KR100766035B1 - 페라이트 자성재료, 페라이트 소결자석 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
W형 페라이트의 자기특성, 특히 보자력을 향상시킨다. Sr, Ba 및 Fe 각각의 금속원소의 총계의 구성비율을 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3 + b의 식으로 나타내었을 때, 0.03≤x≤0.80, 1.1≤a≤2.4, 12.3≤b≤16.1인 조성을 갖는 산화물로 이루어지는 페라이트 자성재료는, 높은 보자력(HcJ) 및 잔류자속밀도(Br)를 겸비할 수가 있다. 이 페라이트 자성재료는, 페라이트 소결자석, 페라이트 자석분말, 수지 중에 분산되는 페라이트 자석분말로서 본드자석, 및 막형상의 자성상으로서 자기기록매체 중의 어느 하나를 구성할 수가 있다. 페라이트 소결자석의 경우, 평균 결정입경이 0.6㎛ 이하로 미세한 소결조직을 얻을 수가 있다.
페라이트 자성재료, 보자력
Description
본 발명은, 하드 페라이트 재료, 특히 육방정(六方晶) W형 페라이트자석에 적합하게 사용할 수 있는 페라이트 자성재료에 관한 것이다.
종래, SrO·6Fe2O3로 대표되는 마그네토플럼바이트형 육방정 페라이트, 즉, M형 페라이트가 페라이트 소결자석의 주류를 이루고 있었다. 이 M형 페라이트자석에 대해서는, 페라이트 결정입경(입자지름)을 단자구(單磁區) 입경에 가깝게 하는 것, 페라이트 결정입자를 자기이방성 방향으로 일치시키는 것 및 고밀도화하는 것에 주안점을 두고 고성능화의 노력이 계속되어왔다. 그 노력의 결과, M형 페라이트 자석의 특성은 그 상한에 가까워져 있으나, 비약적인 자기특성의 향상을 바라는 것은 어려운 상황에 놓여있다.
M형 페라이트자석을 능가하는 자기특성을 나타낼 가능성을 갖는 페라이트자석으로서, W형의 페라이트자석이 알려져있다. W형 페라이트자석은, M형 페라이트 자석보다 포화자화(4πIs)가 10%정도 높고, 이방성 자계가 동일한 정도이다. 특허문헌1(일본국 특표2000-501893호 공보)에는, SrO·2(FeO)·n(Fe2O3)이며, n이 7.2~7.7을 만족하는 조성으로 이루어지며, 소결체의 평균결정입경이 2㎛이하, (BH)max가 5MGOe 이상의 W형 페라이트자석이 개시되어 있다.
또, 특허문헌2(일본국 특개평11-251127호 공보)에는, 종래의 M형 페라이트를 초과하는 최대 에너지 적(積)을 가지며, 또한 종래와는 다른 조성의 W형 페라이트 자석으로서, 기본조성이 원자비율로 MO·xFeO·(y-x/2)Fe2O3(M은 Ba, Sr, Pb, La 중의 1종 또는 2종 이상), 1.7≤x≤2.1, 8.8≤y≤9.3으로 표시되는 것을 특징으로 하는 페라이트자석이 개시되어 있다. 상기 특허문헌2에 개시된 SrO·2FeO·8Fe2O3의 조성을 갖는 자석은, 잔류자속밀도(Br)가 4800G, 보자력(iHc)이 3000Οe, 최대 에너지 적((BH)max)이 5.5MGΟe의 특성을 구비하고 있다.
이상과 같이, W형 페라이트자석은 여러가지 검토가 이루어지고 있으나, 보다 높은 자기특성이 얻어지는 것을 요구하고 있다. 특히, 보자력은 3000Oe이상의 값이 얻어지는 것이, W형 페라이트의 실용화에 있어서 중요하다. 물론 이와 같은 경우, 잔류자속밀도의 저하를 수반하는 것을 피하지 않으면 안된다. 즉, 높은 레벨의 보자력 및 잔류자속밀도의 양자를 겸비하고 있을 것이, W형 페라이트의 실용화에 있어서 불가결의 조건인 것이다.
본 발명은, 이와 같은 기술적 과제에 기초하여 이루어진 것으로서, W형 페라이트의 자기특성, 특히 보자력을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은, 지금까지 Sr을 단독으로 포함하는 육방정 W형 페라이트가 검토되어 온 것에 대하여, Sr 및 Ba를 소정의 비율로 공존시키는 것에 의해, Sr단독 또는 Ba단독으로는 얻을 수가 없는 높은 자기특성이 얻어진다는 것을 확인하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 즉, 본 발명은, Sr, Ba 및 Fe 각각의 금속원소의 총계의 구성비율을 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ b의 식으로 나타내었을 때, 0.03≤x≤0.80, 1.1≤a≤2.4, 12.3≤b≤16.1인 조성을 갖는 산화물로 이루어지는 페라이트 자성재료이다. 이 산화물에 있어서, Sr 및 Ba가 모두 2가(價)이고, 또 a=2, b=16일 때에는, 산소 Ο의 원자수는 27이 된다. Sr 및 Ba의 가수(價數)와 a, b의 값에 따라 산소 Ο의 원자수는 달라진다.
본 발명의 페라이트 자성재료는, 상기 조성으로 하는 것에 의해, 육방정 W형 페라이트가 주상(主相)을 이루게 된다. 여기서, 주상을 이룬다는 것은, 주상의 비율이 몰비로 50% 이상인 경우를 말한다.
또, 본 발명의 페라이트 자성재료는, 부성분으로서 Ca성분 및 Si성분의 1종 또는 2종을 CaCO3, SiO2 환산으로, CaCO3:3.0wt% 이하, SiO2:0.2~1.4wt%를 함유하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 페라이트 자성재료는, 여러가지 형태로 실용에 제공될 수가 있는바, 구체적으로는, 본 발명에 의한 페라이트 자성재료는, 페라이트 소결자석에 적용시킬 수가 있다. 페라이트 소결자석에 적용시키는 경우, 그 소결체의 평균결정입경이 0.6㎛ 이하이면 보자력(HcJ)이 3000Οe 이상 얻어지기 때문에 바람직하다. 또, 본 발명에 의한 페라이트 자성재료는, 페라이트 자석분말에 적용시킬 수가 있다. 이 페라이트 자석분말은, 본드자석에 사용할 수가 있다. 즉, 본 발명에 의한 페라이트 자성재료는, 수지중에 분산되는 페라이트 자석분말로서 본드자석을 구성할 수가 있다. 또한, 본 발명에 의한 페라이트 자성재료는, 막형상의 자성상(磁性相)으로서 자기기록매체를 구성할 수도 있다. 또한, 본 발명에 있어서의 평균결정입경은 수평균 결정입경이며, 그 측정방법은 후술한다.
본 발명에 의한 페라이트 소결자석은, Sr 및 Ba를 포함하는 육방정 W형 페라이트를 자성상으로서 포함하고, 평균결정입경이 0.6㎛ 이하의 소결체로 이루어진다. 이 페라이트 소결자석은, 보자력(HcJ)이 3000Οe 이상, 잔류자속밀도(Br)가 4600G 이상, 각형비(角型比)(Hk/HcJ)가 85%이상이라는 우수한 특성을 갖는다. 이 특성은, Ba/Sr+Ba(몰비)가 0.03~0.80인 경우에 얻어질 수가 있다.
이상과 같은 본 발명에 의한 페라이트 소결자석의 제조방법으로서, Sr, Ba 및 Fe를 포함하는 원료분말의 혼합물을 하소하는 공정 A와, 공정 A에서 얻어진 하소체를 조분쇄하는 공정 B와, 공정 B에서 얻어진 조분말을 소정의 입도(입자정도)까지 미분쇄하는 공정 C와, 공정 C에서 얻어진 미세분말을 자장 중에서 성형하는 공정 D와, 공정 D에서 얻어진 성형체를 소성하여 육방정 W형 페라이트를 자성상으로 하는 소결체를 얻는 공정 E를 구비하는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법을 제공한다.
본 발명은, 육방정 W형 페라이트 중에 Sr 및 Ba가 공존하는 페라이트 자성재료, 특히 소결자석을 얻는다. 이를 위하여, 원료분말의 혼합물이 Sr 및 Ba를 포함하는데, 이 Sr 및/또는 Ba를 하소한 후에 첨가할 수도 있다. 단, 이 하소 후에 있어서의 Sr 및/또는 Ba의 첨가는, 자장 중에서 성형하는 공정 D의 이전에 실시할 필요가 있다.
또, 본 발명의 페라이트 소결자석의 제조방법에 있어서, 미분쇄하는 공정 C는, 조분말을 소정의 입도까지 분쇄하는 제1의 미분쇄공정과, 제1의 미분쇄공정에서 얻어진 분쇄분말을 산소농도가 10vol% 이하의 분위기에 있어서 소정시간, 소정의 온도로 유지하는 분말 열처리공정과, 분말 열처리공정을 거친 분쇄분말을 소정의 입도까지 분쇄하는 제2의 미분쇄공정을 포함하는 것이 자기특성의 향상에 있어서 바람직하다.
도1은, 실시예1에서 제조한 자석의 조성 및 자기특성을 나타내는 도표.
도2는, 실시예1에 있어서의, Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27의 x와 보자력(HcJ)의 관계를 나타내는 그래프.
도3은, 실시예1에 있어서의, Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27의 x와 잔류자속밀도(Br)의 관계를 나타내는 그래프.
도4는, 실시예1에 있어서의, Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27의 x와 평균결정입경의 관계를 나타내는 그래프.
도5는, 실시예2에서 제조한 자석의 자기특성을 나타내는 도표.
도6은, 실시예2에서 제조한 자석의 조성을 나타내는 도표.
도7은, 실시예3에서 제조한 자석의 조성 및 자기특성을 나타내는 도표.
이하, 실시형태에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다.
<조성>
본 발명의 페라이트 자성재료는, Sr, Ba 및 Fe 각각의 금속원소의 총계의 구성비율을, Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ b의 식(1)으로 나타내었을 때, 0.03≤x≤0.80, 1.1≤a≤2.4, 12.3≤b≤16.1인 조성을 갖는 산화물로 이루어진다.
이 산화물에 있어서, Sr 및 Ba가 모두 2가(價)이고, 또 a=2, b=16인 경우에는, 하기 식(2)에 나타내는 바와 같이, 산소 Ο의 원자수는 27이 된다. 단, Sr 및 Ba의 가수(價數)와 a, b의 값에 따라서 산소 Ο의 원자수는 달라진다. 후술하는 실시예에 있어서, x, a, b의 값에 상관없이 산소 Ο의 원자수를 27로 표시하고 있으나, 실제 산소 Ο의 원자수는, 여기에서 한쪽으로 치우치는 편차가 있는 값을 나타내기도 하며, 그와 같은 경우도 본원 발명은 이를 포함한다.
Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27 … 식(2)
또한, 상기 식(1), (2)에 있어서 x, a 및 b는 각각 몰비를 나타낸다.
본 발명의 페라이트 자성재료는, Sr 및 Ba가 공존하는 것을 특징으로 하며, 이 2개의 원자의 공존에 의해 자기특성, 특히 보자력을 향상시킬 수가 있다. 보자 력이 향상되는 이유는 명백하지는 않으나, Sr 및 Ba가 공존하는 것에 의해 소결체를 구성하는 결정입자가 미세화되어 있으며, 이 결정입자의 미세화가 보자력의 향상에 기여하고 있는 것으로 이해된다.
상기 식(1)에 있어서, x가 0.03 미만 또는 0.80을 초과하면, 자기특성 향상의 효과를 얻을 수가 없게 된다. 따라서, 본 발명에서는, x를 0.03≤x≤0.80의 범위로 한다. x의 바람직한 범위는 0.10≤x≤0.65, x의 보다 바람직한 범위는 0.15≤x≤0.50이다.
상기 식(1)에 있어서, Fe2+의 비율을 나타내는 a는, 1.1≤a≤2.4로 한다. a가 1.1미만이 되면, W상 보다 포화자화(4πIs)가 낮은 M상, Fe2O3(헤머타이트)상이 생성되어, 포화자화(4πIs)가 저하되어 버린다. 한편, a가 2.4를 초과하면, 스피넬상이 생성되어, 보자력(HcJ)이 저하되어 버린다. 따라서, a를 1.1≤a≤2.4의 범위로 한다. a의 바람직한 범위는 1.5≤a≤2.4, 보다 바람직한 범위는 1.6≤a≤2.1이다.
또, Fe3+의 비율을 나타내는 b는, 12.3≤b≤16.1의 범위로 한다. 1.1≤a≤2.4의 범위로 하였을 때, b가 12.3미만이 되면, 스피넬상이 생성되어 보자력(HcJ)이 저하된다.
한편, b가 16.1을 초과하면, M상, Fe2O3(헤머타이트)상이 생성되어, 포화자화(4πIs)가 저하되어 버린다. 따라서, b를 12.3≤b≤16.1의 범위로 한다. b의 바 람직한 범위는 12.9≤b≤15.6, 보다 바람직한 범위는 12.9≤b≤14.9이다.
본 발명의 페라이트 자성재료가 소결자석으로서 실시되는 경우, 상기 식(1)으로 나타내는 조성 외에, 예를 들면, CaCO3, SiO2에 기인하는 Ca성분 및/또는 Si성분을 함유할 수가 있다. 이들 성분을 포함하는 것에 의해, 보자력(HcJ), 결정입경의 조정 등을 실시할 수가 있고, 높은 레벨로 보자력(HcJ) 및 잔류자속밀도(Br)를 겸비하는 페라이트 소결자석을 얻을 수가 있다.
Ca성분, Si성분은 CaCO3, SiO2환산으로, CaCO3:3.0wt% 이하, SiO2:0.2~1.4wt%로 하는 것이 바람직하다.
SiO2가 0.2wt% 미만에서는, SiO2의 첨가효과가 불충분하다. 또, CaCO3가 3.0wt%를 초과하면 자기특성저하의 요인이 되는 Ca페라이트를 생성할 우려가 있다.
또한, SiO2가 1.4wt%를 초과하면, 잔류자속밀도(Br)가 저하되는 경향이 있다. 따라서, 본 발명에 있어서의 Ca성분, Si성분의 양은 CaCO3, SiO2환산으로, CaCO3:3.0wt% 이하, SiO2:0.2~1.4wt%로 한다. CaCO3 및 SiO2는, 각각, CaCO3:0.2~1.5wt%, SiO2:0.2~1.0wt%의 범위로 포함하는 것이 바람직하고, 다시 CaCO3:0.3~1.2wt%, SiO2:0.3~0.8wt%의 범위로 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 페라이트 소결자석은, 육방정 W형 페라이트를 자성상으로서 포함하고, 이 자성상은 Sr 및 Ba를 포함한다. Sr 및 Ba의 양자를 포함하는 것에 의해, 결정입자의 평균입경이 0.6㎛이하라는 미세한 조직을 가질 수가 있다. 그리고, 이 페라이트 소결자석은, 3000Οe 이상의 보자력(HcJ), 4600G 이상의 잔류자속밀도(Br), 85% 이상의 각형비(Hk/HcJ)를 구비하고 있다.
식(1)에 있어서의 x의 값을 0.10≤x≤0.65의 범위 내로 하는 것에 의해, 3200Οe 이상의 보자력(HcJ), 4600G 이상의 잔류자속밀도(Br), 85% 이상의 각형비(Hk/HcJ)를 겸비할 수도 있다.
본 발명에 의한 페라이트 자성재료의 조성은, 형광 X선 정량분석 등에 의해 측정할 수가 있다. 또, 본 발명은, 주성분 및 부성분 이외의 성분의 함유를 배제하지 않는다. 예를 들면, Fe2+사이트 또는 Fe3+사이트의 일부를 다른 원소로 치환할 수도 있다.
본 발명의 페라이트 자성재료는, 상술한 바와 같이, 페라이트 소결자석, 페라이트 자석분말, 수지 중에 분산되는 페라이트 자석분말로서 본드자석, 및 막형상의 자성상으로서 자기기록매체 중의 어느 하나를 구성할 수가 있다.
본 발명에 의한 페라이트 소결자석, 본드자석은 소정의 형상으로 가공되며, 이하에 예시하는 바와 같은 폭넓은 용도로 사용된다. 예를 들면, 연료펌프용, 파워윈도용, ABS(안티로크·브레이크·시스템)용, 팬용, 와이퍼용, 파워 스테어링용, 액티브 서스펜션용, 스타터용, 도어록용, 전동미러용 등 자동차 부품용 모터로서 사용할 수가 있다. 또, FDD스핀들용, VTR캡스턴용, VTR회전헤드용, VTR릴용, VTR로딩용, VTR카메라 캡스턴용, VTR카메라회전헤드용, VTR카메라 줌용, VTR카메라 포커스용, 라디오카세트 등 캡스턴용, CD, LD, MD스핀들용, CD, LD, MD로딩용, CD, LD 광 픽업용 등의 OA, AV기기용 모터로서 사용할 수가 있다. 또, 에어컨 컴프레서용, 냉장고 컴프레서용, 전동공구 구동용, 선풍기용, 전자렌지 팬용, 전자렌지 플레이트 회전용, 믹서 구동용, 드라이어 팬용, 쉐이버 구동용, 전동칫솔용 등의 가전기기용 모터로서도 사용할 수가 있다. 또, 로봇의 축, 관절 구동용, 로봇의 주구동용, 공작기기 테이블 구동용, 공작기기 밸트 구동용 등의 FA기기용 모터로서 사용하는 것도 가능하다. 그 밖의 용도로서는, 오토바이용 발전기, 스피커·헤드폰용 마그넷, 마그네트론 관, MRI용 자장발생장치, CD-ROM용 클램퍼, 디스트리뷰터용 센서, ABS용 센서, 연료·오일레벨센서, 마그넷 래치, 아이솔레이터 등에 적합하게 사용된다.
본 발명의 페라이트 자석분말을 본드자석으로 하는 경우에는, 그 평균입경을 0.1~5㎛로 하는 것이 바람직하다. 본드자석용 분말의 보다 바람직한 평균입경은 0.1~2㎛, 더욱 바람직한 평균입경은, 0.1~1㎛이다. 또한, 본 발명에 있어서의 평균입경은 수평균 입경이며, 그 측정방법은 이하와 같이 하였다. SEM(주사형 전자현미경)사진을 촬영하고, 개개의 입자를 인식한 후, 화상해석에 의해 개개의 입자의 중심을 지나는 최대지름을 측정하고, 그것을 입경으로 하였다. 그리고, 평균 입경은 1시료당 100개 정도의 입자에 대하여 계측을 실시하고, 전체 측정입자의 결정입경의 평균값을 평균입경으로 하였다.
본드자석을 제조할 때에는, 페라이트 자석분말을 수지, 금속, 고무 등의 각종 바인더와 혼련(混練)하고, 자장중 또는 무자장중에서 성형한다. 바인더로서는, NBR(아크릴로니트릴부타디엔)고무, 염소화 폴리에틸렌, 폴리아미드수지가 바람직하 다. 성형 후, 경화를 실시하여 본드자석으로 한다. 또한, 페라이트자석 분말을 바인더와 혼련하기 전에, 후술하는 열처리를 실시하는 것이 바람직하다.
본 발명의 페라이트 자성재료를 사용하여, 자성층을 갖는 자기기록매체를 제작할 수가 있다. 이 자성층은, 상술한 조성식(1)로 표시되는 W형의 페라이트상을 포함한다. 자성층의 형성에는, 예를 들면, 증착법, 스퍼터링법을 사용할 수가 있다. 스퍼터링법으로 자성층을 형성할 경우에는, 본 발명에 의한 페라이트 소결자석을 타깃으로 하여 사용할 수도 있다. 또한, 자기기록매체로서는, 하드디스크, 플렉시블 디스크, 자기테이프 등을 들 수 있다.
다음에, 본 발명의 페라이트 자성재료의 적합한 제조방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 페라이트 소결자석의 제조방법은, 배합공정, 하소공정, 조분쇄공정, 미분쇄공정, 자장중 성형공정, 성형체 열처리공정 및 소성공정을 포함한다. 여기서, 미분쇄공정은, 제1 미분쇄와 제2 미분쇄로 나뉘어 지고, 또 제1 미분쇄와 제2 미분쇄 사이에 분말 열처리공정을 실시한다.
<배합공정>
각 원료를 칭량한 후, 습식아트라이터, 볼밀 등으로 1~16시간 정도 혼합·분쇄처리한다. 원료분말로서는, 산화물, 또는 소결에 의해 산화물이 되는 화합물을 사용할 수가 있다. 또한, 이하에서는 SrCO3분말, BaCO3분말 및 Fe2O3(헤머타이트)분말을 사용하는 예를 설명하는바, SrCO3분말, BaCO3분말은 탄산염으로서 첨가하는 형태 외에 산화물로서 첨가할 수도 있다. Fe에 대해서도 동일하게 Fe2O3 이외의 화합 물로서 첨가할 수도 있다. 또한, Sr, Ba 및 Fe를 포함하는 화합물을 사용할 수도 있다. 이 배합공정에 있어서, 부성분, 즉 CaCO3분말, SiO2분말을 첨가할 수도 있다.
각 원료의 배합비는, 최종적으로 얻고자하는 조성에 대응시킬 수가 있으나, 본 발명은 이 형태로 한정되지 않는다. 예를 들면, SrCO3분말, BaCO3분말 및 Fe2O3분말 중의 하나를, 하소 후에 첨가하여 최종 조성이 되도록 조정하여도 좋다.
<하소공정>
배합공정에서 얻어진 혼합분말재료를 1100~1400℃에서 하소한다. 이 하소를 질소가스나 아르곤가스 등의 비산화성 분위기 중에서 실시하는 것에 의하여, Fe2O3(헤머타이트) 분말중의 Fe3+가 환원되는 것에 의하여 Fe2+가 발생하여, W형 페라이트가 생성된다. 다만, 이 단계에서 Fe2+의 양을 충분히 확보할 수 없으면, W상 외에 M상 또는 헤머타이트상이 존재하게 된다. 또한, W단상의 페라이트를 얻기 위해서는, 산소분압을 조정하는 것이 유효하다. 산소분압을 낮추면, Fe3+가 환원되어 Fe2+가 생성되기 쉬워지기 때문이다.
또한, 배합공정에 있어서 부성분을 이미 첨가하고 있는 경우에는, 하소체를 소정의 입자정도(粒度)로 분쇄하는 것에 의하여 페라이트자석 분말로 할 수도 있다.
<조분쇄공정>
하소체는 일반적으로 과립상이기 때문에, 이것을 조분쇄하는 것이 바람직하다. 조분쇄공정에서는, 진동밀 등을 사용하며, 평균입경이 0.5~10㎛이 될 때까지 처리한다. 여기서 얻어진 분말을 조분말이라고 하기로 한다.
<제1의 미분쇄공정>
제1의 미분쇄공정에서는 조분말을 아트라이터나 볼밀, 또는 제트밀 등을 사용하여, 습식 또는 건식분쇄하여 평균입경이 0.08~0.8㎛, 바람직하게는 0.1~0.4㎛, 보다 바람직하게는 0.1~0.2㎛으로 분쇄한다. 이 제1의 미분쇄공정은, 조분말을 없애는 것, 또, 자기특성의 향상을 위하여 소결 후의 조직을 미세하게 하는 것을 목적으로 하여 실시하는 것이며, 비표면적(BET법에 의함)으로서는 20~25㎡/g의 범위로 하는 것이 바람직하다.
분쇄방법에 따라 다르겠으나, 조분쇄 분말을 볼밀로 습식분쇄하는 경우에는, 조분쇄 분말 200g당 60~100시간동안 처리하면 좋다.
또한 보자력의 향상이나 결정입경의 조정을 위하여, 제1의 미분쇄공정에 앞서, CaCO3와 SiO2, 또는 다시 SrCO3나 BaCO3 등의 분말을 첨가하여도 좋다.
<분말 열처리공정>
분말 열처리공정에서는, 제1의 미분쇄에서 얻어진 미세분말을 600~1200℃, 보다 바람직하게는 700~1000℃에서 1초~100시간동안 유지하는 열처리를 실시한다.
제1의 미분쇄를 거치는 것에 의하여, 0.1㎛미만의 분말인 초미세분말이 불가피하게 생성되어 버린다. 초미세분말이 존재하면, 후속하는 자장중에서의 성형공정 에서 문제가 발생할 수가 있다. 예를 들면, 습식성형시에 초미세분말이 많으면, 탈수가 나빠서 성형할 수 없는 등의 문제가 발생한다. 그래서, 본 실시형태에서는 자장중에서의 성형공정에 앞서, 열처리를 실시한다. 즉, 이 열처리는, 제1의 미분쇄에서 발생한 0.1㎛ 미만의 초미세분말을 그 이상의 입경의 미세분말(예를 들면, 0.1~0.2㎛의 미세분말)과 반응시키는 것에 의하여, 초미세분말의 양을 감소시키는 것을 목적으로 하여 실시하는 것이다. 상기 열처리에 의하여 초미세분말이 감소되어, 성형성을 향상시킬 수가 있게 된다.
이 때의 열처리 분위기는, 하소로 생성된 Fe2+가 산화에 의해 Fe3+로 되는 것을 피하기 위하여, 비산화성 분위기로 한다. 본 발명에 있어서의 비산화성 분위기란, 질소가스, Ar가스 등의 불활성가스 분위기를 포함한다. 또, 본 발명의 비산화성 분위기는, 10vol%이하의 산소의 함유를 허용한다. 이 정도의 산소의 함유라면, 상기 온도에서의 유지에 있어서 Fe2+의 산화는 무시할 수 있을 정도이다. 열처리분위기의 산소함유량은 1vol% 이하, 다시 0.1vol% 이하인 것이 바람직하다.
<제2의 미분쇄공정>
다음에 이어지는 제2의 미분쇄 공정에서는, 열처리된 미분쇄분말을 아트라이터나 볼밀, 또는 제트밀 등을 사용하여, 습식 또는 건식분쇄하여 평균입경으로 0.8㎛ 이하, 바람직하게는 0.1~0.4㎛, 보다 바람직하게는 0.1~0.2㎛로 분쇄한다. 상기 제2의 미분쇄공정은, 입자정도의 조정이나 네킹(necking)의 제거, 첨가물의 분산성 향상을 목적으로 하여 실시하는 것이며, 비표면적(BET법에 의함)으로서는 10~20㎡ /g, 다시 10~15㎡/g의 범위로 하는 것이 바람직하다. 이 범위로 비표면적이 조정되면, 초미립자가 존재한다고 하여도 그 양은 적고, 성형성에 악영향을 미치지 않는다. 즉, 상기 제1의 미분쇄공정, 분말 열처리공정 및 제2의 미분쇄공정을 거치는 것에 의하여, 성형성에 악영향을 주지 않으며, 또 소결 후의 조직을 미세화한다는 요구를 충족시킬 수가 있다.
분쇄방법에 따라서 다르겠으나, 볼밀로 습식분쇄할 경우에는, 미분쇄분말 200g당 10~40시간 처리하면 좋다. 제2의 미분쇄공정을 제1의 미분쇄공정과 같은 정도의 조건으로 실시하면, 초미세분말이 재차 생성되게 되는 것과, 제1의 미분쇄공정에서 이미 소망하는 입경이 대부분 얻어지기 때문에, 제2의 미분쇄공정은 통상 제1의 미분쇄공정보다도 분쇄조건이 경감된 것으로 한다. 여기서, 분쇄조건이 경감되어 있는 지의 여부는, 분쇄시간에 한정되지 않고 분쇄시에 투입되는 기계적인 에너지를 기준으로 하여 판단하면 좋다.
또한, 보자력(HcJ)의 향상이나 결정입경의 조정을 위하여, 제2의 미분쇄공정에 앞서, CaCO3와 SiO2, 또는 다시 SrCO3 나 BaCO3 등의 분말을 첨가하여도 좋다.
소성공정에 있어서 환원효과를 발휘하는 카본분말을, 상기 제2의 미분쇄공정에 앞서 첨가할 수가 있다. 카본분말의 첨가는, W형 페라이트를 단상에 가까운 상태(또는 단상)로 생성시키는 데에 있어서 유효하다. 여기서, 카본분말의 첨가량(이하,「카본량」이라고 한다)은 원료분말에 대하여 0.05~0.7wt%의 범위로 한다. 카본량을 이 범위로 하는 것에 의하여, 후술하는 소성공정에 있어서의 카본분말의 환원 제로서의 효과를 충분히 얻을 수 있는 것과 동시에, 카본분말을 첨가하지 않는 경우보다도 높은 포화자화(σs)를 얻을 수가 있다. 본 발명에 있어서의 바람직한 카본량은 0.1~0.65wt%, 보다 바람직한 카본량은 0.15~0.6wt%이다. 또한, 첨가하는 카본분말로서는, 카본블랙 등의 공지의 물질을 사용할 수가 있다.
본 발명에 있어서는, 첨가된 카본 분말이 성형체 중에서 편석(偏析)하는 것을 억제하기 위하여, 일반식 Cn(OH)nHn+2로 나타내는 다가(多價) 알코올을 첨가하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 일반식에 있어서, 탄소수n은 4이상으로 한다. 탄소수 n이 3이하이면, 카본 분말의 편석억제효과가 불충분해진다. 탄소수 n의 바람직한 값은 4~100, 보다 바람직하게는 4~30, 더욱 바람직하게는 4~20, 한층 더 바람직하게는 4~12이다. 다가 알코올로서는 소르비톨이 바람직하나, 2종 이상의 다가 알코올을 병용하여도 좋다. 또한, 본 발명에서 사용하는 다가 알코올에 추가하여, 다른 공지의 분산제를 더 사용하여도 좋다.
상기한 일반식은, 골격이 모두 사슬식이며, 또한 불포화결합을 포함하고 있지 않은 경우의 식이다. 다가 알코올 중의 수산기수, 수소수는 일반식으로 표시되는 수보다도 다소 적어도 좋다. 상기 일반식에 있어서, 포화결합에 한정되지 않고 불포화결합을 포함하고 있어도 좋다. 또, 기본골격은 사슬식이라도 좋고, 환(고리)식이라도 좋으나, 사슬식인 것이 바람직하다. 또, 수산기수가 탄소수 n의 50%이상이라면, 본 발명의 효과는 실현되지만, 수산기수는 많은 편이 바람직하며, 수산기수와 탄소수가 일치하는 것이 가장 바람직하다. 상기 다가 알코올의 첨가량으로서 는, 첨가되는 분말에 대하여 0.05~5.0wt%, 바람직하게는 0.1~3.0wt%, 보다 바람직하게는 0.3~2.0wt%로 하면 좋다. 또한, 첨가한 다가 알코올의 대부분은 자장중에서의 성형공정 후에 실시되는 성형체 열처리 공정에서 분해제거된다. 성형체 열처리 공정에 있어서, 분해제거되지 않고 잔존한 다가 알코올에 대해서도, 이어지는 소성공정에서 분해제거된다.
<자장중에서의 성형공정>
자장중에서의 성형공정은, 건식성형 또는 습식성형 중의 어느 것으로도 실시할 수가 있으나, 자기적 배향도를 높게 하기 위해서는, 습식성형으로 실시하는 것이 바람직하다. 따라서, 이하에서는 습식성형용 슬러리의 조제에 대하여 설명한 후에, 이어지는 자장중에서의 성형공정에 대하여 설명한다.
습식성형을 채용하는 경우는, 제2의 미분쇄 공정을 습식으로 실시하고, 얻어진 슬러리를 농축하여 습식성형용 슬러리를 조제한다. 농축은, 원심분리나 필터프레스 등을 사용하여 실시하면 좋다. 이 때, 페라이트자석 분말이 습식성형용 슬러리 중의 30~80wt%를 차지하는 것이 바람직하다. 또, 분산매로서의 물에는, 글루콘산(염), 소르비톨 등의 계면활성제를 첨가하는 것이 바람직하다. 이어서, 습식성형용 슬러리를 사용하여 자장중 성형을 실시한다. 성형압력은 0.1~0.5ton/㎠정도, 인가자장은 5~15kΟe정도로 하면 좋다. 또한, 분산매는 물로 한정하지 않으며, 비수계(非水系)의 것이라도 좋다. 비수계의 분산매를 사용하는 경우에는, 톨루엔이나 크실렌 등의 유기용매를 사용할 수가 있다. 비수계의 분산매로서, 톨루엔 또는 크실렌을 사용하는 경우에는, 올레인산 등의 계면활성제를 첨가하는 것이 바람직하 다.
<성형체 열처리 공정>
본 공정에서는, 성형체를 100~450℃, 보다 바람직하게는 200~350℃의 저온에서, 1~4시간 유지하는 열처리를 실시한다. 이 열처리를 대기중에서 실시하는 것에 의하여, Fe2+의 일부가 산화되어 Fe3+가 된다. 즉, 본 공정에서는, Fe2+로부터 Fe3+에로의 반응을 어느 정도 진행시키는 것에 의하여, Fe2+의 양을 소정량으로 제어하는 것이다.
<소성공정>
이어지는 소성공정에서는, 성형체를 1100~1270℃, 보다 바람직하게는 1160~1240℃의 온도에서 0.5~3시간 유지하여 소성한다. 소성분위기는, 하소공정과 같은 이유에 의하여, 비산화성 분위기 중에서 실시한다. 또, 본 공정에 있어서, 제2의 미분쇄 공정에 앞서 첨가한 카본분말이 소실된다.
이상의 공정을 거치는 것에 의해, 본 발명의 W형 페라이트 소결자석을 얻을 수가 있다. 이 W형 페라이트 소결체에 의하면, 4600G 이상, 다시 4650G 이상의 잔류자속밀도(Br)를 얻을 수가 있다. 또, 3000Οe 이상, 다시 3300Οe 이상의 보자력(HcJ)을 얻을 수가 있다. 또, 본 발명은 얻어진 W형 페라이트 소결자석을 분쇄하여 페라이트자석 분말로서 사용할 수도 있다. 이 페라이트자석 분말은, 본드자석에 사용할 수가 있다.
이상, 페라이트 소결자석의 제조방법에 대하여 설명하였으나, 페라이트자석 분말을 제조할 경우에도 동일한 공정을 적절히 채용할 수가 있다. 본 발명에 의한 페라이트자석 분말은, 하소체로부터 제작하는 경우와, 소결체로부터 제작하는 경우의 2개의 공정에 의하여 제작할 수가 있다.
하소체로부터 제작할 경우에는, CaCO3 및 SiO2를 하소공정의 이전에 첨가한다. CaCO3 및 SiO2를 첨가하여 얻어진 하소체는, 조분쇄, 분말 열처리, 미분쇄가 실시되어 페라이트자석 분말이 된다. 이 페라이트자석 분말에는, 상술한 열처리를 실시한 후에 페라이트자석 분말로서 실용에 제공할 수가 있다. 예를 들면, 분말 열처리가 실시된 페라이트자석 분말을 사용하여 본드자석을 제작한다. 상기 페라이트자석 분말은, 본드자석에만 제공되는 것이 아니라, 페라이트 소결자석의 제작에도 활용할 수가 있다. 따라서, 페라이트 소결자석의 제조공정 중에, 페라이트자석 분말이 제조되고 있다고도 할 수 있다. 다만, 본드자석에 사용하는 경우와, 페라이트 소결자석에 사용하는 경우에는, 그 입자정도가 다를 경우가 있다.
페라이트 소결자석으로부터 페라이트자석 분말을 제작하는 경우에는, 소성공정 이전의 어느 한 단계에서 CaCO3 및 SiO2를 첨가하면 좋다.
상술한 공정에 의하여 얻어진 페라이트 소결자석을 적당히 분쇄하는 것에 의하여, 페라이트자석 분말을 제작할 수가 있다.
상술한 바와 같이, 페라이트자석 분말로서는, 하소 분말, 하소 및 소성을 거친 후에 분쇄된 분말, 하소 후에 분쇄한 후 열처리된 분말, 의 형태를 포함하고 있다.
실시예 1
우선, 원료분말로서, Fe2O3분말(1차 입자지름:0.3㎛), SrCO3분말(1차 입자지름:2㎛) 및 BaCO3분말(1차 입자지름:0.05㎛)을 준비하였다. 이 원료분말을 도1의 배합조성이 되도록 칭량한 후, 습식아트라이터로 2시간 혼합, 분쇄하였다.
이어서, 하소를 실시하였다. 하소는 관형상의 노(爐)를 사용하여, N2가스 분위기 중에서 1시간 유지하는 조건으로 실시한다. 또한, 가열유지온도는, 1300℃로 하고, 가열유지온도까지의 승온 및 가열유지온도로부터의 강온의 속도는 5℃/분으로 하였다.
이어서, 진동밀을 사용하여 해쇄(解碎)를 실시하였다. 진동밀에 의한 해쇄는, 하소체 220g에 대하여 10분간 처리하는 것이다.
다음의 미분쇄는 볼밀을 사용하여 2단계로 실시하였다. 제1의 미분쇄는 조분쇄분말 210g에 대하여 물 400ml을 첨가하여 88시간 처리하는 것이다.
제1의 미분쇄 후에, 미분쇄분말을 N2가스 분위기 중, 800℃에서 10분, 1시간 유지하는 조건에서 열처리를 실시하였다. 또한, 가열유지온도까지의 승온 및 가열유지온도로부터의 강온의 속도는 5℃/분으로 하였다.
이어서, 볼밀을 사용하여 습식분쇄하는 제2의 미분쇄를 실시하여, 습식성형용 슬러리를 얻었다. 또한, 제2의 미분쇄 전에, 상기 열처리가 실시된 미분쇄분말에 대하여 SiO2분말(1차 입자지름:0.01㎛)을 0.6wt%, CaCO3분말(1차 입자지름:1㎛) 을 0.7wt%, SrCO3분말(1차 입자지름:2㎛)을 0.7wt%, 카본분말(1차 입자지름:0.05㎛)을 0.4wt% 각각 첨가하는 것과 동시에, 다가 알코올로서 소르비톨(1차 입자지름:10㎛)을 1.2wt% 첨가하였다.
제2의 미분쇄를 실시하여 얻어진 슬러리를 원심분리기로 농축하고, 농축된 습식성형용 슬러리를 사용하여 자장중 성형을 실시하였다. 또한, 인가된 자계(세로자장)는 12kΟe(1000kA/m)이고, 성형체는 직경 30㎜, 높이 15㎜의 원주형상이다. 또한, 어느 성형에 있어서도 문제가 발생하지 않았다. 이 성형체를 대기중 300℃에서 3시간 열처리한 후, 질소중에서 승온속도 5℃/분, 최고온도 1190℃에서 1시간 소성하여 소결체를 얻었다. 얻어진 소결체의 조성을 일본국 리가쿠덴키(주)의 형광 X선 정량분석장치 SIMULTIX3550을 사용하여 측정하였다.
이어서, 얻어진 소결체에 대하여, 보자력(HcJ), 잔류자속밀도(Br) 및 각형비(Hk/HcJ)를 측정하였다. 그 결과를 도1에 나타낸다. 또한, 보자력(HcJ) 및 잔류자속밀도(Br)는, 얻어진 소결체의 상하면을 가공한 후, 최대 인가자장 25kΟe의 B-H트레이서를 사용하여 평가하였다. 또, Hk는, 자기 히스테리시스 루프의 제2상한(象限)에 있어서, 자화가 잔류자속밀도(Br)의 90%가 될 때의 외부자계강도이다. Hk가 낮으면, 높은 최대에너지적(積)이 얻어지지 않는다. Hk/HcJ는, 자석성능의 지표가 되는 것이며, 자기 히스테리시스 루프의 제2상한에 있어서의 각이 지는 정도를 나타낸다. 측정한 결과를 도1에 나타낸다.
얻어진 소결체의 평균결정입경을 측정하였다. 그 결과를 도1에 나타낸다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 또한, 평균결정입경의 측정은 이하와 같이 하였다. 소결체 A면(a축과 c축이 포함되는 면)을 경면(鏡面) 연마한 후에 산(酸)에칭하고, SEM(주사형 전자현미경) 사진을 촬영하고 개개의 입자를 인식한 후, 화상해석에 의해 개개의 입자의 중심을 통과하는 최대 지름을 측정하고, 그것을 소결체의 입경으로 하였다. 그리고, 평균 결정입경은 1시료당 100개 정도의 결정입자에 대하여 계측하여, 전체 측정입자의 결정입경의 평균값으로 하였다.
얻어진 소결체의 상의 상태를 X선 회절에 의해 동정(同定)하였다. 그 결과를 도1에 나타낸다. 모든 소결체는 M상을 포함하고 있었으나, 몰비로 5~20%정도였다(도1의 「W+M」). 여기서, 본 실시형태에 있어서의 몰비는, W형 페라이트, M형 페라이트, 헤머타이트, 스피넬 각각의 분말시료를 소정의 비율로 혼합하고, 그들의 X선 회절의 강도로부터 비교산정하는 것에 의해 산출하였다. 또한, X선 회절의 조건은 이하와 같다.
X선 발생장치 : 3kW
관전압 : 45kV
관전류 : 40mA
샘플링 폭 : 0.02deg
주사속도 : 4.00deg/min
발산슬릿 : 1.00deg
산란슬릿 : 1.00deg
수광(受光)슬릿 : 0.30㎜
도2에 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27에 있어서의 x와 보자력(HcJ)의 관계를, 도3에 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27에 있어서의 x와 잔류자속밀도(Br)의 관계를 나타낸다. 또, 도4에 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27에 있어서의 x와 평균결정입경의 관계를 나타낸다.
도2 및 도3에 나타내는 바와 같이, x가 커지는, 즉, Sr을 치환하는 Ba의 양이 커짐에 따라서 보자력(HcJ) 및 잔류자속밀도(Br)가 향상되는 것을 알 수 있다. 다만, 보자력(HcJ) 및 잔류자속밀도(Br) 향상의 효과에는 피크가 존재하고 있다. 이상의 결과로부터, 본 발명에서는, x를 0.03≤x≤0.8로 한다.
그런데, 도4에 나타내는 바와 같이, Sr의 일부를 Ba로 치환하는 것에 의해, 결정립이 미세화되는 것을 알 수 있다. 그리고, 결정립의 미세화 효과의 경향이, 보자력(HcJ)향상 효과의 경향과 합치하고 있는 것으로부터, 보자력(HcJ)의 향상효과는, 이 결정립의 미세화에 기인하는 것으로 이해할 수 있다.
실시예 2
제2의 미분쇄시에, 카본분말(1차 입자지름:0.05㎛)을 0.4wt%, 소르비톨(1차 입자지름:10㎛)을 1.2wt% 첨가하는 것과 동시에, 도5에 나타내는 화합물을 첨가한 것 이외는, 실시예1의 No.5와 동일한 조건으로 소결체를 제조하고, 다시 실시예1과 동일하게 하여 보자력(HcJ), 잔류자속밀도(Br) 및 각형비(Hk/HcJ)를 측정하였다. 그 결과를 도5에 나타낸다. 또, 얻어진 소결체에 대하여, 실시예1과 동일하게 조성분석을 실시하였다. 그 결과를 도6에 나타낸다.
도5 및 도6에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 x, a 및 b의 범위에 있어서, 제2의 미분쇄시의 첨가물을 조정하는 것에 의해, 4600G 이상의 잔류자속밀도(Br)를 가지면서, 3500Οe 또는 3600Οe 이상의 보자력(HcJ)을 얻을 수가 있다.
실시예 3
Fe2O3분말(1차 입자지름:0.3㎛), SrCO3분말(1차 입자지름:2㎛) 및 BaCO3분말(1차 입자지름:0.05㎛)을, 상기 식(1)의 a, b 및 x의 값이 최종적으로 도7과 같이 되도록 칭량값과 성형체의 열처리온도를 변경한 것 이외는, 실시예1과 동일한 조건으로 소결체를 얻었다. 얻어진 소결체에 대하여 실시예1과 동일한 조건으로 자기특성을 평가하였다. 그 결과를 도7에 나타낸다.
도7에 나타내는 바와 같이, a, b 및 x의 값을 본 발명이 권장하는 범위 내로 한 경우에는, 3000Οe 이상의 보자력(HcJ), 4600G 이상의 잔류자속밀도(Br), 85% 이상의 각형비(Hk/HcJ)를 겸비할 수가 있었다.
또, 얻어진 소결체의 상의 상태를 실시예1과 동일한 조건에서 X선 회절에 의해 동정하였다. 그 결과도 도7에 나타내는바, 소결체에는 M상을 포함하고 있는 것도 있으나, 몰비로 0~20%정도였다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 소정의 비율로 Sr 및 Ba가 공존하는 육방정 W형 페라이트를 사용하는 것에 의해, 지금까지 알려져 있는 Sr을 단독으로 포함하는 육방정 W형 페라이트보다 자기특성, 특히 보자력(HcJ)을 향상시킬 수가 있다. 구체적으로는, 3000Οe 이상의 보자력(HcJ) 및 4600kG 이상의 잔류자속밀도(Br)를 얻을 수가 있다.
Claims (17)
- Sr, Ba 및 Fe 각각의 금속원소의 총계의 구성비율을Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ b의 식으로 나타내었을 때,0.03≤x≤0.80,1.1≤a≤2.4,12.3≤b≤16.1인 조성을 갖는 산화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제1항에 있어서,상기 산화물은 Sr(1-x)BaxFe2+ aFe3+ bO27로 나타내는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제1항에 있어서,육방정 W형 페라이트가 주상을 이루는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제1항에 있어서,상기 x가 0.10≤x≤0.65의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제1항에 있어서,부성분으로서 Ca성분 및 Si성분의 1종 또는 2종을 CaCO3, SiO2환산으로, CaCO3:3.0wt% 이하, SiO2:0.2~1.4wt%를 함유하는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제1항에 있어서,상기 페라이트 자성재료는, 페라이트 소결자석, 페라이트 자석분말, 수지 중에 분산되는 페라이트 자석분말로서 본드자석, 및 막형상의 자성상으로서 자기기록매체 중의 어느 하나를 구성하는 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- 제6항에 있어서,상기 페라이트 소결자석은, 평균결정입경이 0.6㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 페라이트 자성재료.
- Sr 및 Ba를 포함하는 육방정 W형 페라이트를 자성상으로서 포함하고, 평균결정입경이 0.6㎛ 이하의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자 석.
- 제8항에 있어서,보자력(HcJ)이 3000Οe 이상, 잔류자속밀도(Br)가 4600G 이상, 각형비(Hk·HcJ)가 85% 이상인 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석.
- 제8항에 있어서,Ba/Sr+Ba(몰비)가, 0.03~0.80인 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석.
- 제8항에 있어서,Ba/Sr+Ba(몰비)가, 0.10~0.65인 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석.
- 제11항에 있어서,보자력(HcJ)이 3200Οe 이상, 잔류자속밀도(Br)가 4600G 이상, 각형비(Hk·HcJ)가 85% 이상인 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석.
- Sr, Ba 및 Fe를 포함하는 원료분말의 혼합물을 하소하는 공정 A와,상기 공정 A에서 얻어진 하소체를 조분쇄하는 공정 B와,상기 공정 B에서 얻어진 조분말을 소정의 입자정도(粒度)까지 미분쇄하는 공정 C와,상기 공정 C에서 얻어진 미세분말을 자장중에서 성형하는 공정 D와,상기 공정 D에서 얻어진 성형체를 소성하여 육방정 W형 페라이트를 자성상으로 하는 소결체를 얻는 공정 E를 구비하는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법.
- 제13항에 있어서,상기 하소하는 공정 A 이후, 상기 자장중에서 성형하는 공정 D 이전에, Sr 및 Ba 중에서 선택된 1종 또는 2종을 포함하는 분말을 첨가하는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법.
- 제13항에 있어서,상기 미분쇄하는 공정 C는,상기 조분말을 소정의 입자정도까지 분쇄하는 제1의 미분쇄공정과,상기 제1의 미분쇄공정에서 얻어진 분쇄분말을 산소농도가 10vol% 이하의 분위기에 있어서 소정시간, 소정의 온도로 유지하는 분말 열처리공정과,상기 분말 열처리공정을 거친 분쇄분말을 소정의 입자정도까지 분쇄하는 제2의 미분쇄공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법.
- 제15항에 있어서,상기 분말 열처리공정에서는, 상기 제1의 미분쇄공정에서 얻어진 분쇄분말을 600~1200℃에서 1초~100시간 유지하는 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법.
- 제15항에 있어서,상기 제2의 미분쇄공정은, 상기 제1의 미분쇄공정보다도 분쇄조건이 경감된 것을 특징으로 하는 페라이트 소결자석의 제조방법.
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