KR100484023B1 - 마스크 및 그 제조 방법, 및 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 및 그 제조 방법, 및 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법 Download PDF

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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 강도가 큰 마스크 및 그 제조 방법, 및 EL 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
마스크의 제조 방법은 개구(12)가 형성된 제 1 기판(10)에 복수의 관통홀(22)이 형성된 제 2 기판(20)을 부착하는 것을 포함한다. 복수의 관통홀(22)은 개구(12)의 내측에 배치된다. 제 1 및 제 2 기판(10, 20)은 양극(陽極) 접합에 의해서 접합해도 좋다. 제 1 및 제 2 정렬 마크(14, 24)에 의해 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 위치 결정하여 부착해도 좋다.

Description

마스크 및 그 제조 방법, 및 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법{MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRO-LUMINESCENCE DEVICE}
본 발명은 마스크 및 그 제조 방법, 및 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
고정세한 마스크가 요구되고 있다. 예를 들면, 컬러의 유기 일렉트로루미네선스(이하, EL 이라고 함) 장치의 제조 프로세스에서, 각 색의 유기 재료를, 마스크를 사용한 증착에 의해 형성하는 것이 알려져 있다. 마스크의 제조 방법으로서, 기재(基材)를 에칭하는 방법이 알려져 있지만, 이 방법으로 제조된 마스크는 매우 얇기 때문에 젖혀짐이나 휘어짐이 발생하는 문제가 있었다.
본 발명은 종래의 문제점을 해결하는 것으로, 그 목적은 강도가 큰 마스크 및 그 제조 방법, EL 장치 및 그 제조 방법, 및 전자 기기를 제공하는 것에 있다.
(1) 본 발명에 따른 마스크의 제조 방법은,
개구가 형성된 제 1 기판에, 복수의 관통홀이 형성된 제 2 기판을 부착하는 것을 포함하고,
상기 복수의 관통홀을 상기 개구의 내측에 배치한다.
본 발명에 의하면, 제 1 기판에 의해 제 2 기판이 보강되어 있으므로, 강도가 큰 마스크를 제조할 수 있다.
(2) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
양극(陽極) 접합에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판을 접합해도 좋다.
여기서, 양극 접합이란 전압의 인가에 의해 접합 계면에 정전 인력을 생기게 하여, 접합 계면에서 화학 결합을 생기게 하는 접합 방법이다.
(3) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
에너지 경화성 접착제에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판을 접착해도 좋다.
여기서, 에너지는 광(자외선, 적외선 및 가시광), X선 등의 방사선, 열을 포함한다. 이것에 의하면, 제 1 및 제 2 기판을 위치 맞춤하고 나서 에너지를 부여할 수 있고, 제 1 및 제 2 기판의 위치 맞춤을 간단히 행할 수 있다.
(4) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 2 기판은 실리콘 웨이퍼에 상기 복수의 관통홀을 형성하고, 상기 제 2 기판의 외형에 대응하도록 상기 실리콘 웨이퍼를 절단하는 것을 포함하는 공정에 의해 형성해도 좋다.
(5) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 1 기판은 제 1 정렬 마크를 가지며,
상기 제 2 기판은 제 2 정렬 마크를 가지며,
상기 제 1 및 제 2 정렬 마크에 의해, 상기 제 1 및 제 2 기판을 위치 결정하여 부착해도 좋다.
(6) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 기판의 적어도 한 쪽에, 마스크 위치 결정 마크를 형성하는 것을 더 포함해도 좋다.
여기서, 마스크 위치 결정 마크란 마스크를 사용하여 증착 등을 행할 때에, 마스크의 위치 맞춤을 행하기 위한 것이다.
(7) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 2 기판에 자성체막을 형성하는 것을 더 포함해도 좋다.
이렇게 함으로써, 자력(磁力)에 의해 흡착할 수 있는 마스크를 제조할 수 있다.
(8) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
복수의 상기 제 2 기판을 상기 제 1 기판에 부착하고,
상기 제 1 기판에는 복수의 상기 개구가 형성되어 있고,
각각의 상기 제 2 기판을 1개의 상기 개구에 대응시켜 부착해도 좋다.
이것에 의하면, 대형의 마스크(복수의 마스크가 일체화된 마스크)를 제조할 수 있다.
(9) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 1 기판 및 상기 복수의 제 2 기판을 착탈할 수 있도록 부착해도 좋다.
이것에 의하면, 파손된 각각의 제 2 기판을 교환할 수 있으므로 경제적이다.
(10) 이 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 제 1 기판에 부착된 상기 복수의 제 2 기판의 표면을 연마하여, 높이를 균일화하는 것을 더 포함해도 좋다.
이것에 의하면, 복수의 제 2 기판의 표면이 평탄화되기 때문에, 증착 등을 행하는 대상물과의 밀착성을 높일 수 있다.
(11) 본 발명에 따른 마스크는, 개구가 형성되어 있는 제 1 기판과,
상기 제 1 기판에 부착되고 복수의 관통홀이 형성된 제 2 기판을 가지며,
상기 복수의 관통홀은 상기 개구의 내측에 배치되어 있다.
본 발명에 의하면, 제 2 기판이 제 1 기판에 의해 보강되어 있으므로, 제 2 기판이 젖혀지거나 휘어지는 것을 없앨 수 있다.
(12) 이 마스크에 있어서,
양극 접합에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판이 접합되어 있어도 좋다.
여기서, 양극 접합이란 전압의 인가에 의해 접합 계면에 정전 인력을 생기게 하여, 접합 계면에서 화학결합을 생기게 하는 접합 방법이다.
(13) 이 마스크에 있어서,
에너지 경화성 접착제에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판이 접착되어 있어도 좋다.
(14) 이 마스크에 있어서,
상기 제 1 기판은 제 1 정렬 마크를 가지며,
상기 제 2 기판은 제 2 정렬 마크를 가지며,
상기 제 1 및 제 2 정렬 마크에 의해, 상기 제 1 및 제 2 기판이 위치 결정되어 있어도 좋다.
(15) 이 마스크에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 기판의 적어도 한 쪽에는 마스크 위치 결정 마크가 형성되어 있어도 좋다.
여기서, 마스크 위치 결정 마크란 마스크를 사용하여 증착 등을 행할 때에 마스크의 위치 맞춤을 행하기 위한 것이다.
(16) 이 마스크에 있어서,
상기 제 2 기판에는 자성체막이 형성되어 있어도 좋다.
이것에 의하면, 제 2 기판을 자력에 의해 흡착할 수 있다.
(17) 이 마스크에 있어서,
상기 제 1 기판에는 복수의 상기 개구가 형성되어 있고,
복수의 상기 제 2 기판이 상기 제 1 기판에 부착되어 있고,
각각의 상기 제 2 기판은 1개의 상기 개구에 대응시켜 부착되어 있어도 좋다.
이 마스크는 복수의 마스크가 일체화된 것으로, 대형의 마스크로 되어 있다.
(18) 이 마스크에 있어서,
상기 제 1 기판 및 상기 복수의 제 2 기판은 착탈할 수 있도록 부착되어 있어도 좋다.
이것에 의하면, 파손된 각각의 제 2 기판을 교환할 수 있으므로 경제적이다.
(19) 이 마스크에 있어서,
상기 제 1 기판에 부착된 상기 복수의 제 2 기판은 표면이 연마되어 높이가 균일화되어 있어도 좋다.
이것에 의하면, 복수의 제 2 기판의 표면이 평탄화되어 있으므로, 증착 등을 행하는 대상물과의 밀착성을 높일 수 있다.
(20) 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법은, 상기 마스크를 사용하여 발광 재료를 성막하는 것을 포함한다.
(21) 본 발명에 따른 EL 장치는 상기 방법에 의해 제조된다.
(22) 본 발명에 따른 전자 기기는 상기 EL 장치를 갖는다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1의 (A) ∼ 도 1의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크를 설명하는 도면이다. 도 1의 (B)는 도 1의 (A)에 나타낸 IB-IB선에 의한 단면도이다. 도 2의 (A) ∼ 도 2의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 확대도이다. 도 2의 (B)는 도 2의 (A)에 나타낸 IIB-IIB선에 의한 단면도이다. 마스크는 제 1 기판(10)과, 적어도 1개의 (도 1의 (A)에 나타낸 예에서는 복수의) 제 2 기판(20)을 갖는다. 도 3은 제 1 기판을 나타내는 도면이며, 도 4는 제 2 기판을 나타내는 도면이다.
제 1 기판(10)은 투명기판이어도 좋다. 제 1 기판(10)은 본 실시예에서는 제 2 기판(20)과의 양극 접합이 가능한 재료(예를 들면, 붕규산 유리)로 이루어진다. 제 1 기판(10)에는 적어도 1개의 (도 1의 (A)에 나타낸 예에서는 복수의) 개구(12)가 형성되어 있다. 제 1 기판(10)을 프레임이라고 할 수 있다. 개구(12)는 제 2 기판(20)보다도 작다. 단, 개구(12)는 제 2 기판(20)에서의 복수의 관통홀(22)이 형성된 영역보다도 크다. 개구(12)는 직사각형이어도 좋다.
제 1 기판(10)에는 제 1 정렬 마크(14)가 형성되어 있다. 제 1 정렬 마크(14)는 제 2 기판(20)과의 위치 맞춤에 사용된다. 제 1 정렬 마크(14)는 금속막으로 형성할 수 있고, 또는 에칭하여 형성해도 좋다. 제 1 기판(10)에는 마스크 위치 결정 마크(16)가 형성되어 있다. 마스크 위치 결정 마크(16)는 마스크를 사용하여 증착 등을 행할 때에 마스크의 위치 맞춤을 행하기 위한 것이다. 마스크 위치 결정 마크(16)도 금속막으로 형성할 수 있다. 변형예로서, 제 2 기판(20)에 마스크 위치 결정 마크(16)를 형성해도 좋다.
제 2 기판(20)은 직사각형이어도 좋다. 제 2 기판(20)에는 복수의 관통홀(22)(도 2의 (A) 및 도 2의 (B) 참조)이 형성되어 있다. 관통홀(22)의 형상은 정방형, 평행사변형, 원형의 어느 것이어도 좋다. 관통홀(22)의 형상, 배열 및 개수(個數)에 의해 마스크 패턴이 구성된다. 제 2 기판(20)을 스크린판이라고 할 수 있다.
제 2 기판(20)에는 제 2 정렬 마크(24)가 형성되어 있다. 제 1 및 제 2 기판(10, 20)은 제 1 및 제 2 정렬 마크(14, 24)를 사용하여 위치 맞춤되어 있다. 제 2 정렬 마크(24)는 제 2 기판(20)을 에칭하여 형성할 수 있고, 또는 금속막으로 형성해도 좋다.
제 2 기판(20)은 제 1 기판(10)에 부착되어 있다. 도 2의 (A)에 나타낸 바와 같이 제 2 기판(20)은 복수의 관통홀(22)이 개구(12)의 내측에 배치되도록 부착되어 있다. 또한, 제 2 기판(20)의 단부(端部)가 제 1 기판(10)의 개구(12)의 단부에 부착되어 있다. 자세하게는 제 2 기판(20)의 전체 테두리 단부(각진 링 형상 부분)이 제 1 기판(10)의 개구의 전체 테두리 단부 (각진 링 형상 부분)에 부착되어 있다. 1개의 개구(12)에 대응하여 1개의 제 2 기판(20)이 배치되어 있다. 제 2 기판(20)은 제 1 기판(10)에서의 제 1 정렬 마크(14)가 형성된 면과는 반대측의 면에 부착되어 있다. 본 실시예에서, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)은 양극 접합된다. 제 2 기판(20)은 제 1 기판(10)과의 양극 접합이 가능한 재료(예를 들면, 실리콘)로 이루어진다
도 5의 (A) ∼ 도 5의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 제조 방법을 설명하는 도면이다. 본 실시예에서는 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 준비한다. 제 1 기판(10)에서의 개구(12)의 형성에는 샌드블라스트를 적용해도 좋다. 제 1 기판(10)에서의 제 1 정렬 마크(14) 또는 마스크 위치 결정 마크(16)의 형성에는 스퍼터링이나 증착 등을 적용해도 좋고, 에칭을 적용해도 좋다.
제 2 기판(20)에는 복수의 관통홀(22)을 형성한다. 그 형성에는 에칭(예를 들면, 결정면 방위 의존성이 있는 이방성 에칭)을 적용해도 좋다. 관통홀(22)의 벽면은 제 2 기판(20)의 표면에 대하여 수직이어도 좋고, 테이퍼가 되어 있어도 좋다. 도 4에 나타낸 바와 같이 실리콘 웨이퍼(26)로부터 제 2 기판(20)을 형성해도 좋다. 그 경우, 실리콘 웨이퍼(26)를 제 2 기판(20)에 대응하여 절단해도 좋다. 제 2 기판(20)에서의 제 2 정렬 마크(24)의 형성에는 에칭을 적용해도 좋고, 스퍼터링이나 증착 등을 적용해도 좋다.
도 5의 (A)에 나타낸 바와 같이, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 위치 맞춤하여 배치한다. 복수의 제 2 기판(20)은 겹치지 않도록 배치한다. 제 1 기판(10)의 한쪽면 측에, 복수의 제 2 기판(20)을 배치한다. 위치 맞춤에는 제 1 및 제 2 정렬 마크(14, 24)를 사용한다. 위치에 관한 그 밖의 상세한 것은 상술한 바와 같다.
도 5의 (B)에 나타낸 바와 같이 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 부착한다. 제 1 기판(10)에 의해 제 2 기판(20)이 보강되므로, 강도가 큰 마스크를 제조할 수 있다. 본 실시예에서는 양극 접합을 적용한다. 자세하게는 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 접합면끼리 맞추어 배치하고, 300∼500℃정도로 가열하고, 500V 정도의 전압을 인가한다. 제 1 기판(10)이 붕규산 유리 (예를 들면 코닝 #7740(파이렉스(등록상표) 유리))로 이루어지고, 제 2 기판(20)이 실리콘으로 이루어질 경우, 제 1 기판(10)을 마이너스에 접속한다. 그렇게 하면, 제 1 기판(10)의 플러스 이온(나트륨 이온)이 마이너스 방향으로 이동하고, 제 1 기판(10)에서의 제 2 기판(20)측의 면이 마이너스로 대전된다. 한편, 제 2 기판(20)에서의 제 1 기판(10)측의 면은 플러스로 대전된다. 이렇게 하여, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)은 정전 인력으로 끌어당겨, 화학 결합이 생겨서 접합된다.
제 1 기판(10)을 구성하는 코닝 #7740(파이렉스(등록상표) 유리)의 열팽창계수는 약 3.5ppm/℃이며, 제 2 기판(20)을 구성하는 실리콘의 열팽창계수에 가깝다. 따라서, 마스크를 고온 하에서 사용해도 젖혀짐이나 휘어짐은 무시할 수 있을 만큼 작다. 또한, 양극 접합에 의하면 접착제를 사용하지 않으므로 경화 수축에 의한 휘어짐이 없고 가스가 나오지 않는다. 이와 같이, 본 실시예에 따른 마스크는 고진공에서의 증착에 최적이다.
또한, 본 발명은 접착제를 사용한 접합을 제거한 것은 아니다. 도 6은 본 실시예의 변형예를 설명하는 도면이다. 이 변형예에서는 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 접착제(30)로 접착한다. 접착제(30)는 에너지 경화성 접착제이어도 좋다. 에너지는 광(자외선, 적외선 및 가시광), X선 등의 방사선, 열을 포함한다. 이것에 의하면, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 위치 맞춤하고 나서 에너지를 부여할 수 있어, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)의 위치 맞춤을 간단히 행할 수 있다.
이상의 공정으로, 제 1 및 제 2 기판(10, 20)을 부착할 수 있다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 제 2 기판(20)의 두께에 편차가 있는 등의 이유로, 그 높이가 균일하지 않을 경우, 숫돌(40) 등으로 제 2 기판(20)의 표면을 연마해도 좋다. 이것에 의하면, 복수의 제 2 기판(20)의 표면이 평탄화되므로, 증착 등을 행하는 대상물과의 밀착성을 높일 수 있다.
도 8은 본 실시예의 변형예를 나타내는 도면이다. 이 변형예에서는 제 1 기판(10)에 제 2 기판(20)이 착탈할 수 있도록 부착된다. 예를 들면, 제 1 기판(10)에 부착부(42)를 부착하여 가이드홈을 구성하고, 이 가이드홈에 제 2 기판(20)을 끼워 넣어도 좋다. 또한, 도시하지 않은 나사 등에 의해서 제 2 기판(20)의 고정 또는 벗어남 방지를 도모해도 좋다. 이것에 의하면, 파손된 각각의 제 2 기판(20)을 교환할 수 있으므로 경제적이다.
도 9의 (A) 및 도 9의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 및 EL 장치의 제조 방법을 설명하는 도면이다. 도 9의 (A)에 나타낸 마스크(50)(예를 들면, 제 2 기판(20))에는 자성체막(52)이 형성되어 있다. 자성체막(52)은 철, 코발트, 니켈 등의 강자성재료로 형성될 수 있다. 또는 Ni, Co, Fe나, Fe 성분을 포함하는 스텐레스 합금 등의 자성금속재료나, 자성금속재료와 비자성금속재료의 결합에 의해 자성체막(52)을 형성해도 좋다. 마스크(50)의 그 밖의 상세한 것은 제 1 실시예에서 설명했다.
본 실시예에서는 마스크(50)를 사용하여 기판(54)에 발광 재료를 성막한다. 기판(54)은 복수의 EL 장치(예를 들면, 유기 EL 장치)를 형성하기 위한 것으로, 유리 기판 등의 투명 기판이다. 기판(54)에는 도 10의 (A)에 나타낸 바와 같이 전극 (예를 들면, ITO 등으로 이루어지는 투명 전극)(56)과 정공 수송층(58)이 형성되어 있다. 한편, 전자 수송층을 형성해도 좋다.
도 9의 (A)에 나타낸 바와 같이, 기판(54)측에 제 2 기판(20)이 위치하도록 마스크(50)를 배치한다. 기판(54)의 배후에는 자석(48)이 배치되어고 있어, 마스크(50)(제 2 기판(20))에 형성된 자성체막(52)을 끌어당기도록 되어 있다. 이것에 의해, 마스크(50)(제 2 기판(20))에 젖혀짐이 생겨도, 이를 교정할 수 있다.
도 9의 (B)는 마스크의 위치 맞춤 방법을 설명하는 도면이다. 상술한 바와 같이, 제 1 기판(10)에는 마스크 위치 결정 마크(16)가 형성되어 있다. 한편, 기판(54)에도, 위치 결정 마크(55)가 형성되어 있다. 마스크 위치 결정 마크(16)와 위치 결정 마크(55)를 사용하여 제 1 기판(10)과 기판(54)을 위치 맞춤한다.
도 10의 (A) ∼ 도 10의 (C)는 발광 재료의 성막 방법을 설명하는 도면이다. 발광 재료는 예를 들면 유기 재료이며, 저분자의 유기 재료로서 알루미퀴놀리놀 착체(Alq3)가 있고, 고분자의 유기 재료로서 폴리파라페닐렌비닐렌(PPV)이 있다. 발광 재료의 성막은 증착에 의해 행할 수 있다. 예를 들면, 도 10의 (A)에 나타낸 바와 같이, 마스크(50)를 통하여 적색의 발광 재료를 패터닝하면서 성막하여, 적색의 발광층(60)을 형성한다. 그리고, 도 10의 (B)에 나타낸 바와 같이 마스크(50)를 옮겨서 녹색의 발광 재료를 패터닝하면서 성막하여, 녹색의 발광층(62)을 형성한다. 그리고, 도 10의 (C)에 나타낸 바와 같이 마스크(50)를 다시 옮겨서 청색의 발광 재료를 패터닝하면서 성막하여, 청색의 발광층(64)을 형성한다.
본 실시예에서는, 스크린이 되는 제 2 기판(20)이 제 1 기판(10)에 의해 보강되어 있다. 따라서, 제 2 기판(20)의 젖혀짐이나 휨이 발생하지 않고, 선택 증착의 재현성이 높고, 생산성이 높다. 본 실시예에서, 마스크(50)에서는 제 1 기판(10)에 복수의 개구(12)가 형성되고, 각각의 개구(12)에 대응하여 제 2 기판(20)이 위치하고 있다. 각각의 제 2 기판(20)이 1개의 EL 장치에 대응한다. 즉, 마스크(50)를 사용하여 일체화된 복수의 EL 장치를 제조할 수 있다. 기판(54)을 절단하여 각각의 EL 장치를 얻을 수 있다.
도 11은 상술한 발광 재료의 성막 방법을 거쳐서 제조된 EL 장치를 나타내는 도면이다. EL 장치(예를 들면, 유기 EL 장치)는 기판(54), 전극(56), 정공 수송층(58), 발광층(60, 62, 64) 등을 갖는다. 발광층(60, 62, 64) 상에 전극(66)이 형성되어 있다. 전극(66)은 예를 들면 음극 전극이다. EL 장치(EL 패널)는 표시 장치(디스플레이)가 된다.
본 발명의 실시예에 따른 EL 장치를 갖는 전자 기기로서, 도 12에는 노트형 퍼스널 컴퓨터(1000)가 도시되고, 도 13에는 휴대 전화(2000)가 도시되어 있다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니며 각종 변형이 가능하다. 예를 들면, 본 발명은 실시예에서 설명한 구성과 실질적으로 동일한 구성(예를 들면, 기능, 방법 및 결과가 동일한 구성, 또는 목적 및 결과가 동일한 구성)을 포함한다. 또한, 본 발명은 실시예에서 설명한 구성의 본질적이지 않은 부분을 치환한 구성을 포함한다. 또한, 본 발명은 실시예에서 설명한 구성과 동일한 작용 효과를 나타내는 구성 또는 동일한 목적을 달성할 수 있는 구성을 포함한다. 또한, 본 발명은 실시예에서 설명한 구성에 공지 기술을 부가한 구성을 포함한다.
상술한 바에 따르면, 본 발명은 강도가 큰 마스크 및 그 제조 방법, 및 EL 장치의 제조 방법을 제공하는 것이 가능한 효과가 있다.
도 1의 (A) ∼ 도 1의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크를 설명하는 도면.
도 2의 (A) ∼ 도 2의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 확대도.
도 3은 제 1 기판을 나타내는 도면.
도 4는 제 2 기판을 나타내는 도면.
도 5의 (A) ∼ 도 5의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 제조 방법을 설명하는 도면.
도 6은 본 실시예의 변형예를 설명하는 도면.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 제조 방법을 설명하는 도면.
도 8은 본 실시예의 변형예를 나타내는 도면.
도 9의 (A) 및 도 9의 (B)는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 및 EL 장치의 제조 방법을 설명하는 도면.
도 10의 (A) ∼ 도 10의 (C)는 발광 재료의 성막 방법을 설명하는 도면.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 마스크를 사용한 발광 재료의 성막 방법을 거쳐서 제조된 EL 장치를 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 전자 기기를 나타내는 도면.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 전자 기기를 나타내는 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 제 1 기판
12 : 개구
14 : 제 1 정렬 마크
16 : 마스크 위치 결정 마크
20 : 제 2 기판
22 : 관통홀
24 : 제 2 정렬 마크
26 : 실리콘 웨이퍼
30 : 접착제
50 : 마스크
52 : 자성체막

Claims (22)

  1. 복수의 개구가 형성된 투명 기판인 제 1 기판에, 복수의 관통홀이 각각 형성된 복수의 제 2 기판을 부착하는 마스크의 제조 방법으로서,
    상기 제 1 기판에 형성된 제 1 얼라인먼트 마크와, 상기 제 2 기판에 형성된 제 2 얼라인먼트 마크에 의해, 각각의 상기 제 2 기판을 1개의 상기 개구에 대응하도록 위치 결정하여 부착하는 것, 및
    상기 제 1 기판에, 마스크 사용 처리 시의 피처리 기판과의 위치 맞춤을 행하기 위한 마스크 위치 결정 마크를 형성하는 것
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    양극(陽極) 접합에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판을 접합하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    에너지 경화성 접착제에 의해, 상기 제 1 및 제 2 기판을 접착하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 기판은, 실리콘 웨이퍼에 상기 복수의 관통홀을 형성하고, 상기 제 2 기판의 외형에 대응하도록 상기 실리콘 웨이퍼를 절단하는 것을 포함하는 공정에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 기판에 자성체막을 형성하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 및 상기 복수의 제 2 기판을 착탈할 수 있도록 부착하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 기판에 부착된 상기 복수의 제 2 기판의 표면을 연마하여 높이를 균일화하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 제조 방법.
  11. 투명 기판이며 복수의 개구가 형성되어 이루어지는 제 1 기판과,
    상기 제 1 기판에 부착되며 복수의 관통홀이 각각 형성된 복수의 제 2 기판을 가지며,
    상기 제 1 기판은 제 1 얼라인먼트 마크를 갖고,
    상기 제 2 기판은 제 2 얼라인먼트 마크를 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 얼라인먼트 마크에 의해서, 각각의 상기 제 2 기판이 1개의 상기 개구에 대응하도록 상기 제 1 및 제 2 기판이 위치 결정되어 이루어지고,
    상기 제 1 기판에는, 마스크 사용 처리 시의 피처리 기판과의 위치 맞춤을 행하기 위한 마스크 위치 결정 마크가 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크.
  12. 제 11 항에 있어서,
    양극 접합에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판이 접착되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크.
  13. 제 11 항에 있어서,
    에너지 경화성 접착제에 의해 상기 제 1 및 제 2 기판이 접착되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 기판에는 자성체막이 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크.
  17. 삭제
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 및 상기 복수의 제 2 기판은 착탈할 수 있도록 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크.
  19. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 기판에 부착된 상기 복수의 제 2 기판은 표면이 연마되어 높이가 균일화되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크.
  20. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 마스크를 사용하여 발광 재료를 성막하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 장치의 제조 방법.
  21. 삭제
  22. 삭제
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