TW201351489A - 分流裝置 - Google Patents

Abstract

一種分流裝置，包括一桶槽及設於桶槽內的一固定座及一內分流環，桶槽的底壁具有一第一開口及環繞第一開口且相隔離的一第一流道及一第二流道；固定座設於桶槽之底壁並封閉第一開口；內分流環具有由一底壁上下分隔的一上容置空間及一下容置空間；該底壁位於桶槽的第一流道及第二流道上方，並具有一第二開口以及複數與該第二流道對應的導流孔，內分流環的第二開口與固定座相套接，上容置空間可經由底壁之該等導流孔與桶槽之第二流道相連通；且內分流環的第二開口與固定座分離，會使下容置空間與桶槽的第一流道相連通。

Description

分流裝置

本發明是有關於一種分流裝置，特別是指一種使兩種不同液體可以分開收集的分流裝置。

晶片清洗是晶片製程中的一個必要程序，其主要去除噴灑在晶片表面的顯影劑或光阻剝離劑，使晶片表面的圖形能經由顯影或光阻剝離製程而顯現出來，讓晶片的功能得以發揮並維持良好的穩定性。

例如圖1所示，在習知的一晶片蝕刻製程中，經過光阻覆蓋及曝光之後的一晶片90被放置在一顯影機台的顯影槽91內，並固定在一旋轉器92的一載盤93上。然後一噴嘴94將顯影液噴灑於晶片90表面，使顯影液與晶片90上經曝光之光阻層產生化學反應以顯影，當顯影完成後，旋轉器92帶動晶片90旋轉，並且另一噴嘴95將清洗溶液，例如去離子水噴灑於晶片90表面，使將晶片90表面的顯影液沖洗乾淨，而噴灑於顯影槽91內的顯影液與清洗溶液則會經由同一出口96收集於一廢水集中槽(圖未示)，再進行廢水處理以避免環境污染。然而此種做法不但使顯影液無法被回收再利用，而無法減少顯影液的用量及採購費用，更重要的是微量的顯影液混合大量的去離子水後，這大量的混合液體均被視為已污染化學液體，須特別進行化學廢棄物處理，成本十分高昂，導致晶片製造成本無法有效降低。

因此，本發明之目的，即在提供一種可讓有機物與無機物分流回收再利用，以降低有機物回收成本並減少環境污染的分流裝置。

為達到上述目的，本發明的分流裝置包括一桶槽、一固定座及一內分流環。

該桶槽具有一底壁及環繞該底壁周緣的側壁，該底壁具有位於中央的一第一開口，以及環繞該第一開口且相隔離的一第一流道及一第二流道；該固定座設於該桶槽之底壁並封閉該第一開口；該內分流環可相對該桶槽縱向位移地置於該桶槽內，並具有一底壁，一由底壁周緣向上環繞形成的上周壁，以及一由底壁周緣向下環繞形成的下周壁，而由該底壁和該上周壁共同形成一上容置空間，以及由該底壁和該下周壁共同形成一下容置空間；該底壁位於該桶槽的第一流道及第二流道上方，並具有一位於中央的第二開口，以及複數與該第二流道對應的導流孔； 藉此，當該內分流環的底壁的第二開口與該固定座相套接而密合時，會阻隔該上容置空間和該下容置空間，且該下周壁置入該第一流道中，使得該上容置空間經由該底壁之該等導流孔與該桶槽之第二流道相連通；而當該內分流環的底壁的第二開口與該固定座分離時，該內分流環的下周壁會阻隔該下容置空間與該桶槽之第二流道，並使該下容置空間與該桶槽之第一流道相連通。

較佳地，該內分流環的該等導流孔是分佈在該內分流 環的底壁周緣，且該第二開口與該等導流孔之間具有一斜面，使得該第二開口高於該等導流孔。

較佳地，該第一開口與該第一流道之間是以一第一環形隔板相間隔，且該第一流道與該第二流道之間是以一第二環形隔板相間隔。

較佳地，該固定座的上端具有一圓形端部，且該內分流環的底壁的第二開口是與該固定座的圓形端部套接而相密合。

較佳地，該固定座還具有由其底面周緣向下延伸形成的一環形周壁，該環形周壁套設在該桶槽的底壁的該第一環形隔板的外面並與該第一環形隔板緊配合，而將該固定座固定在該桶槽的底壁的第一開口上方。

較佳地，該分流裝置還包括一環形蓋板以及一第一驅動件，該環形蓋板固定在該內分流環的上周壁上緣，該第一驅動件與該環形蓋板連接，並透過該環形蓋板驅動該內分流環相對該桶槽縱向位移。

較佳地，該分流裝置還包括一設於該固定座的中央的升降機構，其包含一可縱向位移地穿設於該固定座中央的活動桿，一驅動桿以及設於該桶槽的底壁下方的一第二驅動件及一第三驅動件，該活動桿的頂端外露於該固定座外並形成一承載面，該驅動桿的一上端部與該活動桿的一下半部相套接，且該驅動桿的一下端部穿出該桶槽的底壁外並與該第二驅動件連接，該第二驅動件透過該驅動桿驅動該活動桿旋轉，且該第三驅動件與該第二驅動件連接，並 透過該第二驅動件驅動該活動桿相對該固定座縱向位移。

本發明藉由在桶槽的底壁形成第一流道及第二流道，並於內分流環內形成上容置空間及下容置空間，使得內分流環與固定在桶槽的底壁的固定座分離時，下容置空間會與第一流道相連通並阻隔第二流道，讓灑落在下容置空間中的液體可以經由第一流道排出，並在內分流環與固定在桶槽的底壁的固定座相套接而密合時，阻隔上容置空間與下容置空間，並使上容置空間經由該等導流孔與第二流道相連通，使得灑落在上容置空間的液體可以經由第二流道排出，達到本發明分流的功效和目的。

有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

參見圖2至圖4所示，本發明分流裝置的一較佳實施例包括一設置於一平面100的桶槽1，一設置於桶槽1內的固定座2及一設置於桶槽1內並可相對桶槽1縱向(上下)位移的內分流環3。

桶槽1呈圓桶狀，並具有一底壁10及環繞底壁10周緣的側壁11，底壁10具有位於中央的一第一開口12，以及環繞第一開口12外圍且相間隔的一第一流道14及一第二流道15。其中第一開口12與第一流道14之間是以一第一環形隔板13相間隔，且第一流道14與第二流道15之間是以一第二環形隔板16相間隔。

固定座2設於桶槽1的底壁10並封閉第一開口12。且如圖4所示，固定座2的縱切面概呈一上窄下寬的梯形，且其上端形成具有一定高度及相同寬度的一圓形端部21。固定座2還具有由其底面周緣向下延伸形成的一環形周壁22，且該環形周壁22套設在桶槽1底壁10的第一環形隔板13外面並與第一環形隔板13緊配合，使得固定座2固定在桶槽1底壁10的第一開口12上方。

內分流環3具有一底壁31，一由底壁31的周緣向上環繞形成的上周壁32，以及一由底壁31的底面向下環繞形成的下周壁33，而由底壁31和上周壁32共同形成一上容置空間34，以及由底壁31和下周壁33共同形成一下容置空間35。且底壁31位於該桶槽1的第一流道14及第二流道15上方，並具有一位於中央且與固定座2的圓形端部21相配合的第二開口36，以及複數對應第二流道15的導流孔37。且第二開口36與該等導流孔37之間具有一斜面38，使得第二開口36高於該等導流孔37。

藉此，如圖4所示，當內分流環3置於桶槽1內時，其底壁31之第二開口36會與固定座2的圓形端部21套接而相密合，而阻隔了上容置空間34和下容置空間35，且其下周壁33置入第一流道14中，並使得上容置空間34經由底壁31之該等導流孔37與桶槽1之第二流道15相連通；且如圖5所示，當內分流環3上移至使底壁31的第二開口36離開固定座2的圓形端部21時，上容置空間34與下容置空間35經由第二開口36相連通，且內分流環3的下周壁33 上升至與第二環形隔板16頂端大約等高位置，而阻隔了下容置空間35與桶槽1底壁10上的第二流道15，並使下容置空間35與桶槽1底壁10上的第一流道14相連通。

此外，為了讓內分流環3可以在桶槽1內縱向位移，如圖2至圖4所示，本實施例還包括一覆蓋於桶槽1上方的環形蓋板4及一與環形蓋板4連結的第一驅動件5。

環形蓋板4具有一外(直)徑與桶槽1的外(直)徑相當的頂板部41以及一位於頂板部41下方，且外(直)徑與內分流環3的上端的內(直)徑相當的底板部42。藉此，環形蓋板4覆蓋在桶槽1上方時，頂板部41蓋合在桶槽1的側壁11的上緣並與側壁11的周緣齊平，且底板部42與內分流環3的上周壁32的內面相嵌合，使環形蓋板4定位，再藉由螺絲(圖未示)將環形蓋板4鎖固在內分流環3上。

第一驅動件5設在桶槽1的一側，並包括一與環形蓋板4連接的弧形臂51以及一驅動弧形臂51縱向位移的驅動單元52，藉此，驅動單元52可透過驅動弧形臂51帶動固定在環形蓋板4的內分流環3相對桶槽1縱向位移。

而且當本實施例分流裝置是應用在晶片的的蝕刻顯影製程時，如圖2、圖4及圖5所示，分流裝置還包括一設於固定座2的中央的升降機構6，其包含一可縱向位移地穿設於固定座2中央的活動桿61，一驅動桿62以及設於桶槽1的底壁10下方(即平面100下方)的第二驅動件63及第三驅動件64。活動桿61的頂端外露於固定座2外並形成一供承載晶片(圖未示)的承載面64。驅動桿62的上端部與活動桿 61的下半部相套接，且驅動桿62的下端部穿出桶槽1的底壁10外並穿過平面100而與第二驅動件63連接。藉此，第二驅動件63可透過驅動桿62驅動活動桿61旋轉，且第三驅動件64與第二驅動件63連接，並透過第二驅動件63驅動活動桿61相對固定座2縱向位移。且由於第二驅動件63及第三驅動件64之作動方式並非本案重點，在此不加詳述。

另外，如圖2所示，在平面100上位於桶槽1的相反兩側邊還分別設有一第一噴嘴71及一第二噴嘴81，以及與第一噴嘴71連接以驅動第一噴嘴71移動至桶槽1上方並伸入內分流環3的上容置空間34中的第四驅動件72，以及與第二噴嘴81連接以驅動第二噴嘴81移動至桶槽1上方並伸入內分流環3的上容置空間34中的第五驅動件82。且第二噴嘴81與一有機溶劑，例如顯影劑或光阻剝離劑的供給來源連接(圖未示)，以噴灑該有機溶劑；而第一噴嘴71與一做為清洗溶液的無機液體，例如去離子水的供給來源連接(圖未示)，以噴灑該清洗溶液。

藉此，當要對晶片噴灑有機溶劑，例如顯影劑時，參見圖6所示，第三驅動件64透過第二驅動件63驅動活動桿61上升至使其承載面65露出桶槽1外，以方便晶片(圖未示)置放在承載面65上，然後，第三驅動件64再透過第二驅動件63驅動活動桿61下降至使活動桿61的承載面65外露於固定座2外。接著，如圖5所示，第一驅動件5透過環形蓋板4驅動內分流環3向上抬升，使內分流環3的底壁31的第二開口36離開固定座2的圓形端部21，讓上容置空 間34與下容置空間35經由第二開口36相連通，且內分流環3的下周壁33上升至與第二環形隔板16頂端大約等高位置，而阻隔了下容置空間35與桶槽1底壁10上的第二流道15，並使下容置空間35與桶槽1底壁10上的第一流道14相連通。

因此，如圖5所示，當第五驅動件82驅動第二噴嘴81移動至桶槽1上方並伸入內分流環3內時，由於內分流環3上升，所以第二噴嘴81會進入內分流環3的底壁31的第二開口36，並朝下容置空間35內之放置在承載面65上的晶片(圖未示)噴灑顯影劑，同時，第二驅動件63透過固定桿62驅動活動桿61旋轉，使顯影劑能均勻塗佈在晶片上，而滴落在固定座2上的顯影劑則沿著固定座2周緣流入第一流道14中而收集於一與第一流道14連接的顯影劑集中槽(圖未示)。

然後，晶片被靜置一段時間以完成顯影，當晶片顯影完成後，如圖4所示，第一驅動件5透過環形蓋板4驅動內分流環3向下降落，使內分流環3的底壁31之第二開口36與固定座2的圓形端部21套接且相密合，而阻隔了上容置空間34和下容置空間35，且其下周壁33置入第一流道14中，並使得上容置空間34經由底壁31之該等導流孔37與桶槽1之第二流道15相連通，藉此，如圖4所示，換第四驅動件72驅動第一噴嘴71移動至桶槽1上方並伸入內分流環3的上容置空間34內，第一噴嘴71會朝放置在固定座2上方的晶片(圖未示)噴灑清洗溶液，使將晶片90表面的顯 影液沖洗乾淨，同時，第二驅動件63透過固定桿62驅動活動桿61旋轉，以將承載面65上的晶片旋乾；且如圖4所示，滴落在固定座2的清洗溶液會沿著內分流環3的底壁31的斜面38流到該等導流孔37，並經由導流孔37流入桶槽1的底壁10的第二流道15中，而收集於一與第二流道15連接的清洗溶液集中槽(圖未示)。

綜上所述，本實施例藉由在桶槽1的底壁10形成第一流道14及第二流道15，並於內分流環3內形成上容置空間34及下容置空間35，使得內分流環3與固定在桶槽1的底壁10的固定座2分離時，下容置空間35會與第一流道14相連通並阻隔第二流道15，讓灑落在下容置空間35中的液體可以經由第一流道14排出，並在內分流環3與固定在桶槽1的底壁10的固定座2相套接而密合時，阻隔上容置空間34與下容置空間35，並使上容置空間34經由該等導流孔37與第二流道15相連通，使得灑落在上容置空間34的液體可以經由第二流道15排出，藉此，經由上述第一流道14收集的液體，例如顯影劑即可以被重複回收再利用，而節省成本；而經由上述第二流道14收集的另一液體，例如清洗溶液中的顯影劑濃度若低於一標準值，則可以被直接排放而不需再經過廢水處理，亦可有效節省廢水處理的費用，確實達成本發明分流之功效和目的。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發 明專利涵蓋之範圍內。

1‧‧‧桶槽

2‧‧‧固定座

3‧‧‧內分流環

4‧‧‧環形蓋板

5‧‧‧第一驅動件

6‧‧‧升降機構

10‧‧‧底壁

11‧‧‧側壁

12‧‧‧第一開口

13‧‧‧第一環形隔板

14‧‧‧第一流道

15‧‧‧第二流道

16‧‧‧第二環形隔板

21‧‧‧圓形端部

22‧‧‧環形周壁

31‧‧‧底壁

32‧‧‧上周壁

33‧‧‧下周壁

34‧‧‧上容置空間

35‧‧‧下容置空間

36‧‧‧第二開口

37‧‧‧導流孔

38‧‧‧斜面

41‧‧‧頂板部

42‧‧‧底板部

51‧‧‧弧形臂

52‧‧‧驅動單元

61‧‧‧活動桿

62‧‧‧驅動桿

63‧‧‧第二驅動件

64‧‧‧第三驅動件

65‧‧‧承載面

71‧‧‧第一噴嘴

72‧‧‧第四驅動件

81‧‧‧第二噴嘴

82‧‧‧第五驅動件

100‧‧‧平面

圖1是習知顯示槽只有一出口供排出顯影劑及清洗溶液的示意圖；圖2是本發明分流裝置的一較佳實施例組設在一平面上的立體圖；圖3是本實施例分流裝置的立體分解圖；圖4是圖2的分流裝置的縱向剖面圖，其中顯示內分流環置入桶槽內並以其第二開口與固定座的圓形端部相套接而密合，使內分流環的上容置空間經由該等導流孔與第二流道相連通，以及第一噴嘴伸入桶槽內的內分流環的上容置空間中噴灑清洗溶液的態樣；圖5是顯示圖4之內分流環上升而與固定座分離，使內分流環的下容置空間與第一流道相連通，以及第二噴嘴伸入桶槽內的內分流環的第二開口中噴灑無機溶劑的態樣；圖6是圖2的側視平面圖；及圖7顯示活動桿上升至桶槽外的態樣。

1‧‧‧桶槽

2‧‧‧固定座

3‧‧‧內分流環

4‧‧‧環形蓋板

5‧‧‧第一驅動件

6‧‧‧升降機構

10‧‧‧底壁

11‧‧‧側壁

12‧‧‧第一開口

13‧‧‧第一環形隔板

14‧‧‧第一流道

15‧‧‧第二流道

16‧‧‧第二環形隔板

21‧‧‧圓形端部

22‧‧‧環形周壁

31‧‧‧底壁

32‧‧‧上周壁

33‧‧‧下周壁

34‧‧‧上容置空間

35‧‧‧下容置空間

36‧‧‧第二開口

37‧‧‧導流孔

38‧‧‧斜面

41‧‧‧頂板部

42‧‧‧底板部

61‧‧‧活動桿

62‧‧‧驅動桿

63‧‧‧第二驅動件

64‧‧‧第三驅動件

65‧‧‧承載面

71‧‧‧第一噴嘴

72‧‧‧第四驅動件

81‧‧‧第二噴嘴

82‧‧‧第五驅動件

100‧‧‧平面

Claims (7)

1. 一種分流裝置，包括：一桶槽，具有一底壁及環繞該底壁周緣的側壁，該底壁具有位於中央的一第一開口，以及環繞該第一開口且相隔離的一第一流道及一第二流道；一固定座，設於該桶槽之底壁並封閉該第一開口；一內分流環，可相對該桶槽縱向位移地置於該桶槽內，並具有一底壁，一由底壁周緣向上環繞形成的上周壁，以及一由底壁的底面向下環繞形成的下周壁，而由該底壁和該上周壁共同形成一上容置空間，以及由該底壁和該下周壁共同形成一下容置空間；該底壁位於該桶槽的第一流道及第二流道上方，並具有一位於中央的第二開口，以及複數與該第二流道對應的導流孔；該內分流環的底壁的第二開口與該固定座相套接而密合，會阻隔該上容置空間和該下容置空間，且該下周壁置入該第一流道中，使得該上容置空間經由該底壁之該等導流孔與該桶槽之第二流道相連通；該內分流環的底壁的第二開口與該固定座分離，該內分流環的下周壁會阻隔該下容置空間與該桶槽之第二流道，並使該下容置空間與該桶槽之第一流道相連通。
2. 依據申請專利範圍第1項所述的分流裝置，其中該內分流環的該等導流孔是分佈在該內分流環的底壁周緣，且該第二開口與該等導流孔之間具有一斜面，使得該第二開口高於該等導流孔。
3. 依據申請專利範圍第1或2項所述的分流裝置，其中該第 一開口與該第一流道之間是以一第一環形隔板相間隔，且該第一流道與該第二流道之間是以一第二環形隔板相間隔。
4. 依據申請專利範圍第3項所述的分流裝置，其中該固定座的上端具有一圓形端部，且該內分流環的底壁的第二開口是與該固定座的圓形端部套接而相密合。
5. 依據申請專利範圍第3項所述的分流裝置，其中該固定座還具有由其底面周緣向下延伸形成的一環形周壁，該環形周壁套設在該桶槽的底壁的該第一環形隔板的外面並與該第一環形隔板緊配合，而將該固定座固定在該桶槽的底壁的第一開口上方。
6. 依據申請專利範圍第3項所述的分流裝置，還包括一環形蓋板以及一第一驅動件，該環形蓋板固定在該內分流環的上周壁上緣，該第一驅動件與該環形蓋板連接，並透過該環形蓋板驅動該內分流環相對該桶槽縱向位移。
7. 依據申請專利範圍第3項所述的分流裝置，還包括一設於該固定座的中央的升降機構，其包含一可縱向位移地穿設於該固定座中央的活動桿，一驅動桿以及設於該桶槽的底壁下方的一第二驅動件及一第三驅動件，該活動桿的頂端外露於該固定座外並形成一承載面，該驅動桿的一上端部與該活動桿的一下半部相套接，且該驅動桿的一下端部穿出該桶槽的底壁外並與該第二驅動件連接，該第二驅動件透過該驅動桿驅動該活動桿旋轉，且該第三驅動件與該第二驅動件連接，並透過該第二驅動件驅動該活動桿相對該 固定座縱向位移。