KR101007170B1 - 결정성 투명 도전성 박막, 그 제조 방법, 투명 도전성 필름 및 터치 패널 - Google Patents
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- 산화 인듐과 산화 주석의 합계에 대해서 산화 주석을 0중량% 초과 9중량% 이하의 비율로 함유하는 산화 인듐ㆍ주석을 함유하는 결정성 투명 도전성 박막으로서,
당해 결정성 투명 도전성 박막은, 질소를 0원자% 초과 0.45원자% 이하의 비율로 더 함유하고,
표면 전기 저항값이 200Ω/□ 이상인 것을 특징으로 하는 결정성 투명 도전성 박막. - 제 1 항에 기재된 결정성 투명 도전성 박막이, 투명 필름 기재의 편면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 필름.
- 도전성 박막을 갖는 한쌍의 패널판을, 상기 도전성 박막끼리가 대향하도록 스페이서를 개재하여 대향 배치하여 이루어지는 터치 패널로서,
상기 패널판의 적어도 일방이, 제 2 항에 기재된 투명 도전성 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 터치 패널. - 삭제
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006021048A JP5166700B2 (ja) | 2006-01-30 | 2006-01-30 | 結晶性透明導電性薄膜、その製造方法、透明導電性フィルムおよびタッチパネル |
JPJP-P-2006-021048 | 2006-01-30 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077018066A Division KR101007169B1 (ko) | 2006-01-30 | 2006-12-27 | 결정성 투명 도전성 박막, 그 제조 방법, 투명 도전성 필름및 터치 패널 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100032454A KR20100032454A (ko) | 2010-03-25 |
KR101007170B1 true KR101007170B1 (ko) | 2011-01-12 |
Family
ID=38309031
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020107004110A KR101007170B1 (ko) | 2006-01-30 | 2006-12-27 | 결정성 투명 도전성 박막, 그 제조 방법, 투명 도전성 필름 및 터치 패널 |
KR1020077018066A KR101007169B1 (ko) | 2006-01-30 | 2006-12-27 | 결정성 투명 도전성 박막, 그 제조 방법, 투명 도전성 필름및 터치 패널 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077018066A KR101007169B1 (ko) | 2006-01-30 | 2006-12-27 | 결정성 투명 도전성 박막, 그 제조 방법, 투명 도전성 필름및 터치 패널 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9260777B2 (ko) |
JP (1) | JP5166700B2 (ko) |
KR (2) | KR101007170B1 (ko) |
CN (1) | CN101133463B (ko) |
TW (1) | TWI387977B (ko) |
WO (1) | WO2007086230A1 (ko) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5382841B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2014-01-08 | 日東電工株式会社 | 導電性積層フィルム、タッチパネル用電極板、タッチパネルおよび導電性積層フィルム用粘着剤 |
US9606078B2 (en) * | 2007-11-11 | 2017-03-28 | University Of North Florida Board Of Trustees | Nanocrystalline indum tin oxide sensors and arrays |
JP2009226932A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-10-08 | Jsr Corp | 導電性積層フィルム、偏光板およびタッチパネル |
JP2009226774A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Mitsubishi Plastics Inc | 透明導電性フィルム用積層ポリエステルフィルム |
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JP4888603B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2012-02-29 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム |
JP5281554B2 (ja) | 2009-11-30 | 2013-09-04 | 三菱樹脂株式会社 | 離型フィルム |
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KR101686393B1 (ko) | 2011-10-22 | 2016-12-14 | 미쓰비시 쥬시 가부시끼가이샤 | 도포 필름 |
WO2013146155A1 (ja) | 2012-03-26 | 2013-10-03 | 三菱樹脂株式会社 | 塗布フィルム |
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KR20070033443A (ko) | 2004-10-06 | 2007-03-26 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 투명 도전성 필름 및 터치 패널 |
-
2006
- 2006-01-30 JP JP2006021048A patent/JP5166700B2/ja active Active
- 2006-12-27 KR KR1020107004110A patent/KR101007170B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-27 WO PCT/JP2006/326065 patent/WO2007086230A1/ja active Application Filing
- 2006-12-27 US US11/917,110 patent/US9260777B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-27 KR KR1020077018066A patent/KR101007169B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-27 CN CN2006800071886A patent/CN101133463B/zh active Active
-
2007
- 2007-01-02 TW TW096100026A patent/TWI387977B/zh active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04308612A (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-30 | Nitto Denko Corp | 透明導電膜およびその製造法と透明導電フイルムとアナログ式タツチパネル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090117405A1 (en) | 2009-05-07 |
CN101133463B (zh) | 2011-09-07 |
TWI387977B (zh) | 2013-03-01 |
CN101133463A (zh) | 2008-02-27 |
US9260777B2 (en) | 2016-02-16 |
JP5166700B2 (ja) | 2013-03-21 |
KR20070092326A (ko) | 2007-09-12 |
TW200802423A (en) | 2008-01-01 |
KR101007169B1 (ko) | 2011-01-12 |
WO2007086230A1 (ja) | 2007-08-02 |
JP2007200823A (ja) | 2007-08-09 |
KR20100032454A (ko) | 2010-03-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151217 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161221 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171219 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181219 Year of fee payment: 9 |
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FPAY | Annual fee payment |
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