JP5468499B2 - 透明導電性薄膜の製造方法 - Google Patents
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Description
(フィルム基材)
厚さが25μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(以下、第1PETフィルムという)からなる透明なフィルム状シートを用いた。
上記第1PETフィルムの片面に、メラミン樹脂:アルキド樹脂:有機シラン縮合物=2:2:1(重量比)からなる熱硬化型樹脂組成物の硬化被膜(屈折率1.54,厚さ150nm)を形成した。
上記アンカー層に、酸化インジウム・酸化スズ(酸化インジウム97重量%,酸化スズ3重量%)をターゲットとして用い、4×10-1Paのアルゴン雰囲気(アルゴンガス:酸素ガス=100:1(容量比),窒素ガスをアルゴンガスに対して6000ppm含有(容量比),水蒸気ガスをアルゴンガスに対して1500〜2000ppmの範囲内で含有(容量比))中で、スパッタリング法により、厚さが25nmの透明導電薄膜(ITO薄膜)を形成した。スパッタリング中の水蒸気ガス含有量の制御は、以下のように行った。すなわち、成膜装置の成膜室内に、水蒸気ガスを供給する水供給装置、及び、成膜室内の水蒸気ガスを排気する排気装置を設けるとともに、成膜室内の水蒸気ガスの濃度を測定する水蒸気ガス濃度測定装置を設けた。そして、水蒸気ガス濃度測定装置により得られた水蒸気ガスの濃度に基づいて、水供給装置により水蒸気ガスを供給したり、排気装置により水蒸気ガスを排気したりすることにより行った。
厚さ125μmのPETフィルム(以下、第2PETフィルムという)の一方の面に、アクリル・ウレタン系樹脂(大日本インキ化学工業社製の商品名「ユニディック17−806」)100部に、光重合開始剤としてヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(チバスペシャルティケミカルズ社製の商品名「イルガキュア184」)5部を加えて、50重量%の濃度に希釈したトルエン溶液を塗布し、100℃で3分乾燥後、直ちにオゾンタイプ高圧水銀灯(80W/cm,15cm集光型)2灯で紫外線照射を行い、厚さが5μmのハードコート層を形成した。
次いで、上記第2PETフィルムのハードコート層とは他面に、弾性係数が10N/cm2に調整された透明なアクリル系粘着剤層(アクリル酸ブチル:アクリル酸:酢酸ビニルの重量比100:2:5の単量体混合物の共重合体100部に、イソシアネート系架橋剤を1部配合してなるアクリル系粘着剤)を、約20μmの厚さに形成した。さらにこの粘着剤層面に、上記透明導電性フィルムの第1PETフィルム側の面(ITO薄膜を形成しない面)を貼り合わせて、透明導電性積層体を作製した。
実施例1の結晶性透明導電薄膜の形成において、アルゴン雰囲気における窒素ガスの割合、及び、水蒸気ガスの割合を表1に示すように変えたこと以外は、実施例1と同様にして、透明導電性積層体を作製した。
四端子法を用いて、透明導電性積層体の表面電気抵抗(Ω/□)を測定した。測定は、各透明導電性積層体についてランダムに5点行った。表1には、表面電気抵抗の最大値、最小値、平均値、及び、最大値と最小値との差を示した。
島津製作所製の分光分析装置UV−240を用いて、光波長550nmにおける可視光線透過率を測定した。
透明導電性積層体を5重量%の塩酸に15分間浸漬し、15mm離間した2点間の抵抗値(Ω)をテスター(カスタム社製、製品名「デジタルテスター(M−04)」、測定限界値2MΩ)にて測定し、結晶性透明導電薄膜が結晶化しているか否かの判定を行った。抵抗値が検出された場合、透明導電性積層体が結晶化していると判定した。
Claims (3)
- 酸化インジウム及び酸化スズを主成分とするターゲットを用いて、気相法により透明導電性薄膜を透明フィルム基材上に形成する透明導電性薄膜の製造方法であって、
前記ターゲットは、酸化インジウムと酸化スズの合計に対して酸化スズを1〜9重量%の範囲内で含有し、
アルゴンガスと窒素ガスと水蒸気ガスとを含み、
前記窒素ガスの含有量がアルゴンガスに対して2500ppm〜8500ppmの範囲内であり、かつ、前記水蒸気ガスの含有量がアルゴンガスに対して1450ppm〜13500ppmの範囲内であるアルゴン雰囲気中で成膜が行われることを特徴とする透明導電性薄膜の製造方法。 - 請求項1に記載の透明導電性薄膜の製造方法により得られた透明導電性薄膜を加熱処理して結晶化する結晶化工程を有することを特徴とする結晶性透明導電性薄膜の製造方法。
- 前記結晶化工程における加熱処理条件が、120〜155℃で、2.5時間以下であることを特徴とする請求項2に記載の結晶性透明導電性薄膜の製造方法。
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