CN115410948A - 基板处理装置及基板处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：基板支承单元，支承基板；液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的液体；以及捕获模块，设置于所述处理容器，并且以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散的方式捕获所述液体。

Description

基板处理装置及基板处理方法
技术领域
本发明涉及基板处理装置及基板处理方法。
背景技术
在处理基板的工艺中，执行使基板高速旋转并向旋转的基板排出液体的工艺。在这种工艺中，发生从喷嘴排出的液体从基板向外部飞散的情况。由于这种飞散，存在包括在液体中的各种污染物质可能扩散到不期望的位置从而引发广泛的污染和基板处理方面的工艺不良的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：第10-0952035号韩国注册专利
发明内容
本发明要解决的技术问题为提供能够在向基板排出液体的工艺中有效地控制液体从基板飞散的基板处理装置及基板处理方法。
另外，提供能够适当地选择液体飞散的区域从而防止液体飞散到不期望的位置的基板处理装置及基板处理方法。
另外，提供不仅能够防止液体的飞散而且能够防止包括在飞散的液体中的污染物质因飞散而扩散的基板处理装置及基板处理方法。
另外，提供防止所飞散的液体再次飞散的飞散防止工具，并且将这种飞散防止工具与工艺的执行相关联从而能够对飞散防止工具本身进行有机清洗的基板处理装置及基板处理方法。
本发明要解决的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域技术人员可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它技术问题。
用于解决上述技术问题的根据本发明的一方面(aspect)的基板处理装置可以包括：基板支承单元，支承基板；液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的所述液体；以及捕获模块，设置于所述处理容器，并且以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并飞散的方式捕获(capture)所述液体。
另外，所述捕获模块可以包括网筛结构，并且可以捕获从所述处理容器反弹并向所述基板飞散的所述液体。
另外，所述捕获模块可以以多层形态位于所述处理容器的内部以捕获所述液体。
另外，所述捕获模块可以包括聚丙烯(Polypropylene，PP)材质。
另外，所述捕获模块的规格可以包括0.5T至1T范围的厚度和至少10mm的宽度。
另外，所述捕获模块可以基于所述液体供应单元对所述基板供应所述药液，第一次捕获飞散到所述处理容器的所述药液，可以基于所述液体供应单元对所述基板供应所述清洗液，第二次捕获飞散到所述处理容器的所述清洗液，以及可以通过所述第二次捕获清洗预先被第一次捕获的所述药液。
另外，所述处理容器可以包括：第一处理容器，位于最里面；第二处理容器，与所述第一处理容器形成第一流入空间；以及第三处理容器，与所述第二处理容器形成第二流入空间，其中，所述捕获模块至少设置于所述第一流入空间和所述第二流入空间中的任一处以捕获所流入的所述液体。
另外，所述捕获模块可以在所述处理容器的内壁上以滑动方式进退移动，从而以用于捕获所述液体的第一位置调整模式进行操作。
另外，所述捕获模块可以以设置于所述处理容器的内壁的连接球为介质与所述处理容器的内壁间隔开设置。
另外，所述捕获模块可以在所述连接球上以一定范围进行倾斜移动，从而以用于捕获所述液体的第二位置调整模式进行操作。
另外，所述捕获模块可以以单个或多个设置在所述处理容器上。
另外，所述清洗液可以包括冲洗液，且从所述基板飞散的所述药液可以包括从所述基板被清洗的异物。
用于解决上述技术问题的根据本发明的另一方面的基板处理方法可以包括：由支承单元支承基板的步骤；通过液体供应单元向所述基板供应液体的步骤；以及通过处理容器从所述基板回收所供应的所述液体的步骤，其中，所述处理容器具有捕获模块，所述捕获模块在所述液体从旋转的所述基板飞散时以抑制飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散到周边部的方式捕获所述液体。
根据如上所述的本发明的基板处理装置及基板处理方法，具有如下一个以上的效果。
本发明可以提供能够在向基板排出液体的工艺中控制液体从基板飞散从而有效地控制液体飞散的程度的基板处理装置及基板处理方法。
另外，可以提供能够适当地选择液体飞散的区域从而防止液体飞散到不期望的位置的基板处理装置及基板处理方法。
另外，可以提供不仅能够防止液体的飞散而且能够防止包括在飞散的液体中的污染物质因飞散而扩散的基板处理装置及基板处理方法。
另外，可以提供能够提供防止所飞散的液体再次飞散的飞散防止工具，并且能够将这种飞散防止工具与工艺的执行相关联从而能够对飞散防止工具本身进行有机清洗的基板处理装置及基板处理方法。
附图说明
图1是示出根据本发明一实施例的基板处理装置的图。
图2至图3是示意性地示出根据图1的基板处理装置的操作状态的图。
图3是示出根据图1的基板处理装置的构成中的一部分的图。
图4至图5是示出根据图1的基板处理装置的构成中的一部分的另一状态的图。
图6至图7是示出根据图1的基板处理装置的构成中的一部分的又一状态的图。
图8至图9是示出根据图1的基板处理装置的构成中的一部分的又一状态的图。
图10至图12是示出根据图1的基板处理装置的构成中的一部分的又一状态的图。
图13是示出根据本发明另一实施例的基板处理装置的图。
图14是示出根据本发明又一实施例的基板处理装置的图。
图15是示出根据本发明又一实施例的基板处理装置的图。
图16是依次示出根据本发明一实施例的基板处理方法的流程图。
附图标记的说明
110：基板支承单元
120：液体供应单元
130：处理容器
131：第一处理容器
132：第二处理容器
133：第三处理容器
140：捕获模块
具体实施方式
以下，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单个形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包括的(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其它构成要素、步骤、操作和/或元件。
如果没有其它定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义所使用。此外，在通常使用的词典中定义的术语，除非明确地特别定义，否则不被理想地或过度地解释。
以下，将参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。另一方面，为了便于说明，关于液体的排出和飞散等的表述表达得比实际夸张。
参照图1，根据本发明一实施例的基板处理装置包括基板支承单元110、液体供应单元120、处理容器130和捕获模块140。
上述液体供应单元120包括喷嘴驱动部121、喷嘴臂122、喷嘴123和液体供应源124(参见图2)。上述处理容器130包括第一处理容器131、第二处理容器132和第三处理容器133。
这里，上述基板支承单元110起到通过支承结构111支承基板W的作用。上述液体供应单元120向由上述基板支承单元110支承的上述基板W供应包括药液L1(参见图2)和清洗液L2(参见图3)中的任一种液体。
上述液体供应单元120的上述喷嘴123从基板W的中心部到边沿部分均匀地喷射用于处理基板W的流体。为此，以上述喷嘴臂122为介质移动上述喷嘴123的位置。
上述处理容器130容纳上述基板支承单元110。另外，起到回收从上述液体供应单元120供应到上述基板W的液体的作用。上述捕获模块140设置于上述处理容器130。
上述这种处理容器130的第一处理容器131以上述基板W为基准设置于最外围。上述处理容器130的第二处理容器132设置成与上述第一处理容器131形成第一流入空间S1。
上述处理容器130的第三处理容器133设置成与上述第二处理容器132形成第二流入空间S2。上述第三处理容器133侧也形成上述第三流入空间S3。上述捕获模块140至少设置于上述第一流入空间S1至上述第三流入空间S3中的任一处，以捕获(例如，吸湿、抓获等)所流入的上述液体。
参照图2，上述捕获模块140抑制从上述基板W飞散的上述液体从上述处理容器130反弹并再次飞散。为此，上述捕获模块140包括例如用于捕获再次飞散的上述液体的网状结构。由此，上述捕获模块140以多层形态位于上述处理容器130的内部以捕获上述液体。
参照图2至图3，由上述液体供应单元120向上述基板W排出的上述液体包括药液L1、清洗液(例如，冲洗液等)L2。例如，在上述药液L1等排出到上述基板W之后，作为后工艺排出冲洗液等以清洗上述基板W。
上述捕获模块140基于上述液体供应单元120对上述基板W供应上述药液L1，第一次捕获飞散到上述处理容器130的上述药液L1。
这里，上述药液L1因清洗上述基板W而包括上述基板W上的异物P。上述捕获模块140通过上述第一次捕获将上述药液L1和包括在上述药液L1中的异物P一同捕获。
上述捕获模块140基于向上述基板W供应上述清洗液L2，第二次捕获飞散到上述处理容器130的上述清洗液L2。即，通过上述第一次捕获之后的上述第二次捕获，上述第一次捕获的上述药液L1在工艺中自然地被清洗。
因此，在处理上述基板W的工艺中，实现了对上述捕获模块140的有机清洗。结果，能够省略或最小化与上述基板W的处理工艺分开进行的附加的清洗管理。
参照图4，上述捕获模块140具有圆形的边缘部141，并且其至少一部分形成为多层的网筛142。这种捕获模块140的网筛142的结构设置成上层1421和下层1422彼此交替地上下交错的方式。上述网筛142设置成上层1421和下层1422彼此交错地交叉的形态。此时，显然可以省略上述边缘部141。
参照图5，上述捕获模块140与图4相同地形成为多层，但上述网筛142的上层1421和下层1422未产生联系，而是分别独立地设置。此时，网筛142的上层1421和下层1422设置成彼此交叉的形态。
参照图6至图7，上述捕获模块140具有与前述图4至图5所示的结构对应的结构，但不同之处在于，整体的外围形状形成为例如矩形形状等。这变成了设置在上述处理容器130上之后可能影响对上述液体的捕获面积的因素。
参照图9，上述捕获模块140的网筛142具有多层结构，但设置成上层1421和下层1422之间没有交叉地相互堆叠的形式。这里，上述捕获模块140设置成在中央部形成有贯通部TH的形态。
参照图8，上述捕获模块140具有与图8大部分相似的形态。只是，设置成不仅在中央部而且在外围部也形成有贯通部TH的形态。在这种图8和图9中，示出了上述网筛142具有包括上层1421和下层1422在内的共三个层，但显然可以包括三个以上的层。
通过将上述捕获模块140的上述网筛1421、1422、1423进一步堆叠多层，使捕获上述液体的过程变得容易，同时，所捕获的液体由于上述捕获模块140的堆叠的网筛1421、1422、1423的高度而撞在其内壁，从而产生抑制向外部飞散的效果。
如上所述，上述捕获模块140的多层的层数考虑上述处理容器130的上述液体流入空间和捕获上述液体所需的规格等来调整。当然，上述捕获模块140显然不仅限于多层形态。上述捕获模块140的与上述液体接触的区域中的至少一部分由聚丙烯(Polypropylene，PP)材料制成。
参照图10，上述捕获模块140以边缘部141为介质在其中央部具有网筛142a、142b、142c、142d。此时，网筛142a、142b、142c、142d设置成向上部凸出。另外，参照图11，上述捕获模块140的网筛142与图10的网筛142类似，且上述捕获模块140设置成网筛142a、142b一分为二。
参照图12，上述捕获模块140的网筛142设置成划分为中央网筛1420和围绕中央网筛1420的外围网筛142a、142b、142c、142d。这里，上述外围网筛142a、142b、142c、142d设置成凸出的形态，且上述中央网筛1420与这种外围网筛142a、142b、142c、142d不同地设置成凸出或凹入的形态。
参照图13，上述捕获模块140在上述处理容器130的内壁上以滑动方式进退移动，从而以用于捕获上述液体的第一位置调整模式进行操作。这里，滑动方式以手动方式或以利用致动器等的自动方式来实现。
参照图14，上述捕获模块140设置成以设置于上述处理容器130内壁的连接球141为介质与上述处理容器130内壁间隔开一定范围。这里，优选考虑上述第一流入空间S1至上述第三流入空间S3等而调整间隔程度。
上述捕获模块140在上述连接球上以一定范围进行倾斜(tilt)移动，从而以用于捕获上述液体的第二位置调整模式进行操作。即，考虑上述液体飞散的角度、上述液体的大小、上述液体供应单元120的喷射压力、喷射角度等因素而进行倾斜移动。
上述这种捕获模块140的倾斜移动以手动操作或自动方式实现。特别地，在以自动方式倾斜的情况下，在考虑上述要素的同时，向使与上述液体的接触面积最大化的方向进行倾斜。
同样地，对于上述这种捕获模块140的倾斜，优选考虑上述第一流入空间S1和上述第二流入空间S2等而调整其移动程度。这里，捕获模块140设置为多个。
相反，参照图15，上述捕获模块140在上述处理容器130上设置为单个而不是多个。只是不同之处在于，其面积变得更大。
参照图16，在根据本发明一实施例的基板处理方法S100的步骤S110中，由支承单元支承基板W。然后，在步骤S120中，通过液体供应单元120向上述基板W供应液体。然后，在步骤S130中，通过处理容器130从上述基板W回收所供应的上述液体。
这里，当液体从旋转的上述基板W飞散时，上述处理容器130抑制飞散的上述液体从上述处理容器130反弹并再次飞散到周边部。为此，用于捕获上述液体的捕获模块140设置于上述处理容器130。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员应该可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其它具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (15)

1.一种基板处理装置，包括：
基板支承单元，支承基板；
液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；
处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的所述液体；以及
捕获模块，设置于所述处理容器，并且捕获从所述基板飞散的所述液体。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散的方式捕获所述液体。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块包括用于捕获再次飞散的所述液体的网筛结构。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块以多层形态位于所述处理容器的内部以捕获所述液体。
5.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块包括聚丙烯材质。
6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块的规格包括0.5T至1T范围的厚度和至少10mm的宽度。
7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块基于所述液体供应单元对所述基板供应所述药液，第一次捕获飞散到所述处理容器的所述药液，
所述捕获模块基于所述液体供应单元对所述基板供应所述清洗液，第二次捕获飞散到所述处理容器的所述清洗液，以及
所述捕获模块通过所述第二次捕获清洗预先被第一次捕获的所述药液。
8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述处理容器包括：
第一处理容器，位于最里面；
第二处理容器，与所述第一处理容器形成第一流入空间；以及
第三处理容器，与所述第二处理容器形成第二流入空间，
其中，所述捕获模块至少设置于所述第一流入空间和所述第二流入空间中的任一处以捕获所流入的所述液体。
9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块在所述处理容器的内壁上以滑动方式进退移动，从而以用于捕获所述液体的第一位置调整模式进行操作。
10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块以设置于所述处理容器的内壁的连接球为介质与所述处理容器的内壁间隔开设置。
11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块在所述连接球上以一定范围进行倾斜移动，从而以用于捕获所述液体的第二位置调整模式进行操作。
12.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述捕获模块以单个或多个设置在所述处理容器上。
13.一种基板处理装置，包括：
基板支承单元，支承基板；
液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；
处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的液体；以及
捕获模块，设置于所述处理容器，并且捕获从所述基板飞散的所述液体，
其中，所述捕获模块以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散的方式捕获所述液体，并且包括用于捕获再次飞散的所述液体的网筛结构，
所述捕获模块以多层形态位于所述处理容器的内部以捕获所述液体，并且基于所述液体供应单元对所述基板供应所述药液，第一次捕获飞散到所述处理容器的所述药液，以及
所述捕获模块基于所述液体供应单元对所述基板供应所述清洗液，第二次捕获飞散到所述处理容器的所述清洗液，并且通过所述第二次捕获清洗预先被第一次捕获的所述药液。
14.一种基板处理方法，包括：
由支承单元支承基板的步骤；
通过液体供应单元向所述基板供应液体的步骤；以及
通过处理容器从所述基板回收所供应的所述液体的步骤，
其中，所述处理容器具有捕获模块，所述捕获模块在所述液体从旋转的所述基板飞散时捕获所述液体。
15.根据权利要求14所述的基板处理方法，其中，
当所述液体从旋转的所述基板飞散时，所述捕获模块以抑制飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散到周边部的方式捕获所述液体。
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