KR101023067B1 - 매엽식 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 압력 조절 방법 - Google Patents
매엽식 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 압력 조절 방법 Download PDFInfo
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- 매엽식 기판 처리 장치에 있어서,기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재;상기 기판에 소정의 약액들을 각각 공급하는 약액공급부재;상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 약액과 공기를 유입 및 흡입하는 환형의 흡입덕트가 다단으로 배치되고, 상기 흡입덕트들의 배기를 담당하는 배기덕트를 갖는 처리 용기;상기 처리 용기 내에서 상기 흡입덕트들에 대한 상기 스핀헤드의 상대 높이를 변화하기 위해 상기 스핀헤드와 상기 처리 용기 중 적어도 어느 하나를 승강시키는 구동기; 및상기 배기덕트와 연결되며, 배기량을 조절하는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 개폐량을 제어하는 제어부를 갖는 배기부재를 포함하되;상기 제어부는상기 처리 용기 내에서 상기 흡입덕트들에 대한 상기 스핀헤드의 상대 높이에 따라 상기 배기부재의 개폐량을 제어하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
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- 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치된 흡입덕트가 다단으로 배치된 처리용기와 상기 처리 용기로부터의 기체 배기를 위한 배기부재를 갖는 매엽식 기판 처리 장치에서의 압력 조절 방법에 있어서:상기 배기부재로 배기되는 기체의 배기압을 측정하여, 상기 측정값에 따라 상기 배기부재에 설치된 댐퍼의 개폐량을 제어하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치에서의 압력 조절 방법.
- 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치된 흡입덕트가 다단으로 배치된 처리용기와 상기 처리 용기로부터의 기체 배기를 위한 배기부재를 갖는 매엽식 기판 처리 장치에서의 압력 조절 방법에 있어서:상기 처리 용기 내에서 상기 흡입덕트들에 대한 상기 스핀헤드의 상대 높이를 판단하는 단계; 및상기 스핀헤드의 상대 높이에 따라 상기 배기부재를 통한 배기량을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치에서의 압력 조절 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 배기량을 제어하는 단계는상기 처리 용기 내에서 상기 흡입덕트들에 대한 상기 스핀헤드의 상대 높이가 낮을수록 배기량을 증가시키고, 상기 처리 용기 내에서 상기 흡입덕트들에 대한 상기 스핀헤드의 상대 높이가 높을수록 배기량을 감소시키는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치에서의 압력 조절 방법.
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