JPWO2019107130A1 - キャパシタ - Google Patents
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Abstract
Description
実施の形態1に係るキャパシタは、半導体プロセスを用いて容易に形成可能な、表裏面電極型のトレンチキャパシタである。
図1、図2、および図3は、それぞれ実施の形態1に係るキャパシタの構造の一例を示す斜視図、正面図、および側面図である。図2は、図1のII−II切断線を含む切断面を矢印方向に見た断面に対応し、図3は、図1のIII−III切断線を含む切断面を矢印方向に見た断面に対応する。
次に、キャパシタ1の製造方法の一例について説明する。
実施の形態2に係るキャパシタは、半導体プロセスを用いて容易に形成可能な、表裏面電極型のトレンチキャパシタである。
図5、図6、および図7は、それぞれ実施の形態2に係るキャパシタの構造の一例を示す斜視図、正面図、および側面図である。図6は、図5のVI−VI切断線を含む切断面を矢印方向に見た断面に対応し、図7は、図5のVII−VII切断線を含む切断面を矢印方向に見た断面に対応する。
次に、キャパシタ2の製造方法の一例について説明する。
実施の形態3に係る複合素子は、半導体プロセスを用いて容易に形成可能な、トレンチキャパシタを含む表裏面電極型の複合素子である。実施の形態3では、そのような複合素子について、CRスナバ素子の例を挙げて説明する。
図9および図10は、それぞれ実施の形態3に係る複合素子の構造の一例を示す斜視図および正面図である。図10は、図9のX−X切断線を含む切断面を矢印方向に見た断面に対応する。
次に、複合素子3の製造方法の一例について説明する。
以上、本発明の実施の形態に係るキャパシタおよび複合素子について説明したが、本発明は、個々の実施の形態には限定されない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の一つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るキャパシタは、絶縁体からなり、互いに対向する第1主面と第2主面とを有する基材と、前記基材の前記第1主面に形成された有底の第1トレンチ部と、前記第1トレンチ部内に形成された第1導体部と、前記基材の前記第1主面側に形成され、前記第1導体部に接続された第1外部電極部と、前記基材の前記第2主面に形成された有底の第2トレンチ部と、前記第2トレンチ部内に形成された第2導体部と、前記基材の前記第2主面側に形成され、前記第2導体部に接続された第2外部電極部と、を有し、前記第1トレンチ部と前記第2トレンチ部とが重なっている。
3 複合素子
11、21 基材
11a、21a、31a シリコン基板
12、22、32 第1外部電極部
13、23、33 第2外部電極部
14、24、34 第1導体部
14a、24a、34a 第1トレンチ部
15、25、35 第2導体部
15a、25a、35a 第2トレンチ部
17、27、37 容量発現部
26、36 開口
31 絶縁基材
38 導体基材
39 抵抗発現部
111、211、311、381 第1主面
112、212、312、382 第2主面
Claims (4)
- 絶縁体からなり、互いに対向する第1主面と第2主面とを有する基材と、
前記基材の前記第1主面に形成された有底の第1トレンチ部と、
前記第1トレンチ部内に形成された第1導体部と、
前記基材の前記第1主面側に形成され、前記第1導体部に接続された第1外部電極部と、
前記基材の前記第2主面に形成された有底の第2トレンチ部と、
前記第2トレンチ部内に形成された第2導体部と、
前記基材の前記第2主面側に形成され、前記第2導体部に接続された第2外部電極部と、を有し、
前記第1トレンチ部と前記第2トレンチ部とが重なっている、
キャパシタ。 - 絶縁体からなり、互いに対向する第1主面と第2主面とを有する基材と、
前記基材の前記第1主面に形成された有底の第1トレンチ部と、
前記基材を貫通するように形成された第2トレンチ部と、
前記第1トレンチ部内に形成された第1導体部と、
前記基材の前記第1主面側に形成され、前記第1導体部に接続された第1外部電極部と、
前記第2トレンチ部内に形成された第2導体部と、
前記基材の前記第2主面側に形成され、前記第2導体部に接続された第2外部電極部と、を有し、
前記第1トレンチ部と前記第2トレンチ部とが重なっている、
キャパシタ。 - 前記第2トレンチ部と前記第2外部電極部との間に抵抗成分を有する導体基材を、さらに有する、
請求項2に記載のキャパシタ。 - 前記第1トレンチ部および第2トレンチ部が溝状であり、かつ溝の長手方向を含む面同士で互いに対向している、
請求項1から3のいずれか1項に記載のキャパシタ。
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