KR20220159668A - 기판처리장치 및 기판처리방법 - Google Patents

기판처리장치 및 기판처리방법 Download PDF

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KR20220159668A
KR20220159668A KR1020210067553A KR20210067553A KR20220159668A KR 20220159668 A KR20220159668 A KR 20220159668A KR 1020210067553 A KR1020210067553 A KR 1020210067553A KR 20210067553 A KR20210067553 A KR 20210067553A KR 20220159668 A KR20220159668 A KR 20220159668A
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곽기영
권상영
심차섭
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세메스 주식회사
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Abstract

기판처리장치 및 기판처리방법을 제공한다. 기판처리장치는 기판을 지지하는 기판지지유닛; 상기 기판지지유닛에 지지된 상기 기판에 약액 또는 세정액 중 어느 하나를 포함하는 액을 공급하는 액공급유닛; 상기 기판지지유닛을 수용하며, 상기 액공급유닛으로부터 상기 기판에 공급된 액을 회수하는 처리용기; 및 상기 처리용기에 구비되며, 상기 기판으로부터 비산되는 상기 액이 상기 처리용기로부터 반탄(反彈)되어 재비산되는 것을 억제하도록, 상기 액을 캡처(capture) 하는 캡처모듈을 포함한다.

Description

기판처리장치 및 기판처리방법{Apparatus and method for treating substrate}
본 발명은 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
기판을 처리하는 공정에 있어 기판을 고속으로 회전시키고, 회전되는 기판에 액을 토출하는 공정이 수행된다. 이러한 공정 가운데 노즐로부터 토출되는 액이 기판으로부터 외부로의 비산이 발생된다. 이러한 비산으로 인하여 액에 포함된 각종 오염물질이 의도되지 않은 위치로 확산되어 광범위한 오염 발생과 기판처리상의 공정불량을 유발시킬 수 있는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-0952035호
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판에 액을 토출하는 공정에서 액이 기판으로부터 비산되는 것을 효과적으로 제어할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것이다.
또한, 액이 비산되는 영역을 적절하게 선별하여 의도되지 않은 곳으로 액이 비산되는 것을 방지할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것이다.
또한, 단순히 액의 비산뿐만 아니라 비산되는 액에 포함된 오염물질이 비산에 의하여 확산되는 것을 방지할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것이다.
또한, 비산되는 액의 비산을 방지하는 비산방지수단을 제공하되, 이러한 비산방지수단을 공정 수행에 연계되어 비산방지수단 자체에 대한 유기적인 세정이 가능한 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 면(aspect)에 따른 기판처리장치는 기판을 지지하는 기판 지지유닛; 상기 기판 지지유닛에 지지된 상기 기판에 약액 또는 세정액 중 어느 하나를 포함하는 액을 공급하는 액공급유닛; 상기 기판 지지유닛을 수용하며, 상기 액공급유닛으로부터 상기 기판에 공급된 액을 회수하는 처리용기; 및 상기 처리용기에 구비되며, 상기 기판으로부터 비산되는 상기 액이 상기 처리용기로부터 반탄(反彈)되어 비산되는 것을 억제하도록, 상기 액을 캡처(capture) 하는 캡처모듈을 포함할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 메쉬망 구조물을 포함하며, 상기 처리용기로부터 반탄되어 상기 기판에 비산되는 상기 액을 캡처할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 다중겹 형태로서 상기 처리용기의 내부에 위치되어 상기 액을 캡처할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 폴리프로필렌(Polypropylene, PP)재질을 포함할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈의 스펙은 0.5T 내지 1T 범위의 두께와, 적어도 10mm의 폭을 포함할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은, 상기 액공급유닛의 상기 기판에 대한 상기 약액 공급에 기반하여, 상기 처리용기로 비산되는 상기 약액을 1차캡처하며, 상기 액공급유닛의 상기 기판에 대한 상기 세정액 공급에 기반하여, 상기 처리용기로 비산되는 상기 세정액을 2차캡처하되, 상기 2차캡처를 통해 상기 1차캡처된 상기 약액이 세정될 수 있다.
또한, 상기 처리용기는 최내곽의 제1처리용기와, 상기 제1처리용기와 제1유입공간을 형성하는 제2처리용기와, 상기 제2처리용기와 제2유입공간을 형성하는 제3처리용기를 포함하며, 상기 캡처모듈은 상기 제1유입공간과 상기 제2유입공간 중 적어도 어느 한 곳으로 구비되어, 유입되는 상기 액을 캡처할 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 상기 처리용기의 내벽으로부터 슬라이딩방식으로 진퇴 유동되어 상기 액의 캡처를 위한 제1위치조정모드로 동작될 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 상기 처리용기 내벽에 설치된 연결구를 매개로 상기 처리용기 내벽으로부터 이격되도록 설치될 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 상기 연결구상에서 일정범위로 틸트(tilt) 유동되어, 상기 액의 캡처를 위한 제2위치조정모드로 동작될 수 있다.
또한, 상기 캡처모듈은 상기 처리용기상에서 단수 또는 복수로 설치될 수 있다.
또한, 상기 세정액은 린스액을 포함하며, 상기 기판으로부터 비산되는 상기 약액은 상기 기판으로부터 세정된 이물을 포함할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 면에 따른 기판처리방법은 기판이 지지유닛에 지지되는 단계; 액공급유닛에 의하여 상기 기판에 액이 공급되는 단계; 및 처리용기에 의하여 상기 기판으로부터 공급되는 상기 액이 회수되는 단계를 포함하되, 상기 처리용기는, 회전되는 상기 기판으로부터 상기 액이 비산되면, 비산되는 상기 액이 상기 처리용기로부터 반탄되어 주변부로 재비산되는 것을 억제하도록 상기 액을 캡처 하는 캡처모듈이 구비될 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 기판처리장치 및 기판처리방법에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
본 발명은 기판에 액을 토출하는 공정에서 액이 기판으로부터 비산되는 것을 제어하여 액이 비산되는 정도를 효과적으로 제어할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공할 수 있다.
또한, 액이 비산되는 영역을 적절하게 선별하여 의도되지 않은 곳으로 액이 비산되는 것을 방지할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공할 수 있다.
또한, 단순히 액의 비산뿐만 아니라 비산되는 액에 포함된 오염물질이 비산에 의하여 확산되는 것을 방지할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공할 수 있다.
또한, 비산되는 액의 비산을 방지하는 비산방지수단을 제공하되, 이러한 비산방지수단을 공정 수행에 연계되어 비산방지수단 자체에 대한 유기적인 세정이 가능한 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 3은 도 1에 따른 기판처리장치의 동작상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 따른 기판처리장치의 구성들 중 일부를 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 5는 도 1에 따른 기판처리장치의 구성들 중 일부의 다른 양상을 도시한 도면이다.
도 6 내지 도 7은 도 1에 따른 기판처리장치의 구성들 중 일부의 또 다른 양상을 도시한 도면이다.
도 8 내지 도 9는 도 1에 따른 기판처리장치의 구성들 중 일부의 또 다른 양상을 도시한 도면이다.
도 10 내지 도 12는 도 1에 따른 기판처리장치의 구성들 중 일부의 또 다른 양상을 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이다.
도 15은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구비될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓일 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 한편, 설명의 편의상 액의 토출과 비산 등에 관한 표현은 실제보다 과장되게 표현되었음을 밝혀둔다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치는 기판지지유닛(110), 액공급유닛(120), 처리용기(130 및 캡처모듈(140)을 포함한다.
상기 액공급유닛(120)은 노즐구동부(121), 노즐암(122), 노즐(123), 액공급원(124, 도 2참조)를 포함한다. 상기 처리용기(130)는 제1처리용기(131), 제2처리용기(132), 제3처리용기(133)를 포함한다.
여기서 상기 기판지지유닛(110)은 기판(W)을 지지하는 역할을 한다. 상기 액공급유닛(120)은 상기 기판지지유닛(110)에 지지된 상기 기판(W)에 약액(L1) 또는 세정액(L2) 중 어느 하나를 포함하는 액을 공급한다.
상기 액공급유닛(120)의 상기 노즐구동부(121)는 기판(W)의 처리를 위한 유체들을 기판(W)의 중심부로부터 가장자리 부분까지 고루 분사한다. 이를 위하여 상기 노즐암(122)을 매개로 상기 노즐(123)을 위치 이동시킨다.
상기 처리용기(130)는 상기 기판지지유닛(110)을 수용한다. 아울러 상기 액공급유닛(120)으로부터 상기 기판(W)에 공급된 액을 회수하는 역할을 한다. 상기 캡처모듈(140)은 상기 처리용기(130)에 구비된다.
이러한 상기 처리용기(130)의 제1처리용기(131)는 상기 기판(W)을 기준으로 최외곽으로 구비된다. 상기 처리용기(130)의 제2처리용기(132)는 상기 제1처리용기(131)와 제1유입공간(S1)을 형성도록 구비된다.
상기 처리용기(130)의 제3처리용기(133)는 상기 제2처리용기(132)와 제2유입공간(S2)을 형성하도록 구비된다. 상기 제3처리용기(133)측에도 제3유입공간(S3)이 형성된다. 상기 캡처모듈(140)은 상기 제1유입공간(S1)과 상기 제3유입공간(S3) 중 적어도 어느 한 곳으로 구비되어, 유입되는 상기 액을 캡처(예: 흡습, 포획 등) 한다.
도 2를 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 상기 기판(W)으로부터 비산되는 상기 액이 상기 처리용기(130)로부터 반탄(反彈)되어 재비산되는 것을 억제한다. 이를 위하여 상기 캡처모듈(140)은 예컨데 재비산되는 상기 액을 캡처하기 위한 메쉬구조를 포함한다. 이를 통해 상기 캡처모듈(140)은 다중겹 형태로서 상기 처리용기(130)의 내부에 위치되어 상기 액을 캡처한다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 상기 액공급유닛(120)에 의하여 상기 기판(W)에 토출되는 상기 액은 약액(L1), 세정액(예: 린스액 등)을 포함한다. 예컨데 상기 약액(L1) 등을 상기 기판(W)에 토출된 뒤, 후공정으로 상기 기판(W)에 대한 세정을 위하여 린스액 등이 토출되는 것이다.
상기 캡처모듈(140)은 상기 액공급유닛(120)의 상기 기판(W)에 대한 상기 약액(L1) 공급에 기반하여, 상기 처리용기(130)로 비산되는 상기 약액(L1)을 1차캡처한다.
여기서 상기 약액(L1)은 상기 기판(W) 세정으로 인하여 상기 기판(W)상의 이물(P)을 포함하고 있다. 상기 캡처모듈(140)은 상기 1차캡처를 통해 상기 약액(L1)과 상기 약액(L1)에 포함된 이물(P)을 함께 캡처 한다.
상기 캡처모듈(140)은 상기 기판(W)에 상기 세정액(L2) 공급에 기반하여, 상기 처리용기(130)로 비산되는 상기 세정액(L2)을 2차캡처한다. 즉, 상기 1차캡처이후 이어지는 상기 2차캡처에 의하여 상기 1차캡처된 상기 약액(L1)이 공정 중에 자연스럽게 세정이 이루어지게 된다.
따라서 상기 기판(W)을 처리하는 공정속에서 상기 캡처모듈(140)에 대한 유기적인 세정이 이루어지는 것이다. 결국 상기 기판(W)의 처리공정과 별도로 추가적인 세정 관리를 생략 혹은 최소화시킬 수 있게 된다.
도 4를 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 원형의 테두리부(141)를 두고 적어도 일부가 다중겹의 메쉬망(142)으로 이루어진다. 이러한 캡처모듈(140)의 메쉬망(142)의 구조는 상층(1421)과 하층(1422)이 서로간에 교호적으로 상하로 엇갈려 엉켜지는 방식으로 구비된다. 상기 메쉬망(142)은 상층(1421)과 하층(1422)은 서로 엇갈리며 교차하는 형태로 구비된다. 이때 상기 테두리부(141)는 생략이 가능함은 물론이다.
도 5를 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 도 4와 같이 다중겹으로 이루어는 것은 동일하나, 상기 메쉬망(142)이 상층(1421)과 하층(1422) 연계되지 않고 각각 독립적으로 구비된다. 이때 메쉬망(142)의 상층(1421)과 하층(1422)은 서로 교차하는 형태로 구비된다.
도 6 내지 도 7을 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 전술한 도 5 내지 도 6과 대응되는 구조를 가지되, 전체적인 외곽 형상이 예컨데 직사각형상 등으로 이루어지는 점에서 차이가 있다. 이는 상기 처리용기(130)상에 설치와 설치된 이후 상기 액에 대한 캡처면적에 영향을 줄 수 있는 요인이 된다.
도 8을 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 메쉬망(140)은 다중겹의 구조를 가지나, 상층(1421)과 하층(1422)간에 교차함이 없이 상호 적층되는 형식으로 구비된다. 여기서 상기 캡처모듈(140)은 중앙부에 관통부(TH)가 형성되는 형태로 구비된다.
도 9를 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 도 8과 대부분 유사한 형태를 가진다. 다만, 중앙부뿐만 아니라 외곽 둘레부에도 관통부(TH)가 형성되는 형태로 구비된다. 이러한 도 7과 도 8에서는 상기 메쉬망(140)이 상층(1421)과 하층(1422)간에 총 3개의 층으로 구비된 것을 표현하였으나, 그 이상으로 구비되는 것이 가능함은 물론이다.
상기 캡처모듈(140)의 상기 메쉬망(1421, 1422, 1423)을 다중겹을 더욱 적층하여 상기 액이 캡처되는 과정을 용이하게 하고, 동시에 캡처된 액이 상기 캡처모듈(140)의 적층된 메쉬망(1421, 1422, 1423)의 높이에 의하여 그 내벽에 부딪혀 외부로 비산을 억제하는 효과의 도출되는 것이다.
전술한 바와 같이 상기 캡처모듈(140)의 다중겹 수는 상기 처리용기(130)의 상기 액 유입공간과, 상기 액의 캡처를 위해 필요한 규격 등을 고려하여 조정된다. 물론 상기 캡처모듈(140)이 다중겹 형태로만 제한되는 것이 아님은 물론이다. 상기 캡처모듈(140)은 상기 액과 접촉하는 영역 중 적어도 일부가 폴리프로필렌(Polypropylene, PP)재질로 구비된다.
도 10을 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 테두리부(141)를 매개로 그 중심부에 메쉬망(1421, 1422, 1423, 1424)이 구비된다. 이때, 메쉬망((1421, 1422, 1423, 1424))은 상부를 향하여 볼록하게 구비된다. 아울러 도 11을 참조하면 상기 캡처모듈(140)은 도 10의 메쉬망(142)과 유사하되, 상기 캡처모듈(140)은 메쉬망(1421, 1422)이 반으로 구획되는 형태로 구비된다.
도 12를 참조하면 상기 캡처모듈(140)의 메쉬망(142)은 중앙메쉬(1420)와 중앙메쉬(1420)를 둘러싸는 외곽메쉬(142a, 142b, 142c, 142d)로 구획되어 구비된다. 여기서 상기 외곽메쉬(142a, 142b, 142c, 142d)는 볼록한 형상으로 구비되며, 상기 중앙메쉬(1420)는 이러한 상기 외곽메쉬(142a, 142b, 142c, 142d)들과 별개로 볼록하거나 오목한 형태로 구비된다.
도 13을 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 상기 처리용기(130)의 내벽으로부터 슬라이딩방식으로 진퇴 유동되어 상기 액의 캡처를 위한 제1위치조정모드로 동작된다. 여기서 슬라이딩방식은 수동으로 이루어지거나 엑추에이터 등을 이용한 자동방식으로 이루어진다.
도 14를 참조하면, 상기 캡처모듈(140)은 상기 처리용기(130) 내벽에 설치된 연결구(141)를 매개로 상기 처리용기(130) 내벽으로부터 일정범위로 이격되도록 설치된다. 여기서 이격되는 범위는 상기 제1유입공간(S1) 내지 상기 제3유입공간(S3) 등을 고려하여 이격정도가 조정되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 캡처모듈(140)은 상기 연결구상에서 일정범위로 틸트(tilt) 유동되어, 상기 액의 캡처를 위한 제2위치조정모드로 동작된다. 즉, 상기 액이 비산되는 각도와 상기 액의 크기, 상기 액공급유닛(120)의 분사압력, 분사각도 등의 요소를 고려하여 틸트 유동되도록 하는 것이다.
이러한 상기 캡처모듈(140)의 틸트 유동은 수동조작으로 이루어지거나, 자동방식으로 이루어진다. 특히 자동방식으로 틸트되는 경우 상기 요소를 고러하면서 상기 액과의 접촉면적을 최대화시키는 방향으로 틸트되도록 한다.
마차가지로 이러한 상기 캡처모듈(140)의 틸트는 상기 제1유입공간(S1)과 상기 제2유입공간 등을 고려하여 그 유동정도가 조정되도록 하는 것이 바람직하다. 여기서 상기 캡처모듈(140)은 다수로 구비된다.
반면 도 15를 참조하면 상기 캡처모듈(140)은 상기 처리용기(130)상에서 복수가 아닌 단수로 설치된다. 다만 그 면적이 보다 넓어지는 것에 있어 차이점을 가진다.
도 16을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리방법(S100)은 S110에서 기판(W)이 지지유닛에 지지된다. 다음, S120에서 액공급유닛(120)에 의하여 상기 기판(W)에 액이 공급된다. 다음, S130에서 상기 기판(W)으로부터 공급되는 상기 액이 처리용기(130)에 의하여 회수된다.
여기서 상기 처리용기(130)는, 회전되는 상기 기판(W)으로부터 상기 액이 비산되면, 비산되는 상기 액이 상기 처리용기(130)로부터 반탄되어 주변부로 재비산되는 것을 억제한다. 이를 위하여 상기 액을 캡처 하는 캡처모듈(140)이 상기 처리용기(130)에 구비된다. 이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
110: 기판지지유닛
120: 액공급유닛
130: 처리용기
131: 제1처리용기
132: 제2처리용기
133: 제3처리용기
140: 캡처모듈

Claims (9)

  1. 기판을 지지하는 기판지지유닛;
    상기 기판지지유닛에 지지된 상기 기판에 약액 또는 세정액 중 어느 하나를 포함하는 액을 공급하는 액공급유닛;
    상기 기판지지유닛을 수용하며, 상기 액공급유닛으로부터 상기 기판에 공급된 액을 회수하는 처리용기; 및
    상기 처리용기에 구비되며, 상기 기판으로부터 비산되는 상기 액이 상기 처리용기로부터 반탄(反彈)되어 재비산되는 것을 억제하도록 상기 액을 캡처(capture) 하는 캡처모듈을 포함하는, 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 캡처모듈은 재비산되는 상기 액을 캡처하기 위한 메쉬망 구조물을 포함하는, 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 캡처모듈은 다중겹 형태로서 상기 처리용기의 내부에 위치되어 상기 액을 캡처하는, 기판처리장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 캡처모듈은 폴리프로필렌(Polypropylene, PP)재질을 포함하는, 기판처리장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 캡처모듈의 스펙은 0.5T 내지 1T 범위의 두께와, 적어도 10mm의 폭을 포함하는, 기판처리장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 캡처모듈은,
    상기 액공급유닛의 상기 기판에 대한 상기 약액 공급에 기반하여, 상기 처리용기로 비산되는 상기 약액을 1차캡처하며,
    상기 액공급유닛의 상기 기판에 대한 상기 세정액 공급에 기반하여, 상기 처리용기로 비산되는 상기 세정액을 2차캡처하되,
    상기 2차캡처를 통해 상기 1차캡처된 상기 약액이 세정되는, 기판처리장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 처리용기는
    최내곽의 제1처리용기와,
    상기 제1처리용기와 제1유입공간을 형성하는 제2처리용기와,
    상기 제2처리용기와 제2유입공간을 형성하는 제3처리용기를 포함하며,
    상기 캡처모듈은 상기 제1유입공간과 상기 제2유입공간 중 적어도 어느 한 곳으로 구비되어 유입되는 상기 액을 캡처하는, 기판처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 캡처모듈은 상기 처리용기의 내벽으로부터 슬라이딩방식으로 진퇴 유동되어 상기 액의 캡처를 위한 제1위치조정모드로 동작되는, 기판처리장치.
  9. 기판이 지지유닛에 지지되는 단계;
    액공급유닛에 의하여 상기 기판에 액이 공급되는 단계; 및
    처리용기에 의하여 상기 기판으로부터 공급되는 상기 액이 회수되는 단계를 포함하되,
    상기 처리용기는,
    회전되는 상기 기판으로부터 상기 액이 비산되면, 비산되는 상기 액이 상기 처리용기로부터 반탄되어 주변부로 재비산되는 것을 억제하도록 상기 액을 캡처 하는 캡처모듈이 구비되는, 기판처리방법.
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