JP2012056749A - ワーク分離ユニット及び振動式搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】安定かつ高速にワークを分離する。
【解決手段】給気時において第１の領域に対してワーク導入口１５ｂとは反対側にある第２の領域へ向けて開口部１６ａから流れ出る斜めの気流を生じるように構成された分離用通気穴１６と、分離用通気穴１６を排気することにより開口部１６ａにおいてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段Ｅ１と、第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、分離用通気穴１６に給気することにより開口部１６から流れ出る気流を生じさせる通気穴給気手段Ａ１と、ワーク検出手段によるワーク検出時にはワーク分離用排気手段Ｅ１を動作させるとともに通気穴給気手段Ａ１を停止させ、また、ワーク検出手段によるワーク非検出時にはワーク分離用排気手段Ａ１を停止させるとともに通気穴給気手段Ａ１を動作させる制御手段Ｃとを具備する。
【選択図】図６

Description

本発明はワーク分離ユニット及び振動式搬送装置に係り、特に、振動フィーダからワークを送り出すための移送部分として好適な構造に関する。

一般に、微細な電子部品等のワークをパーツフィーダにより下流側に設置されたワーク検査装置やワーク実装装置等の各種処理装置に供給する場合には、搬送されたワークを正確に下流側の各種処理装置に搬出するために種々の構成が用いられる。例えば、以下の特許文献１乃至３では、先頭のワークを後続のワークとは分離して特定の場所に位置決めし、この位置決めされたワークを回転インデクサやロボットハンド等により搬出している。

また、以下の特許文献１、２及び４では、先頭のワークを後続のワークから分離するために、後続のワークを真空吸引（吸着）して一時的に停止させその場所に保持したり、先頭のワークの移動速度を吸引手段により高めたり、後続のワークの移動速度を分離用回転ローラの回転速度を調整することにより低下させたりといった各種のワーク分離手段が用いられている。

特開平２−２６９７４４号公報 特開２００４−１４８２７８号公報 特開２０００−３０２２３０号公報 特開平６−２４６２３６号公報

しかしながら、振動式パーツフィーダ等の振動式搬送装置を用いる場合においては、上記の特定の場所を搬送路の搬送端末部にそのまま設けると、搬出されるべきワークは、上記の特定の場所において位置決めされたとしても搬送路と共に振動しているため、この振動により搬送手段との位置ずれが生じて搬出ミスや搬出位置のずれが発生する場合がある。また、搬送路が振動しているためにワークを位置決めする際にストッパ面に対するワークの跳ね返りが生じ、これによってワークが本来の停止位置からずれた位置に位置決めされてしまう場合もある。さらに、上記の特定の場所が振動しているため、搬出時にワークの底面が擦れて損傷を受ける虞もある。

一方、上記特許文献１の構成では、フィーダ４から複数のワークが連なって搬送されてきた場合には、チップ移乗制御部５上でチップ吸着口１４により次のワークを一時的に吸着して保持することで先頭のワークを分離するようにしているが、上記の一時的に保持された次のワークの背後からさらに後続のワークが搬送されてこない場合には、上記次のワークは一旦停止状態になっているため、吸気口３、７による吸気だけでは当該ワークをホイール１のチップ支持部２に迅速に移送することができなくなる。したがって、上記特定の場所へのワークの位置決めタイミングがフィーダ４によるワークの搬送状況によって大きく変動するとともに、一旦保持されたワークは吸引力のみで移送されるために移送の安定性が不十分であるとともに搬出動作の高速化が難しく、ワークの供給量が低下するという問題がある。

また、上記特許文献２の構成では、直進フィーダＦ２から複数のワークが連なって搬送されてきた場合には、後続のワークに押されることによりワーク分離用回転ローラＳＲ上で次のワークの移動速度を十分に低減できないことで先頭のワークの分離ができなくなることが考えられる。すなわち、後続のワークの搬送態様によりワークの分離が不十分になる虞がある。また、この構成でも、ワークは吸引力のみで移送されるために移送の安定性が不十分であるとともに搬送動作の高速化が難しく、ワークの供給量が低下するという問題がある。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ワークの搬送態様の如何に拘わらず、安定かつ高速にワークを分離することのできるワーク分離ユニット及びこれを備えた振動式搬送装置を提供することにある。

斯かる実情に鑑み、本発明のワーク分離ユニットは、一方の端部にワーク導入口を備えたワーク移送路と、前記ワーク導入口の側の第１の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えるとともに、給気時において前記第１の領域に対して前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備えた分離用通気穴と、前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、前記第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から流れ出る気流を生じさせる通気穴給気手段と、前記ワーク検出手段によるワーク検出時には前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記通気穴給気手段を停止させ、また、前記ワーク検出手段によるワーク非検出時には前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記通気穴給気手段を動作させる制御手段と、を具備することを特徴とする。

本発明によれば、第２の領域にワークが存在していないとき（ワーク非検出時）には、制御手段がワーク分離用排気手段を停止させるとともに通気穴給気手段を動作させるので、先頭のワークは第１の領域において吸引されずに、通気穴給気手段の気流により第２の領域に向けて移送される。一方、第２の領域に先行するワークが存在しているとき（ワーク検出時）には、制御手段がワーク分離用排気手段を動作させるとともに通気穴給気手段を停止させるので、次のワークは第１の領域において上記開口部により吸引されるため、先頭のワークと次のワークとが分離される。その後、先行するワークが第２の領域から搬出されるとワークが再び検出されなくなるので、ワーク分離用排気手段が停止するとともに通気穴給気手段が動作するため、次のワークに対する吸引力が消失するとともに分離用通気穴の開口部から気流が第２の領域に向けて斜めに流れ出ることで次のワークが移送方向に押し出される。

したがって、分離用通気穴に対してワーク分離用排気手段による排気を行うことでワークを吸引保持して分離できるとともに、分離用通気穴に対して通気穴給気手段による給気を行うことでワークに対する吸引力を解除するとともに気流によりワークを第２の領域へ向けて押し出すことができるため、搬送用の振動等を与えなくてもワークを移送することが可能になる。また、ワーク分離用排気手段と通気穴給気手段とが共通の分離用通気穴を排気及び給気を行うことにより、通気構造を簡易化できるとともに、分離用通気穴上に配置されているワークを確実に移送方向へ押し出すことができる。特に、第１の領域においてワーク分離用排気手段により分離用通気穴の開口部に吸引されたワークに対して、その吸引された同じ開口部から通気穴給気手段により確実に気流を作用させることができるため、さらに安定かつ確実に第２の領域へ向けてワークを移送することができる。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により前記開口部に位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め検出時に前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め非検出時に前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることが好ましい。これによれば、ワーク位置決め用排気手段により位置決め用通気穴を開口部においてワークを吸引することにより、ワークを第２の領域において位置決めすることが可能になる。ここで、ワークが位置決めされているとき（位置決め検出時）には制御手段がワーク位置決め用排気手段を停止させるため、当該位置決めされたワークのさらなる移動が別途設けられたワーク搬出手段等により可能になる。一方、ワークが位置決めされていないとき（位置決め非検出時）には制御手段がワーク位置決め用排気手段を動作させるため、第２の領域に進入してきたワークを位置決め可能な状態になる。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、をさらに具備し、前記通気穴給気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段とが並行して動作する期間を有することが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部から第２の領域へ向けて斜めに生じた気流が、第２の領域にある位置決め用通気穴の開口部からの排気作用によって吸引されるので、上記気流の方向がワークの移送方向に近くなるとともにワークに与える推進力を増強することができるため、ワークを安定かつ確実に第２の領域へ向けて移送することができる。

これらの場合において、前記位置決め用通気穴は排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えていることが好ましい。これによれば、位置決め用通気穴が吸引時において第１の領域の側から開口部へ流れ込む斜めの気流が生じる通気構造を有することにより、ワーク位置決め用排気手段による位置決め用通気穴を介した排気によって開口部へ斜めに流れ込む気流が通気穴給気手段により分離用通気穴の開口部から流れ出る気流と合流するので、気流の流れ方向が移送方向に近づくことでワークの移送状態をより安定させることができるとともに、気流が強くなるためにワークの移送速度を高めることが可能になる。

本発明において、前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに具備することが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部と対向する側から移送方向に気流を生じさせることにより、ワーク、及び、分離用通気穴の開口部から流れ出る気流を対向する側から抑止して、当該気流によってワークの移送方向や姿勢を安定させることができるとともに、全体として移送方向に向かう気流量を増大させることができるため、より確実かつ高速にワークを移送することができる。

本発明において、前記ワーク移送路は、前記分離用通気穴の開口部と対向する側に配置される被覆部材によって被覆されることが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部から流れ出す斜め対向側に向けた気流によってワークが斜め対向側へ押し出された場合、被覆部材によってワークの飛び上がりが抑止されるとともに、上記気流も被覆部材により移送方向に導かれるので、ワークをよりスムーズに前方へ移送することが可能になる。この場合において、被覆部材の先端部が上記開口部の対向側若しくは移送方向に向けて斜め対向側に配置されていることが望ましい。これによれば、ワークの移送先においてワーク移送路の対向側を開放することができるため、ワークの搬出などに支障をきたすことがなくなる。また、ワーク分離ユニットを振動式搬送装置の搬送体の搬送末端部に間隙を介して隣接させ、ワーク導入口を搬送末端部のワーク導出口に対向配置させる場合には、上記被覆部材を搬送体に固定することが考えられる。これによれば、被覆部材は搬送体とともに搬送方向に振動するので、ワークが被覆部材に対して開口部の側から当接した際に摩擦力によって被覆部材がワークを移送方向へ押し出す作用も期待できる。なお、被覆部材はワーク分離ユニットに固定してもよい。また、上記対向側給気手段による給気により気流を噴出する噴出口を被覆部材の先端縁に設けることが好ましい。

なお、上記のワーク分離ユニットは、前記ワーク導入口を種々のワーク搬送手段のワーク導出口に接続させた状態で用いることができる。ここで、ワーク搬送手段のワーク導出口とワーク分離ユニットのワーク導入口との接続態様は、物理的、機械的に接続（連結）されている場合に限らず、間隙（ワークの長さよりも狭い間隔）をワーク導出口とワーク導入口とが接触せずに対向配置される態様である場合も含む。特に、ワーク搬送手段が振動式搬送手段である場合には後者の態様が好ましい。しかしながら、本発明は、例えば、振動式搬送装置の搬送端末部にワーク分離ユニットが一体に構成される場合も含まれる。この場合には、ワーク搬送路の端末部にワーク移送路が一体に接続され、このワーク移送路として構成される部分の上流端（ワーク搬送路に接続される部分）がワーク導入口に相当することになる。上記ワーク搬送手段としては、後述する振動式搬送装置に限らず、ベルトコンベア、ローラコンベア等の種々の搬送装置に用いられる搬送機構を用いることができる。また、上記のワーク分離ユニットは、ワーク搬送手段に対して取り付けられることで搬送装置の一部として構成される場合が考えられるが、搬送装置とは独立して支持される場合、或いは、ワーク検査装置やワーク実装装置などといった、ワーク搬送手段の下流側に設置される各種のワーク処理装置に取り付けられる場合、さらにはこれらの処理装置等への搬出動作を行う搬出機構に取り付けられる場合も想定できる。

本発明の振動式搬送装置は、搬送端末部にワーク導出口を備えたワーク搬送路を有する搬送体と、この搬送体を振動させる加振機構と、前記ワーク導出口と間隙を介して配置されてなるワーク分離ユニットと、を具備し、前記ワーク分離ユニットは、前記ワーク導出口と対向するワーク導入口を備えたワーク移送路と、前記ワーク移送路における前記ワーク導入口の側の第１の領域において開口する開口部を備えた分離用通気穴と、前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、前記ワーク移送路における前記第１の領域よりも前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、前記第１の領域から前記第２の領域に向けて気流を生じさせるワーク移送用給気手段と、前記ワーク検出手段によるワーク検出時には前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記ワーク移送用給気手段を停止させ、また、前記ワーク検出手段によるワーク非検出時には前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記ワーク移送用給気手段を動作させる制御手段と、を有することを特徴とする。ここで、前記ワーク分離ユニットは、前記加振機構から振動を受けないように前記搬送体とは独立して支持されることが好ましい。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め検出時には前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め非検出時には前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることが好ましい。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、をさらに具備し、前記ワーク移送用給気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段とが並行して動作する期間を有することが好ましい。

本発明において、前記分離用通気穴は給気時において前記第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備え、前記ワーク移送用給気手段は前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から前記気流を生じさせる通気穴給気手段を含むことが好ましい。この場合において、前記ワーク移送用給気手段は、前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに含むことが望ましい。

本発明において、前記位置決め用通気穴は、前記ワーク位置決め用排気手段による排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えることが好ましい。

実施形態の振動式搬送装置の主要部の左側面図。 実施形態の振動式搬送装置の主要部の正面図。 実施形態の振動式搬送装置の主要部の右側面図。 実施形態の振動式搬送装置の斜視図。 実施形態の振動式搬送装置の搬送端末部を拡大して示す拡大平面図。 実施形態の振動式搬送装置の搬送端末部を拡大して示す拡大縦断面図。 実施形態のワーク分離ユニット及びワークの位置を示す説明図（ａ）及び（ｂ）。 実施形態の制御系の動作例を示すタイミングチャート。 実施形態のワーク分離ユニット及びワークの位置を示す説明図（ａ）及び（ｂ）。 実施形態の制御系の他の動作例を示すタイミングチャート。

次に、添付図面を参照して本発明のワーク分離ユニット及び振動式搬送装置の実施形態について詳細に説明する。図１は本実施形態の振動式搬送装置の主要部を示す左側面図、図２は同正面図、図３は同右側面図、図４は振動式搬送装置の斜視図である。

振動式搬送装置１０は、上方に配置された、直線状の凹溝よりなるワーク搬送路１１ａを備えた搬送体１１と、この搬送体１１の下方に配置され、搬送体１１に振動を与える加振機構１２とを有する。加振機構１２は支持台１０ａ上に固定され、この支持台１０ａは図４に示す取付台１０ｂに固定される。なお、取付台１０ｂは、搬送装置１０以外の他の搬送装置等も搭載可能な防振構造体を構成する支持盤１０ｃ及び設置盤１０ｄ上に固定されている。

搬送体１１は、上記加振機構１２に直接取り付けられた取付ブロック１１１と、この取付ブロック１１１に固定されるとともにワーク搬送路１１ａが形成されてなる搬送ブロック１１２と、この搬送ブロック１１２に対して所定の位置関係となるように、上記取付ブロック１１１又は搬送ブロック１１２に取り付けられた各種の付加部品（ワーク搬送路１１ａを覆う被覆板やワークの流れを制御するストッパ等の各種のワーク制御部品、光センサ等の各種の検出器、エア供給用や真空吸引用の通気路構成部品など）を備えている。

また、加振機構１２は、下端が支持ベース１０ａに連結された圧電駆動体１２ａと、この圧電駆動体１２ａの上端と上記搬送体１１（の取付ブロック１１１）との間に連結された駆動ばね１２ｂとを含む。圧電駆動体１２ａと駆動ばね１２ｂの直列接続構造は、搬送体１１の搬送方向Ｆに沿って互いに離間した前後位置にそれぞれ設けられ、前後の各位置において搬送体１１を支持している。また、図示例の場合、圧電駆動体１２ａと駆動ばね１２ｂはいずれも搬送方向Ｆへ向けて斜め上方に向いた板面を有する板状弾性体で構成される。なお、本実施形態では加振機構１２の振動発生源として圧電駆動体１２ａを用いているが、本発明では、振動発生源としては電磁駆動体（ソレノイド）を用いてもよいなど、特に限定されるものではない。図示例の場合、加振機構１２は搬送方向Ｆに沿った斜め上下方向に往復する振動を搬送体１１に与え、この振動によってワーク搬送路１１ａ上のワーク（図示せず）が搬送方向Ｆに移動する。

支持ベース１０ａには側板１２ｃと１２ｄが左右に取り付けられ、これらの側板１２ｃ及び１２ｄは上記加振機構１２の圧電駆動体１２ａ及び駆動ばね１２ｂを覆っている。側板１２ｃの上部には搬送方向Ｆに沿って上記ワーク搬送路１１ａの搬送端末部の側方に張り出した支持延長部１２ｅが設けられている。この支持延長部１２ｅはＬ字状の接続部材１３を介してワーク分離ユニット１５を支持している。これによって、ワーク分離ユニット１５は、加振機構１２による振動が与えられる搬送体１１とは独立して（分離した状態で）、加振機構１２による振動を受けない態様で支持固定される。なお、図示例の場合、側板１２ｃは、ワーク分離ユニット１５の支持剛性を確保するために、側板１２ｄよりも厚く構成される。

図５及び図６は、上記搬送体１１の搬送端末部及びこの搬送端末部に隣接して配置されたワーク分離ユニット１５を拡大して示す拡大平面図及び拡大縦断面図である。この搬送端末部には、上記搬送体１１に形成されたワーク搬送路１１ａの終端にワーク導出口１１ｂが形成されている。ワーク導出口１１ｂはワーク搬送路１１ａがワーク分離ユニット１５に向けて開口した部分である。

搬送端末部には、ワーク搬送路１１ａを上方から覆う被覆板１１３、１１４が配置され、この被覆板１１３、１１４によってワーク搬送路１１ａに沿ったワークの通過経路が閉鎖された断面形状を有するように構成される。このように搬送端末部におけるワークの通過経路を閉鎖された断面形状としたのは、ワークがワーク分離ユニット１５内において一時的に停止し、これによって後続の複数のワークが搬送体１１の搬送端末部において前方へ押し出されることにより相互に重なってしまうことを防止するためである。

図示例では、上記被覆板１１４の先端部はワーク分離ユニット１５のワーク導入口１５ｂを越えて張り出している。これによって、搬送体１１とワーク分離ユニット１５の間の境界部分でも、前後のワークの重なりが発生しないようにすることができる。より具体的には、ワーク分離ユニット１５のワーク移送路１５ａの後述する第１の領域（次のワークの待機位置）に配置されたワークと、このワークの後方（ワーク導出口１１ｂとワーク導入口１５ｂの間隙の近傍）に配置されたワークとが重なり合わないように、被覆板１１４は上記第１の領域にあるワークの上方にまで少なくとも部分的に張り出すように構成されている。また、被覆板１１４の張り出し部分は、上記第１の領域に保持されたワークが後述する分離用通気穴に対する給気（真空破壊）により斜め上方へ向けて押し出されたときに、ワークが上方へ飛び上がらないように抑える機能をも有している。

一方、ワーク分離ユニット１５には、上記ワーク導出口１１ｂに対して間隙を介して対向するワーク導入口１５ｂを備えた凹溝状のワーク移送路１５ａが形成されている。このワーク移送路１５ａは、ワーク搬送路１１ａの延長線上に沿って延在している。すなわち、図示例の場合には、ワーク搬送路１１ａによるワークの搬送方向Ｆと、ワーク移送路１５ａによるワークの移送方向Ｔとが一致している。ただし、本発明は、図示のように両方向ＦとＴが完全に一致する態様に限定されるものではない。また、ワーク移送路１５ａはワーク搬送路１１ａと基本的に同様の断面形状を備えた凹溝で構成される。ワーク移送路１５ａの上記ワーク導入口１５ｂにおいては、これと対向するワーク導出口１１ｂ側に向けて開くように斜めに形成された傾斜側面１５ｃ（図７及び図９参照）が幅方向両側に設けられている。また、ワーク移送路１５ａの上記ワーク導入口１５ｂとは反対側の端部は終端面１５ｄによって閉鎖されている。

ワーク分離ユニット１５は、上記接続部材１３上に固定されたスペーサ１５１と、このスペーサ１５１上に固定された正面視凹字状のホルダ１５２と、ホルダ１５２に取り付けられたベースブロック１５３と、このベースブロック１５３上に取り付けられた端末ブロック１５４及び付加ブロック１５５と、を有する。

上記ワーク移送路１５ａは、ベースブロック１５３及び端末ブロック１５４によって構成される。ベースブロック１５３はワーク搬送路１５ａのワーク導入口１５ｂの側の部分（以下、単に「導入部」という。）の凹溝構造及びワーク導入口１５ｂとは反対側の部分（以下、単に「端末部」という。）の底面及び幅方向の一方の内側面を構成し、端末ブロック１５４はワーク移送路１５ａの端末部の幅方向の他方の側面及び上記終端面１５ｄを構成する。

図５中には、本実施形態に対応するワークＰ１及びこのワークＰ１がワーク移送路１５ａ上に配置されている様子を示す拡大平面図及び拡大側面図を示してある。このワークＰ１は、図示点線で示すようにワーク下面上に幅方向中央に電極ＥＬが僅かに突出して形成されている。一方、ワーク移送路１５ａの底面（ベースブロック１５３により構成される。）には、ワーク移送路１５ａの幅よりも小さい（ワークＰ１の幅より小さい）幅の凹溝１５ｅが幅方向両側にそれぞれ間隔を有して設けられている。この凹溝１５ｅは、図５に示すワークＰ１の下面の電極ＥＬを収容可能な幅及び深さを有している。この凹溝１５ｅはワーク搬送路１５ａの全体にわたり形成されているので、移送方向Ｔに沿って段差を構成せず、これによってワークが途中で引っ掛かることがない。なお、開口部１６ａは凹溝１５ｅ内に開口している。

ワークＰ１がワーク移送路１５ａ上に配置されたときには、上記電極ＥＬが凹溝１５ｅ内に収容されるとともに、ワークにおける電極ＥＬの幅方向両側にある下面部分が凹溝１５ｅの幅方向両側にあるワーク移送路１５ａの底面部分に密接した状態となる。したがって、分離用通気穴１６の開口部１６ａにワークが吸着保持されたときに、ワーク下面に突出する電極ＥＬの厚みによって生ずるエア漏れを低減することができる。すなわち、エア漏れによってワークの保持力が不足し、後続のワークによって吸着保持されているワークが押し出されてしまうといったことを防止できる。

本実施形態では、ワーク移送路１５ａにおいて開口部１６ａによりワークが吸引保持されている場合に、ワーク搬送路１１ａ上から進んでくる後続のワークが上記の吸引保持されているワークに後方より衝突し、この衝突は振動により繰り返し生ずる。このため、ワークの吸引保持力が不足すると、ワークが前方へ押し出される虞がある。しかしながら、上記のように、凹溝１５ｅを設けることで後述する第１の領域におけるワークの吸引保持力を増大させることができるため、後続のワークに衝突されることによる吸引保持されたワークの位置ずれを防止できる。

端末ブロック１５４には端末部の周囲に低い表面を備えた平面視Ｌ字状の段差部１５４ａを備えている。この段差部１５４ａは後述するワーク搬出手段の干渉を回避するためのものである。なお、端末ブロック１５４の上記導入部の側面を構成する内側面の端部には、上記傾斜側面１５ｃと同様の構造及び目的で傾斜側面１５４ｃが形成されている。

ベースブロック１５３の上面にはワーク移送路１５ａの端末部から幅方向の一方側に伸びる検出溝１５３ａ、１５３ｂが形成されている。また、端末ブロック１５４の下面には端末部から幅方向の他方側に伸びる検出溝１５４ａ、１５４ｂが形成されている。検出溝１５３ａと１５４ａは後述する第１の検出器Ｓ１の検出ラインＬ１を構成する。また、検出溝１５３ｂと１５４ｂは後述する第２の検出器Ｓ２の検出ラインＬ２を構成する。

ワーク分離ユニット１５には、導入部の側に分離用通気穴１６が形成され、これよりも端末部の側に位置決め用通気穴１７が形成されている。ワーク移送路１５ａの底面には、導入部の側に分離用通気穴１６の開口部１６ａ（図示例では平面視で矩形状の開口）が形成され、端末部の側に位置決め用通気穴の開口部１７ａ（図示例では平面視で矩形状の開口）が形成されている。開口部１６ａと開口部１７ａは移送方向Ｔに沿って離間して形成されている。

分離用通気穴１６の末端部分は開口部１６ａに向けて端末部の側に向けて斜めに傾斜するように構成されている。これによって、分離用通気穴１６の通気構造は、この分離用通気穴１６への給気時における開口部１６ａから流れ出る気流の方向が端末部の側に向けて斜め上方になるように構成される。この末端部分の移送方向Ｔに対する傾斜角度は鋭角（９０度未満）であればよいが、上記気流の移送方向Ｔの成分を大きくして気流によるワークの推進力を高める上では４５度以下であることが好ましく、通気穴の形成を容易にするため、或いは、開口部１６ａの大きさの割に末端部分の通気断面積を過剰に小さく構成する必要をなくして通気抵抗を小さくするためには１５度以上であることが好ましい。

また、位置決め用通気穴１７の末端部分は開口部１７ａに向けて導入部の側に斜めに傾斜するように構成されている。これによって、位置決め用通気穴１７の通気構造は、この位置決め用通気穴１７の排気時における開口部１７ａに流れ込む気流の方向が導入部の側から斜め下方になるように構成される。この末端部分の移送方向Ｔに対する傾斜角度も鋭角（９０度未満）であればよいが、上記気流の移送方向Ｔの成分を大きくして気流によるワークの推進力を高める上では４５度以下であることが好ましく、通気穴の形成を容易にするため、或いは、開口部１６ａの大きさの割に末端部分の通気断面積を過剰に小さく構成する必要をなくして通気抵抗を小さくするためには１５度以上であることが好ましい。

なお、上記の分離用通気穴１６と位置決め用通気穴１７の通気構造は、いずれも特に上記の態様に限定されるものではなく、結果として、各通気穴を介して排気又は給気がなされた際に開口部１６ａ、１７ａの外側において移送方向Ｔに流速成分を有する斜めの気流が生ずるように構成されていればよい。例えば、上記各末端部分が傾斜しているのではなく、段差状に構成されていてもよい。

位置決め用通気穴１７の開口部１７ａは平面視で終端面１５ｄまで形成されていることが好ましい。また、開口部１７ａの移送方向Ｔに沿った開口範囲は、ワークの移送方向Ｔの長さの１／２以下１／５以上であることが好ましく、さらに１／３以下１／４以上であることが望ましい。これは、これより広い開口範囲を有する場合にはワークが終端面１５ｄに到達する前に停止する虞があり、これより狭い開口範囲を有する場合にはワークの位置決め力が不足して終端面１５ｄに当接した後に跳ね返されてしまう虞があるからである。

ワーク分離ユニット１５では、上記ワーク移送路１５ａの端末部に存在するワークＰ１を検出するワーク検出手段及びワーク位置決め検出手段がホルダ１５２に取り付けられた検出部１５７及び１５８に設けられる。ワーク検出手段は、ワークＰ１が分離用通気穴１６の開口部１６ａの形成されている領域（後述する第１の領域）から脱して、この領域よりも端末部の側の別の領域（後述する第２の領域）に入ったこと（又はそのタイミング）を検出するものである。具体的には、このワーク検出手段は、ワークＰ１の先端部が上記検査溝１５３ａ，１５４ａを通過する検出ラインＬ１を横切ったときに出力が変化する光センサ等よりなる第１の検出器Ｓ１で構成される。検出ラインＬ１は、上記終端面１５ｄよりもワーク導入口１５ｂの側に離間した位置であって、ワークＰ１が開口部１６ａによる吸引力による影響を実質的に受けなくなる範囲に到達したときのワークＰ１の先端部の位置に一致するように設定される。

また、ワーク位置決め検出手段は、ワークＰ１の先端部が終端面１５ｄに到達し、ワークＰ１が位置決め状態にあること（又はそのタイミング）を検出するものである。具体的には、ワーク位置決め検出手段は、ワークＰ１の先端部が上記検査溝１５３ｂ，１５４ｂを通過する検出ラインＬ２を横切ったときに出力が変化する光センサ等よりなる第２の検出器Ｓ２で構成される。検出ラインＬ２は、上記終端面１５ｄに隣接した位置、すなわち、終端面１５ｄに当接して位置決めされたときのワークＰ１の先端部の位置に設定される。

被覆板１１４には、ワーク移送路１５ａの上部に沿って移送方向Ｔに向けた（好ましくは水平方向の）気流を生じさせるための対向側給気部１８が設けられている。この対向側給気部１８は、被覆板１１４に設けられた移送方向Ｔ（水平方向）に伸びる通気路１８ａを有する。この通気路１８ａは、被覆板１１４の先端部（端縁部）に噴出口１８ｂを有するとともに被覆板１１４上に給気口１８ｃを備え、給気口１８ｃを図示しない給気装置に接続すると、噴出口１８ｂから気流を噴出させることができるようになっている。噴出口１８ｂはワーク移送路１５ａの上方に配置される。噴出口１８ｂは（より好ましくは通気路１８ａも）幅方向に扁平な形状であることが好ましく、特に、ワーク移送路１５ａの幅方向の全体の上方範囲にわたって開口していることが望ましい。

図示例の場合、被覆板１１３と１１４の対向縁部はワーク搬送路１１ａ及びワーク移送路１５ａに沿ってその上方に配置される。このことは、ワーク搬送路１１ａ及びワーク移送路１５ａのメンテナンスを容易にする。

図６に示すように、本実施形態では、上記分離用通気穴１６を排気することにより開口部１６ａにおいてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段を備えている。ワーク分離用排気手段は、分離用通気穴１６に接続された配管、開閉弁等の制御器、及び、排気装置を含む排気構造Ｅ１を有する。また、上記位置決め用通気穴１７を排気することにより開口部１７ａにおいてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段を備えている。ワーク位置決め用排気手段は、位置決め用通気穴１７に接続された配管、開閉弁等の制御器、及び、排気装置を含む排気構造Ｅ２を有する。ここで、排気構造Ｅ１とＥ２を各制御器よりも先にある配管及び排気装置が共有される構成としてもよい。

また、本実施形態では、ワーク移送路１５ａにおいて移送方向Ｔに向かう気流を生じさせるためのワーク移送用給気手段を備えている。このワーク移送用給気手段は、上記分離用通気穴１６に給気することにより開口部１６ａから流れ出る気流をワーク移送路１５ａ上に生じさせるための、配管、及び、開閉弁等の制御器を含む給気構造Ａ１によって構成される通気穴給気手段を含む。また、ワーク移送用給気手段は、上記対向側給気部１８を用いて通気路１８ａの噴出口１８ｂから気流を噴出させてワーク移送路１５ａの上部に沿って水平方向の気流を生じさせるための、配管、開閉弁等の制御器、及び、給気装置を含む給気構造Ａ２によって構成される対向側給気手段を含む。

ここで、給気構造Ａ１は排気構造Ｅ１によって減圧された分離用通気穴１６内を大気圧に戻すことで気流の慣性により結果として気流が生ずる真空破壊（減圧解除）手段である。また、給気構造Ａ２はエアコンプレッサ等の給気装置を用いて大気圧よりも高い圧力に加圧することで気流を生じさせる加圧気体供給手段である。

ただし、ワーク移送用給気手段は、上記給気構造Ａ１とＡ２の組み合わせに限定されるものではなく、上記給気構造Ａ１とＡ２のいずれか一方のみで構成されていてもよく、或いは、上記給気構造Ａ１を給気構造Ａ２と同様の加圧気体供給手段で構成したものであってもよい。

上記給気構造Ａ１は、ワークに対してワーク移送路１５ａの底面上の開口部１６ａより移送方向Ｔに沿って斜め上向きの気流を生じさせる。一方、上記給気構造Ａ２は、ワーク移送路１５ａの上部に沿って移送方向Ｔ（水平方向）に向けた気流を生じさせる。そして、給気構造Ａ１により生ずる気流が流れ出る分離用通気穴１６の開口部１６ａと、給気構造Ａ２により生ずる気流が噴出する噴出口１８ｂとは、ワーク移送路１５ａの両側に対向して配置されるため、ワークの上下両側（対向する両側）において気流を移送方向Ｔに向けて生じさせることができることから、ワークを安定した姿勢で確実にワーク移送路１５ａに沿って移送することができる。例えば、開口部１６ａからの気流だけを与えたときにワークが上方に舞い上がったり、噴出口１８ｂからの気流だけを与えたときにワークがワーク移送路１５ａの底面に張り付いて移動しなくなったりすることを防止できる。

上記給気構造Ａ１は、分離用通気穴１６の開口部１６ａから斜め上向きに流れ出る気流を生じさせるので、ワーク移送路１５ａの底面に開口した開口部１６ａ上に配置されているワークを確実に移送方向Ｔへ向けて押し出すことができるため、ワークの移送を確実に行うことができるという利点がある。特に、ワーク分離用排気手段である上記排気構造Ｅ１の排気によって吸引保持されていたワークに対してはより確実に移送方向Ｔへ押し出すことができる。

上記給気構造Ａ２は、ワーク移送路１５ａの上部（分離用通気穴１６の開口部１６ａと対向する側）において移送方向Ｔに沿って気流を生じさせるので、上記給気構造Ａ１により生じた斜め上方へ向かう気流を移送方向Ｔ（水平方向）へ導くとともに、当該気流によって斜め上方に押し上げられるワークを押さえながら移送方向Ｔ（水平方向）へ導くことができる。したがって、ワークの移送をより高速に行うことができるとともにワークの移送姿勢も安定させることができる。

図６に示すように、本実施形態では、上記位置決め用通気穴１７ａによる吸引作用で先端部が終端面１５ｄに当接した状態に位置決めされたワークＰ１を搬出するためのワーク搬出手段Ｄが用いられる。このワーク搬出手段Ｄとしては、例えば、下流側のワーク検査装置やワーク実装装置などといった各種のワーク処理装置の一部であるロボットハンド、ピックアンドプレースユニット、回転インデクサなどが挙げられる。図示例では二点鎖線でロボットハンドやピックアンドプレースユニットの一部（マニプレータ）を示してある。

図５に示す第１の検出器Ｓ１が出力する第１の検出信号ＰＨＳ１と第２の検出器Ｓ２が出力する第２の検出信号ＰＨＳ２は、図６に示す制御部Ｃに送出され、制御部Ｃは上記検出信号ＰＨＳ１、ＰＨＳ２に応じて、上記排気構造Ｅ１の制御器（例えば電磁弁、以下同様）に制御信号ＳＯＬ１を出力し、上記排気構造Ｅ２の制御器に制御信号ＳＯＬ４を出力し、上記給気構造Ａ１の制御器に制御信号ＳＯＬ２を出力し、上記給気構造Ａ２の制御器に制御信号ＳＯＬ３を出力する。また、制御部Ｃは、上記検出信号ＰＨＳ２に応じて、図示しない上記各種のワーク処理装置の制御部にワークの搬出タイミングを指示する制御信号ＰＵＰを出力する。

図７（ａ）及び（ｂ）並びに図９（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態におけるワーク分離ユニット１５内のワークの移動態様を順次にそれぞれ平面図の形で示す説明図である。また、図８は、第１実施形態の各部の信号を示すタイミングチャートである。なお、図７及び図９は模式図であり、ワーク移送路１５ａを構成する上記各ブロックの構成は省略して示してある。

図７に示すように、ワーク移送路１５ａ上には、ワーク導入口１５ｂの側に第１の領域１５Ｘが設定され、また、この第１の領域１５Ｘのワーク導入口１５ｂとは反対側に第２の領域１５Ｙが確保される。このとき、第１の領域１５Ｘ内には上記分離用通気穴１６ａが形成され、第２の領域１５Ｙ内には位置決め用通気穴１７ａが形成される。ここで、第２の領域１５Ｙは、少なくとも一つのワークを収容できる範囲より大きくされる。また、第１の領域１５Ｘは、少なくとも一つのワークを収容できる範囲とされることが好ましい。

また、第１の領域１５Ｘと第２の領域１５Ｙの境界位置は、図９（ａ）に示すようにワークＰ１の後端部が上記分離用通気穴１６ａよりも移送方向Ｔに移動し、ワークＰ１が分離用通気穴１６ａからの吸引作用による影響を受けない位置に来たときに、ワークＰ１の後端部が第１の領域１５Ｘから脱し、ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに入るように設定される。そして、この位置にあるときのワークＰ１の先端部がちょうど検出ラインＬ１に到達するようになっている。すなわち、ワークＰ１が第１の検出器Ｓ１にて検出される最初の位置は、ワークＰ１の後端部が第１の領域１５Ｘから脱し、ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに初めて入ったときの位置になる。

図７（ａ）に示すように、既にワーク移送路１５ａの終端面１５ｄに当接して停止し、位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介して上記排気構造Ｅ２により吸引されることで一旦位置決めされたワークＰ０（図示二点鎖線）があり、このワークＰ０に対する上記排気構造Ｅ２による吸引状態が解除された後に上記ワーク搬出手段Ｄにより搬出されたとする。このとき、ワーク移送路１５ａ上の第１の領域１５Ｘに次のワークＰ１が存在する場合には、ワークＰ１は分離用通気穴１６の開口部１６ａを介して上記排気構造Ｅ１により吸引され、停止している。また、ワーク搬送路１１ａ上には後続のワークＰ２、Ｐ３が配置されている。

ワークＰ０が搬出されると、図８に示すように、第１の検出信号ＰＨＳ１及び第２の検出信号ＰＨＳ２はいずれもＯＮからＯＦＦに変化（或いは、反転、以下同様。）し、これによって制御信号ＳＯＬ１はＯＮからＯＦＦに変化するとともに制御信号ＳＯＬ２はＯＦＦからＯＮに変化するので、分離用通気穴１６を介した上記排気構造Ｅ２の排気による開口部１６ａにおける吸引作用は停止し、また、上記給気構造Ａ１が動作して分離用通気穴１６の真空破壊が行われる。これによって、気流が開口部１６ａから移送方向Ｔに向けて斜め上方に流れ出るので、図７（ｂ）に示すように、ワークＰ１は移送方向Ｔに向けて斜め上方へ押し出される。

このとき、給気構造Ａ１は、動作開始から期間ｔ１だけ給気動作（真空破壊動作）を行った後に停止する。なお、上記期間ｔ１は、ワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達する時間より短く設定されるが、惰性や位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介した吸引作用によりワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１を通過して最終的に終端面１５ｄに到達するために充分な時間以上とされる。

上記のように早目に給気構造Ａ１の給気を停止することで、分離用通気穴１６を介した上記給気構造Ａ１による気流は上記排気構造Ｅ１による排気が開始される直前まで生じて給気から排気への切り替えが迅速に行われず、次のワークＰ２の吸引保持のタイミングが遅れるといったことを防止できるため、次のワークＰ２を確実に捕捉できる。

また、上記のように第１の検出信号ＰＨＳ１及び第２の検出信号ＰＨＳ２がいずれもが（いずれか一方でもよい。）ＯＮからＯＦＦに変化すると、制御信号ＳＯＬ４もＯＦＦからＯＮに変化し、上記排気構造Ｅ２による位置決め用通気穴１７の排気により開口部１７ａにおいて吸引が行われる。これにより、導入部の側から斜め下方に向けた気流が開口部１７ａに流れ込む。この気流は、吸引作用によりワークＰ１の移送を補助するとともに、上記給気構造Ａ１及びＡ２による気流を引き込む作用も生ずるので、全気流によるワークに対する推進力が増強されるとともに、その推進力を移送方向Ｔへ正確に向けることができるという効果をもたらす。

なお、制御信号ＳＯＬ３は基本的に常時ＯＮとされるため、上記給気構造Ａ２の動作により噴出口１８ｂから気流が常時移送方向Ｔに向けて噴出している。このようにすると、ワーク移送路１５ａの上部には常に気流が移送方向Ｔへまっすぐに（ワーク搬送路１５ａと平行に）流れるため、上記給気構造Ａ１によりワークが斜め上方へ押し出された時には迅速にワークの移送姿勢の安定化や気流による移送方向Ｔへのワークに対する推進力の増大を図ることができる。ただし、これによりワークが分離用通気穴１６の開口部１６ａにおいて吸引保持されている場合でも上記給気構造Ａ２は動作し噴出口１８ｂから気流が流れ出ることになる。しかし、当該ワークはワーク移送路１５ａの底面上に配置されるため、ワーク移送路１５ａの上部において生ずる上記気流による影響は小さいとともに、本実施形態では噴出口１８ｂが開口部１６ａ上のワーク上、若しくは当該ワークよりも端末部の側に配置されるので、当該ワークに上記気流が影響することはほとんどない。

ただし、制御信号ＳＯＬ３を常時ＯＮにするのではなく、図８に破線で示すように、例えば、第１の検出信号ＰＨＳ１又は第２の検出信号ＰＨＳ２がＯＮになったとき（図示例はＰＨＳ２がＯＮになったとき）に制御信号ＳＯＬ３をＯＮとし、所定の期間ｔ２後に停止してもよい。ここで、期間ｔ２は期間ｔ１の前後にわたるとともに、期間ｔ１より長い期間であることが好ましい。

その後、図９（ａ）に示すようにワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達する（ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに入る）と、図８に示すように、第１の検出器Ｓ１から出力される第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮに変化し、これによって制御部Ｃから送出される制御信号ＳＯＬ１がＯＦＦからＯＮに変化するので、上記排気構造Ｅ１が動作し、これによって第１の領域１５Ｘに入った次のワークＰ２が存在する場合には、当該ワークＰ２が開口部１６ａを介して上記排気構造Ｅ１により吸引作用を受ける。

その後、ワークＰ１は位置決め用通気穴１７を介して上記排気構造Ｅ２により開口部１７ａにおいて吸引され、図９（ｂ）に示すように、最終的にワークＰ１の先端部が終端面１５ｄに当接した状態で吸引力により位置決めされる。また、次のワークＰ２は分離用通気穴１６を介した上記排気構造Ｅ１の排気動作で開口部１６ａに生ずる吸引力により第１の領域１５Ｘに保持される。

このとき、ワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達した時点で分離用給気穴１６を介した上記排気構造Ｅ１の排気動作による吸引作用が開口部１６ａにおいて生じ、次のワークＰ２の移動を妨げるので、先頭のワークＰ１と次のワークＰ２との間には、検出ラインＬ１と終端面１５ｄとの距離に対応する所定の間隔が確保される。

先頭のワークＰ１の先端部が上述のように終端面１５ｄに到達すると、図８に示すように、第２の検出信号ＰＨＳ２はＯＦＦからＯＮに変化するので、制御部Ｃから出力される制御信号ＳＯＬ４はＯＮからＯＦＦに変化する。これによって、上記排気構造Ｅ２が停止し、位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介した吸引作用が停止する。

また、上述のように第２の検出信号ＰＨＳ２がＯＦＦからＯＮに変化すると、図示しないワーク処理装置の制御部に対して送出される制御信号ＰＵＰが図８に示すようにＯＦＦからＯＮに変化し、これによって上記ワーク処理装置のワーク搬出手段Ｄが動作して、ワークＰ１をワーク分離ユニット１５から搬出する。

本実施形態では、ワーク分離ユニット１５内において、上記給気構造Ａ１及びＡ２によって生ずる気流がワーク移送路１５ａにおいて移送方向Ｔに流れるため、ワーク分離ユニット１５を図示例のように搬送体１１から離間させるとともに加振機構１２による振動が実質的に伝達されないように支持した場合（ワーク分離ユニット１５に振動による搬送力を与えない場合）でも、ワークに移送方向Ｔに向けた推進力を与えることができる。

特に、本実施形態では、第２の領域１５Ｙに配置されたワークＰ０が存在する場合に次のワークＰ１をワークＰ０より離間させて保持するための分離用通気穴１６の開口部１６ａによる吸引状態を上記給気構造Ａ１によって解除（真空破壊）することによって上記気流が生ずるため、分離用通気穴１６をワーク分離用の保持作用と、ワークの移送作用とで共用することができるから、通気構造を簡易化できる。また、上記排気構造Ａ１による吸引作用で一旦開口部１６ａ上に保持したワークＰ１をそのまま同じ開口部１６ａから流れ出る気流によって移送するようにしているので、安定した状態で確実に移送することができるという利点がある。なお、この場合に、開口部１６ａから流れ出る気流量や流速を大きくするために、上記給気構造Ａ１を単なる真空破壊（減圧解除）手段として構成するのではなく、給気構造Ａ２と同様の加圧気体供給手段として構成してもよい。

また、本実施形態では、ワーク移送路１５ａを挟んで開口部１６ａと対向する側の噴出口１８ｂからワーク移送路１５ａの上部に沿って噴出する気流を上記給気構造Ａ２によって形成することにより、ワーク移送路１５ａの上部にエアカーテンが形成される。これによって、ワーク及び開口部１６ａから流れ出る気流をワーク移送路１５ａよりも上方に逸脱しないように閉じ込める作用が生じ、特にワークの搬送姿勢を安定させることができる。また、このようにワーク移送路１５ａ内に閉じ込められた気流は高速に移送方向Ｔに流れ、開口部１７ａから効率的に排出されるので、ワークの移送速度を大幅に高めることができる。

本実施形態の振動式搬送装置１０を実際に試作し、搬送方向Ｆに沿った長さ５．６５ｍｍ、厚み０．９ｍｍ、幅３．０ｍｍの図５に示すワークを搬送したところ、５００個／分程度の高速なワーク搬出が可能になることが確認された。このとき、この高速動作を高速度カメラで撮影した。これを低速で再生すると、ワークは開口部１６ａに吸引保持された状態から真空破壊が生じたときに開口部１６ａから流れ出る気流により瞬時にワーク移送路１５ａ上から斜め前方へ浮上し、後続のワークから離れて端末部の側へ高速に移動し、当初はやや上下にふらつきながら斜め上方に押し上げられるが、すぐに噴出口１８ｂから噴出する気流により姿勢が安定して移送方向Ｔへさらに加速しながら移送されることが判明した。

また、上記給気構造Ａ２を完全に停止させた場合でも開口部１６ａから流れ出る気流によりワークは確実に移送されることが確認された。ただし、給気構造Ａ２を用いない場合にはワーク搬出速度はやや低下した。ただし、この場合についても、従来方法に比べると格段に高い搬出速度が得られ、搬出ミスやワークの損傷も大幅に低減している。本実施形態では、開口部１６ａ上に吸着されていたワークが開口部１６ａから流れ出る気流によりワーク移送路１５ａの底面から浮上し、この浮上した状態で気流によりさらに移動するので、ワーク移送路１５ａの底面との間の摩擦等の影響もなく、瞬時に加速し高速で移動できるものと考えられる。

本実施形態において、ワーク移送路１５ａは、分離用通気穴１６の開口部１６ａの上方側に配置される（張り出す）被覆板１１４によって被覆される。このため、分離用通気穴１６の開口部１６ａから流れ出す斜め上方に向けた気流によってワークが斜め上方側へ押し出された場合、被覆板１１４によってワークの飛び上がりが抑止されるとともに姿勢が乱れても矯正され、上記気流も被覆板１１４により移送方向に導かれるので、ワークをより安定かつ確実に前方へ移送することが可能になる。

この場合において、被覆板の先端部が上記開口部の上方側若しくは移送方向に向けて斜め上方側に配置されているため、ワークの移送先においてワーク移送路１５ａの上方側を開放することができることから、ワークの搬出やメンテナンスに支障をきたすことがなくなる。また、本実施形態では、被覆板１１４を搬送体１１に固定し、被覆板１１４の先端部を搬送体１１上からワーク分離ユニット１５上へ張り出させているため、被覆板１１４は搬送体１１とともに搬送方向Ｆ（本実施形態では移送方向Ｔと一致する。）に振動する。したがって、ワークが被覆板１１４に対して開口部１６ａの側（下側）から当接した際に摩擦力によって被覆板１１４がワークを移送方向Ｔへ押し出す作用も期待できる。

なお、被覆板１１４はワーク分離ユニット１５に固定してもよい。この場合には、被覆板１１４は振動せず静止した状態になるので、上記の押し出す作用は期待できないが、確実にワークの飛び上がりを抑止でき、姿勢も矯正できる。また、本実施形態では、被覆板１１４の先端縁に上記噴出口１８ｂを設けているので、ワーク及び上記気流が被覆板１１４に抑止された後に噴出口１８ｂから噴出する気流によってスムーズに前方へと導かれる。

図１０は、異なる第２実施形態の制御部Ｃの動作を示すタイミングチャートである。この第２実施形態では、第１の検出信号ＰＨＳ１と第２の検出信号ＰＨＳ２が共に（或いはそれらのいずれか一方が）ＯＮからＯＦＦになったときに制御信号ＳＯＬ２がＯＦＦからＯＮになる点は第１実施形態と同様である。一方、この実施形態が上記第１実施形態とは異なる点は、制御信号ＳＯＬ２が期間ｔ１後にＯＦＦに復帰するのではなく、第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮになったときに制御信号ＳＯＬ２がＯＦＦに戻る点である。これにより、この第２実施形態では、上記開口部１６ａから流れ出る気流が第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮになるまで継続してワークＰ１に吹き付けられるので、ワークＰ１をより確実に最終的な位置決め位置まで移送することができる。

以上説明した各実施形態では、上述の効果に加えて、ワーク分離ユニットに振動を与える必要がなくなるので、種々の搬送装置に広く適用できる。また、無振動状態となるように設定できるため、吸引保持のリークが少なく、確実にワークを保持できるとともに、センサチャタリングが少なくなり、搬出ミスや搬出時のワーク損傷が低減でき、しかも、跳ね返り等が低減されて位置決め精度も向上できるという効果を奏する。さらに、ワークの供給速度を低下させないため、近年の高速搬送に適したワーク分離を行うことができる。

尚、本発明のワーク分離ユニット及び振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。本実施形態では開口部１６ａ、１７ａはワーク移送路１５ａの底面に開口し、被覆板１１４の張出部分はワーク移送路１５ａを上方から覆っているが、これはあくまでも一例にすぎない。例えば、開口部１６ａ、１７ａがワーク移送路１５ａの幅方向一方の傾斜した内側面に開口し、被覆板に相当する被覆部材が他方の側に逆傾斜で対向配置されていてもよい。すなわち、本実施形態の上下方向は対向する方向の一例であり、本発明の構成は相互の位置関係が保たれる限り、上下方向に限定されるものではない。

例えば、本実施形態では、上記ワーク分離ユニット１５が振動式搬送装置の一部として構成されている場合を説明したが、振動式搬送装置に限定されることなく、各種の搬送装置に適用することができる。また、上記ワーク分離ユニット１５は、搬送装置に支持されるのではなく、独立して支持固定された状態で用いられてもよい。さらに、搬送装置の一部としてではなく、下流側のワーク処理装置、或いは、搬出機構の一部として構成されていてもよい。

また、本実施形態において、上記ワーク分離ユニット１５は、搬送されてきたワークを最終的に終端面１５ｄに当接する第２の領域１５Ｙ内の位置に位置決めする機能を有しているが、この位置決め機能を有していない態様で構成することもできる。すなわち、ワーク分離ユニット１５としてはワークをワーク移送路１５ａ上で分離する機能さえ有していればよい。例えば、ワーク移送路１５ａに位置決め用通気穴１７及び終端面１５ｄが形成されずに、第１の領域１５Ｙからそのまま下流側にワークが移送された後にワーク導出口から導出されたり、回転インデクサに移載されたりするように構成してもよい。この場合、第１の検出ラインＬ１よりも所定距離だけ下流側に第２の検出ラインＬ２が設定され、先頭のワークが第１の検出ラインＬ１に到達した時点で次のワークが分離用通気穴１６により第１の領域１５Ｘに吸引保持され、先頭のワークが第２の検出ラインＬ２に到達した時点で次のワークの吸引保持状態が解除されて気流により下流側に移送されるといった構成にすることができる。

１０…振動式搬送装置、１１…搬送体、１１ａ…ワーク搬送路、１１ｂ…ワーク導出口、１２…加振機構、１５…ワーク分離ユニット、１５ａ…ワーク移送路、１５ｂ…ワーク導入口、１５Ｘ…第１の領域、１５Ｙ…第２の領域、１６…分離用通気穴、１６ａ…開口部、１７…位置決め用通気穴、１７ａ…開口部、１８…対向側給気部、１８ａ…通気路、１８ｂ…噴出口、Ｅ１、Ｅ２…排気構造、Ａ１、Ａ２…給気構造、Ｃ…制御部、Ｄ…ワーク搬出手段、Ｓ１…第１の検出器、Ｓ２…第２の検出器

本発明はワーク分離ユニット及び振動式搬送装置に係り、特に、振動フィーダからワークを送り出すための移送部分として好適な構造に関する。

一般に、微細な電子部品等のワークをパーツフィーダにより下流側に設置されたワーク検査装置やワーク実装装置等の各種処理装置に供給する場合には、搬送されたワークを正確に下流側の各種処理装置に搬出するために種々の構成が用いられる。例えば、以下の特許文献１乃至３では、先頭のワークを後続のワークとは分離して特定の場所に位置決めし、この位置決めされたワークを回転インデクサやロボットハンド等により搬出している。

また、以下の特許文献１、２及び４では、先頭のワークを後続のワークから分離するために、後続のワークを真空吸引（吸着）して一時的に停止させその場所に保持したり、先頭のワークの移動速度を吸引手段により高めたり、後続のワークの移動速度を分離用回転ローラの回転速度を調整することにより低下させたりといった各種のワーク分離手段が用いられている。

特開平２−２６９７４４号公報 特開２００４−１４８２７８号公報 特開２０００−３０２２３０号公報 特開平６−２４６２３６号公報

しかしながら、振動式パーツフィーダ等の振動式搬送装置を用いる場合においては、上記の特定の場所を搬送路の搬送端末部にそのまま設けると、搬出されるべきワークは、上記の特定の場所において位置決めされたとしても搬送路と共に振動しているため、この振動により搬送手段との位置ずれが生じて搬出ミスや搬出位置のずれが発生する場合がある。また、搬送路が振動しているためにワークを位置決めする際にストッパ面に対するワークの跳ね返りが生じ、これによってワークが本来の停止位置からずれた位置に位置決めされてしまう場合もある。さらに、上記の特定の場所が振動しているため、搬出時にワークの底面が擦れて損傷を受ける虞もある。

一方、上記特許文献１の構成では、フィーダ４から複数のワークが連なって搬送されてきた場合には、チップ移乗制御部５上でチップ吸着口１４により次のワークを一時的に吸着して保持することで先頭のワークを分離するようにしているが、上記の一時的に保持された次のワークの背後からさらに後続のワークが搬送されてこない場合には、上記次のワークは一旦停止状態になっているため、吸気口３、７による吸気だけでは当該ワークをホイール１のチップ支持部２に迅速に移送することができなくなる。したがって、上記特定の場所へのワークの位置決めタイミングがフィーダ４によるワークの搬送状況によって大きく変動するとともに、一旦保持されたワークは吸引力のみで移送されるために移送の安定性が不十分であるとともに搬出動作の高速化が難しく、ワークの供給量が低下するという問題がある。

また、上記特許文献２の構成では、直進フィーダＦ２から複数のワークが連なって搬送されてきた場合には、後続のワークに押されることによりワーク分離用回転ローラＳＲ上で次のワークの移動速度を十分に低減できないことで先頭のワークの分離ができなくなることが考えられる。すなわち、後続のワークの搬送態様によりワークの分離が不十分になる虞がある。また、この構成でも、ワークは吸引力のみで移送されるために移送の安定性が不十分であるとともに搬送動作の高速化が難しく、ワークの供給量が低下するという問題がある。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ワークの搬送態様の如何に拘わらず、安定かつ高速にワークを分離することのできるワーク分離ユニット及びこれを備えた振動式搬送装置を提供することにある。

斯かる実情に鑑み、本発明のワーク分離ユニットは、一方の端部にワーク導入口を備えたワーク移送路と、前記ワーク導入口の側の第１の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えるとともに、給気時において前記第１の領域に対して前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備えた分離用通気穴と、前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、前記第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から流れ出る気流を生じさせる通気穴給気手段と、前記ワーク検出手段によりワークが検出されると、前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記通気穴給気手段を停止させることで、次のワークが前記第１の領域において前記分離用通気穴の開口部上で吸引保持され、前記ワーク検出手段により検出されたワークと前記次のワークとの間の間隔が確保されるようにし、また、前記ワーク検出手段によりワークが検出されなくなると、前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記通気穴給気手段を動作させることで、前記開口部上に保持されていたワークが前記分離用通気穴から流出する前記斜めの気流により前記第２の領域へ向けて押し出されるようにする制御手段と、を具備することを特徴とする。

本発明によれば、第２の領域にワークが存在しなくなると、制御手段がワーク分離用排気手段を停止させるとともに通気穴給気手段を動作させるので、先頭のワークは第１の領域において吸引されずに、通気穴給気手段の気流により第２の領域に向けて移送される。一方、第２の領域に先行するワークが検出されると、制御手段がワーク分離用排気手段を動作させるとともに通気穴給気手段を停止させるので、次のワークは第１の領域において上記開口部により吸引されるため、先頭のワークと次のワークとの間の間隔が確保される。その後、先行するワークが第２の領域から搬出されるとワークが再び検出されなくなるので、ワーク分離用排気手段が停止するとともに通気穴給気手段が動作するため、次のワークに対する吸引力が消失するとともに分離用通気穴の開口部から気流が第２の領域に向けて斜めに流れ出ることで次のワークが移送方向に押し出される。

したがって、分離用通気穴に対してワーク分離用排気手段による排気を行うことでワークを吸引保持して分離できるとともに、分離用通気穴に対して通気穴給気手段による給気を行うことでワークに対する吸引力を解除するとともに気流によりワークを第２の領域へ向けて押し出すことができるため、搬送用の振動等を与えなくてもワークを移送することが可能になる。また、ワーク分離用排気手段と通気穴給気手段とが共通の分離用通気穴を排気及び給気を行うことにより、通気構造を簡易化できるとともに、分離用通気穴上に配置されているワークを確実に移送方向へ押し出すことができる。特に、第１の領域においてワーク分離用排気手段により分離用通気穴の開口部に吸引されたワークに対して、その吸引された同じ開口部から通気穴給気手段により確実に気流を作用させることができるため、さらに安定かつ確実に第２の領域へ向けてワークを移送することができる。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により前記開口部に位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段により位置決めされたワークが検出されると前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段により位置決めされたワークが検出されなくなると前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることが好ましい。これによれば、ワーク位置決め用排気手段により位置決め用通気穴の開口部においてワークを吸引することにより、ワークを第２の領域において位置決めすることが可能になる。ここで、ワークが位置決めされると制御手段がワーク位置決め用排気手段を停止させるため、当該位置決めされたワークのさらなる移動が別途設けられたワーク搬出手段等により可能になる。一方、位置決めされたワークが検出されなくなると制御手段がワーク位置決め用排気手段を動作させるため、第２の領域に進入してきたワークを位置決め可能な状態になる。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、をさらに具備し、前記通気穴給気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段とが並行して動作する期間を有することが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部から第２の領域へ向けて斜めに生じた気流が、第２の領域にある位置決め用通気穴の開口部からの排気作用によって吸引されるので、上記気流の方向がワークの移送方向に近くなるとともにワークに与える推進力を増強することができるため、ワークを安定かつ確実に第２の領域へ向けて移送することができる。

これらの場合において、前記位置決め用通気穴は排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えていることが好ましい。これによれば、位置決め用通気穴が吸引時において第１の領域の側から開口部へ流れ込む斜めの気流が生じる通気構造を有することにより、ワーク位置決め用排気手段による位置決め用通気穴を介した排気によって開口部へ斜めに流れ込む気流が通気穴給気手段により分離用通気穴の開口部から流れ出る気流と合流するので、気流の流れ方向が移送方向に近づくことでワークの移送状態をより安定させることができるとともに、気流が強くなるためにワークの移送速度を高めることが可能になる。

本発明において、前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに具備することが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部と対向する側から移送方向に気流を生じさせることにより、ワーク、及び、分離用通気穴の開口部から流れ出る気流を対向する側から抑止して、当該気流によってワークの移送方向や姿勢を安定させることができるとともに、全体として移送方向に向かう気流量を増大させることができるため、より確実かつ高速にワークを移送することができる。

本発明において、前記ワーク移送路は、前記分離用通気穴の開口部と対向する側に配置される被覆部材によって被覆されることが好ましい。これによれば、分離用通気穴の開口部から流れ出す斜め対向側に向けた気流によってワークが斜め対向側へ押し出された場合、被覆部材によってワークの飛び上がりが抑止されるとともに、上記気流も被覆部材により移送方向に導かれるので、ワークをよりスムーズに前方へ移送することが可能になる。この場合において、被覆部材の先端部が上記開口部の対向側若しくは移送方向に向けて斜め対向側に配置されていることが望ましい。これによれば、ワークの移送先においてワーク移送路の対向側を開放することができるため、ワークの搬出などに支障をきたすことがなくなる。また、ワーク分離ユニットを振動式搬送装置の搬送体の搬送末端部に間隙を介して隣接させ、ワーク導入口を搬送末端部のワーク導出口に対向配置させる場合には、上記被覆部材を搬送体に固定することが考えられる。これによれば、被覆部材は搬送体とともに搬送方向に振動するので、ワークが被覆部材に対して開口部の側から当接した際に摩擦力によって被覆部材がワークを移送方向へ押し出す作用も期待できる。なお、被覆部材はワーク分離ユニットに固定してもよい。また、上記対向側給気手段による給気により気流を噴出する噴出口を被覆部材の先端縁に設けることが好ましい。

なお、上記のワーク分離ユニットは、前記ワーク導入口を種々のワーク搬送手段のワーク導出口に接続させた状態で用いることができる。ここで、ワーク搬送手段のワーク導出口とワーク分離ユニットのワーク導入口との接続態様は、物理的、機械的に接続（連結）されている場合に限らず、間隙（ワークの長さよりも狭い間隔）をワーク導出口とワーク導入口とが接触せずに対向配置される態様である場合も含む。特に、ワーク搬送手段が振動式搬送手段である場合には後者の態様が好ましい。しかしながら、本発明は、例えば、振動式搬送装置の搬送端末部にワーク分離ユニットが一体に構成される場合も含まれる。この場合には、ワーク搬送路の端末部にワーク移送路が一体に接続され、このワーク移送路として構成される部分の上流端（ワーク搬送路に接続される部分）がワーク導入口に相当することになる。上記ワーク搬送手段としては、後述する振動式搬送装置に限らず、ベルトコンベア、ローラコンベア等の種々の搬送装置に用いられる搬送機構を用いることができる。また、上記のワーク分離ユニットは、ワーク搬送手段に対して取り付けられることで搬送装置の一部として構成される場合が考えられるが、搬送装置とは独立して支持される場合、或いは、ワーク検査装置やワーク実装装置などといった、ワーク搬送手段の下流側に設置される各種のワーク処理装置に取り付けられる場合、さらにはこれらの処理装置等への搬出動作を行う搬出機構に取り付けられる場合も想定できる。

本発明の振動式搬送装置は、搬送端末部にワーク導出口を備えたワーク搬送路を有する搬送体と、この搬送体を振動させる加振機構と、前記ワーク導出口と間隙を介して配置されてなるワーク分離ユニットと、を具備し、前記ワーク分離ユニットは、前記ワーク導出口と対向するワーク導入口を備えたワーク移送路と、前記ワーク移送路における前記ワーク導入口の側の第１の領域において開口する開口部を備えるとともに、給気時において前記第１の領域に対して前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備えた分離用通気穴と、前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、前記第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から気流を生じさせる通気穴給気手段と、前記ワーク検出手段によりワークが検出されると、前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記通気穴給気手段を停止させることで、次のワークが前記第１の領域において前記分離用通気穴の開口部上で吸引保持され、前記ワーク検出手段により検出されたワークと前記次のワークとの間の間隔が確保されるようにし、また、前記ワーク検出手段によりワークが検出されなくなると、前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記通気穴給気手段を動作させることで、前記開口部上に保持されていたワークが前記気流により前記第２の領域へ向けて押し出されるようにする制御手段と、を有することを特徴とする。ここで、前記ワーク分離ユニットは、前記加振機構から振動を受けないように前記搬送体とは独立して支持されることが好ましい。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段により位置決めされたワークが検出されると前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段により位置決めされたワークが検出されなくなると前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることが好ましい。

本発明において、前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、をさらに具備し、前記通気穴給気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段とが並行して動作する期間を有することが好ましい。

本発明において、前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに含むことが望ましい。

本発明において、前記位置決め用通気穴は、前記ワーク位置決め用排気手段による排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えることが好ましい。

実施形態の振動式搬送装置の主要部の左側面図。 実施形態の振動式搬送装置の主要部の正面図。 実施形態の振動式搬送装置の主要部の右側面図。 実施形態の振動式搬送装置の斜視図。 実施形態の振動式搬送装置の搬送端末部を拡大して示す拡大平面図。 実施形態の振動式搬送装置の搬送端末部を拡大して示す拡大縦断面図。 実施形態のワーク分離ユニット及びワークの位置を示す説明図（ａ）及び（ｂ）。 実施形態の制御系の動作例を示すタイミングチャート。 実施形態のワーク分離ユニット及びワークの位置を示す説明図（ａ）及び（ｂ）。 実施形態の制御系の他の動作例を示すタイミングチャート。

次に、添付図面を参照して本発明のワーク分離ユニット及び振動式搬送装置の実施形態について詳細に説明する。図１は本実施形態の振動式搬送装置の主要部を示す左側面図、図２は同正面図、図３は同右側面図、図４は振動式搬送装置の斜視図である。

振動式搬送装置１０は、上方に配置された、直線状の凹溝よりなるワーク搬送路１１ａを備えた搬送体１１と、この搬送体１１の下方に配置され、搬送体１１に振動を与える加振機構１２とを有する。加振機構１２は支持台１０ａ上に固定され、この支持台１０ａは図４に示す取付台１０ｂに固定される。なお、取付台１０ｂは、搬送装置１０以外の他の搬送装置等も搭載可能な防振構造体を構成する支持盤１０ｃ及び設置盤１０ｄ上に固定されている。

搬送体１１は、上記加振機構１２に直接取り付けられた取付ブロック１１１と、この取付ブロック１１１に固定されるとともにワーク搬送路１１ａが形成されてなる搬送ブロック１１２と、この搬送ブロック１１２に対して所定の位置関係となるように、上記取付ブロック１１１又は搬送ブロック１１２に取り付けられた各種の付加部品（ワーク搬送路１１ａを覆う被覆板やワークの流れを制御するストッパ等の各種のワーク制御部品、光センサ等の各種の検出器、エア供給用や真空吸引用の通気路構成部品など）を備えている。

また、加振機構１２は、下端が支持ベース１０ａに連結された圧電駆動体１２ａと、この圧電駆動体１２ａの上端と上記搬送体１１（の取付ブロック１１１）との間に連結された駆動ばね１２ｂとを含む。圧電駆動体１２ａと駆動ばね１２ｂの直列接続構造は、搬送体１１の搬送方向Ｆに沿って互いに離間した前後位置にそれぞれ設けられ、前後の各位置において搬送体１１を支持している。また、図示例の場合、圧電駆動体１２ａと駆動ばね１２ｂはいずれも搬送方向Ｆへ向けて斜め上方に向いた板面を有する板状弾性体で構成される。なお、本実施形態では加振機構１２の振動発生源として圧電駆動体１２ａを用いているが、本発明では、振動発生源としては電磁駆動体（ソレノイド）を用いてもよいなど、特に限定されるものではない。図示例の場合、加振機構１２は搬送方向Ｆに沿った斜め上下方向に往復する振動を搬送体１１に与え、この振動によってワーク搬送路１１ａ上のワーク（図示せず）が搬送方向Ｆに移動する。

支持ベース１０ａには側板１２ｃと１２ｄが左右に取り付けられ、これらの側板１２ｃ及び１２ｄは上記加振機構１２の圧電駆動体１２ａ及び駆動ばね１２ｂを覆っている。側板１２ｃの上部には搬送方向Ｆに沿って上記ワーク搬送路１１ａの搬送端末部の側方に張り出した支持延長部１２ｅが設けられている。この支持延長部１２ｅはＬ字状の接続部材１３を介してワーク分離ユニット１５を支持している。これによって、ワーク分離ユニット１５は、加振機構１２による振動が与えられる搬送体１１とは独立して（分離した状態で）、加振機構１２による振動を受けない態様で支持固定される。なお、図示例の場合、側板１２ｃは、ワーク分離ユニット１５の支持剛性を確保するために、側板１２ｄよりも厚く構成される。

図５及び図６は、上記搬送体１１の搬送端末部及びこの搬送端末部に隣接して配置されたワーク分離ユニット１５を拡大して示す拡大平面図及び拡大縦断面図である。この搬送端末部には、上記搬送体１１に形成されたワーク搬送路１１ａの終端にワーク導出口１１ｂが形成されている。ワーク導出口１１ｂはワーク搬送路１１ａがワーク分離ユニット１５に向けて開口した部分である。

搬送端末部には、ワーク搬送路１１ａを上方から覆う被覆板１１３、１１４が配置され、この被覆板１１３、１１４によってワーク搬送路１１ａに沿ったワークの通過経路が閉鎖された断面形状を有するように構成される。このように搬送端末部におけるワークの通過経路を閉鎖された断面形状としたのは、ワークがワーク分離ユニット１５内において一時的に停止し、これによって後続の複数のワークが搬送体１１の搬送端末部において前方へ押し出されることにより相互に重なってしまうことを防止するためである。

図示例では、上記被覆板１１４の先端部はワーク分離ユニット１５のワーク導入口１５ｂを越えて張り出している。これによって、搬送体１１とワーク分離ユニット１５の間の境界部分でも、前後のワークの重なりが発生しないようにすることができる。より具体的には、ワーク分離ユニット１５のワーク移送路１５ａの後述する第１の領域（次のワークの待機位置）に配置されたワークと、このワークの後方（ワーク導出口１１ｂとワーク導入口１５ｂの間隙の近傍）に配置されたワークとが重なり合わないように、被覆板１１４は上記第１の領域にあるワークの上方にまで少なくとも部分的に張り出すように構成されている。また、被覆板１１４の張り出し部分は、上記第１の領域に保持されたワークが後述する分離用通気穴に対する給気（真空破壊）により斜め上方へ向けて押し出されたときに、ワークが上方へ飛び上がらないように抑える機能をも有している。

一方、ワーク分離ユニット１５には、上記ワーク導出口１１ｂに対して間隙を介して対向するワーク導入口１５ｂを備えた凹溝状のワーク移送路１５ａが形成されている。このワーク移送路１５ａは、ワーク搬送路１１ａの延長線上に沿って延在している。すなわち、図示例の場合には、ワーク搬送路１１ａによるワークの搬送方向Ｆと、ワーク移送路１５ａによるワークの移送方向Ｔとが一致している。ただし、本発明は、図示のように両方向ＦとＴが完全に一致する態様に限定されるものではない。また、ワーク移送路１５ａはワーク搬送路１１ａと基本的に同様の断面形状を備えた凹溝で構成される。ワーク移送路１５ａの上記ワーク導入口１５ｂにおいては、これと対向するワーク導出口１１ｂ側に向けて開くように斜めに形成された傾斜側面１５ｃ（図７及び図９参照）が幅方向両側に設けられている。また、ワーク移送路１５ａの上記ワーク導入口１５ｂとは反対側の端部は終端面１５ｄによって閉鎖されている。

ワーク分離ユニット１５は、上記接続部材１３上に固定されたスペーサ１５１と、このスペーサ１５１上に固定された正面視凹字状のホルダ１５２と、ホルダ１５２に取り付けられたベースブロック１５３と、このベースブロック１５３上に取り付けられた端末ブロック１５４及び付加ブロック１５５と、を有する。

上記ワーク移送路１５ａは、ベースブロック１５３及び端末ブロック１５４によって構成される。ベースブロック１５３はワーク搬送路１５ａのワーク導入口１５ｂの側の部分（以下、単に「導入部」という。）の凹溝構造及びワーク導入口１５ｂとは反対側の部分（以下、単に「端末部」という。）の底面及び幅方向の一方の内側面を構成し、端末ブロック１５４はワーク移送路１５ａの端末部の幅方向の他方の側面及び上記終端面１５ｄを構成する。

図５中には、本実施形態に対応するワークＰ１及びこのワークＰ１がワーク移送路１５ａ上に配置されている様子を示す拡大平面図及び拡大側面図を示してある。このワークＰ１は、図示点線で示すようにワーク下面上に幅方向中央に電極ＥＬが僅かに突出して形成されている。一方、ワーク移送路１５ａの底面（ベースブロック１５３により構成される。）には、ワーク移送路１５ａの幅よりも小さい（ワークＰ１の幅より小さい）幅の凹溝１５ｅが幅方向両側にそれぞれ間隔を有して設けられている。この凹溝１５ｅは、図５に示すワークＰ１の下面の電極ＥＬを収容可能な幅及び深さを有している。この凹溝１５ｅはワーク搬送路１５ａの全体にわたり形成されているので、移送方向Ｔに沿って段差を構成せず、これによってワークが途中で引っ掛かることがない。なお、開口部１６ａは凹溝１５ｅ内に開口している。

ワークＰ１がワーク移送路１５ａ上に配置されたときには、上記電極ＥＬが凹溝１５ｅ内に収容されるとともに、ワークにおける電極ＥＬの幅方向両側にある下面部分が凹溝１５ｅの幅方向両側にあるワーク移送路１５ａの底面部分に密接した状態となる。したがって、分離用通気穴１６の開口部１６ａにワークが吸着保持されたときに、ワーク下面に突出する電極ＥＬの厚みによって生ずるエア漏れを低減することができる。すなわち、エア漏れによってワークの保持力が不足し、後続のワークによって吸着保持されているワークが押し出されてしまうといったことを防止できる。

本実施形態では、ワーク移送路１５ａにおいて開口部１６ａによりワークが吸引保持されている場合に、ワーク搬送路１１ａ上から進んでくる後続のワークが上記の吸引保持されているワークに後方より衝突し、この衝突は振動により繰り返し生ずる。このため、ワークの吸引保持力が不足すると、ワークが前方へ押し出される虞がある。しかしながら、上記のように、凹溝１５ｅを設けることで後述する第１の領域におけるワークの吸引保持力を増大させることができるため、後続のワークに衝突されることによる吸引保持されたワークの位置ずれを防止できる。

端末ブロック１５４には端末部の周囲に低い表面を備えた平面視Ｌ字状の段差部１５４ａを備えている。この段差部１５４ａは後述するワーク搬出手段の干渉を回避するためのものである。なお、端末ブロック１５４の上記導入部の側面を構成する内側面の端部には、上記傾斜側面１５ｃと同様の構造及び目的で傾斜側面１５４ｃが形成されている。

ベースブロック１５３の上面にはワーク移送路１５ａの端末部から幅方向の一方側に伸びる検出溝１５３ａ、１５３ｂが形成されている。また、端末ブロック１５４の下面には端末部から幅方向の他方側に伸びる検出溝１５４ａ、１５４ｂが形成されている。検出溝１５３ａと１５４ａは後述する第１の検出器Ｓ１の検出ラインＬ１を構成する。また、検出溝１５３ｂと１５４ｂは後述する第２の検出器Ｓ２の検出ラインＬ２を構成する。

ワーク分離ユニット１５には、導入部の側に分離用通気穴１６が形成され、これよりも端末部の側に位置決め用通気穴１７が形成されている。ワーク移送路１５ａの底面には、導入部の側に分離用通気穴１６の開口部１６ａ（図示例では平面視で矩形状の開口）が形成され、端末部の側に位置決め用通気穴の開口部１７ａ（図示例では平面視で矩形状の開口）が形成されている。開口部１６ａと開口部１７ａは移送方向Ｔに沿って離間して形成されている。

分離用通気穴１６の末端部分は開口部１６ａに向けて端末部の側に向けて斜めに傾斜するように構成されている。これによって、分離用通気穴１６の通気構造は、この分離用通気穴１６への給気時における開口部１６ａから流れ出る気流の方向が端末部の側に向けて斜め上方になるように構成される。この末端部分の移送方向Ｔに対する傾斜角度は鋭角（９０度未満）であればよいが、上記気流の移送方向Ｔの成分を大きくして気流によるワークの推進力を高める上では４５度以下であることが好ましく、通気穴の形成を容易にするため、或いは、開口部１６ａの大きさの割に末端部分の通気断面積を過剰に小さく構成する必要をなくして通気抵抗を小さくするためには１５度以上であることが好ましい。

また、位置決め用通気穴１７の末端部分は開口部１７ａに向けて導入部の側に斜めに傾斜するように構成されている。これによって、位置決め用通気穴１７の通気構造は、この位置決め用通気穴１７の排気時における開口部１７ａに流れ込む気流の方向が導入部の側から斜め下方になるように構成される。この末端部分の移送方向Ｔに対する傾斜角度も鋭角（９０度未満）であればよいが、上記気流の移送方向Ｔの成分を大きくして気流によるワークの推進力を高める上では４５度以下であることが好ましく、通気穴の形成を容易にするため、或いは、開口部１６ａの大きさの割に末端部分の通気断面積を過剰に小さく構成する必要をなくして通気抵抗を小さくするためには１５度以上であることが好ましい。

なお、上記の分離用通気穴１６と位置決め用通気穴１７の通気構造は、いずれも特に上記の態様に限定されるものではなく、結果として、各通気穴を介して排気又は給気がなされた際に開口部１６ａ、１７ａの外側において移送方向Ｔに流速成分を有する斜めの気流が生ずるように構成されていればよい。例えば、上記各末端部分が傾斜しているのではなく、段差状に構成されていてもよい。

位置決め用通気穴１７の開口部１７ａは平面視で終端面１５ｄまで形成されていることが好ましい。また、開口部１７ａの移送方向Ｔに沿った開口範囲は、ワークの移送方向Ｔの長さの１／２以下１／５以上であることが好ましく、さらに１／３以下１／４以上であることが望ましい。これは、これより広い開口範囲を有する場合にはワークが終端面１５ｄに到達する前に停止する虞があり、これより狭い開口範囲を有する場合にはワークの位置決め力が不足して終端面１５ｄに当接した後に跳ね返されてしまう虞があるからである。

ワーク分離ユニット１５では、上記ワーク移送路１５ａの端末部に存在するワークＰ１を検出するワーク検出手段及びワーク位置決め検出手段がホルダ１５２に取り付けられた検出部１５７及び１５８に設けられる。ワーク検出手段は、ワークＰ１が分離用通気穴１６の開口部１６ａの形成されている領域（後述する第１の領域）から脱して、この領域よりも端末部の側の別の領域（後述する第２の領域）に入ったこと（又はそのタイミング）を検出するものである。具体的には、このワーク検出手段は、ワークＰ１の先端部が上記検査溝１５３ａ，１５４ａを通過する検出ラインＬ１を横切ったときに出力が変化する光センサ等よりなる第１の検出器Ｓ１で構成される。検出ラインＬ１は、上記終端面１５ｄよりもワーク導入口１５ｂの側に離間した位置であって、ワークＰ１が開口部１６ａによる吸引力による影響を実質的に受けなくなる範囲に到達したときのワークＰ１の先端部の位置に一致するように設定される。

また、ワーク位置決め検出手段は、ワークＰ１の先端部が終端面１５ｄに到達し、ワークＰ１が位置決め状態にあること（又はそのタイミング）を検出するものである。具体的には、ワーク位置決め検出手段は、ワークＰ１の先端部が上記検査溝１５３ｂ，１５４ｂを通過する検出ラインＬ２を横切ったときに出力が変化する光センサ等よりなる第２の検出器Ｓ２で構成される。検出ラインＬ２は、上記終端面１５ｄに隣接した位置、すなわち、終端面１５ｄに当接して位置決めされたときのワークＰ１の先端部の位置に設定される。

被覆板１１４には、ワーク移送路１５ａの上部に沿って移送方向Ｔに向けた（好ましくは水平方向の）気流を生じさせるための対向側給気部１８が設けられている。この対向側給気部１８は、被覆板１１４に設けられた移送方向Ｔ（水平方向）に伸びる通気路１８ａを有する。この通気路１８ａは、被覆板１１４の先端部（端縁部）に噴出口１８ｂを有するとともに被覆板１１４上に給気口１８ｃを備え、給気口１８ｃを図示しない給気装置に接続すると、噴出口１８ｂから気流を噴出させることができるようになっている。噴出口１８ｂはワーク移送路１５ａの上方に配置される。噴出口１８ｂは（より好ましくは通気路１８ａも）幅方向に扁平な形状であることが好ましく、特に、ワーク移送路１５ａの幅方向の全体の上方範囲にわたって開口していることが望ましい。

図示例の場合、被覆板１１３と１１４の対向縁部はワーク搬送路１１ａ及びワーク移送路１５ａに沿ってその上方に配置される。このことは、ワーク搬送路１１ａ及びワーク移送路１５ａのメンテナンスを容易にする。

図６に示すように、本実施形態では、上記分離用通気穴１６を排気することにより開口部１６ａにおいてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段を備えている。ワーク分離用排気手段は、分離用通気穴１６に接続された配管、開閉弁等の制御器、及び、排気装置を含む排気構造Ｅ１を有する。また、上記位置決め用通気穴１７を排気することにより開口部１７ａにおいてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段を備えている。ワーク位置決め用排気手段は、位置決め用通気穴１７に接続された配管、開閉弁等の制御器、及び、排気装置を含む排気構造Ｅ２を有する。ここで、排気構造Ｅ１とＥ２を各制御器よりも先にある配管及び排気装置が共有される構成としてもよい。

また、本実施形態では、ワーク移送路１５ａにおいて移送方向Ｔに向かう気流を生じさせるためのワーク移送用給気手段を備えている。このワーク移送用給気手段は、上記分離用通気穴１６に給気することにより開口部１６ａから流れ出る気流をワーク移送路１５ａ上に生じさせるための、配管、及び、開閉弁等の制御器を含む給気構造Ａ１によって構成される通気穴給気手段を含む。また、ワーク移送用給気手段は、上記対向側給気部１８を用いて通気路１８ａの噴出口１８ｂから気流を噴出させてワーク移送路１５ａの上部に沿って水平方向の気流を生じさせるための、配管、開閉弁等の制御器、及び、給気装置を含む給気構造Ａ２によって構成される対向側給気手段を含む。

ここで、給気構造Ａ１は排気構造Ｅ１によって減圧された分離用通気穴１６内を大気圧に戻すことで気流の慣性により結果として気流が生ずる真空破壊（減圧解除）手段である。また、給気構造Ａ２はエアコンプレッサ等の給気装置を用いて大気圧よりも高い圧力に加圧することで気流を生じさせる加圧気体供給手段である。

ただし、ワーク移送用給気手段は、上記給気構造Ａ１とＡ２の組み合わせに限定されるものではなく、上記給気構造Ａ１とＡ２のいずれか一方のみで構成されていてもよく、或いは、上記給気構造Ａ１を給気構造Ａ２と同様の加圧気体供給手段で構成したものであってもよい。

上記給気構造Ａ１は、ワークに対してワーク移送路１５ａの底面上の開口部１６ａより移送方向Ｔに沿って斜め上向きの気流を生じさせる。一方、上記給気構造Ａ２は、ワーク移送路１５ａの上部に沿って移送方向Ｔ（水平方向）に向けた気流を生じさせる。そして、給気構造Ａ１により生ずる気流が流れ出る分離用通気穴１６の開口部１６ａと、給気構造Ａ２により生ずる気流が噴出する噴出口１８ｂとは、ワーク移送路１５ａの両側に対向して配置されるため、ワークの上下両側（対向する両側）において気流を移送方向Ｔに向けて生じさせることができることから、ワークを安定した姿勢で確実にワーク移送路１５ａに沿って移送することができる。例えば、開口部１６ａからの気流だけを与えたときにワークが上方に舞い上がったり、噴出口１８ｂからの気流だけを与えたときにワークがワーク移送路１５ａの底面に張り付いて移動しなくなったりすることを防止できる。

上記給気構造Ａ１は、分離用通気穴１６の開口部１６ａから斜め上向きに流れ出る気流を生じさせるので、ワーク移送路１５ａの底面に開口した開口部１６ａ上に配置されているワークを確実に移送方向Ｔへ向けて押し出すことができるため、ワークの移送を確実に行うことができるという利点がある。特に、ワーク分離用排気手段である上記排気構造Ｅ１の排気によって吸引保持されていたワークに対してはより確実に移送方向Ｔへ押し出すことができる。

上記給気構造Ａ２は、ワーク移送路１５ａの上部（分離用通気穴１６の開口部１６ａと対向する側）において移送方向Ｔに沿って気流を生じさせるので、上記給気構造Ａ１により生じた斜め上方へ向かう気流を移送方向Ｔ（水平方向）へ導くとともに、当該気流によって斜め上方に押し上げられるワークを押さえながら移送方向Ｔ（水平方向）へ導くことができる。したがって、ワークの移送をより高速に行うことができるとともにワークの移送姿勢も安定させることができる。

図６に示すように、本実施形態では、上記位置決め用通気穴１７ａによる吸引作用で先端部が終端面１５ｄに当接した状態に位置決めされたワークＰ１を搬出するためのワーク搬出手段Ｄが用いられる。このワーク搬出手段Ｄとしては、例えば、下流側のワーク検査装置やワーク実装装置などといった各種のワーク処理装置の一部であるロボットハンド、ピックアンドプレースユニット、回転インデクサなどが挙げられる。図示例では二点鎖線でロボットハンドやピックアンドプレースユニットの一部（マニプレータ）を示してある。

図５に示す第１の検出器Ｓ１が出力する第１の検出信号ＰＨＳ１と第２の検出器Ｓ２が出力する第２の検出信号ＰＨＳ２は、図６に示す制御部Ｃに送出され、制御部Ｃは上記検出信号ＰＨＳ１、ＰＨＳ２に応じて、上記排気構造Ｅ１の制御器（例えば電磁弁、以下同様）に制御信号ＳＯＬ１を出力し、上記排気構造Ｅ２の制御器に制御信号ＳＯＬ４を出力し、上記給気構造Ａ１の制御器に制御信号ＳＯＬ２を出力し、上記給気構造Ａ２の制御器に制御信号ＳＯＬ３を出力する。また、制御部Ｃは、上記検出信号ＰＨＳ２に応じて、図示しない上記各種のワーク処理装置の制御部にワークの搬出タイミングを指示する制御信号ＰＵＰを出力する。

図７（ａ）及び（ｂ）並びに図９（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態におけるワーク分離ユニット１５内のワークの移動態様を順次にそれぞれ平面図の形で示す説明図である。また、図８は、第１実施形態の各部の信号を示すタイミングチャートである。なお、図７及び図９は模式図であり、ワーク移送路１５ａを構成する上記各ブロックの構成は省略して示してある。

図７に示すように、ワーク移送路１５ａ上には、ワーク導入口１５ｂの側に第１の領域１５Ｘが設定され、また、この第１の領域１５Ｘのワーク導入口１５ｂとは反対側に第２の領域１５Ｙが確保される。このとき、第１の領域１５Ｘ内には上記分離用通気穴１６ａが形成され、第２の領域１５Ｙ内には位置決め用通気穴１７ａが形成される。ここで、第２の領域１５Ｙは、少なくとも一つのワークを収容できる範囲より大きくされる。また、第１の領域１５Ｘは、少なくとも一つのワークを収容できる範囲とされることが好ましい。

また、第１の領域１５Ｘと第２の領域１５Ｙの境界位置は、図９（ａ）に示すようにワークＰ１の後端部が上記分離用通気穴１６ａよりも移送方向Ｔに移動し、ワークＰ１が分離用通気穴１６ａからの吸引作用による影響を受けない位置に来たときに、ワークＰ１の後端部が第１の領域１５Ｘから脱し、ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに入るように設定される。そして、この位置にあるときのワークＰ１の先端部がちょうど検出ラインＬ１に到達するようになっている。すなわち、ワークＰ１が第１の検出器Ｓ１にて検出される最初の位置は、ワークＰ１の後端部が第１の領域１５Ｘから脱し、ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに初めて入ったときの位置になる。

図７（ａ）に示すように、既にワーク移送路１５ａの終端面１５ｄに当接して停止し、位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介して上記排気構造Ｅ２により吸引されることで一旦位置決めされたワークＰ０（図示二点鎖線）があり、このワークＰ０に対する上記排気構造Ｅ２による吸引状態が解除された後に上記ワーク搬出手段Ｄにより搬出されたとする。このとき、ワーク移送路１５ａ上の第１の領域１５Ｘに次のワークＰ１が存在する場合には、ワークＰ１は分離用通気穴１６の開口部１６ａを介して上記排気構造Ｅ１により吸引され、停止している。また、ワーク搬送路１１ａ上には後続のワークＰ２、Ｐ３が配置されている。

ワークＰ０が搬出されると、図８に示すように、第１の検出信号ＰＨＳ１及び第２の検出信号ＰＨＳ２はいずれもＯＮからＯＦＦに変化（或いは、反転、以下同様。）し、これによって制御信号ＳＯＬ１はＯＮからＯＦＦに変化するとともに制御信号ＳＯＬ２はＯＦＦからＯＮに変化するので、分離用通気穴１６を介した上記排気構造Ｅ２の排気による開口部１６ａにおける吸引作用は停止し、また、上記給気構造Ａ１が動作して分離用通気穴１６の真空破壊が行われる。これによって、気流が開口部１６ａから移送方向Ｔに向けて斜め上方に流れ出るので、図７（ｂ）に示すように、ワークＰ１は移送方向Ｔに向けて斜め上方へ押し出される。

このとき、給気構造Ａ１は、動作開始から期間ｔ１だけ給気動作（真空破壊動作）を行った後に停止する。なお、上記期間ｔ１は、ワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達する時間より短く設定されるが、惰性や位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介した吸引作用によりワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１を通過して最終的に終端面１５ｄに到達するために充分な時間以上とされる。

上記のように早目に給気構造Ａ１の給気を停止することで、分離用通気穴１６を介した上記給気構造Ａ１による気流は上記排気構造Ｅ１による排気が開始される直前まで生じて給気から排気への切り替えが迅速に行われず、次のワークＰ２の吸引保持のタイミングが遅れるといったことを防止できるため、次のワークＰ２を確実に捕捉できる。

また、上記のように第１の検出信号ＰＨＳ１及び第２の検出信号ＰＨＳ２がいずれもが（いずれか一方でもよい。）ＯＮからＯＦＦに変化すると、制御信号ＳＯＬ４もＯＦＦからＯＮに変化し、上記排気構造Ｅ２による位置決め用通気穴１７の排気により開口部１７ａにおいて吸引が行われる。これにより、導入部の側から斜め下方に向けた気流が開口部１７ａに流れ込む。この気流は、吸引作用によりワークＰ１の移送を補助するとともに、上記給気構造Ａ１及びＡ２による気流を引き込む作用も生ずるので、全気流によるワークに対する推進力が増強されるとともに、その推進力を移送方向Ｔへ正確に向けることができるという効果をもたらす。

なお、制御信号ＳＯＬ３は基本的に常時ＯＮとされるため、上記給気構造Ａ２の動作により噴出口１８ｂから気流が常時移送方向Ｔに向けて噴出している。このようにすると、ワーク移送路１５ａの上部には常に気流が移送方向Ｔへまっすぐに（ワーク搬送路１５ａと平行に）流れるため、上記給気構造Ａ１によりワークが斜め上方へ押し出された時には迅速にワークの移送姿勢の安定化や気流による移送方向Ｔへのワークに対する推進力の増大を図ることができる。ただし、これによりワークが分離用通気穴１６の開口部１６ａにおいて吸引保持されている場合でも上記給気構造Ａ２は動作し噴出口１８ｂから気流が流れ出ることになる。しかし、当該ワークはワーク移送路１５ａの底面上に配置されるため、ワーク移送路１５ａの上部において生ずる上記気流による影響は小さいとともに、本実施形態では噴出口１８ｂが開口部１６ａ上のワーク上、若しくは当該ワークよりも端末部の側に配置されるので、当該ワークに上記気流が影響することはほとんどない。

ただし、制御信号ＳＯＬ３を常時ＯＮにするのではなく、図８に破線で示すように、例えば、第１の検出信号ＰＨＳ１又は第２の検出信号ＰＨＳ２がＯＮになったとき（図示例はＰＨＳ２がＯＮになったとき）に制御信号ＳＯＬ３をＯＮとし、所定の期間ｔ２後に停止してもよい。ここで、期間ｔ２は期間ｔ１の前後にわたるとともに、期間ｔ１より長い期間であることが好ましい。

その後、図９（ａ）に示すようにワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達する（ワークＰ１の全体が第２の領域１５Ｙに入る）と、図８に示すように、第１の検出器Ｓ１から出力される第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮに変化し、これによって制御部Ｃから送出される制御信号ＳＯＬ１がＯＦＦからＯＮに変化するので、上記排気構造Ｅ１が動作し、これによって第１の領域１５Ｘに入った次のワークＰ２が存在する場合には、当該ワークＰ２が開口部１６ａを介して上記排気構造Ｅ１により吸引作用を受ける。

その後、ワークＰ１は位置決め用通気穴１７を介して上記排気構造Ｅ２により開口部１７ａにおいて吸引され、図９（ｂ）に示すように、最終的にワークＰ１の先端部が終端面１５ｄに当接した状態で吸引力により位置決めされる。また、次のワークＰ２は分離用通気穴１６を介した上記排気構造Ｅ１の排気動作で開口部１６ａに生ずる吸引力により第１の領域１５Ｘに保持される。

このとき、ワークＰ１の先端部が検出ラインＬ１に到達した時点で分離用給気穴１６を介した上記排気構造Ｅ１の排気動作による吸引作用が開口部１６ａにおいて生じ、次のワークＰ２の移動を妨げるので、先頭のワークＰ１と次のワークＰ２との間には、検出ラインＬ１と終端面１５ｄとの距離に対応する所定の間隔が確保される。

先頭のワークＰ１の先端部が上述のように終端面１５ｄに到達すると、図８に示すように、第２の検出信号ＰＨＳ２はＯＦＦからＯＮに変化するので、制御部Ｃから出力される制御信号ＳＯＬ４はＯＮからＯＦＦに変化する。これによって、上記排気構造Ｅ２が停止し、位置決め用通気穴１７の開口部１７ａを介した吸引作用が停止する。

また、上述のように第２の検出信号ＰＨＳ２がＯＦＦからＯＮに変化すると、図示しないワーク処理装置の制御部に対して送出される制御信号ＰＵＰが図８に示すようにＯＦＦからＯＮに変化し、これによって上記ワーク処理装置のワーク搬出手段Ｄが動作して、ワークＰ１をワーク分離ユニット１５から搬出する。

本実施形態では、ワーク分離ユニット１５内において、上記給気構造Ａ１及びＡ２によって生ずる気流がワーク移送路１５ａにおいて移送方向Ｔに流れるため、ワーク分離ユニット１５を図示例のように搬送体１１から離間させるとともに加振機構１２による振動が実質的に伝達されないように支持した場合（ワーク分離ユニット１５に振動による搬送力を与えない場合）でも、ワークに移送方向Ｔに向けた推進力を与えることができる。

特に、本実施形態では、第２の領域１５Ｙに配置されたワークＰ０が存在する場合に次のワークＰ１をワークＰ０より離間させて保持するための分離用通気穴１６の開口部１６ａによる吸引状態を上記給気構造Ａ１によって解除（真空破壊）することによって上記気流が生ずるため、分離用通気穴１６をワーク分離用の保持作用と、ワークの移送作用とで共用することができるから、通気構造を簡易化できる。また、上記排気構造Ａ１による吸引作用で一旦開口部１６ａ上に保持したワークＰ１をそのまま同じ開口部１６ａから流れ出る気流によって移送するようにしているので、安定した状態で確実に移送することができるという利点がある。なお、この場合に、開口部１６ａから流れ出る気流量や流速を大きくするために、上記給気構造Ａ１を単なる真空破壊（減圧解除）手段として構成するのではなく、給気構造Ａ２と同様の加圧気体供給手段として構成してもよい。

また、本実施形態では、ワーク移送路１５ａを挟んで開口部１６ａと対向する側の噴出口１８ｂからワーク移送路１５ａの上部に沿って噴出する気流を上記給気構造Ａ２によって形成することにより、ワーク移送路１５ａの上部にエアカーテンが形成される。これによって、ワーク及び開口部１６ａから流れ出る気流をワーク移送路１５ａよりも上方に逸脱しないように閉じ込める作用が生じ、特にワークの搬送姿勢を安定させることができる。また、このようにワーク移送路１５ａ内に閉じ込められた気流は高速に移送方向Ｔに流れ、開口部１７ａから効率的に排出されるので、ワークの移送速度を大幅に高めることができる。

本実施形態の振動式搬送装置１０を実際に試作し、搬送方向Ｆに沿った長さ５．６５ｍｍ、厚み０．９ｍｍ、幅３．０ｍｍの図５に示すワークを搬送したところ、５００個／分程度の高速なワーク搬出が可能になることが確認された。このとき、この高速動作を高速度カメラで撮影した。これを低速で再生すると、ワークは開口部１６ａに吸引保持された状態から真空破壊が生じたときに開口部１６ａから流れ出る気流により瞬時にワーク移送路１５ａ上から斜め前方へ浮上し、後続のワークから離れて端末部の側へ高速に移動し、当初はやや上下にふらつきながら斜め上方に押し上げられるが、すぐに噴出口１８ｂから噴出する気流により姿勢が安定して移送方向Ｔへさらに加速しながら移送されることが判明した。

また、上記給気構造Ａ２を完全に停止させた場合でも開口部１６ａから流れ出る気流によりワークは確実に移送されることが確認された。ただし、給気構造Ａ２を用いない場合にはワーク搬出速度はやや低下した。ただし、この場合についても、従来方法に比べると格段に高い搬出速度が得られ、搬出ミスやワークの損傷も大幅に低減している。本実施形態では、開口部１６ａ上に吸着されていたワークが開口部１６ａから流れ出る気流によりワーク移送路１５ａの底面から浮上し、この浮上した状態で気流によりさらに移動するので、ワーク移送路１５ａの底面との間の摩擦等の影響もなく、瞬時に加速し高速で移動できるものと考えられる。

本実施形態において、ワーク移送路１５ａは、分離用通気穴１６の開口部１６ａの上方側に配置される（張り出す）被覆板１１４によって被覆される。このため、分離用通気穴１６の開口部１６ａから流れ出す斜め上方に向けた気流によってワークが斜め上方側へ押し出された場合、被覆板１１４によってワークの飛び上がりが抑止されるとともに姿勢が乱れても矯正され、上記気流も被覆板１１４により移送方向に導かれるので、ワークをより安定かつ確実に前方へ移送することが可能になる。

この場合において、被覆板の先端部が上記開口部の上方側若しくは移送方向に向けて斜め上方側に配置されているため、ワークの移送先においてワーク移送路１５ａの上方側を開放することができることから、ワークの搬出やメンテナンスに支障をきたすことがなくなる。また、本実施形態では、被覆板１１４を搬送体１１に固定し、被覆板１１４の先端部を搬送体１１上からワーク分離ユニット１５上へ張り出させているため、被覆板１１４は搬送体１１とともに搬送方向Ｆ（本実施形態では移送方向Ｔと一致する。）に振動する。したがって、ワークが被覆板１１４に対して開口部１６ａの側（下側）から当接した際に摩擦力によって被覆板１１４がワークを移送方向Ｔへ押し出す作用も期待できる。

なお、被覆板１１４はワーク分離ユニット１５に固定してもよい。この場合には、被覆板１１４は振動せず静止した状態になるので、上記の押し出す作用は期待できないが、確実にワークの飛び上がりを抑止でき、姿勢も矯正できる。また、本実施形態では、被覆板１１４の先端縁に上記噴出口１８ｂを設けているので、ワーク及び上記気流が被覆板１１４に抑止された後に噴出口１８ｂから噴出する気流によってスムーズに前方へと導かれる。

図１０は、異なる第２実施形態の制御部Ｃの動作を示すタイミングチャートである。この第２実施形態では、第１の検出信号ＰＨＳ１と第２の検出信号ＰＨＳ２が共に（或いはそれらのいずれか一方が）ＯＮからＯＦＦになったときに制御信号ＳＯＬ２がＯＦＦからＯＮになる点は第１実施形態と同様である。一方、この実施形態が上記第１実施形態とは異なる点は、制御信号ＳＯＬ２が期間ｔ１後にＯＦＦに復帰するのではなく、第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮになったときに制御信号ＳＯＬ２がＯＦＦに戻る点である。これにより、この第２実施形態では、上記開口部１６ａから流れ出る気流が第１の検出信号ＰＨＳ１がＯＦＦからＯＮになるまで継続してワークＰ１に吹き付けられるので、ワークＰ１をより確実に最終的な位置決め位置まで移送することができる。

以上説明した各実施形態では、上述の効果に加えて、ワーク分離ユニットに振動を与える必要がなくなるので、種々の搬送装置に広く適用できる。また、無振動状態となるように設定できるため、吸引保持のリークが少なく、確実にワークを保持できるとともに、センサチャタリングが少なくなり、搬出ミスや搬出時のワーク損傷が低減でき、しかも、跳ね返り等が低減されて位置決め精度も向上できるという効果を奏する。さらに、ワークの供給速度を低下させないため、近年の高速搬送に適したワーク分離を行うことができる。

尚、本発明のワーク分離ユニット及び振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。本実施形態では開口部１６ａ、１７ａはワーク移送路１５ａの底面に開口し、被覆板１１４の張出部分はワーク移送路１５ａを上方から覆っているが、これはあくまでも一例にすぎない。例えば、開口部１６ａ、１７ａがワーク移送路１５ａの幅方向一方の傾斜した内側面に開口し、被覆板に相当する被覆部材が他方の側に逆傾斜で対向配置されていてもよい。すなわち、本実施形態の上下方向は対向する方向の一例であり、本発明の構成は相互の位置関係が保たれる限り、上下方向に限定されるものではない。

例えば、本実施形態では、上記ワーク分離ユニット１５が振動式搬送装置の一部として構成されている場合を説明したが、振動式搬送装置に限定されることなく、各種の搬送装置に適用することができる。また、上記ワーク分離ユニット１５は、搬送装置に支持されるのではなく、独立して支持固定された状態で用いられてもよい。さらに、搬送装置の一部としてではなく、下流側のワーク処理装置、或いは、搬出機構の一部として構成されていてもよい。

また、本実施形態において、上記ワーク分離ユニット１５は、搬送されてきたワークを最終的に終端面１５ｄに当接する第２の領域１５Ｙ内の位置に位置決めする機能を有しているが、この位置決め機能を有していない態様で構成することもできる。すなわち、ワーク分離ユニット１５としてはワークをワーク移送路１５ａ上で分離する機能さえ有していればよい。例えば、ワーク移送路１５ａに位置決め用通気穴１７及び終端面１５ｄが形成されずに、第１の領域１５Ｙからそのまま下流側にワークが移送された後にワーク導出口から導出されたり、回転インデクサに移載されたりするように構成してもよい。この場合、第１の検出ラインＬ１よりも所定距離だけ下流側に第２の検出ラインＬ２が設定され、先頭のワークが第１の検出ラインＬ１に到達した時点で次のワークが分離用通気穴１６により第１の領域１５Ｘに吸引保持され、先頭のワークが第２の検出ラインＬ２に到達した時点で次のワークの吸引保持状態が解除されて気流により下流側に移送されるといった構成にすることができる。

１０…振動式搬送装置、１１…搬送体、１１ａ…ワーク搬送路、１１ｂ…ワーク導出口、１２…加振機構、１５…ワーク分離ユニット、１５ａ…ワーク移送路、１５ｂ…ワーク導入口、１５Ｘ…第１の領域、１５Ｙ…第２の領域、１６…分離用通気穴、１６ａ…開口部、１７…位置決め用通気穴、１７ａ…開口部、１８…対向側給気部、１８ａ…通気路、１８ｂ…噴出口、Ｅ１、Ｅ２…排気構造、Ａ１、Ａ２…給気構造、Ｃ…制御部、Ｄ…ワーク搬出手段、Ｓ１…第１の検出器、Ｓ２…第２の検出器

Claims (11)

1. 一方の端部にワーク導入口を備えたワーク移送路と、
   前記ワーク導入口の側の第１の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えるとともに、給気時において前記第１の領域に対して前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備えた分離用通気穴と、
   前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、
   前記第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、
   前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から気流を生じさせる通気穴給気手段と、
   前記ワーク検出手段によるワーク検出時には前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記通気穴給気手段を停止させ、また、前記ワーク検出手段によるワーク非検出時には前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記通気穴給気手段を動作させる制御手段と、
   を具備することを特徴とするワーク分離ユニット。
2. 前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により前記開口部に位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、
   前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め検出時に前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め非検出時に前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることを特徴とする請求項１に記載のワーク分離ユニット。
3. 前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、をさらに具備し、
   前記通気穴給気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段とが並行して動作する期間を有することを特徴とする請求項１に記載のワーク分離ユニット。
4. 前記位置決め用通気穴は排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク分離ユニット。
5. 前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに具備することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のワーク分離ユニット。
6. 前記ワーク移送路は、前記分離用通気穴の開口部と対向する側に配置される被覆部材によって被覆されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のワーク分離ユニット。
7. 搬送端末部にワーク導出口を備えたワーク搬送路を有する搬送体と、この搬送体を振動させる加振機構と、前記ワーク導出口と間隙を介して配置されてなるワーク分離ユニットと、を具備し、
   前記ワーク分離ユニットは、
   前記ワーク導出口と対向するワーク導入口を備えたワーク移送路と、
   前記ワーク移送路における前記ワーク導入口の側の第１の領域において開口する開口部を備えた分離用通気穴と、
   前記分離用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク分離用排気手段と、
   前記ワーク移送路における前記第１の領域よりも前記ワーク導入口とは反対側にある第２の領域においてワークを検出するワーク検出手段と、
   前記第１の領域から前記第２の領域に向けて気流を生じさせるワーク移送用給気手段と、
   前記ワーク検出手段によるワーク検出時には前記ワーク分離用排気手段を動作させるとともに前記ワーク移送用給気手段を停止させ、また、前記ワーク検出手段によるワーク非検出時には前記ワーク分離用排気手段を停止させるとともに前記ワーク移送用給気手段を動作させる制御手段と、
   を有することを特徴とする振動式搬送装置。
8. 前記分離用通気穴は給気時において前記第２の領域へ向けて前記開口部から流れ出る斜めの気流を生じるように構成された通気構造を備え、前記ワーク移送用給気手段は前記分離用通気穴に給気することにより前記開口部から前記気流を生じさせることを特徴とする請求項７に記載の振動式搬送装置。
9. 前記第２の領域において前記ワーク移送路に開口する開口部を備えた位置決め用通気穴と、前記位置決め用通気穴を排気することにより前記開口部においてワークに対する吸引力を生じさせるワーク位置決め用排気手段と、前記ワーク位置決め用排気手段の吸引力により位置決めされたワークを検出するワーク位置決め検出手段と、をさらに具備し、
   前記制御手段は、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め検出時には前記ワーク位置決め用排気手段を停止させ、前記ワーク位置決め検出手段による位置決め非検出時には前記ワーク位置決め用排気手段を動作させることを特徴とする請求項７又は８に記載の振動式搬送装置。
10. 前記位置決め用通気穴は、前記ワーク位置決め用排気手段による排気時において前記第１の領域の側から前記開口部に流れ込む斜めの気流を生じさせる通気構造を備えることを特徴とする請求項９に記載の振動式搬送装置。
11. 前記ワーク移送路に対して前記分離用通気穴の開口部と対向する側に前記第２の領域へ向けて気流を生じさせる対向側給気手段をさらに具備することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の振動式搬送装置。

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