KR101059277B1 - 가열 장치, 도포, 현상 장치 및 가열 방법 - Google Patents
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Abstract
기판을 적재하여 가열하기 위한 열판과, 이 열판의 상방에 기판과 간격을 두고 대향하도록 설치되고, 기판의 피가열 처리 영역보다도 큰 정류용 천정판과, 천정판의 내부에 기판측으로부터의 열을 단열하기 위해 형성된 진공 영역과, 상기 열판에 적재된 기판과 상기 천정판 사이에 기류를 형성하기 위한 기류 형성 수단을 구비하도록 가열 장치를 구성한다. 내부에 진공 영역이 마련된 천정판을 이용하고 있으므로 열판측으로부터의 열이 도피되기 어렵고, 천정판과 열판 사이의 주위를 개방한 상태로 해도 천정판의 하면의 온도를 기판의 온도에 근접시킬 수 있어, 기판과 천정판의 하면의 온도차가 확대되는 것이 억제된다. 그 결과로서 상기 기류가 냉각됨으로써 난류가 되는 것을 막을 수 있으므로 기판에 대해 면내 균일성이 높은 가열 처리를 행할 수 있다.
Description
도2는 상기 가열 장치의 횡단 평면도.
도3은 상기 가열 장치의 웨이퍼(W)의 냉각 기구의 일예를 도시한 종단 측면도.
도4는 상기 냉각 기구에 웨이퍼(W)를 인도하는 반송 기구의 설명도.
도5는 상기 가열 장치의 웨이퍼(W)의 냉각 기구의 다른 일예를 도시한 설명도.
도6은 상기 가열 장치를 구성하는 열판 및 천정판의 주변의 구조를 도시한 종단 측면도.
도7은 상기 가열 장치를 구성하는 열판 서포트 부재의 구조를 도시한 설명도.
도8은 상기 열판의 구조를 도시한 설명도.
도9는 상기 천정판에 의해 형성되는 기류의 흐름을 도시한 설명도.
도10은 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 가열 장치의 구성의 일예를 도시한 종단 측면도.
도11은 상기 가열 장치의 횡단 평면도.
도12는 상기 가열 장치의 천정판 주변의 구성을 도시한 횡단 평면도.
도13은 상기 가열 장치에 의한 가열시에 형성되는 기류의 흐름을 도시한 설명도.
도14는 제1 실시 형태에 있어서의 가열 장치가 적용된 도포, 현상 장치의 평면도.
도15는 상기 도포, 현상 장치를 도시한 사시도.
도16은 상기 도포, 현상 장치를 도시한 측부 단면도.
도17은 상기 도포, 현상 장치에 있어서의 도포 유닛과 선반 유닛과 반송 수단을 도시한 사시도.
도18은 종래의 가열 장치의 일예를 도시한 도면.
도19는 상기 가열 장치의 천정판의 구조를 도시한 설명도.
3 : 냉각 기구
5 : 열판 서포트 부재
6 : 천정판
33 : 냉각 플레이트
53 : 열판
50, 65 : 진공층
Claims (3)
- 기판에 레지스트막을 형성하고, 노광 처리 후의 기판을 현상하는 도포, 현상 장치에 있어서,
기판을 수납하고 캐리어가 반입되는 캐리어 블록과,
상기 캐리어 블록보다도 후방측에 설치되고, 상기 캐리어로부터 취출된 노광 전의 기판의 표면에 도포막을 형성하기 위한 도포 블록과, 노광 처리 후의 기판을 현상하기 위한 현상 블록을 포함하는 처리 블록과,
상기 처리 블록의 후방측에 설치되고, 상기 처리 블록으로부터 노광 처리 전의 기판을 수취하고, 상기 처리 블록에 노광 처리 후의 기판을 인도하는 인터페이스부를 구비하고,
상기 현상 블록은, 캐리어 블록측으로부터 인터페이스부측에 직선 형상으로 신장되는 기판 반송로와, 상기 기판 반송로의 한쪽 측방에 설치되고 현상액에 의해 기판을 현상하기 위한 현상 유닛과, 상기 기판 반송로의 다른 쪽 측방에 설치되고 기판을 가열하기 위한 가열 장치와, 상기 기판 반송로를 따라 기판을 반송하고 상기 현상 유닛과 가열 장치 사이에서 기판의 인도를 행하는 기판 반송 기구를 구비한 단위 블록을 서로 상하로 적층하여 구성되고,
상기 가열 장치는, 기판 반송로로부터 보아 상기 기판 반송로에 직교하는 방향으로 이격되어 배치되고 기판을 가열하는 가열 플레이트와, 상기 가열 플레이트보다도 기판 반송로측에 설치되고 기판을 냉각하는 냉각 플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 도포, 현상 장치. - 제1항에 있어서, 상기 냉각 플레이트는, 가열 플레이트와 상기 가열 플레이트보다도 기판 반송로측의 위치와의 사이에서 기판을 반송하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포, 현상 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 기판 반송 기구는, 상기 냉각 플레이트의 외경보다도 내경이 큰 아암 부분과, 기판을 보유 지지하기 위해 상기 아암 부분으로부터 당해 아암 부분의 내측으로 돌출되어 있는 돌기를 구비하고,
상기 냉각 플레이트의 외주에는 상기 아암 부분이 냉각 플레이트를 둘러싸는 위치를 승강할 때에 상기 돌기가 통과할 수 있도록 절결부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포, 현상 장치.
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