KR100930149B1 - 회수컵세정방법 및 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 기판의 처리에 사용된 약액이 인도되고, 기판을 파지하여 회전시키기 위한 기판회전유닛의 주위를 둘러싸도록 배치된 회수공간을 구획하는 내벽을 가지며, 상기 회수공간으로 인도된 약액을 회수하기 위해 소정의 약액회수로(藥液回收路)로 인도하기 위한 회수컵을 세정하는 방법으로서,더미 기판을 파지한 상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 더미 기판에 대해 세정액을 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽(內壁)을, 세정액을 사용하여 세정하는 세정액 세정스텝과,상기 세정액 세정스텝 후에, 더미 기판을 파지한 상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 상기 회수공간을 통해 회수해야 할 상기 약액과 동종(同種)의 세정용 약액을 더미 기판에 대해 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽을, 세정용 약액을 사용하여 세정하는 약액 세정스텝과,상기 세정액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정액 및 상기 약액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정용 약액을, 상기 약액회수로와는 다른 폐액로로 인도하여 폐기하는 폐기스텝을 포함하는 회수컵 세정방법.
- 기판의 처리에 사용된 약액이 인도되고, 기판을 파지하여 회전시키기 위한 기판회전유닛의 주위를 둘러싸도록 배치된 회수공간을 구획하는 내벽을 가지며, 상기 회수공간으로 인도된 약액을 회수하기 위해 소정의 약액회수로로 인도하기 위한 회수컵을 세정하는 방법으로서,상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 상기 기판회전유닛을 향해 세정액을 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽을, 세정액을 사용하여 세정하는 세정액 세정스텝과,상기 세정액 세정스텝 후에, 상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 상기 회수공간을 통해 회수해야 할 상기 약액과 동종의 세정용 약액을 상기 기판회전유닛을 향해 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽을, 세정용 약액을 사용하여 세정하는 약액 세정스텝과,상기 기판회전유닛의 작동속도를 변경하는 작동속도변경스텝과,상기 세정액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정액 및 상기 약액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정용 약액을, 상기 약액회수로와는 다른 폐액로로 인도하여 폐기하는 폐기스텝을 포함하는 회수컵 세정방법.
- 기판의 처리에 사용된 약액이 인도되고, 기판을 파지하여 회전시키기 위한 기판회전유닛의 주위를 둘러싸도록 배치된 회수공간을 구획하는 내벽을 가지며, 상기 회수공간으로 인도된 약액을 회수하기 위해 소정의 약액회수로로 인도하기 위한 회수컵을 세정하는 방법으로서,상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 상기 기판회전유닛을 향해 세정액을 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽을, 세정액을 사용하여 세정하는 세정액 세정스텝과,상기 세정액 세정스텝 후에, 상기 기판회전유닛을 회전시킨 상태에서, 상기 회수공간을 통해 회수해야 할 상기 약액과 동종의 세정용 약액을 상기 기판회전유닛을 향해 공급함으로써, 상기 회수공간의 내벽을, 세정용 약액을 사용하여 세정하는 약액 세정스텝과,상기 세정액 세정스텝 및 상기 약액 세정스텝 중 적어도 한쪽과 병행하여 행해지고, 상기 기판회전유닛과 상기 회수컵을 상기 기판회전유닛에 의해 회전되는 기판의 회전축선(回轉軸線)과 평행한 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동스텝과,상기 세정액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정액 및 상기 약액 세정스텝에서 상기 회수공간으로 인도되는 세정용 약액을, 상기 약액회수로와는 다른 폐액로로 인도하여 폐기하는 폐기스텝을 포함하는 회수컵 세정방법.
- 기판을 파지하면서 회전시키기 위한 기판회전유닛과,상기 기판회전유닛에 파지된 기판에 약액을 공급하는 약액 공급유닛과,기판의 처리에 사용된 약액이 인도되는 회수공간을 구획하는 내벽을 가지는 회수컵과,상기 회수공간으로 인도되는 약액을 회수하기 위한 약액회수로와,상기 회수공간으로 인도되는 액(液)을 폐기하기 위한 폐액로와,상기 회수공간으로 인도되는 액을, 상기 약액회수로와 상기 폐액로에 선택적으로 인도하는 절환(切換)유닛과,상기 회수공간의 내벽을 세정하기 위한 세정액을 공급하는 세정액 공급유닛과,상기 세정액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정액이 공급된 후에, 상기 회수공간을 통해 회수해야 할 상기 약액과 동종의 세정용 약액을 상기 회수공간의 내벽에 공급하는 세정용 약액 공급유닛과,상기 약액 공급유닛에 의해 기판에 약액을 공급할 때에는 상기 회수공간으로 인도된 약액을 상기 약액회수로로 인도하는 한편, 상기 세정액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정액을 공급할 때 및 상기 세정용 약액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정용 약액을 공급할 때에는, 상기 회수공간으로 인도된 액(液)을 상기 폐액로로 인도하도록 상기 절환유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하며,상기 약액 공급유닛은 상기 기판회전유닛을 향해 약액을 공급하는 약액 노즐을 포함하고,상기 세정액 공급유닛은 상기 기판회전유닛을 향해 세정액을 공급하는 세정액 노즐을 포함하며,상기 세정용 약액 공급유닛은 상기 기판회전유닛을 향해 세정용 약액을 공급하는 세정용 약액 노즐을 포함하고,상기 기판회전유닛 및 상기 회수컵은 처리 챔버 내에 수용되어 있으며,상기 처리 챔버의 외부에는 상기 기판회전유닛에 파지시킬 수 있는 더미 기판을 파지해 두기 위한 더미 기판 파지부가 설치되어 있는 기판처리장치.
- 기판에 약액을 공급하는 약액 공급유닛과,기판의 처리에 사용된 약액이 인도되는 회수공간을 구획하는 내벽을 가지는 회수컵과,상기 회수공간으로 인도되는 약액을 회수하기 위한 약액회수로와,상기 회수공간으로 인도되는 액(液)을 폐기하기 위한 폐액로와,상기 회수공간으로 인도되는 액을, 상기 약액회수로와 상기 폐액로에 선택적으로 인도하는 절환(切換)유닛과,상기 회수공간의 내벽을 세정하기 위한 세정액을 공급하는 세정액 공급유닛과,상기 세정액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정액이 공급된 후에, 상기 회수공간을 통해 회수해야 할 상기 약액과 동종의 세정용 약액을 상기 회수공간의 내벽에 공급하는 세정용 약액 공급유닛과,상기 약액 공급유닛에 의해 기판에 약액을 공급할 때에는 상기 회수공간으로 인도된 약액을 상기 약액회수로로 인도하는 한편, 상기 세정액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정액을 공급할 때 및 상기 세정용 약액 공급유닛에 의해 상기 회수공간의 내벽에 세정용 약액을 공급할 때에는, 상기 회수공간으로 인도된 액을 상기 폐액로로 인도하도록 상기 절환유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하며,상기 약액 공급유닛이 상기 세정용 약액 공급유닛으로서 겸용되어 있는 기판처리장치.
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