(114)에 의해 이송방향으로 유도되므로, 피가공물을 더욱 안정되고 또한 확실하게 앞쪽으로 이송하는 것이 가능해진다.

이 경우에 있어서, 피복판의 선단부가 상기 개구부의 상부 측 또는 이송방향을 향하여 경사진 상부 측에 배치되어 있기 때문에, 피가공물의 이송처에서 피가공물 이송로(15a)의 상부 측을 개방할 수 있는 것으로부터, 피가공물의 반출이나 메인테넌스에 지장을 초래하지 않게 된다. 또 본 실시 형태에서는, 피복판(114)을 반송체(11)에 고정하고, 피복판(114)의 선단부를 반송체(11) 위로부터 피가공물 분리유닛(15) 위로 튀어나오게 하고 있기 때문에 피복판(114)은 반송체(11)와 함께 반송 방향(F)(본 실시 형태에서는 이송 방향(T)과 일치한다.)으로 진동한다. 따라서, 피가공물이 피복판(114)에 대하여 개구부(16a) 측(아래쪽)에서 접촉하였을 때에 마찰력에 의해 피복판(114)이 피가공물을 이송 방향(T)으로 밀어내는 작용도 기대할 수 있다.

또한, 피복판(114)은 피가공물 분리유닛(15)에 고정하여도 된다. 이 경우에는 피복판(114)은 진동하지 않고 정지한 상태가 되므로, 상기의 밀어내는 작용은 기대할 수 없지만, 확실히 피가공물의 튀어오름을 억제할 수 있고, 자세도 교정할 수 있다. 또 본 실시 형태에서는, 피복판(114)의 선단 테두리에 상기 분출구(18b)를 설치하고 있으므로, 피가공물 및 상기 기류가 피복판(114)에 억제된 후에 분출구(18b)로부터 분출하는 기류에 의해 스무드하게 앞쪽으로 유도된다.

도 10은, 다른 제2 실시 형태의 제어부(C)의 동작을 예시하는 타이밍 차트이다. 이 제2 실시 형태에서는, 제1의 검출신호(PHS1)와 제2의 검출신호(PHS2)가 모두(또는 그것들 중 어느 한쪽이) ON에서 OFF가 되었을 때에 제어신호(SOL2)가 OFF에서 ON이 되는 점은 제1 실시 형태와 같다. 한편, 이 실시 형태가 상기 제1 실시 형태와는 다른 점은, 제어신호(SOL2)가 기간(t1) 후에 OFF로 복귀하지 않고, 제1의 검출신호(PHS1)가 OFF에서 ON이 되었을 때에 제어신호(SOL2)가 OFF로 복귀하는 점이다. 이것에 의해, 이 제2 실시 형태에서는, 상기 개구부(16a)로부터 흘러나오는 기류가 제1의 검출신호(PHS1)가 OFF에서 ON이 되기까지 계속해서 피가공물(P1)에 분무 되므로, 피가공물(P1)을 더욱 확실하게 최종적인 위치결정 위치까지 이송할 수 있다.

이상 설명한 각 실시 형태에서는, 위에서 설명한 효과에 더하여 피가공물 분리유닛에 진동을 부여할 필요가 없어지므로, 여러가지의 반송 장치에 광범위하게 적용할 수 있다. 또 무진동 상태가 되도록 설정할 수 있기 때문에, 흡인 보호유지의 리크(leak)가 적고, 확실히 피가공물을 보호유지하는 동시에, 센서 채터링(sensor chattering)이 적어지며, 반출 미스나 반출시의 피가공물 손상을 저하할 수 있고, 게다가 반동 등이 저하되어 위치결정 정밀도도 향상시킬 수 있다는 효과를 가진다. 더욱이, 피가공물의 공급속도를 저하하지 않기 때문에 최근의 고속반송에 적합한 피가공물 분리를 실행할 수 있다.

또한, 본 발명의 피가공물 분리유닛 및 진동식 반송장치는, 위에서 설명한 도시 예에만 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러 가지 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 본 실시 형태에서는 개구부(16a, 17a)는 피가공물 이송로(15a)의 바닥면에 개구하고, 피복면(114)의 튀어나온 부분은 피가공물 이송로(15a)를 위쪽에서 피복하고 있지만, 이것은 어디까지나 일 예에 지나지 않는다. 예를 들면, 개구부(16a, 17a)가 피가공물 이송로(15a)의 폭방향 한쪽의 경사진 내측면으로 개구되어 있고, 피복판에 해당하는 피복 부재가 다른 쪽에 역경사로 대향 배치되어 있어도 된다. 즉, 본 실시 형태의 상하 방향은 대향하는 방향의 일 예이고, 본 발명의 구성은 상호의 위치관계가 유지되는 한, 상하 방향에 한정되지 않는다.

예를 들면, 본 실시 형태에서는 상기 피가공물 분리 유닛(15)이 진동식 반송장치의 일부로서 구성되어 있는 경우를 설명하였지만, 진동식 반송장치에 한정되지 않고, 각종의 반송 장치에 적용할 수 있다. 또 상기 피가공물 분리유닛(15)은, 반송 장치에 지지 되지 않고, 독립하여 지지고정된 상태로 이용하여도 된다. 더욱이, 반송 장치의 일부로서가 아니고, 하류 측의 피가공물 처리장치, 또는 반출기구의 일부로서 구성되어 있어도 된다.

또 본 실시 형태에서, 상기 피가공물 분리유닛(15)은, 반송되어 온 피가공물을 최종적으로 종단면(15d)에 접촉하는 제2의 영역(15Y) 내의 위치에 위치 결정하는 기능이 있지만, 이 위치결정 기능을 가지지 않은 형태로 구성할 수도 있다. 즉, 피가공물 분리유닛(15)으로서는 피가공물을 피가공물 이송로(15a) 위에서 분리하는 기능만 있어도 된다. 예를 들면, 피가공물 이송로(15a)에 위치결정용 통기구멍(17) 및 종단면(15d)이 형성되지 않고, 제1의 영역(15X)에서 그대로 하류 측으로 피가공물이 이송된 후에 피가공물 도출구로부터 도출되거나, 회전 인덱서로 이송되도록 구성하여도 된다. 이 경우, 제1의 검출라인(L1)보다도 소정 거리만큼 하류 측에 제2의 검출라인(L2)이 설정되고, 선두의 피가공물이 제1의 검출라인(L1)에 도달한 시점에서 다음의 피가공물이 분리용 통기구멍(16)에 의해 제1의 영역(15X)에 흡인 보호유지되며, 선두의 피가공물이 제2의 검출라인(L2)에 도달한 시점에서 다음의 피가공물의 흡인 보호유지 상태가 해제되어 기류에 의해 하류 측에 이송되는 구성으로 할 수도 있다.

10…진동식 반송장치 11…반송체
11a…피가공물 반송로 11b…피가공물 도출구
12…진동 기구 15…피가공물 분리유닛
15a…피가공물 이송로 15b…피가공물 도입구
15X…제1의 영역 15Y…제2의 영역
16…분리용 통기구멍 16a…개구부
17…위치결정용 통기구멍 17a…개구부
18…대향 측 급기부 18a…통기로
18b…분출구 E1, E2…배기구조
A1, A2…급기구조 C…제어부
D…피가공물 반출 수단 S1…제1의 검출기
S2…제2의 검출기

Claims (11)

1. 한쪽 단부에 피가공물 도입구를 구비한 피가공물 이송로와,
   상기 피가공물 도입구 측의 제1의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비하는 동시에, 급기시에서 상기 제1의 영역에 대하여 상기 피가공물 도입구와는 반대 측에 있는 제2의 영역으로 향하여 상기 개구부로부터 흘러나오는 경사기류를 발생하도록 구성된 통기구조를 구비한 분리용 통기구멍과,
   상기 분리용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 분리용 배기수단과,
   상기 제2의 영역에서 피가공물을 검출하는 피가공물 검출수단과,
   상기분리용 통기구멍에 급기함으로써 상기 개구부에서 기류를 발생시키는 통기구멍 급기 수단과,
   상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 상기 통기구멍 급기 수단을 정지시키고, 또 상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 비검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 상기 통기구멍 급기 수단을 동작시키는 제어수단을,
   구비하는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리유닛.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과,
   상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단과,
   상기 피가공물 위치결정용 배기수단의 흡인력에 의해 상기 개구부에 위치결정된 피가공물을 검출하는 피가공물 위치결정 검출수단을 더 구비하고,
   상기 제어수단은, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 검출시에 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 정지시키고, 상기 피가공물 위치결정 검출수단에 의한 위치결정 비검출시에 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 동작시키는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리 유닛.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과,
   상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단을 더 구비하고,
   상기 통기구멍 급기 수단과, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단이 병행하여 동작하는 기간을 가지는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리 유닛.
   
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 위치결정용 통기구멍은 배기시에서 상기 제1의 영역 측으로부터 상기 개구부로 흘러들어가는 경사 기류를 발생시키는 통기 구조를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리 유닛.
   
5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 피가공물 이송로에 대하여 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 상기 제2의 영역으로 향하여 기류를 발생시키는 대향 측 급기 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리 유닛.
   
6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 피가공물 이송로는 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 배치되는 피복 부재에 의해 피복되는 것을 특징으로 하는 피가공물 분리 유닛.
   
7. 반송 단말부에 피가공물 도출구를 구비한 피가공물 반송로를 가지는 반송체와,
   상기 반송체를 진동시키는 진동 기구와,
   상기 피가공물 도출구와 극간을 통하여 배치되어 이루어지는 피가공물 분리유닛을 구비하고,
   상기 피가공물 분리 유닛은,
   상기 피가공물 도출구와 대향하는 피가공물 도입구를 구비한 피가공물 이송로와,
   상기 피가공물 이송로에서의 상기 피가공물 도입구 측의 제1의 영역에서 개구하는 개구부를 구비한 분리용 통기구멍과,
   상기 분리용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 분리용 배기수단과,
   상기 피가공물 이송로에서의 상기 제1의 영역보다도 상기 피가공물 도입구와는 반대 측에 있는 제2의 영역에서 피가공물 검출하는 피가공물 검출수단과,
   상기 제1의 영역에서 상기 제2의 영역을 향하여 기류를 발생시키는 피가공물 이송용 급기 수단과,
   상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 검출시에는 피가공물 분리용 배기수단을 동작시키는 동시에 피가공물 이송용 급기 수단을 정지시키고, 또 상기 피가공물 검출수단에 의한 피가공물 비검출시에는 상기 피가공물 분리용 배기수단을 정지시키는 동시에 상기 피가공물 이송용 급기 수단을 동작시키는 제어수단을,
   가지는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.
   
8. 제 7항에 있어서,
   상기 분리용 통기구멍은 급기시에서 상기 제2의 영역으로 향하여 상기 개구부로부터 흘러나오는 경사 기류를 발생하도록 구성된 통기 구조를 구비하고, 상기 피가공물 이송용 급기 수단은 상기 분리용 통기구멍에 급기함으로써 상기 개구부로부터 상기 경사 기류를 발생시키는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.
   
9. 제 7항에 있어서,
   상기 제2의 영역에서 상기 피가공물 이송로에 개구하는 개구부를 구비한 위치결정용 통기구멍과,
   상기 위치결정용 통기구멍을 배기함으로써 상기 개구부에서 피가공물에 대한 흡인력을 발생시키는 피가공물 위치결정용 배기수단과,
   상기 피가공물 위치결정용 배기수단의 흡인력에 의해 위치결정된 피가공물을 검출하는 피가공물 위치결정 검출수단을 더 구비하고,
   상기 제어수단은 상기 피가공물 위치검출수단에 의한 위치결정 검출시에는 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 정지시키고, 상기 피가공물 위치 검출수단에 의한 위치결정 비검출시에는 상기 피가공물 위치결정용 배기수단을 동작시키는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.
   
10. 제 9항에 있어서,
    상기 위치결정용 통기구멍은, 상기 피가공물 위치결정용 배기수단에 의한 통기구멍에 의한 배기시에 상기 제1의 영역 측으로부터 상기 개구부에 흘러들어가는 경사 기류를 발생시키는 통기 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.
    
11. 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피가공물 이송로에 대하여 상기 분리용 통기구멍의 개구부와 대향하는 측에 상기 제2의 영역으로 향하여 기류를 발생시키는 대향 측 급기 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.

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