KR100513609B1 - 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- 기판 상에 박막 트랜지스터 및 발광 소자를 갖는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법으로서,기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와,상기 박막 트랜지스터를 덮도록 평탄화 절연막을 형성하는 단계와,상기 평탄화 절연막 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,상기 제1 전극 상에 발광 소자층을 형성하는 단계와,상기 발광 소자층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 제1 전극을 형성하는 단계에 있어서, 염소계 가스를 이용하여 드라이 에칭 함으로써, 상기 제1 전극의 단부를 사면으로 하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1 전극의 단부를 10°이상 45°이하의 각도의 사면으로 하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1 전극의 단부를 25°이상 35°이하의 각도의 사면으로 하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한항에 있어서,상기 제1 전극을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제1 전극의 두께를 상기 발광 소자층의 막 두께의 1/2보다도 얇게 하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한항에 있어서,상기 제1 전극을 형성하는 단계에 있어서, 상기 제1 전극의 두께를 상기 발광 소자층의 막 두께의 1/3보다도 얇게 하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
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- 제1항 내지 제3항 중 어느 한항에 있어서,상기 발광 소자층을 형성하는 단계에 있어서, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층을 적층하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 제조 방법.
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