JP2019125659A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の周縁部を良好にエッチング処理できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、基板Wを鉛直姿勢に保持しながら、水平な回転軸線C回りに基板Wを回転させる基板保持回転ユニット4と、エッチング液が溜められ、基板Wの周縁部50がエッチング液に浸漬されるエッチング槽5と、基板Wの周縁部50における吹き付け位置P2に向けて気体を吹き付ける気体吹き付けユニット6と、吹き付け位置P2に対向し、吹き付け位置P2への気体の吹き付けによって飛散するエッチング液を捕獲する内壁31を有する処理カップ7と、基板Wの周縁部50における下流側領域P5の周囲に、基板Wの主面に沿いかつ回転軸線Cから離反するような第1の水平方向D3に向かう気流FLを形成する気流形成ユニット8とを含む。【選択図】図1
Description
この発明は、基板の周縁部をエッチング処理する基板処理装置および基板処理方法に関する。処理対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、有機EL(electroluminescence)表示装置などのFPD(Flat Panel Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。
半導体装置の製造工程では、半導体ウエハ等の基板の周縁部に対してエッチング(いわゆるベベルエッチング)処理が施されることがある。基板を1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置は、たとえば、基板を水平に保持して回転させる基板保持回転ユニットと、基板保持回転ユニットに保持されている基板の上面の周縁部に向けてエッチング液を吐出する上面周縁部ノズルと、基板保持回転ユニットに保持されている基板の下面の周縁部に向けてエッチング液を吐出する下面周縁部ノズルとを備えている(下記特許文献1参照)。
一方、基板を鉛直姿勢に保持しながら、基板の周縁部にエッチング処理を施す縦置きタイプの基板処理装置が知られている。たとえば、下記特許文献2に記載の基板処理装置は、エッチング槽に溜められたエッチング液に基板の周縁部を浸漬させながら基板を、当該基板の中央部を通る水平軸線回りに回転させることにより、基板の周縁部にエッチング処理が施される。
しかしながら、特許文献2に係る手法では、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置の直ぐ下流側に設定された水供給位置に向けて、水ノズルから水が吐出される。そのため、限られた期間のみしか、基板の周縁部にエッチング液を接液させることができない。したがって、特許文献2に係る手法は、基板の周縁部へのエッチング量を大きく確保する場合には適当でない。
本願発明者らは、基板の周縁部において大きなエッチング量の確保を可能にすべく、ベベルエッチング処理において、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置の直ぐ下流側の部分でリンスを行わず、ベベルエッチング処理が終わった後に、リンス処理を別途行うことを検討している。
この場合、基板におけるエッチング液の液垂れを抑制または防止するために、および/または、基板の周縁部の各所でエッチング量を均一にすべく、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し基板の回転方向の下流側の下流側領域において気体を吹き付け、エッチング液を基板の周縁部から除去させることが考えられる。
この場合、基板におけるエッチング液の液垂れを抑制または防止するために、および/または、基板の周縁部の各所でエッチング量を均一にすべく、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し基板の回転方向の下流側の下流側領域において気体を吹き付け、エッチング液を基板の周縁部から除去させることが考えられる。
しかしながら、基板の周縁部への気体の吹き付けに伴って、基板の周縁部における吹き付け位置の周囲に、エッチング液のミストが発生する。発生したミストがエッチング液除去後の基板の周縁部に付着し、パーティクルの原因になるおそれがある。
したがって、基板の周縁部において大きなエッチング量の確保を可能にすること、およびパーティクルの発生を抑制しながら基板の周縁部をエッチング処理することが求められている。すなわち、基板の周縁部を良好にエッチング処理することが求められている。
したがって、基板の周縁部において大きなエッチング量の確保を可能にすること、およびパーティクルの発生を抑制しながら基板の周縁部をエッチング処理することが求められている。すなわち、基板の周縁部を良好にエッチング処理することが求められている。
そこで、この発明の目的は、基板の周縁部を良好にエッチング処理できる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
前記の目的を達成するための請求項1に記載の発明は、基板の周縁部にエッチング処理を施す基板処理装置であって、処理チャンバと、前記処理チャンバの内部に収容され、基板を鉛直姿勢に保持しながら、当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させる基板保持回転ユニットと、エッチング液が溜められたエッチング槽であって、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部をエッチング液に浸漬させることにより、基板の周縁部に前記エッチング処理を施すエッチング槽と、前記処理チャンバの内部における、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し当該基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて気体を吹き付ける気体吹き付けユニットと、前記吹き付け位置に対向し、前記吹き付け位置への気体の吹き付けによって飛散するエッチング液を捕獲する内壁を有し、前記処理チャンバの内部において、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板の少なくとも一部を収容する処理カップと、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部における前記吹き付け位置に対し当該基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に、当該基板の主面に沿いかつ前記水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流を形成する気流形成ユニットとを含む、基板処理装置を提供する。
この明細書において、第1の横方向とは、水平方向だけでなく、水平面に対して傾斜する方向をも含む趣旨である。
この構成によれば、処理カップの内部に基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板が鉛直姿勢に保持される。エッチング槽に溜められたエッチング液に基板の周縁部を浸漬させながら水平軸線回りに基板を回転させることにより、基板の周縁部にエッチング液を塗布することができ、これにより、基板の周縁部にエッチング処理を施すことができる。基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置の直ぐ下流側の部分でリンス処理を行わないので、基板の周縁部において大きなエッチング量を確保することが可能である。
この構成によれば、処理カップの内部に基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板が鉛直姿勢に保持される。エッチング槽に溜められたエッチング液に基板の周縁部を浸漬させながら水平軸線回りに基板を回転させることにより、基板の周縁部にエッチング液を塗布することができ、これにより、基板の周縁部にエッチング処理を施すことができる。基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置の直ぐ下流側の部分でリンス処理を行わないので、基板の周縁部において大きなエッチング量を確保することが可能である。
また、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて、当該吹き付け位置に対し処理カップの内壁と反対側から気体が吹き付けられる。これにより、基板の周縁部からエッチング液を除去できる。そのため、基板におけるエッチング液の液垂れを抑制または防止することができ、また、基板の周縁部の各所に均一なエッチング処理を施すことができる。
また、基板の少なくとも一部分が処理カップに収容されており、かつ基板の周縁部に対し処理カップの内壁と反対側から気体を吹き付けるので、気体の吹き付けに伴って基板の周縁部から飛散するエッチング液を処理カップによって良好に捕獲できる。処理チャンバの隔壁に付着したエッチング液は、基板の汚染を生じさせるおそれがあるが、そのような、エッチング液の隔壁への付着を未然に抑制または防止できる。
ところが、基板の周縁部への気体の吹き付けに伴って、基板の周縁部における吹き付け位置の周囲に、エッチング液のミストが発生する。発生したエッチング液のミストが、内壁で跳ね返って、基板の周縁部における吹き付け位置に対し基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に漂うと、エッチング液除去後の基板の周縁部に付着し、汚染の原因になるおそれがある。エッチング液除去後の基板の周縁部に付着し、汚染の原因になるおそれがある。
この構成では、下流側領域の周囲に、基板の主面に沿いかつ水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流が形成される。そのため、発生したエッチング液のミストは気流によって第1の横方向に向けて促され、下流側に近づくことが抑制される。これにより、エッチング液除去後の基板の周縁部に、エッチング液のミストが付着することを抑制または防止できる。ゆえに、エッチング液のミストの付着に起因するパーティクルの発生を抑制または防止できる。
これにより、基板の周縁部を良好にエッチング処理できる。
請求項2に記載の発明は、前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板に対して前記第1の横方向の側に配置された排気口を有する、請求項1に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板に対して前記第1の横方向に排気口が配置されているので、処理チャンバの内部に気流を発生させることができ、これにより、下流側領域の周囲において、第1の横方向に向かう気流を良好に形成することが可能である。
請求項2に記載の発明は、前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板に対して前記第1の横方向の側に配置された排気口を有する、請求項1に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板に対して前記第1の横方向に排気口が配置されているので、処理チャンバの内部に気流を発生させることができ、これにより、下流側領域の周囲において、第1の横方向に向かう気流を良好に形成することが可能である。
請求項3に記載の発明は、前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板を、前記排気口との間で、前記第1の横方向に沿う方向に挟むように配置された給気ユニットをさらに含む、請求項2に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、給気ユニットおよび排気口が、第1の横方向に沿う方向に基板を挟んでいるので、給気ユニットによって処理チャンバの内部に気体を供給し、かつ処理チャンバの内部の雰囲気を排気口から排気することにより、処理チャンバの内部に、第1の横方向に向かう気流を形成できる。これにより、下流側領域の周囲において、第1の横方向に向かう気流を、比較的容易に形成できる。
この構成によれば、給気ユニットおよび排気口が、第1の横方向に沿う方向に基板を挟んでいるので、給気ユニットによって処理チャンバの内部に気体を供給し、かつ処理チャンバの内部の雰囲気を排気口から排気することにより、処理チャンバの内部に、第1の横方向に向かう気流を形成できる。これにより、下流側領域の周囲において、第1の横方向に向かう気流を、比較的容易に形成できる。
請求項4に記載の発明は、前記処理チャンバが、箱状の隔壁を有し、前記隔壁が、天面と、複数の側面とを有し、基板を搬出入するための搬出入口が、前記天面または前記給気ユニットが設けられた側面とは異なる側面に形成されている、請求項3に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、給気ユニットを、搬出入口が形成される面とは異なる面に設けるので、隔壁に対する給気ユニットの配置レイアウトに自由度を持たせることができる。
この構成によれば、給気ユニットを、搬出入口が形成される面とは異なる面に設けるので、隔壁に対する給気ユニットの配置レイアウトに自由度を持たせることができる。
請求項5に記載の発明は、前記処理チャンバが、箱状の隔壁を有し、前記隔壁が、複数の側面を有し、前記給気ユニットが、基板を搬出入するための搬出入口が形成される側面と同じ側面に、前記搬出入口の周囲を取り囲むように設けられている、請求項3に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、給気ユニットを搬出入口の周囲を取り囲むように設けることにより、給気ユニットを、搬出入口が形成される側面と同じ側面に良好に設けることができる。また、このようなレイアウトとすることで、隔壁における給気ユニットの配置面積を、最大限に確保することが可能である。
この構成によれば、給気ユニットを搬出入口の周囲を取り囲むように設けることにより、給気ユニットを、搬出入口が形成される側面と同じ側面に良好に設けることができる。また、このようなレイアウトとすることで、隔壁における給気ユニットの配置面積を、最大限に確保することが可能である。
請求項6に記載の発明は、前記処理チャンバが、複数の側面を有し、前記給気ユニットが、基板を搬出入するための搬出入口が形成される側面と同じ側面に、前記搬出入口の上方または下方に設けられている、請求項3に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、給気ユニットを搬出入口の上方または下方に設けることにより、給気ユニットを、搬出入口が形成される側面と同じ側面に良好に設けることができる。
この構成によれば、給気ユニットを搬出入口の上方または下方に設けることにより、給気ユニットを、搬出入口が形成される側面と同じ側面に良好に設けることができる。
請求項7に記載の発明は、前記処理チャンバの内部における前記処理カップの外方には、前記排気口とは別にチャンバ排気口が形成されている、請求項2〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、排気口とは別にチャンバ排気口を設けるので、処理カップの内部だけでなく、処理チャンバの内部における処理カップの外方に存在するエッチング液のミストを、処理チャンバの内部から良好に排除できる。
この構成によれば、排気口とは別にチャンバ排気口を設けるので、処理カップの内部だけでなく、処理チャンバの内部における処理カップの外方に存在するエッチング液のミストを、処理チャンバの内部から良好に排除できる。
請求項8に記載の発明は、前記内壁が、傾斜状をなし、捕獲したエッチング液を前記エッチング槽に向けて案内する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、内壁によって捕獲されたエッチング液が、エッチング槽に案内される。そのため、内壁によって捕獲されたエッチング液をエッチング槽にダイレクトに帰還させることができ、これにより、基板の周縁部のエッチング処理に用いられたエッチング液を、エッチング槽が良好に回収できる。
この構成によれば、内壁によって捕獲されたエッチング液が、エッチング槽に案内される。そのため、内壁によって捕獲されたエッチング液をエッチング槽にダイレクトに帰還させることができ、これにより、基板の周縁部のエッチング処理に用いられたエッチング液を、エッチング槽が良好に回収できる。
請求項9に記載の発明は、前記内壁が、側壁と底壁とを有し、前記側壁が、第1の内面を有し、前記第1の内面が、前記第1の横方向に向かうに従って間隔が狭くなるようなV字面をなしている、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、側壁の内面(第1の内面)の奥行きを、第1の横方向に広げることができるので、側壁の内面(第1の内面)におけるエッチング液の跳ね返りを、より効果的に抑制できる。
この構成によれば、側壁の内面(第1の内面)の奥行きを、第1の横方向に広げることができるので、側壁の内面(第1の内面)におけるエッチング液の跳ね返りを、より効果的に抑制できる。
請求項10に記載の発明は、前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板に対して前記第1の横方向の側に配置された排気口を有し、前記排気口が、V字面をなす前記第1の内面の最奥部分に配置されている、請求項9に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、側壁の第1の内面のV字面のうち最奥部分に排気口が配置される。そのため、処理カップの内部における、第1の横方向の端部において、排気口に向かう気流を安定して形成できる。これにより、処理カップの内部に、円滑に流れる気流を形成できる。
この構成によれば、側壁の第1の内面のV字面のうち最奥部分に排気口が配置される。そのため、処理カップの内部における、第1の横方向の端部において、排気口に向かう気流を安定して形成できる。これにより、処理カップの内部に、円滑に流れる気流を形成できる。
請求項11に記載の発明は、前記底壁が、第2の内面を有し、前記第2の内面が、前記第1の内面に連なり、かつ下方に向かうに従って間隔が狭くなるようなV字面を含む、請求項9または10に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、内壁によって捕獲されたエッチング液が、底壁の第2の内面のV字面の最下部に集めることができる。本発明は、請求項8に係る発明と組み合わされてもよい。この場合、V字面の最下部に集められたエッチング液をエッチング槽へと案内できる。
この構成によれば、内壁によって捕獲されたエッチング液が、底壁の第2の内面のV字面の最下部に集めることができる。本発明は、請求項8に係る発明と組み合わされてもよい。この場合、V字面の最下部に集められたエッチング液をエッチング槽へと案内できる。
請求項12に記載の発明は、前記処理チャンバの内部において、複数の前記基板保持回転ユニットが、当該基板保持回転ユニットに保持される基板の主面に沿って並んで配置されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、処理チャンバの内部に、複数の基板保持回転ユニットが収容される。基板保持回転ユニットが基板を鉛直姿勢で保持するので、各基板保持回転ユニットを、基板の主面に沿う方向に小型化できる。しかも、複数の基板保持回転ユニットを水平軸線に沿って配列するので、全体として大型化することがない。そのため、処理チャンバが大型化することなく、処理チャンバの内部に複数の基板保持回転ユニットを収容できる。これにより、スループットの向上を図ることができる。
この構成によれば、処理チャンバの内部に、複数の基板保持回転ユニットが収容される。基板保持回転ユニットが基板を鉛直姿勢で保持するので、各基板保持回転ユニットを、基板の主面に沿う方向に小型化できる。しかも、複数の基板保持回転ユニットを水平軸線に沿って配列するので、全体として大型化することがない。そのため、処理チャンバが大型化することなく、処理チャンバの内部に複数の基板保持回転ユニットを収容できる。これにより、スループットの向上を図ることができる。
請求項13に記載の発明は、前記気体吹き付けユニットが、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の一方主面側から前記吹き付け位置に向けて気体を吐出する第1の気体吹き付けユニットと、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の他方主面側から前記吹き付け位置に向けて気体を吐出する第2の気体吹き付けユニットとを含む、請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板の周縁部に吹き付け位置に向けて、基板の一方主面側と基板の他方主面側との双方から気体を吹き付けるため、基板の周縁部の一方主面側および他方主面側の双方からエッチング液を良好に除去できる。
請求項14に記載の発明は、前記気体吹き付けユニットが、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の回転半径方向の内側から前記吹き付け位置に対して気体を吹き付けるユニットを含む、請求項13に記載の基板処理装置である。
請求項14に記載の発明は、前記気体吹き付けユニットが、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の回転半径方向の内側から前記吹き付け位置に対して気体を吹き付けるユニットを含む、請求項13に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板回転保持ユニットによって回転される基板の周縁部に対して、回転半径方向の内側から気体が吹き付けられる。そのため、基板の周縁部に付着しているエッチング液を、エッチング残渣ごと基板外に排出できる。ゆえに、基板の周縁部からエッチング液を良好に除去できる。
請求項15に記載の発明は、前記基板保持回転ユニットが、基板の中央部を吸着により保持する吸着保持ユニットを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
請求項15に記載の発明は、前記基板保持回転ユニットが、基板の中央部を吸着により保持する吸着保持ユニットを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板に保持しながら良好に回転させることができる。この場合、基板を高速で回転させることも可能である。
請求項16に記載の発明は、前記基板保持回転ユニットが、前記水平軸線回りに基板を回転可能に保持する保持ユニットと、前記保持ユニットによって保持されている基板の周縁部に接触して、当該基板を回転させるローラとを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
請求項16に記載の発明は、前記基板保持回転ユニットが、前記水平軸線回りに基板を回転可能に保持する保持ユニットと、前記保持ユニットによって保持されている基板の周縁部に接触して、当該基板を回転させるローラとを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、保持ユニットによって基板が鉛直姿勢に保持されている状態で、基板の周縁部にローラを接触させて基板を回転させる。保持ユニットによって基板が鉛直姿勢に保持されている状態で、基板の芯出しを行うことができる。換言すると、基板が、偏芯することなく、保持ユニットによって支持されている。これにより、基板の周縁部におけるエッチング幅の均一性を高くに保つことができる。
請求項17に記載の発明は、前記エッチング槽には、循環配管の一端および他端が接続されており、前記循環配管には、前記循環配管を流れるエッチング液を加熱するためのヒータが介装されている、請求項1〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、所望の高温に昇温されたエッチング液をエッチング槽に溜めておくことができる。すなわち、エッチング槽に溜められているエッチング液の液温を、所望の高温に維持できる。これにより、所望の高温に良好に温度制御されたエッチング液を用いて、基板の周縁部にエッチング処理を施すことができる。
この構成によれば、所望の高温に昇温されたエッチング液をエッチング槽に溜めておくことができる。すなわち、エッチング槽に溜められているエッチング液の液温を、所望の高温に維持できる。これにより、所望の高温に良好に温度制御されたエッチング液を用いて、基板の周縁部にエッチング処理を施すことができる。
請求項18に記載の発明は、前記エッチング槽には、エッチング液供給源からのエッチング液がエッチング液バルブを介して供給され、かつリンス液供給源からのリンス液がリンス液バルブを介して供給される、請求項17に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、エッチング処理の際には、リンス液バルブを閉じながらエッチング液バルブを開く。これにより、エッチング槽にエッチング液が供給され、エッチング槽にエッチング液が溜められる。また、リンス処理の際には、エッチング液バルブを閉じながらリンス液バルブを開く。これにより、エッチング槽にリンス液が供給され、エッチング槽にリンス液が溜められる。すなわち、エッチング処理およびリンス処理の双方を、共通のエッチング槽を使用しながら、基板の周縁部に施すことができる。これにより、リンス槽を別途設ける必要がなく、装置の簡素化を図ることができる。
この構成によれば、エッチング処理の際には、リンス液バルブを閉じながらエッチング液バルブを開く。これにより、エッチング槽にエッチング液が供給され、エッチング槽にエッチング液が溜められる。また、リンス処理の際には、エッチング液バルブを閉じながらリンス液バルブを開く。これにより、エッチング槽にリンス液が供給され、エッチング槽にリンス液が溜められる。すなわち、エッチング処理およびリンス処理の双方を、共通のエッチング槽を使用しながら、基板の周縁部に施すことができる。これにより、リンス槽を別途設ける必要がなく、装置の簡素化を図ることができる。
請求項19に記載の発明は、リンス液が溜められたリンス槽であって、前記基板の周縁部をリンス液に浸漬させながら当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させることにより、前記基板の周縁部にリンス処理を施すリンス槽をさらに含む、請求項1〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、リンス処理の際には、エッチング槽とは別に設けられたリンス槽を用いて、基板の周縁部にリンス処理が施される。
この構成によれば、リンス処理の際には、エッチング槽とは別に設けられたリンス槽を用いて、基板の周縁部にリンス処理が施される。
請求項20に記載の発明は、前記基板保持回転ユニットに保持されている基板を昇降させる昇降させる基板昇降ユニットをさらに含み、基板昇降ユニットが、基板の周縁部が前記リンス液に浸漬可能な下位置から、基板の周縁部が前記リンス液に浸漬しない上位置まで退避させた状態で、前記基板保持回転ユニットが前記基板を回転させることにより、当該基板の周縁部に乾燥処理が施される、請求項18または19に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、基板の周縁部を前記リンス液に浸漬しない上位置まで退避させた状態で、基板を回転させることにより、基板の周縁部を良好に乾燥させることができる。
請求項21に記載の発明は、基板の周縁部にエッチング処理を施す基板処理方法であって、処理チャンバの内部に収容された処理カップを準備する工程と、前記処理カップの内部に前記基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板を鉛直姿勢に保持する基板保持工程と、基板の周縁部を、エッチング槽に溜められたエッチング液に浸漬させながら当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させる基板回転工程と、前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し当該基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて、当該吹き付け位置に対し前記処理カップの内壁と反対側から気体を吹き付ける気体吹き付け工程と、前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部における前記吹き付け位置に対し当該基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に、当該基板の主面に沿いかつ前記水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流を形成する気流形成工程とを含む、基板処理方法である。
請求項21に記載の発明は、基板の周縁部にエッチング処理を施す基板処理方法であって、処理チャンバの内部に収容された処理カップを準備する工程と、前記処理カップの内部に前記基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板を鉛直姿勢に保持する基板保持工程と、基板の周縁部を、エッチング槽に溜められたエッチング液に浸漬させながら当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させる基板回転工程と、前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し当該基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて、当該吹き付け位置に対し前記処理カップの内壁と反対側から気体を吹き付ける気体吹き付け工程と、前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部における前記吹き付け位置に対し当該基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に、当該基板の主面に沿いかつ前記水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流を形成する気流形成工程とを含む、基板処理方法である。
この方法によれば、処理カップの内部に基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板が鉛直姿勢に保持される。エッチング槽に溜められたエッチング液に基板の周縁部を浸漬させながら水平軸線回りに基板を回転させることにより、基板の周縁部にエッチング液を塗布することができ、これにより、基板の周縁部にエッチング処理を施すことができる。基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置の直ぐ下流側の部分でリンス処理を行わないので、基板の周縁部において大きなエッチング量を確保することが可能である。
また、基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて、当該吹き付け位置に対し処理カップの内壁と反対側から気体が吹き付けられる。これにより、基板の周縁部からエッチング液を除去できる。そのため、基板におけるエッチング液の液垂れを抑制または防止することができ、また、基板の周縁部の各所に均一なエッチング処理を施すことができる。
また、基板の少なくとも一部分が処理カップに収容されており、かつ基板の周縁部に対し処理カップの内壁と反対側から気体を吹き付けるので、気体の吹き付けに伴って基板の周縁部から飛散するエッチング液を処理カップによって良好に捕獲できる。処理チャンバの隔壁に付着したエッチング液は、基板の汚染を生じさせるおそれがあるが、そのような、エッチング液の隔壁への付着を未然に抑制または防止できる。
ところが、基板の周縁部への気体の吹き付けに伴って、基板の周縁部における吹き付け位置の周囲に、エッチング液のミストが発生する。発生したエッチング液のミストが、内壁で跳ね返って、基板Wの周縁部における吹き付け位置に対し基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に漂うと、エッチング液除去後の基板の周縁部に付着し、汚染の原因になるおそれがある。エッチング液除去後の基板の周縁部に付着し、汚染の原因になるおそれがある。
この方法では、下流側領域の周囲に、基板の主面に沿いかつ水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流が形成される。そのため、発生したエッチング液のミストは気流によって第1の横方向に向けて促され、下流側に近づくことが抑制される。これにより、エッチング液除去後の基板の周縁部に、エッチング液のミストが付着することを抑制または防止できる。ゆえに、エッチング液のミストの付着に起因するパーティクルの発生を抑制または防止できる。
これにより、基板の周縁部を良好にエッチング処理できる。
以下では、この発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
<一実施形態>
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置1に備えられた処理ユニット2の内部を水平方向に見た模式図である。図2は、図1を、切断面線II−IIから見た図である。図3Bは、基板Wの周縁部50への気体の吹き付けを説明するための断面図である。図4は、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aを、処理チャンバ3の内側から見た図である。
<一実施形態>
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置1に備えられた処理ユニット2の内部を水平方向に見た模式図である。図2は、図1を、切断面線II−IIから見た図である。図3Bは、基板Wの周縁部50への気体の吹き付けを説明するための断面図である。図4は、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aを、処理チャンバ3の内側から見た図である。
基板処理装置1は、半導体ウエハなどの円板状の基板Wの周縁部を一枚ずつエッチング処理する枚葉式の装置(ベベルエッチング装置)である。基板処理装置1は、処理ユニット2を備えている。処理ユニット2は、基板Wを鉛直姿勢に保持しながら基板Wの周縁部50を、エッチング液を含む処理液、および処理ガスを用いてエッチング処理する、いわゆる縦置きタイプのベベルエッチング装置である。この実施形態において、基板Wの周縁部50とは、基板Wの表面(デバイス形成側の主面。一方主面)の周縁領域51(図3B参照)、基板Wの裏面(デバイス非形成側の主面。他方主面)の周縁領域52(図3B参照)、および基板Wの周端面53を含む部分をいう。周縁領域51,52とは、たとえば、基板Wの周端縁からコンマ数ミリ〜数ミリメートル程度の幅を有する環状の領域をいう。
処理ユニット2は、内部空間を有する箱形の処理チャンバ3と、処理チャンバ3の内部空間に収容され、基板Wを鉛直姿勢に保持しながら、所定の水平軸線C回りに基板Wを回転させる基板保持回転ユニット4と、エッチング液が溜められたエッチング槽5と、基板Wの周縁部50に向けて気体を吹き付ける気体吹き付けユニット6と、処理チャンバ3の内部空間において、基板保持回転ユニット4によって保持されている基板Wの大部分(少なくとも一部)を収容する処理カップ7と、処理チャンバ3の内部空間に気流を形成する気流形成ユニット8とを含む。
処理ユニット2は、複数(たとえば5枚)の基板Wに対し、ベベルエッチング処理を同時に施す処理ユニットである。図1および図2の例では、1つの処理ユニット2に、基板保持回転ユニット4および気体吹き付けユニット6が基板Wの枚数に相当する数だけ設けられている(図2では、気体吹き付けユニット6の図示を省略している)。
処理チャンバ3は、天面9b、底面および4つの側面(第2の水平方向D4側の側面9a)を含む箱状の隔壁9を含む。
処理チャンバ3は、天面9b、底面および4つの側面(第2の水平方向D4側の側面9a)を含む箱状の隔壁9を含む。
複数の基板保持回転ユニット4は、前後方向に沿って一列に並んで配置されている。 各基板保持回転ユニット4は、真空吸着式のチャック(吸着保持ユニット)である。各基板保持回転ユニット4は、鉛直姿勢の基板Wの裏面の中央部を吸着して保持する円板状の吸着ベース10と、吸着ベース10を回転可能に支持する支持アーム11と、吸着ベース10に結合されて、吸着ベース10を、その中心を通る水平な回転軸線(水平軸線)C回りに回転させる基板回転ユニット12と、吸着ベース10を昇降させるベース昇降ユニット13とを含む。真空吸着式の基板保持回転ユニット4は、基板Wの保持力が極めて高く、そのため、基板Wを高速(たとえば後述するスピンドライ速度)で回転させることも可能である。図2の例では、各基板保持回転ユニット4に保持された状態で、各基板Wの回転軸線Cは互いに一致している。
吸着ベース10は、基板Wの外径よりも小さな外径を有する水平な円形の吸着面10aを含む。基板Wの裏面の中央部が吸着ベース10に吸着保持された状態において、基板Wの周縁部50が、吸着ベース10の周端縁よりも外側にはみ出ている。基板回転ユニット12が回転駆動されることにより、回転軸線C回りに基板Wが回転される。基板回転ユニット12は、たとえばスピンモータである。
ベース昇降ユニット13は、支持アーム11に結合されている。ベース昇降ユニット13は、ボールねじおよびモータを含む構成を用いて構成される。ベース昇降ユニット13は、支持アーム11を昇降して、基板Wを鉛直姿勢のまま昇降する。ベース昇降ユニット13は、支持アーム11を昇降することにより、下位置(図7Aおよび図7B参照)と上位置(図7C参照)との間で、鉛直姿勢のまま基板Wを昇降する。
以下の説明では、吸着ベース10に保持されている基板Wの表面が対向する方向を前方D1とし、吸着ベース10に保持されている基板Wの裏面が対向する方向を後方D2として説明する。また、基板Wの主面(表面または裏面)に沿う水平方向として、第1の水平方向D3(第1の横方向)と、その逆の第2の水平方向D4とが存在するが、第1の水平方向D3が、図1および図2に示す左方向であり、第2の水平方向D4が、図1および図2に示す右方向である。
エッチング槽5は、基板保持回転ユニット4に保持されている基板Wの下方に配置されている。エッチング槽5は、たとえば上方が開放した有底箱状である。1つのエッチング槽5に溜められる処理液(エッチング液またはリンス液)には、複数の基板保持回転ユニット4に保持されている複数枚の基板Wが一括して浸漬される。
エッチング槽5には、エッチング液配管15が接続されている。エッチング液配管15には、図示しないエッチング供給源からのエッチング液が供給されるようになっている。エッチング液配管15には、エッチング液配管15を開閉するためのエッチング液バルブ16が介装されている。エッチング液バルブ16が開かれると、エッチング液配管15からエッチング槽5にエッチング液が供給される。エッチング液バルブ16が閉じられることにより、エッチング槽5へのエッチング液の供給が停止される。
エッチング槽5には、エッチング液配管15が接続されている。エッチング液配管15には、図示しないエッチング供給源からのエッチング液が供給されるようになっている。エッチング液配管15には、エッチング液配管15を開閉するためのエッチング液バルブ16が介装されている。エッチング液バルブ16が開かれると、エッチング液配管15からエッチング槽5にエッチング液が供給される。エッチング液バルブ16が閉じられることにより、エッチング槽5へのエッチング液の供給が停止される。
エッチング槽5に溜められるエッチング液(すなわち、ベベルエッチング処理に用いられるエッチング液)として、この実施形態では、SC1(アンモニア過酸化水素水混合液:ammonia−hydrogen peroxide mixture)を用いる。しかし、SC1に代えて、HF(ふっ酸)、SC2(塩酸過酸化水素水:hydrochloric acid/hydrogen peroxide mixture)、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)などをエッチング液として用いることもできる。
図1に示すように、エッチング槽5には、循環配管17の上流端17aおよび下流端17bの双方が接続されている。循環配管17には、エッチング槽5に溜められているエッチング液を循環配管17の内部に送り出すための送液ポンプ18と、循環配管17を循環するエッチング液を加熱して、当該エッチングの温度を所望の高温まで昇温させるためのヒータ19と、循環配管17を循環するエッチング液中の異物を除去するフィルタ20とが、上流側からこの順で介装されている。循環配管17には、送液ポンプ18の上流側において、排液配管21が分岐接続されている。排液配管21の途中部には、排液配管21を開閉するための排液バルブ22が介装されている。排液配管21の下流端は、所定の処理液設備に接続されている。
この実施形態では、エッチング槽5にリンス液を溜めることができる。エッチング槽5には、リンス液配管23が接続されている。リンス液配管23には、図示しないリンス液供給源からのリンス液が供給されるようになっている。リンス液配管23には、リンス液配管23を開閉するためのリンス液バルブ24が介装されている。リンス液バルブ24が開かれると、リンス液配管23からエッチング槽5にリンス液が供給される。リンス液バルブ24が閉じられることにより、エッチング槽5へのリンス液の供給が停止される。リンス液は、たとえば脱イオン水(DIW)であるが、DIWに限らず、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水および希釈濃度(たとえば、10ppm〜100ppm程度)の塩酸水のいずれかであってもよい。エッチング槽5に、エッチング液ではなくリンス液を溜めることにより、エッチング槽5をリンス槽として機能させることができる。
エッチング槽5が空の状態において、排液バルブ22が閉じられ、かつエッチング液バルブ16が開かれることにより、エッチング槽5にエッチング液が溜められる。エッチング槽5に溜められているエッチング液の液面高さが予め定める基準高さに達するとエッチング液バルブ16が閉じられ、エッチング槽5へのエッチング液の供給が停止される。
エッチング槽5にエッチング液が溜められている状態で、送液ポンプ18が駆動されると、エッチング槽5から循環配管17に送られたエッチング液が、循環配管17を循環してエッチング槽5に戻る。そのため、エッチング液が、エッチング槽5が循環配管を循環し続ける。これにより、エッチング槽5に溜められているエッチング液が予め定める高温に昇温し、その昇温後は、その高温に維持される。すなわち、エッチング槽5に溜められているエッチング液の液温を、所望の高温に精度良く維持できる。
エッチング槽5にエッチング液が溜められている状態で、送液ポンプ18が駆動されると、エッチング槽5から循環配管17に送られたエッチング液が、循環配管17を循環してエッチング槽5に戻る。そのため、エッチング液が、エッチング槽5が循環配管を循環し続ける。これにより、エッチング槽5に溜められているエッチング液が予め定める高温に昇温し、その昇温後は、その高温に維持される。すなわち、エッチング槽5に溜められているエッチング液の液温を、所望の高温に精度良く維持できる。
エッチング槽5に溜められているエッチング液の液面高さが基準高さに達している状態において、基板保持回転ユニット4によって保持されている基板Wの周縁部50がエッチング液に浸漬する。エッチング液への基板Wの周縁部50の浸漬深さが、ベベルエッチング処理におけるエッチング幅を規定するので、エッチング液の液面高さは基準高さに高精度に制御されている。
送液ポンプ18の駆動が停止している状態で、排液バルブ22が開かれることにより、エッチング槽5に溜められているエッチング液、および循環配管17の内部のエッチング液が、排液配管21を介して機外に排出される。
また、エッチング槽5が空の状態において、排液バルブ22が閉じられ、かつリンス液バルブ24が開かれることにより、エッチング槽5にリンス液が溜められる。エッチング槽5に溜められているリンス液の液面高さが基準高さに達するとリンス液バルブ24が閉じられ、エッチング槽5へのリンス液の供給が停止される。エッチング槽5に溜められているリンス液の液面高さが基準高さに達している状態において、基板保持回転ユニット4によって保持されている基板Wの周縁部50がリンス液に浸漬する。
また、エッチング槽5が空の状態において、排液バルブ22が閉じられ、かつリンス液バルブ24が開かれることにより、エッチング槽5にリンス液が溜められる。エッチング槽5に溜められているリンス液の液面高さが基準高さに達するとリンス液バルブ24が閉じられ、エッチング槽5へのリンス液の供給が停止される。エッチング槽5に溜められているリンス液の液面高さが基準高さに達している状態において、基板保持回転ユニット4によって保持されている基板Wの周縁部50がリンス液に浸漬する。
送液ポンプ18の駆動が停止している状態で、排液バルブ22が開かれることにより、エッチング槽5に溜められているリンス液が、排液配管21を介して機外に排出される。
各気体吹き付けユニット6は、対応する基板保持回転ユニット4に保持されている基板Wの周縁部50のうち吹き付け位置P2に向けて不活性ガス(たとえばN2)等の気体を吹き付ける(ブローする)気体ノズルを含む。気体吹き付け位置P2は、基板Wの周縁部50の浸漬位置P1に対し基板Wの回転方向Dr(以下、単に「回転方向Dr」という)の下流側に間隔を隔てた位置に設定されている。図1の例では、気体吹き付け位置P2を、基板Wの最下位置(すなわち浸漬位置P1)に対し回転方向Drの下流側に約60°隔てた位置に設定しているが、気体吹き付け位置P2の周方向位置は、基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)から微小角度(たとえば約5°)隔てた位置P3から、最下位置(すなわち浸漬位置P1)に対し回転方向Drの下流側に約90°隔てた位置P4までの範囲において適宜設定可能である。
各気体吹き付けユニット6は、対応する基板保持回転ユニット4に保持されている基板Wの周縁部50のうち吹き付け位置P2に向けて不活性ガス(たとえばN2)等の気体を吹き付ける(ブローする)気体ノズルを含む。気体吹き付け位置P2は、基板Wの周縁部50の浸漬位置P1に対し基板Wの回転方向Dr(以下、単に「回転方向Dr」という)の下流側に間隔を隔てた位置に設定されている。図1の例では、気体吹き付け位置P2を、基板Wの最下位置(すなわち浸漬位置P1)に対し回転方向Drの下流側に約60°隔てた位置に設定しているが、気体吹き付け位置P2の周方向位置は、基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)から微小角度(たとえば約5°)隔てた位置P3から、最下位置(すなわち浸漬位置P1)に対し回転方向Drの下流側に約90°隔てた位置P4までの範囲において適宜設定可能である。
気体ノズルは、図3Bに示すように、基板Wの表面側から基板Wの周縁部50に向けて(より具体的には、基板Wの表面の周縁領域51に向けて)気体を吹き付ける第1の気体ノズル(第1の気体吐出ユニット)25aと、基板Wの裏面側から基板Wの周縁部50に向けて(より具体的には、基板Wの裏面の周縁領域52に向けて)気体を吹き付ける第2の気体ノズル(第2の気体吐出ユニット)25bとを含む。
各気体吹き付けユニット6は、図1に示すように、各気体ノズル(気体ノズル25a,25b)に接続された気体配管26(図3B参照)と、気体配管26に介装されて、気体配管26から気体ノズル25a,25bへの気体の供給および供給停止を切り換える気体バルブ27(図3B参照)とを含む。第1の気体ノズル25a、気体配管26および気体バルブ27が、第1の気体吹き付けユニットに含まれる。第2の気体ノズル25b、気体配管26および気体バルブ27が、第2の気体吹き付けユニットに含まれる。
第1および第2の気体ノズル25a,25bは、その吐出口を基板Wの周縁部50の気体吹き付け位置P2に向けて、気体吹き付け位置P2に対し基板Wの回転半径方向における内側に配置されている。これにより、第1および第2の気体ノズル25a,25bから吹き付けられる気体が、側面視(前面視または背面視)において、基板Wの回転半径方向に沿ってその内側から外側に向かう。
第1の気体ノズル25aからの気体の吐出方向は、鉛直方向DVに対して基板Wの周縁部50の方へ傾けられている。すなわち、気体吹き付け位置P2は、水平方向に関して第1の気体ノズル25aの吐出口よりも基板Wの周縁部50側に配置されており、第1の気体ノズル25aからの気体の吐出方向は、基板Wの表面に対して傾いている。第1の気体ノズル25aからの気体の吐出方向と、基板Wの表面とがなす角度(入射角度)θ1(図3B参照)は、たとえば、約5°〜約90°の範囲内に設定されており、より好ましくは、図3Bに示すように約45°に設定されている。
第2の気体ノズル25bからの気体の吐出方向は、鉛直方向DVに対して基板Wの周縁部50の方へ傾けられている。すなわち、気体吹き付け位置P2は、水平方向に関して第2の気体ノズル25bの吐出口よりも基板Wの周縁部50側に配置されており、第2の気体ノズル25bからの気体の吐出方向は、基板Wの裏面に対して傾いている。第2の気体ノズル25bからの気体の吐出方向と、基板Wの裏面とがなす角度(入射角度)θ2(図3B参照)は、たとえば、約5°〜約90°の範囲内に設定されており、より好ましくは、図3Bに示すように約45°に設定されている。
基板保持回転ユニット4によって回転されている基板Wの周縁部50に対して、回転半径方向の内側から気体が吹き付けられる。そのため、基板Wの周縁部50に付着しているエッチング液を、エッチング残渣ごと基板W外に排出できる。ゆえに、基板Wの周縁部50からエッチング液を良好に除去できる。
また、基板Wの周縁部50に向けて、基板Wの表面側と基板Wの裏面側との双方から気体を吹き付けるため、基板Wの表面の周縁領域51、および基板Wの裏面の周縁領域52の双方からエッチング液を良好に除去できる。
また、基板Wの周縁部50に向けて、基板Wの表面側と基板Wの裏面側との双方から気体を吹き付けるため、基板Wの表面の周縁領域51、および基板Wの裏面の周縁領域52の双方からエッチング液を良好に除去できる。
処理カップ7は、複数の基板保持回転ユニット4に対し、前方D1、後方D2および第1の水平方向D3を取り囲み、かつ第2の水平方向D4が開放された箱状をなしている。図1に示すように、処理カップ7は、複数の基板保持回転ユニット4に保持されている各基板Wの大部分を収容している。
処理カップ7は、内壁31を有している。内壁31は、底壁32と、底壁32の、第1の水平方向D3側の端縁から上方に向けて立ち上がる側壁33とを含む。底壁32および側壁33は、たとえば耐薬性を有する樹脂材料を用いて一体に形成されている。
処理カップ7は、内壁31を有している。内壁31は、底壁32と、底壁32の、第1の水平方向D3側の端縁から上方に向けて立ち上がる側壁33とを含む。底壁32および側壁33は、たとえば耐薬性を有する樹脂材料を用いて一体に形成されている。
図2に示すように、側壁33の水平方向に沿う断面形状が、第1の水平方向D3に向けて間隔が狭くなるようなV字状をなしている。すなわち、側壁33の第1の内面33aは屈曲面であり、第1の水平方向D3に向けて間隔が狭くなるようなV字面である。第1の内面33aの、第1の水平方向D3の最奥部分には、上下に延びる直線状の第1の底端縁34が形成されている。
底壁32は、第2の水平方向D4に向かうに従って下方に傾斜する傾斜状をなしている。底壁32の、第2の水平方向D4側の端部が、エッチング槽5の上方に位置している。底壁32は、鉛直方向に沿う断面形状が下方に向けて間隔が狭くなるようなV字状をなしている。すなわち、底壁32の第2の内面32aは屈曲面であり、下方に向けて間隔が狭くなるようなV字面である。底壁32の第2の内面32aの最下位部分には、左右に延びる第2の底端縁(最下部)35が形成されている。第2の底端縁35は第1の底端縁34に連続している。第2の底端縁35は、水平面に対して傾斜している。図1は、処理カップ7を、第1の底端縁34および第2の底端縁35を通る鉛直面で切断した状態を示している。
気流形成ユニット8は、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aから処理チャンバ3の内部空間に清浄空気を送る送風ユニットとしてのFFU(ファン・フィルタ・ユニット。給気ユニット)36と、処理カップ7の側壁33に形成された排気口37とを含む。
FFU36は隔壁9の右方に配置されており、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aに取り付けられている。FFU36は、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aから処理チャンバ3の内部空間に清浄空気を送る。
FFU36は隔壁9の右方に配置されており、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aに取り付けられている。FFU36は、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aから処理チャンバ3の内部空間に清浄空気を送る。
隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aには、図1および図4に示すように、基板Wの搬入または搬出のための搬出入口46が形成されている。隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aには、搬出入口46を開閉するためのシャッタ47が設けられている。シャッタ47は、搬出入口46を覆う閉位置(図1および図4でそれぞれ実線および破線で図示)と、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおける搬出入口46の下方部に退避して、搬出入口46を開放する開状態(図1および図4で二点鎖線で図示)との間で昇降可能に設けられている。シャッタ47が閉状態にあるときは、処理チャンバ3の内部空間が、その外側の空間と遮断される。シャッタ47には、シャッタ47を開位置と閉位置との間で昇降させるためのシャッタ昇降ユニット48が結合されている。シャッタ昇降ユニット48はたとえばシリンダを含む。処理チャンバ3の外側には、搬出入口46を通して処理チャンバ3内にハンドをアクセスさせ、基板Wを搬出入するための基板搬送装置(図示しない)が配置されている。
隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aには、FFU36が、シャッタ47が配置される領域の周囲および搬出入口46の周囲を取り囲むように設けられている。具体的には、図4に示すように、側面視矩形状の複数(たとえば4つ)のFFUモジュール36aを、シャッタ47が配置される領域の周囲および搬出入口46の周囲を取り囲むように並べている。これにより、FFU36を、搬出入口46が形成されるのと同じ第2の水平方向D4側の側面9aに良好に設けることができる。しかも、このようなレイアウトとすることで、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおけるFFU36の配置面積を、最大限に確保することが可能である。
図1に示すように、排気口37は、V字面からなる第1の内面33aの最奥部分に形成されている。また、排気口37は、側壁33(第1の内面33a)の上端部分に設けられている。排気口37には、排気口37に接続された排気ダクト38を介して排気装置39が接続されている。排気装置39は、処理カップ7の、第1の水平方向D3側の最奥部分から、処理カップ7の内部を吸引する。FFU36および排気口37(排気装置39)により、処理カップ7の内部に、第2の水平方向D4から第1の水平方向D3に向けて横方向に流れる気流FLが形成される。
また、FFU36および排気口37が、左右方向(第1の横方向に沿う方向)に基板Wを挟んでいるので、FFU36によって処理チャンバ3の内部空間に気体を供給し、かつ処理チャンバ3の内部空間の雰囲気を排気口37から排気することにより、処理チャンバ3の内部空間に、第1の水平方向D3に向かう気流FLを形成できる。
また、側壁33の第1の内面33aのV字面のうち最奥部分に排気口37が配置される。そのため、処理カップ7の内部における、第1の水平方向D3の端部において、排気口37に向かう気流を安定して形成できる。これにより、処理カップ7の内部に、円滑に流れる気流を形成できる。
また、側壁33の第1の内面33aのV字面のうち最奥部分に排気口37が配置される。そのため、処理カップ7の内部における、第1の水平方向D3の端部において、排気口37に向かう気流を安定して形成できる。これにより、処理カップ7の内部に、円滑に流れる気流を形成できる。
処理チャンバ3の内部空間における処理カップ7の外方には、排気口37とは別にチャンバ排気口40が形成されている。チャンバ排気口40には、排気ダクト(図示しない)を介して排気装置(図示しない)が接続されている。図2の例では、この排気装置は、排気装置39とは別個の装置であるが、排気装置39が共通して使用されていてもよい。排気口37とは別にチャンバ排気口40を設けるので、処理カップ7の内部だけでなく、処理チャンバ3の内部における処理カップ7の外方に存在するエッチング液のミストを、処理チャンバ3の内部から良好に排除できる。
処理ユニット2は、さらに、基板搬送装置(図示しない)と、基板保持回転ユニット4との間で、基板Wを受け渡す受け渡し装置41を含む。基板搬送装置から基板Wを受け取り、かつ受け取った基板Wの姿勢を変更して、受け渡し装置41は、処理チャンバ3の内部空間で基板Wを支持する支持部42と、支持部42に保持されている基板Wの姿勢を水平姿勢と鉛直姿勢(吸着ベース10の吸着面10aに沿う鉛直姿勢)との間で変化させる姿勢変更装置43と、支持部42を水平方向および/または鉛直方向に移動させる移動装置44とを含む。受け渡し装置41は、処理ユニット2によって処理される基板Wの枚数に相当する数だけ設けられている。受け渡し装置41は、基板保持回転ユニット4に一対一対応で設けられている。図示の関係上、図2において、受け渡し装置41の図示を省略している。
支持部42が基板Wを水平姿勢に保持できる姿勢にあり、かつ支持部42が搬出入口46に対し第1の水平方向D3に対向している状態で、基板搬送装置(図示しない)から支持部42に、水平姿勢の基板Wが引き渡される。
支持部42が受け取った基板Wは、吸着ベース10へ引き渡される。具体的には、移動装置44が、支持部42に保持されている基板Wを、対応する基板保持回転ユニット4の直上位置(図1に二点鎖線で示す位置)まで水平移動させる。当該直上位置への到達後、姿勢変更装置43が、支持部42に保持されている基板Wの姿勢を、水平姿勢から鉛直姿勢へと姿勢変更させる。その後、移動装置44が、支持部42を下降させ、吸着ベース10の吸着面10aに対向する位置まで基板Wを下降させる。この状態で、吸着ベース10の吸着面10aが吸引されることにより、基板のWの裏面が吸着ベース10によって吸着保持され、支持部42から吸着ベース10に、鉛直姿勢の基板Wが引き渡される。
支持部42が受け取った基板Wは、吸着ベース10へ引き渡される。具体的には、移動装置44が、支持部42に保持されている基板Wを、対応する基板保持回転ユニット4の直上位置(図1に二点鎖線で示す位置)まで水平移動させる。当該直上位置への到達後、姿勢変更装置43が、支持部42に保持されている基板Wの姿勢を、水平姿勢から鉛直姿勢へと姿勢変更させる。その後、移動装置44が、支持部42を下降させ、吸着ベース10の吸着面10aに対向する位置まで基板Wを下降させる。この状態で、吸着ベース10の吸着面10aが吸引されることにより、基板のWの裏面が吸着ベース10によって吸着保持され、支持部42から吸着ベース10に、鉛直姿勢の基板Wが引き渡される。
一方、支持部42が基板Wを鉛直姿勢に保持できる姿勢にあり、かつ支持部42が吸着ベース10の吸着面10aに対向している状態で、吸着面10aの吸引を解除し、かつ支持部42が基板Wを支持することにより、支持部42から吸着ベース10に、鉛直姿勢の基板Wが引き渡される。
移動装置44によって基板Wが上昇された後、姿勢変更装置43が、支持部42に保持されている基板Wの姿勢を、鉛直姿勢から水平姿勢へと姿勢変更させる。その後、移動装置44が、支持部42に保持されている基板Wを、搬出入口46に対し第1の水平方向D3に対向する位置まで水平移動させる。この状態で、基板搬送装置(図示しない)のハンドが基板Wに対してアクセスすることにより、基板搬送装置に、水平姿勢の基板Wが引き渡される。
移動装置44によって基板Wが上昇された後、姿勢変更装置43が、支持部42に保持されている基板Wの姿勢を、鉛直姿勢から水平姿勢へと姿勢変更させる。その後、移動装置44が、支持部42に保持されている基板Wを、搬出入口46に対し第1の水平方向D3に対向する位置まで水平移動させる。この状態で、基板搬送装置(図示しない)のハンドが基板Wに対してアクセスすることにより、基板搬送装置に、水平姿勢の基板Wが引き渡される。
図5は、基板処理装置1の主要部の電気的構成を説明するためのブロック図である。
基板処理装置1は、マイクロコンピュータからなる制御装置100を備えている。制御装置100は、予め定められたプログラムに従って、基板回転ユニット12、ベース昇降ユニット13、FFU36、排気装置39、姿勢変更装置43、移動装置44、シャッタ昇降ユニット48等の動作を制御する。さらに、制御装置100は、エッチング液バルブ16、排液バルブ22、リンス液バルブ24、気体バルブ27の開閉動作を制御する。
基板処理装置1は、マイクロコンピュータからなる制御装置100を備えている。制御装置100は、予め定められたプログラムに従って、基板回転ユニット12、ベース昇降ユニット13、FFU36、排気装置39、姿勢変更装置43、移動装置44、シャッタ昇降ユニット48等の動作を制御する。さらに、制御装置100は、エッチング液バルブ16、排液バルブ22、リンス液バルブ24、気体バルブ27の開閉動作を制御する。
図6は、処理ユニット2において実行されるベベルエッチング処理例の内容を説明するための流れ図である。図7A〜7Cは、このベベルエッチング処理例を説明するための模式図である。
このベベルエッチング処理例について、図1〜図6を参照しながら説明する。図7A〜7Cは適宜参照する。
このベベルエッチング処理例について、図1〜図6を参照しながら説明する。図7A〜7Cは適宜参照する。
前述のように、FFU36は常時稼働しており、また、排気口37及びチャンバ排気口40からの吸引も常時行われている。そのため、処理チャンバ3の内部空間への基板Wの搬入前において、処理チャンバ3の内部空間、とくに処理カップ7の内部に、左方に向かう気流FLが形成されている。
ベベルエッチング処理の開始前において、エッチング槽5にエッチング液が溜められており、その液面高さは予め定める基準液面高さにある。また、エッチング槽5に溜められているエッチング液(たとえばSC1)の液温が、予め定める高温(約60℃〜約80℃の範囲内の、予め定める温度)に維持されている。
ベベルエッチング処理の開始前において、エッチング槽5にエッチング液が溜められており、その液面高さは予め定める基準液面高さにある。また、エッチング槽5に溜められているエッチング液(たとえばSC1)の液温が、予め定める高温(約60℃〜約80℃の範囲内の、予め定める温度)に維持されている。
ベベルエッチング処理の開始に際して、シャッタ47が閉位置から開位置に移動され、搬出入口46が開放する。未処理状態の複数枚(たとえば5枚の)の基板Wが処理チャンバ3の内部空間に搬入され(図6のS1:基板W搬入)、受け渡し装置41を介して、基板保持回転ユニット4の吸着ベース10に受け渡される。
具体的には、基板搬送装置(図示しない)によって水平姿勢の基板Wが、1枚ずつ受け渡し装置41に引き渡される。また、各受け渡し装置41が、受け取った基板Wを鉛直姿勢に姿勢変更し、かつ基板保持回転ユニット4の吸着ベース10の吸着面10aに対向する位置まで移動させる。その後、吸着ベース10に基板Wが引き渡され、吸着ベース10の吸着面10aに基板Wが保持される。
具体的には、基板搬送装置(図示しない)によって水平姿勢の基板Wが、1枚ずつ受け渡し装置41に引き渡される。また、各受け渡し装置41が、受け取った基板Wを鉛直姿勢に姿勢変更し、かつ基板保持回転ユニット4の吸着ベース10の吸着面10aに対向する位置まで移動させる。その後、吸着ベース10に基板Wが引き渡され、吸着ベース10の吸着面10aに基板Wが保持される。
搬入対象の全ての基板Wが搬入されて、基板搬送装置が処理チャンバ3外に退避させられた後、シャッタ47によって搬出入口46が閉じられる。
シャッタ47の閉塞後、制御装置100は、エッチング工程を実行する(図6のS3)。具体的には、制御装置100は、ベース昇降ユニット13を制御して、各基板保持回転ユニット4の吸着ベース10を下位置(図7Cに示す位置)まで下降させる。吸着ベース10の下位置は、吸着ベース10によって保持されている基板Wの最下位置が、エッチング槽5において基準液面高さに溜められているエッチング液に、予め定めるエッチング幅に相当する深さだけ浸漬するような位置である。そのため、図7Aに示すように、各基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)が、エッチング槽5に溜められているエッチング液に浸漬される。これにより、各基板Wの周縁部50にエッチング液が塗布され、各基板Wの周縁部50がエッチングされる。すなわち、複数枚の基板Wの周縁部50に対し、エッチング工程が同時に施される。
シャッタ47の閉塞後、制御装置100は、エッチング工程を実行する(図6のS3)。具体的には、制御装置100は、ベース昇降ユニット13を制御して、各基板保持回転ユニット4の吸着ベース10を下位置(図7Cに示す位置)まで下降させる。吸着ベース10の下位置は、吸着ベース10によって保持されている基板Wの最下位置が、エッチング槽5において基準液面高さに溜められているエッチング液に、予め定めるエッチング幅に相当する深さだけ浸漬するような位置である。そのため、図7Aに示すように、各基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)が、エッチング槽5に溜められているエッチング液に浸漬される。これにより、各基板Wの周縁部50にエッチング液が塗布され、各基板Wの周縁部50がエッチングされる。すなわち、複数枚の基板Wの周縁部50に対し、エッチング工程が同時に施される。
また、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して、基板Wの回転を開始させる。基板Wの回転が予め定めるエッチング処理速度(たとえば約1rpm〜約1000rpmの範囲で、より好ましくは約500rpm)に達した以降は、そのエッチング処理速度に維持される。
特許文献1のように、水平姿勢の基板を、鉛直軸線回りに回転させる横置きタイプの基板処理装置では、基板の周縁部に供給した処理液(エッチング液)が基板の中央部に向けて移動するのを防止するため、比較的高回転速度で基板を回転させる必要がある。しかし、この実施形態のように、縦置きタイプの基板処理装置1では、そのような問題が発生しない。そのため、基板Wの回転速度の設定の自由度が高くなり、基板Wの回転速度(エッチング処理速度)を比較的低速に設けることも可能である。
特許文献1のように、水平姿勢の基板を、鉛直軸線回りに回転させる横置きタイプの基板処理装置では、基板の周縁部に供給した処理液(エッチング液)が基板の中央部に向けて移動するのを防止するため、比較的高回転速度で基板を回転させる必要がある。しかし、この実施形態のように、縦置きタイプの基板処理装置1では、そのような問題が発生しない。そのため、基板Wの回転速度の設定の自由度が高くなり、基板Wの回転速度(エッチング処理速度)を比較的低速に設けることも可能である。
エッチング工程において、表面の周縁領域51、裏面の周縁領域52および周端面53を含む基板Wの周縁部50が、エッチング槽5に溜められているエッチング液に浸漬される。そのため、表面の周縁領域51に接液するエッチング液の量と、裏面の周縁領域52に接液するエッチング液の量とを等しくすることができる。これにより、周縁領域51,周縁領域52に対するエッチング工程における、表裏面の均一性を高めることができる。
また、エッチング工程において、循環配管17にエッチング液を循環させることにより、所望の高温に良好に温度制御されたエッチング液を、エッチング槽5に溜めておくことができる。これにより、所望の高温に良好に温度制御されたエッチング液を用いて、基板Wの周縁部50をエッチングすることができる。
基板Wの回転開始に並行して、また、制御装置100は、気体バルブ27を開いて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口から、各基板Wの周縁部50の吹き付け位置P2に向けて、気体を吹き付ける。このときの吹き付け流量は、たとえば8(リットル/分)である。各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けにより、各基板Wの周縁部50に塗布されているエッチング液が吹き飛ばされ、各基板Wの周縁部50から除去される。
基板Wの回転開始に並行して、また、制御装置100は、気体バルブ27を開いて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口から、各基板Wの周縁部50の吹き付け位置P2に向けて、気体を吹き付ける。このときの吹き付け流量は、たとえば8(リットル/分)である。各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けにより、各基板Wの周縁部50に塗布されているエッチング液が吹き飛ばされ、各基板Wの周縁部50から除去される。
各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けによって、基板Wの周縁部50に塗布されていたエッチング液が気体の供給側と反対側に向けて飛散する。前述のように、気体吹き付け位置P2の周方向位置が、基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)から微小角度(たとえば約5°)回転方向Drに隔てた位置P3から、最下位置(すなわち浸漬位置P1)に対し回転方向Drの下流側に約90°隔てた位置P4までの範囲内で適宜設定されている。また、気体吹き付け位置P2に対し、気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口と反対側には、側壁33の第1の内面33aまたは底壁32の第2の内面32aが存在している。そのため、基板Wの周縁部50から飛散するエッチング液が、側壁33の第1の内面33aまたは底壁32の第2の内面32aによって捕獲される。
第1の内面33aまたは第2の内面32aによって捕獲されたエッチング液は、底面の第2の内面32aの第2の底端縁35に集められる。こうして集められたエッチング液が、傾斜状の第2の底端縁35を伝って、自重によってエッチング槽5へと案内される。すなわち、捕獲されたエッチング液をエッチング槽5にダイレクトに帰還させることができ、これにより、基板Wの周縁部50のエッチングに用いられたエッチング液を、エッチング槽5が良好に回収できる。
また、各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けに伴って、基板Wの周縁部50における吹き付け位置P2の周囲に、エッチング液のミストMが発生する。発生したエッチング液のミストMが、内壁31で跳ね返って、各基板Wの周縁部50における吹き付け位置P2に対し回転方向Drの下流側の下流側領域P5(以下、単に「下流側領域P5」という)の周囲に漂うと、エッチング液除去後の各基板Wの周縁部50や表面、裏面に付着し、汚染の原因になるおそれがある。下流側領域P5とは、基板Wの周縁部50における吹き付け位置P2に対し回転方向Drの下流側の領域であって、吹き付け位置P2と基板Wの周縁部50の最上位置P6との間の少なくとも一部分の領域をいう。
しかしながら、このベベルエッチング処理では、処理の開始から、処理チャンバ3の内部空間、とくに処理カップ7の内部に、左方に向かう気流FLが形成されている。このような気流FLは、下流側領域P5の周囲にも形成されている。下流側領域P5の周囲における、気流FLの向かう方向は、基板Wの主面(表裏面)に沿いかつ、下流側領域P5において基板Wから離反するような方向である第1の水平方向D3である。そのため、発生したエッチング液のミストMは気流FLによって第1の水平方向D3に向けて促され、下流側領域P5に近づくことが抑制される。
また、側壁33の第1の内面33aがV字面をなしているので、第1の内面33aの奥行きを、第1の水平方向D3に広げることができるので、側壁33の第1の内面33aにおけるエッチング液の跳ね返りを、より効果的に抑制できる。
予め定める周回数だけ、各基板Wが回転させられた後、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して、各基板Wの回転を停止させる。また、制御装置100は、ベース昇降ユニット13を制御して、各吸着ベース10を上位置(図7Cに示す位置)まで上昇させる。これにより、基板Wの周縁部50がエッチング液への浸漬状態から退避する。 また、制御装置100は、気体バルブ27を閉じて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口からの気体の吐出を停止する。
予め定める周回数だけ、各基板Wが回転させられた後、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して、各基板Wの回転を停止させる。また、制御装置100は、ベース昇降ユニット13を制御して、各吸着ベース10を上位置(図7Cに示す位置)まで上昇させる。これにより、基板Wの周縁部50がエッチング液への浸漬状態から退避する。 また、制御装置100は、気体バルブ27を閉じて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口からの気体の吐出を停止する。
その後、制御装置100は、排液バルブ22を開く。これにより、エッチング槽5および循環配管17からエッチング液が抜かれる。エッチング槽5が空になった後、制御装置100は、排液バルブ22を閉じながらリンス液バルブ24を開いて、エッチング槽5にリンス液を供給する。これにより、エッチング槽5にリンス液が溜められ、エッチング液がリンス槽として機能するようになる。
次いで、制御装置100はリンス工程を実行する(図6のS4)。具体的には、制御装置100は、各ベース昇降ユニット13を制御して、図7Bに示すように、各基板保持回転ユニット4の吸着ベース10を下位置まで下降させる。そのため、各基板Wの周縁部50の最下位置(すなわち浸漬位置P1)が、エッチング槽5に溜められているリンス液に浸漬される。これにより、基板Wの周縁部50に付着しているエッチング液が洗い流される。すなわち、複数枚の基板Wの周縁部50に対し、リンス工程が同時に施される。
また、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して、基板Wの回転を開始させる。基板Wの回転が予め定めるリンス処理速度(たとえば約1rpm〜約1000rpmの範囲で、より好ましくは約10rpm)に達した以降は、そのリンス処理速度に維持される。
また、制御装置100は、気体バルブ27を開いて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口から、各基板Wの周縁部50の吹き付け位置P2に向けて、気体を吹き付ける。このときの吹き付け流量は、たとえば8(リットル/分)である。各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けにより、各基板Wの周縁部50に付着しているリンス液が吹き飛ばされ、各基板Wの周縁部50から除去される。
また、制御装置100は、気体バルブ27を開いて、各気体ノズル(第1および第2の気体ノズル25a,25b)の吐出口から、各基板Wの周縁部50の吹き付け位置P2に向けて、気体を吹き付ける。このときの吹き付け流量は、たとえば8(リットル/分)である。各基板Wの周縁部50への気体の吹き付けにより、各基板Wの周縁部50に付着しているリンス液が吹き飛ばされ、各基板Wの周縁部50から除去される。
予め定める周回数だけ、各基板Wが回転させられた後、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して各基板Wの回転を停止させる。また、制御装置100は、ベース昇降ユニット13を制御して、各吸着ベース10を上位置まで上昇させる。これにより、基板Wの周縁部50がリンス液への浸漬状態から退避する。
次いで、制御装置100は乾燥処理を実行する(図6のS5)。具体的には、制御装置100は、各基板保持回転ユニット4の吸着ベース10を上位置に維持しながら、各基板Wの回転を加速し、基板Wの回転速度を、エッチング工程(S3)またはリンス工程(S4)よりも高速のスピンドライ速度(たとえば約2500rpm)まで上昇させ、その後そのスピンドライ速度で維持させる。これにより、各基板Wの周縁部50に付着しているリンス液が振り切られて、基板Wの周縁部50が乾燥させられる。すなわち、複数枚の基板Wの周縁部50に対し、乾燥処理が同時に施される。
次いで、制御装置100は乾燥処理を実行する(図6のS5)。具体的には、制御装置100は、各基板保持回転ユニット4の吸着ベース10を上位置に維持しながら、各基板Wの回転を加速し、基板Wの回転速度を、エッチング工程(S3)またはリンス工程(S4)よりも高速のスピンドライ速度(たとえば約2500rpm)まで上昇させ、その後そのスピンドライ速度で維持させる。これにより、各基板Wの周縁部50に付着しているリンス液が振り切られて、基板Wの周縁部50が乾燥させられる。すなわち、複数枚の基板Wの周縁部50に対し、乾燥処理が同時に施される。
乾燥工程(S5)の開始から予め定める期間が経過すると、制御装置100は、基板回転ユニット12を制御して各基板保持回転ユニット4の回転(すなわち、基板Wの回転)を停止させる。
その後、ベベルエッチング処理済みの複数枚の基板Wが、受け渡し装置41を介して、基板搬送装置(図示しない)によって処理チャンバ3の外に搬出される(図6のS6)。具体的には、各受け渡し装置41が、対応する基板保持回転ユニット4から基板Wを受け取る。各受け渡し装置41は、受け取った基板Wを水平姿勢に姿勢変更し、かつ搬出入口46に対し第1の水平方向D3に対向する位置まで移動させる。その後、基板搬送装置によって、処理チャンバ3の外に基板Wが搬出される。
その後、ベベルエッチング処理済みの複数枚の基板Wが、受け渡し装置41を介して、基板搬送装置(図示しない)によって処理チャンバ3の外に搬出される(図6のS6)。具体的には、各受け渡し装置41が、対応する基板保持回転ユニット4から基板Wを受け取る。各受け渡し装置41は、受け取った基板Wを水平姿勢に姿勢変更し、かつ搬出入口46に対し第1の水平方向D3に対向する位置まで移動させる。その後、基板搬送装置によって、処理チャンバ3の外に基板Wが搬出される。
以上によりこの実施形態によれば、処理カップ7の内部に基板Wが収容された状態で、基板Wが鉛直姿勢に保持される。エッチング槽5に溜められたエッチング液に基板Wの周縁部50を浸漬させながら水平な回転軸線C回りに基板Wを回転させることにより、基板Wの周縁部50にエッチング液を塗布することができ、これにより、基板Wの周縁部50をエッチングすることができる。基板Wの周縁部50におけるエッチング液への浸漬位置P1の直ぐ下流側の部分でリンス処理を行わないので、基板Wの周縁部50において大きなエッチング量を確保することが可能である。
また、基板Wの周縁部50におけるエッチング液への浸漬位置P1に対し回転方向Drの下流側に設定された吹き付け位置P2に向けて、吹き付け位置P2に対し処理カップ7の内壁31と反対側から気体が吹き付けられる。これにより、基板Wの周縁部50からエッチング液を除去できる。そのため、基板Wにおけるエッチング液の液垂れを抑制または防止することができ、また、基板Wの周縁部50の各所に均一なエッチング処理を施すことができる。
また、基板Wが処理カップ7に収容されており、かつ基板Wの周縁部50に対し処理カップ7の内壁31と反対側から気体を吹き付けるので、気体の吹き付けに伴って基板Wの周縁部50から飛散するエッチング液を処理カップ7によって良好に捕獲できる。処理チャンバ3の隔壁9に付着したエッチング液は、基板Wの汚染を生じさせるおそれがあるが、そのような、エッチング液の隔壁9への付着を未然に抑制または防止できる。
ところが、基板Wの周縁部50への気体の吹き付けに伴って、基板Wの周縁部50における吹き付け位置P2の周囲に、エッチング液のミストMが発生する。発生したエッチング液のミストMが、内壁31で跳ね返って、基板Wの周縁部50の下流側領域P5の周囲に漂うと、エッチング液除去後の基板Wの周縁部50に付着し、汚染の原因になるおそれがある。
この実施形態では、下流側領域P5の周囲に第1の水平方向D3に向かう気流FLが形成される。そのため、発生したエッチング液のミストMは気流FLによって第1の水平方向D3に向けて促され、下流側領域P5に近づくことが抑制される。ゆえに、エッチング液除去後の基板Wの周縁部50に、エッチング液のミストMが付着することを抑制または防止できる。これにより、エッチング液のミストMの付着に起因するパーティクルの発生を抑制または防止できる。
これにより、基板Wの周縁部50を良好にエッチング処理できる。
また、処理チャンバ3の内部空間に、複数の基板保持回転ユニット4が収容されている。基板保持回転ユニット4が基板Wを鉛直姿勢で保持するので、各基板保持回転ユニット4を、前後方向(回転軸線Cに沿う方向)に小型化できる。しかも、複数の基板保持回転ユニット4が前後方向(回転軸線Cに沿う方向)に並んでいるので、処理チャンバ3の全体が大型化する必要がない。そのため、処理チャンバ3が大型化することなく、処理チャンバ3の内部に複数の基板保持回転ユニット4を収容できる。これにより、スループットの向上を図ることができる。
また、処理チャンバ3の内部空間に、複数の基板保持回転ユニット4が収容されている。基板保持回転ユニット4が基板Wを鉛直姿勢で保持するので、各基板保持回転ユニット4を、前後方向(回転軸線Cに沿う方向)に小型化できる。しかも、複数の基板保持回転ユニット4が前後方向(回転軸線Cに沿う方向)に並んでいるので、処理チャンバ3の全体が大型化する必要がない。そのため、処理チャンバ3が大型化することなく、処理チャンバ3の内部に複数の基板保持回転ユニット4を収容できる。これにより、スループットの向上を図ることができる。
また、エッチング処理の際には、リンス液バルブ24を閉じながらエッチング液バルブ16を開く。これにより、エッチング槽5にエッチング液が供給され、エッチング槽5にエッチング液が溜められる。また、リンス工程の際には、エッチング液バルブ16を閉じながらリンス液バルブ24を開く。これにより、エッチング槽5にリンス液が供給され、エッチング槽5にリンス液が溜められる。すなわち、エッチング工程(S3)およびリンス工程(S4)の双方を、共通のエッチング槽5を使用しながら、基板Wの周縁部50に施すことができる。これにより、リンス槽を別途設ける必要がなく、装置の簡素化を図ることができる。
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は、他の形態で実施することもできる。
<FFU36(給気ユニット)および排気口37についての変形例>
隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおいて、図8に示すように、FFU36が、搬出入口46の上方に設けられ、かつ搬出入口46の前後の側方には設けられていない構成であってもよい。
<FFU36(給気ユニット)および排気口37についての変形例>
隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおいて、図8に示すように、FFU36が、搬出入口46の上方に設けられ、かつ搬出入口46の前後の側方には設けられていない構成であってもよい。
また、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおいて、図9に示すように、FFU36が、搬出入口46の下方に設けられ、かつ搬出入口46の前後の側方には設けられていない構成であってもよい。
図8および図9の変形例によっても、FFU36を、搬出入口46が形成されるのと同じ第2の水平方向D4側の側面9aに良好に設けることができる。しかも、このようなレイアウトとすることで、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおけるFFU36の配置面積を、最大限に確保することが可能である。
図8および図9の変形例によっても、FFU36を、搬出入口46が形成されるのと同じ第2の水平方向D4側の側面9aに良好に設けることができる。しかも、このようなレイアウトとすることで、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aにおけるFFU36の配置面積を、最大限に確保することが可能である。
また、図9の変形例では、下流側領域P5の周囲における気流FLの向かう方向が、水平面に対して傾斜する方向である。すなわち、下流側領域P5の周囲における気流FLの向かう方向が、基板Wの主面(表裏面)に沿いかつ、下流側領域P5において基板Wから離反するような方向である第1の傾斜方向D31である。
また、図9の例に限られず、前記の実施形態において、本実施形態において、下流側領域P5の周囲における気流FLの向かう方向が、水平面に対して傾斜していてもよい。
また、図9の例に限られず、前記の実施形態において、本実施形態において、下流側領域P5の周囲における気流FLの向かう方向が、水平面に対して傾斜していてもよい。
さらに、隔壁9の天面9bに搬出入口46が形成されている場合には、図10に示すように、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aの中央部を含む領域に、FFU36が設けられてもよい。
図10の変形例によれば、FFU36を、搬出入口46が形成される面とは異なる面に設けるので、隔壁9に対するFFU36の配置レイアウトに自由度を持たせることができる。したがって、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aの中央部を含む領域に、FFU36を設けることができ、これにより、処理チャンバ3の内部空間に水平方向に沿う気流を、容易に形成できる。
図10の変形例によれば、FFU36を、搬出入口46が形成される面とは異なる面に設けるので、隔壁9に対するFFU36の配置レイアウトに自由度を持たせることができる。したがって、隔壁9の、第2の水平方向D4側の側面9aの中央部を含む領域に、FFU36を設けることができ、これにより、処理チャンバ3の内部空間に水平方向に沿う気流を、容易に形成できる。
また、給気ユニットの一例としてFFU36を示したが、FFU36に限られず、その他の給気構造を給気ユニットとして設けることができる。
さらには、排気装置39と排気口37とがあり、加えて給気口があれば、給気ユニットを省略しても、処理チャンバ3の内部空間に気流を形成することができる。
また、排気口37が、処理カップ7の内壁31(側壁33)に開口しておらず、処理チャンバ3の内部空間における、処理カップ7の上方(好ましくは、側壁33の上方)で開口していてもよい。
さらには、排気装置39と排気口37とがあり、加えて給気口があれば、給気ユニットを省略しても、処理チャンバ3の内部空間に気流を形成することができる。
また、排気口37が、処理カップ7の内壁31(側壁33)に開口しておらず、処理チャンバ3の内部空間における、処理カップ7の上方(好ましくは、側壁33の上方)で開口していてもよい。
また、排気口37が、側壁33(第1の内面33a)の上端部分以外の領域、すなわち、第1の内面33aの上下方向の中央部や、下端部に設けられていてもよい。
<処理カップ7についての変形例>
また、前述の説明において、側壁33の第1の内面33aがV字面からなるとしたが、側壁33の第1の内面33aはこの面形状に限られず、たとえば平坦面からなってもよい。
<処理カップ7についての変形例>
また、前述の説明において、側壁33の第1の内面33aがV字面からなるとしたが、側壁33の第1の内面33aはこの面形状に限られず、たとえば平坦面からなってもよい。
また、前述の説明において、底壁32の第2の内面32aがV字面からなるとしたが、底壁32の第2の内面32aはこの面形状に限られず、たとえば平坦面からなってもよい。
また、図11に示すように、処理カップ7が、下カップのみならず、上カップ71をも備える構成であってもよい。
<気体吹き付けユニット6についての変形例>
気体吹き付けユニット6(第1および第2の気体ノズル25a,25b)が、基板Wの周縁部50に設定された吹き付け位置P2に対し、基板Wの回転半径方向の内側からではなく、図12に示すように、基板Wの回転半径方向に対して交差する方向(水平方向)に気体を吹き付けるものであってもよい。
また、図11に示すように、処理カップ7が、下カップのみならず、上カップ71をも備える構成であってもよい。
<気体吹き付けユニット6についての変形例>
気体吹き付けユニット6(第1および第2の気体ノズル25a,25b)が、基板Wの周縁部50に設定された吹き付け位置P2に対し、基板Wの回転半径方向の内側からではなく、図12に示すように、基板Wの回転半径方向に対して交差する方向(水平方向)に気体を吹き付けるものであってもよい。
また、気体吹き付けユニット6によって吹き付けられる不活性ガスとして、N2を例に挙げたが、その他、ヘリウムやアルゴンを不活性ガスとして用いることもできる。また、気体吹き付けユニット6によって吹き付けられる気体は、不活性ガスに限られず、空気等を用いることもできる。
<エッチング槽5についての変形例>
図13に示すように、エッチング槽5の上面に、当該上面全域を覆う蓋201を設け、この蓋201に、基板Wの周縁部50が通過して、当該周縁部50をエッチング液に浸漬させるためのスリット202が形成されていてもよい。この場合、図13に示すように、処理カップ7の内壁31に捕獲されたエッチング液が帰還するための帰還穴203が蓋201に形成されていてもよい。
<リンス槽についての変形例>
エッチング槽5とは別に、リンス槽301を設けてもよい。そして、リンス工程において、リンスすなわち、リンス槽301に溜められたリンス液に基板Wの周縁部50を浸漬させながら基板を回転させることにより、基板Wの周縁部50にリンス処理が施される。
<エッチング槽5についての変形例>
図13に示すように、エッチング槽5の上面に、当該上面全域を覆う蓋201を設け、この蓋201に、基板Wの周縁部50が通過して、当該周縁部50をエッチング液に浸漬させるためのスリット202が形成されていてもよい。この場合、図13に示すように、処理カップ7の内壁31に捕獲されたエッチング液が帰還するための帰還穴203が蓋201に形成されていてもよい。
<リンス槽についての変形例>
エッチング槽5とは別に、リンス槽301を設けてもよい。そして、リンス工程において、リンスすなわち、リンス槽301に溜められたリンス液に基板Wの周縁部50を浸漬させながら基板を回転させることにより、基板Wの周縁部50にリンス処理が施される。
この場合、図14および図15に示すように、たとえば、エッチング槽5の第2の水平方向D4側に隣接して、リンス槽301が設けられる。このとき、基板Wの周縁部50の浸漬先を、エッチング槽5とリンス槽301との間で切り換えるためには、図14(a)および図14(b)に示すように、基板Wの位置を動かさずに、エッチング槽5およびリンス槽301を動かしてもよいし、図15(a)および図15(b)に示すように、エッチング槽5およびリンス槽301を動かさずに、基板Wの位置を動かしてもよい。
<基板保持回転ユニット4についての変形例>
図16に示すように、基板保持回転ユニット4に代えて、水平軸線C回りに基板Wを回転可能に保持する保持ユニット402と、基板Wの周縁部50に接触するローラ403とを含む基板保持回転ユニット401が採用されていてもよい。保持ユニット402は、水平方向に移動可能な1対のガイド402a,402bを含む。各ガイド402a,402b、基板Wの外周に整合する円弧状部のガイド面404aを有している。ガイド面404aを基板Wの外周に接触させることにより、保持ユニット402は、基板Wを、水平軸線Cまわりに回転可能に保持している。
<基板保持回転ユニット4についての変形例>
図16に示すように、基板保持回転ユニット4に代えて、水平軸線C回りに基板Wを回転可能に保持する保持ユニット402と、基板Wの周縁部50に接触するローラ403とを含む基板保持回転ユニット401が採用されていてもよい。保持ユニット402は、水平方向に移動可能な1対のガイド402a,402bを含む。各ガイド402a,402b、基板Wの外周に整合する円弧状部のガイド面404aを有している。ガイド面404aを基板Wの外周に接触させることにより、保持ユニット402は、基板Wを、水平軸線Cまわりに回転可能に保持している。
基板保持回転ユニット401には、複数(たとえば2個の)ローラ403が設けられている。各ローラ403は、その中心を通る回転軸線回りに回転可能に設けられている。各ローラ403が基板Wの周縁部50に接触している状態で、ローラ403を回転させることにより、基板Wが回転させられる。
基板保持回転ユニット401は、各ローラ403を回転するための駆動ユニット405を備えている。駆動ユニット405は、ベルトやモータを含む構成である。複数のローラ403と駆動ユニット405とはユニット化されている。
基板保持回転ユニット401は、各ローラ403を回転するための駆動ユニット405を備えている。駆動ユニット405は、ベルトやモータを含む構成である。複数のローラ403と駆動ユニット405とはユニット化されている。
保持ユニット402に基板Wが保持されている状態で、複数のローラ403および駆動ユニット405が降下して、複数のローラ403が基板Wの周縁部50に接触する。そして、ローラ403が回転することにより、基板Wが回転する。エッチング工程(図6のS3)では、基板Wの周縁部50がエッチング槽5のエッチング液に浸漬されている状態で、基板Wが回転され、これにより、基板Wの周縁部50がエッチングされる。
基板Wの周縁部50に対するエッチング処理では、スピンチャック(基板保持回転ユニット4)に対して基板Wが偏芯していると、基板Wの回転角度に応じて、基板Wの周端と回転軸線(水平軸線C)との距離が変化する。この場合、基板Wの周縁部50におけるエッチング幅の均一性を高くに保つことができない。
この変形例によれば、保持ユニット402によって基板Wが鉛直姿勢に保持されている状態で、基板Wの芯出しを行うことができる。換言すると、基板Wが、偏芯することなく、保持ユニット402によって支持されている。これにより、基板Wの周縁部50におけるエッチング幅の均一性を高くに保つことができる。
<その他の変形例>
前述の実施形態において、1つのエッチング槽5に溜められるエッチング液に、複数の基板保持回転ユニット4に保持されている複数枚の基板Wが一括して浸漬されるとして説明したが、エッチング槽5が基板Wに一対一対応で設けられ、1つのエッチング槽5に1つの基板Wが浸漬されるようになっていてもよい。
この変形例によれば、保持ユニット402によって基板Wが鉛直姿勢に保持されている状態で、基板Wの芯出しを行うことができる。換言すると、基板Wが、偏芯することなく、保持ユニット402によって支持されている。これにより、基板Wの周縁部50におけるエッチング幅の均一性を高くに保つことができる。
<その他の変形例>
前述の実施形態において、1つのエッチング槽5に溜められるエッチング液に、複数の基板保持回転ユニット4に保持されている複数枚の基板Wが一括して浸漬されるとして説明したが、エッチング槽5が基板Wに一対一対応で設けられ、1つのエッチング槽5に1つの基板Wが浸漬されるようになっていてもよい。
また、処理チャンバ3の内部空間に複数枚に基板Wが収容される例を説明したが、処理チャンバ3の内部空間に基板Wが1枚だけ収容される構成であってもよい。
また、前述の実施形態において、基板処理装置1が半導体ウエハからなる基板Wの表面を処理する装置である場合について説明したが、基板処理装置が、液晶表示装置用基板、有機EL(electroluminescence)表示装置などのFPD(Flat Panel Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板を処理する装置であってもよい。
また、前述の実施形態において、基板処理装置1が半導体ウエハからなる基板Wの表面を処理する装置である場合について説明したが、基板処理装置が、液晶表示装置用基板、有機EL(electroluminescence)表示装置などのFPD(Flat Panel Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板を処理する装置であってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 :基板処理装置
3 :処理チャンバ
4 :基板保持回転ユニット
5 :エッチング槽
6 :気体吹き付けユニット
7 :処理カップ
8 :気流形成ユニット
9 :隔壁
9a :側面
9b :天面
15 :エッチング液配管
16 :エッチング液バルブ
17 :循環配管
17a :上流端
17b :下流端
23 :リンス液配管
24 :リンス液バルブ
25a :第1の気体ノズル(第1の気体吹き付けユニット)
25b :第2の気体ノズル(第2の気体吹き付けユニット)
26 :気体配管(第1の気体吹き付けユニット、第2の気体吹き付けユニット)
27 :気体バルブ(第1の気体吹き付けユニット、第2の気体吹き付けユニット)
31 :内壁
32 :底壁
32a :第2の内面
33 :側壁
33a :第1の内面
37 :排気口
40 :チャンバ排気口
46 :搬出入口
50 :周縁部
C :回転軸線(水平軸線)
D3 :第1の水平方向(第1の横方向)
36 :FFU(給気ユニット)
P1 :浸漬位置
P2 :吹き付け位置
P5 :下流側領域
W :基板
3 :処理チャンバ
4 :基板保持回転ユニット
5 :エッチング槽
6 :気体吹き付けユニット
7 :処理カップ
8 :気流形成ユニット
9 :隔壁
9a :側面
9b :天面
15 :エッチング液配管
16 :エッチング液バルブ
17 :循環配管
17a :上流端
17b :下流端
23 :リンス液配管
24 :リンス液バルブ
25a :第1の気体ノズル(第1の気体吹き付けユニット)
25b :第2の気体ノズル(第2の気体吹き付けユニット)
26 :気体配管(第1の気体吹き付けユニット、第2の気体吹き付けユニット)
27 :気体バルブ(第1の気体吹き付けユニット、第2の気体吹き付けユニット)
31 :内壁
32 :底壁
32a :第2の内面
33 :側壁
33a :第1の内面
37 :排気口
40 :チャンバ排気口
46 :搬出入口
50 :周縁部
C :回転軸線(水平軸線)
D3 :第1の水平方向(第1の横方向)
36 :FFU(給気ユニット)
P1 :浸漬位置
P2 :吹き付け位置
P5 :下流側領域
W :基板
Claims (21)
- 基板の周縁部にエッチング処理を施す基板処理装置であって、
処理チャンバと、
前記処理チャンバの内部に収容され、基板を鉛直姿勢に保持しながら、当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させる基板保持回転ユニットと、
エッチング液が溜められたエッチング槽であって、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部をエッチング液に浸漬させることにより、基板の周縁部に前記エッチング処理を施すエッチング槽と、
前記処理チャンバの内部における、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し当該基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて気体を吹き付ける気体吹き付けユニットと、
前記吹き付け位置に対向し、前記吹き付け位置への気体の吹き付けによって飛散するエッチング液を捕獲する内壁を有し、前記処理チャンバの内部において、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板の少なくとも一部を収容する処理カップと、
前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の周縁部における前記吹き付け位置に対し当該基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に、当該基板の主面に沿いかつ前記水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流を形成する気流形成ユニットとを含む、基板処理装置。 - 前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板に対して前記第1の横方向の側に配置された排気口を有する、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板を、前記排気口との間で、前記第1の横方向に沿う方向に挟むように配置された給気ユニットをさらに含む、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記処理チャンバが、箱状の隔壁を有し、
前記隔壁が、天面と、複数の側面とを有し、
基板を搬出入するための搬出入口が、前記天面または前記給気ユニットが設けられた側面とは異なる側面に形成されている、請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記処理チャンバが、箱状の隔壁を有し、
前記隔壁が、複数の側面を有し、
前記給気ユニットが、基板を搬出入するための搬出入口が形成される側面と同じ側面に、前記搬出入口の周囲を取り囲むように設けられている、請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記処理チャンバが、複数の側面を有し、
前記給気ユニットが、基板を搬出入するための搬出入口が形成される側面と同じ側面に、前記搬出入口の上方または下方に設けられている、請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記処理チャンバの内部における前記処理カップの外方には、前記排気口とは別にチャンバ排気口が形成されている、請求項2〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記内壁が、傾斜状をなし、捕獲したエッチング液を前記エッチング槽に向けて案内する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記内壁が、側壁と底壁とを有し、
前記側壁が、第1の内面を有し、
前記第1の内面が、前記第1の横方向に向かうに従って間隔が狭くなるようなV字面をなしている、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記気流形成ユニットが、前記基板保持回転ユニットによって保持されている基板に対して前記第1の横方向の側に配置された排気口を有し、
前記排気口が、V字面をなす前記第1の内面の最奥部分に配置されている、請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記底壁が、第2の内面を有し、
前記第2の内面が、前記第1の内面に連なり、かつ下方に向かうに従って間隔が狭くなるようなV字面を含む、請求項9または10に記載の基板処理装置。 - 前記処理チャンバの内部において、複数の前記基板保持回転ユニットが、当該基板保持回転ユニットに保持される基板の主面に沿って並んで配置されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記気体吹き付けユニットが、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の一方主面側から前記吹き付け位置に向けて気体を吐出する第1の気体吹き付けユニットと、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の他方主面側から前記吹き付け位置に向けて気体を吐出する第2の気体吹き付けユニットとを含む、請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記気体吹き付けユニットが、前記基板保持回転ユニットによって回転させられている基板の回転半径方向の内側から前記吹き付け位置に対して気体を吹き付けるユニットを含む、請求項13に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持回転ユニットが、基板の中央部を吸着により保持する吸着保持ユニットを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持回転ユニットが、前記水平軸線回りに基板を回転可能に保持する保持ユニットと、前記保持ユニットによって保持されている基板の周縁部に接触して、当該基板を回転させるローラとを含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記エッチング槽には、循環配管の一端および他端が接続されており、前記循環配管には、前記循環配管を流れるエッチング液を加熱するためのヒータが介装されている、請求項1〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記エッチング槽には、エッチング液供給源からのエッチング液がエッチング液バルブを介して供給され、かつリンス液供給源からのリンス液がリンス液バルブを介して供給される、請求項17に記載の基板処理装置。
- リンス液が溜められたリンス槽であって、前記基板の周縁部をリンス液に浸漬させながら当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させることにより、前記基板の周縁部にリンス処理を施すリンス槽をさらに含む、請求項1〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持回転ユニットに保持されている基板を昇降させる昇降させる基板昇降ユニットをさらに含み、
基板昇降ユニットが、基板の周縁部が前記リンス液に浸漬可能な下位置から、基板の周縁部が前記リンス液に浸漬しない上位置まで退避させた状態で、前記基板保持回転ユニットが前記基板を回転させることにより、当該基板の周縁部に乾燥処理が施される、請求項18または19に記載の基板処理装置。 - 基板の周縁部にエッチング処理を施す基板処理方法であって、
処理チャンバの内部に収容された処理カップを準備する工程と、
前記処理カップの内部に前記基板の少なくとも一部が収容された状態で、基板を鉛直姿勢に保持する基板保持工程と、
基板の周縁部を、エッチング槽に溜められたエッチング液に浸漬させながら当該基板の中央部を通る水平軸線回りに当該基板を回転させる基板回転工程と、
前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部におけるエッチング液への浸漬位置に対し当該基板の回転方向の下流側に設定された吹き付け位置に向けて、当該吹き付け位置に対し前記処理カップの内壁と反対側から気体を吹き付ける気体吹き付け工程と、
前記水平軸線回りに回転させられている基板の周縁部における前記吹き付け位置に対し当該基板の回転方向の下流側の下流側領域の周囲に、当該基板の主面に沿いかつ前記水平軸線から離反するような第1の横方向に向かう気流を形成する気流形成工程とを含む、基板処理方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004348A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 株式会社Screenホールディングス | センタリング装置、センタリング方法および基板処理装置 |
-
2018
- 2018-01-15 JP JP2018004530A patent/JP2019125659A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004348A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 株式会社Screenホールディングス | センタリング装置、センタリング方法および基板処理装置 |
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