KR20100046793A - 매엽식 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 매엽식 기판 처리 장치에 있어서:기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재;상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 약액과 흄을 포함한 공기를 유입 및 흡입하는 환형의 흡입덕트가 다단으로 배치되는 처리용기;상기 흡입덕트들 각각에 연결되고 회수된 처리유체가 배출되는 배출라인들; 및상기 배출라인에 연결되며, 회수된 처리유체의 재사용을 위한 리사이클 배출라인과, 폐수 배출라인으로 분류하여 배출하는 분리 배출 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 분리 배출 부재는배출라인과 연결되는 제1포트;상기 리사이클 배출라인과 연결되는 제2포트;상기 폐수 배출라인과 연결되는 제3포트;상기 제1포트와 상기 제2포트 그리고 상기 제3포트를 연결하는 유로; 및상기 회수된 처리 유체가 상기 리사이클 배출라인 또는 상기 폐수 배출라인으로 배출되도록 상기 유로를 선택적으로 개폐하는 유로 개폐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 분리 배출 부재는상기 배출라인으로부터 상기 회수된 처리유체를 공급받는 제1유로;상기 제1유로로부터 분기되는 그리고 상기 리사이클 배출라인으로 상기 회수된 처리유체가 배출되는 제2유로;상기 제1유로로부터 분기되는 그리고 상기 폐수 배출라인으로 상기 회수된 처리유체가 배출되는 제3유로; 및상기 제2유로 및 상기 제3유로를 선택적으로 개폐하는 유로 개폐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 유로 개폐부는상기 제2유로에 설치되는 제1밸브; 및상기 제3유로에 설치되는 제2밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제2유로는 상기 제3유로보다 높은 위치에서 상기 제1유로와 연결되는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제3유로는 상기 제1유로의 끝단으로부터 연결되는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 매엽식 기판 처리 장치에 있어서:기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재;상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 약액과 흄을 포함한 공기를 유입 및 흡입하는 환형의 흡입덕트가 다단으로 배치되는 처리용기;상기 흡입덕트들 각각에 연결되고 회수된 처리유체가 배출되는 배출라인들; 및상기 배출라인들 각각으로부터 연결되는 폐수 배출라인과 리사이클 배출라인;상기 폐수 배출라인과 상기 리사이클 배출라인에 설치되어 제1밸브 및 제2밸브;상기 배출라인으로부터 배출되는 상기 회수된 처리유체의 오염 유무에 따라 상기 제1밸브 또는 상기 제2밸브를 선택적으로 개폐하는 밸브 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 밸브 제어부는상기 회수된 처리유체가 배출되는 초기에는 일정시간 상기 폐수 배출라인으로 배출되도록 상기 제1밸브를 개방하고, 그 이후에는 상기 리사이클 배출라인으로 배출되도록 상기 제1밸브를 닫고 상기 제2밸브를 개방하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 폐수 배출라인은 상기 리사이클 배출라인보다 낮은 위치에서 상기 배출 라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
- 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치된 흡입덕트가 다단으로 배치된 처리용기를 갖는 매엽식 기판 처리 장치에서의 기판 처리 방법에 있어서:상기 스핀 헤드에 놓여진 기판으로 처리유체를 분사하는 단계:상기 기판에서 비산되는 처리 유체를 상기 흡입덕트에서 회수하여 배출 라인으로 배출하는 단계; 및상기 배출 라인으로 배출되는 상기 회수된 처리유체를 재사용을 위한 리사이클 배출라인 또는 폐수 배출라인으로 분류하여 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치에서의 기판 처리 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 분류 배출 단계는상기 회수된 처리유체의 배출 초기에는 상기 폐수 배출라인으로 배출하고, 일정 시간 이후부터는 상기 리사이클 배출라인으로 배출하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치에서의 기판 처리 방법.
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