JP2018127702A - 蒸着マスク、蒸着マスクのアライメント方法、及び蒸着マスク固定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板上にパターンを形成する際に用いるマスクにおいて、形成されるパターンの位置ずれを低減させるアライメント方法の提供。
【解決手段】複数のパターン部を含む2つの蒸着マスク20をフレーム30へ固定するアライメント方法であって、蒸着マスク20とフレーム30との位置合わせのための第1基準マーク100と、蒸着マスク20の縁部に形成されている第1アライメントマーク201との第1ずれ量に基づいて、蒸着マスク20とフレーム30との相対位置をアライメントする第1アライメントステップと、蒸着マスク20とフレーム30との位置合わせのための第2基準マーク102と、パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマーク202との第2ずれ量に基づいて、第1アライメントステップによりアライメントした蒸着マスク20とフレーム30との相対位置を再アライメントする第2アライメントステップと、を含むアライメント方法。
【選択図】図5
【解決手段】複数のパターン部を含む2つの蒸着マスク20をフレーム30へ固定するアライメント方法であって、蒸着マスク20とフレーム30との位置合わせのための第1基準マーク100と、蒸着マスク20の縁部に形成されている第1アライメントマーク201との第1ずれ量に基づいて、蒸着マスク20とフレーム30との相対位置をアライメントする第1アライメントステップと、蒸着マスク20とフレーム30との位置合わせのための第2基準マーク102と、パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマーク202との第2ずれ量に基づいて、第1アライメントステップによりアライメントした蒸着マスク20とフレーム30との相対位置を再アライメントする第2アライメントステップと、を含むアライメント方法。
【選択図】図5
Description
本発明は、蒸着マスク、蒸着マスクのアライメント方法、及び蒸着マスク固定装置に関する。
表示装置の製造工程において、蒸着マスク(単にマスクともいう)を用いて基板上に特定材料を成膜する手法が用いられている。マスクを用いた成膜では、所定のパターンが形成されたマスクを用いて、基板上に特定材料を所定のパターンに形成する。例えば、有機EL表示装置の製造工程において、赤、緑、青の有機EL素子を基板上に形成する方法の1つとしてマスク蒸着法が用いられる。このようなマスクをフレームに複数固定して1つのマスクとして用いることがある。
特許文献1では、固定用マスクを介して2枚のメタルマスクをつなぎ合わせる際に、メタルマスクに設けられた位置合わせ貫通孔と、固定用マスクに設けられた位置合わせマークとを合わせることにより、アライメントを行うことを開示している。
特許文献1では、メタルマスクの周辺部に設けられた位置合わせ貫通孔と、固定用マスクに設けられた位置合わせマークと、のずれを監視しながら、メタルマスクと固定用マスクとのアライメントを行っている。
しかし、特許文献1に開示されているような従来手法では、マスクのパターンが均一に形成されていない場合や、マスク自体が歪んでいる場合に、マスクの周縁部の位置は合っていても実際の製品におけるパターンの位置ずれが大きくなるという課題が生じる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板上にパターンを形成する際に用いるマスクにおいて、形成されるパターンの位置ずれを低減させることにある。また、基板上に形成されるパターンの位置ずれを低減させるアライメント方法、およびマスク固定装置を提供することにある。
(1)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスクは、所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクであって、前記蒸着マスクの縁部に、第1アライメントマークが設けられており、前記パターン部の外周部に、且つ前記第1アライメントマークよりも内側に位置する第2アライメントマークが設けられている、ことを特徴とする。
(2)上記(1)に記載の蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは複数の角部を有し、前記第1アライメントマークは、複数個設けられ、前記第2アライメントマークは、複数個設けられ、複数の前記第1アライメントマークの各々は、前記複数の角部の各々に位置し、複数の前記第2アライメントマークは、1列に配置された複数個の第2アライメントマーク群を含んでいてもよい。
(3)上記(1)または(2)に記載の蒸着マスクであって、前記第2アライメントマークは、前記複数のパターン部のうち、隣接する2つの前記パターン部の間に設けられていてもよい。
(4)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスクは、複数のパターン部を含む第1蒸着マスクと、複数のパターン部を含む第2蒸着マスクと、前記第1蒸着マスクと前記第2蒸着マスクとが固定されたフレームと、を備える蒸着マスクであって、前記フレームは、複数の第1基準マークと複数の第2基準マークとを有し、前記第1蒸着マスクは、前記第1蒸着マスクの縁部に位置し且つ前記第1基準マークの1つに対向する第1アライメントマークと、前記パターン部の外周部に位置し且つ記第2基準マークの1つに対向する第2アライメントマークと、を有し、前記第2蒸着マスクは、前記第1蒸着マスクの縁部に位置し且つ前記第1基準マークの1つに対向する第1アライメントマークと、前記パターン部の外周部に位置し且つ記第2基準マークの1つに対向する第2アライメントマークと、を有し、前記第2アライメントマークは、前記第1アライメントマークよりも前記第1蒸着マスク又は前記第2蒸着マスクの内側に位置する、ことを特徴とする。
(5)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスクのアライメント方法は、所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームへ固定する、蒸着マスクのアライメント方法であって、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの第1ずれ量に基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする第1アライメントステップと、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第2基準マークと、前記パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマークとの第2ずれ量に基づいて、前記第1アライメントステップによりアライメントした前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置を再アライメントする第2アライメントステップと、を含むことを特徴とする。
(6)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスクのアライメント方法は、所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームへ固定する、蒸着マスクのアライメント方法であって、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの相対的な位置関係である第1ずれ量を計測し、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第2基準マークと、隣接する前記パターン部の間に形成されている第2アライメントマークとの相対的な位置関係である第2ずれ量を計測し、前記第1ずれ量と前記第2ずれ量とに基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする、ことを特徴とする。
(7)上記(5)または(6)に記載の蒸着マスクのアライメント方法であって、前記フレームには、複数個の前記蒸着マスクが固定されてもよい。
(8)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスク固定装置は、所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームに固定する蒸着マスク固定装置であって、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせの基準となる第1基準マークおよび第2基準マークが形成されている基準ガラスと、前記第1基準マークおよび第2基準マークを撮像するカメラと、前記蒸着マスクを載置する載置部と、前記蒸着マスクを前記フレームの前記蒸着マスクと対向する面に沿って移動させてアライメントするアライメント機構と、を有するアライメントステージと、を含み、前記カメラが、前記第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの第1ずれ量を計測し、前記カメラが、前記第2基準マークと、前記パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマークとの第2ずれ量を計測し、前記アライメントステージが、前記第1ずれ量に基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントし、前記アライメントステージは、前記第1ずれ量に基づいて前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントした後に、前記第2ずれ量に基づいて、前記第1ずれ量に基づいてアライメントした相対位置をさらにアライメントする、ことを特徴とする。
(9)上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着マスク固定装置は、定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームに固定する蒸着マスク固定装置であって、前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせの基準となる第1基準マークおよび第2基準マークが形成されている基準ガラスと、前記第1基準マークおよび第2基準マークを撮像するカメラと、前記蒸着マスクを載置する載置部と、前記蒸着マスクを前記フレームの前記蒸着マスクと対向する面に沿ってアライメントするアライメント機構と、を有するアライメントステージと、を含み、前記カメラが、前記第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの相対的な位置関係である第1ずれ量を計測し、前記カメラが、前記第2基準マークと、隣接する前記パターン部の間に形成されている第2アライメントマークとの相対的な位置関係である第2ずれ量を計測し、前記アライメントステージが、前記第1ずれ量と前記第2ずれ量とに基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする、ことを特徴とする。
(10)上記(8)または(9)に記載の蒸着マスク固定装置であって、前記フレームには、複数個の前記蒸着マスクが固定されてもよい。
本発明によれば、基板上にパターンを形成する際に用いるマスクにおいて、形成されるパターンの位置ずれを低減させることができる。また、本発明のアライメント方法、およびマスク固定装置によれば、基板上に形成されるパターンの位置ずれを低減させることができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
なお、以下の説明において参照する図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であり、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
図1は、本実施形態に係るマスク固定装置1の全体構成を示す模式図である。図1は、マスク固定装置1を側面から見た図である。マスク固定装置1(蒸着マスク固定装置、蒸着マスク貼り合せ装置ともいう)は、マスク20(蒸着マスクともいう)とフレーム30とのアライメントを行った上でマスク20をフレーム30に固定する装置である。マスク固定装置1は、フレーム保持部11と、基準ガラス13と、カメラ14と、アライメントステージ16と、溶接ユニット18と、を含んで構成されている。基準ガラス13と、カメラ14と、アライメントステージ16とによりマスク20とフレーム30とのアライメントが行われ、溶接ユニット18によりマスク20とフレーム30との固定が行われる。
フレーム保持部11は、基準ガラス13とアライメントステージ16との間にフレーム30を保持する。
基準ガラス13は、マスク固定装置1の上部に固定されており、マスク20とフレーム30との位置合わせの基準となる基準マーク100が設けられている。マスク20には、アライメントマーク200が設けられている。アライメントマーク200を基準マーク100に位置合わせすることで、マスク20とフレーム30との相対位置のアライメントが行われる。なお、基準マーク100はフレーム30に設けられていてもよい。
カメラ14は、基準ガラス13の上方に設けられている。カメラ14は、X−Y方向に移動可能に構成されている。カメラ14は、基準マーク100の真上から、基準マーク100とアライメントマーク200とを撮像することで、基準マーク100とアライメントマーク200との相対的な位置関係を計測する。図1では、1つのカメラ14が、基準マーク100の真上に順次移動して、基準マーク100とアライメントマーク200とを撮像する。なお、カメラ14が1つ設けられる例に限定されず、カメラ14は複数設けられていてもよい。
アライメントステージ16は、マスク固定装置1の下部に設けられている。アライメントステージ16は、マスク20が載置される載置部161と、載置部161に載置されたマスク20を載置面に沿った面内で、或いは載置面に平行な面内で(X−Y−θ方向に)移動させてアライメントを行うアライメント機構162を備える。ここで載置面とは、例えばマスク20のフレーム30と対向する面、換言すればマスク20のフレーム30へ載置される側の面である。載置面とは、フレーム30のマスク20と対向する面であってもよい。また、ここでのθ方向とは、図1に示すX方向とY方向とを含む平面内(例えばマスク20の載置面内)の回転方向を含む。更に、θ方向は、マスク20の載置面と交差する方向を含んでもよい。載置部161は、複数のリフトピンによって構成されてもよいし、1つの載置台によって構成されてもよい。アライメント機構162は、例えば、アクチュエータと駆動モータとにより構成される。
アライメントステージ16は、カメラ14が測定した基準マーク100とアライメントマーク200との相対的な位置関係に基づいて、載置部161に載置されたマスク20をアライメント機構162により移動させる。これにより、マスク20とフレーム30との相対位置がアライメントされる。
アライメントステージ16は、マスク20毎に設けられている。例えば、マスク20が2つであれば、アライメントステージ16は、各マスク20に対応させて2つ設けられる。なお、アライメントステージ16がマスク20毎に設けられる例に限定されず、アライメントステージ16が1つだけ設けられており、複数のマスク20で1つのアライメントステージ16が共有されてもよい。
溶接ユニット18は、マスク20とフレーム30とのアライメントが行われた後に、マスク20を溶接によりフレーム30に固定する。
図2は、本実施形態に係るマスク20の一例を示す図である。マスク20には、複数のパターン部210が形成されている。マスク20の材料としては、例えば、インバー等の金属が用いられる。パターン部210が実際の製品となり、例えば、有機EL表示装置のパネル部分に相当する。パターン部210には、所定のパターンが形成されており、例えば、有機EL表示装置の有機EL素子のパターンが形成されている。パターン部210は、任意の適切な方法により形成され得る。具体的には、電気鋳造により形成されてもよいし、エッチングにより形成されてもよい。例えば、パターン部210は、電気鋳造により形成されたメッキ部を含み、マスク20は電鋳マスクとされる。電鋳マスクによれば、例えば、従来のメタルマスクよりも精度の高いパターン成膜を達成し得る。
本実施形態では、図2に示すマスク20を基板上に複数並べて所定のパターンを成膜することを想定している。複数のマスク20を基板上に並べる際に、複数のマスク20はフレーム30に固定されて1つのマスクとして用いられる。これにより、マスク20より基板のサイズが大きい形態にも、既存のマスク20を利用することができる。
図3は、本実施形態に係るフレーム30の一例を示す図である。フレーム30は、複数のマスク20それぞれに対応する複数の開口300が設けられた枠状の構造を有している。フレーム30の材料としては、例えばインバー等の金属が用いられる。図3に示すフレーム30は、2つのマスク20それぞれに対応する2つの開口300が設けられた例を示している。図3に示すフレーム30の開口300を覆うようにマスク20が固定される。
また、フレーム30は、フレーム基材と、マスク20が固定される側に配置される接合部材とを含んでもよい。接合部材にマスク20が固定されることで、マスク全体の剛性を下げ得る。その結果、パターン形成対象の基板の剛性が高い場合であっても、基板に対するマスクの密着性を向上させて、マスクと基板との間への材料の回り込みを抑制し、高精度なパターン成膜を実現し得る。
以下、本実施形態に係るマスク20とフレーム30とのアライメント方法について説明する。まず、マスク20とフレーム30とのアライメントに用いられる基準ガラス13に設けられる基準マーク100と、マスク20に設けられるアライメントマーク200について説明する。
図4は、本実施形態に係る基準ガラス13に設けられる基準マーク100の第1の例を示す図である。図5は、本実施形態に係るマスク20に設けられるアライメントマーク200の第1の例を示す図である。図4に示す基準マーク100と、図5に示すアライメントマーク200との位置合わせを行うことで、マスク20とフレーム30とのアライメントが行われる。
図4に示す基準ガラス13は、フレーム30のサイズに対応する1枚のガラス板であり、図4では、図3に示したような2つのマスク20を固定するフレーム30に対応する。基準ガラス13は、例えば石英ガラスで形成される。つまり、図4に示す基準ガラス13は、2つのマスク20のアライメントを行うために用いられる。本実施形態に係る基準ガラス13の基準マーク100は、第1基準マーク101と第2基準マーク102とを含む。
第1基準マーク101は、基準ガラス13の縁部に設けられている。第1基準マーク101の位置は、マスク20の設計上の形状や、フレーム30の開口300の形状に応じて決められる。例えば、第1基準マーク101は、マスク20の設計上の縁部や、フレーム30の開口300の縁部に対応する位置に設けられる。第1基準マーク101は、複数個設けられ、例えば、第1基準マーク101は、基準ガラス13の複数の角部に設けられる。図6では、基準ガラス13の右側に、設計通りに製造されたと仮定する理想的なマスク(理想マスク21)の4つの角部にそれぞれ対応する、4つの第1基準マーク101(101a1〜101a4)が設けられている。また、基準ガラス13の左側にも、同様に、4つの第1基準マーク101(101b1〜101b4)が設けられている。
第2基準マーク102は、第1基準マーク101より内側(内周側)に設けられている。第2基準マーク102の位置は、パターン部210の設計上の配置や形状に応じて決められる。例えば、第2基準マーク102は、設計上、最も外周側に位置するパターン部210の外周側の辺(他のパターン部210と隣り合わない辺)に対応する位置に設けられる。第2基準マークは複数個設けられ、複数の第2基準マークは、1列に配置された複数個の第2基準マーク群を含んでいる。図4では、基準ガラス13の右側に、理想マスク21のY方向における最端に位置する8個の理想パターン部211の外周側の辺にそれぞれ対応する、8個の第2基準マーク102(102a1〜102a8)が設けられている。第2基準マーク102(102a1〜102a4)および第2基準マーク102(102a5〜102a8)がそれぞれ第2基準マーク群を構成している。また、基準ガラス13の左側にも、同様に、8個の第2基準マーク102(102b1〜102b8)が設けられている。同様に、第2基準マーク102(102b1〜102b4)および第2基準マーク102(102b5〜102b8)がそれぞれ第2基準マーク群を構成している。なお、第2基準マーク102は、理想マスク21のX方向における最端に位置する8個の理想パターン部211の外周側の辺にそれぞれ対応する位置に設けられていてもよい。
図5に示す2つのマスク20(20a、20b)には、図4に示す基準ガラス13に設けられる基準マーク100との位置合わせを行うためのアライメントマーク200が設けられている。アライメントマーク200は、マスク20の製造時、またはマスク20の製造後に設けられる。本実施形態に係るアライメントマーク200は、第1アライメントマーク201と、第2アライメントアーク202と、を含む。
第1アライメントマーク201は、第1基準マーク101との相対的な位置関係を計測する対象となるアライメントマークであり、マスク20の縁部に設けられている。第1アライメントマーク201は、主に、マスク20全体を対応するフレーム30の開口300に位置合わせするために用いられる。第1アライメントマーク201は、複数個設けられ、例えば、第1アライメントマーク201は、マスク20aの複数の角部に設けられる。図5では、マスク20aにおいて、4つの第1アライメントマーク201(201a1〜201a4)が、それぞれマスク20aの4つの角部に設けられている。また、マスク20bにおいても、同様に、4つの第1アライメントマーク201(201b1〜201b4)が、それぞれマスク20bの4つの角に設けられている。第1アライメントマーク201(201a1〜201a4)は、それぞれ第1基準マーク101(101a1〜101a4)に対向する位置に設けられ、第1アライメントマーク201(201b1〜201b4)は、それぞれ第1基準マーク101(101b1〜101b4)に対向する位置に設けられる。
第2アライメントマーク202は、第2基準マーク102との相対的な位置関係を計測する対象となるアライメントマークであり、パターン部210の外周部に設けられている。より具体的には、第2アライメントマーク202は、第1アライメントマーク201よりパターン部210に近い位置(マスク20における第1アライメントマーク201より内側)に設けられている。第2アライメントマーク202は、主に、マスク20の複数のパターン部210を、定められた位置に位置合わせするために用いられる。
マスク20を製造する際に、複数のパターン部210は、予め定められた設計通り(例えば等間隔)に形成されるのが好ましい。しかし、実際には、複数のパターン部210は、定められた位置からずれて形成される場合がある。そこで、マスク20の製造の際に、複数のパターン部210が定められた位置からずれて形成される場合であっても、各製品において形成される成膜パターンのずれを軽減するために、第2アライメントマーク202が設けられている。
第2アライメントマークは複数個設けられ、複数の第2アライメントマークは、1列に配置された複数個の第2アライメントマーク群を含んでいる。図5では、マスク20aにおいて、マスク20aのY方向における最端に位置する8個のパターン部210の外周側の辺に沿って、8個の第2アライメントマーク202(202a1〜202a8)が設けられている。第2アライメントマーク202(202a1〜202a4)および第2アライメントマーク202(202a5〜202a8)がそれぞれ第2アライメントマーク群を構成している。また、マスク20bにおいても、同様に、マスク20bのY方向における最端に位置する8個のパターン部210の外周側の辺に沿って、8個の第2アライメントマーク202(202b1〜202b8)が設けられている。同様に、第2アライメントマーク202(202b1〜202b4)および第2アライメントマーク202(202b5〜202b8)がそれぞれ第2アライメントマーク群を構成している。なお、第2アライメントマーク202は、X方向における最端に位置する8個のパターン部210の外周側の辺に沿って設けられていてもよい。
図6は、本実施形態に係る基準ガラス13に設けられる基準マーク100の第2の例を示す図である。図7は、本実施形態に係るマスク20に設けられるアライメントマーク200の第2の例を示す図である。図6に示す基準マーク100と、図7に示すアライメントマーク200との位置合わせを行うことで、マスク20とフレーム30とのアライメントが行われる。図6に示す基準マーク100は、図4に示した第1の例とは、第2基準マーク112に差異がある点を除けば、その他は同一である。また、図7に示すアライメントマーク200は、図5に示した第1の例とは、第2アライメントマーク212に差異がある点を除けば、その他は同一である。したがって、ここでは、第1の例と異なる点だけを説明する。
第2基準マーク112は、第1基準マーク101より内側に設けられている。第2基準マーク112の位置は、パターン部210の設計上の配置や形状に応じて決められる。例えば、第2基準マーク112は、設計上の複数のパターン部210のうち、隣接する2つのパターン部210の間に対応する位置に設けられる。図6では、基準ガラス13の右側に、理想マスク21のY方向に隣接する理想パターン部211の間に、16個の第2基準マーク112が設けられている。また、基準ガラス13の左側にも、同様に、16個の第2基準マーク112が設けられている。なお、第2基準マーク112は、理想マスク21のX方向に隣接する2つの理想パターン部211の間に設けられていてもよい。
第2アライメントマーク212は、複数のパターン部210のうち、隣接する2つのパターン部210の間に設けられている。図7では、マスク20aにおいて、Y方向に隣接するパターン部210の間に、16個の第2アライメントマーク212aが設けられている。また、マスク20bにおいても、同様に、Y方向に隣接するパターン部210の間に、16個の第2アライメントマーク212bが設けられている。このように、第2アライメントマーク212が2つの隣接するパターン部210の間に設けられることで、パターン部210の位置合わせの精度が向上する。なお、第2アライメントマーク212は、X方向に隣接する2つのパターン部210の間に設けられていてもよい。
ここで、本実施形態に係るマスク固定装置1が実行するマスク固定処理の第1の例を図8に示すフロー図を用いて説明する。ここでは、図4に示す基準ガラス13と、図5に示すマスク20との位置合わせを行うことで、マスク20とフレーム30とのアライメントを行うこととする。なお、図6に示す基準ガラス13と、図7に示すマスク20との位置合わせを行う際にも適用できる。
まず、フレーム30をフレーム保持部11に保持し、マスク20をアライメントステージ16の載置部161に載置する(S1)。ここでは、1枚目のマスク20aが載置部161に載置されることとする。
次に、基準ガラス13の第1基準マーク101と、マスク20aの第1アライメントマーク201との相対的な位置関係(第1ずれ量)を計測する(S2)。ここでは、ステップS1でマスク20aが載置された位置を基準として、第1基準マーク101と第1アライメントマーク201との第1ずれ量を計測する。本実施形態では、カメラ14が、第1基準マーク101の真上から、第1基準マーク101と第1アライメントマーク201とを撮像することで、第1基準マーク101と第1アライメントマーク201との第1ずれ量を計測する。
ここで、カメラ14による、基準マーク100とアライメントマーク200とのずれ量の計測について説明する。図9は、カメラ14が撮像する撮像画像400の一例を示す図である。図9に示すように、撮像画像400には、基準マーク100と、基準マーク100より大きいアライメントマーク200とを含んでいる。アライメントマーク200と基準マーク100との位置合わせとしては、アライメントマーク200内に基準マーク100が含まれるようにマスク20を移動することが好ましい。さらには、アライメントマーク200の中心点と、基準マーク100の中心点とを一致させ、アライメントマーク200と、基準マーク100とのθ方向の傾きを一致させるようにマスク20を移動することで、より高精度の位置合わせが可能となる。ここでのθ方向とは、図9に示すX方向とY方向とを含む平面内(例えばマスク20の載置面内)の回転方向を含む。更に、θ方向は、マスク20の載置面と交差する方向を含んでもよい。そこで、アライメントマーク200の基準マーク100に対するずれ量を計測し、ずれ量を0に近づけるようマスク20を移動することでアライメントを行う。本実施形態では、カメラ14は、撮像画像400から、アライメントマーク200の基準マーク100に対するずれ量を計測する。具体的には、アライメントマーク200の基準マーク100に対するずれ量を、X方向、Y方向、およびθ方向に関するずれ量を要素とするベクトルV(x、y、θ)として算出する。
本実施形態では、上述のようにして、カメラ14により、第1アライメントマーク201の第1基準マーク101に対する第1ずれ量を、X方向、Y方向、およびθ方向に関するずれ量を要素とする第1ずれベクトルV1(x、y、θ)として算出する。さらに、カメラ14は、第1基準マーク101a1〜101a4を順に撮像し、第1基準マーク101a〜101dと、第1アライメントマーク201a1〜201a4との各第1ずれベクトルV1a〜V1dを算出する。
図10は、本実施形態に係るカメラ14の動作の一例を模式的に示す図である。図10は、マスク固定装置1をカメラ14の上部から見た図である。図10に示すように、カメラ14は、第1基準マーク101および第2基準マーク102を順に移動してそれぞれの位置で撮像を行う。本実施形態に係るカメラ14は、マスク固定装置1の最上部に設置され、X−Y方向に自由に移動可能となっているため、任意の位置の基準マーク100を撮像することが可能である。そのため、固定カメラを設ける場合と比較して、基準マーク100やアライメントマーク200の大きさや、設ける位置の制約を少なくでき、任意の大きさ、位置に設けることが可能となる。
そして、ステップS2で算出された第1ずれベクトルV1a〜V1dに基づいて、マスク20aのアライメントを行う(S3)。ここでは、第1ずれベクトルV1a〜V1dに基づいて、マスク20aの移動量を移動ベクトルP1(x、y、θ)として算出する。例えば、最小二乗法等により、各第1ずれベクトルV1a〜V1dを最小に近づける最適な移動ベクトルP1を算出する。そして、アライメントステージ16のアライメント機構162により、マスク20aを移動ベクトルP1が示す移動量だけ移動させることで、マスク20aとフレーム30とのアライメントが行われる。
次に、基準ガラス13の第2基準マーク102と、マスク20aの第2アライメントマーク202との相対的な位置関係(第2ずれ量)を計測する(S4)。ここでは、ステップS3においてアライメントが行われた後のマスク20aの位置を基準として、第2基準マーク102と、第2アライメントマーク202との第2ずれ量を計測する。本実施形態では、第2アライメントマーク202の第2基準マーク102に対する第2ずれ量を、X方向、Y方向、およびθ方向に関するずれ量を要素とする第2ずれベクトルV2(x、y、θ)として算出する。さらに、カメラ14は、第2基準マーク102a1〜102a8を順に撮像し、第2基準マーク102a1〜102a8と、第2アライメントマーク202a1〜202a8との各第2ずれベクトルV2a〜V2hを算出する。
そして、ステップS3で算出された各第2ずれベクトルV2a〜V2hに基づいて、マスク20aの再アライメントを行う(S5)。ここでは、第2ずれベクトルV2a〜V2hに基づいて、マスク20aの移動量を移動ベクトルP2(x、y、θ)として算出する。例えば、最小二乗法等により、各第2ずれベクトルV2a〜V2hを最小に近づける最適な移動ベクトルP2を算出する。そして、アライメントステージ16のアライメント機構162により、マスク20aを移動ベクトルP2だけ移動させる。ステップS3でアライメントが行われたマスク20aを、さらに移動ベクトルP2が示す移動量だけ移動させることで、マスク20aとフレーム30との再アライメントが行われる。第2アライメントマーク202は、マスク固定装置1やマスク20a自体の設計制約によって、偏った配置になる場合がある。よって、第2アライメントマーク202自体ではマスク20aのアライメントが困難、あるいはアライメント精度低下の懸念が有る。アライメントのステッップ(S3)の結果に、第2ずれ量を算出してオフセットする、再アライメントのステップ(S5)を行うことで、アライメント精度を向上することができる。この際、算出した第2ずれ量の半分だけオフセット(再アライメント)してもよい。尚、再アライメントを行うステップ(S5)に、図11で後述するマスク20aのオフセット量を算出するステップ(図11のS15)を含めてもよい。
そして、ステップS5においてマスク20aの再アライメントが完了すると、溶接ユニット18が、マスク20aを溶接によりフレーム30に固定する(S6)。
そして、カメラ14が、基準マーク100とアライメントマーク200とを撮像することで、基準マーク100とアライメントマーク200とのずれ量を計測する(S7)。ここでは、マスク20aをフレーム30に固定した後の、基準マーク100とアライメントマーク200とのずれ量を計測することで、固定後の位置合わせの精度を確認している。ここで計測した固定後の基準マーク100とアライメントマーク200とのずれ量を、マスク20の設計にフィードバックすることで、位置合わせの精度をより向上させるマスク20を製造することが可能となる。
そして、全てのマスク20をフレーム30に固定したか否かの判断が行われる(S8)。フレーム30に固定されていないマスク20がある場合は(S8:N)、ステップS1に戻り、次のマスク20(ここでは、マスク20b)が載置部161に載置され、以降のステップが実行される。全てのマスク20をフレーム30に固定した場合は(S8:Y)、マスク固定処理が終了する。
マスク固定処理の第1の例によれば、第1ずれ量に基づいてマスク20のアライメントを行った後に、アライメント後の位置を基準とした第2ずれ量に基づいてマスク20を再アライメントしている。これにより、マスク20の全体的な大枠のアライメントを行った後に、パターン部210の不均一やマスク20自体の歪みに起因する第2ずれ量を微調整することができる。その結果、マスク20のパターンが均一に形成されていない場合や、マスク自体が歪んでいる場合であっても、基板上に形成されるパターンの位置ずれを低減する。
本実施形態に係るマスク固定装置1が実行するマスク固定処理の第2の例を図11に示すフロー図を用いて説明する。ここでは、図4に示す基準ガラス13と、図5に示すマスク20との位置合わせを行うことで、マスク20とフレーム30とのアライメントを行うこととする。なお、図6に示す基準ガラス13と、図7に示すマスク20との位置合わせを行う際にも適用できる。
まず、フレーム30をフレーム保持部11に保持し、マスク20をアライメントステージ16の載置部161に載置する(S11)。ここでは、1枚目のマスク20aが載置部161に載置されることとする。
次に、基準ガラス13の第1基準マーク101と、マスク20aの第1アライメントマーク201との相対的な位置関係(第1ずれ量)を計測する(S12)。ここでは、ステップS1でマスク20aが載置された位置を基準として、第1基準マーク101と第1アライメントマーク201との第1ずれ量を計測する。本実施形態では、上述のマスク固定処理の第1の例と同様に、カメラ14により、第1アライメントマーク201の第1基準マーク101に対する第1ずれ量を、X方向、Y方向、およびθ方向に関するずれ量を要素とする第1ずれベクトルV1(x、y、θ)として算出する。さらに、カメラ14は、第1基準マーク101a1〜101a4を順に撮像し、第1基準マーク101a1〜101a4と、第1アライメントマーク201a1〜201a4との各第1ずれベクトルV1a〜V1dを算出する。
次に、基準ガラス13の第2基準マーク102と、マスク20aの第2アライメントマーク202との相対的な位置関係(第2ずれ量)を計測する(S13)。ここでは、ステップS1でマスク20aが載置された位置を基準として、第2基準マーク102と第2アライメントマーク202との第2ずれ量を計測する。本実施形態では、第2アライメントマーク202の第2基準マーク102に対する第2ずれ量を、X方向、Y方向、およびθ方向に関するずれ量を要素とする第2ずれベクトルV12(x、y、θ)として算出する。さらに、カメラ14は、第2基準マーク102a1〜102a8を順に撮像し、第2基準マーク102a1〜102a8と、第2アライメントマーク202a1〜202a8との各第2ずれベクトルV12a〜V12hを算出する。
そして、ステップS12で算出された第1ずれベクトルV1a〜V1dに基づいて、マスク20aの移動量を算出する(S14)。ここでは、第1ずれベクトルV1a〜V1dに基づいて、マスク20aの移動量を移動ベクトルP1(x、y、θ)として算出する。例えば、最小二乗法等により、各第1ずれベクトルV1a〜V1dを最小に近づける最適な移動ベクトルP1を算出する。
そして、ステップS13で算出された各第2ずれベクトルV12a〜V12hに基づいて、マスク20aのオフセット量を算出する(S15)ここでは、第2ずれベクトルV12a〜V12hに基づいて、マスク20aの移動量に対するオフセット量を、オフセットベクトルQ(x、y、θ)として算出する。例えば、最小二乗法等により、各第2ずれベクトルV12a〜V12hを最小に近づける最適なオフセットベクトルQを算出する。
そして、ステップS14で算出したマスク20aの移動ベクトルP1と、ステップS15で算出したマスク20aのオフセットベクトルQと、に基づいてマスク20aのアライメントを行う(S16)。ここでは、移動ベクトルP1に、オフセットベクトルQを加算した移動ベクトルP11を算出する。アライメントステージ16のアライメント機構162により、マスク20aを移動ベクトルP11が示す移動量だけ移動させることで、マスク20aとフレーム30とのアライメントが行われる。尚、図8に示すフロー図の再アライメントのステップ(S5)に、上述の図11に示すマスク20aのオフセット量を算出するステップ(S15)を含めてもよい。
ステップS17以降の処理は、図8に示したステップS6以降の処理と同様であるので、ここでは説明を省略する。
マスク固定処理の第2の例によれば、第1ずれ量と第2ずれ量とに基づいてマスク20とフレーム30とをアライメントしている。これにより、パターン部210の不均一やマスク20自体の歪みに起因する第2ずれ量を加味してアライメントを行うことができる。その結果、マスク20のパターン部が均一に形成されていない場合や、マスク自体が歪んでいる場合であっても、基板上に形成されるパターンの位置ずれを低減する。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。
例えば、図9では、アライメントマーク200は、基準マーク100より大きいが、この例に限定されず、アライメントマーク200は、基準マーク100より小さくてもよいし、基準マーク100と同じ大きさであってもよい。また、アライメントマーク200および基準マーク100の形状は円形状としているが、この例に限定されず、矩形状等であってもよい。
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成、または同一の目的を達成することができる構成により置き換えてもよい。
1 マスク固定装置、11 フレーム保持部、13 基準ガラス、14 カメラ、16 アライメントステージ、18 溶接ユニット、20,20a,20b マスク、21 理想マスク、30 フレーム、100 基準マーク、101 第1基準マーク、102,112 第2基準マーク、161 載置部、162 アライメント機構、200 アライメントマーク、201 第1アライメントマーク、202,212 第2アライメントマーク、210 パターン部、211 理想パターン部、300 開口、400 撮像画像。
Claims (10)
- 所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクの縁部に、第1アライメントマークが設けられており、
前記パターン部の外周部に、且つ前記第1アライメントマークよりも内側に位置する第2アライメントマークが設けられている、
ことを特徴とする蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクは複数の角部を有し、
前記第1アライメントマークは、複数個設けられ、
前記第2アライメントマークは、複数個設けられ、
複数の前記第1アライメントマークの各々は、前記複数の角部の各々に位置し、
複数の前記第2アライメントマークは、1列に配置された複数個の第2アライメントマーク群を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク。 - 前記第2アライメントマークは、前記複数のパターン部のうち、隣接する2つの前記パターン部の間に設けられている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着マスク。 - 複数のパターン部を含む第1蒸着マスクと、複数のパターン部を含む第2蒸着マスクと、前記第1蒸着マスクと前記第2蒸着マスクとが固定されたフレームと、を備える蒸着マスクであって、
前記フレームは、複数の第1基準マークと複数の第2基準マークとを有し、
前記第1蒸着マスクは、前記第1蒸着マスクの縁部に位置し且つ前記第1基準マークの1つに対向する第1アライメントマークと、前記パターン部の外周部に位置し且つ記第2基準マークの1つに対向する第2アライメントマークと、を有し、
前記第2蒸着マスクは、前記第1蒸着マスクの縁部に位置し且つ前記第1基準マークの1つに対向する第1アライメントマークと、前記パターン部の外周部に位置し且つ記第2基準マークの1つに対向する第2アライメントマークと、を有し、
前記第2アライメントマークは、前記第1アライメントマークよりも前記第1蒸着マスク又は前記第2蒸着マスクの内側に位置する、
ことを特徴とする蒸着マスク。 - 所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームへ固定する、蒸着マスクのアライメント方法であって、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの第1ずれ量に基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする第1アライメントステップと、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第2基準マークと、前記パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマークとの第2ずれ量に基づいて、前記第1アライメントステップによりアライメントした前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置を再アライメントする第2アライメントステップと、
を含むことを特徴とする蒸着マスクのアライメント方法。 - 所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームへ固定する、蒸着マスクのアライメント方法であって、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの相対的な位置関係である第1ずれ量を計測し、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせのための第2基準マークと、隣接する前記パターン部の間に形成されている第2アライメントマークとの相対的な位置関係である第2ずれ量を計測し、
前記第1ずれ量と前記第2ずれ量とに基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする、
ことを特徴とする蒸着マスクのアライメント方法。 - 前記フレームには、複数個の前記蒸着マスクが固定される、
ことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の蒸着マスクのアライメント方法。 - 所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームに固定する蒸着マスク固定装置であって、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせの基準となる第1基準マークおよび第2基準マークが形成されている基準ガラスと、
前記第1基準マークおよび第2基準マークを撮像するカメラと、
前記蒸着マスクを載置する載置部と、前記蒸着マスクを前記フレームの前記蒸着マスクと対向する面に沿って移動させてアライメントするアライメント機構と、を有するアライメントステージと、
を含み、
前記カメラが、前記第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの第1ずれ量を計測し、
前記カメラが、前記第2基準マークと、前記パターン部の外周部に形成されている第2アライメントマークとの第2ずれ量を計測し、
前記アライメントステージが、前記第1ずれ量に基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントし、
前記アライメントステージは、前記第1ずれ量に基づいて前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントした後に、前記第2ずれ量に基づいて、前記第1ずれ量に基づいてアライメントした相対位置をさらにアライメントする、
ことを特徴とする蒸着マスク固定装置。 - 所定のパターンが形成されている複数のパターン部を含む蒸着マスクを、フレームに固定する蒸着マスク固定装置であって、
前記蒸着マスクと前記フレームとの位置合わせの基準となる第1基準マークおよび第2基準マークが形成されている基準ガラスと、
前記第1基準マークおよび第2基準マークを撮像するカメラと、
前記蒸着マスクを載置する載置部と、前記蒸着マスクを前記フレームの前記蒸着マスクと対向する面に沿って移動させてアライメントするアライメント機構と、を有するアライメントステージと、
を含み、
前記カメラが、前記第1基準マークと、前記蒸着マスクの縁部に形成されている第1アライメントマークとの相対的な位置関係である第1ずれ量を計測し、
前記カメラが、前記第2基準マークと、隣接する前記パターン部の間に形成されている第2アライメントマークとの相対的な位置関係である第2ずれ量を計測し、
前記アライメントステージが、前記第1ずれ量と前記第2ずれ量とに基づいて、前記蒸着マスクと前記フレームとの相対位置をアライメントする、
ことを特徴とする蒸着マスク固定装置。 - 前記フレームには、複数個の前記蒸着マスクが固定される、
ことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の蒸着マスク固定装置。
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